JPH1121393A - 高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物 - Google Patents
高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物Info
- Publication number
- JPH1121393A JPH1121393A JP17477497A JP17477497A JPH1121393A JP H1121393 A JPH1121393 A JP H1121393A JP 17477497 A JP17477497 A JP 17477497A JP 17477497 A JP17477497 A JP 17477497A JP H1121393 A JPH1121393 A JP H1121393A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hydrogen peroxide
- resin composition
- weight
- compound
- amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】半導体製造用等極めて高純度な品質を要求され
る高純度過酸化水素水を高度に保持し、過酸化水素水に
よる劣化を生じない過酸化水素水容器用樹脂組成物を提
供する。 【解決手段】チーグラー触媒により重合したポリエチレ
ンまたはエチレン・α−オレフィン共重合体からなる樹
脂組成物において、チオジプロピオン酸エステルを構造
内に有し、且つ分子量７００以下のチオジプロピオン酸
エステル系化合物の中から選択された少なくとも１種の
化合物を５０〜１０００重量ｐｐｍ含有することを特徴
とする高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物を用いる。
る高純度過酸化水素水を高度に保持し、過酸化水素水に
よる劣化を生じない過酸化水素水容器用樹脂組成物を提
供する。 【解決手段】チーグラー触媒により重合したポリエチレ
ンまたはエチレン・α−オレフィン共重合体からなる樹
脂組成物において、チオジプロピオン酸エステルを構造
内に有し、且つ分子量７００以下のチオジプロピオン酸
エステル系化合物の中から選択された少なくとも１種の
化合物を５０〜１０００重量ｐｐｍ含有することを特徴
とする高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物を用いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は過酸化水素水用樹脂
組成物に関する。更に詳しくは含有不純物濃度が極めて
低い高純度な品質が要求される半導体製造分野、医療品
分野等に使用される、過酸化水素水による劣化が抑制さ
れた高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物に関する。
組成物に関する。更に詳しくは含有不純物濃度が極めて
低い高純度な品質が要求される半導体製造分野、医療品
分野等に使用される、過酸化水素水による劣化が抑制さ
れた高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造分野では半導体を形成するシ
リコンウエハの処理を始め多くの工程で、過酸化水素
水、硫酸、ふっ酸、アンモニア水等、種々の高純度薬品
が使用されている。これらの薬品には半導体の歩留まり
低下を引き起こす不純物、微粒子が極めて少ない高純度
な品質が要求される。例えば要求される品質は各金属不
純物の含有量が１．０重量ｐｐｂ未満、０．２μｍ以上
の微粒子が１００個／ｍｌ以下と厳しい。さらには、金
属不純物０．１重量ｐｐｂ未満、０．１μｍ以上の微粒
子が１００個／ｍｌ以下という極めて高い品質が近年要
求されつつある。したがって、これら高純度薬品の品質
を保持し輸送、保存するためには不純物、微粒子の発生
がない容器が要求される。
リコンウエハの処理を始め多くの工程で、過酸化水素
水、硫酸、ふっ酸、アンモニア水等、種々の高純度薬品
が使用されている。これらの薬品には半導体の歩留まり
低下を引き起こす不純物、微粒子が極めて少ない高純度
な品質が要求される。例えば要求される品質は各金属不
純物の含有量が１．０重量ｐｐｂ未満、０．２μｍ以上
の微粒子が１００個／ｍｌ以下と厳しい。さらには、金
属不純物０．１重量ｐｐｂ未満、０．１μｍ以上の微粒
子が１００個／ｍｌ以下という極めて高い品質が近年要
求されつつある。したがって、これら高純度薬品の品質
を保持し輸送、保存するためには不純物、微粒子の発生
がない容器が要求される。
【０００３】高純度過酸化水素水の容器材質としては成
形性、価格等の面からポリオレフィンが多く使用されて
おり、中でも特に高密度ポリエチレンもしくはエチレン
・α−オレフィン共重合体が多く使用されている。しか
しながら、従来のポリエチレンもしくはエチレン・α−
オレフィン共重合体を使用する場合、樹脂中の低分子量
のオリゴマー溶出による微粒子発生、添加剤に起因する
微粒子、不純物溶出等が起こり、高純度薬品用容器材質
としては使用に耐えない。
形性、価格等の面からポリオレフィンが多く使用されて
おり、中でも特に高密度ポリエチレンもしくはエチレン
・α−オレフィン共重合体が多く使用されている。しか
しながら、従来のポリエチレンもしくはエチレン・α−
オレフィン共重合体を使用する場合、樹脂中の低分子量
のオリゴマー溶出による微粒子発生、添加剤に起因する
微粒子、不純物溶出等が起こり、高純度薬品用容器材質
としては使用に耐えない。
【０００４】このため、これらの問題を解決するために
本発明者らは特開平７−６２１６１号公報で、ポリオレ
フィン中のオリゴマー含有量の目安となる沸騰ｎ−ヘキ
サンによる抽出した際の抽出量が０．２重量％以下、ポ
リオレフィンに対する添加剤の量が全体で１００重量ｐ
ｐｍ以下であることを特徴とする高品質なポリエチレン
樹脂組成物からなる過酸化水素水容器を開示した。
本発明者らは特開平７−６２１６１号公報で、ポリオレ
フィン中のオリゴマー含有量の目安となる沸騰ｎ−ヘキ
サンによる抽出した際の抽出量が０．２重量％以下、ポ
リオレフィンに対する添加剤の量が全体で１００重量ｐ
ｐｍ以下であることを特徴とする高品質なポリエチレン
樹脂組成物からなる過酸化水素水容器を開示した。
【０００５】また、ポリエチレンもしくはエチレン・α
−オレフィン共重合体は通常、チーグラー触媒もしくは
フィリップス触媒により製造されるが、高純度過酸化水
素水用材質としては特にチーグラー触媒で重合されたポ
