JPH11248072A - ロータリジョイント - Google Patents
ロータリジョイントInfo
- Publication number
- JPH11248072A JPH11248072A JP10064301A JP6430198A JPH11248072A JP H11248072 A JPH11248072 A JP H11248072A JP 10064301 A JP10064301 A JP 10064301A JP 6430198 A JP6430198 A JP 6430198A JP H11248072 A JPH11248072 A JP H11248072A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- supply path
- rotary joint
- rotor
- side supply
- floating sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L27/00—Adjustable joints, Joints allowing movement
- F16L27/08—Adjustable joints, Joints allowing movement allowing adjustment or movement only about the axis of one pipe
- F16L27/0804—Adjustable joints, Joints allowing movement allowing adjustment or movement only about the axis of one pipe the fluid passing axially from one joint element to another
- F16L27/0808—Adjustable joints, Joints allowing movement allowing adjustment or movement only about the axis of one pipe the fluid passing axially from one joint element to another the joint elements extending coaxially for some distance from their point of separation
- F16L27/0824—Adjustable joints, Joints allowing movement allowing adjustment or movement only about the axis of one pipe the fluid passing axially from one joint element to another the joint elements extending coaxially for some distance from their point of separation with ball or roller bearings
- F16L27/0828—Adjustable joints, Joints allowing movement allowing adjustment or movement only about the axis of one pipe the fluid passing axially from one joint element to another the joint elements extending coaxially for some distance from their point of separation with ball or roller bearings having radial bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L27/00—Adjustable joints, Joints allowing movement
- F16L27/08—Adjustable joints, Joints allowing movement allowing adjustment or movement only about the axis of one pipe
- F16L27/0804—Adjustable joints, Joints allowing movement allowing adjustment or movement only about the axis of one pipe the fluid passing axially from one joint element to another
- F16L27/0808—Adjustable joints, Joints allowing movement allowing adjustment or movement only about the axis of one pipe the fluid passing axially from one joint element to another the joint elements extending coaxially for some distance from their point of separation
- F16L27/0812—Adjustable joints, Joints allowing movement allowing adjustment or movement only about the axis of one pipe the fluid passing axially from one joint element to another the joint elements extending coaxially for some distance from their point of separation with slide bearings
- F16L27/082—Adjustable joints, Joints allowing movement allowing adjustment or movement only about the axis of one pipe the fluid passing axially from one joint element to another the joint elements extending coaxially for some distance from their point of separation with slide bearings having axial sealing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Joints Allowing Movement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 各供給路中で金属イオンを混入させないで研
磨液や純水などの液体を固定側から回転側に供給でき、
また、超高精度の鏡面加工に害を及ぼす異物を供給路な
どに付着させず、特に、ポリッシングマシンやラッピン
グマシンなどの研磨装置で半導体ウエーハの超高精度の
鏡面加工を行なうのに最適な技術の提供。 【解決手段】 固定側ボディ１ａと、フローティングシ
ート２ａと、ロータ３ａと、を備えたロータリジョイン
ト１Ａにおいて、少なくとも空間室４の底部５とボディ
側供給路７とフローティングシート供給路１１とロータ
側供給路１５との壁面がフッ素樹脂材で形成されている
構成。
磨液や純水などの液体を固定側から回転側に供給でき、
また、超高精度の鏡面加工に害を及ぼす異物を供給路な
どに付着させず、特に、ポリッシングマシンやラッピン
グマシンなどの研磨装置で半導体ウエーハの超高精度の
鏡面加工を行なうのに最適な技術の提供。 【解決手段】 固定側ボディ１ａと、フローティングシ
ート２ａと、ロータ３ａと、を備えたロータリジョイン
ト１Ａにおいて、少なくとも空間室４の底部５とボディ
側供給路７とフローティングシート供給路１１とロータ
側供給路１５との壁面がフッ素樹脂材で形成されている
構成。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固定側から回転軸
側へ流体を供給したりあるいは回収するためのロータリ
ジョイントに関し、特に自動研磨装置におけるスピンド
ル軸等に接続して半導体ウエーハに超高精度の平坦加
工、鏡面加工を施すために研磨液や純水等を供給または
回収するのに最適なロータリジョイントに関する。
側へ流体を供給したりあるいは回収するためのロータリ
ジョイントに関し、特に自動研磨装置におけるスピンド
ル軸等に接続して半導体ウエーハに超高精度の平坦加
工、鏡面加工を施すために研磨液や純水等を供給または
回収するのに最適なロータリジョイントに関する。
【０００２】
【従来の技術】集積回路の基板として使用される重要な
ウエーハは、機器そのものの小型化に伴うより一層の極
薄化と、生産性の観点からより一層の拡径化と、歩留ま
りの観点からより一層の超高精度の平坦度および鏡面加
工精度が厳しく要求される。一般的に前記半導体ウエー
ハは、円柱状のシリコン結晶体を一定の厚さにスライス
した後、さらに所望の厚さにするために研削加工を行な
っている。この研削加工において、カップホイールダイ
ヤモンド砥石で研削するだけでは半導体ウエーハに研削
によるダメージが残って、昨今要求される平坦精度と鏡
面加工の超高精度が得にくいことから、この研削加工後
にさらに研磨加工が行なわれている。
ウエーハは、機器そのものの小型化に伴うより一層の極
薄化と、生産性の観点からより一層の拡径化と、歩留ま
りの観点からより一層の超高精度の平坦度および鏡面加
工精度が厳しく要求される。一般的に前記半導体ウエー
ハは、円柱状のシリコン結晶体を一定の厚さにスライス
した後、さらに所望の厚さにするために研削加工を行な
っている。この研削加工において、カップホイールダイ
ヤモンド砥石で研削するだけでは半導体ウエーハに研削
によるダメージが残って、昨今要求される平坦精度と鏡
面加工の超高精度が得にくいことから、この研削加工後
にさらに研磨加工が行なわれている。
【０００３】前記研磨加工では、相互に回転する研磨プ
レートと、半導体ウエーハのチャック機構を下端に備え
たスピンドル軸との間に挟持して行なうものであって、
この研磨加工部位には、常時研磨液や純水等の液体を供
給または回収しながら行なっている。ところで、前記の
ような回転している回転軸に外部から液体を供給したり
あるいは回収するためには、固定側と回転側を有したロ
ータリジョイントが使用されるが、従来、このようなロ
ータリジョイントでは、耐食性や耐久性を考慮してステ
ンレススチールなどの金属材料を用いて製造されてい
る。つまり、液体の供給路を構成する部位まで金属で形
成されている。
レートと、半導体ウエーハのチャック機構を下端に備え
たスピンドル軸との間に挟持して行なうものであって、
この研磨加工部位には、常時研磨液や純水等の液体を供
給または回収しながら行なっている。ところで、前記の
ような回転している回転軸に外部から液体を供給したり
あるいは回収するためには、固定側と回転側を有したロ
