JPH11224631A - 光電子発生方法及び装置 - Google Patents
光電子発生方法及び装置Info
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Abstract
ングスタビリティ)の影響によるRFガンのレーザ照射
位置の変動を最小限に抑える。 【解決手段】 イメージリレー光学系を用いて、レーザ
ビーム8をフォトカソード12の表面に集束させる。
Description
出射されるレーザビームをフォトカソード表面に照射し
て、光電子を発生させる光電子発生方法及び装置に係
り、特に、発生した電子を高周波(RF)加速したと
き、短パルス、低エミッタンスの電子パルスビームを発
生することが可能な、光電子発生方法及び装置に関す
る。
ロン等の回転加速器を含む電子加速器における電子源に
は、従来、一般的にサーマルカソードから発生する熱電
子が利用されてきたため、発生する電子束を、時間的に
短い短パルスで、且つ、空間的な拡がり角度の小さい低
エミッタンスにすることが困難であった。
る光電子を利用する方法が、発生する電子束を短パルス
化することが可能であるため、用いられるようになって
いる。このような光電子発生装置の一つに、図7に示す
如く、レーザ照射により発生する光電子をマイクロ波で
加速する高周波(RF)ガン10がある。
射される短いパルスのレーザビーム8を、伝送光学系を
介して、ターゲットであるフォトカソード12の表面上
に照射することによって、フォトカソード12の表面か
ら光電子を飛び出させている。
ーザビーム8の当る位置は、レーザ光源から出射するビ
ームの方向(ポインティング)ベクトルのショット毎の
揺らぎ、及び、経時的な揺らぎにより変化し、その変化
量は、RFガン10とレーザ光源の距離に比例して大き
くなる。通常、電子加速器は装置が大型であるため、レ
ーザ光源とRFガン10を遠くの位置に配置せざるを得
ないことが多く、又、近年、短パルス、低エミッタンス
の電子ビームの需要が急速に高まってきており、光電子
発生用のレーザ及び伝送光学系にも、位置揺らぎの小さ
い安定したビーム供給が求められている。
レーザの性能に大きく依存するが、従来は、照射するレ
ーザビームの制御、特に照射位置の揺らぎや空間的なビ
ーム断面形状の制御が困難であるという問題点を有して
いた。
くなされたもので、レーザ自身のもつ位置の揺らぎ(ポ
インティングスタビリティ)の影響によるRFガンのレ
ーザ照射位置の変動を最小限に抑えることを課題とす
る。
から出射されるレーザビームをフォトカソード表面に照
射して、光電子を発生させる際に、イメージリレー光学
系を用いて、前記レーザビームをフォトカソード表面に
集束させるようにして、前記課題を解決したものであ
る。
て、前記レーザビームをフォトカソード表面に集束させ
るイメージリレー光学系を備えることにより、同じく前
記課題を解決したものである。
に設けられたアイリスの像をフォトカソード表面上に形
成するための集光手段(例えば凸レンズ、凹面鏡等)を
含むようにしたものである。
の光路中にPZT駆動の結晶を挿入し、レーザのポイン
ティングベクトルを調整可能としたものである。
の進行と垂直な方向の位置によって透過率の異なる、例
えばガウシアンフィルタ等の空間フィルタを挿入したも
のである。
レーザ光学系に、イメージリレー光学系を用いて、レー
ザビームをフォトカソード表面に集束させるようにした
ので、レーザ光源におけるビーム揺らぎを抑え、フォト
カソード表面での照射位置の変動を小さくすることがで
きるだけでなく、イメージリレー用マスクにおけるレー
ザビーム断面形状をフォトカソード表面上に縮小投影す
ることができるため、RFガンにおけるエミッタンスを
制御することが可能となる。
施形態を詳細に説明する。
ーザ光学系は、図1に示す如く、断面形状が円形のレー
ザパルスビーム42を発生するレーザ発振器20(図3
参照)を含むレーザ光源40と、例えば反射ミラー44
によって方向変換されたレーザパルスビーム42を集束
して、RFガン10のフォトカソード12に斜めの方向
から入射するための伝送光学系50とを、主に備えてい
る。
ー44で方向変換された、図2(a)に示すような、ビ
ームの進行と垂直な方向の位置rに関する断面強度分布
を有するレーザパルスビーム42を、図2(b)に示す
ような分布とするための空間フィルタ(例えばピンホー
ルアパーチャ)52と、該空間フィルタ52を通過した
レーザパルスのビーム径を広げるためのビームエクスパ
ンダ54と、該ビームエクスパンダ54によって広げら
れた、図2(c)に示すような強度分布形状のうち、両
端部分を遮蔽するためのマスク56と、該マスク56の
開口部を通過した略矩形状のレーザパルスビームを集束
し、図2(d)に示すような幅の狭い断面強度分布とし
て、前記フォトカソード12に照射するための凸レンズ
58と、該凸レンズ58によって集束されたレーザビー
ム42の方向を変換して、前記RFガン10のフォトカ
ソード12に照射するための反射ミラー60とを備えて
いる。
にフォトカソード12の表面が来るように配置するが、
本発明では、イメージリレー光学系とするべく、マスク
56と凸レンズ58間の距離Xと、凸レンズ58からフ
ォトカソード12の表面までの距離Yと、凸レンズ58
の焦点距離fの間に、次式の関係が成立するように配置
する。
り、マスク56の像がフォトカソード12の表面に、例
えば1/100の大きさで縮小投影されるため、レーザ
光源40におけるビーム揺らぎの影響を抑えて、フォト
カソード表面での照射位置の変動を小さくすることがで
きるだけでなく、RFガン10におけるエミッタンスも
制御することが可能となる。
如く、前記レーザ光源40を構成するレーザ発振器20
又は該レーザ発振器出射後の光路中に、例えばピエゾ圧
電素子(PZT)70によって駆動される、例えばプリ
ズム状の結晶72を挿入することによって、レーザのポ
インティングベクトルを調整可能として、ポインティン
グスタビリティを向上するようにしている。
トカソード12の直前にハーフミラー92を有するビー
ム位置モニタ装置90を設け、該ハーフミラー92によ
って取り出した光ビームをスクリーン94上に写し出す
ことにより、フォトカソード12に照射される光ビーム
の位置をモニタし、一定となるようにPZT70をフィ