リエチレンもしくはエチレン・α−オレフィン共重合体
あるいはそれらに改質のために必要な最小限の量の添加
剤を添加した樹脂組成物が好ましい。これはフィリップ
ス触媒に比べチーグラー触媒で重合されたポリエチレン
もしくはエチレン・α−オレフィン共重合体の方が、樹
脂中に残存している金属触媒の過酸化水素水への溶出が
少ないためである。一方、フィリップス触媒で重合され
たポリエチレンもしくはエチレン・α−オレフィン共重
合体からなる樹脂組成物は樹脂中に残存する金属触媒の
過酸化水素水への溶出が多く、高純度に過酸化水素水を
保持できない。
−オレフィン共重合体は通常、チーグラー触媒もしくは
フィリップス触媒により製造されるが、高純度過酸化水
素水用材質としては特にチーグラー触媒で重合されたポ
リエチレンもしくはエチレン・α−オレフィン共重合体
あるいはそれらに改質のために必要な最小限の量の添加
剤を添加した樹脂組成物が好ましい。これはフィリップ
ス触媒に比べチーグラー触媒で重合されたポリエチレン
もしくはエチレン・α−オレフィン共重合体の方が、樹
脂中に残存している金属触媒の過酸化水素水への溶出が
少ないためである。一方、フィリップス触媒で重合され
たポリエチレンもしくはエチレン・α−オレフィン共重
合体からなる樹脂組成物は樹脂中に残存する金属触媒の
過酸化水素水への溶出が多く、高純度に過酸化水素水を
保持できない。
【０００６】しかしながら、チーグラー触媒で重合され
たポリエチレンもしくはエチレン・α−オレフィン共重
合体、あるいはこれらによる樹脂組成物を容器材質とし
て用いる場合でも、過酸化水素水との接触により残存す
る触媒が原因で容器が劣化する現象があり、その結果、
輸送、貯蔵中における容器の破損、それに伴う過酸化水
素水の漏洩、更には漏洩した過酸化水素水の急激な分解
等の問題が起こることがあった。
たポリエチレンもしくはエチレン・α−オレフィン共重
合体、あるいはこれらによる樹脂組成物を容器材質とし
て用いる場合でも、過酸化水素水との接触により残存す
る触媒が原因で容器が劣化する現象があり、その結果、
輸送、貯蔵中における容器の破損、それに伴う過酸化水
素水の漏洩、更には漏洩した過酸化水素水の急激な分解
等の問題が起こることがあった。
【０００７】チーグラー触媒によるポリエチレンもしく
はエチレン・α−オレフィン共重合体あるいはこれらに
よる樹脂組成物のこの現象は過酸化水素水を用いたとき
に極めて顕著である。例えば薬液としてアンモニア水、
ふっ酸等を用いた場合はこのような劣化はほとんど起こ
らない。
はエチレン・α−オレフィン共重合体あるいはこれらに
よる樹脂組成物のこの現象は過酸化水素水を用いたとき
に極めて顕著である。例えば薬液としてアンモニア水、
ふっ酸等を用いた場合はこのような劣化はほとんど起こ
らない。
【０００８】チーグラー触媒による上記の問題に対して
は、例えばステアリン酸カルシウム等金属石鹸を添加し
た樹脂組成物とすることで解決できるが、このような樹
脂組成物を高純度過酸化水素水用容器に使用した場合、
金属石鹸に由来する金属不純物が過酸化水素水中へ溶出
してしまう。さらに、微粒子も多く発生する。その結
果、これら樹脂組成物は高純度過酸化水素水容器用材質
としては使用できなくなるという問題があった。
は、例えばステアリン酸カルシウム等金属石鹸を添加し
た樹脂組成物とすることで解決できるが、このような樹
脂組成物を高純度過酸化水素水用容器に使用した場合、
金属石鹸に由来する金属不純物が過酸化水素水中へ溶出
してしまう。さらに、微粒子も多く発生する。その結
果、これら樹脂組成物は高純度過酸化水素水容器用材質
としては使用できなくなるという問題があった。
【０００９】以上のことから、高純度過酸化水素水の品
質を低下させずかつ過酸化水素水による劣化がないポリ
エチレンもしくはエチレン・α−オレフィン共重合体あ
るいはこれらによる樹脂組成物からなる高純度過酸化水
素水容器用樹脂組成物を提供することは困難であった。
質を低下させずかつ過酸化水素水による劣化がないポリ
エチレンもしくはエチレン・α−オレフィン共重合体あ
るいはこれらによる樹脂組成物からなる高純度過酸化水
素水容器用樹脂組成物を提供することは困難であった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は半導体製造用
等極めて高純度な品質を要求される高純度過酸化水素水
を高度に保持し、過酸化水素水による劣化を生じない過
酸化水素水容器用樹脂組成物を提供することにある。
等極めて高純度な品質を要求される高純度過酸化水素水
を高度に保持し、過酸化水素水による劣化を生じない過
酸化水素水容器用樹脂組成物を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明者らは鋭意努力の
結果、微粒子の発生、不純物の溶出無しに過酸化水素水
による劣化が防止されたポリエチレンまたはエチレン・
α−オレフィン共重合体による樹脂組成物からなる高純
度過酸化水素水容器用樹脂組成物を見いだし本発明に到
達した。
結果、微粒子の発生、不純物の溶出無しに過酸化水素水
による劣化が防止されたポリエチレンまたはエチレン・
α−オレフィン共重合体による樹脂組成物からなる高純
度過酸化水素水容器用樹脂組成物を見いだし本発明に到
達した。
【００１２】すなわち、本発明は、チーグラー触媒によ
り重合したポリエチレンまたはエチレン・α−オレフィ
ン共重合体からなる樹脂組成物において、チオジプロピ
オン酸エステルを構造内に有し、且つ分子量７００以下
のチオジプロピオン酸エステル系化合物の中から選択さ
れた少なくとも１種の化合物を５０〜１０００重量ｐｐ
ｍ含有する樹脂からなる高純度過酸化水素水容器用樹脂
組成物に関するものである。
り重合したポリエチレンまたはエチレン・α−オレフィ
ン共重合体からなる樹脂組成物において、チオジプロピ
オン酸エステルを構造内に有し、且つ分子量７００以下
のチオジプロピオン酸エステル系化合物の中から選択さ
れた少なくとも１種の化合物を５０〜１０００重量ｐｐ
ｍ含有する樹脂からなる高純度過酸化水素水容器用樹脂
組成物に関するものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】チーグラー触媒により重合したポ
リエチレンまたはエチレン・α−オレフィン共重合体
は、マグネシウム化合物、チタン等の遷移金属化合物、
及び有機アルミニウム化合物からなる触媒を使用し、エ
チレン、もしくは少なくとも一種類の炭素数３〜２０の
α−オレフィンとを所望密度になるような割合で重合さ
せることにより得られる。重合はスラリー重合、気相重
合、溶液重合など種々の方法により行ないうる。
