JPH11224515A - 照明装置及びそれを用いた欠陥検査装置 - Google Patents
照明装置及びそれを用いた欠陥検査装置Info
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- JPH11224515A JPH11224515A JP2593998A JP2593998A JPH11224515A JP H11224515 A JPH11224515 A JP H11224515A JP 2593998 A JP2593998 A JP 2593998A JP 2593998 A JP2593998 A JP 2593998A JP H11224515 A JPH11224515 A JP H11224515A
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- shutter
- light guide
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数種類の欠陥検査に好適な光量の変動が小
さく、かつ低コストな照明装置、及び欠陥検出精度が高
く低コストな欠陥検査装置を提供する。 【解決手段】 光源、一端が集束され他端がＮ個（Ｎは
２以上の整数）に分岐された分岐型ライトガイド、画像
処理装置からの制御信号に応じて開閉可能なＮ個のシャ
ッタを有するシャッタユニット、及び非分岐型ライトガ
イドをＮ個有する照明装置であって、分岐型ライトガイ
ドの集束端は光源に接続され、各分岐端は各シャッタを
介して各非分岐型ライトガイドの光入射端に対向して配
置されてなる照明装置。及び、前記照明装置と、検査対
象物保持部と、検査対象物からの反射光または透過光を
受光するカメラと、シャッタユニットを開閉させるため
のの制御信号を送り、またカメラからの信号を二値化処
理して欠陥を検出する画像処理装置とを有する欠陥検査
装置。
さく、かつ低コストな照明装置、及び欠陥検出精度が高
く低コストな欠陥検査装置を提供する。 【解決手段】 光源、一端が集束され他端がＮ個（Ｎは
２以上の整数）に分岐された分岐型ライトガイド、画像
処理装置からの制御信号に応じて開閉可能なＮ個のシャ
ッタを有するシャッタユニット、及び非分岐型ライトガ
イドをＮ個有する照明装置であって、分岐型ライトガイ
ドの集束端は光源に接続され、各分岐端は各シャッタを
介して各非分岐型ライトガイドの光入射端に対向して配
置されてなる照明装置。及び、前記照明装置と、検査対
象物保持部と、検査対象物からの反射光または透過光を
受光するカメラと、シャッタユニットを開閉させるため
のの制御信号を送り、またカメラからの信号を二値化処
理して欠陥を検出する画像処理装置とを有する欠陥検査
装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学的な欠陥検査
用途に好適な照明装置及びそれを用いた欠陥検査装置に
関する。
用途に好適な照明装置及びそれを用いた欠陥検査装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】欠陥を光学的に検査する場合においては
様々な照明方法が用いられており、その方法に応じて照
明装置の位置や撮像するカメラの位置は異なる。例えば
図２に示す正透過照明法においてはカメラが照明装置か
らの正透過光を受光するように、図３に示す拡散透過照
明法においてはカメラが拡散透過光を受光し正透過光を
受光しないように、図４に示す正反射照明法においては
カメラが正反射光を受光するように、図５に示す拡散反
射照明法においてはカメラが拡散反射光を受光し正反射
光を受光しないように、照明装置及びカメラを配置す
る。照明方法は検査対象物の形状、欠陥の種類及び光学
特性等に応じて使い分けられている。例えば、不透明な
検査対象物のピンホールを検査する場合は図２に示す正
透過照明を使用し、透明な検査対象のゴミ等の黒点を検
査する場合は図３に示す拡散透過照明を使用する。ま
た、表面に付いた擦り傷の検査を実施する場合は、傷の
光学特性に応じて、図４に示す正反射照明又は図５に示
す拡散反射照明を使用する。
様々な照明方法が用いられており、その方法に応じて照
明装置の位置や撮像するカメラの位置は異なる。例えば
図２に示す正透過照明法においてはカメラが照明装置か
らの正透過光を受光するように、図３に示す拡散透過照
明法においてはカメラが拡散透過光を受光し正透過光を
受光しないように、図４に示す正反射照明法においては
カメラが正反射光を受光するように、図５に示す拡散反
射照明法においてはカメラが拡散反射光を受光し正反射
光を受光しないように、照明装置及びカメラを配置す
る。照明方法は検査対象物の形状、欠陥の種類及び光学
特性等に応じて使い分けられている。例えば、不透明な
検査対象物のピンホールを検査する場合は図２に示す正
透過照明を使用し、透明な検査対象のゴミ等の黒点を検
査する場合は図３に示す拡散透過照明を使用する。ま
た、表面に付いた擦り傷の検査を実施する場合は、傷の
