JPH11232633A - 垂直磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記録再生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 １平方インチ当たり４ギガビット以上の高密
度記録に適するような、十分に高い媒体Ｓ／Ｎを持ち、
かつ記録情報の長期間保持が可能な垂直磁気記録媒体を
提供する。 【解決手段】 媒体表面に垂直な方向に磁界を印加して
直流消磁したときに媒体表面に現れる反転磁区がほぼ円
状で、その平均直径が媒体表面で測定した結晶粒の平均
直径の２倍以下である媒体を用いる。このような垂直磁
気記録媒体は、Ｃｒを３０ａｔ％以上含有する多結晶薄
膜下地層１３上に、磁気記録層としてＣｏとＣｒを主た
る成分とする膜厚１００ｎｍ以下の強磁性薄膜１４を形
成し、４００〜６００℃で真空中熱処理することで作製
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンピュータの補
助記憶装置などに用いる磁気記録再生装置及びそれに用
いる磁気記録媒体に係る。

【０００２】

【従来の技術】情報化時代の進行により、日常的に扱う
情報量は増加の一途を辿っている。これに伴い、磁気記
録再生装置に対する高記録密度化と大容量化の要求が強
くなっている。磁気記録媒体の記録密度を高密度化して
いった場合、記録ビット当たりの媒体面積が小さくなる
ため、再生出力が低下し、再生が困難になる。この問題
を解決するため、記録と再生を別のヘッドで行い、再生
用ヘッドとして高い感度を持つ磁気抵抗効果を利用した
ヘッドを用いる方式が実用化されている。さらに、高密
度化を進めるために、より高い感度を持つ巨大磁気抵抗
効果を利用したヘッドも検討されている。このような高
感度の再生ヘッドを用いることにより、再生出力は大き
くできるが、同時にノイズも増幅してしまい、ノイズの
大きな媒体を用いた場合には記録された情報の読みとり
が不可能になる。したがって、高密度の記録と再生を行
うための磁気記録媒体としては、媒体ノイズを低く抑え
ることが必須である。

【０００３】現在の磁気ディスクに用いられている面内
磁気記録方式では、媒体ノイズの低減のために、結晶粒
の微細化が不可欠であり、今後保磁力の確保や記録磁化
状態の熱的安定性が問題になることが予想される。これ
に対して、垂直磁気記録方式は記録密度が高くなるにつ
れて反磁界が減少するという特徴があり、高密度に記録
した場合に、記録磁化状態が安定で媒体ノイズも小さ
く、高密度記録に適した方式であると考えられる。ただ
し、垂直磁気記録方式においても、高密度に記録された
情報を再生する場合には出力が小さいために、媒体ノイ
ズの低減は必須である。垂直磁気記録媒体のノイズは、
記録ビット内の逆磁区の大きさと記録ビット境界の乱れ
の大きさに依存すると考えられる。これらを小さくして
ノイズを低減するためには、磁性膜の結晶粒径を小さく
するなどして、磁化反転単位を小さくする必要がある。

【０００４】従来、垂直磁気記録媒体は連続薄膜型磁気
テープを中心に研究や開発が進められており、この場合
には磁性層の膜厚が１００ｎｍ以上と厚く、またトラッ
ク幅の広いヘッドで記録再生を行うため、再生出力が大
きく、媒体ノイズのレベルをそれほど抑える必要がなか
った。これに対して磁気ディスクとして垂直磁気記録媒
体を用いる場合には、トラック幅方向にも高密度化する
必要があることから、記録ビット面積は小さくなり、再
生出力は非常に小さくなる。この小さな出力を高感度ヘ
ッドにより再生することから、必然的に媒体ノイズに対
する制限は厳しくなり、また出力の減衰も極力抑える必
要がある。垂直磁気ディスク媒体のノイズに関する検討
結果は、例えば、Journal of Magnetism and Magnetic
Materials １３４巻３０４〜３０９頁（１９９４年発
行）に記載されているが、ＣｏＣｒＴａ垂直二層媒体に
ついて、９０ｋＦＣＩにおける媒体Ｓ／Ｎが２３．８ｄ
Ｂと示されており、１平方インチ当たり４ギガビット以
上の高い面記録密度の記録再生は困難であると考えら
れ、さらなる媒体ノイズの低減が必要である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】我々の検討によると、
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ磁性膜を非磁性のＣｏ−３５ａｔ％Ｃ
ｒ下地層上にエピタキシャル成長させ、かつ膜厚を薄く
することによって磁性膜の結晶粒を微細化すれば、ノイ
ズを低減できることがわかっている。ただし、膜厚が約
２５ｎｍ以下では膜厚を小さくしてもノイズの低減が見
られず、結晶粒微細化によるノイズの低減には限界があ
る。さらに、膜厚が１５ｎｍ以下になると熱揺らぎによ
る記録磁化の不安定性が問題となってくる。このよう
に、高感度の再生ヘッドに対応する垂直磁気記録媒体と
して、特に高密度記録に適するように媒体Ｓ／Ｎを十分
大きくするためには、記録層の膜厚を小さくして結晶粒
径を微細化することが有効であるが、単純に膜厚を低減
するだけでは媒体Ｓ／Ｎの向上に限界がある。

