JPH11223661A - 集積回路の検査方法及び検査装置 - Google Patents
集積回路の検査方法及び検査装置Info
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- JPH11223661A JPH11223661A JP10027168A JP2716898A JPH11223661A JP H11223661 A JPH11223661 A JP H11223661A JP 10027168 A JP10027168 A JP 10027168A JP 2716898 A JP2716898 A JP 2716898A JP H11223661 A JPH11223661 A JP H11223661A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 検査装置の電源供給端子と集積回路の電源端
子とを電磁リレー等を介在させずに接続したままの状態
で、集積回路の複数の電源端子間の内部接続の良否を検
査する方法及び装置を提供する 【解決手段】 複数の電源端子１２，１３，１４のそれ
ぞれと検査装置の電源供給端子との間に交流成分遮断用
コイル２，３，４を挿入し、複数の電源端子のうちの一
つ１４に信号発生器７から交流信号又はパルス信号を印
加し、この印加された信号が他の電源端子１３に伝達さ
れるか否かを、電源端子１３に接続された信号検出回路
５によって検出する。
子とを電磁リレー等を介在させずに接続したままの状態
で、集積回路の複数の電源端子間の内部接続の良否を検
査する方法及び装置を提供する 【解決手段】 複数の電源端子１２，１３，１４のそれ
ぞれと検査装置の電源供給端子との間に交流成分遮断用
コイル２，３，４を挿入し、複数の電源端子のうちの一
つ１４に信号発生器７から交流信号又はパルス信号を印
加し、この印加された信号が他の電源端子１３に伝達さ
れるか否かを、電源端子１３に接続された信号検出回路
５によって検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は複数の電源端子を有
し、それらの電源端子が内部接続されている集積回路の
検査工程において、複数の電源端子間の内部接続の良否
を判定する検査方法及び検査装置に関する。
し、それらの電源端子が内部接続されている集積回路の
検査工程において、複数の電源端子間の内部接続の良否
を判定する検査方法及び検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】特に高速動作する集積回路は、電源供給
用の内部回路のインピーダンスをできるだけ下げるため
に、同一電源の電源端子を複数有する場合が多い。通
常、複数の電源端子は集積回路の内部で相互に接続され
ている。この電源端子相互間の接続が断線している場
合、特定の電源供給経路に過大な電源電流が流れてＬＳ
Ｉの寿命が短くなったり、短期的な故障に至ったりする
おそれがある。そこで、従来は、集積回路の検査工程に
おいて、図３に示すような回路を用いて電源端子間の内
部接続が断線していないかチェックしていた。
用の内部回路のインピーダンスをできるだけ下げるため
に、同一電源の電源端子を複数有する場合が多い。通
常、複数の電源端子は集積回路の内部で相互に接続され
ている。この電源端子相互間の接続が断線している場
合、特定の電源供給経路に過大な電源電流が流れてＬＳ
Ｉの寿命が短くなったり、短期的な故障に至ったりする
おそれがある。そこで、従来は、集積回路の検査工程に
おいて、図３に示すような回路を用いて電源端子間の内
部接続が断線していないかチェックしていた。
【０００３】図３において、検査対象の集積回路は内部
接続された複数の電源端子１２，１３，１４を有する。
また、例えば集積回路の信号入力端子１０には、保護回
路として２本のダイオード１５，１６が電源端子１４及
びＧＮＤ（グランド）端子１７との間に内蔵されてい
る。つまり、電源端子１４と信号入力端子１０との間に
はカソードを電源端子１４側にして第１ダイオード１５
が接続され、信号入力端子１０とＧＮＤ端子１７との間
にはアノードをＧＮＤ端子１７側にして第２ダイオード
１６が接続されている。したがって、電源端子１４とＧ
ＮＤ端子１７との間に２本のダイオード１５，１６が直
列接続されていることになる。この保護回路を利用して
電源端子間の内部接続がチェックされる。
接続された複数の電源端子１２，１３，１４を有する。
また、例えば集積回路の信号入力端子１０には、保護回
路として２本のダイオード１５，１６が電源端子１４及
びＧＮＤ（グランド）端子１７との間に内蔵されてい