ータリジョイントが使用されるが、従来、このようなロ
ータリジョイントでは、耐食性や耐久性を考慮してステ
ンレススチールなどの金属材料を用いて製造されてい
る。つまり、液体の供給路を構成する部位まで金属で形
成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ような従来の金属製のロータリジョイント、つまり供給
する液体が金属に晒されるようなロータリジョイントで
は、液体中に金属イオンが混入され、これが研磨加工中
の半導体ウエーハや研磨加工部位に供給されることによ
り前記半導体ウエーハや研磨加工部位がイオン化するた
め、雰囲気中のパーティクルが付着するという問題があ
った。また、金属面には研磨液中の異物を付着し易く、
これが剥離して供給されると研磨面を傷付けてしまうた
め、このような事故を防止するための付着物の洗浄等に
余分な手間がかかっている等の問題があった。
ような従来の金属製のロータリジョイント、つまり供給
する液体が金属に晒されるようなロータリジョイントで
は、液体中に金属イオンが混入され、これが研磨加工中
の半導体ウエーハや研磨加工部位に供給されることによ
り前記半導体ウエーハや研磨加工部位がイオン化するた
め、雰囲気中のパーティクルが付着するという問題があ
った。また、金属面には研磨液中の異物を付着し易く、
これが剥離して供給されると研磨面を傷付けてしまうた
め、このような事故を防止するための付着物の洗浄等に
余分な手間がかかっている等の問題があった。
【０００５】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであって、その目的とするところは、特に、
各供給路中で金属イオンを混入させないで研磨液や純水
などの液体を固定側から回転側に供給でき、また、超高
精度の鏡面加工に害を及ぼす異物を供給路などに付着さ
せず、特に、ポリッシングマシンやラッピングマシンな
どの研磨装置で半導体ウエーハの超高精度の鏡面加工を
行なうのに最適なロータリジョイントを提供することに
ある。
されたものであって、その目的とするところは、特に、
各供給路中で金属イオンを混入させないで研磨液や純水
などの液体を固定側から回転側に供給でき、また、超高
精度の鏡面加工に害を及ぼす異物を供給路などに付着さ
せず、特に、ポリッシングマシンやラッピングマシンな
どの研磨装置で半導体ウエーハの超高精度の鏡面加工を
行なうのに最適なロータリジョイントを提供することに
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明請求項１記載のロータリジョイントでは、ボデ
ィ本体の一端側を開口して設けた空間室の底部と該ボデ
ィ本体の外表面に開設したボディ側供給口とがボディ側
供給路で連通された固定側ボディと、前記空間室底部側
にボス部が摺動自在に嵌合され該ボス部から先端摺動面
中心までフローティングシート供給路が貫通されたフロ
ーティングシートと、後端摺動面を前記先端摺動面に密
着させると共に先端部を前記固定側ボディから突出させ
た状態で該固定側ボディに回転自在に軸支され前記後端
摺動面中心から先端部までロータ側供給路を貫通させた
ロータと、を備えたロータリジョイントにおいて、少な
くとも前記空間室底部とボディ側供給路とフローティン
グシート供給路とロータ側供給路との壁面が流体への金
属イオン流入防止材で形成されている構成とした。
に本発明請求項１記載のロータリジョイントでは、ボデ
ィ本体の一端側を開口して設けた空間室の底部と該ボデ
ィ本体の外表面に開設したボディ側供給口とがボディ側
供給路で連通された固定側ボディと、前記空間室底部側
にボス部が摺動自在に嵌合され該ボス部から先端摺動面
中心までフローティングシート供給路が貫通されたフロ
ーティングシートと、後端摺動面を前記先端摺動面に密
着させると共に先端部を前記固定側ボディから突出させ
た状態で該固定側ボディに回転自在に軸支され前記後端
摺動面中心から先端部までロータ側供給路を貫通させた
ロータと、を備えたロータリジョイントにおいて、少な
くとも前記空間室底部とボディ側供給路とフローティン
グシート供給路とロータ側供給路との壁面が流体への金
属イオン流入防止材で形成されている構成とした。
【０００７】請求項２記載のロータリジョイントでは、
請求項１記載のロータリジョイントにおいて、前記空間
室底部とボディ側供給路とフローティングシート供給路
とロータ側供給路との壁面が各下穴に流体への金属イオ
ン流入防止材をコーティングすることにより形成されて
いる構成とした。
請求項１記載のロータリジョイントにおいて、前記空間
室底部とボディ側供給路とフローティングシート供給路
とロータ側供給路との壁面が各下穴に流体への金属イオ
ン流入防止材をコーティングすることにより形成されて
いる構成とした。
【０００８】請求項３記載のロータリジョイントでは、
請求項１記載のロータリジョイントにおいて、前記固定
側ボディが樹脂で形成されフローティングシート供給路
とロータ側供給路とが樹脂で形成したブッシュを各下穴
全体に貫通して装着することにより形成されている構成
とした。
請求項１記載のロータリジョイントにおいて、前記固定
側ボディが樹脂で形成されフローティングシート供給路
とロータ側供給路とが樹脂で形成したブッシュを各下穴
全体に貫通して装着することにより形成されている構成
とした。
【０００９】請求項４記載のロータリジョイントでは、
請求項１記載のロータリジョイントにおいて、前記固定
側ボディとフローティングシートとロータとが樹脂によ
り形成されている構成とした。
請求項１記載のロータリジョイントにおいて、前記固定
側ボディとフローティングシートとロータとが樹脂によ
り形成されている構成とした。
【００１０】請求項５記載のロータリジョイントでは、
請求項１記載のロータリジョイントにおいて、前記フロ
ーティングシートのボス部が先端摺動面と一体にセラミ
ックスで形成されている構成とした。
請求項１記載のロータリジョイントにおいて、前記フロ
ーティングシートのボス部が先端摺動面と一体にセラミ
ックスで形成されている構成とした。
【００１１】請求項６記載のロータリジョイントでは、
請求項３または請求項４記載のロータリジョイントにお
いて、前記樹脂がテトラフルオロエチレンまたはポリア
セタールを原料としている構成とした。
請求項３または請求項４記載のロータリジョイントにお
いて、前記樹脂がテトラフルオロエチレンまたはポリア
セタールを原料としている構成とした。
【００１２】
【作用】請求項１および請求項２記載のロータリジョイ
ントでは、ボディ側供給路から供給された液体は、ま
ず、その固定側ボディ内で空間室底部に供給され、この
空間室底部からフローティングシート供給路から先端摺
動面と後端摺動面の密着部とを介しロータ側供給路へ供
給され、このロータ側供給路の先端からスピンドル等の
回転軸内に供給されるものである。この場合、前記ボデ
ィ側供給路と空間室底部とフローティングシート供給路
とロータ側供給路の壁面が流体への金属イオン流入防止
材、例えば、樹脂、セラミックスで形成されているの
で、金属イオンの混入しない液体を研磨部位に供給し、
雰囲気中のパーティクルを付着させないで超高精度の鏡
面加工を行なった半導体ウエーハを製造することができ
る。また、この場合、固定側ボディとフローティングシ
ート、ロータとを金属で形成し、そのボディ側供給路と
空間室底部とフローティングシート供給路とロータ側供
給路を樹脂、セラミックス等でコーティングしたもので
は、前記性能を維持し、超高精度の鏡面加工に害を及ぼ
す異物を供給路などに付着させないようにしたうえ、耐
久性も向上させることができる。
ントでは、ボディ側供給路から供給された液体は、ま
ず、その固定側ボディ内で空間室底部に供給され、この
空間室底部からフローティングシート供給路から先端摺
動面と後端摺動面の密着部とを介しロータ側供給路へ供
給され、このロータ側供給路の先端からスピンドル等の
回転軸内に供給されるものである。この場合、前記ボデ
ィ側供給路と空間室底部とフローティングシート供給路
とロータ側供給路の壁面が流体への金属イオン流入防止
材、例えば、樹脂、セラミックスで形成されているの
で、金属イオンの混入しない液体を研磨部位に供給し、
雰囲気中のパーティクルを付着させないで超高精度の鏡
面加工を行なった半導体ウエーハを製造することができ
る。また、この場合、固定側ボディとフローティングシ
ート、ロータとを金属で形成し、そのボディ側供給路と
空間室底部とフローティングシート供給路とロータ側供
給路を樹脂、セラミックス等でコーティングしたもので
は、前記性能を維持し、超高精度の鏡面加工に害を及ぼ
す異物を供給路などに付着させないようにしたうえ、耐
久性も向上させることができる。
【００１３】請求項３記載のロータリジョイントでは、
固定側ボディのボディ側供給路と空間室底部が固定側ボ
ディを形成する樹脂材で直接形成され、フローティング
シート供給路とロータ側供給路とが樹脂のブッシュにて
形成されるため、この場合も超高精度の鏡面加工に害を
及ぼす異物を供給路などに付着させないようにしたう
え、金属イオンの混入しない液体を研磨部位に供給し、
雰囲気中のパーティクルを付着させないで超高精度の鏡
面加工を行なった半導体ウエーハを歩留まりよく製造す
ることができる。
固定側ボディのボディ側供給路と空間室底部が固定側ボ
ディを形成する樹脂材で直接形成され、フローティング
シート供給路とロータ側供給路とが樹脂のブッシュにて
形成されるため、この場合も超高精度の鏡面加工に害を
及ぼす異物を供給路などに付着させないようにしたう
え、金属イオンの混入しない液体を研磨部位に供給し、
雰囲気中のパーティクルを付着させないで超高精度の鏡
面加工を行なった半導体ウエーハを歩留まりよく製造す
ることができる。
【００１４】請求項４記載のロータリジョイントでは、
固定側ボディのボディ側供給路と空間室底部が固定側ボ
ディを形成する樹脂材で直接形成され、同様に、フロー
ティングシート供給路がフローティングシートを形成す
る樹脂で直接形成され、ロータ側供給路がロータを形成
する樹脂で直接形成されるため、構造を簡単にし、超高
精度の鏡面加工に害を及ぼす異物を供給路などに付着さ
せないようにしたうえ、金属イオンの混入しない液体を
研磨部位に供給し、雰囲気中のパーティクルを付着させ
ないで超高精度の鏡面加工を行なった半導体ウエーハを
歩留まりよく製造することができる。
固定側ボディのボディ側供給路と空間室底部が固定側ボ
ディを形成する樹脂材で直接形成され、同様に、フロー
ティングシート供給路がフローティングシートを形成す
る樹脂で直接形成され、ロータ側供給路がロータを形成
する樹脂で直接形成されるため、構造を簡単にし、超高
精度の鏡面加工に害を及ぼす異物を供給路などに付着さ
せないようにしたうえ、金属イオンの混入しない液体を
研磨部位に供給し、雰囲気中のパーティクルを付着させ
ないで超高精度の鏡面加工を行なった半導体ウエーハを
歩留まりよく製造することができる。
【００１５】請求項５記載のロータリジョイントでは、
先端側摺動面とボス部をセラミックスで強固な一体構造
としたうえ、フローティングシート供給路が前記先端摺
動面を形成するセラミックスで直接形成されるため、金
属イオンの混入しない液体を研磨部位に供給し、雰囲気
