JPH11212028A - コントラスト改善機能を有する光学装置およびコントラスト改善方法 - Google Patents
コントラスト改善機能を有する光学装置およびコントラスト改善方法Info
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- JPH11212028A JPH11212028A JP10027742A JP2774298A JPH11212028A JP H11212028 A JPH11212028 A JP H11212028A JP 10027742 A JP10027742 A JP 10027742A JP 2774298 A JP2774298 A JP 2774298A JP H11212028 A JPH11212028 A JP H11212028A
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/42—Diffraction optics, i.e. systems including a diffractive element being designed for providing a diffractive effect
- G02B27/46—Systems using spatial filters
Abstract
(57)【要約】
【課題】 特定の周波数特性のコントラストのみならず
像特性全体を改善する。 【解決手段】 物体（５）の像（８）を形成するための
光学系（６、７）と、その開口位置に配置されて透過率
分布の変調を行うための瞳変調手段（Ａ）と、像を撮像
するための撮像手段（９）とを備えている。画像合成手
段（１０）は、コントラストの改善された合成像を得る
ために、第１透過率分布状態において撮像手段により撮
像された像と第２透過率分布状態において撮像手段によ
り撮像された像とを合成する。
像特性全体を改善する。 【解決手段】 物体（５）の像（８）を形成するための
光学系（６、７）と、その開口位置に配置されて透過率
分布の変調を行うための瞳変調手段（Ａ）と、像を撮像
するための撮像手段（９）とを備えている。画像合成手
段（１０）は、コントラストの改善された合成像を得る
ために、第１透過率分布状態において撮像手段により撮
像された像と第２透過率分布状態において撮像手段によ
り撮像された像とを合成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はコントラスト改善機
能を有する光学装置およびコントラスト改善方法に関
し、特に顕微鏡やカメラ等の光学機器における像のコン
トラスト改善に関するものである。
能を有する光学装置およびコントラスト改善方法に関
し、特に顕微鏡やカメラ等の光学機器における像のコン
トラスト改善に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】たとえば小瀬輝次の著作による「フーリ
エ結像論（共立出版１９７９年）」の９８ページ〜１０
７ページには、光学系の瞳位置に透過率分布を有するフ
ィルタを挿入することによって光学機器における像のコ
ントラストを改善する方法が開示されている。このコン
トラスト改善方法によれば、光学系のＯＴＦ（光学的伝
達関数：optical transfer function ）を観察したい空
間周波数に適応させるように改善を図ることができる。
エ結像論（共立出版１９７９年）」の９８ページ〜１０
７ページには、光学系の瞳位置に透過率分布を有するフ
ィルタを挿入することによって光学機器における像のコ
ントラストを改善する方法が開示されている。このコン
トラスト改善方法によれば、光学系のＯＴＦ（光学的伝
達関数：optical transfer function ）を観察したい空
間周波数に適応させるように改善を図ることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述のような従来技術
においては、観察したい特定の空間周波数のコントラス
トを改善することができるが、他の空間周波数では逆に
コントラストが悪化してしまうという不都合があった。
においては、観察したい特定の空間周波数のコントラス
トを改善することができるが、他の空間周波数では逆に
コントラストが悪化してしまうという不都合があった。
【０００４】本発明は、前述の課題に鑑みてなされたも