る。つまり、電源端子１４と信号入力端子１０との間に
はカソードを電源端子１４側にして第１ダイオード１５
が接続され、信号入力端子１０とＧＮＤ端子１７との間
にはアノードをＧＮＤ端子１７側にして第２ダイオード
１６が接続されている。したがって、電源端子１４とＧ
ＮＤ端子１７との間に２本のダイオード１５，１６が直
列接続されていることになる。この保護回路を利用して
電源端子間の内部接続がチェックされる。
【０００４】検査装置には集積回路１に電力供給する電
源回路９の他に、定電流源２３及び電圧計２２が備えら
れている。定電流源２３は矢印２４で示す方向の電流を
発生する。定電流源２３及び電圧計２２は電磁リレー２
１を介して電源回路９の電源供給路に接続され、更に電
磁リレー１８，１９，２０を介して検査対象の集積回路
の電源端子１２，１３，１４にそれぞれ接続される。
源回路９の他に、定電流源２３及び電圧計２２が備えら
れている。定電流源２３は矢印２４で示す方向の電流を
発生する。定電流源２３及び電圧計２２は電磁リレー２
１を介して電源回路９の電源供給路に接続され、更に電
磁リレー１８，１９，２０を介して検査対象の集積回路
の電源端子１２，１３，１４にそれぞれ接続される。
【０００５】集積回路１の電源端子間の内部接続を検査
するに際し、まず電磁リレー２１を閉じて、定電流源２
３及び電圧計２２を電源供給路に接続する。次に、例え
ば電磁リレー１８を閉じると、定電流源２３及び電圧計
２２に接続された電源供給路が第２の電源端子１３に接
続される。第２の電源端子１３と第３の電源端子１４と
が内部配線１１によって正常に接続されている場合、検
査装置の定電流源２３から供給される電流２４は、ＧＮ
Ｄ端子１７、保護回路のダイオード１５，１６、内部配
線１１、第２の電源端子１３、電磁リレー１８，２１を
通る閉ループを流れる。このとき検査装置の電圧計２２
に検出される電圧値は、２本の直列接続された保護回路
用ダイオード１５，１６によって生ずる順方向電圧（約
１．３Ｖ）にほぼ等しい。
するに際し、まず電磁リレー２１を閉じて、定電流源２
３及び電圧計２２を電源供給路に接続する。次に、例え
ば電磁リレー１８を閉じると、定電流源２３及び電圧計
２２に接続された電源供給路が第２の電源端子１３に接
続される。第２の電源端子１３と第３の電源端子１４と
が内部配線１１によって正常に接続されている場合、検
査装置の定電流源２３から供給される電流２４は、ＧＮ
Ｄ端子１７、保護回路のダイオード１５，１６、内部配
線１１、第２の電源端子１３、電磁リレー１８，２１を
通る閉ループを流れる。このとき検査装置の電圧計２２
に検出される電圧値は、２本の直列接続された保護回路
用ダイオード１５，１６によって生ずる順方向電圧（約
１．３Ｖ）にほぼ等しい。
【０００６】一方、集積回路１の内部配線１１が断線し
ている場合、上述の閉ループが形成されないため、検査
装置の定電流源２３から供給される電流が上記閉ループ
に流れず、検査装置の電圧計２２に検出される電圧値は
発生可能な最大電圧まで上昇していく。したがって、電
圧計２２の検出電圧が所定値以下であれば集積回路の電
源端子間の内部配線１１は正常であり、所定値を越えて
おれば内部配線１１が断線していると判断することがで
きる。
ている場合、上述の閉ループが形成されないため、検査
装置の定電流源２３から供給される電流が上記閉ループ
に流れず、検査装置の電圧計２２に検出される電圧値は
発生可能な最大電圧まで上昇していく。したがって、電
圧計２２の検出電圧が所定値以下であれば集積回路の電
源端子間の内部配線１１は正常であり、所定値を越えて
おれば内部配線１１が断線していると判断することがで
きる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の検
査方法の欠点として次のような問題がある。つまり、例
えば標準のＬＳＩテスターを用いて、その電源供給端子
と検査対象の集積回路の電源端子との間に複数の電磁リ
レーを介在させる結果、その内部抵抗による電圧降下が
発生する。このため、高速かつ大消費電流の集積回路の
検査において、集積回路に十分な電力が供給されなくな
り、その結果、集積回路が正常に動作せずに機能検査で
不良と判定されるおそれがある。
査方法の欠点として次のような問題がある。つまり、例
えば標準のＬＳＩテスターを用いて、その電源供給端子
と検査対象の集積回路の電源端子との間に複数の電磁リ
レーを介在させる結果、その内部抵抗による電圧降下が
発生する。このため、高速かつ大消費電流の集積回路の
検査において、集積回路に十分な電力が供給されなくな
り、その結果、集積回路が正常に動作せずに機能検査で
