JPH0986587A - 過酸化水素水用容器 - Google Patents
過酸化水素水用容器Info
- Publication number
- JPH0986587A JPH0986587A JP24754995A JP24754995A JPH0986587A JP H0986587 A JPH0986587 A JP H0986587A JP 24754995 A JP24754995 A JP 24754995A JP 24754995 A JP24754995 A JP 24754995A JP H0986587 A JPH0986587 A JP H0986587A
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- Japan
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- hydrogen peroxide
- container
- polymer
- peroxide solution
- polyethylene
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- Packging For Living Organisms, Food Or Medicinal Products That Are Sensitive To Environmental Conditiond (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 過酸化水素水に対する耐薬品性を有し、かつ
不純物の溶出のない過酸化水素水用容器を提供する。 【解決手段】 ポリマー中の塩素含有量が6ppm以下
であるポリオレフィンを使用する。 【効果】 過酸化水素水による劣化がなく、かつ不純物
の溶出のなく、特に高純度、高品質に過酸化水素水を保
存することができる。
不純物の溶出のない過酸化水素水用容器を提供する。 【解決手段】 ポリマー中の塩素含有量が6ppm以下
であるポリオレフィンを使用する。 【効果】 過酸化水素水による劣化がなく、かつ不純物
の溶出のなく、特に高純度、高品質に過酸化水素水を保
存することができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、過酸化水素水用の
容器に関する。さらに詳しくは過酸化水素による劣化が
抑制された一般工業用、医療用、食品用、半導体製造用
等に使用される過酸化水素水用容器に関する。
容器に関する。さらに詳しくは過酸化水素による劣化が
抑制された一般工業用、医療用、食品用、半導体製造用
等に使用される過酸化水素水用容器に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、過酸化水素水用容器の材料として
はポリオレフィンが汎用されており、中でも特に高密度
ポリエチレンが多く使用されている。しかしながら、こ
れら高密度ポリエチレン(以下単にポリエチレンと記
す)で成形された容器に過酸化水素水を充填する場合、
過酸化水素水との接触で容器が劣化する現象があり、そ
の結果、輸送、貯蔵中における容器の破損、それに伴う
過酸化水素水溶液の漏洩、さらには漏洩した過酸化水素
の急激な分解等の問題が起こることがあった。 現状で
は、過酸化水素水用容器として用いられるポリエチレン
の劣化防止に関しては、抜本的な対策は採られておら
ず、耐薬品性を向上させるために劣化防止剤等の添加剤
を添加することにより対応しているのが実状である。
はポリオレフィンが汎用されており、中でも特に高密度
ポリエチレンが多く使用されている。しかしながら、こ
れら高密度ポリエチレン(以下単にポリエチレンと記
す)で成形された容器に過酸化水素水を充填する場合、
過酸化水素水との接触で容器が劣化する現象があり、そ
の結果、輸送、貯蔵中における容器の破損、それに伴う
過酸化水素水溶液の漏洩、さらには漏洩した過酸化水素
の急激な分解等の問題が起こることがあった。 現状で
は、過酸化水素水用容器として用いられるポリエチレン
の劣化防止に関しては、抜本的な対策は採られておら
ず、耐薬品性を向上させるために劣化防止剤等の添加剤
を添加することにより対応しているのが実状である。
【0003】一方、近年半導体製造分野等で使用される
過酸化水素水に対する品質の要求は極めて厳しく、各金
属不純物の含有量は0.1ppb以下の高純度のものが
要求されるようになってきている。
過酸化水素水に対する品質の要求は極めて厳しく、各金
