JPH1124026A - ギャップ出し装置及びギャップ出し方法 - Google Patents

ギャップ出し装置及びギャップ出し方法

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JPH1124026A
JPH1124026A JP18781497A JP18781497A JPH1124026A JP H1124026 A JPH1124026 A JP H1124026A JP 18781497 A JP18781497 A JP 18781497A JP 18781497 A JP18781497 A JP 18781497A JP H1124026 A JPH1124026 A JP H1124026A
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JP
Japan
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jig
vacuum
glass substrate
heating
plate
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JP18781497A
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English (en)
Inventor
Shigeyuki Takagi
茂之 高木
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Sintokogio Ltd
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Sintokogio Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガラス基板サイズに影響されずに汎用性が高
く、熱硬化性樹脂の硬化均一性の高く高速処理可能なギ
ャップ出し治具を提供する。 【構成】 ガラス基板Gを気密に囲む上シ−ト4,上プ
レ−ト5,環状パッキン6,からなる上治具Bと、下シ
−ト7、下プレ−ト8とで成る下治具Aとによって画成
される真空減圧区画Vを吸引孔3から減圧する真空減圧
源Rと,前記下治具Bの上方に位置し加熱源を有する上
熱盤Pと、該上熱盤Pの外側で固定されて前記上治具B
を上下に昇降させ押し付ける上クランプ1と,前記下治
具Aの下方に位置し、前記上熱盤と対向し加熱源Hを有
した下熱盤Qと,下クランプ2と,熱盤昇降機構Eとを
具備することを特徴とするギャップ出し治具。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、内面に透明電極を
配設した2枚のガラス板間に熱硬化性樹脂を塗布した液
晶パネル用のガラス基板を加圧して位置ずれを起こさな
いように均一なギャップ出しをする装置及びギャップ出
し方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、上記のような液晶パネルのギャッ
プ出しをする方法として真空圧を利用した間接加圧方法
が公知になっている(たとえば、特開平1ー25782
4号公報、特開平9ー21988号公報等)。しかし、
これらの方法に用いるギャプ出し治具では、治具に汎用
性がないため、ガラス基板の厚さや、大きさが限定さ
れ、ガラス基板を変更する場合は、ガラス基板サイズに
合わせてギャップ出し治具の交換をしなければならない
という問題があった。また、加熱時に上下治具にクラン
プされた部分は、加熱されにくいため、急速昇温した場
合、ガラス基板の外周の昇温が低くなり、熱硬化性樹脂
の硬化ムラが起きるという問題があった。一方、減圧方
式の治具でギャップを出した後オ−ブンで加熱をするこ
とも公知である(たとえば、特開昭63−85571号
公報)。しかし、この方法ではギャップ出し治具全体を
オーブンで加熱しなければならないため、加熱させるの
に大きなエネルギーを必要とするという問題点があっ
た。また、出願人は、高精度の2枚の熱盤間にガラス基
板を挟み込み、加圧と加熱を同時に行う装置を提案して
いる(特開平3−150527号公報)。しかし、この
方法では熱盤の精度や、2枚の熱盤の平行度が重要とな
り、装置の構造が複雑かつ高価になるという問題点があ
った。さらに、シール材である熱硬化性樹脂を減圧下で
加熱した場合、温度上昇に伴いシール材の粘度が低下
し、シール材中に閉じ込められた空気や揮発成分が減圧
脱泡されて、シール材中に気泡が発生してしまい、不良
となる。このため、減圧の後に加熱を行うことは公知で