不良と判定されるおそれがある。
【０００８】本発明は、上記のような従来の問題点を解
決すべく、ＬＳＩテスターの電源供給端子と集積回路の
電源端子とを電磁リレー等を介在させずに接続したまま
の状態で、集積回路の複数の電源端子間の内部接続の良
否を検査する方法及び装置を提供することを目的とす
る。
決すべく、ＬＳＩテスターの電源供給端子と集積回路の
電源端子とを電磁リレー等を介在させずに接続したまま
の状態で、集積回路の複数の電源端子間の内部接続の良
否を検査する方法及び装置を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明による検査方法
は、複数の電源端子を有し、それらの電源端子が内部接
続されている集積回路の検査工程において、電源端子間
の内部接続の良否を判定する方法であって、複数の電源
端子のそれぞれと検査装置の電源供給端子との間に交流
成分遮断用コイルを挿入し、複数の電源端子のうちの一
つに交流信号又はパルス信号を印加し、この印加された
信号が他の電源端子に伝達されるか否かをチェックする
ことを特徴とする。
は、複数の電源端子を有し、それらの電源端子が内部接
続されている集積回路の検査工程において、電源端子間
の内部接続の良否を判定する方法であって、複数の電源
端子のそれぞれと検査装置の電源供給端子との間に交流
成分遮断用コイルを挿入し、複数の電源端子のうちの一
つに交流信号又はパルス信号を印加し、この印加された
信号が他の電源端子に伝達されるか否かをチェックする
ことを特徴とする。
【００１０】上記の検査方法に使用される本発明の検査
装置は、検査対象の集積回路の複数の電源端子に対して
電源電圧を供給する電源供給回路と、電源供給回路の電
源供給端子と複数の電源端子のそれぞれとの間に接続さ
れる複数の交流成分遮断用コイルと、複数の電源端子の
うちの一つに交流信号又はパルス信号を印加するための
信号発生器と、他の電源端子に現れる交流信号又はパル
ス信号を検出する信号検出回路とを備えていることを特
徴とする。
装置は、検査対象の集積回路の複数の電源端子に対して
電源電圧を供給する電源供給回路と、電源供給回路の電
源供給端子と複数の電源端子のそれぞれとの間に接続さ
れる複数の交流成分遮断用コイルと、複数の電源端子の
うちの一つに交流信号又はパルス信号を印加するための
信号発生器と、他の電源端子に現れる交流信号又はパル
ス信号を検出する信号検出回路とを備えていることを特
徴とする。
【００１１】本発明の検査方法及び検査装置によれば、
検査装置の電源供給端子と集積回路の電源端子とは交流
成分遮断用コイルにを介して接続され、交流成分遮断用
コイルよる電圧降下はほとんど無いので、十分な電源電
圧を検査対象の集積回路に供給することができる。
検査装置の電源供給端子と集積回路の電源端子とは交流
成分遮断用コイルにを介して接続され、交流成分遮断用
コイルよる電圧降下はほとんど無いので、十分な電源電
圧を検査対象の集積回路に供給することができる。
【００１２】
【本発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態につい
て、図面を参照しながら説明する。図１に本発明の検査
方法及び検査装置に用いられる電源端子間接続の検査回
路を示す。従来技術で説明したのと同じ集積回路１の検
査を例にとって説明する。この検査回路では、検査対象
の集積回路１の電源端子１２，１３，１４が交流成分遮
断用コイル２，３，４を介して検査装置の電源供給回路
９の電源供給端子にそれぞれ接続されている。また、電
源供給端子をＧＮＤレベルに接続する電磁リレー８が備
えられている。更に、集積回路１の複数の電源端子１
２，１３，１４のうちの一つに交流電圧又はパルス電圧
を印加するための信号発生器７と、他の電源端子に接続
される信号検出回路５とが設けられている。
て、図面を参照しながら説明する。図１に本発明の検査
方法及び検査装置に用いられる電源端子間接続の検査回
路を示す。従来技術で説明したのと同じ集積回路１の検
査を例にとって説明する。この検査回路では、検査対象
の集積回路１の電源端子１２，１３，１４が交流成分遮
断用コイル２，３，４を介して検査装置の電源供給回路
９の電源供給端子にそれぞれ接続されている。また、電
源供給端子をＧＮＤレベルに接続する電磁リレー８が備
えられている。更に、集積回路１の複数の電源端子１
２，１３，１４のうちの一つに交流電圧又はパルス電圧
を印加するための信号発生器７と、他の電源端子に接続
される信号検出回路５とが設けられている。
【００１３】集積回路１の電源端子間の内部接続を検査
するに際し、電源供給回路９の作動が停止している状態