リエチレンまたはエチレン・α−オレフィン共重合体
は、マグネシウム化合物、チタン等の遷移金属化合物、
及び有機アルミニウム化合物からなる触媒を使用し、エ
チレン、もしくは少なくとも一種類の炭素数３〜２０の
α−オレフィンとを所望密度になるような割合で重合さ
せることにより得られる。重合はスラリー重合、気相重
合、溶液重合など種々の方法により行ないうる。
【００１４】また、好ましくはＪＩＳ Ｋ６７６０によ
り測定される密度が０．９３０〜０．９８０ｇ／ｃｍ
3 、より好ましくは密度が０．９３５〜０．９８０ｇ／
ｃｍ3の範囲にあり、且つ、好ましくはＪＩＳ Ｋ６７
６０により測定されるメルトインデックス（ＭＩ）が
０．０１〜１．０ｇ／１０ｍｉｎの範囲にあるポリエチ
レンまたはエチレン・α−オレフィン共重合体が本発明
で使用される。ここで密度が０．９３０ｇ／ｃｍ3 未満
では樹脂からの溶出成分が増加し微粒子発生の原因とな
ってしまい、一方０．９８０ｇ／ｃｍ3 より大きいと耐
衝撃強度が劣る。またＭＩが０．０１ｇ／１０ｍｉｎ未
満では成形流動性が劣り、１．０ｇ／１０ｍｉｎより大
きいと耐衝撃強度や溶融張力が劣ってしまい適当ではな
い。
り測定される密度が０．９３０〜０．９８０ｇ／ｃｍ
3 、より好ましくは密度が０．９３５〜０．９８０ｇ／
ｃｍ3の範囲にあり、且つ、好ましくはＪＩＳ Ｋ６７
６０により測定されるメルトインデックス（ＭＩ）が
０．０１〜１．０ｇ／１０ｍｉｎの範囲にあるポリエチ
レンまたはエチレン・α−オレフィン共重合体が本発明
で使用される。ここで密度が０．９３０ｇ／ｃｍ3 未満
では樹脂からの溶出成分が増加し微粒子発生の原因とな
ってしまい、一方０．９８０ｇ／ｃｍ3 より大きいと耐
衝撃強度が劣る。またＭＩが０．０１ｇ／１０ｍｉｎ未
満では成形流動性が劣り、１．０ｇ／１０ｍｉｎより大
きいと耐衝撃強度や溶融張力が劣ってしまい適当ではな
い。
【００１５】さらには樹脂中のオリゴマー含有量の指針
となる沸騰ｎ−ヘキサンにより抽出した際の抽出量が
０．２重量％以下であるポリエチレンまたはエチレン・
α−オレフィン共重合体を用いることが好ましい。抽出
操作はソックスレー抽出装置を用いて充分な時間、例え
ば２０時間沸騰ｎ−ヘキサンにより抽出することで行な
われる。これにより、微粒子発生原因の一つである樹脂
中のオリゴマー含有量の指針が求められる。抽出量が
０．２重量％を超えるポリエチレンまたはエチレン・α
−オレフィン共重合体を用いた場合は微粒子発生が著し
くなり、高純度過酸化水素水容器用樹脂として使用に耐
えなくなる。このため、本発明にこれらを使用すること
はできない。
となる沸騰ｎ−ヘキサンにより抽出した際の抽出量が
０．２重量％以下であるポリエチレンまたはエチレン・
α−オレフィン共重合体を用いることが好ましい。抽出
操作はソックスレー抽出装置を用いて充分な時間、例え
ば２０時間沸騰ｎ−ヘキサンにより抽出することで行な
われる。これにより、微粒子発生原因の一つである樹脂
中のオリゴマー含有量の指針が求められる。抽出量が
０．２重量％を超えるポリエチレンまたはエチレン・α
−オレフィン共重合体を用いた場合は微粒子発生が著し
くなり、高純度過酸化水素水容器用樹脂として使用に耐
えなくなる。このため、本発明にこれらを使用すること
はできない。
【００１６】本発明におけるチオジプロピオン酸エステ
ル系化合物は、分子量が７００以下の化合物が使用され
る。ここでいうチオジプロピオン酸エステル系化合物と
は、Ｓ（Ｃ2 Ｈ4 ＣＯＯＲ）2 で表される。ここでＲ
は、Ｃm Ｈ2m+1（ｍは１以上の整数）で表される飽和炭
化水素である。具体的には、ジラウリルチオジプロピオ
ネート（分子量５１５）、ジミリスチルチオジプロピオ
ネート（分子量５７１）、ジステアリルチオジプロピオ
ネート（分子量６８３）等が挙げられる。
ル系化合物は、分子量が７００以下の化合物が使用され
る。ここでいうチオジプロピオン酸エステル系化合物と
は、Ｓ（Ｃ2 Ｈ4 ＣＯＯＲ）2 で表される。ここでＲ
は、Ｃm Ｈ2m+1（ｍは１以上の整数）で表される飽和炭
化水素である。具体的には、ジラウリルチオジプロピオ
ネート（分子量５１５）、ジミリスチルチオジプロピオ
ネート（分子量５７１）、ジステアリルチオジプロピオ
ネート（分子量６８３）等が挙げられる。
【００１７】この中でもジラウリルチオジプロピオネー
トが極めて好ましく、これを用いた場合、少量の含有量
で過酸化水素水による劣化を抑制することができ、さら
に樹脂からの不純物溶出、微粒子発生も充分抑えること
ができる。これに対し、分子量が７００を越えるチオジ
プロピオン酸エステル系化合物は、過酸化水素水による
劣化に対する防止効果が著しく低くなるため使用に耐え
ない。
トが極めて好ましく、これを用いた場合、少量の含有量
で過酸化水素水による劣化を抑制することができ、さら
に樹脂からの不純物溶出、微粒子発生も充分抑えること
ができる。これに対し、分子量が７００を越えるチオジ
プロピオン酸エステル系化合物は、過酸化水素水による
劣化に対する防止効果が著しく低くなるため使用に耐え
ない。
【００１８】チオジプロピオン酸エステル系化合物は５
０〜１０００重量ｐｐｍ含有することが好ましい。含有
量が５０重量ｐｐｍ未満であると過酸化水素水による樹
脂組成物の劣化を充分抑えることができなく、一方１０
００重量ｐｐｍを越えると許容できない量の微粒子発
生、不純物の溶出が起こることがある。
０〜１０００重量ｐｐｍ含有することが好ましい。含有
量が５０重量ｐｐｍ未満であると過酸化水素水による樹
脂組成物の劣化を充分抑えることができなく、一方１０
００重量ｐｐｍを越えると許容できない量の微粒子発
生、不純物の溶出が起こることがある。
【００１９】このように選択されたチオジプロピオン酸
エステル系化合物単独でも過酸化水素水による劣化を抑
制することができるが、さらに第三級ブチル基を少なく
とも一つ有するフェノール系化合物からなる分子量４０
０以下のヒンダードフェノール系化合物の中から選択さ
れた少なくとも１種の化合物を併用することで、樹脂組
成物からの不純物溶出、微粒子発生を抑えつつ、より一
層劣化を抑えることができる。
エステル系化合物単独でも過酸化水素水による劣化を抑
制することができるが、さらに第三級ブチル基を少なく
とも一つ有するフェノール系化合物からなる分子量４０
０以下のヒンダードフェノール系化合物の中から選択さ
れた少なくとも１種の化合物を併用することで、樹脂組
成物からの不純物溶出、微粒子発生を抑えつつ、より一
層劣化を抑えることができる。
【００２０】本発明におけるヒンダードフェノール系化
合物としては分子量が４００以下の化合物が使用され
る。ここでヒンダードフェノール系化合物とは、第三級