あるが、減圧を解除すると押えられていたシ−ルが戻る
ためギャップ精度が不均一になってしまう。さらに、生
産性に問題が生じる。特に、減圧位置と加熱位置を分離
して構成した場合には、ガラス基板の移動にも時間がか
かる問題があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、これらの問
題に鑑みなされたものであり、本発明の目的は、ガラス
基板サイズに影響されない汎用性の高いギャップ出しが
でき、エネルギー効率に優れ経済的かつ、高速処理可能
なギャップ出し装置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明にかかるギャップ出し装置は、ガラス基板
Gを気密に囲む上シート4、上プレート5、環状パッキ
ン6からなる上治具Bと、下シート7および下プレ−ト
8からなる下治具Aとによって画成せいされる真空減圧
区画Vを吸引口3から減圧する真空減圧源Rと;前記上
治具Bの上方に位置し加熱源を有した上熱盤Pと;該上
熱盤Pの外側で固定されて前記上治具Bを上下に昇降さ
せ押付ける上クランプ1と;前記下治具Aの下方に位置
し、前記上熱盤Pと対向し加熱源Hを有した下熱盤Q
と;該下熱盤Qの外側で固定されて前記下治具Aを上下
に昇降させ押付ける下クランプ2と;該下熱盤Qを上下
に昇降させ、前記下治具A、ガラス基板G及び上治具B
とを前記上熱盤Pに押えつける熱盤昇降機構Eと;を具
備することを特徴とする。
【0005】また、本発明にかかるギャップ出し方法
は、内面に透明電極を配設した2枚のガラス板間に熱硬
化性樹脂を塗布した液晶パネル用のガラス基板を加圧す
るギャップ出し方法において、減圧によりガラス基板G
シ−ルする工程と、前記減圧の真空度を低くしたまま前
記熱硬化性樹脂を加熱する工程と、加熱により熱硬化性
樹脂の硬化反応が進行し樹脂の粘度が上昇し始めてから
真空度を高め始め、完全に硬化が完了する前に所定の真
空度まで高めて保持する工程と、熱硬性樹脂の硬化完了
後真空を解除する工程と、を含むことを特徴とする。ま
た、本発明にかかるギャップ出し方法は、前記加熱工程
において、ガラス基板に同時に真空力よりも小さい絶対
値の加圧力をかけることを特徴とする。
【0006】本発明によれば、前記上シ−ト、上プレ−
ト、環状パッキンからなる上治具と、下シ−トおよび下
プレートからなる下治具とによって画成される真空減圧
区画を減圧するので、ガラス基板サイズによる制限が生
じず、汎用性がある。加熱硬化性樹脂を用いる場合に
は、ガラス基板は前記上シ−トと下シ−トとにのみ接触
し、上・下治具にクランプされる部分が存在しないた
め、クランプされた部分の温度上昇が遅れることがなく
なり、急速昇温が可能となる。加熱される部分が、前記
上シ−ト、下シ−ト、ガラス基板のみに限定され、しか
も、上シ−ト、下シ−トの熱容量は非常に小さいもので
あるので、加熱に必要な熱量を極力押えることが可能と
なる。さらに、前記真空減圧源の圧力を制御する真空圧
力制御機構をもちいることにより、熱硬化性シール樹脂
中に気泡が発生してしまう問題を確実に解決できる。そ
して、熱盤昇降の押し圧力を制御する熱盤押し圧力制御
機構をさらに具備したことにより、均一なギャップ出し
を簡単に確保できる。そして、ガラスパネルを搬入搬出
する把持装置は、下治具及びガラス基板のみを出し入れ
するため、装置がコンパクトになる。
【0007】
【発明の実施の形態】以下本発明の実際の形態を図面に
基づいて詳しく説明する。まず、本発明にかかるギャッ
プ出し装置の詳細を図1を用いて説明する。図1におい
てフレ−ム(図示せず)に固定された上熱盤Pは、金属
定盤、熱電対L及びヒータHから成っている。なお、金
属定盤の機械精度は問わない。この上熱盤Pの外側に
は、コラム(図示せず)に固定されるとともにギャップ
出し治具Jの上治具Bを上下に昇降させ押付ける上クラ
ンプ1が設けられている。ここで、上クランプ1は、エ
アーシリンダーよりなり、上治具Bを下治具A方向にク
ランプし、下治具A及び下クランプ2ともにに真空減圧
区画Vを画成する。
【0008】前記ギャップ出し治具Jの下方には、前記
上熱盤Pと対向し加熱源を有した下熱盤Qが昇降可能に
位置され、熱盤昇降機構Eにより、該下熱盤Qを上下に
昇降させることによって、前記下治具A、ガラス基板G
及び上治具Bとを一体にして前記上熱盤Pに押えつける
ことができるようになっている。さらに、前記上プレー
ト5には、吸引孔3が設けられていて、吸引孔3から真
空吸引し前記上シ−ト4、上プレ−ト5、環状パッキン
6からなる上治具Bと及び下シ−ト7、下プレート8か