で電磁リレー８を閉じて電源供給路をＧＮＤに接続す
る。次に、複数の電源端子のうちの一つ、例えば第３の
電源端子１４に信号発生器７を接続して交流信号又はパ
ルス信号を第３の電源端子１４に印加する。更に、例え
ば第２の電源端子１３に信号検出回路５を接続する。信
号発生器７は特別なものではなく、汎用の信号発生回路
を用いることができる。信号検出回路５についても種々
の公知の回路を用いることができる。交流又はパルス信
号の有無をチェックできればよい。例えば、直流成分カ
ット用のコンデンサと整流回路及び電圧比較器で構成し
ても良い。
するに際し、電源供給回路９の作動が停止している状態
で電磁リレー８を閉じて電源供給路をＧＮＤに接続す
る。次に、複数の電源端子のうちの一つ、例えば第３の
電源端子１４に信号発生器７を接続して交流信号又はパ
ルス信号を第３の電源端子１４に印加する。更に、例え
ば第２の電源端子１３に信号検出回路５を接続する。信
号発生器７は特別なものではなく、汎用の信号発生回路
を用いることができる。信号検出回路５についても種々
の公知の回路を用いることができる。交流又はパルス信
号の有無をチェックできればよい。例えば、直流成分カ
ット用のコンデンサと整流回路及び電圧比較器で構成し
ても良い。
【００１４】上記のような接続状態における要部回路を
図２に示す。集積回路の第２の電源端子１３と第３の電
源端子１４とを接続する内部配線１１が正常な場合は、
信号発生器７から第３の電源端子１４に与えられたパル
ス信号ａは、集積回路の内部配線１１を通って第２の電
源端子１３に伝達される。伝達されたパルス信号ｂは、
第２の電源端子１３に接続された信号検出回路５で検出
される。
図２に示す。集積回路の第２の電源端子１３と第３の電
源端子１４とを接続する内部配線１１が正常な場合は、
信号発生器７から第３の電源端子１４に与えられたパル
ス信号ａは、集積回路の内部配線１１を通って第２の電
源端子１３に伝達される。伝達されたパルス信号ｂは、
第２の電源端子１３に接続された信号検出回路５で検出
される。
【００１５】一方、集積回路の第２の電源端子１３と第
３の電源端子１４とを接続する内部配線１１が途中で断
線している場合は、第３の電源端子１４に与えられたパ
ルス信号ａが第２の電源端子１３まで伝達されないの
で、信号検出回路５で検出すべき信号が検出されない。
このようにして、第２の電源端子１３と第３の電源端子
１４とを接続する内部配線１１の断線の有無を検査する
ことができる。第１の電源端子１２と第２の電源端子１
３又は第３の電源端子１４との内部接続配線について
も、同様にして検査することができる。
３の電源端子１４とを接続する内部配線１１が途中で断
線している場合は、第３の電源端子１４に与えられたパ
ルス信号ａが第２の電源端子１３まで伝達されないの
で、信号検出回路５で検出すべき信号が検出されない。
このようにして、第２の電源端子１３と第３の電源端子
１４とを接続する内部配線１１の断線の有無を検査する
ことができる。第１の電源端子１２と第２の電源端子１
３又は第３の電源端子１４との内部接続配線について
も、同様にして検査することができる。
【００１６】なお、図２において、交流成分遮断用コイ
ル４の働きにより、信号発生回路７から第３の電源端子
に印加されたパルス信号ａが電源供給路を通って他の電
源端子に回り込むことはない。他の交流成分遮断用コイ
ル２，３についても同様の働きをする。
ル４の働きにより、信号発生回路７から第３の電源端子
に印加されたパルス信号ａが電源供給路を通って他の電
源端子に回り込むことはない。他の交流成分遮断用コイ
ル２，３についても同様の働きをする。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明の検査方法及び検査
装置によれば、検査装置（ＬＳＩテスター）の電源供給
端子と集積回路の電源端子とを電磁リレー等を介在させ
ずに接続したままの状態で、集積回路の複数の電源端子
間の内部接続の良否を検査することができる。その結
果、高速かつ大消費電流の集積回路の検査においても、
集積回路に十分な電力が供給されるので、機能検査不良
と誤って判定することがない。
装置によれば、検査装置（ＬＳＩテスター）の電源供給
端子と集積回路の電源端子とを電磁リレー等を介在させ
ずに接続したままの状態で、集積回路の複数の電源端子
間の内部接続の良否を検査することができる。その結
果、高速かつ大消費電流の集積回路の検査においても、
集積回路に十分な電力が供給されるので、機能検査不良
と誤って判定することがない。
【００１８】また、電源供給路にパルスイズが乗って
