JPH11248547A

JPH11248547A - 測定装置およびその測定方法

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Publication number: JPH11248547A
Application number: JP4908898A
Authority: JP
Inventors: Akio Morozumi; 章夫両角; Takeshi Tsukanaka; 猛塚中
Original assignee: T & D Kk; T&D Corp
Current assignee: T & D Kk; T&D Corp
Priority date: 1998-03-02
Filing date: 1998-03-02
Publication date: 1999-09-17
Anticipated expiration: 2018-03-02
Also published as: JP4011181B2

Abstract

(57)【要約】【課題】広範囲な測定が可能であり、さらに、検出値
が各基準素子のレンジの境界を跨っても検出値にギャッ
プを生じない測定装置および測定方法を提供する。【解決手段】サーミスタ２および基準抵抗１４、１５
および１６を切り換えてＲＣ発振回路１１を形成するこ
とができる。信号処理部２１に、レンジの基準抵抗を選
択して発振周波数を測定する第１の信号処理機能２１ａ
と、レンジの境界近傍における処理をする第２の信号処
理機能２１ｂとを設け、基準抵抗のレンジ境界部分で
は、それぞれのレンジを担当する２つの基準抵抗の発振
周波数を用いて検出値を求めて平均化し、レンジの境界
で検出値Ｔの値が急変することを防止する。したがっ
て、検出値Ｔにギャップを生じない測定装置および測定
方法を提供することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、対象物の温度等の
物理量の変化を測定するための測定装置および測定方法
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のサーミスタまたはコンデンサを用
いた簡易型の温度計では、その測定範囲は比較的狭く測
定誤差が問題になることはない。しかしながら、近年、
温度計は、さまざまな用途で使用できる比較的測定範囲
の広いものが求められており、測定範囲が広がると測定
誤差が問題となることがある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】サーミスタなどのよう
に検出対象となる温度等の物理量の変化に応じて抵抗値
をまたは容量を変化するセンサーと、その出力と比較し
て検出値を求めるための基準素子となる抵抗値あるいは
容量とを備えた測定装置においては、測定範囲を広げた
ときに、その測定範囲を１つの基準素子でカバーするの
ではなく、センサーの特性の変化に応じて所定の測定範
囲を補正するのに適した基準素子を複数用意し、これら
を切換えて測定することにより測定誤差を小さくでき
る。このため、サーミスタおよび基準素子をＲＣ発振回
路に組込み、その発振周波数を測定することによって検
出値を求められるようにした測定装置が開発されてお
り、ＲＣ発振回路に接続される複数の基準素子を切換え
ることによりその基準素子の適用範囲ごとに補正用の発
振周波数を得てサーミスタの出力を補正できるので広い
測定範囲にわたり精度の良い測定値が得られる。

【０００４】このように、複数の基準素子を用いる場
合、それぞれの基準素子に適合し、割当てられた測定範
囲（割当範囲またはレンジ）により、測定範囲全体をカ
バーすることにより精度の高い測定値が得られる。しか
しながら、これらの割当範囲の境界においては、それぞ
れの補正された検出値に必ずしも一致するとは限らず、
基準素子によって得られる補正のためのデータが異なる
と差が生じ、複数の割当範囲に跨った範囲で測定温度が
変化すると、得られた測定温度の変化にギャップが生じ
てしまう。このため、このような測定結果が測定装置の
異常としてユーザに捉えられたり、ギャップ前後（複数
のレンジ）のどちらの検出値を採用すべきかなどの問題
が生じる。

【０００５】そこで、本発明においては、複数の基準素
子を切換えて精度の高い測定ができるＲＣ発振回路を用
いた測定装置において、検出値が各基準素子に割当られ
た範囲の境界を跨って計測されるときであっても、検出
値にギャップが生じない測定装置および測定方法を提供
することを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】このため、本発明の、検
出対象となる温度などの物理量の変化に応じて抵抗値ま
たは容量が変動するセンサーと、このセンサーおよび基
準となる抵抗値または容量を備えた複数の基準素子を切
換えて発振可能なＲＣ発振回路と、このＲＣ発振回路を
用いてセンサーによる検出用の発振周波数を測定すると
共に、複数の基準素子のうち、検出用の発振周波数が割
当範囲に該当する第１の基準素子を選択して第１の発振
周波数を測定し、検出用の発振周波数に基づく物理量の
検出値を第１の発振周波数によって補正可能な第１の信
号処理手段を備えた処理手段とを有する測定装置におい
ては、この処理手段に、さらに、第１の発振周波数が第
１の基準素子の割当範囲の境界付近のときは、複数の基
準素子のうち、隣接あるいは重複する割当範囲に該当す
る第２の基準素子を選択して第２の発振周波数を測定
し、これら第１および第２の発振周波数によって物理量
の検出値を補正する第２の信号処理手段を設けるように
している。