ブチル基を少なくとも一つ有するフェノール系化合物で
ある。また、分子内に第三級ブチル化ヒドロキシフェニ
ル基を複数有しても良い。
合物としては分子量が４００以下の化合物が使用され
る。ここでヒンダードフェノール系化合物とは、第三級
ブチル基を少なくとも一つ有するフェノール系化合物で
ある。また、分子内に第三級ブチル化ヒドロキシフェニ
ル基を複数有しても良い。
【００２１】具体的には、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェ
ノール（分子量２０６）、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４
−メチルフェノール（分子量２２０）、２，６−ジ−ｔ
−ブチル−４−エチルフェノール（分子量２３４）、
２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシメチルフェノ
ール（分子量２３６）、２−ｔ−ブチル−４−メトキシ
フェノール（分子量１８０）、３−ｔ−ブチル−４−メ
トキシフェノール（分子量１８０）、２，４−ジメチル
−６−ｔ−ブチルフェノール（分子量１７８）、２，
２’−メチレン−ビス−（４−メチル−６−ｔ−ブチル
フェノール）（分子量３４０）、２，２’−メチレン−
ビス−（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）（分
子量３６８）、４，４’−ブチリデン−ビス−（３−メ
チル−６−ｔ−ブチルフェノール）（分子量３８２）等
が挙げられる。
ノール（分子量２０６）、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４
−メチルフェノール（分子量２２０）、２，６−ジ−ｔ
−ブチル−４−エチルフェノール（分子量２３４）、
２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシメチルフェノ
ール（分子量２３６）、２−ｔ−ブチル−４−メトキシ
フェノール（分子量１８０）、３−ｔ−ブチル−４−メ
トキシフェノール（分子量１８０）、２，４−ジメチル
−６−ｔ−ブチルフェノール（分子量１７８）、２，
２’−メチレン−ビス−（４−メチル−６−ｔ−ブチル
フェノール）（分子量３４０）、２，２’−メチレン−
ビス−（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）（分
子量３６８）、４，４’−ブチリデン−ビス−（３−メ
チル−６−ｔ−ブチルフェノール）（分子量３８２）等
が挙げられる。
【００２２】この中でも２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−
メチルフェノール（ＢＨＴ）が極めて好ましく、これを
チオジプロピオン酸エステル系化合物と併用した場合、
少量の含有量で過酸化水素水による劣化を抑制すること
ができ、さらに樹脂からの不純物溶出、微粒子発生も充
分抑えることができる。これに対し、分子量が４００を
越えるヒンダードフェノール系化合物は、過酸化水素水
による劣化に対する防止効果が著しく低くなるため使用
に耐えない。
メチルフェノール（ＢＨＴ）が極めて好ましく、これを
チオジプロピオン酸エステル系化合物と併用した場合、
少量の含有量で過酸化水素水による劣化を抑制すること
ができ、さらに樹脂からの不純物溶出、微粒子発生も充
分抑えることができる。これに対し、分子量が４００を
越えるヒンダードフェノール系化合物は、過酸化水素水
による劣化に対する防止効果が著しく低くなるため使用
に耐えない。
【００２３】ヒンダードフェノール系化合物の含有量は
ポリエチレンまたはエチレン・α−オレフィン共重合体
に対して５０〜１０００重量ｐｐｍであることが好まし
い。１０００重量ｐｐｍを越えると許容できない量の微
粒子発生が生じることがある。なお、本発明に用いられ
るチオジプロピオン酸エステル系化合物、ヒンダードフ
ェノール系化合物の等級に制限はない。ここで等級とは
チオジプロピオン酸エステル系化合物あるいはヒンダー
ドフェノール系化合物の純度をいう。但し、等級によっ
てはチオジプロピオン酸エステル系化合物、ヒンダード
フェノール系化合物の製造時、保管時等に金属を代表と
する不純物、微粒子の混入も否定できず、これが問題と
なることもありうる。この場合は必要に応じて公知の方
法、すなわち洗浄、蒸留、再結晶化等の方法でそれをあ
らかじめ精製して使用することが好ましい。
ポリエチレンまたはエチレン・α−オレフィン共重合体
に対して５０〜１０００重量ｐｐｍであることが好まし
い。１０００重量ｐｐｍを越えると許容できない量の微
粒子発生が生じることがある。なお、本発明に用いられ
るチオジプロピオン酸エステル系化合物、ヒンダードフ
ェノール系化合物の等級に制限はない。ここで等級とは
チオジプロピオン酸エステル系化合物あるいはヒンダー
ドフェノール系化合物の純度をいう。但し、等級によっ
てはチオジプロピオン酸エステル系化合物、ヒンダード
フェノール系化合物の製造時、保管時等に金属を代表と
する不純物、微粒子の混入も否定できず、これが問題と
なることもありうる。この場合は必要に応じて公知の方
法、すなわち洗浄、蒸留、再結晶化等の方法でそれをあ
らかじめ精製して使用することが好ましい。
【００２４】チオジプロピオン酸エステル系化合物、ヒ
ンダードフェノール系化合物の、ポリエチレンまたはエ
チレン・α−オレフィン共重合体からなる樹脂組成物へ
含有させる方法に制限はない。例として、重合後のポリ
エチレンまたはエチレン・α−オレフィン共重合体の粉
体をペレット化する段階に添加する方法、または予めバ
ンバリーミキサー、ミキシングロール、その他特殊ミキ
サーなどで製造されたチオジプロピオン酸エステル系化
合物、ヒンダードフェノール系化合物を高濃度含むマス
ターバッチと、ポリエチレンまたはエチレン・α−オレ
フィン共重合体とを成形前、あるいは成形機内でブレン
ドする方法、もしくはチオジプロピオン酸エステル系化
合物、ヒンダードフェノール系化合物を容器成形時に直
接添加する方法等が挙げられる。但し、含有する際に環
境、装置等からの金属不純物の持ち込みを極力排除する
ことが肝要である。
ンダードフェノール系化合物の、ポリエチレンまたはエ
チレン・α−オレフィン共重合体からなる樹脂組成物へ
含有させる方法に制限はない。例として、重合後のポリ
エチレンまたはエチレン・α−オレフィン共重合体の粉
体をペレット化する段階に添加する方法、または予めバ
ンバリーミキサー、ミキシングロール、その他特殊ミキ
サーなどで製造されたチオジプロピオン酸エステル系化