属不純物の含有量は0.1ppb以下の高純度のものが
要求されるようになってきている。
【0004】しかしながら、耐薬品性を向上させる目的
で劣化防止剤などの添加剤を添加したポリエチレンを使
用した場合、添加時に起因する不純物の過酸化水素水中
への溶出が起り品質の低下が起こる危険性がある。また
添加剤を添加しない場合でも、過酸化水素水溶液との接
触によりポリマー中に存在する金属不純物が溶出する場
合があり、特に半導体分野で要求される高純度な過酸化
水素水用容器として使用する場合、高純度に品質を保持
することは困難となっている。
で劣化防止剤などの添加剤を添加したポリエチレンを使
用した場合、添加時に起因する不純物の過酸化水素水中
への溶出が起り品質の低下が起こる危険性がある。また
添加剤を添加しない場合でも、過酸化水素水溶液との接
触によりポリマー中に存在する金属不純物が溶出する場
合があり、特に半導体分野で要求される高純度な過酸化
水素水用容器として使用する場合、高純度に品質を保持
することは困難となっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、劣化防止剤
等の添加剤を使用せず過酸化水素水との接触においても
劣化を生じない過酸化水素水用容器、さらには半導体製
造用等極めて高純度な品質を要求される高純度過酸化水
素水を高度に保持し、容器の劣化を生じない過酸化水素
水用容器を提供することにある。
等の添加剤を使用せず過酸化水素水との接触においても
劣化を生じない過酸化水素水用容器、さらには半導体製
造用等極めて高純度な品質を要求される高純度過酸化水
素水を高度に保持し、容器の劣化を生じない過酸化水素
水用容器を提供することにある。
【0006】本発明者らは、まず過酸化水素水によるポ
リエチレンの劣化に関して種々検討した結果、ポリエチ
レン中に含有する塩素が過酸化水素水との接触により樹
脂劣化を引き起こす要因であることを見い出し、さら
に、ポリマー中に含有する塩素について検討を加えた結
果、ポリエチレンの製造法が関係していることが分かっ
た。
リエチレンの劣化に関して種々検討した結果、ポリエチ
レン中に含有する塩素が過酸化水素水との接触により樹
脂劣化を引き起こす要因であることを見い出し、さら
に、ポリマー中に含有する塩素について検討を加えた結
果、ポリエチレンの製造法が関係していることが分かっ
た。
【0007】すなわち、高密度ポリエチレンは一般に中
・低圧法であるチーグラー法、フィリッピス法で製造さ
れる。チーグラー法により製造されるポリエチレンはそ
の重合に際して触媒成分として塩化チタンなどを使用す
るいわゆるチーグラー型触媒が使用されるが、このよう
な触媒に起因する塩素がポリマー中に微量残存し、これ
が過酸化水素水との接触による樹脂の劣化を引き起こす
要因となっているものと推察される。
・低圧法であるチーグラー法、フィリッピス法で製造さ
れる。チーグラー法により製造されるポリエチレンはそ
の重合に際して触媒成分として塩化チタンなどを使用す
るいわゆるチーグラー型触媒が使用されるが、このよう
な触媒に起因する塩素がポリマー中に微量残存し、これ
が過酸化水素水との接触による樹脂の劣化を引き起こす
要因となっているものと推察される。
【0008】さらにポリマー中の塩素の含有量と樹脂劣
化との関係について検討を重ねた結果、ポリマー中に含
有する塩素、すなわち重合触媒に起因する塩素が6pp
m以下であれば過酸化水素水による劣化が認められない
ことが見出された。
化との関係について検討を重ねた結果、ポリマー中に含
有する塩素、すなわち重合触媒に起因する塩素が6pp
m以下であれば過酸化水素水による劣化が認められない
ことが見出された。
【0009】また、塩素の混入経路につてさらに検討を
行った結果、例えば重合後の製品であるポリエチレンに
は、所望に応じて着色剤等が添加されることがあるが、
この際に塩素を含む添加剤が使用された場合、添加剤添
加後の成形材料中の総塩素量がたとえ6ppmを超える
量となっても過酸化水素水による樹脂の劣化はほとんど
認められないことから、過酸化水素水による樹脂の劣化
は、後からの添加剤に起因する塩素はほとんど関与せ
ず、上記したように、主としてポリマー中に残存する塩
素に起因することが分かった。
行った結果、例えば重合後の製品であるポリエチレンに
は、所望に応じて着色剤等が添加されることがあるが、
この際に塩素を含む添加剤が使用された場合、添加剤添
加後の成形材料中の総塩素量がたとえ6ppmを超える
量となっても過酸化水素水による樹脂の劣化はほとんど