【０００７】また、本発明の、検出対象となる温度など
の物理量の変化に応じて抵抗値または容量が変動するセ
ンサーおよび基準となる抵抗値または容量を備えた複数
の基準素子を含むＲＣ発振回路を用いて物理量の検出値
を求める測定方法においては、センサーによる検出用の
発振周波数を測定すると共に、複数の基準素子のうち、
検出用の発振周波数が割当範囲に該当する第１の基準素
子を選択して、検出用の発振周波数に基づく物理量の検
出値を第１の発振周波数によって補正して求める第１の
工程に加え、第１の発振周波数が第１の基準素子の割当
範囲の境界付近のときは、複数の基準素子のうち、隣接
あるいは重複する割当範囲に該当する第２の基準素子を
選択して第２の発振周波数を測定し、これら第１および
第２の発振周波数によって物理量の検出値を補正して求
める第２の工程を設けるようにしている。

【０００８】したがって、本発明の測定装置および測定
方法においては、測定装置の処理手段に設けられた第２
の信号処理手段あるいは測定方法に設けられた第２の工
程により、第１の基準素子の割当範囲の境界付近では、
隣接あるいは重複する割当範囲に該当する第２の基準素
子による第２の発振周波数が測定され、第１の発振周波
数のみならず第２の発振周波数も加味した補正が行われ
る。このため、物理量が変化して検出用の発振周波数が
第１の基準素子の測定範囲から第２の基準素子の割当範
囲に移行するときに検出値にギャップが生じたり、検出
値が反転するような現象を防止することができる。

【０００９】境界付近において、第２の基準素子の発振
周波数を用いて隣接する割当範囲の間で滑らかに検出値
を変化させるには、第１の基準素子の発振周波数による
検出値と、第２の基準素子の発振周波数による検出値と
を平均したり、あるいは、検出値が第１の基準素子と第
２の基準素子の各レンジに属する比率などを考慮した重
み付け平均する方法がある。このように、複数の基準素
子を用いた測定装置および測定方法においては、検出値
が複数の基準素子の割当範囲の境界付近に相当する値と
なり、それぞれの割当範囲に移行しながら測定が行われ
ても検出値にはギャップが生じない測定装置および測定
方法を提供することができる。

【００１０】さらに、定期的に物理量の検出値を求める
測定装置または測定方法においては、検出値を補正して
求めるための第１あるいは第２の発振周波数の測定をセ
ンサーで測定する度に行っても勿論良い。しかしなが
ら、検出値が所定の範囲に収まるときは第１または第２
の発振周波数が変化する可能性は少ない。このため、セ
ンサーを用いて検出値を求めるタイミングより長い予め
設定された所定の時間は、事前に測定された第１または
第２の発振周波数を用いることにより基準素子の測定に
かかる時間を削減でき、その処理に使われる消費電力を
省くことができる。そして、所定の時間が経過したり、
検出値が大きく移動したときは第１の発振周波数、さら
に必要に応じて第２の発振周波数を測定することにより
精度の良い検出値を得ることができる。

【００１１】温度を測定対象の物理量とする測定装置お
よび測定方法は、センサーにサーミスタを採用し、基準
素子に抵抗を用いることができ、広い測定範囲で測定誤
差の小さな高精度の温度測定装置を低コストで提供する
ことができる。もちろん湿度、圧力等を測定するための
センサー素子を用いたり、基準素子として容量可変のコ
ンデンサを用いる測定装置とすることもできる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に図面を参照して本発明の実
施の形態を示し、本発明につき、さらに説明する。図１
に、本発明の測定装置の例として、センサーにサーミス
タを用いた測定装置１０の概略構成をブロック図を用い
て示してある。本例の測定装置１０は、温度によって抵
抗値が変動するサーミスタ２がセンサーとして採用され
ている。このサーミスタ２に対し抵抗値が異なる３本の
基準抵抗１４、１５および１６が並列に接続されてお
り、スイッチ１７によりサーミスタ２と基準抵抗１４、
１５および１６のいずれかがオペアンプ１８および容量
１９と接続され、その抵抗値に基づく発振周波数が得ら
れるＲＣ発振回路１１が構成されるようになっている。
ＲＣ発振回路１１から出力された発振信号は信号処理部
２１によって処理され検出値として出力される。この信
号処理部２１は、基準抵抗１４、１５および１６のうち
割当範囲（レンジ）の基準抵抗を選択して発振周波数を
測定する第１の信号処理機能２１ａと、レンジの境界近
傍における処理をする第２の信号処理機能２１ｂを備え
ている。

