JPH11201288A - ガスケット - Google Patents
ガスケットInfo
- Publication number
- JPH11201288A JPH11201288A JP1787498A JP1787498A JPH11201288A JP H11201288 A JPH11201288 A JP H11201288A JP 1787498 A JP1787498 A JP 1787498A JP 1787498 A JP1787498 A JP 1787498A JP H11201288 A JPH11201288 A JP H11201288A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gasket
- elastic body
- rubber elastic
- metallic layer
- rubber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガスの透過及び放出を抑えてシール性に優
れ、かつ繰り返し使用ができるガスケットを提供する。 【解決手段】 リング状ゴム弾性体の内周面及び／又は
外周面に、金属層又はプラスチック層を設けたガスケッ
トである。
れ、かつ繰り返し使用ができるガスケットを提供する。 【解決手段】 リング状ゴム弾性体の内周面及び／又は
外周面に、金属層又はプラスチック層を設けたガスケッ
トである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空配管や真空容
器における接続部や軸部に用いられる真空シール用ガス
ケット又はガス配管や容器の接続部に使用されるガスケ
ットに関する。
器における接続部や軸部に用いられる真空シール用ガス
ケット又はガス配管や容器の接続部に使用されるガスケ
ットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空ガスケットやガスシール用ガ
スケットには、金属製や、ゴム、プラスチックなどの非
金属製のものが知られている。金属製のガスケットはガ
スの透過及び放出が少なく、耐熱性もあるため、高真空
の真空系や高温高圧のガスラインに使用されており、一
方、非金属製のガスケットは低真空や低温のガスライン
に使用されている。
スケットには、金属製や、ゴム、プラスチックなどの非
金属製のものが知られている。金属製のガスケットはガ
スの透過及び放出が少なく、耐熱性もあるため、高真空
の真空系や高温高圧のガスラインに使用されており、一
方、非金属製のガスケットは低真空や低温のガスライン
に使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ゴム０リングに代表さ
れる非金属製ガスケットは、高真空においては、ガスの
透過、放出が大きいために、メタル中空０リングや、金
属製平形ガスケットが採用されている。しかし、金属製
ガスケットは大きな締め付け力が必要で、また、接触面
の仕上げを良くするとか楔状にするといった加工上の課
題があった。上記課題を解決するため、これまでに、ゴ
ムリングの表面に金属の薄膜を形成したガスケット（特
開平５−２４８５７８号公報、実開平６−１９２８号公
報）、金属の薄板で被覆したガスケット（実開昭６２−
１３０２６２号公報）、あるいは金属製の表面にゴムシ
ートで被覆した真空シール用ガスケット（特開平８−１
４５１８３号公報）などが提案されている。しかし、ゴ
ム弾性体に金属を被覆したものは、十分な締め付け力が
ないために、接触面を鏡面にする必要があり、また、ガ
スケットを締め付けた場合、表面の金属が追随せず、ク
ラックが発生したり、しわができるために実用性が低
い。また、金属の表面をゴムシートで被覆する方法は、
金属ガスケットの締め付け力を必要とし、弾性体の利点
を活かしていない。この手段として、プラスチックのコ
ーティングや軟質金属のメッキがおもに採用されてい
る。
れる非金属製ガスケットは、高真空においては、ガスの
透過、放出が大きいために、メタル中空０リングや、金
属製平形ガスケットが採用されている。しかし、金属製
ガスケットは大きな締め付け力が必要で、また、接触面
の仕上げを良くするとか楔状にするといった加工上の課
題があった。上記課題を解決するため、これまでに、ゴ
ムリングの表面に金属の薄膜を形成したガスケット（特
開平５−２４８５７８号公報、実開平６−１９２８号公
報）、金属の薄板で被覆したガスケット（実開昭６２−
１３０２６２号公報）、あるいは金属製の表面にゴムシ
ートで被覆した真空シール用ガスケット（特開平８−１
４５１８３号公報）などが提案されている。しかし、ゴ
ム弾性体に金属を被覆したものは、十分な締め付け力が
ないために、接触面を鏡面にする必要があり、また、ガ
スケットを締め付けた場合、表面の金属が追随せず、ク
ラックが発生したり、しわができるために実用性が低
い。また、金属の表面をゴムシートで被覆する方法は、
金属ガスケットの締め付け力を必要とし、弾性体の利点
を活かしていない。この手段として、プラスチックのコ
ーティングや軟質金属のメッキがおもに採用されてい
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者は、これらの課
題を解決するために鋭意研究の結果、本発明を完成する