中のパーティクルを付着させないで超高精度の鏡面加工
を行なった半導体ウエーハを歩留まりよく製造すること
ができる。
先端側摺動面とボス部をセラミックスで強固な一体構造
としたうえ、フローティングシート供給路が前記先端摺
動面を形成するセラミックスで直接形成されるため、金
属イオンの混入しない液体を研磨部位に供給し、雰囲気
中のパーティクルを付着させないで超高精度の鏡面加工
を行なった半導体ウエーハを歩留まりよく製造すること
ができる。
【００１６】請求項６記載のロータリジョイントでは、
固定側ボディ、フローティングシート、ロータ、または
フローティングシート供給路を形成するブッシュ、ロー
タ側供給路を形成するブッシュがテトラフルオロエチレ
ンまたはポリアセタールを原料とする樹脂材で直接形成
されているから、特に、超高精度の鏡面加工に害を及ぼ
す異物を供給路などに付着させないようにしたうえ、こ
の場合も金属イオンの混入しない液体を研磨部位に供給
し、雰囲気中のパーティクルを付着させないで超高精度
の鏡面加工を行なった半導体ウエーハを歩留まりよく製
造することができる。
固定側ボディ、フローティングシート、ロータ、または
フローティングシート供給路を形成するブッシュ、ロー
タ側供給路を形成するブッシュがテトラフルオロエチレ
ンまたはポリアセタールを原料とする樹脂材で直接形成
されているから、特に、超高精度の鏡面加工に害を及ぼ
す異物を供給路などに付着させないようにしたうえ、こ
の場合も金属イオンの混入しない液体を研磨部位に供給
し、雰囲気中のパーティクルを付着させないで超高精度
の鏡面加工を行なった半導体ウエーハを歩留まりよく製
造することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。図１は本発明における第１
の実施の形態のロータリジョイントを示す断面図であ
る。本実施の形態のロータリジョイント１Ａは、固定側
ボディ１ａと、フローティングシート２ａと、ロータ３
ａとを主要な構成としている。前記固定側ボディ１ａ
は、ボディ本体の一端側を開口して設けた円筒状の空間
室４、およびこの空間室４の底部５とこのボディ本体の
外表面に開設したボディ側供給口６とがボディ側供給路
７で連通するように、テトラフルオロエチレンを原料と
するフッ素樹脂（例えばデュポン社商標のテフロン）に
て一体に成形されている。尚、本実施の形態のボディ側
供給口６は、ボディ側供給路７と共に前記空間室４の軸
心と同一上である固定側ボディ本体の底部に配置されて
いる。
に基づいて詳細に説明する。図１は本発明における第１
の実施の形態のロータリジョイントを示す断面図であ
る。本実施の形態のロータリジョイント１Ａは、固定側
ボディ１ａと、フローティングシート２ａと、ロータ３
ａとを主要な構成としている。前記固定側ボディ１ａ
は、ボディ本体の一端側を開口して設けた円筒状の空間
室４、およびこの空間室４の底部５とこのボディ本体の
外表面に開設したボディ側供給口６とがボディ側供給路
７で連通するように、テトラフルオロエチレンを原料と
するフッ素樹脂（例えばデュポン社商標のテフロン）に
て一体に成形されている。尚、本実施の形態のボディ側
供給口６は、ボディ側供給路７と共に前記空間室４の軸
心と同一上である固定側ボディ本体の底部に配置されて
いる。
【００２３】前記フローティングシート２ａは、ディス
ク９の後面側にボス部８を突設することにより形成さ
れ、このボス部８は前記空間室の底部５に摺動自在に嵌
合されている。さらに前記ディスク９の前面側であって
ボス部８と同一軸心上に、先端摺動面となるシールリン
グ１０が固設され、前記ボス部８からこのシールリング
中心までフローティングシート供給路１１が貫通して設
けられている。尚、前記シールリング１０は、後述する
インサートシール１２と同質のセラミックス（例えばＳ
ｉＣ）で形成されている。
ク９の後面側にボス部８を突設することにより形成さ
れ、このボス部８は前記空間室の底部５に摺動自在に嵌
合されている。さらに前記ディスク９の前面側であって
ボス部８と同一軸心上に、先端摺動面となるシールリン
グ１０が固設され、前記ボス部８からこのシールリング
中心までフローティングシート供給路１１が貫通して設
けられている。尚、前記シールリング１０は、後述する
インサートシール１２と同質のセラミックス（例えばＳ
ｉＣ）で形成されている。
【００２４】前記ロータ３ａは、研磨装置などの回転軸
と接続する雄ねじ部１３を先端部に有し、この雄ねじ部
１３を前記固定側ボディ１ａから突出させ、その後方が
空間室４に軸受け１４で回転自在に軸支され、後端部に
は後端摺動面として前記シールリング１０に密着するイ
ンサートシール１２が固設され、さらにこのインサート
シール１２の中心から前記雄ねじ部１３までロータ側供
給路１５が貫通して設けられている。
と接続する雄ねじ部１３を先端部に有し、この雄ねじ部
１３を前記固定側ボディ１ａから突出させ、その後方が
空間室４に軸受け１４で回転自在に軸支され、後端部に
は後端摺動面として前記シールリング１０に密着するイ
ンサートシール１２が固設され、さらにこのインサート
シール１２の中心から前記雄ねじ部１３までロータ側供
給路１５が貫通して設けられている。
【００２５】そして、前記フローティングシート２ａと
ロータ３ａは金属（例えばステンレススチール）にて設
けられると共に、そのフローティングシート供給路１１
とロータ側供給路１５は、その下穴内面をフッ素樹脂に
てコーティングｃ（図中二点鎖線で示す）されることに
よって形成され、また、ボス部後端面側と雄ねじ部外周
面もフッ素樹脂にてコーティングｃされている。
ロータ３ａは金属（例えばステンレススチール）にて設
けられると共に、そのフローティングシート供給路１１
とロータ側供給路１５は、その下穴内面をフッ素樹脂に
てコーティングｃ（図中二点鎖線で示す）されることに
よって形成され、また、ボス部後端面側と雄ねじ部外周
面もフッ素樹脂にてコーティングｃされている。
【００２６】図中１６はシールリング１０がインサート
シール１２に密着する方向にディスク９を付勢するコイ
ルバネ、１７はフローティングシールの回り止め用ピ
ン、１８はフッ素樹脂加工したオーリング、１９はベア
リングシール部であってラビリンスリング２０を備えて
いる。２１はドレンである。
シール１２に密着する方向にディスク９を付勢するコイ
ルバネ、１７はフローティングシールの回り止め用ピ
ン、１８はフッ素樹脂加工したオーリング、１９はベア
リングシール部であってラビリンスリング２０を備えて
いる。２１はドレンである。
【００２７】本実施の形態のロータリジョイント１Ａ
は、前記のようにボディ側供給口６とボディ側供給路７
がボディ本体を一体成形したフッ素樹脂によって形成さ
れ、フローティングシート側供給路１１とロータ側供給
路１５が、金属製のフローティングシート２ａ，ロータ
３ａに設けた供給路下穴をフッ素樹脂でコーティング加
工することによって供給路内面側が金属部分から隔離さ
れた状態に形成されている。このため、このロータリジ
ョイント１Ａを介して研磨液や純水を固定側から回転側
に金属イオンを混入させないようにして供給することが
できる。従って、雰囲気中のパーティクルを付着させな
いで超高精度の鏡面加工を行なった半導体ウエーハを製
造することができる。また、フローティングシート、ロ
ータとを金属で形成したので、超高精度の鏡面加工に害
を及ぼす異物を供給路などに付着させないようにしたう
え、耐久性も向上させることができる。
は、前記のようにボディ側供給口６とボディ側供給路７
がボディ本体を一体成形したフッ素樹脂によって形成さ
れ、フローティングシート側供給路１１とロータ側供給
路１５が、金属製のフローティングシート２ａ，ロータ
３ａに設けた供給路下穴をフッ素樹脂でコーティング加
工することによって供給路内面側が金属部分から隔離さ
れた状態に形成されている。このため、このロータリジ
ョイント１Ａを介して研磨液や純水を固定側から回転側
に金属イオンを混入させないようにして供給することが
できる。従って、雰囲気中のパーティクルを付着させな
いで超高精度の鏡面加工を行なった半導体ウエーハを製
造することができる。また、フローティングシート、ロ
ータとを金属で形成したので、超高精度の鏡面加工に害
を及ぼす異物を供給路などに付着させないようにしたう
え、耐久性も向上させることができる。
【００２８】次に、図２に基づいて第２の実施の形態の
ロータリジョイント１Ｂを説明する。尚、本実施の形態
では、前記第１の実施の形態のロータリジョイント１Ａ
と同一の構成部分には、同一の符合を付してその具体的
な説明は省略する。本実施の形態のロータリジョイント
１Ｂは、固定側ボディ１ｂを前記同様にフッ素樹脂にて
一体成形されている。また、フローティングシート２ｂ
はフッ素樹脂にて貫通穴を大きくしたフローティングシ
ート枠体２４を形成し、ロータ３ｂは前記のように金属
製として貫通穴を大きくして形成し、それぞれ貫通穴に
フッ素樹脂にて形成したブッシュ２２、２３を挿入固着
することによってフローティングシート供給路１１、ロ
ータ側供給路１５が形成されていることに特徴がある。
図中２５はブッシュ２２とシールリング１０との間、ま
たブッシュ２３とインサートシール１２との間から浸入
する液体で固着面が分離するのを防止するフッ素ゴムの
オーリングである。また、２６は軸受け１４に液体が浸
入するのを防止するフッ素ゴムのオイルシールである。
前記フローティングシート２ｂに関して、フッ素樹脂で
形成したフローティングシート枠体２４に、さらにフッ
素樹脂で形成したブッシュ２２を挿入して固着するの
は、一体構造とすると、前記オーリング２５の狭隘なセ
ット溝が加工困難なためである。尚、本実施の形態のボ
ディ側供給口は、フローティングシート２ｂ、ロータ３
ｂとの軸心に直交するように固定側ボディ１ｂの外周面
に設けられている。
ロータリジョイント１Ｂを説明する。尚、本実施の形態
では、前記第１の実施の形態のロータリジョイント１Ａ
と同一の構成部分には、同一の符合を付してその具体的
な説明は省略する。本実施の形態のロータリジョイント
１Ｂは、固定側ボディ１ｂを前記同様にフッ素樹脂にて
一体成形されている。また、フローティングシート２ｂ
はフッ素樹脂にて貫通穴を大きくしたフローティングシ
ート枠体２４を形成し、ロータ３ｂは前記のように金属
製として貫通穴を大きくして形成し、それぞれ貫通穴に
フッ素樹脂にて形成したブッシュ２２、２３を挿入固着
することによってフローティングシート供給路１１、ロ
ータ側供給路１５が形成されていることに特徴がある。
図中２５はブッシュ２２とシールリング１０との間、ま
たブッシュ２３とインサートシール１２との間から浸入
する液体で固着面が分離するのを防止するフッ素ゴムの
オーリングである。また、２６は軸受け１４に液体が浸
入するのを防止するフッ素ゴムのオイルシールである。
前記フローティングシート２ｂに関して、フッ素樹脂で
形成したフローティングシート枠体２４に、さらにフッ
素樹脂で形成したブッシュ２２を挿入して固着するの
は、一体構造とすると、前記オーリング２５の狭隘なセ
ット溝が加工困難なためである。尚、本実施の形態のボ
ディ側供給口は、フローティングシート２ｂ、ロータ３
ｂとの軸心に直交するように固定側ボディ１ｂの外周面
に設けられている。
【００２９】以上説明してきたように、本実施の形態の
ロータリジョイント１Ｂは、前記のようにボディ側供給