合物、ヒンダードフェノール系化合物を高濃度含むマス
ターバッチと、ポリエチレンまたはエチレン・α−オレ
フィン共重合体とを成形前、あるいは成形機内でブレン
ドする方法、もしくはチオジプロピオン酸エステル系化
合物、ヒンダードフェノール系化合物を容器成形時に直
接添加する方法等が挙げられる。但し、含有する際に環
境、装置等からの金属不純物の持ち込みを極力排除する
ことが肝要である。
【００２５】本発明による樹脂組成物を用いて高純度過
酸化水素水用容器を成形する方法、成形する環境に制限
はない。成型方法は例としてブロー成形、回転成形、射
出成形、押出成形等既知の成形方法が、環境としては通
常の室内環境下や、空気中の浮遊粒子を適切なフィルタ
ーで除去し得られた空気からなる清浄な空間、いわゆる
クリーンルーム等が挙げられる。中でもクリーンルーム
内で、かつ微粒子を除去したガスを用いたブロー成形に
よる成形方法は、清浄度の高い高純度過酸化水素水用容
器を成形するためにより好ましい。
酸化水素水用容器を成形する方法、成形する環境に制限
はない。成型方法は例としてブロー成形、回転成形、射
出成形、押出成形等既知の成形方法が、環境としては通
常の室内環境下や、空気中の浮遊粒子を適切なフィルタ
ーで除去し得られた空気からなる清浄な空間、いわゆる
クリーンルーム等が挙げられる。中でもクリーンルーム
内で、かつ微粒子を除去したガスを用いたブロー成形に
よる成形方法は、清浄度の高い高純度過酸化水素水用容
器を成形するためにより好ましい。
【００２６】また、チオジプロピオン酸エステル系化合
物、ヒンダードフェノール系化合物、有機顔料及び無機
顔料を除き、その他の改質のための添加剤の合計含有量
が１００重量ｐｐｍ以下の樹脂組成物が、本発明による
高純度過酸化水素水用樹脂組成物として使用される。そ
の他の改質のための添加剤合計含有量が１００重量ｐｐ
ｍを越えると微粒子が発生することがあり、高純度過酸
化水素水の容器材質として使用できないことが多々あ
る。このため、必要に応じそれらを用いる場合は添加量
を１００重量ｐｐｍ以下にする必要がある。さらには一
切添加しないことが、より好ましい。
物、ヒンダードフェノール系化合物、有機顔料及び無機
顔料を除き、その他の改質のための添加剤の合計含有量
が１００重量ｐｐｍ以下の樹脂組成物が、本発明による
高純度過酸化水素水用樹脂組成物として使用される。そ
の他の改質のための添加剤合計含有量が１００重量ｐｐ
ｍを越えると微粒子が発生することがあり、高純度過酸
化水素水の容器材質として使用できないことが多々あ
る。このため、必要に応じそれらを用いる場合は添加量
を１００重量ｐｐｍ以下にする必要がある。さらには一
切添加しないことが、より好ましい。
【００２７】ここでいう、その他の改質のための添加剤
とは例えばヒンダードアミン系化合物などの耐光安定
剤、ステアリン酸カルシウム、ステアリン酸亜鉛等の金
属石鹸、あるいはハイドロタルサイトなどの中和剤、滑
剤等が挙げられる。また、有機顔料として、フタロシア
ニン系、キナクリドン系、アゾ系等が、無機顔料とし
て、酸化チタン、カーボンブラック、ベンガラ等が挙げ
られる。
とは例えばヒンダードアミン系化合物などの耐光安定
剤、ステアリン酸カルシウム、ステアリン酸亜鉛等の金
属石鹸、あるいはハイドロタルサイトなどの中和剤、滑
剤等が挙げられる。また、有機顔料として、フタロシア
ニン系、キナクリドン系、アゾ系等が、無機顔料とし
て、酸化チタン、カーボンブラック、ベンガラ等が挙げ
られる。
【００２８】有機、無機顔料の本発明による高純度過酸
化水素水用樹脂組成物における含有量に制限はない。し
かしながら、含有量が少ない場合は充分な遮光効果、着
色効果が得られず、また極めて含有量が多いと許容でき
ない微粒子発生が懸念されることがある。このため、好
ましい含有量の例として０．０１〜５重量％が挙げられ
る。これらの有機、無機顔料、あるいはその他の改質の
ための添加剤を、本発明における高純度過酸化水素水用
樹脂組成物への含有させる方法に制限はない。例として
はこれらを高濃度に含有するマスターバッチを使用する
方法等が挙げられる。
化水素水用樹脂組成物における含有量に制限はない。し
かしながら、含有量が少ない場合は充分な遮光効果、着
色効果が得られず、また極めて含有量が多いと許容でき
ない微粒子発生が懸念されることがある。このため、好
ましい含有量の例として０．０１〜５重量％が挙げられ
る。これらの有機、無機顔料、あるいはその他の改質の
ための添加剤を、本発明における高純度過酸化水素水用
樹脂組成物への含有させる方法に制限はない。例として
はこれらを高濃度に含有するマスターバッチを使用する
方法等が挙げられる。
【００２９】以上のことから、チーグラー触媒によるポ
リエチレンまたはエチレン・α−オレフィン共重合体の
劣化を防止する従来の添加剤、例えばステアリン酸カル
シウム等金属石鹸などが添加された従来の樹脂組成物と
は異なり、本発明によれば、高純度過酸化水素水を充填
しても微粒子増加、不純物特に金属類溶出が起こらず、
かつ過酸化水素水による劣化が充分抑えられた優れた高
純度過酸化水素水容器用樹脂組成物を提供することがで
きる。なお、本発明における容器に充填される過酸化水
素水の濃度に制限はないが通常５〜６０重量％のものが
用いられる。
リエチレンまたはエチレン・α−オレフィン共重合体の
劣化を防止する従来の添加剤、例えばステアリン酸カル
シウム等金属石鹸などが添加された従来の樹脂組成物と
は異なり、本発明によれば、高純度過酸化水素水を充填
しても微粒子増加、不純物特に金属類溶出が起こらず、
かつ過酸化水素水による劣化が充分抑えられた優れた高
純度過酸化水素水容器用樹脂組成物を提供することがで
きる。なお、本発明における容器に充填される過酸化水
素水の濃度に制限はないが通常５〜６０重量％のものが
用いられる。
【００３０】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を詳細に説明す
るが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるも
のでない。なお、測定した金属系不純物の種類は、「Bo
okof SEMI Standards 1995 Process Chemical Volume」
における「SEMI C 8.5-95Standard for hydrogen perox
ide, grade 3 」中の「Specification 」に記載されて
いる金属であった。また、これらの金属系不純物の測定
はICP-MS法もしくは原子吸光法によった。また、微粒子
測定はレーザー光散乱を利用する測定方法によった。
るが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるも
のでない。なお、測定した金属系不純物の種類は、「Bo
okof SEMI Standards 1995 Process Chemical Volume」
における「SEMI C 8.5-95Standard for hydrogen perox
ide, grade 3 」中の「Specification 」に記載されて
いる金属であった。また、これらの金属系不純物の測定
はICP-MS法もしくは原子吸光法によった。また、微粒子
測定はレーザー光散乱を利用する測定方法によった。
【００３１】実施例１ チーグラー触媒で重合し、かつチオジプロピオン酸エス
テル系化合物を添加する前の密度が０．９５６ｇ／ｃｍ
3 ，ＭＩが０．３５ｇ／10min であり、また沸騰ｎ−ヘ
キサンにより抽出した際の抽出量が０．０８重量％以下
のポリエチレンからなる高密度ポリエチレン樹脂組成物
（東ソー製商品名ニポロンハード８０２２）にジラウリ
ルチオプロピオネートを所定量添加し、その樹脂組成物
を用いて約２６ｃｍ×２６ｃｍ×３５ｃｍのほぼ直方体
の容器を成形した。これに３１重量％過酸化水素水を２
０ｋｇ充填し、６０℃で４ヶ月放置した。その後内容物
を２０ｋｇの水に代え、底面を下にし垂直方向から落下
させ、破損の有無を求めた。なお、最初の落下高さは
１．０ｍとし、破損しない場合は高さを各０．５ｍ加
え、５．０ｍまで落下を継続し、落下試験を行なった。
テル系化合物を添加する前の密度が０．９５６ｇ／ｃｍ
3 ，ＭＩが０．３５ｇ／10min であり、また沸騰ｎ−ヘ
キサンにより抽出した際の抽出量が０．０８重量％以下
のポリエチレンからなる高密度ポリエチレン樹脂組成物
（東ソー製商品名ニポロンハード８０２２）にジラウリ
ルチオプロピオネートを所定量添加し、その樹脂組成物
を用いて約２６ｃｍ×２６ｃｍ×３５ｃｍのほぼ直方体
の容器を成形した。これに３１重量％過酸化水素水を２
０ｋｇ充填し、６０℃で４ヶ月放置した。その後内容物
を２０ｋｇの水に代え、底面を下にし垂直方向から落下
させ、破損の有無を求めた。なお、最初の落下高さは
１．０ｍとし、破損しない場合は高さを各０．５ｍ加
え、５．０ｍまで落下を継続し、落下試験を行なった。
【００３２】また、落下試験を行なっていない、同じ種
類の容器を用い、３１重量％過酸化水素水を２０ｋｇ充
填した。その後、５０℃で１ヶ月放置し、放置により樹
脂からの過酸化水素水への不純物溶出濃度を求める溶出
試験を行なった。なお、溶出金属濃度の定量下限は０．
０１重量ｐｐｂであった。さらに、落下試験、溶出試験
を行なっていない、同じ種類の容器を用い、３１重量％
過酸化水素水を２０ｋｇ充填した。続いてリオン社製
０．１μｍ対応パーティクルカウンター（ＫＬ−２４）
を用い、過酸化水素水中の微粒子量を測定した。その
後、トラック積載により３００ｋｍの輸送を行なった
後、再度同様に微粒子量を測定し、輸送による微粒子増
加量を求める微粒子発生試験を行なった。試験で得られ
た結果を表１に示す。これらすべての種類の容器は高純
度過酸化水素水用容器として適当であった。
類の容器を用い、３１重量％過酸化水素水を２０ｋｇ充
填した。その後、５０℃で１ヶ月放置し、放置により樹
脂からの過酸化水素水への不純物溶出濃度を求める溶出
試験を行なった。なお、溶出金属濃度の定量下限は０．
０１重量ｐｐｂであった。さらに、落下試験、溶出試験
を行なっていない、同じ種類の容器を用い、３１重量％
過酸化水素水を２０ｋｇ充填した。続いてリオン社製
０．１μｍ対応パーティクルカウンター（ＫＬ−２４）
を用い、過酸化水素水中の微粒子量を測定した。その
後、トラック積載により３００ｋｍの輸送を行なった
後、再度同様に微粒子量を測定し、輸送による微粒子増
加量を求める微粒子発生試験を行なった。試験で得られ
た結果を表１に示す。これらすべての種類の容器は高純
度過酸化水素水用容器として適当であった。
【００３３】比較例１ ジラウリルチオジプロピオネートの添加量を変えた以外
は実施例１と同様に行ない各種試験を行なった。得られ
た結果を表２に示す。これらすべての容器は高純度過酸
化水素水用容器としては不適当であった。
は実施例１と同様に行ない各種試験を行なった。得られ
た結果を表２に示す。これらすべての容器は高純度過酸
化水素水用容器としては不適当であった。
【００３４】実施例２ ジラウリルチオジプロピオネートの代わりに表３に示す
ジプロピオン酸エステル系化合物、添加量にした以外は
実施例１と同様に行なった。得られた結果を表３に示
す。これらすべての容器は高純度過酸化水素水用容器と
して適当であった。
ジプロピオン酸エステル系化合物、添加量にした以外は
実施例１と同様に行なった。得られた結果を表３に示
す。これらすべての容器は高純度過酸化水素水用容器と
して適当であった。
【００３５】比較例２ ジラウリルチオジプロピオネートの代わりに表４に示す
化合物、添加量にした以外は実施例１と同様に行なっ
た。得られた結果を表４に示す。これらすべての容器は
高純度過酸化水素水用容器としては不適当であった。
化合物、添加量にした以外は実施例１と同様に行なっ
た。得られた結果を表４に示す。これらすべての容器は
高純度過酸化水素水用容器としては不適当であった。
【００３６】実施例３ ジラウリルチオプロピオネートの添加量を５０重量ｐｐ
ｍとし、新たにヒンダードフェノール系化合物としてＢ
ＨＴを５０もしくは５００重量ｐｐｍ添加した以外は実
施例１と同様に行なった。得られた結果を表５に示す。
ＢＨＴを併用することで一層劣化を防止することがで
き、これらの容器は高純度過酸化水素水用容器として適
当であった。
ｍとし、新たにヒンダードフェノール系化合物としてＢ
ＨＴを５０もしくは５００重量ｐｐｍ添加した以外は実
施例１と同様に行なった。得られた結果を表５に示す。
ＢＨＴを併用することで一層劣化を防止することがで
き、これらの容器は高純度過酸化水素水用容器として適
当であった。
【００３７】比較例３ ジラルリルチオプロピオネートの添加量を５０重量ｐｐ
ｍ、ＢＨＴを１３００重量ｐｐｍとした以外は実施例３
と同様に行なった。得られた結果を表６に示す。これら
すべての容器は高純度過酸化水素水用容器としては不適
当であった。
ｍ、ＢＨＴを１３００重量ｐｐｍとした以外は実施例３
と同様に行なった。得られた結果を表６に示す。これら
すべての容器は高純度過酸化水素水用容器としては不適
当であった。
【００３８】実施例４ ＢＨＴの代わりに表７に示すヒンダードフェノール系化
合物、添加量にした以外は実施例３と同様に行なった。
得られた結果を表７に示す。これらすべての容器は高純