に至った。すなわち、本発明は、リング状ゴム弾性体の
内周面及び／又は外周面に、金属層又はプラスチック層
を設けてなること、を特徴とするガスケットである。
題を解決するために鋭意研究の結果、本発明を完成する
に至った。すなわち、本発明は、リング状ゴム弾性体の
内周面及び／又は外周面に、金属層又はプラスチック層
を設けてなること、を特徴とするガスケットである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。図１は、本発明の第１実施例のガスケ
ットの側断面図である。この第１実施例のガスケット
は、リング状フッ素ゴム弾性体１の内周凸面に、約０．
１ｍｍ厚の金属層（ステンレス鋼層）２を設けた構成で
ある。
づいて説明する。図１は、本発明の第１実施例のガスケ
ットの側断面図である。この第１実施例のガスケット
は、リング状フッ素ゴム弾性体１の内周凸面に、約０．
１ｍｍ厚の金属層（ステンレス鋼層）２を設けた構成で
ある。
【０００６】ゴム弾性体としては、従来から使用されて
いるフッ素ゴム、ＮＢＲ、ブチルゴム、クロロプレンゴ
ム、シリコーンゴムなどであり、また、熱可塑性エラス
トマーも使用することができる。被覆する金属は、銀、
アルミニウム、ニッケル、ステンレス鋼などである。金
属層２の厚さは０．０００１〜３ｍｍ程度が好ましく、
０．００１〜０．２ｍｍであることが更に好ましい。リ
ング状ゴム弾性体１と金属層２とは接着するのが好まし
いが、金属層の厚さが０．０５〜０．２ｍｍ程度あれ
ば、必ずしも接着しなくてもよい。リング状ゴム弾性体
１の内周面は通常の断面円形の内周面を持つものであっ
てもよいが、本実施例におけるように内周面が凸面の場
合には、ガスケットをセットして締め付ける力が小さく
て済むので、繰り返し使用するのに有利である。
いるフッ素ゴム、ＮＢＲ、ブチルゴム、クロロプレンゴ
ム、シリコーンゴムなどであり、また、熱可塑性エラス
トマーも使用することができる。被覆する金属は、銀、
アルミニウム、ニッケル、ステンレス鋼などである。金
属層２の厚さは０．０００１〜３ｍｍ程度が好ましく、
０．００１〜０．２ｍｍであることが更に好ましい。リ
ング状ゴム弾性体１と金属層２とは接着するのが好まし
いが、金属層の厚さが０．０５〜０．２ｍｍ程度あれ
ば、必ずしも接着しなくてもよい。リング状ゴム弾性体
１の内周面は通常の断面円形の内周面を持つものであっ
てもよいが、本実施例におけるように内周面が凸面の場
合には、ガスケットをセットして締め付ける力が小さく
て済むので、繰り返し使用するのに有利である。
【０００７】本発明の他の実施態様としては、リング状
ゴム弾性体１の内周面１にプラスチック層２を設けたガ
スケットである。被覆するプラスチックは、ＰＴＦＥ、
３フッ化塩化エチレン樹脂、ポリイミド樹脂などであ
る。
ゴム弾性体１の内周面１にプラスチック層２を設けたガ
スケットである。被覆するプラスチックは、ＰＴＦＥ、
３フッ化塩化エチレン樹脂、ポリイミド樹脂などであ
る。
【０００８】図２は、この第１実施例のガスケットがフ
ランジの溝に装着された状態を示す断面図である。金属
層２の端面がフランジ面に接触するまで、ゴム弾性体１
を圧縮し、内径側の金属層２により、ガスの透過、放出
を抑えたものである。
ランジの溝に装着された状態を示す断面図である。金属
層２の端面がフランジ面に接触するまで、ゴム弾性体１
を圧縮し、内径側の金属層２により、ガスの透過、放出
を抑えたものである。
【０００９】図３は、本発明の第２実施例のガスケット
の部分断面図である。この第２実施例のガスケットは、
リング状フッ素ゴム弾性体１の内周凸面と外周凸面の両
面それぞれに、金属層（ステンレス鋼層）２を設けた構
成である。
の部分断面図である。この第２実施例のガスケットは、
リング状フッ素ゴム弾性体１の内周凸面と外周凸面の両
面それぞれに、金属層（ステンレス鋼層）２を設けた構
成である。
【００１０】図４は、本発明の第３実施例のガスケット
の部分断面図である。この第３実施例のガスケットは、
リング状フッ素ゴム弾性体１の内周（平）面と外周
（平）面の両面それぞれに、プラスチック層２を設けた
構成である。
の部分断面図である。この第３実施例のガスケットは、
リング状フッ素ゴム弾性体１の内周（平）面と外周
（平）面の両面それぞれに、プラスチック層２を設けた
構成である。
【００１１】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明のガスケット
によれば、被覆金属によりガスの透過及び放出を抑え、
かつゴム弾性体による接面シールができ、かつ繰り返し
使用ができる。また、プラズマなど反応性ガスに対して
も被覆金属、プラスチックによりゴム弾性体との接触を
遮断することができ、耐久性に優れている。ゴム弾性体
によるシールは接面漏洩より弾性体のなかを透過する漏
洩量が大きなウエイトを占めており、これを遮断するこ
とにより格段にシール性能が向上する。また、全面被覆
と異なり、金属のクラックやはく離、しわが発生しな
い。シール性を向上させるために、本ガスケットを締め
付け圧縮する場合、金属は単にフランジ面に接触するだ
けでなく、いくらかは圧縮されたほうが望ましい。した
がって、ゴム弾性体を主体としたガスケットであって、
高真空やガスラインの領域に繰り返し使用可能なガスケ
ットを提供することができる。また、ゴム弾性体からの
溶出を嫌う純水や薬液のラインにも有効である。
によれば、被覆金属によりガスの透過及び放出を抑え、
かつゴム弾性体による接面シールができ、かつ繰り返し
使用ができる。また、プラズマなど反応性ガスに対して
も被覆金属、プラスチックによりゴム弾性体との接触を
遮断することができ、耐久性に優れている。ゴム弾性体
によるシールは接面漏洩より弾性体のなかを透過する漏
洩量が大きなウエイトを占めており、これを遮断するこ
とにより格段にシール性能が向上する。また、全面被覆
と異なり、金属のクラックやはく離、しわが発生しな
い。シール性を向上させるために、本ガスケットを締め
付け圧縮する場合、金属は単にフランジ面に接触するだ
けでなく、いくらかは圧縮されたほうが望ましい。した
がって、ゴム弾性体を主体としたガスケットであって、
高真空やガスラインの領域に繰り返し使用可能なガスケ
ットを提供することができる。また、ゴム弾性体からの
溶出を嫌う純水や薬液のラインにも有効である。
【図１】 本発明の第１実施例のガスケットの側断面図
である。
である。
【図２】 本発明の第１実施例のガスケットがフランジ
の溝に装着された状態を示す断面図である。
の溝に装着された状態を示す断面図である。
【図３】 本発明の第２実施例のガスケットの部分断面
図である。
図である。
【図４】 本発明の第３実施例のガスケットの部分断面
図である。
図である。
１ リング状フッ素ゴム弾性体 ２ 金属層又はプラスチック層
Claims (2)
- 【請求項１】 リング状ゴム弾性体の内周面及び／又は
外周面に、金属層又はプラスチック層を設けてなるこ
と、を特徴とするガスケット。 - 【請求項２】 請求項１に記載のガスケットであって、 その内周面及び／又は外周面が凸面である前記ガスケッ
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1787498A JPH11201288A (ja) | 1998-01-14 | 1998-01-14 | ガスケット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1787498A JPH11201288A (ja) | 1998-01-14 | 1998-01-14 | ガスケット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11201288A true JPH11201288A (ja) | 1999-07-27 |
Family
ID=11955842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1787498A Pending JPH11201288A (ja) | 1998-01-14 | 1998-01-14 | ガスケット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11201288A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000320679A (ja) * | 1999-05-07 | 2000-11-24 | Caterpillar Inc | 端面シール |
| WO2005025735A1 (ja) * | 2003-08-20 | 2005-03-24 | Tadahiro Ohmi | 真空処理装置および蒸着装置 |
| WO2005050069A1 (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-02 | Daikin Industries, Ltd. | 表面コーティングされたシール材 |
| JP2005164027A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-23 | Nippon Valqua Ind Ltd | 複合シール材 |
| WO2006030557A1 (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-23 | Nippon Valqua Industries, Ltd. | 複合シール材 |
| JP2008002460A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Snecma | 圧縮機案内翼アセンブリのセクターまたはターボ機械ノズルアセンブリのセクター |
| EP1953802A2 (en) * | 2007-02-01 | 2008-08-06 | Parker-Hannifin Corporation | Semiconductor process chamber |
| KR20150067166A (ko) | 2012-10-09 | 2015-06-17 | 닛폰 바루카 고교 가부시키가이샤 | 복합 시일 |
| WO2015129866A1 (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-03 | ダイキン工業株式会社 | 封止部材 |
| JP2016056873A (ja) * | 2014-09-09 | 2016-04-21 | イーグル工業株式会社 | シール装置及びその装置に用いるパッキン |
