JPH1124245A - 着色画像形成用感光液、およびこれを用いるカラーフィルターの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 均一な膜厚の塗膜が形成でき、かつ顔料が均
一に分散され、平滑で透明な着色画像を形成しうる感光
液を提供し、それを用いて、平滑性および透明性に優れ
るカラーフィルターを製造する。 【解決手段】 顔料、バインダー樹脂および溶剤を含有
し、その溶剤が次のいずれかである着色画像形成用感光
液。 （Ａ）温度２５℃において１.５mPa・s以下の粘度を有す
る第一の溶剤６０〜９５重量％と、温度２５℃において
１.５mPa・sを越える粘度を有する第二の溶剤５〜４０重
量％との混合物であって、溶剤を構成する実質的にすべ
ての成分が常圧において１００〜２００℃の沸点を有す
るもの、または（Ｂ）次式（Ｉ） で示され、ここにＡは炭素数１〜４のアルキレンであ
り、Ｒは炭素数１〜３のアルキルであるケトエーテル化
合物を含有するもの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置や撮像素子などに用いられる着色画像（画素とも呼ば
れる）を形成するための感光液に関するものである。さ
らに詳しくは、膜厚が均一で表面の平滑性に優れた塗膜
を与え、透明性に優れた着色画像を形成することができ
る感光液に関するものである。本発明はまた、かかる着
色画像形成用感光液を用いてカラーフィルターを製造す
る方法にも向けられている。

【０００２】

【従来の技術】カラー液晶表示装置や撮像素子などにお
けるカラーフィルターは通常、ガラス基板やシリコンウ
ェハー上に、赤、緑および青の三原色画素を形成するこ
とにより、製造されている。また、これら画素間を遮光
するためのブラックマトリックスを設けるのが普通であ
る。そして、これら各色の画素を形成するには、遮光層
がパターン形成されたガラス基板やシリコンウェハー上
に、各色に相当する顔料を含有する着色画像形成用感光
液をスピンコーターにより均一に塗布した後、加熱乾燥
（プリベーク）し、その塗膜を露光、現像する方法が採
用されており、これらの操作をカラーフィルターに必要
とされる色毎に繰り返すことにより、各色の画像を得て
いる。また、ブラックマトリックスの形成にも、黒色顔
料を含有する着色画像形成用感光液を用いることがあ
る。

【０００３】このようにして基板上に感光液を塗布し、
乾燥して得られる乾燥塗膜は、基板の中心部と周縁部と
で膜厚差が０.２μm以上と大きくなったり、ストリエー
ション（すじむら）が生じることがあるなど、従来技術
では均一な乾燥塗膜を得るのが困難であった。さらに、
乾燥塗膜表面には微細な凹凸が生じることがあり、その
場合は表面平滑性に劣るものとなる。乾燥塗膜に膜厚差
が生じたり、表面に微細な凹凸が生じたりすると、その
塗膜を露光後、現像して得られる着色画像は、透明性に
劣るものとなってしまう。

【０００４】このため、基板上に着色画像を形成するに
際し、均一な膜厚を有するとともに平滑性に優れた表面
を有する乾燥塗膜を形成しうる着色画像形成用感光液が
切望されている。そこで、着色画像形成用感光液に対す
る種々の溶剤が検討されている。例えば、特開平 6-352
1 号公報には、常圧における沸点が１００〜２００℃で
あり、２０℃における蒸気圧が０.0５〜１０mmHgである
エステル、エーテルまたはケトンを溶剤とすることが提
案されており、特開平 6-289601 号公報には、アルコキ
シブチルアセテートまたはアルコキシペンチルアセテー
トを溶剤とすることが提案されており、特開平 7-19892
7 号公報には、ラクトン類を溶剤とすることが提案され
ており、特開平 9-15840号公報には、酪酸またはイソ酪
酸のアルキル、フェニルもしくはベンジルエステルを溶
剤とすることが提案されており、特開平 9-15845号公報
には、エチレングリコールモノエーテル類を溶剤とする
ことが提案されており、特開平 9-15847号公報には、プ
ロピレングリコールジアルキルエーテルを溶剤とするこ
とが提案されており、また特開平 9-15858号公報には、
乳酸アルキルエステルを溶剤とすることが提案されてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、これらの公
報に提案されている溶剤を用いても、ある場合には、顔
料の分散性が十分でないことから、着色画像の色の均一
性が不足したり、またある場合には、均一な膜厚の塗膜
が得られにくくなるなどの問題点があった。特に着色画
像形成用感光液の粘度が高い場合には、それをスピンコ
ートして得られる塗膜の膜厚分布が大きくなってしま
う。このような問題点を回避する目的で、着色画像形成
用感光液中の固形分濃度を下げることにより、この感光
液の粘度を下げることが考えられるが、この場合には、
通常のスピンコーターやスリットを備えた省液型スピン
コーターなどの塗布装置における推奨回転数の範囲内
で、所定の膜厚（通常は２μm 以下）を得ることが難し
い。

【０００６】本発明の目的の一つは、スピンコーターな
どの塗布装置で基板上に塗布したときに均一な膜厚の塗
膜が形成でき、かつ顔料が均一に分散され、それを露
光、現像したときに平滑で透明な着色画像を与える着色
画像形成用感光液を提供することにある。本発明の別の
目的は、かかる着色画像形成用感光液を用いて、平滑性
および透明性に優れたカラーフィルターを製造すること
にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記従来
技術の問題点を解決すべく鋭意研究を行った結果、顔料
やバインダー樹脂などが特定の溶剤に溶解または分散さ
れてなる着色画像形成用感光液を用いることにより、基
板表面にスピンコーターで塗布し、次いで加熱乾燥して
得られる乾燥塗膜は、中心部と周縁部との膜厚差が小さ
く、しかも表面平滑性に優れたものとなることを見出
し、本発明を完成するに至った。