ードバック制御することができる。
は、共振器を構成する全反射鏡、26は、同じく共振器
を構成するハーフミラーである。
5に示す如く、ビームの進行と垂直な方向の位置rによ
って透過率Tの異なるガウシアンフィルタとして、該空
間フィルタ52を通過するレーザビームの断面形状を、
きれいなガウス分布に整形することもできる。光路中に
挿入する空間フィルタの種類は、ピンホールアパーチャ
やガウシアンフィルタに限定されず、例えば図6に示す
ような特性の空間フィルタ53を挿入して、レーザビー
ムの断面形状をトップフラットな形状や、他の自由な形
に整形することもできる。
ナック等の電子加速器に光電子を入射するためのRFガ
ンに適用されていたが、本発明の適用対象はこれに限定
されない。
を用いているので、レーザビームをフォトカソード表面
に集束させることができ、レーザ光源におけるビーム揺
らぎを抑えて、フォトカソード表面で小さくすることが
できる。特に、光路中に設けられたマスクの像をフォト
カソード表面上に形成するようにした場合には、RFガ
ン等におけるエミッタンスを制御することが可能とな
る。
(ポインティングスタビリティ)の影響によるRFガン
等のレーザ照射位置の変動を最小限に抑えて、短パル
ス、低エミッタンスの電子パルスビームを発生すること
が可能となる。
射用レーザ光学系の全体構成を示す光路図
におけるビーム強度分布の変化を示す線図
成するレーザ発振器の構成例を示す断面図
光路図
の変形例の入射前と出射後におけるビーム強度分布の変
化の例を示す線図
断面図
Claims (6)
- 【請求項1】レーザ発振器から出射されるレーザビーム
をフォトカソード表面に照射して、光電子を発生させる
際に、 イメージリレー光学系を用いて、前記レーザビームをフ
ォトカソード表面に集束させることを特徴とする光電子
発生方法。 - 【請求項2】レーザ発振器から出射されるレーザビーム
をフォトカソード表面に照射して、光電子を発生させる
光電子発生装置において、 前記レーザビームをフォトカソード表面に集束させるイ
メージリレー光学系を備えたことを特徴とする光電子発
生装置。 - 【請求項3】請求項2において、前記イメージリレー光
学系が、光路中に設けられたマスクの像をフォトカソー
ド表面上に形成するための集光手段を含むことを特徴と
する光電子発生装置。 - 【請求項4】請求項2又は3において、前記レーザ発振
器中又は発振器出射後の光路中にピエゾ圧電素子(PZ
T)駆動の結晶が挿入され、レーザのポインティングベ
クトルが調整可能とされていることを特徴とする光電子
発生装置。 - 【請求項5】請求項2乃至4のいずれか一項において、
前記レーザビームの光路中に、ビームの進行と垂直な方
向の位置によって透過率の異なる空間フィルタが挿入さ
れていることを特徴とする光電子発生装置。 - 【請求項6】請求項5において、前記空間フィルタが、
ガウシアンフィルタであることを特徴とする光電子発生
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10025899A JPH11224631A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 光電子発生方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10025899A JPH11224631A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 光電子発生方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11224631A true JPH11224631A (ja) | 1999-08-17 |
Family
ID=12178646
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10025899A Pending JPH11224631A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 光電子発生方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11224631A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008288099A (ja) * | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Nano Photon Kk | 電子銃、電子発生方法、及び偏光制御素子 |
US8497476B2 (en) | 2011-03-15 | 2013-07-30 | Ebara Corporation | Inspection device |
JP2020202081A (ja) * | 2019-06-10 | 2020-12-17 | 株式会社Photo electron Soul | 電子銃、電子線適用装置、および、電子銃の制御方法 |
-
1998
- 1998-02-06 JP JP10025899A patent/JPH11224631A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008288099A (ja) * | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Nano Photon Kk | 電子銃、電子発生方法、及び偏光制御素子 |
US8497476B2 (en) | 2011-03-15 | 2013-07-30 | Ebara Corporation | Inspection device |
US10157722B2 (en) | 2011-03-15 | 2018-12-18 | Ebara Corporation | Inspection device |
JP2020202081A (ja) * | 2019-06-10 | 2020-12-17 | 株式会社Photo electron Soul | 電子銃、電子線適用装置、および、電子銃の制御方法 |
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