光学特性に応じて、図４に示す正反射照明又は図５に示
す拡散反射照明を使用する。
【０００３】即ち、検査対象物の複数の種類の欠陥を検
査するために複数の照明方法を用いる場合、照明方法毎
に照明位置が異なるため、従来は各照明方法用にそれぞ
れ別の照明装置を用いていた。
査するために複数の照明方法を用いる場合、照明方法毎
に照明位置が異なるため、従来は各照明方法用にそれぞ
れ別の照明装置を用いていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従って、複数の種類の
欠陥を異なる照明方法を用いて検査しようとする場合、
照明装置に用いる光源の台数が多くなり、コストアップ
になった。また、各照明装置の光源間の光量のバラツキ
や光源を交換した場合の光量変動により検査結果にバラ
ツキが生じ、正確な検査を行うためには各照明装置の複
雑な再調整が必要であった。また、検査対象物やその欠
陥の光学特性等により照明装置からの光の光量や色調を
調整することも困難であった。即ち、従来の照明装置を
用いて構成された欠陥検査装置はコストが高く、欠陥検
出精度も十分ではなかった。
欠陥を異なる照明方法を用いて検査しようとする場合、
照明装置に用いる光源の台数が多くなり、コストアップ
になった。また、各照明装置の光源間の光量のバラツキ
や光源を交換した場合の光量変動により検査結果にバラ
ツキが生じ、正確な検査を行うためには各照明装置の複
雑な再調整が必要であった。また、検査対象物やその欠
陥の光学特性等により照明装置からの光の光量や色調を
調整することも困難であった。即ち、従来の照明装置を
用いて構成された欠陥検査装置はコストが高く、欠陥検
出精度も十分ではなかった。
【０００５】本発明の目的は、複数種類の欠陥検査に好
適な光量の変動が小さく、かつ低コストな照明装置を提
供することにある。また本発明の目的は照明装置からの
光の光量や色調を容易に調整できる照明装置を提供する
ことにある。更に本発明の目的は、低コストで欠陥検出
精度の高い欠陥検査装置を提供することにある。
適な光量の変動が小さく、かつ低コストな照明装置を提
供することにある。また本発明の目的は照明装置からの
光の光量や色調を容易に調整できる照明装置を提供する
ことにある。更に本発明の目的は、低コストで欠陥検出
精度の高い欠陥検査装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、光源、
一端が集束され他端がＮ個（Ｎは２以上の整数）に分岐
された分岐型ライトガイド、画像処理装置からの制御信
号に応じて開閉可能なＮ個のシャッタを有するシャッタ
ユニット、及び非分岐型ライトガイドをＮ個有する照明
装置であって、分岐型ライトガイドの集束端は光源に接
続され、各分岐端は各シャッタを介して各非分岐型ライ
トガイドの光入射端に対向して配置されてなる照明装置
にある。
一端が集束され他端がＮ個（Ｎは２以上の整数）に分岐
された分岐型ライトガイド、画像処理装置からの制御信
号に応じて開閉可能なＮ個のシャッタを有するシャッタ
ユニット、及び非分岐型ライトガイドをＮ個有する照明
装置であって、分岐型ライトガイドの集束端は光源に接
続され、各分岐端は各シャッタを介して各非分岐型ライ
トガイドの光入射端に対向して配置されてなる照明装置
にある。
【０００７】また、本発明の要旨は、前記照明装置と、
検査対象物保持部と、検査対象物からの反射光または透
過光を受光するカメラと、シャッタユニットを開閉させ
るためのの制御信号を送り、またカメラからの信号を二
値化処理して欠陥を検出する画像処理装置とを有する欠
陥検査装置にある。
検査対象物保持部と、検査対象物からの反射光または透
過光を受光するカメラと、シャッタユニットを開閉させ
るためのの制御信号を送り、またカメラからの信号を二
値化処理して欠陥を検出する画像処理装置とを有する欠
陥検査装置にある。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明の実施形態を説明する。図１は、本発明の照明装置及
び欠陥検査装置の一実施形態を示す構成図である。分岐
型ライトガイド１の集束端は光源２に接続されている。
光源から分岐型ライトガイドに入射された光はＮ個の分
岐Ａ1、Ａ2、・・・ＡNの各端部即ち各分岐端から出射
する。各分岐端は、シャッタユニット３に組み込まれた
Ｎ個（Ｎは２以上の整数）のシャッタＳ1、Ｓ2、・・・
ＳNにそれぞれ接続されている。Ｎ個の非分岐型ライト
ガイドＢ1、Ｂ2、・・・ＢNの光入射端はそれぞれシャ
ッタを介して、分岐型ライトガイドの各分岐端に対向し
て配置されている。そのため、分岐型ライトガイドより
出射された光は、シャッタが開いている場合は非分岐型
ライトガイドに入射し、シャッタが閉じている場合は非
分岐型ライトガイドに入射しない。シャッタＳ1、Ｓ2、
・・・ＳNは、画像処理装置４から送信される制御信号
５により、それぞれ独立に開閉可能である。非分岐型ラ
イトガイドのＢ1、Ｂ2、・・・ＢNの光出射端から出射