口６とボディ側供給路７がボディ本体を一体成形したフ
ッ素樹脂によって形成され、フローティングシート側供
給路１１とロータ側供給路１５が、それぞれフッ素樹脂
で形成したブッシュによって形成された状態となってい
るから、液体を金属面に直接接触させないようにして流
通させることができる。従って、このロータリジョイン
ト１Ｂを介して研磨液や純水を固定側から回転側に金属
イオンを混入させないようにして供給することができ
る。
ロータリジョイント１Ｂは、前記のようにボディ側供給
口６とボディ側供給路７がボディ本体を一体成形したフ
ッ素樹脂によって形成され、フローティングシート側供
給路１１とロータ側供給路１５が、それぞれフッ素樹脂
で形成したブッシュによって形成された状態となってい
るから、液体を金属面に直接接触させないようにして流
通させることができる。従って、このロータリジョイン
ト１Ｂを介して研磨液や純水を固定側から回転側に金属
イオンを混入させないようにして供給することができ
る。
【００３０】次に、図３に基づいて第３の実施の形態の
ロータリジョイント１Ｃを説明する。尚、本実施の形態
でも、前記第１，第２の実施の形態のロータリジョイン
ト１Ａ，１Ｂと同一の構成部分には同一の符合を付して
その具体的な説明は省略する。本実施の形態のロータリ
ジョイント１Ｃは、固定側ボディ１ｃを前記同様にフッ
素樹脂にて一体成形し、フローティングシート２ｃは、
ボス部８とディスク９をフッ素樹脂で一体に成形して設
けると共に、金属（例えばステンレススチール）製のリ
ング３０でシールリング１０の外周を囲った状態にして
ディスク９とリング３０同士をボルト３１で固定するこ
とにより、シールリング１０をディスク先端面側に固着
させている。また、前記ボルト３１は、その頭部を空間
室４の底部側に設けた凹部３２に挿入した状態で使用す
ることによって、前記フローティングシートの回り止め
用ピン１７の作用を兼用させている。ロータ３ｃ側は前
記第２の実施の形態のロータ３ｂと同様な構成である。
ロータリジョイント１Ｃを説明する。尚、本実施の形態
でも、前記第１，第２の実施の形態のロータリジョイン
ト１Ａ，１Ｂと同一の構成部分には同一の符合を付して
その具体的な説明は省略する。本実施の形態のロータリ
ジョイント１Ｃは、固定側ボディ１ｃを前記同様にフッ
素樹脂にて一体成形し、フローティングシート２ｃは、
ボス部８とディスク９をフッ素樹脂で一体に成形して設
けると共に、金属（例えばステンレススチール）製のリ
ング３０でシールリング１０の外周を囲った状態にして
ディスク９とリング３０同士をボルト３１で固定するこ
とにより、シールリング１０をディスク先端面側に固着
させている。また、前記ボルト３１は、その頭部を空間
室４の底部側に設けた凹部３２に挿入した状態で使用す
ることによって、前記フローティングシートの回り止め
用ピン１７の作用を兼用させている。ロータ３ｃ側は前
記第２の実施の形態のロータ３ｂと同様な構成である。
【００３１】以上説明してきたように本実施の形態のロ
ータリジョイント１Ｃは、前記のように、ボディ側供給
口６とボディ側供給路７がボディ本体を一体成形したフ
ッ素樹脂によって形成され、フローティングシート側供
給路１１はフッ素樹脂によって直接供給路が形成され、
ロータ側供給路１５が金属部分にフッ素樹脂で形成した
ブッシュ２３を挿入することによって供給路が直接フッ
素樹脂によって形成された状態となって、液体を金属面
に直接接触させないようにして流通させることができ
る。従って、このロータリジョイント１Ｃを介して研磨
液や純水を固定側から回転側に金属イオンを混入させな
いようにして供給することができる。
ータリジョイント１Ｃは、前記のように、ボディ側供給
口６とボディ側供給路７がボディ本体を一体成形したフ
ッ素樹脂によって形成され、フローティングシート側供
給路１１はフッ素樹脂によって直接供給路が形成され、
ロータ側供給路１５が金属部分にフッ素樹脂で形成した
ブッシュ２３を挿入することによって供給路が直接フッ
素樹脂によって形成された状態となって、液体を金属面
に直接接触させないようにして流通させることができ
る。従って、このロータリジョイント１Ｃを介して研磨
液や純水を固定側から回転側に金属イオンを混入させな
いようにして供給することができる。
【００３２】次に、図４に基づいて第４の実施の形態の
ロータリジョイント１Ｄを説明する。尚、本実施の形態
でも、前記第１〜第３の実施の形態のロータリジョイン
ト１Ａ，１Ｂ，１Ｃと同一の構成部分には同一の符合を
付してその具体的な説明は省略する。本実施の形態のロ
ータリジョイント１Ｄは、固定側ボディ１ｄを前記同様
にフッ素樹脂にて一体成形し、フローティングシート２
ｄは、ボス部８の先端面を摺動面としてセラミックスで
一体に成形したシールリング１０を設けると共に、金属
製のディスク３３でシールリング１０の外周を囲った状
態にして固定することにより設けられている。ロータ３
ｄ側は前記第２の実施の形態のロータ３ｂと、フローテ
ィングシート２ｄの回り止め構造とベアリングのシール
構造は第１実施の形態の回り止め構造およびベアリング
のシール構造と同様な構成である。
ロータリジョイント１Ｄを説明する。尚、本実施の形態
でも、前記第１〜第３の実施の形態のロータリジョイン
ト１Ａ，１Ｂ，１Ｃと同一の構成部分には同一の符合を
付してその具体的な説明は省略する。本実施の形態のロ
ータリジョイント１Ｄは、固定側ボディ１ｄを前記同様
にフッ素樹脂にて一体成形し、フローティングシート２
ｄは、ボス部８の先端面を摺動面としてセラミックスで
一体に成形したシールリング１０を設けると共に、金属
製のディスク３３でシールリング１０の外周を囲った状
態にして固定することにより設けられている。ロータ３
ｄ側は前記第２の実施の形態のロータ３ｂと、フローテ
ィングシート２ｄの回り止め構造とベアリングのシール
構造は第１実施の形態の回り止め構造およびベアリング
のシール構造と同様な構成である。
【００３３】以上説明してきたように本実施の形態のロ
ータリジョイント１Ｄは、前記のように、ボディ側供給
口６とボディ側供給路７がボディ本体を一体成形したフ
ッ素樹脂によって形成され、フローティングシート側供
給路１１はセラミックスによって直接供給路が形成さ
れ、ロータ側供給路１５が金属部分にフッ素樹脂で形成
したブッシュ２３を挿入することによって供給路が直接
フッ素樹脂によって形成された状態となって、液体を金
属面に直接接触させないようにして流通させることがで
きる。従って、このロータリジョイント１Ｄを介して研
磨液や純水を固定側から回転側に金属イオンを混入させ
ないようにして供給することができる。
ータリジョイント１Ｄは、前記のように、ボディ側供給
口６とボディ側供給路７がボディ本体を一体成形したフ
ッ素樹脂によって形成され、フローティングシート側供
給路１１はセラミックスによって直接供給路が形成さ
れ、ロータ側供給路１５が金属部分にフッ素樹脂で形成
したブッシュ２３を挿入することによって供給路が直接
フッ素樹脂によって形成された状態となって、液体を金
属面に直接接触させないようにして流通させることがで
きる。従って、このロータリジョイント１Ｄを介して研
磨液や純水を固定側から回転側に金属イオンを混入させ
ないようにして供給することができる。
【００３４】次に、図５に基づいて第５の実施の形態の
ロータリジョイント１Ｅを説明する。尚、本実施の形態
でも、前記第１〜第４の実施の形態のロータリジョイン
ト１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄと同一の構成部分には同一の
符合を付してその具体的な説明は省略する。本実施の形
態のロータリジョイント１Ｅは、固定側ボディ１ｅ、フ
ローティングシート２ｅ、ロータ３ｅ共、全てそれぞれ
一体にしてポリアセタール樹脂にて設けられていること
に特徴がある。
ロータリジョイント１Ｅを説明する。尚、本実施の形態
でも、前記第１〜第４の実施の形態のロータリジョイン
ト１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄと同一の構成部分には同一の
符合を付してその具体的な説明は省略する。本実施の形
態のロータリジョイント１Ｅは、固定側ボディ１ｅ、フ
ローティングシート２ｅ、ロータ３ｅ共、全てそれぞれ
一体にしてポリアセタール樹脂にて設けられていること
に特徴がある。
【００３５】本実施の形態のロータリジョイント１Ｅ
は、前記のように、ボディ側供給口６とボディ側供給路
７、フローティングシート側供給路１１、ロータ側供給
路１５が直接ポリアセタール樹脂によって形成された状
態となっている。従って、このロータリジョイント１Ｅ
を介して研磨液や純水を固定側から回転側に金属イオン
を混入させないようにして供給することができる。尚、
本実施の形態のロータリジョイント１Ｅは、シール型ベ
アリングを使用し、ラビリンス構造やオイルシール構造
によるシール構造を設けない簡易構造として、軽量化と
コストの低減が図られた構造となっている。
は、前記のように、ボディ側供給口６とボディ側供給路
７、フローティングシート側供給路１１、ロータ側供給
路１５が直接ポリアセタール樹脂によって形成された状
態となっている。従って、このロータリジョイント１Ｅ
を介して研磨液や純水を固定側から回転側に金属イオン
を混入させないようにして供給することができる。尚、
本実施の形態のロータリジョイント１Ｅは、シール型ベ
アリングを使用し、ラビリンス構造やオイルシール構造
によるシール構造を設けない簡易構造として、軽量化と
コストの低減が図られた構造となっている。
【００３６】以上、本発明の実施の形態を説明してきた
が、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計
変更などがあっても、本発明に含まれる。
が、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計
変更などがあっても、本発明に含まれる。
【００３７】例えば、フローティングシートやロータの
形状、ロータの支持構造、回り止め用ピンやコイルスプ
リングの配置などは任意に設定することができる。
形状、ロータの支持構造、回り止め用ピンやコイルスプ
リングの配置などは任意に設定することができる。
【００３８】
【発明の効果】以上説明してきたように本発明請求項１
および請求項２記載のロータリジョイントにあっては、
前記構成としたため、金属イオンの混入しない液体を研
磨部位に供給し、雰囲気中のパーティクルを付着させな
いで超高精度の鏡面加工を行なった半導体ウエーハを製
造することができる。また、この場合、固定側ボディと
フローティングシート、ロータとを金属で形成し、その
ボディ側供給路と空間室底部とフローティングシート供
給路とロータ側供給路を樹脂、セラミックス等でコーテ
ィングしたものでは、前記性能を維持し、超高精度の鏡
面加工に害を及ぼす異物を供給路などに付着させないよ
うにしたうえ、耐久性も向上させることができる等の効
果が得られる。
および請求項２記載のロータリジョイントにあっては、
前記構成としたため、金属イオンの混入しない液体を研
磨部位に供給し、雰囲気中のパーティクルを付着させな
いで超高精度の鏡面加工を行なった半導体ウエーハを製