のであり、特定の周波数特性のコントラストのみならず
像特性全体を改善することのできる、コントラスト改善
機能を有する光学装置およびコントラスト改善方法を提
供することを目的とする。
のであり、特定の周波数特性のコントラストのみならず
像特性全体を改善することのできる、コントラスト改善
機能を有する光学装置およびコントラスト改善方法を提
供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明では、物体からの光を集光して前記物体の像
を形成するための光学系と、前記光学系中の開口位置に
配置されて、第１の透過率分布にしたがって前記物体か
らの光を透過させる第１透過率分布状態から前記第１の
透過率分布とは異なる第２の透過率分布にしたがって前
記物体からの光を透過させる第２透過率分布状態への変
調を行うための瞳変調手段と、前記光学系および前記瞳
変調手段を介して形成された像を撮像するための撮像手
段と、前記撮像手段により撮像された像を合成するため
の画像合成手段とを備え、前記画像合成手段は、コント
ラストの改善された合成像を得るために、前記第１透過
率分布状態において前記撮像手段により撮像された像と
前記第２透過率分布状態において前記撮像手段により撮
像された像とを合成することを特徴とする光学装置を提
供する。
に、本発明では、物体からの光を集光して前記物体の像
を形成するための光学系と、前記光学系中の開口位置に
配置されて、第１の透過率分布にしたがって前記物体か
らの光を透過させる第１透過率分布状態から前記第１の
透過率分布とは異なる第２の透過率分布にしたがって前
記物体からの光を透過させる第２透過率分布状態への変
調を行うための瞳変調手段と、前記光学系および前記瞳
変調手段を介して形成された像を撮像するための撮像手
段と、前記撮像手段により撮像された像を合成するため
の画像合成手段とを備え、前記画像合成手段は、コント
ラストの改善された合成像を得るために、前記第１透過
率分布状態において前記撮像手段により撮像された像と
前記第２透過率分布状態において前記撮像手段により撮
像された像とを合成することを特徴とする光学装置を提
供する。
【０００６】本発明の好ましい態様によれば、前記光学
系は、前記物体からの光に基づいて前記物体の一次像を
形成するための対物光学系と、該対物光学系を介して形
成された前記物体の一次像からの光に基づいて前記撮像
手段の撮像面に前記物体の二次像を形成するためのリレ
ー光学系とを有し、前記瞳変調手段は、前記リレー光学
系を介して前記対物光学系中の開口位置と共役な開口像
位置に配置されている。
系は、前記物体からの光に基づいて前記物体の一次像を
形成するための対物光学系と、該対物光学系を介して形
成された前記物体の一次像からの光に基づいて前記撮像
手段の撮像面に前記物体の二次像を形成するためのリレ
ー光学系とを有し、前記瞳変調手段は、前記リレー光学
系を介して前記対物光学系中の開口位置と共役な開口像
位置に配置されている。
【０００７】また、本発明の別の局面によれば、物体か
らの光を集光して前記物体の像を形成するための光学系
中の開口位置において、第１の透過率分布にしたがって
前記物体からの光を透過させる第１透過率分布状態から
前記第１の透過率分布とは異なる第２の透過率分布にし
たがって前記物体からの光を透過させる第２透過率分布
状態への変調を行い、前記第１透過率分布状態において
前記光学系を介して得られた像と前記第２透過率分布状
態において前記光学系を介して得られた像とを合成する
ことによって、コントラストの改善された合成像を得る
ことを特徴とするコントラスト改善方法を提供する。
らの光を集光して前記物体の像を形成するための光学系
中の開口位置において、第１の透過率分布にしたがって
前記物体からの光を透過させる第１透過率分布状態から
前記第１の透過率分布とは異なる第２の透過率分布にし
たがって前記物体からの光を透過させる第２透過率分布
状態への変調を行い、前記第１透過率分布状態において
前記光学系を介して得られた像と前記第２透過率分布状
態において前記光学系を介して得られた像とを合成する
ことによって、コントラストの改善された合成像を得る
ことを特徴とするコントラスト改善方法を提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】上述のように、本発明では、物体