される光は検査対象物保持部（図示せず）により保持さ
れた検査対象物により反射して、又は検査対象物を透過
してカメラ６により受光される。非分岐型ライトガイド
の各光出射端及びカメラの位置は、欠陥検査に用いる照
明方式に応じて適宜設定される。
明の実施形態を説明する。図１は、本発明の照明装置及
び欠陥検査装置の一実施形態を示す構成図である。分岐
型ライトガイド１の集束端は光源２に接続されている。
光源から分岐型ライトガイドに入射された光はＮ個の分
岐Ａ1、Ａ2、・・・ＡNの各端部即ち各分岐端から出射
する。各分岐端は、シャッタユニット３に組み込まれた
Ｎ個（Ｎは２以上の整数）のシャッタＳ1、Ｓ2、・・・
ＳNにそれぞれ接続されている。Ｎ個の非分岐型ライト
ガイドＢ1、Ｂ2、・・・ＢNの光入射端はそれぞれシャ
ッタを介して、分岐型ライトガイドの各分岐端に対向し
て配置されている。そのため、分岐型ライトガイドより
出射された光は、シャッタが開いている場合は非分岐型
ライトガイドに入射し、シャッタが閉じている場合は非
分岐型ライトガイドに入射しない。シャッタＳ1、Ｓ2、
・・・ＳNは、画像処理装置４から送信される制御信号
５により、それぞれ独立に開閉可能である。非分岐型ラ
イトガイドのＢ1、Ｂ2、・・・ＢNの光出射端から出射
される光は検査対象物保持部（図示せず）により保持さ
れた検査対象物により反射して、又は検査対象物を透過
してカメラ６により受光される。非分岐型ライトガイド
の各光出射端及びカメラの位置は、欠陥検査に用いる照
明方式に応じて適宜設定される。
【０００９】以下説明の便宜上Ｎ＝３の場合について説
明するが、Ｎがそれ以外の数である場合にも本発明は適
用可能である。非分岐型ライトガイドＢ1の光出射端
と、非分岐型ライトガイドＢ2及びＢ3の光出射端は、図
に示すように別の位置に配置されており、シャッタユニ
ットの各シャッタを開閉することにより、容易に照明位
置を変更できる。即ち、例えば反射照明を用いて欠陥を
検出したい場合は、シャッタＳ1を開け、シャッタＳ2及
びＳ3を閉じて、非分岐型ライトガイドＢ1から出射した
光の反射光をカメラで受光する。透過照明を用いる場合
はシャッタＳ1を閉じ、シャッタＳ2及びまたはＳ3を開
けて非分岐型ライトガイドＢ2及びまたはＢ3から出射し
た光の透過光をカメラで受光する。カメラにより受光さ
れた光に基づく信号は画像処理装置に送られ、画像処理
装置はこの信号を二値化処理して欠陥を検出する。
明するが、Ｎがそれ以外の数である場合にも本発明は適
用可能である。非分岐型ライトガイドＢ1の光出射端
と、非分岐型ライトガイドＢ2及びＢ3の光出射端は、図
に示すように別の位置に配置されており、シャッタユニ
ットの各シャッタを開閉することにより、容易に照明位
置を変更できる。即ち、例えば反射照明を用いて欠陥を
検出したい場合は、シャッタＳ1を開け、シャッタＳ2及
びＳ3を閉じて、非分岐型ライトガイドＢ1から出射した
光の反射光をカメラで受光する。透過照明を用いる場合
はシャッタＳ1を閉じ、シャッタＳ2及びまたはＳ3を開
けて非分岐型ライトガイドＢ2及びまたはＢ3から出射し
た光の透過光をカメラで受光する。カメラにより受光さ
れた光に基づく信号は画像処理装置に送られ、画像処理
装置はこの信号を二値化処理して欠陥を検出する。
【００１０】非分岐型ライトガイドの光出射端は全てを
異なる位置に配置することも可能であり、複数を纏めて
隣接した位置に配置することも可能である。複数の光出
射端を隣接して配置する場合、その光出射端群から出射
される光の光量を、シャッタの開閉により容易に調整す
ることができ、好ましい。欠陥の種類や色によって明る
い照明の方が検出しやすいもの、暗い照明の方が検出し
やすいものがあり、照明の光量を調整することによって
様々な欠陥を検出することが可能になる。本実施形態に
おいては非分岐型ライトガイドＢ2及びＢ3の光出射端が
隣接して配置されている。そのため、例えばシャッタＳ
2、Ｓ3のいずれか一方を開け他方を閉めることにより、
シャッタＳ2及びＳ3を開けた場合に比べて光量を半分に
することができる。
異なる位置に配置することも可能であり、複数を纏めて
隣接した位置に配置することも可能である。複数の光出
射端を隣接して配置する場合、その光出射端群から出射
される光の光量を、シャッタの開閉により容易に調整す
ることができ、好ましい。欠陥の種類や色によって明る
い照明の方が検出しやすいもの、暗い照明の方が検出し
やすいものがあり、照明の光量を調整することによって
様々な欠陥を検出することが可能になる。本実施形態に
おいては非分岐型ライトガイドＢ2及びＢ3の光出射端が
隣接して配置されている。そのため、例えばシャッタＳ
2、Ｓ3のいずれか一方を開け他方を閉めることにより、
シャッタＳ2及びＳ3を開けた場合に比べて光量を半分に
することができる。
【００１１】また本実施形態においてはシャッタＳ1に
隣接して色フィルタ８が配置されており、シャッタＳ1
を介して非分岐型ライトガイドＢ1に入射する光が色フ
ィルタを通過するようになっている。そのため、非分岐