【０００６】本発明は、このような垂直磁気記録媒体の
現状を打開するためになされたものであり、１平方イン
チ当たり４ギガビット以上の高密度記録に適するよう
な、十分に高い媒体Ｓ／Ｎを持ち、かつ記録情報の長期
間保持が可能な垂直磁気記録媒体及びそれを応用した磁
気記録再生装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的は、媒体表面に
垂直な方向に磁界を印加して直流消磁したときに媒体表
面に現れる反転磁区の平均直径が媒体表面で測定した結
晶粒の平均直径の２倍以下である媒体を作製することで
達成される。このような特徴を持つ垂直磁気記録媒体を
作製するためには、磁気記録層として膜厚が１００ｎｍ
以下でかつＣｏとＣｒを主たる成分とする強磁性薄膜を
用い、前記磁気記録層に隣接する下地層としてＣｒを３
０ａｔ％以上含有する多結晶薄膜を用いるのがよい。さ
らに好ましくは、下地層と磁気記録層を形成した後に４
００℃〜６００℃の温度、より好ましくは４５０℃〜５
５０℃の温度で熱処理することにより、媒体表面に垂直
な方向に磁界を印加して測定した磁気記録層の保磁力を
３０００エルステッド以上にするのがよい。

【０００８】すなわち、本発明による垂直磁気記録媒体
は、媒体表面に垂直な方向に磁界を印加して直流消磁し
たときに媒体表面に現れる反転磁区の面積を円に換算し
たときの平均直径が媒体表面で測定した結晶粒の平均直
径の２倍以下であることを特徴とする。媒体表面に現れ
る反転磁区の形状は、典型的には略円状である。磁気記
録層としては、Ｃｒを３０ａｔ％以上含有する多結晶薄
膜下地層上に形成し、４００〜６００℃で真空中熱処理
した、ＣｏとＣｒを主たる成分とする膜厚１００ｎｍ以
下の強磁性薄膜を用いることができる。前記強磁性薄膜
は、媒体表面に垂直な方向に磁界を印加して測定したと
きの保磁力が３０００エルステッド以上であることが好
ましい。

【０００９】本発明による磁気記録再生装置は、磁気記
録媒体と、磁気記録媒体を駆動する媒体駆動部と、磁気
ヘッドと、磁気ヘッドを駆動する磁気ヘッド駆動部と、
記録再生信号処理系とを含む磁気記録再生装置におい
て、磁気記録媒体として前記した本発明による垂直磁気
記録媒体を用い、磁気ヘッドは再生部として磁気抵抗効
果型磁気ヘッド又は巨大磁気抵抗効果型ヘッドを備える
ことを特徴とする。

【００１０】また、本発明による垂直磁気記録媒体の製
造方法は、媒体表面に垂直な方向に磁界を印加して直流
消磁したときに媒体表面に現れる反転磁区の面積を円に
換算したときの平均直径が媒体表面で測定した結晶粒の
平均直径の２倍以下である垂直磁気記録媒体の製造方法
であって、Ｃｒを３０ａｔ％以上含有する多結晶薄膜を
スパッタ法により形成するステップと、２００℃以下の
基板温度において前記多結晶薄膜上にＣｏとＣｒを主た
る成分とする膜厚１００ｎｍ以下の強磁性薄膜をスパッ
タ法により形成するステップと、基板を真空中で４００
〜６００℃において熱処理するステップとを含むことを
特徴とする。