認められないことから、過酸化水素水による樹脂の劣化
は、後からの添加剤に起因する塩素はほとんど関与せ
ず、上記したように、主としてポリマー中に残存する塩
素に起因することが分かった。
【0010】一方、フィッリプス法により製造されたポ
リエチレンは、過酸化水素水との接触によりCrなどの
金属不純物の溶出が認められる。このような金属不純物
はフィッリプス法の重合触媒成分の酸化クロム化合物に
よるものと推察される。
リエチレンは、過酸化水素水との接触によりCrなどの
金属不純物の溶出が認められる。このような金属不純物
はフィッリプス法の重合触媒成分の酸化クロム化合物に
よるものと推察される。
【0011】したがって、このようなポリエチレンを使
用した容器は過酸化水素水の品質を高純度のレベルに保
持することは困難であり、特に半導体製造分野等で要求
される高純度な品質の過酸化水素水を保持する場合には
容器用材料としては好ましくない。
用した容器は過酸化水素水の品質を高純度のレベルに保
持することは困難であり、特に半導体製造分野等で要求
される高純度な品質の過酸化水素水を保持する場合には
容器用材料としては好ましくない。
【0012】
【問題点を解決するための手段】上記のことから、ポリ
マー中の塩素の含有量が6ppm以下である場合には過
酸化水素水との接触による樹脂劣化を十分に抑制できる
ことが判明した。すなわち、本発明は、ポリマー中の塩
素含有量が6ppm以下であるポリエチレンを用いて成
形してなる過酸化水素水用容器に係る。
マー中の塩素の含有量が6ppm以下である場合には過
酸化水素水との接触による樹脂劣化を十分に抑制できる
ことが判明した。すなわち、本発明は、ポリマー中の塩
素含有量が6ppm以下であるポリエチレンを用いて成
形してなる過酸化水素水用容器に係る。
【0013】上記のようにポリマー中の塩素含有量が6
ppm以下であるポリエチレンを容器用材料として使用
することにより過酸化水素水による劣化がない容器を得
ることができる。
ppm以下であるポリエチレンを容器用材料として使用
することにより過酸化水素水による劣化がない容器を得
ることができる。
【0014】ポリマー中の塩素含有量が6ppm以下で
あるポリエチレンとして、たとえばフィリップス法によ
るポリエチレンを容器用材料として使用した場合には過
酸化水素水による容器の劣化はみられないが、他方不純
物金属が溶出し、過酸化水素水の品質を低下させる要因
となる危険性があり、特に半導体分野等で要求される高
純度の過酸化水素水を保持する場合には不十分である。
したがって、特に高純度、高品質の過酸化水素水が要求
される場合には、金属不純物の溶出の危険性のないチー
グラー法によって製造されたポリエチレンを使用するの
が好ましく、かつポリマー中の塩素含有量が6ppm以
下であるポリエチレンを容器用材料として使用すること
が好ましい。
あるポリエチレンとして、たとえばフィリップス法によ
るポリエチレンを容器用材料として使用した場合には過
酸化水素水による容器の劣化はみられないが、他方不純
物金属が溶出し、過酸化水素水の品質を低下させる要因
となる危険性があり、特に半導体分野等で要求される高
純度の過酸化水素水を保持する場合には不十分である。
したがって、特に高純度、高品質の過酸化水素水が要求
される場合には、金属不純物の溶出の危険性のないチー
グラー法によって製造されたポリエチレンを使用するの
が好ましく、かつポリマー中の塩素含有量が6ppm以
下であるポリエチレンを容器用材料として使用すること
が好ましい。
【0015】本発明にいて使用されるポリエチレンは、
それ自体は公知の方法によって製造されるものが使用さ
れるが、たとえば重合時の触媒量、あるいは組合わせ等
を調整したり、重合後ポリマー中に残存する塩素を除去
したり、また異なる塩素含有量の複数のポリエチレンを
所定の塩素含有量となるように好ましい割合で適宜配合
する等の手段によりポリマー中の塩素含有量を過酸化水
素水による樹脂劣化を抑制するに必要である所定量以下
とすることが可能である。
それ自体は公知の方法によって製造されるものが使用さ
れるが、たとえば重合時の触媒量、あるいは組合わせ等
を調整したり、重合後ポリマー中に残存する塩素を除去
したり、また異なる塩素含有量の複数のポリエチレンを
所定の塩素含有量となるように好ましい割合で適宜配合
する等の手段によりポリマー中の塩素含有量を過酸化水
素水による樹脂劣化を抑制するに必要である所定量以下
とすることが可能である。
【0016】このようなポリエチレンを容器用材料とし