度過酸化水素水用容器として適当であった。
合物、添加量にした以外は実施例３と同様に行なった。
得られた結果を表７に示す。これらすべての容器は高純
度過酸化水素水用容器として適当であった。
【００３９】比較例４ ＢＨＴの代わりに表８に示すヒンダードフェノール系化
合物、添加量にした以外は実施例３と同様に行なった。
得られた結果を表８に示す。分子量５００以上のヒンダ
ードフェノール系化合物を併用しても併用による劣化の
改善は認められなかった。
合物、添加量にした以外は実施例３と同様に行なった。
得られた結果を表８に示す。分子量５００以上のヒンダ
ードフェノール系化合物を併用しても併用による劣化の
改善は認められなかった。
【００４０】比較例５ フィリップス触媒で製造され、またチオジプロピオン酸
エステル系化合物を添加せず、さらにその他の添加され
た添加剤の総量が１００重量ｐｐｍ以下、及び沸騰ｎ−
ヘキサンによる抽出した際の抽出量が０．２重量％以下
である高密度ポリエチレン樹脂組成物（東燃製ＲＳ１０
００）を用いた以外は実施例１と同様に行なった。得ら
れた結果を表９に示す。この容器は高純度過酸化水素水
用容器としては不適当であった。
エステル系化合物を添加せず、さらにその他の添加され
た添加剤の総量が１００重量ｐｐｍ以下、及び沸騰ｎ−
ヘキサンによる抽出した際の抽出量が０．２重量％以下
である高密度ポリエチレン樹脂組成物（東燃製ＲＳ１０
００）を用いた以外は実施例１と同様に行なった。得ら
れた結果を表９に示す。この容器は高純度過酸化水素水
用容器としては不適当であった。
【００４１】
【表１】
【００４２】
【表２】
【００４３】
【表３】
【００４４】
【表４】
【００４５】
【表５】
【００４６】
【表６】
【００４７】
【表７】
【００４８】
【表８】
【００４９】
【表９】
【００５０】
【発明の効果】本発明によれば、高純度過酸化水素水を
充填しても微粒子増加、不純物特に金属類溶出が起こら
ず、かつ過酸化水素水による劣化が充分抑えられた優れ
た高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物を提供すること
ができる。
充填しても微粒子増加、不純物特に金属類溶出が起こら
ず、かつ過酸化水素水による劣化が充分抑えられた優れ
た高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物を提供すること
ができる。
Claims (7)
- 【請求項１】 チーグラー触媒により重合したポリエチ
レンまたはエチレン・α−オレフィン共重合体からなる
樹脂組成物において、チオジプロピオン酸エステルを構
造内に有し、且つ分子量７００以下のチオジプロピオン
酸エステル系化合物の中から選択された少なくとも１種
の化合物を５０〜１０００重量ｐｐｍ含有することを特
徴とする高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物。 - 【請求項２】 チオジプロピオン酸エステル系化合物が
ジラウリルチオジプロピオネートである請求項１記載の
高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物。 - 【請求項３】 第三級ブチル基を少なくとも一つ有する
フェノール系化合物からなるヒンダードフェノール系化
合物の中から選択された少なくとも１種の化合物を含有
する請求項１〜２記載の高純度過酸化水素水容器用樹脂
組成物。 - 【請求項４】 ヒンダードフェノール系化合物の分子量
が４００以下であり、且つ含有量が５０〜１０００重量
ｐｐｍである請求項３記載の高純度過酸化水素水容器用
樹脂組成物。 - 【請求項５】 ヒンダードフェノール系化合物が２，６
−ジ−ｔ−ブチル−４−メチルフェノールである請求項
４記載の高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物。 - 【請求項６】 チオジプロピオン酸エステル系化合物、
ヒンダードフェノール系化合物、無機顔料及び有機顔料
を除く、他の含有添加剤の総量が１００重量ｐｐｍ以下
である請求項１〜５記載の高純度過酸化水素水容器用樹
脂組成物。 - 【請求項７】 ポリエチレンまたはエチレン・α−オレ
フィン共重合体が、沸騰ｎ−ヘキサンによる抽出量が
０．２重量％以下である請求項１〜６記載の高純度過酸
化水素水容器用樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17477497A JPH1121393A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17477497A JPH1121393A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1121393A true JPH1121393A (ja) | 1999-01-26 |
Family
ID=15984442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17477497A Pending JPH1121393A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1121393A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017163816A1 (ja) | 2016-03-24 | 2017-09-28 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性又は感放射線性組成物、感活性光線性又は感放射線性組成物の製造方法、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法 |
| WO2017163922A1 (ja) | 2016-03-24 | 2017-09-28 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性又は感放射線性組成物、感活性光線性又は感放射線性組成物の精製方法、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法 |
| WO2018061944A1 (ja) | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法及び電子デバイスの製造方法 |
| WO2021065450A1 (ja) | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法 |
