JPH11232987A - 静電リレー - Google Patents
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- JPH11232987A JPH11232987A JP34116198A JP34116198A JPH11232987A JP H11232987 A JPH11232987 A JP H11232987A JP 34116198 A JP34116198 A JP 34116198A JP 34116198 A JP34116198 A JP 34116198A JP H11232987 A JPH11232987 A JP H11232987A
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Abstract
性の高い静電リレーを提供する。 【解決手段】 基板1上に空隙を持って保持された両持
ち梁状のねじれ弾性部3と、該ねじれ弾性部3による弾
性支持によって回動自在な可動構造部10と、該可動構
造部10の少なくとも一方の端部に配置された少なくと
も1個の可動接点と、前記可動構造部10の回動支点P
と前記可動接点間に配置された可動電極20と、前記可
動接点に接触可能に対向する前記基板上に形成された少
なくとも1個の固定接点5と、前記可動電極20に対向
する如く前記基板上に形成された固定電極4とを備えて
おり、さらに前記可動構造部10の回動支点Pと前記可
動接点間の少なくとも一部が弾性連絡部14となってい
る。
Description
る静電アクチュエーターを、駆動源として用いた静電リ
レーに関する。
電磁式リレーと異なり、静電引力を駆動力として接点の
開閉を行うリレーであり、電磁力を発生するためのコイ
ルが不要で機械部品が少なく、小型化が可能であるこ
と、及び本質的にコンデンサーである静電アクチュエー
ターを駆動源として用いるため、低消費電力であるとい
う特徴があり、実用化に向けて研究が進められている。
特開平2−100224号公報にあるように、単結晶S
iを選択エッチングによりトーションバー弾性体とそれ
に接続されたシーソー状構造体とを形成し、その構造体
に静電アクチュエーターの可動電極部とリレーの可動接
点とを形成して、それぞれに対向する位置に固定電極と
固定接点とを設けた電気絶縁性基板上にスペーサーを介
して配置したものがある。
動電極間に電圧を印加することにより、トーションバー
弾性体のねじれによって、電圧が印加された側のシーソ
ー状構造体が回転運動を行い可動接点を固定接点に接触
させるものである。
可動接点が、シーソー状構造体の端部に設けられている
ため、接触時に、可動接点が固定接点に対し傾斜状態で
接触するため十分な接触面積が得られず、接点抵抗が高
くなる。また、可動接点を設ける構造体の位置を適切に
選ばないと構造体が可動接点と同時に接触してしまうた
め、接点間の圧力が不十分になる可能性がある。
固定電極に対向する可動電極が、トーションバー弾性体
により空隙を介して保持されたシーソー状構造体の可動
接点位置よりも回動支点寄りに形成されるため、可動接
点が固定接点に接触し、シーソー状構造体の回転運動が
停止した時点で、固定電極と可動電極との間に楔状のエ
アギャップが生じる。
例する。従って、静電アクチュエーターは吸引動作時で
もこのエアギャップのため静電引力が小さくなってしま
う。このため接点に十分な圧力がかからないので接点抵
抗を十分小さくすることができず、またこれを克服する
ために動作電圧を高くすることは静電リレーの実用性を
著しく妨げることになる。
低接点抵抗、高接点容量の実用性の高い静電リレーを提
供することを目的とする。
の実施の形態において明らかにする。
に、本発明の静電リレーは、基板と、該基板上に空隙を
持って保持された両持ち梁状のねじれ弾性部と、該ねじ
れ弾性部による弾性支持によって回動自在な可動構造部
と、該可動構造部の少なくとも一方の端部に配置された
少なくとも1個の可動接点と、前記可動構造部の回動支
点と前記可動接点間に配置された可動電極と、前記可動
接点に接触可能に対向する前記基板上に形成された少な
くとも1個の固定接点と、前記可動電極に対向する如く
前記基板上に形成された固定電極とを備えた構成におい
て、前記可動構造部の回動支点と前記可動接点間の少な
くとも一部が弾性連絡部となっていることを特徴として
いる。
連絡部が、前記可動構造部における前記可動電極と前記
可動接点間にあり、前記可動電極と前記固定電極間への
電圧印加時に、弾性変形により前記可動接点と前記固定
接点とを平行状態で接触可能に構成するとよい。
部における前記回動支点と前記可動電極間にあり、前記