て使用することにより、劣化防止剤等の添加剤の添加を
必要とすることなく、過酸化水素水との接触による樹脂
の劣化を抑制することができる。また、高純度の過酸化
水素水が要求される場合は、好ましくはチーグラー法に
より得られたポリマーで、かつ塩素含有量が6ppm以
下としたポリエチレンを使用することによりポリマーか
ら金属不純物の溶出もない過酸化水素水用容器を得るこ
とができる。
て使用することにより、劣化防止剤等の添加剤の添加を
必要とすることなく、過酸化水素水との接触による樹脂
の劣化を抑制することができる。また、高純度の過酸化
水素水が要求される場合は、好ましくはチーグラー法に
より得られたポリマーで、かつ塩素含有量が6ppm以
下としたポリエチレンを使用することによりポリマーか
ら金属不純物の溶出もない過酸化水素水用容器を得るこ
とができる。
【0017】ポリマー中に含有する塩素量は公知の方法
により定量される。その一例を挙げると全塩素分析計
(TCl計)により分析することができる。また、樹脂
中に添加剤等に起因する塩素が含有している場合は添加
剤等を公知の方法で分離し、添加剤中の塩素含有量を別
途測定し、全塩素分析計による測定値からこれらの値を
減ずることにより重合時に取り込まれポリマー中に残存
している塩素含有量を求めることができる。
により定量される。その一例を挙げると全塩素分析計
(TCl計)により分析することができる。また、樹脂
中に添加剤等に起因する塩素が含有している場合は添加
剤等を公知の方法で分離し、添加剤中の塩素含有量を別
途測定し、全塩素分析計による測定値からこれらの値を
減ずることにより重合時に取り込まれポリマー中に残存
している塩素含有量を求めることができる。
【0018】なお、本発明において容器に充填される過
酸化水素水溶液の濃度は通常5〜60重量%のものであ
る。
酸化水素水溶液の濃度は通常5〜60重量%のものであ
る。
【0019】
【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を詳細に説明す
るが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定される
ものでない。なお、測定した金属系不純物の種類は「Bo
okof SEMI Standards 1995 Peocess Chemical Volume」
における「SEMI C 8.5-95Standard for hydrogen perox
ide, grade 3 」中の「Specification 」に記載されて
いる金属であった。また、これらの金属系不純物の測定
はICP-MS(Inductivecoupling - Mass spectrometry) 法
もしくは原子吸光法によった。
るが、本発明はこれらの実施例によりなんら限定される
ものでない。なお、測定した金属系不純物の種類は「Bo
okof SEMI Standards 1995 Peocess Chemical Volume」
における「SEMI C 8.5-95Standard for hydrogen perox
ide, grade 3 」中の「Specification 」に記載されて
いる金属であった。また、これらの金属系不純物の測定
はICP-MS(Inductivecoupling - Mass spectrometry) 法
もしくは原子吸光法によった。
【0020】実施例1 チーグラー法で製造された重合後のポリマー中の塩素残
存量が5ppmであるポリエチレンを用いて1リットル
の過酸化水素水用容器を成形した。これに31重量%過
酸化水素水を充填し、50℃で6ヶ月放置した。その
後、過酸化水素水の代わりに水を充填し、2mの高さか
ら落下させ、容器の破損の有無から容器の劣化程度を求
めた。結果を表1に示す。また抜き取った過酸化水素水
中の金属不純物を定量し、その結果を併せて示す。
存量が5ppmであるポリエチレンを用いて1リットル
の過酸化水素水用容器を成形した。これに31重量%過
酸化水素水を充填し、50℃で6ヶ月放置した。その
後、過酸化水素水の代わりに水を充填し、2mの高さか
ら落下させ、容器の破損の有無から容器の劣化程度を求
めた。結果を表1に示す。また抜き取った過酸化水素水
中の金属不純物を定量し、その結果を併せて示す。
【0021】実施例2 チーグラー法で製造された重合後のポリマー中の塩素残
存量が2ppmであるポリエチレンを用いた以外は実施
例1と同様に行ない、容器の劣化程度、および過酸化水