【０００８】すなわち本発明は、顔料、バインダー樹脂
および溶剤を含有し、その溶剤が、温度２５℃において
１.５mPa・s以下の粘度を有する第一の溶剤６０〜９５重
量％と、温度２５℃において１.５mPa・sを越える粘度を
有する第二の溶剤５〜４０重量％との混合物であり、か
つ当該溶剤を構成する実質的にすべての成分が常圧にお
いて１００〜２００℃の沸点を有する、着色画像形成用
感光液を提供するものである。

【０００９】また特に、特定構造の溶剤を用いた場合に
は、それを含む低粘度の溶剤だけ、またはそれを含む低
粘度と高粘度の混合溶剤を用いた場合でも、優れた性能
を有する着色画像形成用感光液が得られることを、併せ
て見出した。そこで本発明はまた、顔料、バインダー樹
脂および溶剤を含有し、その溶剤が、次式（Ｉ）

【００１０】

【００１１】（式中、Ａは炭素数１〜４のアルキレンを
表し、Ｒは炭素数１〜３のアルキルを表す）で示される
ケトエーテル化合物を含有する着色画像形成用感光液を
も提供する。

【００１２】これらの着色画像形成用感光液は、上記の
顔料、バインダー樹脂および溶剤に加えて、通常さらに
光重合性モノマーおよび光重合開始剤を含有し、また必
要に応じてその他の添加剤を含有することもできる。上
記のバインダー樹脂は、カルボキシル基を有する共重合
体であるのが有利である。

【００１３】さらに本発明は、上記いずれかの着色画像
形成用感光液を基板上に塗布し、乾燥後パターニング露
光し、現像することにより、カラーフィルターを製造す
る方法をも提供する。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の着色画像形成用感光液は、顔料およびバインダ
ー樹脂、あるいは任意にさらに、光重合性モノマーおよ
び光重合開始剤、さらには任意にその他の添加剤が、特
定の溶剤に溶解または分散されたものである。

【００１５】顔料は、無機顔料でも有機顔料でもよい。
無機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩のような金属
化合物が挙げられ、具体的には、鉄、コバルト、アルミ
ニウム、カドニウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、
クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属の酸化物または複
合金属酸化物が挙げられる。また、有機顔料として具体
的には、カラーインデックス（Colour Index）（ザ・ソ
サイアティ・オブ・ダイヤーズ・アンド・カラーリスツ
（The Society of Dyers and Colourists ）出版）で、
ピグメント(Pigment) に分類されている化合物が挙げら
れる。これらの顔料はそれぞれ単独で、または２種以上
組み合わせて用いることができる。より具体的には、も
ちろんこれらに限定されるわけではないが、以下のよう
なカラーインデックス（C.I.）番号の化合物が挙げられ
る。

【００１６】C.I.ピグメントイエロー 20, 24, 31, 53,
83, 86, 93, 94, 109, 110, 117,125, 137, 138, 139,
147, 148, 153, 154, 166 および 173； C.I.ピグメントオレンジ 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43,
51, 55, 59, 61, 64および 65； C.I.ピグメントレッド 9, 97, 105, 122, 123, 144, 14
9, 166, 168, 176,177, 180, 192, 215, 216 および 22
4； C.I.ピグメントバイオレット 14, 19, 23, 29, 32, 33,
36, 37 および 38； C.I.ピグメントブルー 15 (15:3, 15:4, 15:6など), 2
1, 22, 28, 60 および64； C.I.ピグメントグリーン 7, 10, 15, 25, 36 および 4
7； C.I.ピグメントブラウン 28； C.I.ピグメントブラック 1 および 7 など。

【００１７】顔料は、着色画像形成用感光液中の全固形
分量を基準に、好ましくは５〜６０重量％、より好まし
くは１０〜５０重量％の範囲で用いられる。

【００１８】次に、バインダー樹脂は、未露光塗膜にア
ルカリ現像性を付与し、また顔料の分散媒として作用す
るものであり、この分野で用いられる各種のものである
ことができる。なかでもバインダー樹脂は、カルボキシ
ル基を有する共重合体であるのが好ましい。カルボキシ
ル基を有する共重合体としては特に、カルボキシル基含
有モノマーと、それに共重合が可能な他のモノマーとの
共重合体が、好ましく用いられる。

【００１９】カルボキシル基含有モノマーは、例えば、
不飽和モノカルボン酸や不飽和ジカルボン酸など、分子
中に少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カ
ルボン酸であることができ、具体的には、アクリル酸、
メタクリル酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、
フマル酸などが挙げられる。これらは、それぞれ単独
で、または２種以上組み合わせて用いることができる。
また、これらカルボキシル基含有モノマーに共重合が可
能なモノマーは、重合性不飽和結合を有する化合物であ
る。具体的には、スチレンやα−メチルスチレン、ビニ
ルトルエンのような芳香族ビニル化合物、メチル（メ
タ）アクリレートやエチル（メタ）アクリレート、ブチ
ル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メ
タ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレートのよ
うな不飽和カルボン酸エステル、アミノエチルアクリレ
ートのような不飽和カルボン酸アミノアルキルエステ
ル、グリシジル（メタ）アクリレートのような不飽和カ
ルボン酸グリシジルエステル、酢酸ビニルやプロピオン
酸ビニルのようなカルボン酸ビニルエステル、（メタ）
アクリロニトリルやα−クロロアクリロニトリルのよう
なシアン化ビニル化合物などが挙げられる。これらのモ
ノマーも、それぞれ単独で、または２種以上組み合わせ
て用いることができる。この共重合体において、カルボ
キシル基含有モノマーは、モノマー全体に対し、好まし
くは１０〜５０重量％、より好ましくは１５〜４０重量
％の範囲で用いられる。

【００２０】このようなカルボキシル基を有する共重合
体の好ましい具体例としては、ベンジルメタクリレート
／メタクリル酸共重合体、ベンジルメタクリレート／メ
タクリル酸／スチレン共重合体、メチルメタクリレート
／メタクリル酸共重合体、メチルメタクリレート／メタ
クリル酸／スチレン共重合体などが挙げられる。これら
のカルボキシル基を有する共重合体は、ポリスチレン換
算重量平均分子量が10,000〜400,000 の範囲にあるのが
好ましく、より好ましくは 20,000〜300,000の範囲であ
る。

【００２１】光重合性モノマーは、単官能モノマーの
他、２官能、その他の多官能モノマーであることができ
る。単官能モノマーの具体例としては、ノニルフェニル
カルビトールアクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェ
ノキシプロピルアクリレート、２−エチルヘキシルカル
ビトールアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレ
ート、Ｎ−ビニルピロリドンなどが挙げられる。また２
官能モノマーの具体例としては、１，６−ヘキサンジオ
ールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ
（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メ
タ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）
アクリレート、ビスフェノールＡのビス（アクリロイロ
キシエチル）エーテル、３−メチルペンタンジオールジ
（メタ）アクリレートなどが挙げられ、その他の多官能
モノマーとしては、トリメチロールプロパントリ（メ
タ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）
アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）ア
クリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）ア
クリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）ア
クリレートなどが挙げられる。なかでも、２官能以上の
多官能モノマーが好ましく用いられる。

【００２２】光重合開始剤は、この分野で通常用いられ
ているものであり、例えば、アセトフェノン系、ベンゾ
イン系、ベンゾフェノン系、チオキサントン系、トリア
ジン系、その他の開始剤が用いられる。アセトフェノン
系開始剤の具体例としては、ジエトキシアセトフェノ
ン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパ
ン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロ
キシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキ
シ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシ
クロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−２−モルホ
リノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−
オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−
モルホリノフェニル）ブタン−１−オン、２−ヒドロキ
シ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェ
ニル〕プロパン−１−オンのオリゴマーなどが挙げら
れ、ベンゾイン系開始剤の具体例としては、ベンゾイ
ン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイ
ソブチルエーテルなどが挙げられ、 ベンゾフェノン系
開始剤の具体例としては、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾ
イル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４
−ベンゾイル−４′−メチルジフェニルサルファイド、
３，３′，４，４′−テトラ（tert−ブチルパーオキシ
カルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチル
ベンゾフェノンなどが挙げられ、チオキサントン系開始
剤の具体例としては、２−イソプロピルチオキサント
ン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチ
ルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、
１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げ
られ、トリアジン系開始剤の具体例としては、２，４−
ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニ
ル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリク
ロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，
３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチ
ル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、２，
４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシス
チリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（ト
リクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２
−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４
−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２
−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４
−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチ
ルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，
５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−
６−〔２−(３，４−ジメトキシフェニル)エテニル〕−
１，３，５−トリアジンなどが挙げられ、 その他の開
始剤の具体例としては、２，４，６−トリメチルベンゾ
イルジフェニルホスフィンオキサイド、２，２′−ビス
（ｏ−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラ
フェニル−１，２′−ビイミダゾール、１０−ブチル−
２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベ
ンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファー
キノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化
合物などが挙げられる。これら光重合開始剤は、それぞ
れ単独で、または２種以上組み合わせて使用することが
できる。

【００２３】また、光重合開始剤に光開始助剤を組み合
わせて用いることもできる。光開始助剤の具体例として
は、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミ
ン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ
安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、
４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４−ジメチル
アミノ安息香酸２−エチルヘキシル、安息香酸２−ジメ
チルアミノエチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、
４，４′−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通
称ミヒラーズケトン）、４，４′−ビス（ジエチルアミ
ノ）ベンゾフェノン、９，１０−ジメトキシアントラセ
ン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、
９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，
１０−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。これ
ら光開始助剤も、それぞれ単独で、または２種以上組み
合わせて用いることができる。

【００２４】これらの光重合開始剤および任意成分であ
る光開始助剤は、合計量として、バインダー樹脂および
光重合性モノマーの合計１００重量部に対して、好まし
くは３〜３０重量部、より好ましくは５〜２５重量部の
範囲で使用される。

【００２５】以上のような顔料およびバインダー樹脂、
さらには所望により光重合性モノマーおよび光重合開始
剤、また任意にさらに光開始助剤が、特定の溶剤に分散
または溶解される。本発明の第一の態様では、この溶剤
は粘度の異なる少なくとも２種の溶剤を混合したもので
あり、混合溶剤を構成する第一の溶剤は、温度２５℃に
おける粘度が１.５mPa・s以下のもの、そして第二の溶剤
は、温度２５℃における粘度が１.５mPa・sを越えるもの
である。第二の溶剤は、第一の溶剤との区別を明確にす
るためには、温度２５℃における粘度が１.６mPa・s以上
であるのが好都合である。この混合溶剤を構成する成分
は、いずれも常圧における沸点が１００〜２００℃のも
のである。常圧における沸点が１００℃未満の溶剤を使
用した場合には、塗布工程中の溶剤の揮発量が多いた
め、均一な乾燥塗膜を得るのが難しくなる。また、その
沸点が２００℃を越える溶剤を使用した場合には、塗布
直後の未乾燥塗膜が室温での放置により縮む現象が生じ
るため、これから得られる乾燥塗膜が均一性に劣ること
となる。

【００２６】温度２５℃における粘度が１.５mPa・s以下
である第一の溶剤の例として、具体的には次のような化
合物を挙げることができ、ここでかっこ内に示した粘度
は、２５℃における値である。

【００２７】酢酸プロピル（沸点１０２℃、粘度０.５m
Pa・s）、酢酸ブチル（沸点１２６℃、粘度０.７mPa・
s）、酢酸イソブチル（沸点１１７℃、粘度０.６mPa・
s）、プロピオン酸プロピル（沸点１２３℃、粘度０.７
mPa・s）、プロピオン酸ブチル（沸点１４５℃／７５６m
mHg、粘度０.８mPa・s）、メチルアミルケトン（沸点１
５０℃、粘度０.８mPa・s）、ジイソブチルケトン（沸点
１６９℃、粘度１.０mPa・s）、ピルビン酸エチル（沸点
１４４℃、粘度１.１mPa・s）、３−メトキシブチルアセ
テート（沸点１７３℃、粘度１.１mPa・s）、プロピレン
グリコールモノメチルエーテルアセテート （沸点１４
５℃、粘度１.１mPa・s）、３−メトキシプロピオン酸メ
チル（沸点１４５℃、粘度１.０mPa・s）、３−エトキシ
プロピオン酸エチル（沸点１７０℃、粘度１.２mPa・
s）、トルエン（沸点１１０℃、粘度０.６mPa・s）、ｏ
−キシレン（沸点１４４℃、粘度０.８mPa・s）、ｍ−キ
シレン（沸点１３９℃、粘度０.６mPa・s）、ｐ−キシレ
ン（沸点１３８℃、粘度０.６mPa・s）など。

【００２８】これらの低粘度溶剤（第一の溶剤）は、い
ずれも常圧における沸点が１００〜２００℃の範囲にあ
るが、特にその沸点は１１０〜１９０℃の範囲にあるの
が好ましい。またその粘度は、温度２５℃において１.
５mPa・s以下であるが、通常は約０.５mPa・s以上、また
は約０.６mPa・s以上である。これらの低粘度溶剤は、そ
れぞれ単独で用いてもよく、また２種以上組み合わせて
用いてもよい。

【００２９】第二の溶剤は、温度２５℃における粘度が
１.５mPa・sを越えるもの、また第一の溶剤との組合せで
適当であれば、同粘度が１.６mPa・s以上のものである。
かかる高粘度溶剤の具体例としては、次のような化合物
を挙げることができ、ここでかっこ内に示した粘度は、
２５℃における値である。

【００３０】アセト酢酸メチル（沸点１７２℃、粘度
１.６mPa・s）、３−メチル−３−メトキシブチルアセテ
ート(沸点１８８℃、粘度1.7mPa・s)、シクロヘキサノン
（沸点１５６℃、粘度２.０mPa・s）、乳酸エチル（沸点
１５５℃、粘度２.４mPa・s）、２−メチル乳酸メチル
（沸点１３７℃、粘度２.６mPa・s）、プロピレングリコ
ールモノ−ｎ−ブチルエーテル（沸点１７０℃、粘度
２.９mPa・s）、ジアセトンアルコール（沸点１６８℃、
粘度３.０mPa・s）、３−メチル−１−ブタノール（沸点
１６１℃、粘度３.２mPa・s）、乳酸ブチル（沸点１８８
℃、粘度３.３mPa・s）、ジエチレングリコールモノメチ
ルエーテル(沸点１９４℃、粘度３.５mPa・s)、ジプロピ
レングリコールモノメチルエーテル(沸点１８８℃、粘
度3.5mPa・s)、３−メチル−３−メトキシ−１−ブタノ
ール(沸点１７４℃、粘度５.９mPa・s)など。

【００３１】これらの高粘度溶剤（第二の溶剤）も、常
圧における沸点が１００〜２００℃の範囲にあるが、特
にその沸点は１４０〜２００℃の範囲にあるのが好まし
い。またその粘度は、温度２５℃において１.５mPa・sを
越えるが、あまり粘度が大きくなると、たとえ少量で
も、感光液全体の粘度を高めることになるので、２５℃
において３.０mPa・s以下、特に２.５mPa・s以下であるの
が有利である。これらの高粘度溶剤も、それぞれ単独で
用いてもよく、また２種以上組み合わせて用いてもよ
い。

【００３２】温度２５℃における粘度が１.５mPa・s以下
である第一の溶剤と、温度２５℃における粘度が１.５m
Pa・sを越える第二の溶剤とを組み合わせて用いる場合
は、溶剤全体の量を基準に、第一の溶剤を６０〜９５重
量％、そして第二の溶剤を５〜４０重量％の割合で用い
る。このように第一の溶剤と第二の溶剤を組み合わせて
用いることにより、顔料の分散性を高め、かつ感光液の
均一塗布性を高めることができる。第一の溶剤の量が少
なくなると、感光液全体の粘度を高めることになり、ス
ピンコートなどによって膜厚分布の均一な塗膜を得るの
が難しくなる。また、第二の溶剤の量があまり少なくな
ると、ストリエーションが発生しやすくなり、露光、現
像によって得られる画素の透明性が悪くなる傾向にあ
る。溶剤全体の量を基準に、第一の溶剤が７０重量％以
上、また９０重量％以下、そして第二の溶剤が１０重量
％以上、また３０重量％以下であるのが一層好ましい。

【００３３】一方、本発明の第二の態様では、溶剤の少
なくとも一部として前記式（Ｉ）で示されるケトエーテ
ル系溶剤を用いる。この場合、式（Ｉ）に相当するケト
エーテル化合物をそれぞれ単独で、または２種以上組み
合わせて用いることができるほか、他の溶剤との混合溶
剤とすることもできる。式（Ｉ）で示されるケトエーテ
ル系溶剤のほとんどは、常圧における沸点が１００〜２
００℃の範囲にある。混合溶剤とする場合であっても、
溶剤を構成する実質的にすべての成分が、常圧において
１００〜２００℃の沸点を有するのが好ましい。また、
式（Ｉ）に含まれる各種ケトエーテル化合物の２５℃に
おける粘度は、概ね２.０mPa・s以下であり、さらにある
種のものは、２５℃における粘度が１.５mPa・s以下であ
る。したがって、式（Ｉ）で示されるケトエーテル系溶
剤のうち、２５℃における粘度が１.５mPa・s以下のもの
を、上記第一の態様における第一の溶剤とすることもで
きる。ただし、式（Ｉ）のケトエーテル系溶剤を用いる
場合は、前記第一の態様のように低沸点の第一の溶剤と
高沸点の第二の溶剤を組み合わせる必要は必ずしもな
く、温度２５℃における粘度が１.５mPa・s以下の溶剤だ
けであっても、顔料の分散性および感光液の均一塗布性
に優れたものとなる。もちろん、式（Ｉ）のケトエーテ
ル系溶剤が、温度２５℃において１.５mPa・s以下の粘度
を有する場合であっても、２５℃における粘度が１.５m
Pa・sを越える溶剤を、溶剤全体の５０重量％以下、好ま
しくは４０重量％以下の範囲で併用してもよい。また、
式（Ｉ）で示されるケトエーテル系溶剤の２５℃におけ
る粘度が１.５mPa・sを超えても、この溶剤を用いる場合
には、顔料の分散性および感光液の均一塗布性に優れた
ものとなる。式（Ｉ）のケトエーテル系溶剤は、溶剤全
体の量を基準に、通常２５重量％以上あればよく、好ま
しくは３０重量％以上用いられる。式（Ｉ）のケトエー
テル系溶剤とともに用いられる他の溶剤の具体例は、先
に示した第一の態様における第一の溶剤および／または
第二の溶剤と同様である。

【００３４】式（Ｉ）において、Ａは炭素数１〜４のア
ルキレンであり、炭素数２以上の場合は直鎖でも分岐し
ていてもよく、またＲは炭素数１〜３のアルキルであ
り、炭素数３の場合はｎ−プロピルでもイソプロピルで
もよい。式（Ｉ）から明らかなように、このケトエーテ
ル化合物は、総炭素数が４〜９の値をとりうるが、溶剤
特性からいえば、総炭素数５以上、特に６以上、また総
炭素数８以下、特に７以下のものが好ましい。

【００３５】式（Ｉ）で示されるケトエーテル系溶剤の
例として、具体的には、ｎ−プロポキシアセトン、イソ
プロポキシアセトン、４−メトキシ−２−ブタノン、４
−エトキシ−２−ブタノン、４−ｎ−プロポキシ−２−
ブタノン、４−イソプロポキシ−２−ブタノン、４−エ
トキシ−３−メチル−２−ブタノン、４−エトキシ−２
−ペンタノン、５−メトキシ−２−ペンタノン、５−エ
トキシ−２−ペンタノン、４−メトキシ−４−メチル−
２−ペンタノン、４−エトキシ−４−メチル−２−ペン
タノン、５−メトキシ−４−メチル−２−ペンタノン、
５−メトキシ−３−メチル−２−ペンタノンなどを挙げ
ることができる。これらのなかでも、４−メトキシ−４
−メチル−２−ペンタノンが好ましく用いられる。

【００３６】このように本発明では、温度２５℃におけ
る粘度が１.５mPa・s以下の第一の溶剤と温度２５℃にお
ける粘度が１.５mPa・sを越える第二の溶剤との混合溶剤
を用いるか、または前記式（Ｉ）のケトエーテル化合物
を含有する溶剤を用いる。いずれの場合も、全溶剤量
は、着色画像形成用感光液の全体量を基準に、好ましく
は６０〜９０重量％、より好ましくは７０〜８５重量％
である。

【００３７】本発明の着色画像形成用感光液は、必要に
よりさらに、充填剤、他の高分子化合物、界面活性剤
（顔料分散剤）、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収
剤、凝集防止剤などの添加剤を含有することもできる。
具体的には、ガラスやシリカ、アルミナのような充填
剤、ポリビニルアルコールやポリアクリル酸、ポリエチ
レングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアル
キルアクリレートのような他の高分子化合物、ノニオン
系、カチオン系またはアニオン系界面活性剤（顔料分散
剤）、ビニルトリメトキシシランやビニルトリエトキシ
シラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラ
ン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメ
チルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３
−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロ
ピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルト
リメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジ
メトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシ
ル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメ
チルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキ
シシラン、３−メタクリロイロキシプロピルトリメトキ
シシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン
のような密着促進剤、２，２′−チオビス（４−メチル
−６−tert−ブチルフェノール）や２，６−ジ−tert−
ブチルフェノールのような酸化防止剤、２−（３−tert
−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５
−クロロベンゾトリアゾールやアルコキシベンゾフェノ
ンのような紫外線吸収剤、ポリアクリル酸ナトリウムの
ような凝集防止剤などが挙げられる。

【００３８】本発明の着色画像形成用感光液は、上記の
ような顔料およびバインダー樹脂、所望によりさらに光
重合性モノマーおよび光重合開始剤、場合によりさらに
光開始助剤、さらには必要に応じてその他の添加剤が、
特定の溶剤に溶解または分散されている。そして、上記
の溶剤を含有する本発明の着色画像形成用感光液は、通
常のスピンコーターまたはスリットを備えた省液型スピ
ンコーターによって、基板上にむらなく均一に塗布する
ことができる。したがって本発明の着色画像形成用感光
液を用いることにより、均一な膜厚を有し、かつ表面平
滑性に優れた乾燥塗膜を、ストリエーションを発生する
ことなく形成することができる。

【００３９】このような乾燥塗膜をパターニング露光
後、アルカリ現像することにより、透明性に優れたカラ
ーフィルターが得られ、さらにこのカラーフィルター
は、液晶カラーディスプレイなどに組み込まれて、液晶
パネルとなる。パターニング露光には、目的の画像を形
成するためのマスクを介して紫外線を照射する方法が通
常採用され、この際、露光部全体に均一に平行光線が照
射されるよう、マスクアライナーなどを使用するのが好
ましい。

【００４０】パターニング露光後の現像に使用する現像
液は、通常、アルカリ性化合物と界面活性剤を含む水溶
液である。アルカリ性化合物は、無機および有機のアル
カリ性化合物のいずれであってもよい。無機アルカリ性
化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カ
リウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウ
ム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウ
ム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カ
リウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナト
リウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸
カリウム、アンモニアなどが挙げられる。また、有機ア
ルカリ性化合物の具体例としては、テトラメチルアンモ
ニウムヒドロキシド、２−ヒドロキシエチルトリメチル
アンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチ
ルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエ
チルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミ
ン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどが挙
げられる。これらの無機および有機アルカリ性化合物
は、それぞれ単独で、または二種以上組み合わせて用い
ることができる。アルカリ現像液中のアルカリ性化合物
の好ましい濃度は、０.0１〜１０重量％の範囲であり、
より好ましくは０.0５〜５重量％である。

【００４１】また界面活性剤は、ノニオン系界面活性
剤、カチオン系界面活性剤またはアニオン系界面活性剤
のいずれでもよい。ノニオン系界面活性剤の具体例とし
ては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキ
シエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアル
キルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘
導体、オキシエチレン／オキシプロピレンブロックコポ
リマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレ
ンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソル
ビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、
ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレ
ンアルキルアミンなどが挙げられる。 アニオン系界面
活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エス
テルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナト
リウムのような高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウ
リル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムのよう
なアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナト
リウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムのよ
うなアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられ
る。カチオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリ
ルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロ
ライドのようなアミン塩または第四級アンモニウム塩な
どが挙げられる。これらの界面活性剤は、それぞれ単独
で用いることも、また２種以上組み合わせて用いること
もできる。アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、通
常０.0１〜１０重量％の範囲、好ましくは０.0５〜８重
量％、より好ましくは０.1〜５重量％である。

【００４２】以上のような感光液の塗布、乾燥、得られ
る乾燥塗膜へのパターニング露光、そして現像という各
操作を経て、感光液中の顔料の色に相当する画素が得ら
れ、さらにこれらの操作を、カラーフィルターに必要と
される色の数だけ繰り返すことにより、カラーフィルタ
ーが得られる。すなわち、カラーフィルターは通常、
赤、緑および青の各画素を基板上に配置したものである
が、ある色に相当する顔料を含有する本発明の感光液を
用いて上記の操作を行うことにより、その色の画素を
得、他の色についても所望の色に相当する顔料を含有す
る本発明の感光液を用いて同様の操作を行い、三色の画
素を基板上に配置することができる。また、遮光層であ
るブラックマトリックスの形成に、黒色顔料を含有する
本発明の感光液を用いることもできる。

【００４３】そして、本発明の感光液を用いて製造され
たカラーフィルターは、面内の膜厚差が小さく、例えば
１〜２μm の膜厚で、面内膜厚差を０.0２μm 以下、さ
らには０.0１μm 以下とすることができる。したがっ
て、こうして得られるカラーフィルターは、平滑性およ
び透明性に優れたものであり、またこれをカラー液晶表
示装置に組み込むことにより、優れた品質の液晶パネル
を高い歩留りで製造することができる。

【００４４】

【実施例】以下、実施例により本発明をさらに詳細に説
明するが、本発明はこれらの実施例によって限定される
ものではない。例中、含有量ないし使用量を表す％およ
び部は、特にことわらないかぎり重量基準である。また
粘度は、Ｒ型粘度計（東機産業（株）製）を用いて２５
℃で測定した値であり、溶剤粘度は５０rpm 、感光液粘
度は２０rpm で測定した。

【００４５】実施例１ 遮光膜が形成されたガラス基板（コーニング＃７０５
９）に、表１に示す組成で粘度７.９mPa・sの着色画像形
成用感光液を、スピンコーターにより７００rpmで塗布
した。塗布直後に室温で３分間放置しても、未乾燥塗膜
の収縮はみられなかった。

【００４６】

【表１】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 顔料 ：C.I.ヒ゜ク゛メントフ゛ルー 15:6 4.51部 C.I.ヒ゜ク゛メントハ゛イオレット 23 0.24部 バインダー樹脂 ：ヘ゛ンシ゛ルメタクリレート/メタクリル酸共重合体 6.85部 （重量組成比 80/20、重量平均分子量 35,000） 光重合性モノマー：シ゛ヘ゜ンタエリスリトールヘキサアクリレート 3.37部 （日本化薬（株）製、“KAYARAD DPHA”） 光重合開始剤 ：2,4-ヒ゛ス(トリクロロメチル)-6-ヒ゜ヘ゜ロニル-1,3,5-トリアシ゛ン 1.02部 （日本シーベルヘグナー（株）製） 添加剤 ：ノニオン系顔料分散剤 3.00部 溶剤 ：フ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノメチルエーテルアセテート 70.55部 （沸点 145℃、粘度 1.1 mPa・s） シクロヘキサノン 10.46部 （沸点 156℃、粘度 2.0 mPa・s） ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

【００４７】塗布後の塗膜を１００℃で３分間プリベー
クして乾燥させ、得られた乾燥塗膜を触針式膜厚測定器
で測定したところ、膜厚は１.４０μmであり、面内膜厚
差の最大値は０.００５μm未満であった。この乾燥塗膜
は透明性に優れており、ストリエーションの発生もなか
った。次いでこの乾燥塗膜に対し、フォトマスクを介し
て超高圧水銀灯により２００mJ／cm² の露光を行った
後、ノニオン系界面活性剤を含む０.1％炭酸ナトリウム
水溶液に浸漬して現像し、青色画像を得た。こうして形
成された画素は、面内膜厚分布の均一性が高く、カラー
フィルターとして好ましいものであった。

【００４８】実施例２ 溶剤の組成を以下のように変更した以外は、実施例１と
同様の操作を行った。感光液の粘度は８.４mPa・sであっ
た。

【００４９】 3-メトキシフ゛チルアセテート（沸点 173℃、粘度 1.1 mPa・s） 53.29部フ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノメチルエーテルアセテート （沸点 145℃、粘度 1.1 mPa・s）17.26部シクロヘキサノン （沸点 156℃、粘度 2.0 mPa・s） 10.46部

【００５０】塗布直後に室温で３分間放置しても、未乾
燥塗膜の収縮はみられなかった。プリベーク後に得られ
た乾燥塗膜の膜厚は１.３５μmであり、面内膜厚差の最
大値は０.００５μm未満であった。この乾燥塗膜は透明
性に優れており、ストリエーションの発生もなかった。
また、露光、現像後に得られた青色画素は、面内膜厚分
布の均一性が高く、カラーフィルターとして好ましいも
のであった。

【００５１】実施例３ 溶剤の組成を以下のように変更した以外は、実施例１と
同様の操作を行った。感光液の粘度は９.６mPa・sであっ
た。

【００５２】 3-エトキシフ゜ロヒ゜オン酸エチル（沸点 170℃、粘度 1.2 mPa・s） 53.29部フ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノメチルエーテルアセテート （沸点 145℃、粘度 1.1 mPa・s）17.26部シクロヘキサノン （沸点 156℃、粘度 2.0 mPa・s） 10.46部

【００５３】塗布直後に室温で３分間放置しても、未乾
燥塗膜の収縮はみられなかった。プリベーク後に得られ
た乾燥塗膜の膜厚は１.４０μmであり、面内膜厚差の最
大値は０.００５μm未満であった。この乾燥塗膜は透明
性に優れており、ストリエーションの発生もなかった。
また、露光、現像後に得られた青色画素は、面内膜厚分
布の均一性が高く、カラーフィルターとして好ましいも
のであった。

【００５４】実施例４ 遮光膜が形成されたガラス基板（コーニング＃７０５
９）に、表２に示す組成で粘度７.９mPa・sの着色画像形
成用感光液を、スピンコーターにより７００rpmで塗布
した。塗布直後に室温で３分間放置しても、未乾燥塗膜
の収縮はみられなかった。

【００５５】

【表２】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 顔料 ：C.I.ヒ゜ク゛メントフ゛ルー 15:6 4.51部 C.I.ヒ゜ク゛メントハ゛イオレット 23 0.24部 バインダー樹脂 ：ヘ゛ンシ゛ルメタクリレート/メタクリル酸共重合体 6.85部 （重量組成比 80/20、重量平均分子量 35,000） 光重合性モノマー：シ゛ヘ゜ンタエリスリトールヘキサアクリレート 3.37部 （日本化薬（株）製、“KAYARAD DPHA”） 光重合開始剤 ：2,4-ヒ゛ス(トリクロロメチル)-6-ヒ゜ヘ゜ロニル-1,3,5-トリアシ゛ン 1.02部 （日本シーベルヘグナー（株）製） 添加剤 ：ノニオン系顔料分散剤 3.00部 溶剤 ：4-メトキシ-4-メチル-2-ヘ゜ンタノン 53.29部 （沸点１５６℃、粘度 1.0 mPa・s） フ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノメチルエーテルアセテート 17.26部 （沸点１４５℃、粘度 1.1 mPa・s） シクロヘキサノン 10.46部 （沸点１５６℃、粘度 2.0 mPa・s） ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

【００５６】塗布後の塗膜を１００℃で３分間プリベー
クして乾燥させ、得られた乾燥塗膜を触針式膜厚測定器
で測定したところ、膜厚は１.４０μmであり、面内膜厚
差の最大値は０.００５μm未満であった。この乾燥塗膜
は透明性に優れており、ストリエーションの発生もなか
った。次いでこの乾燥塗膜に対し、フォトマスクを介し
て超高圧水銀灯により２００mJ／cm² の露光を行った
後、ノニオン系界面活性剤を含む０.1％炭酸ナトリウム
水溶液に浸漬して現像し、青色画像を得た。こうして形
成された画素は、面内膜厚分布の均一性が高く、カラー
フィルターとして好ましいものであった。

【００５７】実施例５ 溶剤の組成を以下のように変更し、スピンコーターの回
転数を８００rpm とした以外は、実施例４と同様の操作
を行った。感光液の粘度は１０.２mPa・sであった。

【００５８】 4-イソフ゜ロホ゜キシ-2-フ゛タノン（沸点 170℃、粘度 1.7 mPa・s） 53.29部フ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノメチルエーテルアセテート （沸点 145℃、粘度 1.1 mPa・s）17.26部シクロヘキサノン （沸点 156℃、粘度 2.0 mPa・s） 10.46部

【００５９】塗布直後に室温で３分間放置しても、未乾
燥塗膜の収縮はみられなかった。プリベーク後に得られ
た乾燥塗膜の膜厚は１.３５μmであり、面内膜厚差の最
大値は０.００５μm未満であった。この乾燥塗膜は透明
性に優れており、ストリエーションの発生もなかった。
また、露光、現像後に得られた青色画素は、面内膜厚分
布の均一性が高く、カラーフィルターとして好ましいも
のであった。

【００６０】実施例６ 溶剤の組成を以下のように変更した以外は、実施例４と
同様の操作を行った。感光液の粘度は７.８mPa・sであっ
た。

【００６１】 3-エトキシフ゜ロヒ゜オン酸エチル（沸点 170℃、粘度 1.2 mPa・s） 53.29部 4-メトキシ-4-メチル-2-ヘ゜ンタノン（沸点 156℃、粘度 1.0 mPa・s） 27.72部

【００６２】塗布直後に室温で３分間放置しても、未乾
燥塗膜の収縮はみられなかった。プリベーク後に得られ
た乾燥塗膜の膜厚は１.４０μmであり、面内膜厚差の最
大値は０.００５μm未満であった。この乾燥塗膜は透明
性に優れており、ストリエーションの発生もなかった。
また、露光、現像後に得られた青色画素は、面内膜厚分
布の均一性が高く、カラーフィルターとして好ましいも
のであった。

【００６３】比較例１ 溶剤の組成を以下のように変更し、スピンコーターの回
転数を９００rpm とした以外は、実施例１と同様の操作
を行った。感光液の粘度は１１.３mPa・sであった。

【００６４】アセト 酢酸メチル（沸点 172℃、粘度 1.6 mPa・s） 53.29部フ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノメチルエーテルアセテート （沸点 145℃、粘度 1.1 mPa・s）17.26部シクロヘキサノン （沸点 156℃、粘度 2.0 mPa・s） 10.46部

【００６５】塗布直後に室温で３分間放置しても、未乾
燥塗膜の収縮はみられなかった。プリベーク後に得られ
た乾燥塗膜の膜厚は１.２８〜１.３３μm であり、面内
膜厚差の最大値は０.０５μmであった。この乾燥塗膜は
透明性に優れ、ストリエーションの発生もなかった。し
かし、露光、現像後に得られた青色画素は、面内膜厚分
布の均一性に劣り、カラーフィルターとして好ましくな
いものであった。

【００６６】比較例２ 溶剤の組成を以下のように変更した以外は、比較例１と
同様の操作を行った。感光液の粘度は１３.８mPa・sであ
った。

【００６７】イソホロン （沸点 215℃、粘度 2.4 mPa・s） 53.29部フ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノメチルエーテルアセテート （沸点 145℃、粘度 1.1 mPa・s）17.26部シクロヘキサノン （沸点 156℃、粘度 2.0 mPa・s） 10.46部

【００６８】塗布直後に室温で３分間放置すると、未乾
燥塗膜の収縮がみられた。プリベーク後に得られた乾燥
塗膜の膜厚は１.３３〜１.３５μm であり、面内膜厚差
の最大値は０.０２μmであった。この乾燥塗膜は透明性
に優れ、ストリエーションの発生もなかった。しかし、
露光、現像後に得られた青色画素は、面内膜厚分布の均
一性に劣り、カラーフィルターとして好ましくないもの
であった。

【００６９】比較例３ 溶剤の組成を以下のように変更し、スピンコーターの回
転数を１０００rpm とした以外は、比較例１と同様の操
作を行った。感光液の粘度は１６.１mPa・sであった。

【００７０】 乳酸フ゛チル（沸点 188℃、粘度 3.3 mPa・s） 53.29部フ゜ロヒ゜レンク゛リコールモノメチルエーテルアセテート （沸点 145℃、粘度 1.1 mPa・s）17.26部シクロヘキサノン （沸点 156℃、粘度 2.0 mPa・s） 10.46部

【００７１】塗布直後に室温で３分間放置しても、未乾
燥塗膜の収縮はみられなかった。プリベーク後に得られ
た乾燥塗膜の膜厚は１.３２〜１.３５μm であり、面内
膜厚差の最大値は０.０３μmであった。この乾燥塗膜は
透明性に優れ、ストリエーションの発生もなかった。し
かし、露光、現像後に得られた青色画素は、面内膜厚分
布の均一性に劣り、カラーフィルターとして好ましくな
いものであった。

【００７２】以上、青色画素の製造例を示したが、他の
色、例えば赤色画素や緑色画素についても、顔料を所望
の色のものに変更し、必要により他の成分を変更して、
同様に製造することができる。

【００７３】

【発明の効果】本発明の着色画像形成用感光液を用いる
ことにより、基板上にムラなく均一に塗布することがで
き、平滑性に優れた塗膜を形成することができる。こう
して得られる塗膜は、面内膜厚分布が均一であり、それ
を露光、現像することにより、平滑性および透明性に優
れたカラーフィルターを高い歩留まりで製造することが
できる。

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】顔料、バインダー樹脂および溶剤を含有
   し、 該溶剤が、温度２５℃において１.５mPa・s以下の
   粘度を有する第一の溶剤６０〜９５重量％と、温度２５
   ℃において１.５mPa・sを越える粘度を有する第二の溶剤
   ５〜４０重量％との混合物であり、かつ該溶剤を構成す
   る実質的にすべての成分が常圧において１００〜２００
   ℃の沸点を有することを特徴とする着色画像形成用感光
   液。
2. 【請求項２】バインダー樹脂が、カルボキシル基を有す
   る共重合体である請求項１記載の着色画像形成用感光
   液。
3. 【請求項３】さらに、光重合性モノマーおよび光重合開
   始剤を含有する請求項１または２記載の着色画像形成用
   感光液。
4. 【請求項４】第二の溶剤が、温度２５℃において１.６m
   Pa・s以上の粘度を有する請求項１〜３のいずれかに記載
   の着色画像形成用感光液。
5. 【請求項５】第二の溶剤が、温度２５℃において３.０m
   Pa・s以下の粘度を有する請求項１〜４のいずれかに記載
   の着色画像形成用感光液。
6. 【請求項６】溶剤全体の量を基準に、第一の溶剤が７０
   〜９０重量％、第二の溶剤が１０〜３０重量％存在する
   請求項１〜５のいずれかに記載の着色画像形成用感光
   液。
7. 【請求項７】顔料、バインダー樹脂および溶剤を含有
   し、該溶剤が、次式（Ｉ） （式中、Ａは炭素数１〜４のアルキレンを表し、Ｒは炭
   素数１〜３のアルキルを表す）で示されるケトエーテル
   化合物を含有することを特徴とする着色画像形成用感光
   液。
8. 【請求項８】バインダー樹脂が、カルボキシル基を有す
   る共重合体である請求項７記載の着色画像形成用感光
   液。
9. 【請求項９】さらに、光重合性モノマーおよび光重合開
   始剤を含有する請求項７または８記載の着色画像形成用
   感光液。
10. 【請求項１０】式（Ｉ）で示されるケトエーテル化合物
    が、溶剤全体の量を基準に２５重量％以上存在する請求
    項７〜９のいずれかに記載の着色画像形成用感光液。
11. 【請求項１１】式（Ｉ）で示されるケトエーテル化合物
    が、４−メトキシ−４−メチル−２−ペンタノンである
    請求項７〜１０のいずれかに記載の着色画像形成用感光
    液。
12. 【請求項１２】溶剤を構成する実質的にすべての成分
    が、常圧において１００〜２００℃の沸点を有する請求
    項７〜１１のいずれかに記載の着色画像形成用感光液。
13. 【請求項１３】溶剤が、温度２５℃において１.５mPa・s
    以下の粘度を有する第一の溶剤と、温度２５℃において
    １.５mPa・sを越える粘度を有する第二の溶剤との混合物
    である請求項７〜１２のいずれかに記載の着色画像形成
    用感光液。
14. 【請求項１４】溶剤を構成する実質的にすべての成分
    が、温度２５℃において１.５mPa・s以下の粘度を有する
    請求項７〜１２のいずれかに記載の着色画像形成用感光
    液。
15. 【請求項１５】請求項１〜１４のいずれかに記載の着色
    画像形成用感光液を基板上に塗布し、乾燥後パターニン
    グ露光し、現像することを特徴とするカラーフィルター
    の製造方法。