【００１１】なお、本明細書でいう結晶粒あるいは反転
磁区の平均直径とは、個々の結晶粒あるいは反転磁区の
占有面積から、それらが円であると考えたときの直径を
求め、その直径の分布を占有面積の積算で表したときの
積算占有面積が総占有面積の２分の１になる直径をい
う。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。図１は、本発明による垂直磁気記
録媒体の基本的な構成を示す略断面図である。この垂直
磁気記録媒体は、基板１１上に第１下地層１２及び第２
下地層１３を形成し、その上に磁気記録層１４、保護潤
滑層１５を積層した構造を有する。基板１１は、強化ガ
ラス、シリコン、カーボン、セラミックス、チタン合
金、有機樹脂、Ｎｉ−Ｐ合金メッキアルミ合金基板など
の非磁性基板である。第１下地層１２は磁気記録膜をｃ
軸垂直配向させるためのチタンあるいはチタン合金など
の薄膜であり、第２下地層１３はクロムを３０ａｔ％以
上含有する合金で構成される常磁性あるいは常磁性に近
い磁気特性の多結晶薄膜である。磁気記録層１４は、コ
バルトとクロムを主成分とする強磁性薄膜であり、例え
ばＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ、Ｃｏ−Ｃｒ−
Ｐｔ−Ｔａ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｗなどの
強磁性薄膜である。保護潤滑層１５はカーボン、シリコ
ン−カーボン、ボロン−カーボンなどの保護膜と有機系
潤滑膜とからなる層である。

【００１３】（実施例１）非磁性基板１１として基板表
面粗さＲ_aが３ｎｍ以下の直径２．５インチの強化ガラ
ス製ディスクを用い、下地層１２，１３、磁気記録層１
４及び保護潤滑層１５の膜形成は直流マグネトロンスパ
ッタ法により、以下の条件で行った。スパッタ装置内の
到達真空度は１×１０^-8Ｔｏｒｒ以下、放電用アルゴン
ガス圧力は３×１０^-3Ｔｏｒｒ、投入電力は直径６イン
チのターゲットに対して１ｋＷとした。下地層として
は、厚さ３０ｎｍのＴｉ又はＴｉ−１０ａｔ％Ｃｒの第
１下地層１２上に厚さ２０ｎｍのＣｏ−３５ａｔ％Ｃｒ
第２下地層１３を積層した２層膜を形成した。２層膜下
地１２，１３は磁気記録層１４の初期成長層の粒径制御
に役立ち、媒体ノイズの低減と再生出力減衰の抑制に効
果がある。磁気記録層１４としては、厚さ２５ｎｍのＣ
ｏ−１９ａｔ％Ｃｒ−１２ａｔ％Ｐｔを形成した。保護
潤滑層１５としては厚さ５ｎｍのカーボン膜と厚さ５ｎ
ｍの有機系潤滑膜を形成した。

【００１４】ここでは、条件を変えて代表的な３種類の
垂直磁気記録媒体を作製した。本発明による垂直磁気記
録媒体である試料Ａは、厚さ２５ｎｍの磁気記録層１４
を加熱をしないで約３０℃の基板温度で形成した後、５
００℃で１０分間の真空中熱処理を行ったものである。
比較用の試料Ｂは、厚さ２５ｎｍの磁気記録層１４を３
００℃の基板温度で形成したもので、熱処理は行ってい
ない。また、比較用の試料Ｃは、厚さ１５ｎｍの磁気記
録層１４を３００℃の基板温度で形成したもので、熱処
理は行っていない。

【００１５】作製した磁気ディスク媒体は、スピンスタ
ンドにおいて記録再生特性の評価を行い、媒体Ｓ／Ｎと
再生出力の経時変化を調べた。評価の条件としては、ギ
ャップ長０．２μｍ、トラック幅１μｍ、巻線数２０タ
ーンの誘導電磁型ヘッドにより記録し、シールド間隔
０．２μｍ、トラック幅０．９μｍの磁気抵抗効果型ヘ
ッドにより再生を行った。ヘッドと媒体の磁気スペーシ
ングは４０ｎｍとした。再生出力Ｓは線記録密度２ｋＦ
ＣＩの孤立波出力を、媒体ノイズＮは３００ｋＦＣＩを
記録した場合の０〜５０ＭＨｚの積算ノイズを測定して
求め、これらの比を媒体Ｓ／Ｎとして評価した。また、
線記録密度５０ｋＦＣＩの信号を記録してから５秒後か
ら１時間後まで再生出力を測定し、時間の対数に対して
プロットして直線で近似したときの５秒後に対する１時
間後の再生出力の比を求め、再生出力の経時変化の指標
とした。

【００１６】結晶粒径は、原子間力顕微鏡で媒体表面を
観察して求めた。また、反転磁区像は、電磁石で膜面垂
直方向に１５キロエルステッドの磁界を印加して直流消
磁した後、磁気力顕微鏡で媒体表面を走査して観察し
た。図２は、原子間力顕微鏡で観察した媒体表面の形態
像（ａ）と、磁気力顕微鏡で観察した反転磁区像（ｂ）
を同一視野で示した図である。図３は、直流消磁状態の
磁気記録層での結晶粒と反転磁区の様子を説明する模式
図である。結晶粒及び反転磁区のサイズを求めるために
は、少なくとも１００個以上の結晶粒又は反転磁区が観
察できるようにいくつかの視野で像を撮り、結晶粒３１
の占める面積３４と反転磁区３２の占める面積３５を求
め、各々を等円直径と考えて結晶粒及び反転磁区の直径
を算出した。図中の領域３３は直流消磁の磁場印加方向
に磁化された領域である。

【００１７】図４及び図５に、測定結果の一例を示す。
図４は、試料Ａについて、結晶粒及び反転磁区の直径を
横軸に、その大きさの結晶粒が占める面積を全面積を１
として規格化した値を縦軸にしてプロットした図であ
る。黒丸で示した分布４１は試料Ａについて測定した結
晶粒の直径分布を表し、白丸で示した分布４２は試料Ａ
について測定した反転磁区の直径分布を表す。この図か
らわかるように結晶粒径及び反転磁区径にはかなりの分
布があり、平均値を正確に求めることは難しい。この図
のピークがほぼ平均直径と考えられるが、ここではさら
に正確な評価のために、この占有面積を積算して０．５
となる直径を平均直径とした。図５に、積算した規格化
結晶粒面積を示した。黒丸で示した積算曲線５１は試料
Ａについて測定した結晶粒の直径分布の積算曲線であ
り、白丸で示した積算曲線５２は試料Ａについて測定し
た反転磁化の直径分布の積算曲線である。図５から、試
料Ａにおける結晶粒の平均直径は約１６ｎｍ、反転磁区
の平均直径は約２０ｎｍと求められる。

【００１８】図６は、試料Ｂについて測定した結晶粒の
直径分布６１と、反転磁区の直径分布６２を表し、図７
は試料Ｃについて測定した結晶粒の直径分布７１と反転
磁区の直径分布７２を表す。図６及び図７より得られる
直径分布の積算曲線から、試料Ｂに対しては結晶粒の平
均粒径が１６．３ｎｍ、反転磁区の平均直径が４２．３
と求められ、試料Ｃに対しては結晶粒の平均直径が９．
７ｎｍ、反転磁区の平均直径が２０．５ｎｍと求められ
た。

【００１９】前記３種類の垂直磁気記録媒体試料Ａ，
Ｂ，Ｃの記録再生特性と結晶粒径及び反転磁区径の測定
結果を表１に示す。媒体Ｓ／Ｎと再生出力の経時変化の
両方を考慮に入れると、記録再生特性の優れた試料は試
料Ａである。試料Ａは他の試料と比較しても、結晶粒径
は小さくなく、反転磁区径は試料Ｃと同程度である。た
だし、結晶粒径と反転磁区径の関係で比べてみると、反
転磁区径は結晶粒径の１．２４倍と小さくなっていた。

【００２０】

【表１】

【００２１】この関係を詳しく調べてみると、反転磁区
と結晶粒の直径比と媒体Ｓ／Ｎの関係を表す図８に示す
ように、反転磁区径が結晶粒径の２倍以下の試料はノイ
ズが小さく、媒体Ｓ／Ｎが少なくとも３６ｄＢ以上であ
った。これに対して、試料Ｃのように、たとえ結晶粒径
が小さくても、反転磁区が結晶粒径の２倍以上の試料は
ノイズが比較的大きく、媒体Ｓ／Ｎが３６ｄＢ以下であ
った。

【００２２】媒体ノイズの大きさは反転磁区の大きさに
関係すると考えられるが、結晶粒を小さくしただけでは
反転磁区は小さくならず、かえって反転磁区の大きさに
ばらつきを生じさせ、これが新たな媒体ノイズの原因を
作っていると考えられる。したがって、ノイズを小さく
するためには、各結晶粒を磁気的に孤立させ、結晶粒単
位で磁区が反転することが理想的であると考えられる。
少なくともこれに近い状態を実現することはノイズの低
減に非常に有効である。ただし、従来の媒体では、特に
結晶粒を小さくした場合には、反転磁区径は少なくとも
結晶粒の２〜３倍程度の大きさがあり、そのために十分
大きな媒体Ｓ／Ｎが得られなかった。

【００２３】本発明では、ＣｏとＣｒを主な成分とする
磁気記録層に接する下地としてＣｒを３０ａｔ％以上含
有する下地層を用いて、さらにこれらを形成後に４００
〜６００℃で真空中熱処理することにより、垂直方向に
磁場を印加して測定した保磁力が３０００エルステッド
以上で、反転磁区径が結晶粒径の２倍以下の垂直磁気記
録媒体を作製することができた。下地にＣｒの含有量が
３０ａｔ％以下の材料を用いても、熱処理の効果はほと
んど見られなかった。また、図８に示すように、保磁力
が３０００エルステッド以下の場合も、十分高い媒体Ｓ
／Ｎの値が得られなかった。磁気記録層の材料として、
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｔａ、Ｃｏ−Ｃ
ｒ−Ｎｂ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｗなどを選び、また組成を変え
て同様の比較実験を行ったところ同様の傾向を示す結果
が得られた。

【００２４】（実施例２）実施例１において作製した垂
直磁気記録媒体の中から媒体Ｓ／Ｎが３６ｄＢ以上の媒
体Ａを選び、これを用いた磁気ディスク装置を作製し
た。図９は磁気ディスク装置の構造を示す概略図であ
り、（ａ）は平面図、（ｂ）はそのＡＡ断面図である。
この磁気ディスク装置は、磁気記録媒体９１と、磁気記
録媒体を駆動する媒体駆動部９２と、磁気ヘッド９３
と、磁気ヘッドを駆動する磁気ヘッド駆動部９４と、記
録再生信号処理系６５とを備える周知の構造の磁気ディ
スク装置である。再生ヘッドとしては、実施例１で使用
したものと同様の磁気抵抗効果型ヘッドを用い、ヘッド
と媒体の間の磁気スペーシングは５０ｎｍ以下となるよ
うに調整した。その結果、１平方インチ当たり４ギガビ
ット以上の面記録密度での情報の記録と再生が可能であ
ることを確認できた。これに対して、媒体Ｓ／Ｎが３６
ｄＢに満たない試料Ｂあるいは試料Ｃの媒体を用いた場
合は、高記録密度での再生が困難であった。

【００２５】再生ヘッドとして、誘導電磁型ヘッドを用
いた場合には、本実施例で見られるような媒体間の媒体
Ｓ／Ｎの差異が見られず、また高密度に記録された情報
の再生も不可能であった。再生ヘッドとして、巨大磁気
抵抗効果を利用したヘッドを用いた場合には、本実施例
において見られた媒体Ｓ／Ｎの違いがより明確に現れ、
本発明が有効であることが確認された。

【００２６】

【発明の効果】本発明によると、高密度記録に適した十
分に高い媒体Ｓ／Ｎを持ち、かつ記録情報の長期間保持
が可能な垂直磁気記録媒体を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による垂直磁気記録媒体の断面構造を示
す模式図。