【００１３】第１の信号処理機能２１ａは、スイッチ１
７を用いてサーミスタ２と３本の基準抵抗１４、１５お
よび１６とのいずれかを切り換えてオペアンプ１８と並
列に接続する機能を備えている。そして、サーミスタ２
の検出用の発振周波数ｆ０を測定し、その後、３本の基
準抵抗１４、１５および１６の中から検出用の発振周波
数ｆ０が含まれるレンジの基準抵抗、例えば、基準抵抗
１４を選択して補正用の発振周波数ｆ１を測定する。し
たがって、第１の信号処理機能２１ａにより、複数の基
準抵抗の中から発振周波数ｆ０の補正に適したレンジの
第１の基準抵抗（例えば、基準抵抗１４）を選択し、そ
の第１の発振周波数を測定して検出用の発振周波数を補
正することができる。このため、複数の基準抵抗それぞ
れに、センサーの出力を補正する異なった範囲（温度測
定範囲）を割当てることができる。すなわち、センサー
の出力を精度良く補正するのに適した抵抗値を持つ基準
抵抗を複数用意し、これらを適宜に選択して利用できる
ので広い範囲にわたり精度の高い測定値（検出値）を得
ることができる。

【００１４】第２の信号処理機能２１ｂは、サーミスタ
２によって検出された発振周波数ｆ０が、第１の基準抵
抗として選択された基準抵抗１４の割当範囲の境界付近
に相当するか否かを判断し、境界付近のときは、それに
隣接あるいは重複する割当範囲に該当する基準抵抗、例
えば、基準抵抗１５をスイッチ１７で選択して第２の発
振周波数ｆ２を測定する。そして、これら第１の発振周
波数ｆ１および第２の発振周波数ｆ２によって平均ある
いは重み付け平均により発振周波数ｆｏを補正し、その
ときの検出値Ｔを算出する。したがって、第２の信号処
理機能２１ｂにより基準抵抗のレンジの境界部分におい
ては、それぞれのレンジを担当する２つの基準抵抗の発
振周波数を用いて補正できるのでレンジの境界で検出値
Ｔの値が急変することを防止できる。

【００１５】本例の信号処理部２１は、さらに、基準抵
抗の発振周波数の測定の重点を判断する第３の信号処理
機能２１ｃを備えている。検出対象の温度変化がそれほ
ど大きくない場合、例えば、１０秒ピッチでセンサーに
よる検出用の発振周波数ｆ０を測定するとｆ０の値は、
ほとんど変化しない。したがって、これを補正するため
の基準抵抗、例えば基準抵抗１４を接続したときの発振
周波数ｆ１も、ほとんど変化しない。このため、センサ
ーの発振周波数ｆ０を測定する度に基準抵抗１４の発振
周波数ｆ１を測定する必要がないので、第３の信号処理
機能２１ｃは発振周波数ｆ０の変化が所定の範囲内であ
れば基準抵抗を用いた発振周波数の測定を行わないよう
にして、無駄な電力消費を抑えると共に処理速度を向上
させている。第３の信号処理機能２１ｃは、センサーを
用いた発振周波数ｆ０が所定の範囲を超えて変化する
と、そのレンジに該当する基準抵抗を用いた発振周波数
ｆ１、さらに、その境界近傍であれば第２の基準抵抗を
用いた発振周波数ｆ２の測定を上述した第１の信号処理
機能２１ａあるいは第２の信号処理機能２１ｂを用いて
行う。また、センサーを用いた発振周波数ｆ０の変化が
所定の範囲内のときでも、所定の時間が経過すると基準
抵抗を用いて第１の発振周波数ｆ１、必要があれば第２
の発振周波数ｆ２も測定して更新し、最適な補正ができ
るようにしている。

【００１６】図２に、本例の温度測定装置１０を用いた
測定方法をフローチャートを用いて示してある。まず始
めに、ステップＳＴ１で、信号処理機能２１ａによりス
イッチ１７がサーミスタ２に切換えられ、オペアンプ１
８および容量１９とによりＲＣ発振回路１１が構成さ
れ、サーミスタの抵抗値に基づく発振周波数ｆ０が測定
される。ステップＳＴ２において、信号処理機能２１ｃ
により検出された発振周波数ｆ０の変化Δｆ０が所定の
範囲Ｆ以下であり、かつ基準抵抗を用いて発振周波数ｆ
１を測定した経過時間Ｓが所定の時間Ｓ０以下であるか
否かを確認する。このとき、条件を満たしている場合
は、ステップＳＴ１３へ移行し、事前に測定されたデー
タを用いて検出値Ｔ１を算出する。また、いずれかの条
件が異なると、ステップＳＴ１１において、信号処理機
能２１ａによりスイッチ１７がサーミスタ２から３本の
基準抵抗１４、１５および１６のうち、該当するレンジ
の第１の基準抵抗Ｒ１、例えば基準抵抗１４へ切換えら
れてＲＣ発振回路１１が構成される。そして、ステップ
ＳＴ１２において基準抵抗１４（Ｒ１）に基づく発振周
波数ｆ１が測定され、ステップＳＴ１３において、基準
抵抗Ｒ１の発振周波数ｆ１とサーミスタ２の発振周波数
ｆ０との周波数比から検出値Ｔ１が算出される。

【００１７】このようにして、ステップＳＴ１１、ステ
ップＳＴ１２およびステップＳＴ１３により基準抵抗Ｒ
１を用いて検出値Ｔ１を求める第１の工程（ステップＳ
Ｔ１０）の処理が行われる。

【００１８】次に、ステップＳＴ２１において、ステッ
プＳＴ１３で得られた検出値Ｔ１が該当する基準抵抗Ｒ
１の割当範囲の境界近傍の値であるか否かが判断され
る。たとえば、図３に示したように、基準抵抗Ｒ１の割
当範囲ｋ１レンジに隣接する基準抵抗Ｒ２の割当範囲ｋ
２レンジとの境界の温度ＴＢに対し±２℃の範囲が境界
近傍Ｂと定義されていると、検出値Ｔ１がこの境界近傍
Ｂに属しているかが判断される。この判断はサーミスタ
の発振周波数ｆ０を直に用いて行うことも、もちろん可
能である。検出値Ｔ１が境界近傍Ｂに入らないときは、
ステップＳＴ４０へ移行して、ステップＳＴ１３にて基
準抵抗Ｒ１により算出された検出値Ｔ１を検出値Ｔとし
て出力する。

【００１９】一方、ステップＳＴ２１において、検出値
Ｔ１が境界近傍Ｂに入るときは、信号処理機能２１ｂに
より基準抵抗Ｒ２を用いて検出値を算出する処理を行
う。また、ステップＳＴ３０において、ステップＳＴ２
同様に、信号処理機能２１ｃにより検出された発振周波
数ｆ０の変化Δｆ０が所定の範囲Ｆ以下であり、基準抵
抗の測定の経過時間Ｓが所定の時間Ｓ０以下であるか否
かを確認する。条件を満たしている場合は発振周波数ｆ
２の測定は行わず、ステップＳＴ２４において、事前に
測定されたデータに基づき検出値Ｔ２を算出する。ｆ０
の値が変化していたり、時間が経過していると、ステッ
プＳＴ２２において、図３に示したｋ２レンジの第２の
基準抵抗Ｒ２（本例では基準抵抗１５）にスイッチ１７
が切換えられ、基準抵抗１５とオペアンプ１８および容
量１９を備えたＲＣ発振回路１１が構成される。そし
て、ステップＳＴ２３で、基準抵抗Ｒ２に基づく発振周
波数ｆ２が測定され、ステップＳＴ２４において、サー
ミスタの発振周波数ｆ０との比から基準抵抗１５に基づ
く第２の検出値Ｔ２が算出される。

【００２０】このようにして、検出値Ｔ１およびＴ２が
得られるとステップＳＴ２５において、２つの検出値Ｔ
１およびＴ２を平均して検出値Ｔを求める。本例では、
検出値Ｔを境界近傍Ｂの領域における検出値Ｔ１の値に
基づく重み付け平均により求めており、以下の式（１）
より検出値Ｔを算出している。