| JP2017536517A (ja) * | 2014-11-10 | 2017-12-07 | イネオス テクノロジーズ ソシエテ アノニム | ガスケット、該ガスケットを組み込んだ装置、および、方法 |
-
1998
- 1998-01-14 JP JP1787498A patent/JPH11201288A/ja active Pending
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000320679A (ja) * | 1999-05-07 | 2000-11-24 | Caterpillar Inc | 端面シール |
| WO2005025735A1 (ja) * | 2003-08-20 | 2005-03-24 | Tadahiro Ohmi | 真空処理装置および蒸着装置 |
| JP2005164027A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-23 | Nippon Valqua Ind Ltd | 複合シール材 |
| KR100808349B1 (ko) * | 2003-11-21 | 2008-02-27 | 다이킨 고교 가부시키가이샤 | 밀봉재, 그의 제조방법 및 그를 갖는 액정·반도체 제조 장치 |
| WO2005050069A1 (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-02 | Daikin Industries, Ltd. | 表面コーティングされたシール材 |
| JPWO2005050069A1 (ja) * | 2003-11-21 | 2007-06-07 | ダイキン工業株式会社 | 表面コーティングされたシール材 |
| CN100402895C (zh) * | 2003-11-21 | 2008-07-16 | 大金工业株式会社 | 表面经涂布的密封材料及密封材料的制造方法 |
| KR100877283B1 (ko) | 2004-09-17 | 2009-01-07 | 닛폰 바루카 고교 가부시키가이샤 | 복합 실링재 |
| WO2006030557A1 (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-23 | Nippon Valqua Industries, Ltd. | 複合シール材 |
| US7866669B2 (en) | 2004-09-17 | 2011-01-11 | Nippon Valqua Industries, Ltd. | Composite sealing material |
| JP2008002460A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Snecma | 圧縮機案内翼アセンブリのセクターまたはターボ機械ノズルアセンブリのセクター |
| EP1953802A2 (en) * | 2007-02-01 | 2008-08-06 | Parker-Hannifin Corporation | Semiconductor process chamber |
| EP1953802A3 (en) * | 2007-02-01 | 2012-05-23 | Parker-Hannifin Corporation | Semiconductor process chamber |
| US9892945B2 (en) | 2012-10-09 | 2018-02-13 | Nippon Valqua Industries, Ltd. | Composite seal |
| KR20150067166A (ko) | 2012-10-09 | 2015-06-17 | 닛폰 바루카 고교 가부시키가이샤 | 복합 시일 |
| WO2015129866A1 (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-03 | ダイキン工業株式会社 | 封止部材 |
| CN106068413A (zh) * | 2014-02-28 | 2016-11-02 | 大金工业株式会社 | 密封部件 |
| JP2015178899A (ja) * | 2014-02-28 | 2015-10-08 | ダイキン工業株式会社 | 封止部材 |
| JP2016056873A (ja) * | 2014-09-09 | 2016-04-21 | イーグル工業株式会社 | シール装置及びその装置に用いるパッキン |
| JP2017536517A (ja) * | 2014-11-10 | 2017-12-07 | イネオス テクノロジーズ ソシエテ アノニム | ガスケット、該ガスケットを組み込んだ装置、および、方法 |
| US10947629B2 (en) | 2014-11-10 | 2021-03-16 | Ineos Technologies Sa | Gasket, apparatus incorporating same and method |
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