からの光を集光して物体像を形成するための光学系中の
開口位置（フーリエ変換面：対物レンズで言えば瞳面）
において透過率分布の変調を行う。具体的には、第１の
透過率分布にしたがって物体からの光を透過させる第１
透過率分布状態から、第１の透過率分布とは異なる第２
の透過率分布にしたがって物体からの光を透過させる第
２透過率分布状態への変調を行う。そして、第１透過率
分布状態において光学系を介して得られた像と第２透過
率分布状態において光学系を介して得られた像とを合成
する。
からの光を集光して物体像を形成するための光学系中の
開口位置（フーリエ変換面：対物レンズで言えば瞳面）
において透過率分布の変調を行う。具体的には、第１の
透過率分布にしたがって物体からの光を透過させる第１
透過率分布状態から、第１の透過率分布とは異なる第２
の透過率分布にしたがって物体からの光を透過させる第
２透過率分布状態への変調を行う。そして、第１透過率
分布状態において光学系を介して得られた像と第２透過
率分布状態において光学系を介して得られた像とを合成
する。
【０００９】この場合、第１透過率分布状態において光
学系を介して得られた像では、第１の空間周波数範囲の
コントラストが改善されているが他の空間周波数ではコ
ントラストが悪化している。また、第２透過率分布状態
において光学系を介して得られた像では、第２の空間周
波数範囲のコントラストが改善されているが他の空間周
波数ではコントラストが悪化している。本発明では、た
とえば第１の空間周波数範囲と第２の空間周波数範囲と
が実質的に重ならないように各透過率分布を設定するこ
とにより、空間周波数範囲の全体に亘ってコントラスト
の改善された合成像を得ることが、すなわち特定の周波
数特性のコントラストのみならず像特性全体を改善する
ことができる。
学系を介して得られた像では、第１の空間周波数範囲の
コントラストが改善されているが他の空間周波数ではコ
ントラストが悪化している。また、第２透過率分布状態
において光学系を介して得られた像では、第２の空間周
波数範囲のコントラストが改善されているが他の空間周
波数ではコントラストが悪化している。本発明では、た
とえば第１の空間周波数範囲と第２の空間周波数範囲と
が実質的に重ならないように各透過率分布を設定するこ
とにより、空間周波数範囲の全体に亘ってコントラスト
の改善された合成像を得ることが、すなわち特定の周波
数特性のコントラストのみならず像特性全体を改善する
ことができる。
【００１０】以下、本発明の実施例を、添付図面に基づ
いて説明する。図１は、本発明の第１実施例にかかる光
学装置の構成を概略的に示す図である。図１の光学装置
は、照明光を供給するための光源１を備えている。光源
１からの光束は、コレクタレンズ２およびフィールドレ
ンズ３を介して光源像を形成する。光源像からの光は、
光源像の形成位置の近傍に配置された開口絞り１３によ
って制限された後、コンデンサレンズ４を介して物体５
をケーラー照明する。
いて説明する。図１は、本発明の第１実施例にかかる光
学装置の構成を概略的に示す図である。図１の光学装置
は、照明光を供給するための光源１を備えている。光源
１からの光束は、コレクタレンズ２およびフィールドレ
ンズ３を介して光源像を形成する。光源像からの光は、
光源像の形成位置の近傍に配置された開口絞り１３によ
って制限された後、コンデンサレンズ４を介して物体５
をケーラー照明する。
【００１１】照明系（１〜４）によって照明された物体
５からの光束は、対物レンズ６および結像レンズ７から
なる対物光学系を介して、たとえばＣＣＤのような撮像
素子９の撮像面に物体像８を形成する。対物光学系
（６、７）中の開口位置（対物レンズ６による物体５の
回折像が形成される位置すなわち物体５のフーリエ変換
面）には、瞳変調フィルターＡが配置されている。瞳変
調フィルターＡの構成および作用については後述する。
ＣＣＤ９の出力は画像合成系１０に供給され、画像合成
系１０ではＣＣＤ９で撮像された複数の画像を合成す
る。画像合成系１０には、画像を記憶するためのメモリ
１１、および合成像を表示するためのモニター１２が接
続されている。
５からの光束は、対物レンズ６および結像レンズ７から
なる対物光学系を介して、たとえばＣＣＤのような撮像
素子９の撮像面に物体像８を形成する。対物光学系
（６、７）中の開口位置（対物レンズ６による物体５の
回折像が形成される位置すなわち物体５のフーリエ変換
面）には、瞳変調フィルターＡが配置されている。瞳変
調フィルターＡの構成および作用については後述する。
ＣＣＤ９の出力は画像合成系１０に供給され、画像合成
系１０ではＣＣＤ９で撮像された複数の画像を合成す
る。画像合成系１０には、画像を記憶するためのメモリ
１１、および合成像を表示するためのモニター１２が接
続されている。
【００１２】図２は、図１の瞳変調フィルターＡの構成
およびその作用を説明する図である。なお、図２では、
（ａ）および（ｂ）の透過率分布において横軸は光軸か
らの距離を示し、（ｃ）〜（ｅ）のＯＴＦにおいて横軸
は空間周波数を示している。瞳変調フィルターＡは、図
２（ａ）に示すような第１の透過率分布を有する。第１
実施例では、瞳変調フィルターＡは、図２（ｂ）に示す
ような第２の透過率分布を有する瞳変調フィルターＢ
（不図示）と切り換え可能に構成されている。
およびその作用を説明する図である。なお、図２では、
（ａ）および（ｂ）の透過率分布において横軸は光軸か
らの距離を示し、（ｃ）〜（ｅ）のＯＴＦにおいて横軸
は空間周波数を示している。瞳変調フィルターＡは、図
２（ａ）に示すような第１の透過率分布を有する。第１
実施例では、瞳変調フィルターＡは、図２（ｂ）に示す
ような第２の透過率分布を有する瞳変調フィルターＢ
（不図示）と切り換え可能に構成されている。
【００１３】前述の著書「フーリエ結像論」によれば、
瞳変調フィルターＡを対物光学系（６、７）中の開口位
置に配置した場合、図２（ｃ）に示すようなＯＴＦが得
られる。一方、瞳変調フィルターＢを対物光学系（６、
７）中の開口位置に配置した場合、図２（ｄ）に示すよ
うなＯＴＦが得られる。図２（ｃ）および（ｄ）を参照
すると、特定の空間周波数のコントラストは改善されて
いるが、他の空間周波数では逆にコントラストが悪化し
ていることがわかる。
瞳変調フィルターＡを対物光学系（６、７）中の開口位
置に配置した場合、図２（ｃ）に示すようなＯＴＦが得
られる。一方、瞳変調フィルターＢを対物光学系（６、
７）中の開口位置に配置した場合、図２（ｄ）に示すよ
うなＯＴＦが得られる。図２（ｃ）および（ｄ）を参照
すると、特定の空間周波数のコントラストは改善されて
いるが、他の空間周波数では逆にコントラストが悪化し
ていることがわかる。
【００１４】第１実施例では、対物光学系（６、７）中
の開口位置に瞳変調フィルターＡを配置した第１透過率
分布状態においてＣＣＤ９により撮像された画像と、対
物光学系（６、７）中の開口位置に瞳変調フィルターＢ
を配置した第２透過率分布状態においてＣＣＤ９により
撮像された画像とが画像合成系１０において合成され
る。この場合、画像合成系１０での合成画像を形成する
ことのできる光学系のＯＴＦは、図２（ｃ）のＯＴＦと
図２（ｄ）のＯＴＦとの合成として図２（ｅ）に示すよ
うになる。図２（ｅ）のＯＴＦを参照すると、特定の周
波数特性のコントラストのみならず像特性全体が改善さ
れていることがわかる。
の開口位置に瞳変調フィルターＡを配置した第１透過率
分布状態においてＣＣＤ９により撮像された画像と、対
物光学系（６、７）中の開口位置に瞳変調フィルターＢ
を配置した第２透過率分布状態においてＣＣＤ９により
撮像された画像とが画像合成系１０において合成され
る。この場合、画像合成系１０での合成画像を形成する
ことのできる光学系のＯＴＦは、図２（ｃ）のＯＴＦと
図２（ｄ）のＯＴＦとの合成として図２（ｅ）に示すよ
うになる。図２（ｅ）のＯＴＦを参照すると、特定の周
波数特性のコントラストのみならず像特性全体が改善さ
れていることがわかる。
【００１５】このように、第１実施例では、瞳変調フィ
ルターＡが配置された第１透過率分布状態において対物
光学系（６、７）を介して得られた像では、第１の空間
周波数範囲のコントラストが改善されているが他の空間
周波数ではコントラストが悪化している。また、瞳変調
フィルターＢが配置された第２透過率分布状態において
対物光学系（６、７）を介して得られた像では、第２の
空間周波数範囲のコントラストが改善されているが他の
空間周波数ではコントラストが悪化している。第１実施
例では、第１の空間周波数範囲と第２の空間周波数範囲
とが実質的に重ならないように瞳変調フィルターＡの透
過率分布および瞳変調フィルターＢの透過率分布が設定
されているので、空間周波数範囲の全体に亘ってコント
ラストの改善された合成像を得ることができ、特定の周
波数特性のコントラストのみならず像特性全体が改善さ
れる。
ルターＡが配置された第１透過率分布状態において対物
光学系（６、７）を介して得られた像では、第１の空間
周波数範囲のコントラストが改善されているが他の空間
周波数ではコントラストが悪化している。また、瞳変調
フィルターＢが配置された第２透過率分布状態において
対物光学系（６、７）を介して得られた像では、第２の
空間周波数範囲のコントラストが改善されているが他の
空間周波数ではコントラストが悪化している。第１実施
例では、第１の空間周波数範囲と第２の空間周波数範囲
とが実質的に重ならないように瞳変調フィルターＡの透
過率分布および瞳変調フィルターＢの透過率分布が設定
されているので、空間周波数範囲の全体に亘ってコント
ラストの改善された合成像を得ることができ、特定の周
波数特性のコントラストのみならず像特性全体が改善さ
れる。
【００１６】図３は、本発明の第２実施例にかかる光学
装置の構成を概略的に示す図である。第２実施例は、第
１実施例と類似の構成を有する。しかしながら、第２実
施例では、対物光学系（６、７）と撮像素子９との間の
光路中にリレー光学系が付設され、このリレー光学系の
付設に伴って瞳変調フィルターＡの配置が変更されてい
る点だけが第１実施例と相違している。したがって、図
３において、物体５を照明するための照明系（１〜４）
の図示を省略するとともに、第１実施例の構成要素と同
じ機能を有する要素には図１と同じ参照符号を付してい
る。以下、第１実施例との相違点に着目して第２実施例
を説明する。
装置の構成を概略的に示す図である。第２実施例は、第
１実施例と類似の構成を有する。しかしながら、第２実
施例では、対物光学系（６、７）と撮像素子９との間の
光路中にリレー光学系が付設され、このリレー光学系の
付設に伴って瞳変調フィルターＡの配置が変更されてい
る点だけが第１実施例と相違している。したがって、図
３において、物体５を照明するための照明系（１〜４）
の図示を省略するとともに、第１実施例の構成要素と同
じ機能を有する要素には図１と同じ参照符号を付してい
る。以下、第１実施例との相違点に着目して第２実施例
を説明する。
【００１７】図示を省略された照明系（１〜４）によっ
て照明された物体５からの光束は、対物光学系（６、
７）を介して、物体５の一次像（中間像）８’を形成す
る。物体一次像８’からの光束は、リレー光学系２１を
介して、ＣＣＤ９の撮像面に物体二次像８を形成する。
なお、第１実施例では対物光学系（６、７）の開口位置
に瞳変調フィルターＡが配置されているが、第２実施例
ではリレー光学系２１を介して対物光学系（６、７）の
開口位置と共役な開口像位置に瞳変調フィルターＡが配
置されている。このような光学系は、対物光学系（６、
７）中に瞳変調フィルターＡを配置することができない
ような場合に有効である。
て照明された物体５からの光束は、対物光学系（６、
７）を介して、物体５の一次像（中間像）８’を形成す
る。物体一次像８’からの光束は、リレー光学系２１を
介して、ＣＣＤ９の撮像面に物体二次像８を形成する。
なお、第１実施例では対物光学系（６、７）の開口位置
に瞳変調フィルターＡが配置されているが、第２実施例
ではリレー光学系２１を介して対物光学系（６、７）の
開口位置と共役な開口像位置に瞳変調フィルターＡが配
置されている。このような光学系は、対物光学系（６、
７）中に瞳変調フィルターＡを配置することができない
ような場合に有効である。
【００１８】ここで、瞳変調フィルターＡは、図２
（ａ）に示すような第１の透過率分布を有し、図２
（ｂ）に示すような第２の透過率分布を有する瞳変調フ
ィルターＢ（不図示）と切り換え可能に構成されてい
る。また、画像合成系１０において、開口像位置に瞳変
調フィルターＡを配置した第１透過率分布状態において
ＣＣＤ９により撮像された画像と、開口像位置に瞳変調
フィルターＢを配置した第２透過率分布状態においてＣ
ＣＤ９により撮像された画像とが合成される。したがっ
て、第２実施例においても第１実施例と同様に、空間周
波数範囲の全体に亘ってコントラストの改善された合成
像を得ることができ、特定の周波数特性のコントラスト
のみならず像特性全体が改善される。
（ａ）に示すような第１の透過率分布を有し、図２
（ｂ）に示すような第２の透過率分布を有する瞳変調フ
ィルターＢ（不図示）と切り換え可能に構成されてい
る。また、画像合成系１０において、開口像位置に瞳変
調フィルターＡを配置した第１透過率分布状態において
ＣＣＤ９により撮像された画像と、開口像位置に瞳変調
フィルターＢを配置した第２透過率分布状態においてＣ
ＣＤ９により撮像された画像とが合成される。したがっ
て、第２実施例においても第１実施例と同様に、空間周
波数範囲の全体に亘ってコントラストの改善された合成
像を得ることができ、特定の周波数特性のコントラスト
のみならず像特性全体が改善される。
【００１９】なお、上述の各実施例では、透過率分布の
異なる２種類の瞳変調フィルターを用いているが、使用
される瞳変調フィルターの種類数は２つに限定されるこ
となく、瞳変調フィルターの種類数および特性を必要に
応じて種々変更することが好ましい。
異なる２種類の瞳変調フィルターを用いているが、使用
される瞳変調フィルターの種類数は２つに限定されるこ
となく、瞳変調フィルターの種類数および特性を必要に
応じて種々変更することが好ましい。
【００２０】また、上述の各実施例では、瞳変調フィル
ターに代えて、たとえば液晶素子に代表されるような透
過率分布を電気的に変更することのできる電気光学素子
を用い、その透過率分布を制御装置によって適宜変更す
るように構成しても良い。この場合、観察したい標本の
種類に応じた瞳変調を行なって、像特性の改善を行うこ
とができる。さらに、光学系中に微分干渉観察用の複屈
折光学部材を配置することによって、微細構造の定性的
な形態観察を行うための微分干渉顕微鏡に本発明を適用
することもできる。これは、微分干渉像の特性が特定空
間周波数に対して感度が高いことに起因し、瞳変調フィ
ルターとの併用による効果が高いためである。
ターに代えて、たとえば液晶素子に代表されるような透
過率分布を電気的に変更することのできる電気光学素子
を用い、その透過率分布を制御装置によって適宜変更す
るように構成しても良い。この場合、観察したい標本の
種類に応じた瞳変調を行なって、像特性の改善を行うこ
とができる。さらに、光学系中に微分干渉観察用の複屈
折光学部材を配置することによって、微細構造の定性的
な形態観察を行うための微分干渉顕微鏡に本発明を適用
することもできる。これは、微分干渉像の特性が特定空
間周波数に対して感度が高いことに起因し、瞳変調フィ
ルターとの併用による効果が高いためである。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
特定の周波数特性のコントラストのみならず像特性全体
を改善することができるため、特に微細部分の像観察に
有効である。
特定の周波数特性のコントラストのみならず像特性全体
を改善することができるため、特に微細部分の像観察に
有効である。
【図１】本発明の第１実施例にかかる光学装置の構成を
概略的に示す図である。
概略的に示す図である。
【図２】図１の瞳変調部Ａの構成およびその作用を説明
する図である。
する図である。
【図３】本発明の第２実施例にかかる光学装置の構成を
概略的に示す図である。
概略的に示す図である。
１ 光源 ２ コレクタレンズ ３ フィールドレンズ ４ コンデンサレンズ ５ 物体 ６ 対物レンズ ７ 結像レンズ ８ 物体像 ９ ＣＣＤ １０ 画像合成系 １１ メモリ １２ モニター １３ 開口絞り ２１ リレー光学系 Ａ 瞳変調フィルター
Claims (6)
- 【請求項１】 物体からの光を集光して前記物体の像を
形成するための光学系と、 前記光学系中の開口位置に配置されて、第１の透過率分
布にしたがって前記物体からの光を透過させる第１透過
率分布状態から前記第１の透過率分布とは異なる第２の
透過率分布にしたがって前記物体からの光を透過させる
第２透過率分布状態への変調を行うための瞳変調手段
と、 前記光学系および前記瞳変調手段を介して形成された像
を撮像するための撮像手段と、 前記撮像手段により撮像された像を合成するための画像
合成手段とを備え、 前記画像合成手段は、コントラストの改善された合成像
を得るために、前記第１透過率分布状態において前記撮
像手段により撮像された像と前記第２透過率分布状態に
おいて前記撮像手段により撮像された像とを合成するこ
とを特徴とする光学装置。 - 【請求項２】 前記光学系は、前記物体からの光に基づ
いて前記物体の一次像を形成するための対物光学系と、
該対物光学系を介して形成された前記物体の一次像から
の光に基づいて前記撮像手段の撮像面に前記物体の二次
像を形成するためのリレー光学系とを有し、 前記瞳変調手段は、前記リレー光学系を介して前記対物
光学系中の開口位置と共役な開口像位置に配置されてい
ることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。 - 【請求項３】 前記瞳変調手段は、前記第１の透過率分
布を有する第１フィルターと、前記第２の透過率分布を
有する第２フィルターとを有し、前記第１フィルターま
たは前記第２フィルターを選択的に配置することを特徴
とする請求項１または２に記載の光学装置。 - 【請求項４】 前記瞳変調手段は、透過率分布を電気的
に変更することのできる電気光学素子を有することを特
徴とする請求項１または２に記載の光学装置。 - 【請求項５】 前記光学系中には、微分干渉観察用の複
屈折光学部材が配置されていることを特徴とする請求項
１乃至４のいずれか１項に記載の光学装置。 - 【請求項６】 物体からの光を集光して前記物体の像を
形成するための光学系中の開口位置において、第１の透
過率分布にしたがって前記物体からの光を透過させる第
１透過率分布状態から前記第１の透過率分布とは異なる
第２の透過率分布にしたがって前記物体からの光を透過
させる第２透過率分布状態への変調を行い、 前記第１透過率分布状態において前記光学系を介して得
られた像と前記第２透過率分布状態において前記光学系
を介して得られた像とを合成することによって、コント
ラストの改善された合成像を得ることを特徴とするコン
トラスト改善方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10027742A JPH11212028A (ja) | 1998-01-26 | 1998-01-26 | コントラスト改善機能を有する光学装置およびコントラスト改善方法 |
| US09/237,440 US6657787B1 (en) | 1998-01-26 | 1999-01-26 | Contrast improvement optical apparatus and method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10027742A JPH11212028A (ja) | 1998-01-26 | 1998-01-26 | コントラスト改善機能を有する光学装置およびコントラスト改善方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11212028A true JPH11212028A (ja) | 1999-08-06 |
Family
ID=12229494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10027742A Pending JPH11212028A (ja) | 1998-01-26 | 1998-01-26 | コントラスト改善機能を有する光学装置およびコントラスト改善方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6657787B1 (ja) |
| JP (1) | JPH11212028A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015007725A (ja) * | 2013-06-26 | 2015-01-15 | 株式会社フォトニックラティス | 光学的結像装置 |
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- 1998-01-26 JP JP10027742A patent/JPH11212028A/ja active Pending
-
1999
- 1999-01-26 US US09/237,440 patent/US6657787B1/en not_active Expired - Lifetime
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| JP2015007725A (ja) * | 2013-06-26 | 2015-01-15 | 株式会社フォトニックラティス | 光学的結像装置 |
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