| WO2021200056A1 (ja) | 2020-03-30 | 2021-10-07 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、フォトマスク製造用感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びフォトマスクの製造方法 |
| WO2021200179A1 (ja) | 2020-03-31 | 2021-10-07 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法 |
-
1997
- 1997-06-30 JP JP17477497A patent/JPH1121393A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017163816A1 (ja) | 2016-03-24 | 2017-09-28 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性又は感放射線性組成物、感活性光線性又は感放射線性組成物の製造方法、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法 |
| WO2017163922A1 (ja) | 2016-03-24 | 2017-09-28 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性又は感放射線性組成物、感活性光線性又は感放射線性組成物の精製方法、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法 |
| WO2018061944A1 (ja) | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、パターン形成方法及び電子デバイスの製造方法 |
| WO2021065450A1 (ja) | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法 |
| WO2021200056A1 (ja) | 2020-03-30 | 2021-10-07 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、フォトマスク製造用感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及びフォトマスクの製造方法 |
| WO2021200179A1 (ja) | 2020-03-31 | 2021-10-07 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1190692A (en) | Polyethylene compositions for rotational moulding processes | |
| BE1008434A3 (fr) | Composition a base de polyolefine et procede de fabrication d'objets faconnes a partir de cette composition. | |
| AU614942B2 (en) | Compositions to improve properties of olefin polymers containing such compositions | |
| CA1084646A (en) | Polypropylene compositions | |
| JPS6257405A (ja) | 改善された透明性のプロピレン重合体組成物の製造法 | |
| US3795630A (en) | Chemically stable,non-separating organic peroxide compositions | |
| JPH1121393A (ja) | 高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物 | |
| KR970011464B1 (ko) | 내방사선 폴리프로필렌 수지조성물 | |
| FR2725451A1 (fr) | Nouvelle composition stabilisante pour les matieres polymeres | |
| JPH1045961A (ja) | 高純度過酸化水素水容器用樹脂組成物 | |
| EP3505564B1 (en) | Crystal nucleator for polyolefin resins, method for producing crystal nucleator for polyolefin resins, and method for improving fluidity of crystal nucleator for polyolefin resins | |
| EP0213788B1 (en) | Method for improving the clarity of propylene polymers | |
| NO863161L (no) | Polypropylensammensetninger med forbedret klarhet. | |
| GB2252324A (en) | Stabilizer composition | |
| DE3108843A1 (de) | Antistatische polyolefinharzzusammensetzung | |
| JPH05295178A (ja) | 充填剤配合ポリオレフィンの色の安定化 | |
| JP5283891B2 (ja) | クリーン容器包装用ポリエチレン樹脂組成物 | |
| US20220169839A1 (en) | Composition for Odor Suppression | |
| JP7145168B2 (ja) | オレフィン系樹脂組成物の製造方法 | |
| JPS6356505A (ja) | 結晶性プロピレン重合体の改質方法 | |
| JPS621414B2 (ja) | ||
| Thürmer | Acid scavengers for polyolefins | |
| JPH0986587A (ja) | 過酸化水素水用容器 | |
| JP6849913B2 (ja) | 流動性の改良された微粒子状ポリオレフィン系樹脂用結晶核剤 | |
| JP6912708B2 (ja) | 流動性の改良されたポリオレフィン系樹脂用結晶核剤組成物 |