も、交流成分遮断用コイルによってノイズが遮断される
ので、検査対象の集積回路に電源端子からノイズが入る
ことを防止でき、検査の信頼性が高まるといった効果も
奏する。
も、交流成分遮断用コイルによってノイズが遮断される
ので、検査対象の集積回路に電源端子からノイズが入る
ことを防止でき、検査の信頼性が高まるといった効果も
奏する。
【図１】本発明による集積回路の複数の電源端子の内部
接続を検査するための回路構成を示す図
接続を検査するための回路構成を示す図
【図２】図１の検査回路の一接続例の要部回路図
【図３】集積回路の複数の電源端子の内部接続を検査す
るための従来の回路構成を示す図
るための従来の回路構成を示す図
１ 検査対象の集積回路 ２，３，４ 交流成分遮断用コイル ５ 信号検出回路 ７ 信号発生器 ８ 電磁リレー ９ 電源供給回路 １０ 集積回路の信号入力端子 １１ 集積回路の電源端子間の内部接続配線 １２，１３，１４ 集積回路の電源端子 １５、１６ 集積回路の保護回路用ダイオード １７ 集積回路のＧＮＤ端子
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の電源端子を有し、それらの電源端
子が内部接続されている集積回路の検査工程において、
前記電源端子間の内部接続の良否を判定する方法であっ
て、前記複数の電源端子のそれぞれと検査装置の電源供
給端子との間に交流成分遮断用コイルを挿入し、前記複
数の電源端子のうちの一つに交流信号又はパルス信号を
印加し、この印加された信号が他の電源端子に伝達され
るか否かをチェックすることを特徴とする集積回路の検
査方法。 - 【請求項２】 検査対象の集積回路の複数の電源端子に
対して電源電圧を供給する電源供給回路と、電源供給回
路の電源供給端子と前記複数の電源端子のそれぞれとの
間に接続される複数の交流成分遮断用コイルと、前記複
数の電源端子のうちの一つに交流信号又はパルス信号を
印加するための信号発生器と、他の電源端子に現れる交
流信号又はパルス信号を検出する信号検出回路とを備え
ていることを特徴とする集積回路の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10027168A JPH11223661A (ja) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | 集積回路の検査方法及び検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10027168A JPH11223661A (ja) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | 集積回路の検査方法及び検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11223661A true JPH11223661A (ja) | 1999-08-17 |
Family
ID=12213539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10027168A Pending JPH11223661A (ja) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | 集積回路の検査方法及び検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11223661A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008072639A1 (ja) * | 2006-12-13 | 2008-06-19 | Advantest Corporation | 試験装置、試験方法、及び接続部 |
-
1998
- 1998-02-09 JP JP10027168A patent/JPH11223661A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008072639A1 (ja) * | 2006-12-13 | 2008-06-19 | Advantest Corporation | 試験装置、試験方法、及び接続部 |
| JP5066100B2 (ja) * | 2006-12-13 | 2012-11-07 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、試験方法、及び接続部 |
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