【図２】原子間力顕微鏡で観察した媒体表面の形態像
（ａ）と、磁気力顕微鏡で観察した反転磁区像（ｂ）を
同一視野で示した図。

【図３】直流消磁状態の磁気記録層での結晶粒と反転磁
区の様子を説明する模式図。

【図４】試料Ａについて測定した結晶粒と反転磁区の直
径分布を示す図。

【図５】試料Ａについて測定した結晶粒と反転磁区の直
径分布を積算面積で示した図。

【図６】試料Ｂについて測定した結晶粒と反転磁区の直
径分布を示す図。

【図７】試料Ｃについて測定した結晶粒と反転磁区の直
径分布を示す図。

【図８】反転磁区と結晶粒の直径比と媒体Ｓ／Ｎの関係
を表す図。

【図９】磁気記録再生装置の構造を示す図。

【符号の説明】

１１…非磁性基板、１２…磁気記録層をｃ軸配向させる
ための下地層、１３…Ｃｒを含有する下地層、１４…磁
気記録層、１５…保護潤滑層、３１…結晶粒、３２…反
転磁区、３３…直流消磁の磁場印加方向に磁化された領
域、３４…結晶粒の占める面積、３５…反転磁区の占め
る面積、４１…試料Ａについて測定した結晶粒の直径分
布、４２…試料Ａについて測定した反転磁区の直径分
布、５１…試料Ａについて測定した結晶粒の直径分布、
５２…試料Ａについて測定した反転磁区の直径分布、６
１…試料Ｂについて測定した結晶粒の直径分布、６２…
試料Ｂについて測定した反転磁区の直径分布、７１…試
料Ｃについて測定した結晶粒の直径分布、７２…試料Ｃ
について測定した反転磁区の直径分布、９１…磁気記録
媒体、９２…磁気記録媒体駆動部、９３…磁気ヘッド、
９４…磁気ヘッド駆動部、９５…記録再生信号処理系

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 研也 東京都国分寺市東恋ヶ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 媒体表面に垂直な方向に磁界を印加して
   直流消磁したときに媒体表面に現れる反転磁区の平均直
   径が媒体表面で測定した結晶粒の平均直径の２倍以下で
   あることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
2. 【請求項２】 前記媒体表面に現れる反転磁区は略円状
   であることを特徴とする請求項１記載の垂直磁気記録媒
   体。
3. 【請求項３】 磁気記録層として、Ｃｒを３０ａｔ％以
   上含有する多結晶薄膜下地層上に形成し、４００〜６０
   ０℃で真空中熱処理した、ＣｏとＣｒを主たる成分とす
   る膜厚１００ｎｍ以下の強磁性薄膜を用いることを特徴
   とする請求項１又は２記載の垂直磁気記録媒体。
4. 【請求項４】 前記強磁性薄膜は、媒体表面に垂直な方
   向に磁界を印加して測定したときの保磁力が３０００エ
   ルステッド以上であることを特徴とする請求項３記載の
   垂直磁気記録媒体。
5. 【請求項５】 磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体を駆
   動する媒体駆動部と、磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを
   駆動する磁気ヘッド駆動部と、記録再生信号処理系とを
   含む磁気記録再生装置において、前記磁気記録媒体とし
   て請求項１〜４のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒
   体を用い、前記磁気ヘッドは再生部として磁気抵抗効果
   型磁気ヘッド又は巨大磁気抵抗効果型ヘッドを備えるこ
   とを特徴とする磁気記録再生装置。
6. 【請求項６】 媒体表面に垂直な方向に磁界を印加して
   直流消磁したときに媒体表面に現れる反転磁区の面積を
   円に換算したときの平均直径が媒体表面で測定した結晶
   粒の平均直径の２倍以下である垂直磁気記録媒体の製造
   方法であって、 Ｃｒを３０ａｔ％以上含有する多結晶薄膜をスパッタ法
   により形成するステップと、２００℃以下の基板温度に
   おいて前記多結晶薄膜上にＣｏとＣｒを主たる成分とす
   る膜厚１００ｎｍ以下の強磁性薄膜をスパッタ法により
   形成するステップと、前記基板を真空中で４００〜６０
   ０℃において熱処理するステップとを含むことを特徴と
   する垂直磁気記録媒体の製造方法。