可動電極と前記固定電極間への電圧印加時に、弾性変形
により前記可動電極が前記固定電極に対して平行乃至平
行に近い近接状態に吸引されるように構成するとよい。
電体層が介在していてもよい。
ねじれ弾性部の両側に延長しており、前記回動支点に対
して少なくとも一方の側に前記可動接点が、両側に前記
可動電極がそれぞれ配置されるとともに、両側の前記可
動電極にそれぞれ対向する如く前記基板上に前記固定電
極が形成された構成としてもよい。
実施の形態を図面に従って説明する。
第1の実施の形態を示す。これらの図において、静電リ
レーは、絶縁性基板1と、基板1上に立設、固定された
アンカー構造体2と、アンカー構造体2で基板1から空
隙を持って保持された両持ち梁状のねじれ弾性部3と、
ねじれ弾性部3による弾性支持によって回動自在なリレ
ー構造体をなす可動構造部10とを具備している。前記
絶縁性基板1は少なくとも表面が絶縁処理されているも
ので、例えば表面にSiO2絶縁層を設けた単結晶Si
基板等である。アンカー構造体2、両持ち梁状のねじれ
弾性部3、可動構造部10の3者は多結晶Si等により
一体に形成されている。
は、前記両持ち梁状のねじれ弾性部3に接続する両持ち
梁接続部11、可動電極支持部12、可動接点支持部1
3、及び可動電極支持部12と可動接点支持部13とを
接続する弾性連絡部14から構成されており、弾性連絡
部14は両持ち梁状に形成され、そのねじれにより可動
接点支持部13が回転動作可能になっている。
板対向面側には、図2乃至図4の如くそれぞれ可動電極
20及びこの表面を被覆した絶縁層(誘電体層)21、
可動接点22が形成、配置され、これらに対向する基板
上に固定電極4及び固定接点5が形成、配置されてい
る。絶縁性基板1上に固定された固定電極4と可動電極
支持部12に固定された可動電極20とは両者間に印加
された電圧により静電引力を発生する静電アクチュエー
ターを構成する部分であり、固定電極4と可動電極20
とは図示しない配線により外部電源に接続される。
ーの動作原理を説明する。図2は非動作状態(電圧を印
加しない状態)での各電極及び各接点の位置を示し、接
点5,22間は開いている。静電アクチュエーターを構
成する固定電極4と可動電極20間に電圧を印加すれ
ば、両電極間には静電引力が発生し、図3のようにリレ
ー構造体としての可動構造部10は、両持ち梁状のねじ
れ弾性部3のねじれ弾性変形により可動接点22が固定
接点5に接触するまで、基板側に回転運動する。この回
動支点は図1の線Pの位置である。
構造体の動作が停止する。このとき図3から明らかなよ
うに可動接点22と固定接点5は点接触状態であり、十
分な接触面積が得られず、接点抵抗が高くなってしま
う。また、接触点が小さく、抵抗が高いため、通過電流
が集中して接点温度上昇を招き、接点の溶着等の故障を
発生しやすくなる。更にまた静電アクチュエーターの固
定電極4と可動電極20の間隔が広いため十分な静電引
力を発生することができず、接点圧力が十分とれない。
このことは接点抵抗の上昇を招く。接点圧力を上げるた
めには更に高い電圧を印加せねばならず、静電リレーの
動作電圧が高くなって実用性に欠けてしまう。
では、更にこの時点から、静電アクチュエーターの吸引
力により弾性連絡部14が変形され、ついには図4に示
すように可動接点22が固定接点5に対し平行になるよ
うに変形する。図4から明らかなように、この時で接点
5,22は平行状態で面接触し、図1のように一対の固
定接点5が可動接点22で短絡され十分低い接点抵抗と
十分大きな接点電流容量を得ることができる。更に、静
電アクチュエーターの電極4,20間の距離は図3の状
態と比較して著しく近接させることができる。つまり、
静電アクチュエーターの静電引力は電極間隔の自乗に逆
比例するため、動作電圧が低くとも接点に十分な圧力を
加えることができ、低い接点抵抗と低動作電圧という従
来の静電リレーでは困難であった特性が達成できる。
ば、弾性部3のねじれ弾性変形が元の状態に戻り、可動
構造部10は図2の非動作状態に復帰する。
の効果を得ることができる。
構成する可動構造部10における可動電極20と可動接
点22間に位置し、固定電極4と可動電極20間への電
圧印加時に、ねじれ弾性変形により固定接点5と可動接
点22とを平行状態で接触可能に構成したので、接点
5,22を面接触させて、十分低い接点抵抗と十分大き
な接点電流容量を得ることができる。
0間の距離は従来構造の場合の限界であった図3の状態
と比較して著しく近接させることができ、静電引力を大
きくして動作電圧が低くとも接点に十分な圧力を加える
ことができ、低動作電圧で作動可能な静電リレーを実現
できる。
おり、電極4,20が直接接触する短絡事故を確実に防
止できる。なお、可動電極20と固定電極4間に絶縁層
21が介在しても、絶縁層21は空気に比べて誘電率の
高い誘電体であり、絶縁層21の存在による静電引力の
低下は考えなくてよい(無視できる。)。
14として、両持ち梁のねじれ弾性を用いる構造を示し
たが、弾性連絡部の構成は、これに限るものではなく、
静電リレー動作電圧印加時に弾性変形により前記可動接
点と前記固定接点を平行に接触させ得るように配置さ
れ、前記固定電極と可動電極間に発生する静電引力にて
前記両接点が平行に接触するに至る変形が可能な弾性率
を持てばよく、例えば可動電極支持部12から引き出さ
れた片持ち梁形状等をとっても同様の効果が得られる。
を示す。これらの図において、リレー構造体を構成する
可動構造部30は、絶縁性基板1からアンカー構造体2
を介して両持ち梁状のねじれ弾性部3によって基板1か
ら空隙を持って保持される。可動構造部30は、可動電
極支持部32、可動接点支持部33、及び両持ち梁状の
ねじれ弾性部3と可動電極支持部32とを所定の長さで
接続する弾性連絡部34から構成されており、弾性連絡
部34は、可動電極支持部32より細く複数の帯状に形
成され、上下面に垂直な方向への弾性変形(撓みによる
変形)により可動電極支持部32と可動接点支持部33
が変移可能になっている。
板対向面側には、図6乃至図8の如くそれぞれ可動電極
20及び可動接点22が形成、配置され、これらに対向
する基板上に固定電極4及びこの表面を被覆した絶縁層
(誘電体層)6、固定接点5が形成、配置されている。
絶縁性基板1上に固定された固定電極4と可動電極支持
部32に固定された可動電極20とは両者間に印加され
た電圧により静電引力を発生する静電アクチュエーター
を構成する部分である。
の形態と同様である。
ーの動作原理を説明する。図6は非動作状態(電圧を印
加しない状態)での各電極及び各接点の位置を示し、接
点5,22間は開いている。静電アクチュエーターを構
成する固定電極4と可動電極20間に電圧を印加すれ
ば、両電極間には静電引力が発生し、図7のようにリレ
ー構造体としての可動構造部30は、両持ち梁状のねじ
れ弾性部3のねじれ弾性により可動接点22が固定接点
5に接触するまで、基板側に回転運動する。
構造体の動作が停止するため、第1の実施の形態の動作
説明にて述べた如く、接点接触面積の不足、接点圧力の
不足、高い動作電圧等の問題点が生じる。
では、更にこの時点から、静電アクチュエーターの吸引
力により所定の長さを持つ弾性連絡部34が撓んで変形
され、ついには図8に示すように、可動電極20と固定
電極4とが平行乃至平行に近い状態になり、更に可動接
点22と固定接点5も平行状態になるように変形する。
図8から明らかなように、この時接点5,22は平行状
態で面接触し、十分低い接点抵抗と大きな接点電流容量
を得ることができる。更に、静電アクチュエーターの電
極4,20間の距離は図7の状態と比較して、絶縁層6
を介してほぼ接触に至るまで近接させることができ、極
めて強い静電引力を発生することができる。従って、低
い動作電圧でも接点に十分な圧力を加えることができ、
低い接点抵抗と低動作電圧という従来の静電リレーでは
困難であった特性が容易に達成できる。
撓み変形可能な所定長の弾性連絡部34が、リレー構造
体をなす可動構造部30における回動支点P(両持ち梁
状のねじれ弾性部3のねじれ中心)と可動電極20間に
位置しており、固定電極4と可動電極20間への電圧印
加時に、弾性変形により可動電極20が固定電極4に対
して平行乃至平行に近い近接状態に吸引されるように構
成でき、静電引力を大きくできるとともに、接点5,2
2を面接触させて、十分低い接点抵抗と十分大きな接点
電流容量を得ることを可能とし、さらには低動作電圧の
静電リレーを実現できる。
34として、可動構造部30の細く形成された所定長部
分の基板に対する垂直方向への弾性変形を用いる構造を
示したが、弾性連絡部の構成は、これに限るものではな
く、静電リレー動作電圧印加時に弾性変形により可動電
極と固定電極とが平行になり得るように配置され、前記
固定電極と可動電極間に発生する静電引力にて両電極が
平行乃至平行に近い状態に至る変形が可能な弾性率を持
てばよく、例えば図1で示した弾性連絡部14のよう
な、両持ち梁のねじれ回転を用いても同様の効果が得ら
れる。
態であり、弾性連絡部が、リレー構造体を構成する可動
構造部における可動電極と可動接点間に設けられている
とともに、可動構造部の回動支点(両持ち梁状のねじれ
弾性部のねじれ中心)と可動電極間にも設けられている
場合を示す。これらの図において、リレー構造体を構成
する可動構造部40は、絶縁性基板1からアンカー構造
体2を介して両持ち梁状のねじれ弾性部3によって基板
1から空隙を持って保持される。可動構造部40は、所
定長の両持ち梁接続部41、可動電極支持部42、可動
接点支持部43、両持ち梁接続部41の先端部と可動電
極支持部42とを接続する第1の弾性連絡部44、及び
可動電極支持部42と可動接点支持部43とを接続する
第2の弾性連絡部45から構成されている。第1及び第
2の弾性連絡部44,45は、両持ち梁状のねじれ弾性
部であり、両持ち梁接続部41の先端側に対して可動電
極支持部42が第1の弾性連絡部44により回動自在
に、可動電極支持部42の先端側に対して可動接点支持
部43が第2の弾性連絡部45により回動自在にそれぞ
れ支持されている。
の形態と同様であり、同一又は相当部分に同一符号を付
して説明を省略する。
る静電リレーの動作状況を示す。図10は非動作状態
(電圧を印加しない状態)での各電極及び各接点の位置
を示す。静電アクチュエーターを構成する固定電極4と
可動電極20間に電圧を印加すれば、両電極間には静電
引力が発生し、図11のようにリレー構造体としての可
動構造部40は、両持ち梁状のねじれ弾性部3のねじれ
弾性変形により可動接点22を固定接点5に接触させ、
さらに第1及び第2の弾性連絡部44,45のねじれ弾
性変形により可動接点22と固定接点5を平行に密着さ
せた状態に至るまで、基板側に回転運動する。
の実施の形態を取った場合、ねじれ弾性部である第1及
び第2の弾性連絡部44,45の弾性率を適切に選ぶこ
とにより、可動接点22と固定接点5とを平行に密着さ
せた上で、静電アクチュエーターの可動電極20と固定
電極4をほぼ平行に保ちながら、かつエアギャップを持
って対向させることが可能になる。このことは、例え
ば、図3に示したような楔形エアギャップを持った場合
より更に強い静電引力を得ることができると同時に、可
動電極20と固定電極4の接触を完全に避けることが可
能になる。従って、静電アクチュエーターを構成するた
めの可動電極20又は固定電極4上に形成される絶縁層
が不要、もしくは絶縁耐圧を低くすることができるとと
もに、アクチュエーター電極間の不用意な接触による固
着等の問題を避けることが可能となる。
形態であり、リレー構造体を、基板から該リレー構造体
を回転支持する両持ち梁状のねじれ弾性部の両側に延長
し、該両持ち梁状のねじれ弾性部に対して対称形状に配
置した例を示す。すなわち、第4の実施の形態に係る静
電リレーは、絶縁性基板1と、基板1上に立設、固定さ
れたアンカー構造体2と、アンカー構造体2で基板1か
ら空隙を持って保持された両持ち梁状のねじれ弾性部3
と、ねじれ弾性部3による弾性支持によって回動自在な
ように両側に対称配置されたリレー構造体をなす可動構
造部10A,10Bとを具備している。各可動構造部1
0A,10Bの電極及び接点構成等は、前述した第1の
実施の形態と同様であるので、同一又は相当部分に同一
符号を付して詳細は省略する。
電リレー動作時に左右の静電アクチュエーターの電極
4,20間に図14に示すような反転出力電圧を与える
ことにより、一方のリレー接点5,22のオフ(OF
F)動作時に、当該接点の引き離し作用が両持ち梁状の
ねじれ弾性部3の弾性による復帰運動のみによらず、反
対側静電アクチュエーターの静電引力を用いることが可
能になり、確実なリレー接点のオフ動作が可能になる。
を図12に図示の如く共通に接続すれば、図15に示す
ように切り替えスイッチを容易に構成することが可能で
ある。
れか一方の可動接点22及びこれに対向する基板側の固
定接点5の組を省略して、オフ動作の確実性を向上させ
た構成とすることもできる。
電アクチュエーターの一方の電極となる可動電極をリレ
ー構造体(可動構造部)の基板面側に形成した例を示し
たが、同電極位置はこれに限らず、実質的に固定電極と
可動電極間に静電引力を発生させ得ればよく、例えば静
電アクチュエーターの構造体、つまりリレー構造体が高
誘電率の絶縁体や高抵抗体であれば、可動電極位置をリ
レー構造体の基板面側の反対面に配置してもよく、ま
た、前記構造体自体を導電性部材で構成すれば、当該構
造体自体を可動電極とすることも可能である。
に配置される可動接点22は1個に限らず、複数個配置
される場合もある。
る。
電リレーの平面図及び側面図である。本実施例では、ま
ず、図18(A)のように熱酸化法により厚さ約1μm
のSiO2絶縁層51aを形成した単結晶Si板51を
基板とし、厚さ500nm程度のAuをスパッタ法によ
り基板全面に形成し、次にフォトエッチングを用い、静
電アクチュエーターの固定電極54とリレーの固定接点
55をそれぞれパターニングした。次に反応性スパッタ
法により、基板全面に約100nmのSiN絶縁層を形
成し、同じくフォトエッチング法により静電アクチュエ
ーターの固定電極54上を残して同絶縁層を選択除去
し、絶縁層56とした。
を用い、基板全面に犠牲層81となるSiO2膜を約3
μm程度堆積した。それから可動接点72に相当する位
置のSiO2膜をRIE法により約500nm掘り下
げ、更に基板全面に約500nmのAu膜を約20nm
のSiN反応防止層とともに形成し、所定の形状にフォ
トエッチングでパターニングして静電アクチュエーター
の可動電極70及びリレーの可動接点72を形成した。
さらにこの後、犠牲層81のSiO2膜のアンカー構造
体52に相当する部分82をフォトエッチングを用いて
選択除去する。
のように基板全面に多結晶Si膜83を約4μm形成
し、以下に述べるリレー構造体となる可動構造部の形状
にRIE法によりパターニングした。
より選択エッチングし、図16及び図17に示したリレ
ー構造体となる可動構造部60をリリースして形成し
た。
構造体52からの長さaが約100μm、幅約6μm程
度である。また、リレー構造体を構成する可動構造部6
0は、長さbが約100μmの両持ち梁接続部61、幅
c及び長さdがそれぞれ約200μmの可動電極支持部
62、幅約6μm、長さeが約50μmの両持ち梁状の
ねじれ弾性連絡部64、及び長さfが約50μmの可動
接点支持部63から構成され、可動構造部60全体が両
持ち梁状のねじれ弾性部53のねじれ弾性により回転可
動であると同時に、可動接点支持部63が両持ち梁状の
弾性連絡部64のねじれ弾性により回転可動構造とな
る。
ュエーターを構成する電極54,70間に約20V弱の
動作電圧を印加することにより、接点55,72が閉
じ、この時の接点抵抗は約0.2Ωで、接点電流100
mA以上を流すことが可能であった。この値は小信号用
リレーとして、十分実用可能な特性であり、犠牲層とな
るSiO2膜の膜厚を小さくすることや、静電アクチュ
エーター電極面積の拡大、等の形状寸法変更により、さ
らに低電圧動作とすることも可能である。
部を弾性支持する弾性連絡部を持たない従来構造を作成
し、評価した結果、同じく動作電圧は約20V弱ではあ
るが、接点抵抗は5〜10Ω以上の高い値を示し、1Ω
以下の接点抵抗に下げるためには50V以上の動作電圧
が必要であった。更に接点電流を数mA流したところ、
接点が溶着し、オフ動作が不可能になった。
リレー構造を用いれば、従来不可能であった、低電圧駆
動、低接点抵抗、高接点容量の実用性の高い静電リレー
が容易に構成可能である。
てリレー構造体となる可動構造部を形成した例を示した
が、本発明の静電リレーの構成方法はこれに限るもので
はなく、例えば可動構造部として単結晶Si基板に可動
接点と可動電極を形成して、異方性エッチング等の技術
を用いて所定の構造に形成後、同じく固定接点と固定電
極を形成した絶縁基板上にスペーサーを介して貼り付け
ても良い。このような場合でも、従来の構造と比較し
て、容易に低電圧駆動、高接点容量の特性を得ることが
可能である。
て、表面に絶縁加工をした金属薄板を用いることも可能
である。このような方法で形成された静電リレーは、薄
膜形成技術を用いた静電リレーと比較して、より大きな
接点電流を流す用途に適用可能である。
て説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく
請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能
なことは当業者には自明であろう。
リレーによれば、従来の静電リレーが問題として抱えて
いた、接点同士の点接触とそれによる接点電流容量不
足、接点抵抗上昇等の問題を解決し、接点同士を面接触
させることが可能になり、大きな接点容量と低い接点抵
抗を達成可能である。
る電極間の距離が、動作時に十分近接できないために生
じていた、接点圧力不十分とそれによる接点抵抗上昇、
またこれを克服するために動作電圧が高くなってしまう
問題点も、本発明の構成を用いれば、前記電極間距離を
従来と比較して著しく接近させることが可能であるた
め、十分な接点圧力とそれによる低い接点抵抗を、従来
より低い動作電圧で達成することが可能になる。
本発明は従来の静電リレーと比較して、極めて実用性が
高い静電リレーを構成することが可能である。
示す平面図である。
状態を示す側断面図である。
態を示す側断面図である。
る。
状態を示す側断面図である。
態を示す側断面図である。
る。
状態を示す側断面図である。
る。
ュエーターの電極間に印加する電圧波形を示す波形図で
ある。
を構成した場合の回路図である。
を示す説明図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 基板と、該基板上に空隙を持って保持さ
れた両持ち梁状のねじれ弾性部と、該ねじれ弾性部によ
る弾性支持によって回動自在な可動構造部と、該可動構
造部の少なくとも一方の端部に配置された少なくとも1
個の可動接点と、前記可動構造部の回動支点と前記可動
接点間に配置された可動電極と、前記可動接点に接触可
能に対向する前記基板上に形成された少なくとも1個の
固定接点と、前記可動電極に対向する如く前記基板上に
形成された固定電極とを備えた静電リレーにおいて、 前記可動構造部の回動支点と前記可動接点間の少なくと
も一部が弾性連絡部となっていることを特徴とする静電
リレー。 - 【請求項2】 前記弾性連絡部が、前記可動構造部にお
ける前記可動電極と前記可動接点間にあり、前記可動電
極と前記固定電極間への電圧印加時に、弾性変形により
前記可動接点と前記固定接点とを平行状態で接触可能に
構成した請求項1記載の静電リレー。 - 【請求項3】 前記弾性連絡部が、前記可動構造部にお
ける前記回動支点と前記可動電極間にあり、前記可動電
極と前記固定電極間への電圧印加時に、弾性変形により
前記可動電極が前記固定電極に対して平行乃至平行に近
い近接状態に吸引されるように構成した請求項1又は2
記載の静電リレー。 - 【請求項4】 前記可動電極と前記固定電極間に誘電体
層が介在している請求項1,2又は3記載の静電リレ
ー。 - 【請求項5】 前記可動構造部が前記両持ち梁状のねじ
れ弾性部の両側に延長しており、前記回動支点に対して
少なくとも一方の側に前記可動接点が、両側に前記可動
電極がそれぞれ配置されるとともに、両側の前記可動電
極にそれぞれ対向する如く前記基板上に前記固定電極が
形成されている請求項1,2,3又は4記載の静電リレ
ー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34116198A JP4144717B2 (ja) | 1997-11-25 | 1998-11-16 | 静電リレー |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33930997 | 1997-11-25 | ||
JP9-339309 | 1997-11-25 | ||
JP34116198A JP4144717B2 (ja) | 1997-11-25 | 1998-11-16 | 静電リレー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11232987A true JPH11232987A (ja) | 1999-08-27 |
JP4144717B2 JP4144717B2 (ja) | 2008-09-03 |
Family
ID=26576384
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34116198A Expired - Fee Related JP4144717B2 (ja) | 1997-11-25 | 1998-11-16 | 静電リレー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4144717B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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- 1998-11-16 JP JP34116198A patent/JP4144717B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2008218024A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Matsushita Electric Works Ltd | マイクロリレー |
JP4720760B2 (ja) * | 2007-02-28 | 2011-07-13 | パナソニック電工株式会社 | マイクロリレー |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4144717B2 (ja) | 2008-09-03 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
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