素水への金属不純物を調べた。結果を表1に示す。
存量が2ppmであるポリエチレンを用いた以外は実施
例1と同様に行ない、容器の劣化程度、および過酸化水
素水への金属不純物を調べた。結果を表1に示す。
【0022】実施例3 実施例2に用いた容器に、50重量%過酸化水素水を充
填した以外は実施例1と同様に行ない、容器の劣化程
度、および過酸化水素水への金属不純物を調べた。結果
を表1に示す。
填した以外は実施例1と同様に行ない、容器の劣化程
度、および過酸化水素水への金属不純物を調べた。結果
を表1に示す。
【0023】比較例1 チーグラー法で製造された重合後のポリマー中の塩素残
存量が10ppmであるポリエチレンを用いた以外は実
施例1と同様に行った。得られた結果を表1に示す。
存量が10ppmであるポリエチレンを用いた以外は実
施例1と同様に行った。得られた結果を表1に示す。
【0024】比較例2 チーグラー法で製造され、重合後のポリマー中の塩素残
存量が20ppmであるポリエチレンを用いた以外は実
施例1と同様に行った。得られた結果を表1に示す。
存量が20ppmであるポリエチレンを用いた以外は実
施例1と同様に行った。得られた結果を表1に示す。
【0025】
【表1】 塩素残存量 10本中破損 溶出した金属 した容器の数 および溶出量 実施例1 5ppm なし 溶出なし(定量限界以下) 実施例2 2ppm なし 溶出なし(定量限界以下) 実施例3 2ppm なし 溶出なし(定量限界以下) 比較例1 10ppm 5本 溶出なし(定量限界以下) 比較例2 20ppm 8本 溶出なし(定量限界以下)
【0026】
【発明の効果】本発明によれば、劣化防止剤の添加を必
要とせず過酸化水素水による劣化が生じない耐薬品性に
優れた過酸化水素水溶液用容器を得ることができる。
要とせず過酸化水素水による劣化が生じない耐薬品性に
優れた過酸化水素水溶液用容器を得ることができる。
Claims (4)
- 【請求項1】 ポリマー中の塩素含有量が6ppm以下
であるポリオレフィンを用いて成形してなる過酸化水素
水用容器 - 【請求項2】 ポリオレフィンが高密度ポリエチレンで
ある請求項1記載の過酸化水素水用容器 - 【請求項3】 ポリマー中の塩素含有量が重合過程にお
いてポリマー中に混入したものである請求項1記載の過
酸化水素水用容器 - 【請求項4】 ポリオレフィンがチーグラー法による高
密度ポリエチレンである請求項1記載の過酸化水素水用
容器
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24754995A JPH0986587A (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | 過酸化水素水用容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24754995A JPH0986587A (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | 過酸化水素水用容器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0986587A true JPH0986587A (ja) | 1997-03-31 |
Family
ID=17165156
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24754995A Pending JPH0986587A (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | 過酸化水素水用容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0986587A (ja) |
-
1995
- 1995-09-26 JP JP24754995A patent/JPH0986587A/ja active Pending
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040528 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040616 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20041020 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |