JPH11212647A - 移動体の停止位置ズレ量検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 移動体の停止位置の精度を向上させる。 【解決手段】 撮像手段を，所定の位置関係で複数設置
し，各撮像手段でそれぞれ得られた移動作業時撮像画像
と基準撮像画像とのズレに基づいて，移動体の停止位置
のズレ量を検出する。これにより，複数の撮像手段でそ
れぞれ撮像された画像が，それら撮像手段の間の所定の
位置関係に基づいて１つの撮像手段で撮像した画像と同
様の処理がなされる。上記複数の撮像手段の撮像領域を
含む大きな視野をもつ撮像部を用いた場合と同様，より
距離の離れた画像上の位置ズレを用いて車体の位置ズレ
量が検出できる。しかも，画像認識の精度は低下しな
い。したがって，視野の広い撮像手段を用いることな
く，位置ズレ量の回転方向の精度を高めることが可能と
なる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，例えばクリーンル
ーム等で荷物の搬送などに用いられるような移動体に搭
載され，その停止位置と，基準とする停止位置とのズレ
を検出する移動体の停止位置ズレ量検出装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイス工場のクリーンルーム等
では，装置と装置，装置とストッカ等の間でウェーハ等
の荷物を搬送し，移載アームなどにより移載を行う無人
搬送車が用いられている。この種の無人搬送車では，上
記移載アームなどは予め上記無人搬送車を所定の作業位
置（教示位置）に停止させた状態で教示された教示デー
タに従って作業を行う。従って，上記移載アームなどに
よる作業を正確に行うためには，無人搬送車の停止位置
の上記教示位置からのズレに基づいて上記無人搬送車の
停止位置，或いは上記教示データの内容を補正する必要
があり，またそのためには上記停止位置のズレ量を正確
に求めることが不可欠である。ところで，上記のような
クリーンルーム等では，床材としてパンチング材やグレ
ーチング材など，全面に所定のパターンで貫通孔を配し
た孔空き床材が用いられることが多い。そこで，床面に
形成された上記パターンを利用して上記無人搬送車の停
止位置ズレ量を検出する装置について，本出願人は既に
特許出願を行っている（例えば特願平０９−３３８５３
０号，特願平９−３３８５２９号など）。上記２つの先
行出願に係る無人搬送車の位置ズレ量検出装置及びその
方法について，図４〜図１２を用いて説明する。まず，
特願平０９−３３８５３０号に係る位置ズレ量検出装置
Ａ０は，アーム付き無人搬送車２１（移動体）上に搭載
されており，図４に示すように，上記無人搬送車２１
（移動体）の上部には，先端部にハンド２３を有するア
ーム２２が搭載されている。また，上記無人搬送車２１
の下部中央部付近（照明等の影響を受けにくい位置）に
は，床面２９（所定の平面）に対向するように，リング
状の照明装置２５を有する撮像部２４（撮像手段）が固
定的に設置されており，更に，画像処理部２６，記憶部
２７，及び教示データ補正部２８が設けられている。ま
た，半導体クリーンルーム等では通常行われているよう
に，上記床面２９には，図６に示すように所定のパター
ンでパンチング孔３１が形成されたパンチング床が敷か
れている。更に該パンチング床２９には，上記無人搬送
車２１の停止位置付近の任意の位置に，図６に示すよう
な認識マーク３０が設けられている。上記認識マーク３
０は，上記所定のパターンで配列されたパンチング孔３
１のある一箇所を特定するために設けるものであって，
形状，大きさ，明るさなどの特徴により撮像画像内でた
だ一つに特定できるものであればよく，例えば上記パン
チング孔３１の間に貼り付けたマークや，床材を固定す
るためのネジ孔などが利用できる。

【０００３】上記各構成要素について，更に詳しく説明
する。上記アーム２２には，予め，所定の作業位置に上
記無人搬送車２１を停止させた状態で，ウェーハ（不図
示）を無人搬送車２１から作業台（不図示）へ移載する
動作が教示される。実際の移載作業時には，上記アーム
２２はその教示データに従って作業を行う。上記撮像部
２４では，上記アーム２２の動作教示時，及び移載作業
時の所定の作業位置での停止時に，上記認識マーク３０
を含む上記パンチング床２９の画像が撮像される。上記
画像処理部２６では，上記撮像部２４による撮像後，上
記撮像部２４から取り込まれた撮像画像に画像処理を施
すことにより，上記各パンチング孔３１及び上記認識マ
ーク３０の位置データ（撮像画像の局所座標系における
座標値）が求められる。上記アーム２２の動作教示時に
得られた上記位置データは，上記記憶部２７に記憶され
る。上記教示データ補正部２８では，移載作業時に上記
無人搬送車２１が停止して上記画像処理部２６による処
理がなされた後，上記記憶部２７に予め記憶された各パ
ンチング孔３１の位置データと今回上記画像処理部２６
により得られた各パンチング孔３１の位置データとの１
対１の対応付けが上記認識マークの位置データを基準と
して行われ，該対応付けがなされた位置データの差に基
づいて上記無人搬送車２１の停止位置のズレ量が求めら
れ，該ズレ量に基づいて上記アーム２２の教示データの
補正が行われる。

【０００４】以下，停止位置ズレ量検出装置Ａ０におけ
る位置補正動作について，図５に示すフローチャートを
用いて更に具体的に説明する。まず，実際の移載作業に
先立って，所定の作業位置に上記無人搬送車２１を停止
させた状態で，上記アーム２２に対して，ウェーハ（不
図示）を無人搬送車２１から作業台（不図示）へ移載す
る動作が教示される。その際，撮像部２４により，パン
チング床２９の画像（基準撮像画像）が撮像される（ス
テップＳ１）。続いて，画像処理部２６において，上記
撮像部２４から取り込まれた撮像画像（図６参照）に画
像処理を施すことにより，床面の各パンチング孔３１，
及び認識マーク３０を認識し，認識された各パンチング
孔３１及び認識マーク３０について，撮像領域Ｒにおけ
る局所座標系ＣＳ１での座標値（位置データ）が算出さ
れる（ステップＳ２）。上記位置データは，例えば上記
パンチング孔３１の中心位置など，パンチング孔の形状
等に応じて最適な位置で求めることができる。上記各パ
ンチング孔３１及び認識マーク３０の認識，及び位置デ
ータの算出には，例えば画像処理で一般的に用いられて
いるテンプレートマッチングや形状特徴量による方法を
用いることができる。

【０００５】上記テンプレートマッチングによる方法と
は，図７に示すように，認識マーク３０及びパンチング
孔３１の画像をテンプレート画像として予め記憶してお
き，撮像画像中で上記テンプレート画像との相関値が高
い部分を抽出して認識する方法である。本実施の形態に
用いたパンチング床は，各パンチング孔３１が全て同じ
大きさの円形に形成されているため，図７に示すように
テンプレート画像として上記パンチング孔３１の単体の
画像を用いることにより，撮像画像が回転角を有する場
合でも，１つのテンプレート画像で，しかも上記テンプ
レート画像を回転させることなく，短時間でマッチング
処理を行うことができ，また，多数のテンプレート画像
を記憶するための記憶領域を必要としない。尚，上記パ
ンチング孔３１の大きさが数種類存在する場合でも，上
記テンプレート画像をその数だけ用意することで対応可
能である。また，上記形状特徴量による方法とは，撮像
画像を所定の閾値で２値化した画像から，予め設定して
おいた幅，高さ，面積等の形状特徴量（図８参照）を持
つ部分を抽出して認識する方法である。上記テンプレー
トマッチングによる方法では，２値化画像を用いないで
濃淡画像のままで処理するため，高精度の位置検出が行
えるという長所が有る反面，処理のための計算量が多く
なるという欠点もある。従って，認識マーク３０の検出
など，あまり高い位置精度が要求されない部分では上記
上記形状特徴量による方法を用い，パンチング孔３１の
検出など，高精度が要求される部分には上記テンプレー
トマッチングによる方法を用いるといったように，上記
２つの方法を組み合わせて用いると効果的である。上記
ステップＳ２で求められた教示時の位置データは記憶部
２７に記憶される（ステップＳ３）。

【０００６】次に，実際の移載作業時においては，無人
搬送車２１が停止した時に，撮像部２４によりパンチン
グ床２９の画像（移動作業時撮像画像，図９参照）が撮
像される（ステップＳ４）。続いて，画像処理部２６に
おいて，上記ステップＳ２と同様の処理が行われ，作業
時の位置データが求められる（ステップＳ５）。続い
て，上記教示データ補正部２８において，上記ステップ
Ｓ５で求められた作業時位置データと，上記記憶部２７
に記憶されている教示時位置データとの１対１の対応付
けが行われる（ステップＳ６）。上記対応付けの具体例
を以下に示す。 認識マーク３０の座標値を基に，教示時位置データ
に対応する各パンチング孔３１にインデックスを付加す
る。例えば，図６に示すように，各行にａ，ｂ，ｃ，
…，各列にＡ，Ｂ，Ｃ，…，のようにそれぞれ符号をふ
り，行と列のそれぞれの符号の組み合わせ（ａＡ，ｄＢ
等）によりインデックスを作成する。 作業時位置データについても，上記と同様のイン
デックスを付加する（図９参照）。 教示時と作業時とで同じインデックスが付加された
パンチング孔３１を対応付ける。

【０００７】尚，以上の対応付け処理において，教示時
又は作業時のいずれかの位置データにしか含まれていな
いパンチング孔３１の位置データは無視される。即ち，
教示時及び作業時の両方で位置データが算出されたパン
チング孔３１の位置データのみを用いて以後の処理が行
われる。従って，外乱光などの影響によって作業時に一
部のパンチング孔３１を認識できなかった場合でも問題
なく対応できる。図１０に，対応付けられた各パンチン
グ孔３１の例を示す。尚，ｉ番目に対応付けられた教示
時位置データを（Ｔｉｘ，Ｔｉｙ），作業時位置データ
を（Ｐｉｘ，Ｐｉｙ）で表している。続いて，上記教示
データ補正部２８において，上記ステップＳ６で対応付
けられた各位置データの組を用いて，教示時の撮像画像
と作業時の撮像画像との位置・姿勢のズレ，即ち，無人
搬送車２１の所定の停止位置（教示時停止位置）からの
停止位置のズレが求められる（ステップＳ７）。具体的
には，まず，ｉ番目に対応付けられた教示時位置データ
（Ｔｉｘ，Ｔｉｙ）と作業時位置データ（Ｐｉｘ，Ｐｉ
ｙ）の関係は，次式により表される。

【数１】 ここで，θ，ｄｘ，ｄｙは教示時の位置データから作業
時の位置データへの変換パラメータであり，θは回転
角，ｄｘ，ｄｙはそれぞれｘ，ｙ方向への平行移動量で
ある。図１０に示した各位置データの組（Ｔｉｘ，Ｔｉ
ｙ），（Ｐｉｘ，Ｐｉｙ）を上記（１）式に適用し，最
小自乗法を用いて上記θ，ｄｘ，ｄｙを算出することに
より，教示時の撮像画像と作業時の撮像画像との位置・
姿勢のズレが求められる。このように，撮像画像中に存
在する複数のパンチング孔３１の位置データを用いて上
記位置・姿勢のズレが求められるため，高精度の計測が
可能となる。また，パンチング孔３１の個々の位置デー
タを用いるため，パンチング孔の位置に製造時の誤差が
含まれていても，計測精度に影響を及ぼすことはない。

【０００８】続いて，上記ステップＳ７で求められた教
示時の撮像画像と作業時の撮像画像との位置・姿勢のズ
レに基づいて，上記アーム２２の教示データが修正され
る（ステップＳ８）。上記アーム２２は，ステップＳ８
で修正された教示データに従って移載作業を行う（ステ
ップＳ９）。以後，無人搬送車２１の移動の都度，上記
ステップＳ４〜Ｓ９が繰り返される。以上のように，こ
の停止位置ズレ量検出装置Ａ０では，床面上に形成され
たパターンを構成する各パンチング孔３１についての位
置データを，教示時及び作業時の撮像画像よりそれぞれ
求め，上記教示時と作業時の位置データの間で，対応す
る各パンチング孔３１の位置データの対応付けを行い，
対応する位置データの組を用いて教示時の撮像画像と作
業時の撮像画像との位置・姿勢のズレが求められる。従
って，多数の位置データの組を用いて位置・姿勢のズレ
が求められるため，高精度の計測が可能となる。また，
パンチング孔３１の個々の位置データを用いるため，パ
ンチング孔の位置に製造時の誤差が含まれていても，計
測精度に影響を及ぼすことはない。また，多数の位置デ
ータの組を用いて位置・姿勢のズレが求められるため，
教示時又は作業時のいずれかの位置データにしか含まれ
ていないパンチング孔３１の位置データを無視し，教示
時及び作業時の両方で位置データが算出されたパンチン
グ孔３１の位置データのみを用いることにより，外乱光
などの影響によって作業時に一部のパンチング孔３１を
認識できなかった場合でも問題なく処理できる。また，
特願平９−３３８５２９号には，例えば上記無人搬送車
２１に搭載されている撮像部２４の視野を囲むように反
射板４１を設けた構成が提案されている。図１１に示す
ように，照明装置２５から照射された光は，上記反射板
４１により，撮像部２４の視野内の床面２９上に集光さ
れる。これにより，従来，照明の映り込みが生じていた
照明装置２５の真下部分（図１２参照）以外の周辺部分
においても，床面で正反射した光が上記撮像部２４に入
射するため，撮像画像の各部の明るさが均一化される。
従って，撮像画像を用いた画像処理，例えばパンチング
孔３１の位置データの計測等をより正確，且つ容易に行
うことが可能となる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述したように，停止
位置ズレ量検出装置にて無人搬送車２１の停止位置のズ
レ量が検出されると，その位置ズレ量に基づいて例えば
アーム２２の教示データが修正される。ここで，上記検
出された位置ズレ量の精度が，例えば上記アーム２２の
先端部のハンド２３（図４参照）の位置精度にどのよう
な影響を与えるかについて考えてみる。まず，検出され
た位置ズレ量の並進方向の誤差については，上記ハンド
２３の位置がどこにあろうと，その誤差がそのままハン
ド２３の並進方向の位置に反映される。例えば，検出さ
れた位置ズレ量の並進方向の誤差が（δｘ，δｙ）であ
ったとすると，その位置ズレ量に基づいて教示データが
修正された後のハンド２３の位置も，本来の教示位置か
ら（δｘ，δｙ）だけずれたものとなる。しかしなが
ら，上記検出された位置ズレ量の回転方向の誤差につい
ては，上記ハンド２３の位置がその回転中心から離れる
ほど，その誤差は上記ハンド２３の位置精度に大きく影
響する。例えば，検出された位置ズレ量の回転方向の誤
差がδθであったとすると，その回転中心から距離Ｌだ
け離れた位置ではδθ・Ｌの位置ズレが生じてしまう。
即ち，撮像部２４の視野内では回転方向の誤差の影響が
許容範囲内であっても，上記距離Ｌが大きくなるハンド
２３の位置では，その回転誤差の影響が無視できないほ
ど大きなものとなる可能性がある。これは，上記位置ズ
レ量の検出が，上記撮像部２４の視野内という限られた
範囲内の情報に基づいて行われていることが原因であ
る。即ち，この限られた視野内の情報のみに基づいて位
置ズレ量の検出を行う限り，上記回転誤差による影響を
抑えるには自ずと限界がある。そこで，上記撮像部２４
の視野を拡大することが考えられるが，視野（撮像領
域）が広く且つ検出精度の高い撮像部を用いることはコ
スト等の関係で難しい。本発明は上記事情に鑑みてなさ
れたものであり，その目的とするところは，視野の広い
撮像装置を用いることなく，特に位置ズレ量の回転方向
の精度を向上させることが可能な移動体の停止位置ズレ
量検出装置を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は，平面上を移動する移動体に設置され，上記
平面上の画像を撮像する撮像手段と，上記移動体を停止
させて上記撮像手段により撮像した移動作業時撮像画像
と予め上記移動体を所定の基準停止位置に停止させて上
記撮像手段により撮像した基準撮像画像とのズレに基づ
いて上記移動体の停止位置のズレ量を検出するズレ量検
出手段とを具備する移動体の停止位置ズレ量検出装置に
おいて，上記撮像手段が，所定の位置関係で複数設置さ
れ，上記ズレ量検出手段が，上記各撮像手段でそれぞれ
得られた上記移動作業時撮像画像と上記基準撮像画像と
のズレに基づいて上記移動体の停止位置のズレ量を検出
することを特徴とする移動体の停止位置ズレ量検出装置
として構成されている。また，上記平面上に任意のパタ
ーンと所定の認識マークとが形成され，上記移動作業時
撮像画像と上記基準撮像画像とのズレを，それぞれの撮
像画像上の上記任意のパターンの上記認識マークを基準
とした比較により求めるように構成することもできる。
また，上記撮像手段の近傍に設けられた照明と，上記照
明から照射された光を上記平面上の上記撮像手段の視野
内に集光する反射板とを具備するように構成すれば，撮
像画像の各部の明るさを均一化して照明の映り込みによ
る悪影響を解消することができる。

【００１１】

【作用】本発明に係る移動体の停止位置ズレ量検出装置
では，複数の撮像手段でそれぞれ撮像された画像が，そ
れら撮像手段の間の所定の位置関係に基づいて１つの撮
像手段で撮像した画像と同様の処理がなされる。従っ
て，上記複数の撮像手段の撮像領域を含む大きな視野を
もつ撮像部を用いた場合と同様，より距離の離れた画像
上の位置ズレを用いて車体の位置ズレ量が検出できる。
しかも，画像認識の精度は低下しない。従って，視野の
広い撮像手段を用いることなく，位置ズレ量の回転方向
の精度を高めることが可能となる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下添付図面を参照して，本発明
の実施の形態及び実施例につき説明し，本発明の理解に
供する。尚，以下の実施の形態及び実施例は本発明を具
体化した一例であって，本発明の技術的範囲を限定する
性格のものではない。ここに，図１は本発明の実施の形
態に係る停止位置ズレ量検出装置Ａ１及びそれを搭載す
る無人搬送車１の概略構成を示す模式図，図２は上記停
止位置ズレ量検出装置Ａ１による処理手順を示すフロー
チャート，図３は２つの撮像部２ａ，２ｂによる撮像画
像とそれらの位置関係等を示す説明図である。本実施の
形態に係る停止位置ズレ量検出装置Ａ１は，無人搬送車
１上に搭載されており，図１に示すように，上記無人搬
送車１の下部付近（照明等の影響を受けにくい位置）に
床面１０に対向するように取り付けられた２つの撮像部
２ａ，２ｂ，画像処理部４，記憶部５，及び位置ズレ量
検出部６とで構成されている。上記床面１０上には，そ
れぞれ識別可能なマーク８−１〜８−ｎ，９−１〜９−
ｎが付設されている。また，上記２つの撮像部２ａ，２
ｂは，無人搬送車１の左右方向に同位置で前後方向に距
離Ｓだけ間隔をあけて設置されており，それぞれリング
状の照明装置３を具備している。上記撮像部２ａ，２ｂ
では，無人搬送車１の基準位置教示時，及び移動作業時
における停止時に，上記マークを含む上記床面１０の画
像が撮像される。上記画像処理部４では，上記撮像部２
ａ，２ｂによる撮像後，上記各撮像部から取り込まれた
撮像画像に画像処理を施すことにより，上記各マークの
位置データ（撮像画像の局所座標系における座標値）が
求められる。無人搬送車１の基準位置教示時に得られた
上記位置データは，上記記憶部５に記憶される。上記位
置ズレ量検出部６では，移動作業時に上記無人搬送車１
が停止して上記画像処理部４による処理がなされた後，
上記記憶部５に予め記憶された各マークの位置データと
今回上記画像処理部４により得られた各マークの位置デ
ータとの差に基づいて最小自乗法などにより上記無人搬
送車１の停止位置のズレ量が求められる。上記画像処理
部４，記憶部７，及び位置ズレ量検出部６によりズレ量
検出手段が構成される。

【００１３】以下，停止位置ズレ量検出装置Ａ１による
無人搬送車１の位置ズレ量検出動作について，図２に示
すフローチャート，及び図３を用いて更に具体的に説明
する。実際の移動作業に先立って，以下のような手順で
基準停止位置の教示が行われる。まず，所定の基準停止
位置に上記無人搬送車１を停止させた状態で，撮像部２
ａ，２ｂにより，床面１０の画像（基準撮像画像に相
当）が撮像される（ステップＳ１１）。図３に，撮像部
２ａ，２ｂによりそれぞれ撮像された撮像画像ａ，ｂの
例を示す。撮像部２ａによりマーク９−１〜９−ｎが，
撮像部２ｂによりマーク８−１〜８−ｎがそれぞれ撮像
されている。続いて，画像処理部４において，上記撮像
部２ａ，２ｂから取り込まれた撮像画像（図３参照）に
画像処理を施すことにより各マークを認識し，認識され
た各マークについて，それぞれの撮像画像における局所
座標系での座標値（位置データ）が算出される（ステッ
プＳ１２）。図３の例では，撮像画像ａ内のマーク９−
１〜９−ｎについては局所座標系ＣＳａの下で，撮像画
像ｂ内のマーク８−１〜８−ｎについては局所座標系Ｃ
Ｓｂの下でそれぞれ位置データが求められる。尚，上記
位置データは，例えば上記マークの中心位置など，マー
クの形状等に応じて最適な位置で求めることができる。
また，上記各マークの認識，及び位置データの算出に
は，例えば画像処理で一般的に用いられているテンプレ
ートマッチングや形状特徴量による方法（従来技術の欄
で既に述べた）を用いることができる。

【００１４】次に，全てのマークの位置データを，共通
の座標系の位置データに変換する（ステップＳ１３）。
例えば，一方の撮像画像上の各マークの位置データを，
他方の撮像画像における局所座標系における座標値に変
換する。ここでは，局所座標系ＣＳａの下で求められて
いるマーク９−１〜９−ｎの位置データを，局所座標系
ＣＳｂにおける位置データに変換する。図３に示すよう
に，２つの撮像部２ａ，２ｂの位置関係より，局所座標
系ＣＳａとＣＳｂとは原点がｙ軸方向に距離Ｓだけ離れ
た位置関係にあるため，ここでは上記マーク９−１〜９
−ｎの位置データに対して，ｙ座標の値に一律にＳを加
算すればよい。２つの局所座標系の位置関係がｘ方向に
もずれていたり回転している場合についても，相応の変
換マトリックスを用いて変換すればよい。以上の処理を
行うことにより，２つの撮像部２ａ，２ｂで撮像された
各マークの位置データは，大きな視野をもつ１つの撮像
部で撮像されたものと同等となる。上記ステップＳ１２
で求められた位置データは記憶部５に記憶される（ステ
ップＳ１３）。

【００１５】次に，実際の移動作業時においても，無人
搬送車１が停止した時に，その停止位置において上記ス
テップＳ１１〜Ｓ１３と全く同様の処理が行われる（ス
テップＳ２１〜Ｓ２３）。そして，上記位置ズレ量検出
部６において，記憶部５に記憶されている基準停止位置
における各マークの位置データと上記ステップＳ２３で
求められた現在の停止位置における各マークの位置デー
タとの差に基づいて，車体１の位置ズレ量が求められる
（ステップＳ２４）。具体的には，同一マークに関する
教示時の位置データ（Ｔｉｘ，Ｔｉｙ）と作業時の位置
データ（Ｐｉｘ，Ｐｉｙ）の組を上記（１）式に適用
し，最小自乗法を用いてθ，ｄｘ，ｄｙを算出すること
により上記位置ズレ量が求められる。以上説明したよう
に，本実施の形態に係る停止位置ズレ量検出装置Ａ１で
は，所定の位置関係で設置された２つの撮像部２ａ，２
ｂでそれぞれ撮像された画像中の各マークの位置データ
を，上記所定の位置関係に基づいて共通の座標系に変換
し，該位置データに基づいて車体の位置ズレ量を検出し
ているため，上記２つの撮像部の撮像領域を含む大きな
視野をもつ撮像部を用いた場合と同様，より距離の離れ
たマークの画像上の位置ズレを用いて車体の位置ズレ量
が検出できる。しかも，画像認識の精度は低下しない。
従って，視野の広い撮像装置を用いることなく，位置ズ
レ量の回転方向の精度を高めることが可能となる。

【００１６】

【実施例】上記実施の形態では，撮像部を２つ設置した
例を示したが，３つ以上設置してもよいことはいうまで
もない。また，床面にパンチング材などによるパターン
が形成されているような場合には，各撮像部における処
理，及び位置データを共通の座標系に変換した後の処理
において上記特願平０９−３３８５３０号に係る位置ズ
レ量検出装置Ａ０と全く同様の処理を行うことにより，
位置ズレ量の検出精度を更に高めることができる。ま
た，上記特願平９−３３８５２９号と同様の反射板を各
撮像部の視野を囲むように設けることにより，撮像画像
を用いた画像処理，例えばマークの位置データの計測等
をより正確，且つ容易に行うことが可能となる。尚，上
記実施の形態及び実施例においては，無人搬送車（移動
体）が床面（平面）上を走行する場合について説明した
が，上記移動体と上記平面とは無人搬送車と床面とに限
られるものではない。例えば，作業台（平面）上にマー
クを形成し，上記作業台上を移動するロボットアームの
先端（移動体）にカメラを取り付けて位置決めを行う場
合や，作業装置によって取り扱うワーク自体にマークを
形成し，ワークに対する作業装置の位置決めを行う場合
などにも適用できる。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように，本発明は，平面上
を移動する移動体に設置され，上記平面上の画像を撮像
する撮像手段と，上記移動体を停止させて上記撮像手段
により撮像した移動作業時撮像画像と予め上記移動体を
所定の基準停止位置に停止させて上記撮像手段により撮
像した基準撮像画像とのズレに基づいて上記移動体の停
止位置のズレ量を検出するズレ量検出手段とを具備する
移動体の停止位置ズレ量検出装置において，上記撮像手
段が，所定の位置関係で複数設置され，上記ズレ量検出
手段が，上記各撮像手段でそれぞれ得られた上記移動作
業時撮像画像と上記基準撮像画像とのズレに基づいて上
記移動体の停止位置のズレ量を検出することを特徴とす
る移動体の停止位置ズレ量検出装置として構成されてい
るため，上記複数の撮像手段の撮像領域を含む大きな視
野をもつ撮像部を用いた場合と同様，より距離の離れた
画像上の位置ズレを用いて車体の位置ズレ量が検出でき
る。しかも，画像認識の精度は低下しない。従って，視
野の広い撮像手段を用いることなく，位置ズレ量の回転
方向の精度を高めることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態に係る停止位置ズレ量検
出装置Ａ１及びそれを搭載する無人搬送車１の概略構成
を示す模式図。

【図２】 上記停止位置ズレ量検出装置Ａ１による処理
手順を示すフローチャート。

【図３】 ２つの撮像部２ａ，２ｂによる撮像画像とそ
れらの位置関係等を示す説明図。

【図４】 第１の従来例に係る停止位置ズレ量検出装置
Ａ０及びそれを搭載する無人搬送車２１の概略構成を示
す模式図。

【図５】 上記停止位置ズレ量検出装置Ａ０による処理
手順を示すフローチャート。

【図６】 教示時の撮像画像，及び符号付けの一例を示
す図。

【図７】 テンプレートマッチング処理に用いるテンプ
レート画像を示す図。

【図８】 形状特徴量の一例を示す図。

【図９】 作業時の撮像画像，及び符号付けの一例を示
す図。

【図１０】 対応付けられたパンチング孔の位置データ
の一例を示す図。

【図１１】 第２の従来例に係る反射板４１による照明
２５からの光の反射状態の一例を示す模式図。

【図１２】 照明の映り込みのある床面撮像画像の一例
を示す図。

【符号の説明】

１…無人搬送車（移動体の一例） ２ａ，２ｂ…撮像部 ３…照明装置 ４…画像処理部 ５…記憶部 ６…位置ズレ量検出部 １０…床面（平面の一例）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平面上を移動する移動体に設置され，上
   記平面上の画像を撮像する撮像手段と，上記移動体を停
   止させて上記撮像手段により撮像した移動作業時撮像画
   像と予め上記移動体を所定の基準停止位置に停止させて
   上記撮像手段により撮像した基準撮像画像とのズレに基
   づいて上記移動体の停止位置のズレ量を検出するズレ量
   検出手段とを具備する移動体の停止位置ズレ量検出装置
   において，上記撮像手段が，所定の位置関係で複数設置
   され，上記ズレ量検出手段が，上記各撮像手段でそれぞ
   れ得られた上記移動作業時撮像画像と上記基準撮像画像
   とのズレに基づいて上記移動体の停止位置のズレ量を検
   出することを特徴とする移動体の停止位置ズレ量検出装
   置。
2. 【請求項２】 上記平面上に任意のパターンと所定の認
   識マークとが形成され，上記移動作業時撮像画像と上記
   基準撮像画像とのズレを，それぞれの撮像画像上の上記
   任意のパターンの上記認識マークを基準とした比較によ
   り求める請求項１記載の移動体の停止位置ズレ量検出装
   置。
3. 【請求項３】 上記撮像手段の近傍に設けられた照明
   と，上記照明から照射された光を上記平面上の上記撮像
   手段の視野内に集光する反射板とを具備する請求項１又
   は２記載の移動体の停止位置ズレ量検出装置。