造することができる。また、この場合、固定側ボディと
フローティングシート、ロータとを金属で形成し、その
ボディ側供給路と空間室底部とフローティングシート供
給路とロータ側供給路を樹脂、セラミックス等でコーテ
ィングしたものでは、前記性能を維持し、超高精度の鏡
面加工に害を及ぼす異物を供給路などに付着させないよ
うにしたうえ、耐久性も向上させることができる等の効
果が得られる。
【００３９】請求項２、請求項３、請求項４、請求項
５、請求項６記載のロータリジョイントにあっては、前
記構成としたため、それぞれ超高精度の鏡面加工に害を
及ぼす異物を供給路などに付着させないようにしたう
え、金属イオンの混入しない液体を研磨部位に供給し、
雰囲気中のパーティクルを付着させないで超高精度の鏡
面加工を行なった半導体ウエーハを歩留まりよく製造す
ることができるなどの効果が得られる。
５、請求項６記載のロータリジョイントにあっては、前
記構成としたため、それぞれ超高精度の鏡面加工に害を
及ぼす異物を供給路などに付着させないようにしたう
え、金属イオンの混入しない液体を研磨部位に供給し、
雰囲気中のパーティクルを付着させないで超高精度の鏡
面加工を行なった半導体ウエーハを歩留まりよく製造す
ることができるなどの効果が得られる。
【図１】本発明第１の実施の形態によるロータリジョイ
ントを示す断面図である。
ントを示す断面図である。
【図２】本発明第２の実施の形態によるロータリジョイ
ントを示す断面図である。
ントを示す断面図である。
【図３】本発明第３の実施の形態によるロータリジョイ
ントを示す断面図である。
ントを示す断面図である。
【図４】本発明第４の実施の形態によるロータリジョイ
ントを示す断面図である。
ントを示す断面図である。
【図４】本発明第５の実施の形態によるロータリジョイ
ントを示す断面図である。
ントを示す断面図である。
１Ａ〜１Ｅ ロータリジョイント ｃ コーティング １ａ〜１ｅ 固定側ボディ ２ａ〜２ｅ フローティングシート ３ａ〜３ｅ ロータ ４ 空間室 ５ 空間室の底部 ６ ボディ側供給口 ７ ボディ側供給路 ８ ボス部 １０ シールリング １１ フローティングシート供給路 １２ インサートシール １５ ロータ側供給路 ２２，２３ ブッシュ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年６月２３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明の欄
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明第１の実施の形態によるロータリジョイ
ントを示す断面図である。
ントを示す断面図である。
【図２】本発明第２の実施の形態によるロータリジョイ
ントを示す断面図である。
ントを示す断面図である。
【図３】本発明第３の実施の形態によるロータリジョイ
ントを示す断面図である。
ントを示す断面図である。
【図４】本発明第４の実施の形態によるロータリジョイ
ントを示す断面図である。
ントを示す断面図である。
【図５】本発明第５の実施の形態によるロータリジョイ
ントを示す断面図である。
ントを示す断面図である。
【符号の説明】 １Ａ〜１Ｅ ロータリジョイント ｃ コーティング １ａ〜１ｅ 固定側ボディ ２ａ〜２ｅ フローティングシート ３ａ〜３ｅ ロータ ４ 空間室 ５ 空間室の底部 ６ ボディ側供給口 ７ ボディ側供給路 ８ ボス部 １０ シールリング １１ フローティングシート供給路 １２ インサートシール １５ ロータ側供給路 ２２，２３ ブッシュ ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年４月１５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 ロータリジョイント
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固定側から回転軸
側へ流体を供給したりあるいは回収するためのロータリ
ジョイントに関し、特に自動研磨装置におけるスピンド
ル軸等に接続して半導体ウエーハに超高精度の平坦加
工、鏡面加工を施すために研磨液や純水等を供給または
回収するのに最適なロータリジョイントに関する。
側へ流体を供給したりあるいは回収するためのロータリ
ジョイントに関し、特に自動研磨装置におけるスピンド
ル軸等に接続して半導体ウエーハに超高精度の平坦加
工、鏡面加工を施すために研磨液や純水等を供給または
回収するのに最適なロータリジョイントに関する。
【０００２】
【従来の技術】集積回路の基板として使用される重要な
ウエーハは、機器そのものの小型化に伴うより一層の極
薄化と、生産性の観点からより一層の拡径化と、歩留ま
りの観点からより一層の超高精度の平坦度および鏡面加
工精度が厳しく要求される。一般的に前記半導体ウエー
ハは、円柱状のシリコン結晶体を一定の厚さにスライス
した後、さらに所望の厚さにするために研削加工を行な
っている。この研削加工において、カップホイールダイ
ヤモンド砥石で研削するだけでは半導体ウエーハに研削
によるダメージが残って、昨今要求される平坦精度と鏡
面加工の超高精度が得にくいことから、この研削加工後
にさらに研磨加工が行なわれている。
ウエーハは、機器そのものの小型化に伴うより一層の極
薄化と、生産性の観点からより一層の拡径化と、歩留ま
りの観点からより一層の超高精度の平坦度および鏡面加
工精度が厳しく要求される。一般的に前記半導体ウエー
ハは、円柱状のシリコン結晶体を一定の厚さにスライス
した後、さらに所望の厚さにするために研削加工を行な
っている。この研削加工において、カップホイールダイ
ヤモンド砥石で研削するだけでは半導体ウエーハに研削
によるダメージが残って、昨今要求される平坦精度と鏡
面加工の超高精度が得にくいことから、この研削加工後
にさらに研磨加工が行なわれている。
【０００３】前記研磨加工では、相互に回転する研磨プ
レートと、半導体ウエーハのチャック機構を下端に備え
たスピンドル軸との間に挟持して行なうものであって、
この研磨加工部位には、常時研磨液や純水等の液体を供
給または回収しながら行なっている。ところで、前記の
ような回転している回転軸に外部から液体を供給したり
あるいは回収するためには、固定側と回転側を有したロ
ータリジョイントが使用されるが、従来、このようなロ
ータリジョイントでは、耐食性や耐久性を考慮してステ
ンレススチールなどの金属材料を用いて製造されてい
る。つまり、液体の供給路を構成する部位まで金属で形
成されている。
レートと、半導体ウエーハのチャック機構を下端に備え
たスピンドル軸との間に挟持して行なうものであって、
この研磨加工部位には、常時研磨液や純水等の液体を供
給または回収しながら行なっている。ところで、前記の
ような回転している回転軸に外部から液体を供給したり
あるいは回収するためには、固定側と回転側を有したロ
ータリジョイントが使用されるが、従来、このようなロ
ータリジョイントでは、耐食性や耐久性を考慮してステ
ンレススチールなどの金属材料を用いて製造されてい
る。つまり、液体の供給路を構成する部位まで金属で形
成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ような従来の金属製のロータリジョイント、つまり供給
する液体が金属に晒されるようなロータリジョイントで
は、液体中に金属イオンが混入され、これが研磨加工中
の半導体ウエーハや研磨加工部位に供給されることによ
り前記半導体ウエーハや研磨加工部位がイオン化するた
め、雰囲気中のパーティクルが付着するという問題があ
った。また、金属面には研磨液中の異物を付着し易く、
これが剥離して供給されると研磨面を傷付けてしまうた
め、このような事故を防止するための付着物の洗浄等に
余分な手間がかかっている等の問題があった。
ような従来の金属製のロータリジョイント、つまり供給
する液体が金属に晒されるようなロータリジョイントで
は、液体中に金属イオンが混入され、これが研磨加工中
の半導体ウエーハや研磨加工部位に供給されることによ
り前記半導体ウエーハや研磨加工部位がイオン化するた
め、雰囲気中のパーティクルが付着するという問題があ
った。また、金属面には研磨液中の異物を付着し易く、
これが剥離して供給されると研磨面を傷付けてしまうた
め、このような事故を防止するための付着物の洗浄等に
余分な手間がかかっている等の問題があった。
【０００５】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであって、その目的とするところは、特に、
各供給路中で金属イオンを混入させないで研磨液や純水
などの液体を固定側から回転側に供給でき、また、超高
精度の鏡面加工に害を及ぼす異物を供給路などに付着さ
せず、特に、ポリッシングマシンやラッピングマシンな
どの研磨装置で半導体ウエーハの超高精度の鏡面加工を
行なうのに最適なロータリジョイントを提供することに
ある。
されたものであって、その目的とするところは、特に、
各供給路中で金属イオンを混入させないで研磨液や純水
などの液体を固定側から回転側に供給でき、また、超高
精度の鏡面加工に害を及ぼす異物を供給路などに付着さ
せず、特に、ポリッシングマシンやラッピングマシンな
どの研磨装置で半導体ウエーハの超高精度の鏡面加工を
行なうのに最適なロータリジョイントを提供することに
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明請求項１記載のロータリジョイントでは、ボデ
ィ本体の一端側を開口して設けた空間室の底部と該ボデ
ィ本体の外表面に開設したボディ側供給口とがボディ側
供給路で連通状態に流体への金属イオン流入防止材で一
体に成形された固定側ボディと、前記空間室底部側にボ
ス部が摺動自在に嵌合され該ボス部から先端摺動面中心
までフローティングシート供給路が貫通され、少なくと
も該フローティングシート供給路の壁面が前記金属イオ
ン流入防止材で成形されたフローティングシートと、後
端摺動面を前記先端摺動面に密着させると共に研磨装置
などの回転軸と接続するため雄ねじ部に形成された先端
部を前記固定側ボディから突出させた状態で該固定側ボ
ディに回転自在に軸支され前記後端摺動面中心から先端
部までロータ側供給路を貫通させたロータと、を備えた
ロータリジョイントにおいて、前記ロータは金属で一体
に形成され、かつ該ロータ側供給路の壁面が前記金属イ
オン流入防止材でコーティングされ、該コーティングは
ロータ側供給路の壁面から前記先端部の雄ねじ部を被覆
するまで連続して形成されている構成とした。
に本発明請求項１記載のロータリジョイントでは、ボデ
ィ本体の一端側を開口して設けた空間室の底部と該ボデ
ィ本体の外表面に開設したボディ側供給口とがボディ側
供給路で連通状態に流体への金属イオン流入防止材で一
体に成形された固定側ボディと、前記空間室底部側にボ
ス部が摺動自在に嵌合され該ボス部から先端摺動面中心
までフローティングシート供給路が貫通され、少なくと
も該フローティングシート供給路の壁面が前記金属イオ
ン流入防止材で成形されたフローティングシートと、後
端摺動面を前記先端摺動面に密着させると共に研磨装置
などの回転軸と接続するため雄ねじ部に形成された先端
部を前記固定側ボディから突出させた状態で該固定側ボ
ディに回転自在に軸支され前記後端摺動面中心から先端
部までロータ側供給路を貫通させたロータと、を備えた
ロータリジョイントにおいて、前記ロータは金属で一体
に形成され、かつ該ロータ側供給路の壁面が前記金属イ
オン流入防止材でコーティングされ、該コーティングは
ロータ側供給路の壁面から前記先端部の雄ねじ部を被覆
するまで連続して形成されている構成とした。
【０００７】請求項２記載のロータリジョイントでは、
ボディ本体の一端側を開口して設けた空間室の底部と該
ボディ本体の外表面に開設したボディ側供給口とがボデ
ィ側供給路で連通状態に流体への金属イオン流入防止材
で一体に成形された固定側ボディと、前記金属イオン流
入防止材で形成され前記空間室底部側にボス部が摺動自
在に嵌合され該ボス部から先端摺動面中心までフローテ
ィングシート供給路が貫通されたフローティングシート
と、後端摺動面を前記先端摺動面に密着させると共に研
磨装置などの回転軸と接続するため雄ねじ部に形成され
た先端部を前記固定側ボディから突出させた状態で該固
定側ボディに回転自在に軸支され前記後端摺動面中心か
ら先端部までロータ側供給路を貫通して金属で一体に形
成されたロータと、を備えたロータリジョイントにおい
て、少なくとも前記ロータ側供給路が前記ロータに穿設
された各下穴全体に前記樹脂で形成されたブッシュを貫
通して装着することにより形成され、該ブッシュは前記
下穴に装着した状態において前記先端摺動面または後端
摺動面を形成するリング状シールの内径部まで覆うと共
に、前記下穴とブッシュとの間をシールするシール部を
前記リング状シールをブッシュで覆った位置に設けた構
成とした。
ボディ本体の一端側を開口して設けた空間室の底部と該
ボディ本体の外表面に開設したボディ側供給口とがボデ
ィ側供給路で連通状態に流体への金属イオン流入防止材
で一体に成形された固定側ボディと、前記金属イオン流
入防止材で形成され前記空間室底部側にボス部が摺動自
在に嵌合され該ボス部から先端摺動面中心までフローテ
ィングシート供給路が貫通されたフローティングシート
と、後端摺動面を前記先端摺動面に密着させると共に研
磨装置などの回転軸と接続するため雄ねじ部に形成され
た先端部を前記固定側ボディから突出させた状態で該固
定側ボディに回転自在に軸支され前記後端摺動面中心か
ら先端部までロータ側供給路を貫通して金属で一体に形
成されたロータと、を備えたロータリジョイントにおい
て、少なくとも前記ロータ側供給路が前記ロータに穿設
された各下穴全体に前記樹脂で形成されたブッシュを貫
通して装着することにより形成され、該ブッシュは前記
下穴に装着した状態において前記先端摺動面または後端
摺動面を形成するリング状シールの内径部まで覆うと共
に、前記下穴とブッシュとの間をシールするシール部を
前記リング状シールをブッシュで覆った位置に設けた構
成とした。
【０００８】
【作用】請求項１および請求項２記載のロータリジョイ
ントでは、ボディ側供給路から供給された液体は、ま
ず、その固定側ボディ内で空間室底部に供給され、この
空間室底部からフローティングシート供給路から先端摺
動面と後端摺動面の密着部とを介しロータ側供給路へ供
給され、このロータ側供給路の先端からスピンドル等の
回転軸内に供給されるものである。この場合、前記ボデ
ィ側供給路と空間室底部とフローティングシート供給路
とロータ側供給路の壁面が流体への金属イオン流入防止
材、例えば、樹脂、セラミックスで形成されているの
で、金属イオンの混入しない液体を研磨部位に供給し、
雰囲気中のパーティクルを付着させないで超高精度の鏡
面加工を行なった半導体ウエーハを製造することができ
る。また、この場合、固定側ボディとフローティングシ
ート、ロータとを金属で形成し、そのボディ側供給路と
空間室底部とフローティングシート供給路とロータ側供
給路を樹脂、セラミックス等でコーティングしたもので
は、前記性能を維持し、超高精度の鏡面加工に害を及ぼ
す異物を供給路などに付着させないようにしたうえ、耐
久性も向上させることができる。
ントでは、ボディ側供給路から供給された液体は、ま
ず、その固定側ボディ内で空間室底部に供給され、この
空間室底部からフローティングシート供給路から先端摺
動面と後端摺動面の密着部とを介しロータ側供給路へ供
給され、このロータ側供給路の先端からスピンドル等の
回転軸内に供給されるものである。この場合、前記ボデ
ィ側供給路と空間室底部とフローティングシート供給路
とロータ側供給路の壁面が流体への金属イオン流入防止
材、例えば、樹脂、セラミックスで形成されているの
で、金属イオンの混入しない液体を研磨部位に供給し、
雰囲気中のパーティクルを付着させないで超高精度の鏡
面加工を行なった半導体ウエーハを製造することができ
る。また、この場合、固定側ボディとフローティングシ
ート、ロータとを金属で形成し、そのボディ側供給路と
空間室底部とフローティングシート供給路とロータ側供
給路を樹脂、セラミックス等でコーティングしたもので
は、前記性能を維持し、超高精度の鏡面加工に害を及ぼ
す異物を供給路などに付着させないようにしたうえ、耐
久性も向上させることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。図１は本発明における第１
の実施の形態のロータリジョイントを示す断面図であ
る。本実施の形態のロータリジョイント１Ａは、固定側
ボディ１ａと、フローティングシート２ａと、ロータ３
ａとを主要な構成としている。前記固定側ボディ１ａ
は、ボディ本体の一端側を開口して設けた円筒状の空間
室４、およびこの空間室４の底部５とこのボディ本体の
外表面に開設したボディ側供給口６とがボディ側供給路
７で連通するように、テトラフルオロエチレンを原料と
するフッ素樹脂（例えばデュポン社商標のテフロン）に
て一体に成形されている。尚、本実施の形態のボディ側
供給口６は、ボディ側供給路７と共に前記空間室４の軸
心と同一上である固定側ボディ本体の底部に配置されて
いる。
に基づいて詳細に説明する。図１は本発明における第１
の実施の形態のロータリジョイントを示す断面図であ
る。本実施の形態のロータリジョイント１Ａは、固定側
ボディ１ａと、フローティングシート２ａと、ロータ３
ａとを主要な構成としている。前記固定側ボディ１ａ
は、ボディ本体の一端側を開口して設けた円筒状の空間
室４、およびこの空間室４の底部５とこのボディ本体の
外表面に開設したボディ側供給口６とがボディ側供給路
７で連通するように、テトラフルオロエチレンを原料と
するフッ素樹脂（例えばデュポン社商標のテフロン）に
て一体に成形されている。尚、本実施の形態のボディ側
供給口６は、ボディ側供給路７と共に前記空間室４の軸
心と同一上である固定側ボディ本体の底部に配置されて
いる。
【００１０】前記フローティングシート２ａは、ディス
ク９の後面側にボス部８を突設することにより形成さ
れ、このボス部８は前記空間室の底部５に摺動自在に嵌
合されている。さらに前記ディスク９の前面側であって
ボス部８と同一軸心上に、先端摺動面となるシールリン
グ１０が固設され、前記ボス部８からこのシールリング
中心までフローティングシート供給路１１が貫通して設
けられている。尚、前記シールリング１０は、後述する
インサートシール１２と同質のセラミックス（例えばＳ
ｉＣ）で形成されている。
ク９の後面側にボス部８を突設することにより形成さ
れ、このボス部８は前記空間室の底部５に摺動自在に嵌
合されている。さらに前記ディスク９の前面側であって
ボス部８と同一軸心上に、先端摺動面となるシールリン
グ１０が固設され、前記ボス部８からこのシールリング
中心までフローティングシート供給路１１が貫通して設
けられている。尚、前記シールリング１０は、後述する
インサートシール１２と同質のセラミックス（例えばＳ
ｉＣ）で形成されている。
【００１１】前記ロータ３ａは、研磨装置などの回転軸
と接続する雄ねじ部１３を先端部に有し、この雄ねじ部
１３を前記固定側ボディ１ａから突出させ、その後方が
空間室４に軸受け１４で回転自在に軸支され、後端部に
は後端摺動面として前記シールリング１０に密着するイ
ンサートシール１２が固設され、さらにこのインサート
シール１２の中心から前記雄ねじ部１３までロータ側供
給路１５が貫通して設けられている。
と接続する雄ねじ部１３を先端部に有し、この雄ねじ部
１３を前記固定側ボディ１ａから突出させ、その後方が
空間室４に軸受け１４で回転自在に軸支され、後端部に
は後端摺動面として前記シールリング１０に密着するイ
ンサートシール１２が固設され、さらにこのインサート
シール１２の中心から前記雄ねじ部１３までロータ側供
給路１５が貫通して設けられている。
【００１２】そして、前記フローティングシート２ａと
ロータ３ａは金属（例えばステンレススチール）にて設
けられると共に、そのフローティングシート供給路１１
とロータ側供給路１５は、その下穴内面をフッ素樹脂に
てコーティングｃ（図中二点鎖線で示す）されることに
よって形成され、また、ボス部後端面側と雄ねじ部外周
面もフッ素樹脂にてコーティングｃされている。
ロータ３ａは金属（例えばステンレススチール）にて設
けられると共に、そのフローティングシート供給路１１
とロータ側供給路１５は、その下穴内面をフッ素樹脂に
てコーティングｃ（図中二点鎖線で示す）されることに
よって形成され、また、ボス部後端面側と雄ねじ部外周
面もフッ素樹脂にてコーティングｃされている。
【００１３】図中１６はシールリング１０がインサート
シール１２に密着する方向にディスク９を付勢するコイ
ルバネ、１７はフローティングシールの回り止め用ピ
ン、１８はフッ素樹脂加工したオーリング、１９はベア
リングシール部であってラビリンスリング２０を備えて
いる。２１はドレンである。
シール１２に密着する方向にディスク９を付勢するコイ
ルバネ、１７はフローティングシールの回り止め用ピ
ン、１８はフッ素樹脂加工したオーリング、１９はベア
リングシール部であってラビリンスリング２０を備えて
いる。２１はドレンである。
【００１４】本実施の形態のロータリジョイント１Ａ
は、前記のようにボディ側供給口６とボディ側供給路７
がボディ本体を一体成形したフッ素樹脂によって形成さ
れ、フローティングシート側供給路１１とロータ側供給
路１５が、金属製のフローティングシート２ａ，ロータ
３ａに設けた供給路下穴をフッ素樹脂でコーティング加
工することによって供給路内面側が金属部分から隔離さ
れた状態に形成されている。このため、このロータリジ
ョイント１Ａを介して研磨液や純水を固定側から回転側
に金属イオンを混入させないようにして供給することが
できる。従って、雰囲気中のパーティクルを付着させな
いで超高精度の鏡面加工を行なった半導体ウエーハを製
造することができる。また、フローティングシート、ロ
ータとを金属で形成したので、超高精度の鏡面加工に害
を及ぼす異物を供給路などに付着させないようにしたう
え、耐久性も向上させることができる。
は、前記のようにボディ側供給口６とボディ側供給路７
がボディ本体を一体成形したフッ素樹脂によって形成さ
れ、フローティングシート側供給路１１とロータ側供給
路１５が、金属製のフローティングシート２ａ，ロータ
３ａに設けた供給路下穴をフッ素樹脂でコーティング加
工することによって供給路内面側が金属部分から隔離さ
れた状態に形成されている。このため、このロータリジ
ョイント１Ａを介して研磨液や純水を固定側から回転側
に金属イオンを混入させないようにして供給することが
できる。従って、雰囲気中のパーティクルを付着させな
いで超高精度の鏡面加工を行なった半導体ウエーハを製
造することができる。また、フローティングシート、ロ
ータとを金属で形成したので、超高精度の鏡面加工に害
を及ぼす異物を供給路などに付着させないようにしたう
え、耐久性も向上させることができる。
【００１５】次に、図２に基づいて第２の実施の形態の
ロータリジョイント１Ｂを説明する。尚、本実施の形態
では、前記第１の実施の形態のロータリジョイント１Ａ
と同一の構成部分には、同一の符合を付してその具体的
な説明は省略する。本実施の形態のロータリジョイント
１Ｂは、固定側ボディ１ｂを前記同様にフッ素樹脂にて
一体成形されている。また、フローティングシート２ｂ
はフッ素樹脂にて貫通穴を大きくしたフローティングシ
ート枠体２４を形成し、ロータ３ｂは前記のように金属
製として貫通穴を大きくして形成し、それぞれ貫通穴に
フッ素樹脂にて形成したブッシュ２２、２３を挿入固着
することによってフローティングシート供給路１１、ロ
ータ側供給路１５が形成されていることに特徴がある。
図中２５はブッシュ２２とシールリング１０との間、ま
たブッシュ２３とインサートシール１２との間から浸入
する液体で固着面が分離するのを防止するフッ素ゴムの
オーリングである。また、２６は軸受け１４に液体が浸
入するのを防止するフッ素ゴムのオイルシールである。
前記フローティングシート２ｂに関して、フッ素樹脂で
形成したフローティングシート枠体２４に、さらにフッ
素樹脂で形成したブッシュ２２を挿入して固着するの
は、一体構造とすると、前記オーリング２５の狭隘なセ
ット溝が加工困難なためである。尚、本実施の形態のボ
ディ側供給口は、フローティングシート２ｂ、ロータ３
ｂとの軸心に直交するように固定側ボディ１ｂの外周面
に設けられている。
ロータリジョイント１Ｂを説明する。尚、本実施の形態
では、前記第１の実施の形態のロータリジョイント１Ａ
と同一の構成部分には、同一の符合を付してその具体的
な説明は省略する。本実施の形態のロータリジョイント
１Ｂは、固定側ボディ１ｂを前記同様にフッ素樹脂にて
一体成形されている。また、フローティングシート２ｂ
はフッ素樹脂にて貫通穴を大きくしたフローティングシ
ート枠体２４を形成し、ロータ３ｂは前記のように金属
製として貫通穴を大きくして形成し、それぞれ貫通穴に
フッ素樹脂にて形成したブッシュ２２、２３を挿入固着
することによってフローティングシート供給路１１、ロ
ータ側供給路１５が形成されていることに特徴がある。
図中２５はブッシュ２２とシールリング１０との間、ま
たブッシュ２３とインサートシール１２との間から浸入
する液体で固着面が分離するのを防止するフッ素ゴムの
オーリングである。また、２６は軸受け１４に液体が浸
入するのを防止するフッ素ゴムのオイルシールである。
前記フローティングシート２ｂに関して、フッ素樹脂で
形成したフローティングシート枠体２４に、さらにフッ
素樹脂で形成したブッシュ２２を挿入して固着するの
は、一体構造とすると、前記オーリング２５の狭隘なセ
ット溝が加工困難なためである。尚、本実施の形態のボ
ディ側供給口は、フローティングシート２ｂ、ロータ３
ｂとの軸心に直交するように固定側ボディ１ｂの外周面
に設けられている。
【００１６】以上説明してきたように、本実施の形態の
ロータリジョイント１Ｂは、前記のようにボディ側供給
口６とボディ側供給路７がボディ本体を一体成形したフ
ッ素樹脂によって形成され、フローティングシート側供
給路１１とロータ側供給路１５が、それぞれフッ素樹脂
で形成したブッシュによって形成された状態となってい
るから、液体を金属面に直接接触させないようにして流
通させることができる。従って、このロータリジョイン
ト１Ｂを介して研磨液や純水を固定側から回転側に金属
イオンを混入させないようにして供給することができ
る。
ロータリジョイント１Ｂは、前記のようにボディ側供給
口６とボディ側供給路７がボディ本体を一体成形したフ
ッ素樹脂によって形成され、フローティングシート側供
給路１１とロータ側供給路１５が、それぞれフッ素樹脂
で形成したブッシュによって形成された状態となってい
るから、液体を金属面に直接接触させないようにして流
通させることができる。従って、このロータリジョイン
ト１Ｂを介して研磨液や純水を固定側から回転側に金属
イオンを混入させないようにして供給することができ
る。
【００１７】次に、図３に基づいて第３の実施の形態の
ロータリジョイント１Ｃを説明する。尚、本実施の形態
でも、前記第１，第２の実施の形態のロータリジョイン
ト１Ａ，１Ｂと同一の構成部分には同一の符合を付して
その具体的な説明は省略する。本実施の形態のロータリ
ジョイント１Ｃは、固定側ボディ１ｃを前記同様にフッ
素樹脂にて一体成形し、フローティングシート２ｃは、
ボス部８とディスク９をフッ素樹脂で一体に成形して設
けると共に、金属（例えばステンレススチール）製のリ
ング３０でシールリング１０の外周を囲った状態にして
ディスク９とリング３０同士をボルト３１で固定するこ
とにより、シールリング１０をディスク先端面側に固着
させている。また、前記ボルト３１は、その頭部を空間
室４の底部側に設けた凹部３２に挿入した状態で使用す
ることによって、前記フローティングシートの回り止め
用ピン１７の作用を兼用させている。ロータ３ｃ側は前
記第２の実施の形態のロータ３ｂと同様な構成である。
ロータリジョイント１Ｃを説明する。尚、本実施の形態
でも、前記第１，第２の実施の形態のロータリジョイン
ト１Ａ，１Ｂと同一の構成部分には同一の符合を付して
その具体的な説明は省略する。本実施の形態のロータリ
ジョイント１Ｃは、固定側ボディ１ｃを前記同様にフッ
素樹脂にて一体成形し、フローティングシート２ｃは、
ボス部８とディスク９をフッ素樹脂で一体に成形して設
けると共に、金属（例えばステンレススチール）製のリ
ング３０でシールリング１０の外周を囲った状態にして
ディスク９とリング３０同士をボルト３１で固定するこ
とにより、シールリング１０をディスク先端面側に固着
させている。また、前記ボルト３１は、その頭部を空間
室４の底部側に設けた凹部３２に挿入した状態で使用す
ることによって、前記フローティングシートの回り止め
用ピン１７の作用を兼用させている。ロータ３ｃ側は前
記第２の実施の形態のロータ３ｂと同様な構成である。
【００１８】以上説明してきたように本実施の形態のロ
ータリジョイント１Ｃは、前記のように、ボディ側供給
口６とボディ側供給路７がボディ本体を一体成形したフ
ッ素樹脂によって形成され、フローティングシート側供
給路１１はフッ素樹脂によって直接供給路が形成され、
ロータ側供給路１５が金属部分にフッ素樹脂で形成した
ブッシュ２３を挿入することによって供給路が直接フッ
素樹脂によって形成された状態となって、液体を金属面
に直接接触させないようにして流通させることができ
る。従って、このロータリジョイント１Ｃを介して研磨
液や純水を固定側から回転側に金属イオンを混入させな
いようにして供給することができる。
ータリジョイント１Ｃは、前記のように、ボディ側供給
口６とボディ側供給路７がボディ本体を一体成形したフ
ッ素樹脂によって形成され、フローティングシート側供
給路１１はフッ素樹脂によって直接供給路が形成され、
ロータ側供給路１５が金属部分にフッ素樹脂で形成した
ブッシュ２３を挿入することによって供給路が直接フッ
素樹脂によって形成された状態となって、液体を金属面
に直接接触させないようにして流通させることができ
る。従って、このロータリジョイント１Ｃを介して研磨
液や純水を固定側から回転側に金属イオンを混入させな
いようにして供給することができる。
【００１９】次に、図４に基づいて第４の実施の形態の
ロータリジョイント１Ｄを説明する。尚、本実施の形態
でも、前記第１〜第３の実施の形態のロータリジョイン
ト１Ａ，１Ｂ，１Ｃと同一の構成部分には同一の符合を
付してその具体的な説明は省略する。本実施の形態のロ
ータリジョイント１Ｄは、固定側ボディ１ｄを前記同様
にフッ素樹脂にて一体成形し、フローティングシート２
ｄは、ボス部８の先端面を摺動面としてセラミックスで
一体に成形したシールリング１０を設けると共に、金属
製のディスク３３でシールリング１０の外周を囲った状
態にして固定することにより設けられている。ロータ３
ｄ側は前記第２の実施の形態のロータ３ｂと、フローテ
ィングシート２ｄの回り止め構造とベアリングのシール
構造は第１実施の形態の回り止め構造およびベアリング
のシール構造と同様な構成である。
ロータリジョイント１Ｄを説明する。尚、本実施の形態
でも、前記第１〜第３の実施の形態のロータリジョイン
ト１Ａ，１Ｂ，１Ｃと同一の構成部分には同一の符合を
付してその具体的な説明は省略する。本実施の形態のロ
ータリジョイント１Ｄは、固定側ボディ１ｄを前記同様
にフッ素樹脂にて一体成形し、フローティングシート２
ｄは、ボス部８の先端面を摺動面としてセラミックスで
一体に成形したシールリング１０を設けると共に、金属
製のディスク３３でシールリング１０の外周を囲った状
態にして固定することにより設けられている。ロータ３
ｄ側は前記第２の実施の形態のロータ３ｂと、フローテ
ィングシート２ｄの回り止め構造とベアリングのシール
構造は第１実施の形態の回り止め構造およびベアリング
のシール構造と同様な構成である。
【００２０】以上説明してきたように本実施の形態のロ
ータリジョイント１Ｄは、前記のように、ボディ側供給
口６とボディ側供給路７がボディ本体を一体成形したフ
ッ素樹脂によって形成され、フローティングシート側供
給路１１はセラミックスによって直接供給路が形成さ
れ、ロータ側供給路１５が金属部分にフッ素樹脂で形成
したブッシュ２３を挿入することによって供給路が直接
フッ素樹脂によって形成された状態となって、液体を金
属面に直接接触させないようにして流通させることがで
きる。従って、このロータリジョイント１Ｄを介して研
磨液や純水を固定側から回転側に金属イオンを混入させ
ないようにして供給することができる。
ータリジョイント１Ｄは、前記のように、ボディ側供給
口６とボディ側供給路７がボディ本体を一体成形したフ
ッ素樹脂によって形成され、フローティングシート側供
給路１１はセラミックスによって直接供給路が形成さ
れ、ロータ側供給路１５が金属部分にフッ素樹脂で形成
したブッシュ２３を挿入することによって供給路が直接
フッ素樹脂によって形成された状態となって、液体を金
属面に直接接触させないようにして流通させることがで
きる。従って、このロータリジョイント１Ｄを介して研
磨液や純水を固定側から回転側に金属イオンを混入させ
ないようにして供給することができる。
【００２１】次に、図５に基づいて第５の実施の形態の
ロータリジョイント１Ｅを説明する。尚、本実施の形態
でも、前記第１〜第４の実施の形態のロータリジョイン
ト１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄと同一の構成部分には同一の
符合を付してその具体的な説明は省略する。本実施の形
態のロータリジョイント１Ｅは、固定側ボディ１ｅ、フ
ローティングシート２ｅ、ロータ３ｅ共、全てそれぞれ
一体にしてポリアセタール樹脂にて設けられていること