型ライトガイドＢ1から出射する光の色は、色フィルタ
を透過する光の色となる。色フィルタを着脱又は交換す
ることにより、検査対象物の欠陥の色特性等に応じて検
査対象物に照射される光の色調を容易に調整することが
できる。例えば、検査対象物が緑色で欠陥部分が緑色以
外の場合、緑色の光を透過するフィルタを用いると欠陥
部分のコントラストが高くなるため、画像処理装置にお
いて暗欠陥を検出するときに欠陥を検出することが容易
になる。或いは、欠陥の色と同じ色の光を透過するフィ
ルタを用いることにより、欠陥部分のコントラストが高
くなるため、画像処理装置において明欠陥を検出する場
合に欠陥を検出することが容易になる。
隣接して色フィルタ８が配置されており、シャッタＳ1
を介して非分岐型ライトガイドＢ1に入射する光が色フ
ィルタを通過するようになっている。そのため、非分岐
型ライトガイドＢ1から出射する光の色は、色フィルタ
を透過する光の色となる。色フィルタを着脱又は交換す
ることにより、検査対象物の欠陥の色特性等に応じて検
査対象物に照射される光の色調を容易に調整することが
できる。例えば、検査対象物が緑色で欠陥部分が緑色以
外の場合、緑色の光を透過するフィルタを用いると欠陥
部分のコントラストが高くなるため、画像処理装置にお
いて暗欠陥を検出するときに欠陥を検出することが容易
になる。或いは、欠陥の色と同じ色の光を透過するフィ
ルタを用いることにより、欠陥部分のコントラストが高
くなるため、画像処理装置において明欠陥を検出する場
合に欠陥を検出することが容易になる。
【００１２】なお、複数のシャッタにそれぞれ色フィル
タを配置することも可能である。この場合、透過する光
の色が同じものを用いることも可能であり、色が異なる
ものを用いることも可能である。
タを配置することも可能である。この場合、透過する光
の色が同じものを用いることも可能であり、色が異なる
ものを用いることも可能である。
【００１３】以下装置の各部についてより詳細に説明す
る。分岐型ライトガイド１としては、例えば光ファイバ
の一端が集束されてなるものを用いることができる。分
岐型ライトガイドを構成する光ファイバの総数は特に限
定されないが、通常２００〜１２００本程度である。こ
のとき、各分岐端は一本の光ファイバから構成されてい
てもよく、光ファイバ束から構成されていてもよい。各
分岐端を構成する光ファイバの本数は特に限定されない
が、通常５０〜４００本程度である。また、各分岐端を
同じ本数の光ファイバから構成することも可能であり、
違う本数の光ファイバから構成することも可能である。
分岐型ライトガイドの集束端の形状は特に限定されず、
光源に接続しやすい形状を適宜選択すればよい。この光
ファイバはプラスチック製、ガラス製のどちらであって
もよいが、取り扱いが容易なプラスチック製のものが好
ましい。
る。分岐型ライトガイド１としては、例えば光ファイバ
の一端が集束されてなるものを用いることができる。分
岐型ライトガイドを構成する光ファイバの総数は特に限
定されないが、通常２００〜１２００本程度である。こ
のとき、各分岐端は一本の光ファイバから構成されてい
てもよく、光ファイバ束から構成されていてもよい。各
分岐端を構成する光ファイバの本数は特に限定されない
が、通常５０〜４００本程度である。また、各分岐端を
同じ本数の光ファイバから構成することも可能であり、
違う本数の光ファイバから構成することも可能である。
分岐型ライトガイドの集束端の形状は特に限定されず、
光源に接続しやすい形状を適宜選択すればよい。この光
ファイバはプラスチック製、ガラス製のどちらであって
もよいが、取り扱いが容易なプラスチック製のものが好
ましい。
【００１４】光源としてはハロゲンランプ、メタルハラ
イドランプ等、公知のものが使用可能である。
イドランプ等、公知のものが使用可能である。
【００１５】本発明においてシャッタユニットは複数の
シャッタを指している。通常シャッタユニットは複数の
シャッタが同一筐体内に組み込まれて構成されるが、こ
れに限定されるものではない。シャッタとしては、例え
ばプシュプル型ソレノイドの軸に取り付けた遮光板を平
行に移動させることにより遮光するタイプやロータリ型
ソレノイドの軸に取り付けた遮光板を回転移動させるこ
とにより遮光するタイプが用いられる。
シャッタを指している。通常シャッタユニットは複数の
シャッタが同一筐体内に組み込まれて構成されるが、こ
れに限定されるものではない。シャッタとしては、例え
ばプシュプル型ソレノイドの軸に取り付けた遮光板を平
行に移動させることにより遮光するタイプやロータリ型
ソレノイドの軸に取り付けた遮光板を回転移動させるこ
とにより遮光するタイプが用いられる。
【００１６】非分岐型ライトガイドとしては光ファイバ
または光ファイバ束などを用いることができる。各非分
岐型ライトガイドを構成する光ファイバの本数は特に限
定されないが、通常５０〜４００本である。また、各非
分岐型ライトガイドを同じ本数の光ファイバから構成す
ることも可能であり、違う本数の光ファイバから構成す
ることも可能である。各光出射端の形状は特に限定され
ず、例えばリング状、ライン状、円状等とすることが可
能である。又、複数の非分岐型ライトガイドの光出射端
を隣接して設置する場合の光出射端群の形状も同様に特
に限定されない。
または光ファイバ束などを用いることができる。各非分
岐型ライトガイドを構成する光ファイバの本数は特に限
定されないが、通常５０〜４００本である。また、各非
分岐型ライトガイドを同じ本数の光ファイバから構成す
ることも可能であり、違う本数の光ファイバから構成す
ることも可能である。各光出射端の形状は特に限定され
ず、例えばリング状、ライン状、円状等とすることが可
能である。又、複数の非分岐型ライトガイドの光出射端
を隣接して設置する場合の光出射端群の形状も同様に特
に限定されない。
【００１７】色フィルタとしては、例えばある一部の波
長を透過させる蒸着多層膜を用いた帯域バンドパスフィ
ルタ等が使用可能である。
長を透過させる蒸着多層膜を用いた帯域バンドパスフィ
ルタ等が使用可能である。
【００１８】検査対象物保持部の保持態様は特に限定さ
れず、例えば検査対象物の外縁を保持するものなどが用
いられる。
れず、例えば検査対象物の外縁を保持するものなどが用
いられる。
【００１９】カメラとしてはＣＣＤカメラ、フォトダイ
オードなど公知の受光装置が使用可能である。
オードなど公知の受光装置が使用可能である。
【００２０】画像処理装置としては公知の各種情報処理
装置が使用可能である。
装置が使用可能である。
【００２１】これらの各部材は一個又は複数の筐体内に
収納することも可能である。
収納することも可能である。
【００２２】なお、以上本発明の照明装置を欠陥検査に
用いる場合について説明してきたが、本発明の照明装置
は欠陥検査以外の用途にも使用可能である。
用いる場合について説明してきたが、本発明の照明装置
は欠陥検査以外の用途にも使用可能である。
【００２３】
【実施例】（実施例１）図６（ａ）は実施例１の照明装
置及び欠陥検査装置の概略図である。光源２としてはハ
ロゲンランプを、分岐型ライトガイド１としては、４３
２本のプラスチック製光ファイバの一端を束ね口金に固
定して集束端とし、他端を２１６本ずつに分けて束ねて
分岐Ａ1、及びＡ2としたものを用いた。シャッタユニッ
ト３にはシャッタＳ1、及びＳ2が組み込まれていた。各
シャッタとしてはロータリソレノイドの軸に遮光板を取
り付けたものを、非分岐型ライトガイドＢ1、Ｂ2として
はそれぞれ２１６本の光ファイバの両端を束ねたものを
用いて照明装置とした。画像処理装置４としては三菱レ
イヨン株式会社製ＬＳＣ−３００を、カメラ６としては
ＣＣＤカメラを用いて、検査対象物７のピンホール及び
表面キズの検査を行った。検査対象物は銅箔板であり、
検査対象物保持部によりその外縁を保持されていた。
置及び欠陥検査装置の概略図である。光源２としてはハ
ロゲンランプを、分岐型ライトガイド１としては、４３
２本のプラスチック製光ファイバの一端を束ね口金に固
定して集束端とし、他端を２１６本ずつに分けて束ねて
分岐Ａ1、及びＡ2としたものを用いた。シャッタユニッ
ト３にはシャッタＳ1、及びＳ2が組み込まれていた。各
シャッタとしてはロータリソレノイドの軸に遮光板を取
り付けたものを、非分岐型ライトガイドＢ1、Ｂ2として
はそれぞれ２１６本の光ファイバの両端を束ねたものを
用いて照明装置とした。画像処理装置４としては三菱レ
イヨン株式会社製ＬＳＣ−３００を、カメラ６としては
ＣＣＤカメラを用いて、検査対象物７のピンホール及び
表面キズの検査を行った。検査対象物は銅箔板であり、
検査対象物保持部によりその外縁を保持されていた。
【００２４】分岐型ライトガイドの集束端を光源に、分
岐Ａ1、Ａ2の光出射端（分岐端）をシャッタＳ1、Ｓ2に
それぞれ接続した。各非分岐型ライトガイドＢ1、Ｂ2の
光入射端はそれぞれシャッタＳ1、Ｓ2を介して分岐型ラ
イトガイドの各分岐端に対向して配置されていた。
岐Ａ1、Ａ2の光出射端（分岐端）をシャッタＳ1、Ｓ2に
それぞれ接続した。各非分岐型ライトガイドＢ1、Ｂ2の
光入射端はそれぞれシャッタＳ1、Ｓ2を介して分岐型ラ
イトガイドの各分岐端に対向して配置されていた。
【００２５】検査対象物の表面キズの検査については拡
散反射照明方式、ピンホールの検査には正透過照明方式
を用いた。そのため、非分岐型ライトガイドＢ1の光出
射端は、検査対象物に対してカメラと同じ側に、かつそ
こからの光の正反射光がカメラに入射しないように配置
した。また、非分岐型ライトガイドＢ2の光出射端は、
検査対象物に対してカメラと反対側に、かつ非分岐型ラ
イトガイドＢ2からの光の正透過光がカメラに入射する
ように配置した。
散反射照明方式、ピンホールの検査には正透過照明方式
を用いた。そのため、非分岐型ライトガイドＢ1の光出
射端は、検査対象物に対してカメラと同じ側に、かつそ
こからの光の正反射光がカメラに入射しないように配置
した。また、非分岐型ライトガイドＢ2の光出射端は、
検査対象物に対してカメラと反対側に、かつ非分岐型ラ
イトガイドＢ2からの光の正透過光がカメラに入射する
ように配置した。
【００２６】シャッタＳ1、Ｓ2の開閉動作は画像処理装
置からの制御信号５によって制御されている。図６
（ｂ）は各シャッタの制御タイミングを示す図である。
図に示すように、本実施例においてはピンホール検査と
表面キズ検査を交互に行う。表面キズ検査を行うときに
はシャッタＳ1が開けられ、シャッタＳ2が閉められるよ
うに制御信号が送られた。逆にピンホール検査を行うと
きにはシャッタＳ1が閉められ、シャッタＳ2が開けられ
るように制御信号が送られた。即ち、表面キズ検査を行
うときには非分岐型ライトガイドＢ1からの光のみが、
ピンホール検査を行うときには非分岐型ライトガイドＢ
2からの光のみが検査対象物に照射されるようになって
いた。このような欠陥検査装置を用い、検査対象物から
の反射光または透過光をカメラによって受光し、カメラ
からの信号を画像処理装置で二値化処理して欠陥の検査
を行ったところ良好に欠陥を検出できた。
置からの制御信号５によって制御されている。図６
（ｂ）は各シャッタの制御タイミングを示す図である。
図に示すように、本実施例においてはピンホール検査と
表面キズ検査を交互に行う。表面キズ検査を行うときに
はシャッタＳ1が開けられ、シャッタＳ2が閉められるよ
うに制御信号が送られた。逆にピンホール検査を行うと
きにはシャッタＳ1が閉められ、シャッタＳ2が開けられ
るように制御信号が送られた。即ち、表面キズ検査を行
うときには非分岐型ライトガイドＢ1からの光のみが、
ピンホール検査を行うときには非分岐型ライトガイドＢ
2からの光のみが検査対象物に照射されるようになって
いた。このような欠陥検査装置を用い、検査対象物から
の反射光または透過光をカメラによって受光し、カメラ
からの信号を画像処理装置で二値化処理して欠陥の検査
を行ったところ良好に欠陥を検出できた。
【００２７】（実施例２）図７（ａ）は実施例２の照明
装置及び欠陥検査装置の概略図である。分岐型ライトガ
イド１としては、４３２本のプラスチック製光ファイバ
の一端を束ね口金に固定して集束端とし、他端を１０８
本ずつに分けて束ねて分岐Ａ1〜Ａ4としたものを用い、
非分岐型ライトガイドＢ1〜Ｂ4としてはそれぞれ１０８
本の光ファイバの両端を束ねたものを用いた点を除き、
各部材に実施例１と同じものを用いた。各部材の配置は
非分岐型ライトガイドの光出射端の配置が異なる点を除
いて実施例１と同様である。非分岐型ライトガイドＢ1
〜Ｂ4の光出射端は検査対象物に対してカメラと同じ側
に配置されている。非分岐型ライトガイドＢ1、Ｂ2、及
びＢ3の光出射端は隣接して配置されており、そこから
検査対象物に照射される光の正反射光がカメラに入射し
ないようになっている。非分岐型ライトガイドＢ4の光
出射端は非分岐型ライトガイドＢ1〜Ｂ3とは異なる位置
に配置され、そこから検査対象物に照射される光の正反
射光がカメラに入射するようになっている。即ち、本実
施例においては正反射照明方式及び拡散反射照明方式を
用いて検査対象物の表面キズの検査を行った。
装置及び欠陥検査装置の概略図である。分岐型ライトガ
イド１としては、４３２本のプラスチック製光ファイバ
の一端を束ね口金に固定して集束端とし、他端を１０８
本ずつに分けて束ねて分岐Ａ1〜Ａ4としたものを用い、
非分岐型ライトガイドＢ1〜Ｂ4としてはそれぞれ１０８
本の光ファイバの両端を束ねたものを用いた点を除き、
各部材に実施例１と同じものを用いた。各部材の配置は
非分岐型ライトガイドの光出射端の配置が異なる点を除
いて実施例１と同様である。非分岐型ライトガイドＢ1
〜Ｂ4の光出射端は検査対象物に対してカメラと同じ側
に配置されている。非分岐型ライトガイドＢ1、Ｂ2、及
びＢ3の光出射端は隣接して配置されており、そこから
検査対象物に照射される光の正反射光がカメラに入射し
ないようになっている。非分岐型ライトガイドＢ4の光
出射端は非分岐型ライトガイドＢ1〜Ｂ3とは異なる位置
に配置され、そこから検査対象物に照射される光の正反
射光がカメラに入射するようになっている。即ち、本実
施例においては正反射照明方式及び拡散反射照明方式を
用いて検査対象物の表面キズの検査を行った。
【００２８】図７（ｂ）はシャッタユニットの制御タイ
ミングを示す図である。本実施例においては非分岐型ラ
イトガイドＢ1〜Ｂ3からの光は階調度１から階調度３の
３段階で徐々に明るくなるようになっている。即ち、階
調度１ではシャッタＳ1のみが開いており、階調度２で
シャッタＳ2が更に開けられ、階調度３ではシャッタＳ3
が更に開けられるように制御信号が送られている。この
間シャッタＳ4は常に閉められている。その後シャッタ
Ｓ4のみを開け、シャッタＳ1〜Ｓ3を閉め、ライトガイ
ドＢ4からの光のみにより検査を行う。これら以外の点
については実施例１と同様にして欠陥の検査を行ったと
ころ、複数種類の欠陥を良好に検出できた。
ミングを示す図である。本実施例においては非分岐型ラ
イトガイドＢ1〜Ｂ3からの光は階調度１から階調度３の
３段階で徐々に明るくなるようになっている。即ち、階
調度１ではシャッタＳ1のみが開いており、階調度２で
シャッタＳ2が更に開けられ、階調度３ではシャッタＳ3
が更に開けられるように制御信号が送られている。この
間シャッタＳ4は常に閉められている。その後シャッタ
Ｓ4のみを開け、シャッタＳ1〜Ｓ3を閉め、ライトガイ
ドＢ4からの光のみにより検査を行う。これら以外の点
については実施例１と同様にして欠陥の検査を行ったと
ころ、複数種類の欠陥を良好に検出できた。
【００２９】（実施例３）図８（ａ）は実施例３の照明
装置及び欠陥検査装置の概略図である。図８（ｂ）はシ
ャッタユニットの制御タイミングを示す図である。図に
示すようにシャッタＳ1に隣接して色フィルタが配置さ
れている以外実施例１と同様の装置を用いて実施例１と
同様に検査を行った。色フィルタとしては赤色の光を透
過する帯域バンドパスフィルタを用いた。このような欠
陥検査装置を用いて欠陥を検査したところ、赤色の光が
検査対象物に照射されるため、赤紫色の欠陥を特に良好
に検出できた。
装置及び欠陥検査装置の概略図である。図８（ｂ）はシ
ャッタユニットの制御タイミングを示す図である。図に
示すようにシャッタＳ1に隣接して色フィルタが配置さ
れている以外実施例１と同様の装置を用いて実施例１と
同様に検査を行った。色フィルタとしては赤色の光を透
過する帯域バンドパスフィルタを用いた。このような欠
陥検査装置を用いて欠陥を検査したところ、赤色の光が
検査対象物に照射されるため、赤紫色の欠陥を特に良好
に検出できた。
【００３０】
【発明の効果】本発明の照明装置は、一個の光源で複数
の照明方法による検査を行うことができる低コストの照
明装置であり、検査対象物に照射される光の光量のバラ
ツキやランプ交換時の影響が少なく、安定した検査を行
うことができる。更に光源が一個であるため、光量の調
整も容易である。また複数の非分岐型ライトガイドの光
出射端を隣接した位置に配置することにより、検査対象
物に照射される光の光量を容易に調節することができ
る。更に、シャッタに色フィルタを配置することによ
り、色特性を有する欠陥を容易に検出することができ
る。また、本発明により欠陥検出精度が高い欠陥検査装
置を低コストで提供できる。
の照明方法による検査を行うことができる低コストの照
明装置であり、検査対象物に照射される光の光量のバラ
ツキやランプ交換時の影響が少なく、安定した検査を行
うことができる。更に光源が一個であるため、光量の調
整も容易である。また複数の非分岐型ライトガイドの光
出射端を隣接した位置に配置することにより、検査対象
物に照射される光の光量を容易に調節することができ
る。更に、シャッタに色フィルタを配置することによ
り、色特性を有する欠陥を容易に検出することができ
る。また、本発明により欠陥検出精度が高い欠陥検査装
置を低コストで提供できる。
【図１】本発明の装置の一実施形態の概略図である。
【図２】欠陥検査における正透過照明方式を説明するた
めの図である。
めの図である。
【図３】欠陥検査における拡散透過照明方式を説明する
ための図である。
ための図である。
【図４】欠陥検査における正反射照明方式を説明するた
めの図である。
めの図である。
【図５】欠陥検査における拡散反射照明方式を説明する
ための図である。
ための図である。
【図６】実施例１の装置の概略図及びシャッタユニット
の制御タイミングを示す図である。
の制御タイミングを示す図である。
【図７】実施例２の装置の概略図及びシャッタユニット
の制御タイミングを示す図である。
の制御タイミングを示す図である。
【図８】実施例３の装置の概略図及びシャッタユニット
の制御タイミングを示す図である。
の制御タイミングを示す図である。
１ 分岐型ライトガイド ２ 光源 ３ シャッタユニット ４ 画像処理装置 ５ 制御信号 ６ カメラ ７ 検査対象物 ８ 色フィルタ Ｓ1〜ＳN シャッタ Ａ1〜ＡN 分岐型ライトガイドの分岐 Ｂ1〜ＢN 非分岐型ライトガイド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井内 滋 神奈川県川崎市多摩区登戸3816番地 ＭＲ Ｃテクノリサーチ株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 光源、一端が集束され他端がＮ個（Ｎは
２以上の整数）に分岐された分岐型ライトガイド、画像
処理装置からの制御信号に応じて開閉可能なＮ個のシャ
ッタを有するシャッタユニット、及び非分岐型ライトガ
イドをＮ個有する照明装置であって、分岐型ライトガイ
ドの集束端は光源に接続され、各分岐端は各シャッタを
介して各非分岐型ライトガイドの光入射端に対向して配
置されてなる照明装置。 - 【請求項２】 複数の非分岐型ライトガイドの光出射端
が隣接して配置されてなる請求項１に記載の照明装置。 - 【請求項３】 少なくとも一つのシャッタに色フィルタ
が配置されてなる請求項１又は請求項２に記載の照明装
置。 - 【請求項４】 請求項１〜請求項３のいずれかに記載の
照明装置と、検査対象物保持部と、検査対象物からの反
射光または透過光を受光するカメラと、シャッタユニッ
トを開閉させるためのの制御信号を送り、またカメラか
らの信号を二値化処理して欠陥を検出する画像処理装置
とを有する欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2593998A JPH11224515A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 照明装置及びそれを用いた欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2593998A JPH11224515A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 照明装置及びそれを用いた欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11224515A true JPH11224515A (ja) | 1999-08-17 |
Family
ID=12179736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2593998A Pending JPH11224515A (ja) | 1998-02-06 | 1998-02-06 | 照明装置及びそれを用いた欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11224515A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006201153A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-08-03 | Canon Inc | センサシステム及び記録媒体判別装置 |
| JP2007086563A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Micronics Japan Co Ltd | 液晶パネル検査装置 |
| WO2010106584A1 (ja) * | 2009-03-19 | 2010-09-23 | 株式会社ヒューテック | 光学検査装置 |
| JP2012123003A (ja) * | 2004-12-20 | 2012-06-28 | Canon Inc | センサシステム及び画像形成装置 |
-
1998
- 1998-02-06 JP JP2593998A patent/JPH11224515A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006201153A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-08-03 | Canon Inc | センサシステム及び記録媒体判別装置 |
| JP2012123003A (ja) * | 2004-12-20 | 2012-06-28 | Canon Inc | センサシステム及び画像形成装置 |
| US8442408B2 (en) | 2004-12-20 | 2013-05-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Sensor system and apparatus for identifying recording medium |
| JP2014098930A (ja) * | 2004-12-20 | 2014-05-29 | Canon Inc | 記録材検出装置及び画像形成装置 |
| JP2007086563A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-05 | Micronics Japan Co Ltd | 液晶パネル検査装置 |
| WO2010106584A1 (ja) * | 2009-03-19 | 2010-09-23 | 株式会社ヒューテック | 光学検査装置 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050203 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20080214 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20080311 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20080421 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080925 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090205 |