【００２１】Ｔ＝｛Ｔ１×（ｎ＋３）＋Ｔ２×（５−ｎ）｝／８・・・（１）ここでｎは、ｋ１レンジの境界近傍Ｂをｎ等分したとき
に検出値Ｔ１の位置する区画であり、たとえば、境界近
傍ＴＢ±２℃を８等分すると、１区画は０．５℃ピッチ
となる。そして得られた検出値Ｔ１が境界値ＴＢから３
番目の区画に属するときは、ｎ＝３として式（１）を用
いて計算することにより検出値Ｔ１と検出値Ｔ２が重み
づけ平均された検出値Ｔを得ることができる。平均化の
方法は本例に限られないことはもちろんである。

【００２２】これらのステップＳＴ２１〜ステップＳＴ
２５により、基準抵抗のレンジの境界部分において、基
準抵抗Ｒ１およびＲ２の発振周波数ｆ１およびｆ２を用
いて検出値Ｔを求める第２の工程（ステップＳＴ２０）
の処理が行われる。

【００２３】ステップＳＴ４０において、このようにし
て求められた検出値Ｔが、そのときの測定値として出力
され表示されたり、あるいはメモリーなどに記録され
る。さらに、ステップＳＴ５０において、続いて測定す
るか否かが判断され、所定のサンプリング時間ごとに測
定を繰り返すときは、ステップＳＴ１へ戻り上記と同様
の処理を繰り返す。

【００２４】以上のように、本例の測定装置１０および
測定方法においては、境界近傍Ｂの領域で第１の検出値
Ｔ１および第２の検出値Ｔ２の両方を用いて検出値Ｔを
算出するようにしているので、測定対象が変化し検出用
の発振周波数が第１の基準抵抗の測定範囲から第２の基
準抵抗の割当範囲にわたって測定されるときに検出値に
ギャップが生じたり、検出値が反転するような現象を防
止することができる。さらに、割当範囲が隣合う第１の
基準抵抗と第２の基準抵抗とを用いて得られた検出値Ｔ
１と検出値Ｔ２を重み付け平均して検出値Ｔを得るよう
にしているので、境界付近で滑らかに変化するように検
出値を算出することができる。このように、本例の測定
装置は複数の基準抵抗を測定温度範囲に合せて切換えて
温度測定できるようになっており、広い温度範囲で精度
の高い検出値が得られる。さらに、それぞれの基準抵抗
の割当範囲の境界においても急激な検出値の変化のない
精度の高い検出値を得ることができ、測定対象となる温
度がどのような範囲を変化しても極めて精度の高い検出
値を得ることができる。また、基準抵抗を切換えるポイ
ントでギャップや検出値が反転するような現象が発生す
ることがないので、ユーザ等の信頼度の高いデータが得
られる測定装置および測定方法を提供できる。

【００２５】なお、上記では３本の基準抵抗を用いた例
を説明しているが、基準抵抗の本数は、２本でも良く、
あるいは４本以上であってももちろん良い。さらに、セ
ンサーとしてサーミスタの代わりに、温度によって容量
が変動する容量可変型のコンデンサを用いても、本発明
と同様に適用できる。たとえば、サーミスタの代わりに
温度特性を有する可変容量型コンデンサを配置すると共
に、複数の基準抵抗素子の代わりに、複数の基準容量コ
ンデンサを配置することができる。また、本発明の測定
装置および測定方法は、温度以外の物理量、たとえば、
圧力等の測定をするための測定装置あるいは測定方法に
対しても、もちろん適用可能である。

【００２６】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明の測定装
置および測定方法においては、信号処理手段により、第
１の基準素子の割当範囲の境界付近では、隣接あるいは
重複する割当範囲に該当する第２の基準素子による第２
の発振周波数が測定され、第１の発振周波数および第２
の発振周波数の両方を加味して検出値が算出される。し
たがって、測定対象の物理量が変化して検出用の発振周
波数が第１の基準素子の測定範囲から第２の基準素子の
割当範囲に移行するときに、それぞれの基準素子に基づ
く検出値を平均したり重み付け平均することで滑らかに
変化するように検出値が得られるので検出値にギャップ
が生じたり、検出値が反転するような現象を防止するこ
とができる。したがって、測定範囲が広く、どの測定範
囲でも精度の高い検出値が確実に得られる信頼性の高い
測定装置および測定方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る温度計を示すブロック図
である。