に特徴がある。
ロータリジョイント１Ｅを説明する。尚、本実施の形態
でも、前記第１〜第４の実施の形態のロータリジョイン
ト１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄと同一の構成部分には同一の
符合を付してその具体的な説明は省略する。本実施の形
態のロータリジョイント１Ｅは、固定側ボディ１ｅ、フ
ローティングシート２ｅ、ロータ３ｅ共、全てそれぞれ
一体にしてポリアセタール樹脂にて設けられていること
に特徴がある。
【００２２】本実施の形態のロータリジョイント１Ｅ
は、前記のように、ボディ側供給口６とボディ側供給路
７、フローティングシート側供給路１１、ロータ側供給
路１５が直接ポリアセタール樹脂によって形成された状
態となっている。従って、このロータリジョイント１Ｅ
を介して研磨液や純水を固定側から回転側に金属イオン
を混入させないようにして供給することができる。尚、
本実施の形態のロータリジョイント１Ｅは、シール型ベ
アリングを使用し、ラビリンス構造やオイルシール構造
によるシール構造を設けない簡易構造として、軽量化と
コストの低減が図られた構造となっている。
は、前記のように、ボディ側供給口６とボディ側供給路
７、フローティングシート側供給路１１、ロータ側供給
路１５が直接ポリアセタール樹脂によって形成された状
態となっている。従って、このロータリジョイント１Ｅ
を介して研磨液や純水を固定側から回転側に金属イオン
を混入させないようにして供給することができる。尚、
本実施の形態のロータリジョイント１Ｅは、シール型ベ
アリングを使用し、ラビリンス構造やオイルシール構造
によるシール構造を設けない簡易構造として、軽量化と
コストの低減が図られた構造となっている。
【００２３】以上、本発明の実施の形態を説明してきた
が、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計
変更などがあっても、本発明に含まれる。
が、本発明の具体的な構成はこの実施の形態に限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計
変更などがあっても、本発明に含まれる。
【００２４】例えば、フローティングシートやロータの
形状、ロータの支持構造、回り止め用ピンやコイルスプ
リングの配置などは任意に設定することができる。
形状、ロータの支持構造、回り止め用ピンやコイルスプ
リングの配置などは任意に設定することができる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明してきたように本発明請求項１
および請求項２記載のロータリジョイントにあっては、
前記構成としたため、金属イオンの混入しない液体を研
磨部位に供給し、雰囲気中のパーティクルを付着させな
いで超高精度の鏡面加工を行なった半導体ウエーハを製
造することができる。また、この場合、固定側ボディと
フローティングシート、ロータとを金属で形成し、その
ボディ側供給路と空間室底部とフローティングシート供
給路とロータ側供給路を樹脂、セラミックス等でコーテ
ィングしたものでは、前記性能を維持し、超高精度の鏡
面加工に害を及ぼす異物を供給路などに付着させないよ
うにしたうえ、耐久性も向上させることができる等の効
果が得られる。
および請求項２記載のロータリジョイントにあっては、
前記構成としたため、金属イオンの混入しない液体を研
磨部位に供給し、雰囲気中のパーティクルを付着させな
いで超高精度の鏡面加工を行なった半導体ウエーハを製
造することができる。また、この場合、固定側ボディと
フローティングシート、ロータとを金属で形成し、その
ボディ側供給路と空間室底部とフローティングシート供
給路とロータ側供給路を樹脂、セラミックス等でコーテ
ィングしたものでは、前記性能を維持し、超高精度の鏡
面加工に害を及ぼす異物を供給路などに付着させないよ
うにしたうえ、耐久性も向上させることができる等の効
果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明第１の実施の形態によるロータリジョイ
ントを示す断面図である。
ントを示す断面図である。
【図２】本発明第２の実施の形態によるロータリジョイ
ントを示す断面図である。
ントを示す断面図である。
【図３】本発明第３の実施の形態によるロータリジョイ
ントを示す断面図である。
ントを示す断面図である。
【図４】本発明第４の実施の形態によるロータリジョイ
ントを示す断面図である。
ントを示す断面図である。
【図５】本発明第５の実施の形態によるロータリジョイ
ントを示す断面図である。
ントを示す断面図である。
【符号の説明】 １Ａ〜１Ｅ ロータリジョイント ｃ コーティング １ａ〜１ｅ 固定側ボディ ２ａ〜２ｅ フローティングシート ３ａ〜３ｅ ロータ ４ 空間室 ５ 空間室の底部 ６ ボディ側供給口 ７ ボディ側供給路 ８ ボス部 １０ シールリング １１ フローティングシート供給路 １２ インサートシール１３ 雌ねじ部 １５ ロータ側供給路 ２２，２３ ブッシュ
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
Claims (6)
- 【請求項１】 ボディ本体の一端側を開口して設けた空
間室の底部と該ボディ本体の外表面に開設したボディ側
供給口とがボディ側供給路で連通された固定側ボディ
と、 前記空間室底部側にボス部が摺動自在に嵌合され該ボス
部から先端摺動面中心までフローティングシート供給路
が貫通されたフローティングシートと、 後端摺動面を前記先端摺動面に密着させると共に先端部
を前記固定側ボディから突出させた状態で該固定側ボデ
ィに回転自在に軸支され前記後端摺動面中心から先端部
までロータ側供給路を貫通させたロータと、を備えたロ
ータリジョイントにおいて、 少なくとも前記空間室底部とボディ側供給路とフローテ
ィングシート供給路とロータ側供給路との壁面が流体へ
の金属イオン流入防止材で形成されていることを特徴と
するロータリジョイント。 - 【請求項２】 前記空間室底部とボディ側供給路とフロ
ーティングシート供給路とロータ側供給路との壁面が各
下穴に流体への金属イオン流入防止材をコーティングす
ることにより形成されていることを特徴とする請求項１
記載のロータリジョイント。 - 【請求項３】 前記固定側ボディが樹脂で形成されフロ
ーティングシート供給路とロータ側供給路とが樹脂で形
成したブッシュを各下穴全体に貫通して装着することに
より形成されていることを特徴とする請求項１記載のロ
ータリジョイント。 - 【請求項４】 前記固定側ボディとフローティングシー
トとロータとが樹脂により形成されていることを特徴と
する請求項１記載のロータリジョイント。 - 【請求項５】 前記フローティングシートのボス部が先
端摺動面と一体にセラミックスで形成されていることを
特徴とする請求項１記載のロータリジョイント。 - 【請求項６】 前記樹脂がテトラフルオロエチレンまた
はポリアセタールを原料としていることを特徴とする請
求項３または請求項４記載のロータリジョイント。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10064301A JPH11248072A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | ロータリジョイント |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10064301A JPH11248072A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | ロータリジョイント |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11248072A true JPH11248072A (ja) | 1999-09-14 |
Family
ID=13254302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10064301A Pending JPH11248072A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | ロータリジョイント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11248072A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005111657A (ja) * | 2003-10-04 | 2005-04-28 | Roehm Gmbh | 締付シリンダー |
| JP2009168068A (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Mimasu Semiconductor Industry Co Ltd | ロータリージョイント |
| WO2016181233A1 (en) * | 2015-05-14 | 2016-11-17 | De Pretto Industrie S.R.L. | Joint for submarine connections |
| WO2017005797A1 (de) * | 2015-07-07 | 2017-01-12 | GAT Gesellschaft für Antriebstechnik mbH | Leckreduzierte drehdurchführung |
-
1998
- 1998-02-27 JP JP10064301A patent/JPH11248072A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005111657A (ja) * | 2003-10-04 | 2005-04-28 | Roehm Gmbh | 締付シリンダー |
| JP4658558B2 (ja) * | 2003-10-04 | 2011-03-23 | ロェーム ゲーエムベーハー | 締付シリンダー |
| JP2009168068A (ja) * | 2008-01-11 | 2009-07-30 | Mimasu Semiconductor Industry Co Ltd | ロータリージョイント |
| WO2016181233A1 (en) * | 2015-05-14 | 2016-11-17 | De Pretto Industrie S.R.L. | Joint for submarine connections |
| US11009157B2 (en) | 2015-05-14 | 2021-05-18 | De Pretto Industrie S.R.L. | Joint for submarine connections |
| WO2017005797A1 (de) * | 2015-07-07 | 2017-01-12 | GAT Gesellschaft für Antriebstechnik mbH | Leckreduzierte drehdurchführung |
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