らなる下治具Aとによって画成される真空減圧区画Vを
減圧する真空減圧源Rが設けられ、該真空減圧源Rの圧
力を制御する真空圧力制御機構Sと、前記熱盤昇降機構
Eの押し圧力を制御する熱盤押し圧力制御機構Tとを具
備している。
【0009】真空減圧源Rは、ダイアフラム真空ポンプ
からなり、真空制御機構Sは、電子制御真空レギュレー
タ、プログラム圧力制御コントローラと圧力センサーよ
りなり、フィードバック制御をする。熱盤昇降機構E
は、エアーシリンダーを具備し下熱盤Qを昇降し、上下
治具A、B及びガラス基板Gを持上げ、上熱盤Pに押付
ける。このとき、押付け圧力を制御する。なお、緩衝材
としてシリコンスポンジを用いてもよい。
【0010】本発明にかかるギャップ出し装置は以上の
ように構成されるが、このギャップ出し装置は、以下に
説明するギャップ出し治具Jを一例として用いることが
できる。
【0011】図2は、本発明に用いるギャップ出し治具
Jの一例を示したものであり、ギャップ出し治具Jは、
枠状の下プレ−ト8に下シート7を張設した下治具A
と;枠状の上プレ−ト5、該上プレ−ト5の周縁に設け
た環状パッキン6からなる上治具Bと、上治具Bの上プ
レート5における該環状パッキン6の内側に設けられた
吸引孔3と;を具備する。
【0012】以下、ギャップ出し治具の詳細につき説明
する。まず、下治具Aについて説明する。枠状の下プレ
ート8は、枠状のステンレス(SUS)製である。枠状
の下プレ−ト8の開口部は、ガラス基板Gよりも大きく
なっている。枠状の下プレート8の上には、下シート7
が固定される。該下シ−ト7は、ガラスクロスを基材と
した気密性のあるテフロン樹脂含浸シートからなり、下
シ−ト7の周縁の上部には、SUS製の下シート固定部
材24が取り付けられている。該下シ−ト固定部材24
は、下シート23を固定する平板で、張力機構25によ
り下シート23を下プレ−ト8に固定している。張力機
構25は、SUS製のテンションバー26と、該テンシ
ョンバー26に穿たれたネジ穴27にネジ込まれた押し
ボルト28より成り、該張力機構25は、前記枠状の下
プレート8の4辺に配置されている。そして、下シート
固定部材24により前記テンションバー26に四辺を固
定された下シート7は、前記押しボルト28をネジ込む
ことにより、前記テンションバー26が外側に移動し、
前記下シート23に張力が発生する構成になっている。
前記下シート7はガラスクロスや耐熱樹脂クロスなどの
基材をベースにしたもので、気密性があり、張力機構2
5の張力に耐え、かつ、200℃の温度に耐える材質で
あり、また、厚さが厚すぎると熱伝導の障害となるの
で、2mm以下の厚さのシートが好ましい。
【0013】次いで、上治具Bについて説明する。上治
具Bは、ガラスクロスを基材とした気密性のあるシリコ
ンシートからなる上シート4がSUS製の上シート固定
部材31により、ガラス基板Gよりも大きな穴の明けら
れた枠状のSUS製の上プレ−ト5の4辺に気密に固定
された構成になっている。前記上シート4は、熱膨張に
よる弛みを防ぐために、ガラスクロスなどの基材をベー
スにした気密性があり、200℃の温度に耐える材質で
あり、また、厚さが厚すぎると熱伝導の障害となるの
で、2mm以下の厚さのシートが好ましい。
【0014】さらに、前記上プレ−ト5の周縁下面に
は、Oリングからなる環状パッキン6が固定されてお
り、前記上治具Bと下治具Aを重ね合せた状態で、前記
上シ−ト4、上プレ−ト5、環状パッキン6、下シ−ト
7、下プレート8からなる真空減圧区画Vを形成可能と
なっている。また、前記環状パッキン6と前記上シ−ト
固定部材31の間に、上下に吸引孔3が穿たれており、
該吸引孔3より前記真空減圧区画V内部が減圧可能とな
っている。ここで、環状パッキン6は、ゴム製のOリン
グが好適である。
【0015】以下、本発明にかかるギャップ出し装置を
用いて、ガラスパネルのギャップ出しをする手順を図1
及び図2を用いて説明する。作動開始前には、下クラン
プ2は引っ込み下端にあり、該下クランプ2には、下治
具Aが載置されている。上クランプ1は押出し端に位置
している。はじめに、下クランプ2から、下治具Aをフ
ォ−クなどの把持装置で取出した後、下治具Aの下シ−
ト7の上に、上下2枚のガラス基板Gの間に球状スペー
サーを介在させると共に該ガラス基板Gの周縁間に熱硬
化性の樹脂でなるシール材を塗布したガラスパネルを載
置し、下治具Aを下クランプ2に載置する。
【0016】次に、下クランプ2を上昇させ、下治具A
と上治具Bを重ね合せて、下プレ−ト8に環状パッキン
6を押付け、上シ−ト4、上プレ−ト5、環状パッキン
6及び下シ−ト7(下プレート8)からなる真空減圧区
画Vを形成する。そして、真空減圧源Rを作動させ、吸
引孔3より吸引し、真空減圧区画Vを減圧状態にする。
この時、上・下治具A,Bには大気圧が働くため、上・
下シ−ト4,7を介してガラス基板Gにも大気圧が働
き、減圧プレスされることになる。
【0017】一方、あらかじめ所定温度に上熱盤P、下
熱盤Qを加熱しておき、前述の減圧が開始されたら、熱
盤昇降機構Eを作動させ、下熱盤Qを上昇させる。そし
て、上・下治具A,Bを持上げて、緩衝材C,Cを介し
上下熱盤P,Qに押付けてやる。この時の前記熱盤昇降
機構Eの押し圧力は、熱盤押し圧力制御機構Tにより制
御することにより、前記熱盤昇降機構Eの押し圧力によ
る影響を減圧プレスによる押し圧力の影響よりも小さく
することができ、上・下熱盤P,Qの精度や平行度に影
響されなくなる。
【0018】そして、上熱盤Pと下熱盤Qに上シ−ト
4、ガラス基板G、下シ−ト7を挟み込み、上・下熱盤
P、Qにより直接加熱する。上・下治具A,Bを上昇さ
せるとき、上クランプ1の作動を止めて、上治具Bへの
クランプ力を解除し、上・下治具A,Bの上昇の邪魔に
ならないようにする。上・下熱盤P,Qに接触する部分
は上・下シ−ト4,7のみに限定され、上・下プレ−ト
5,8にはほとんど熱が伝わらないため、昇温に必要な
エネルギーを押えることができ、また、ガラス基板Gを
取出す際に、治具を室温まで冷却するためのエネルギー
が不用となる。
【0019】加熱温度と減圧圧力は、ガラス基板Gに塗
布したシール材としての熱硬化性樹脂の種類により異な
ってくるが、一般的に使用される熱硬化性樹脂では、プ
レス温度140〜200℃、プレス圧力0.4〜0.9
Kg/cm2程度でプレスされる。熱硬化性樹脂を減圧
下で加熱した場合、温度上昇に伴い樹脂の粘度が低下
し、樹脂中に閉じ込められた空気や揮発成分が減圧脱泡
されて、樹脂中に気泡が発生してしまい、不良となる。
また、熱硬化性樹脂の粘度が下がった状態で、急激な真
空圧力変化を与え真空度を高めると、ガラス基板Gの周
縁に形成された樹脂内部と外側との圧力差が大きくな
り、ガラス基板G内部の空気が樹脂を突破って流出し、
樹脂が破断してしまう。これらのことにより、減圧下で
加熱する場合、加熱当初は真空度を高めず、熱硬化性樹
脂の硬化反応が進行し樹脂の粘度が上昇し始めてから真
空度を高めて、かつ、完全に硬化が完了する前に所定の
真空度まで高めなければならない。
【0020】熱硬化性樹脂の種類によって硬化反応は異
なるが、温度上昇と共に低下し続けた樹脂の粘度は、9
0〜100℃から上昇に転じ、150℃で硬化が開始す
る。従って、100℃から真空度を高め始め、150℃
になるまでに所定の真空度まで高め、ギャップを形成す
る必要がある。真空度を高めるタイミングが早いと気泡
等の問題を生ずるが、硬化完了前に真空度が上がりきら
ない場合、プレス力が不足し、目標のギャップ厚さに潰
れきらないという問題が生じる。上・下熱盤P、Q温度
を160℃に設定した場合、加熱開始から120sec
時点で約90℃に到達し、加熱開始から180sec後
には約150℃に到達し、加熱開始から240seでほ
ぼ160℃に到達し、硬化が完了する。加熱前に0.1
〜0.2Kg/cm2で減圧加圧し、120secまで
この圧力を保持し、120secに至った時点で真空度
を高め、180secで0.7Kg/cm2に到達する
ように真空圧力制御機構Tを調整する。
【0021】こうして、硬化が完了したら、真空減圧源
Rの動作を停止させ、熱盤昇降機構Eを降下させ、上・
下治具A、Bと上・下熱盤P、Qを分離させ、次に、下
クランプ2を下降させ、下治具Aを上治具Bと切離す。
下治具A及びガラス基板Gを図示されないフォークなど
の把持装置により取出したのち、ガラス基板Gが冷却す
るのを待ち、ガラス基板Gを取出し作業が完了する。
【0022】なお、実施の形態においては、ガラス基板
Gを載置するために下治具Aをフォ−クなどの把持装置
を用いて搬出したが、下治具Aをギャップ出し装置の外
側に往復動作できるレ−ルを用いた移動手段により搬入
搬出をしてもよい。
【0023】
【発明の効果】本発明は上記の説明から明らかなよう
に、ガラス基板のサイズによる制限が生じないので、ガ
ラス基板サイズごとに治具を用意する必要がなくなり、
汎用性のある治具となるので、経済性に優れる。急速昇
温した場合でも、治具によりクランプされる部分がない
ので、ガラス基板が均一に加熱されるため、硬化ムラが
生じず高品位な液晶パネルを得ることができる。また、
ギャップ出し治具の熱の伝達部分を上下シ−トのみに限
定したことにより、無駄な加熱・冷却を極力減らすこと
ができ、省エネルギー化が可能となる。さらに、シール
樹脂中に気泡が発生することなく迅速にギャップ出しを
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のギャップ出し装置全体を示す概略図で
ある。
【図2】ギャップ出し治具の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 上クランプ 2 下クランプ 3 吸引孔 4 上シ−ト 5 上プレ−ト 6 環状パッキン 7 下シ−ト A 下治具 B 上治具 P 上熱盤 Q 下熱盤 E 熱盤昇降機構 S 真空圧力制御機構 T 熱盤押し圧力制御機構 V 真空減圧区画 J ギャップ出し治具 G ガラス基板 R 真空減圧源

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガラス基板Gを気密に囲む上シート
    4、上プレート5、環状パッキン6からなる上治具B
    と、下シート7および下プレ−ト8からなる下治具Aと
    によって画成される真空減圧区画Vを吸引口3から減圧
    する真空減圧源Rと;前記上治具Bの上方に位置し加熱
    源を有した上熱盤Pと;該上熱盤Pの外側で固定されて
    前記上治具Bを上下に昇降させ押付ける上クランプ1
    と;前記下治具Aの下方に位置し、前記上熱盤Pと対向
    し加熱源Hを有した下熱盤Qと;該下熱盤Qの外側で固
    定されて前記下治具Aを上下に昇降させ押付ける下クラ
    ンプ2と;該下熱盤Qを上下に昇降させ、前記下治具
    A、ガラス基板G及び上治具Bとを前記上熱盤Pに押え
    つける熱盤昇降機構Eと;を具備することを特徴とする
    ギャップ出し装置。
  2. 【請求項2】 前記真空減圧源Rの圧力を制御する真
    空圧力制御機構Sをさらに具備したことを特徴とする請
    求項1に記載のギャップ出し装置。
  3. 【請求項3】 前記熱盤昇降機構Eの押し圧力を制御
    する熱盤押し圧力制御機構Tをさらに具備したことを特
    徴とする請求項1又は請求項2に記載のギャップ出し装
    置。
  4. 【請求項4】 前記下治具Aを、下クランプ2上から
    取り出し、下治具Aの下シート7の上にガラスパネルを
    載置し、再度下治具Aを下クランプ2上に載置する把持
    装置をさらに備えたことを特徴とする請求項1から請求
    項3のいずれか1項に記載のギャップ出し装置。
  5. 【請求項5】 内面に透明電極を配設した2枚のガラ
    ス板間に熱硬化性樹脂を塗布した液晶パネル用のガラス
    基板Gを加圧するギャップ出し方法において、減圧によ
    りガラス基板を押圧する工程と、前記減圧の真空度を低
    くしたまま前記熱硬化性樹脂を加熱する工程と、加熱に
    より熱硬化性樹脂の硬化反応が進行しシール樹脂の粘度
    が上昇し始めてから真空度を高め始め、完全に硬化が完
    了する前に所定の真空度まで高めて保持する工程と、熱
    硬化性樹脂の硬化完了後真空を解除する工程と、を含む
    ことを特徴とするギャップ出し方法。
  6. 【請求項6】前記加熱工程において、ガラス基板に同時
    に真空力よりも絶対値の小さい加圧力をかけることを特
    徴とする、請求項5に記載のギャップ出し方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003091970A1 (fr) * 2002-04-24 2003-11-06 Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. Dispositif de collage pour substrat de panneau plat
CN115521053A (zh) * 2022-10-25 2022-12-27 深圳市益铂晶科技有限公司 一种玻璃激光切割的定点加温裂片方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003091970A1 (fr) * 2002-04-24 2003-11-06 Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. Dispositif de collage pour substrat de panneau plat
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