【図２】本発明の実施例に係る図１の測定方法を示すフ
ローチャートである。

【図３】本発明の実施例に係る図１の基準抵抗のレンジ
の境界付近に該当する例を示す模式図である。

【符号の説明】

２・・サーミスタ１０・・測定装置１１・・発振回路１５、１６・・基準抵抗値１７・・スイッチ１８・・オペアンプ１９・・容量２１ａ・・第１の信号処理機能２１ｂ・・第２の信号処理機能２１ｃ・・第３の信号処理機能

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】検出対象となる物理量の変化に応じて抵
抗値または容量が変動するセンサーと、このセンサーおよび基準となる抵抗値または容量を備え
た複数の基準素子を切換えて発振可能なＲＣ発振回路
と、このＲＣ発振回路を用いて前記センサーによる検出用の
発振周波数を測定すると共に、前記複数の基準素子のう
ち、前記検出用の発振周波数が割当範囲に該当する第１
の基準素子を選択して第１の発振周波数を測定し、前記
検出用の発振周波数に基づく前記物理量の検出値を前記
第１の発振周波数によって補正可能な第１の信号処理手
段を備えた処理手段とを有し、この処理手段は、前記第１の発振周波数が前記第１の基
準素子の割当範囲の境界付近のときは、前記複数の基準
素子のうち、隣接あるいは重複する割当範囲に該当する
第２の基準素子を選択して第２の発振周波数を測定し、
これら第１および第２の発振周波数によって前記物理量
の検出値を補正する第２の信号処理手段を備えているこ
とを特徴とする測定装置。
【請求項２】請求項１において、前記第２の信号処理
手段は、前記第１の発振周波数に基づき算出される第１
の検出値と、前記第２の発振周波数に基づき算出される
第２の検出値とを平均して前記物理量の検出値を算出可
能であることを特徴とする測定装置。
【請求項３】請求項２において、前記第２の信号処理
手段は、前記第１の基準素子の割当範囲、および前記第
２の基準素子の割当範囲に基づき、前記第１および第２
の検出値を重み付け平均して前記物理量の検出値を算出
可能であることを特徴とする測定装置。
【請求項４】請求項１において、前記処理手段は定期
的に物理量の検出を行い、前記第１または第２の発振周
波数を測定した後、所定の時間、前記検出用の発振周波
数に基づく前記物理量の検出値が所定の範囲のときには
前記第１または第２の発振周波数の測定を行わずに予め
測定された第１および第２の発振周波数に基づき前記物
理量の検出値を補正する手段を備えていることを特徴と
する測定装置。
【請求項５】請求項１において、前記センサーは温度
を検出するサーミスタであり、前記基準素子は抵抗であ
ることを特徴とする測定装置。
【請求項６】検出対象となる物理量の変化に応じて抵
抗値または容量が変動するセンサーおよび基準となる抵
抗値または容量を備えた複数の基準素子を含むＲＣ発振
回路を用いて前記物理量の検出値を求める測定方法にお
いて、前記センサーによる検出用の発振周波数を測定すると共
に、前記複数の基準素子のうち、前記検出用の発振周波
数が割当範囲に該当する第１の基準素子を選択して、前
記検出用の発振周波数に基づく前記物理量の検出値を前
記第１の発振周波数によって補正して求める第１の工程
と、前記第１の発振周波数が前記第１の基準素子の割当範囲
の境界付近のときは、前記複数の基準素子のうち、隣接
あるいは重複する割当範囲に該当する第２の基準素子を
選択して第２の発振周波数を測定し、これら第１および
第２の発振周波数によって前記物理量の検出値を補正し
て求める第２の工程とを有することを特徴とする測定方
法。
【請求項７】請求項６において、前記第２の工程で
は、前記第１の発振周波数に基づき算出される第１の検
出値と、前記第２の発振周波数に基づき算出される第２
の検出値とを平均して前記物理量の検出値を算出するこ
とを特徴とする測定方法。
【請求項８】請求項７において、前記第２の工程で
は、前記第１の基準素子の割当範囲、および前記第２の
基準素子の割当範囲に基づき、前記第１および第２の検
出値を重み付け平均して前記物理量の検出値を算出する
ことを特徴とする測定方法。
【請求項９】請求項６において、前記第１の工程で
は、定期的に物理量の検出を行い、前記第１または第２
の発振周波数を測定した後、所定の時間では、前記検出
用の発振周波数に基づく前記物理量の検出値が所定の範
囲のときには前記第１または第２の発振周波数の測定を
行わずに予め測定された第１および第２の発振周波数に
基づき前記物理量の検出値を補正することを特徴とする
測定方法。