JPH11195954A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH11195954A JPH11195954A JP36932997A JP36932997A JPH11195954A JP H11195954 A JPH11195954 A JP H11195954A JP 36932997 A JP36932997 A JP 36932997A JP 36932997 A JP36932997 A JP 36932997A JP H11195954 A JPH11195954 A JP H11195954A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- substrate
- acoustic wave
- surface acoustic
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構造で、ワイヤのボンディング動作が
容易となり、製品のばらつきも少ないくする。 【解決手段】 圧電性の基板１２上に櫛形電極１４と反
射器が形成され、この基板１２が、パッケージ２０内に
収容されている。基板１２上に形成された各入力電極１
６及、出力電極１７、及びアース電極１８，１９と、パ
ッケージ２０に形成され各電極３４，３５，３６，３７
とを備え、基板１２上の各電極１６，１７，１８，１９
と、パッケージ２０の各電極３４，３５，３６，３７と
を各々ワイヤ４０で連結し、この各電極を繋いだワイヤ
４０を互いに平行に設ける。
容易となり、製品のばらつきも少ないくする。 【解決手段】 圧電性の基板１２上に櫛形電極１４と反
射器が形成され、この基板１２が、パッケージ２０内に
収容されている。基板１２上に形成された各入力電極１
６及、出力電極１７、及びアース電極１８，１９と、パ
ッケージ２０に形成され各電極３４，３５，３６，３７
とを備え、基板１２上の各電極１６，１７，１８，１９
と、パッケージ２０の各電極３４，３５，３６，３７と
を各々ワイヤ４０で連結し、この各電極を繋いだワイヤ
４０を互いに平行に設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、特定の周波数帯
域の電磁波を抽出する周波数フィルタであって弾性表面
波を利用した弾性表面波素子を有した弾性表面波装置に
関する。
域の電磁波を抽出する周波数フィルタであって弾性表面
波を利用した弾性表面波素子を有した弾性表面波装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、弾性表面波素子１０を内蔵した弾
性表面波装置は、図２に示すように、水晶等の圧電性の
基板１２上に二対の櫛形電極１４が交互に対向して設け
られ、この櫛形電極１４の側方には、等ピッチにパター
ンが形成された図示しない反射器が各々配置されてい
る。各櫛形電極１４は、入力電極及１６および出力電極
１７に接続されている。また入力電極及１６および出力
電極１７に並んで、各反射器のアース電極１８，１９が
形成されている。そして、基板１２は、パッケージ２０
内に収容され、パッケージ２０には、入力電極及１６、
出力電極１７、及びアース電極１８，１９に接続される
各電極２２，２４，２６，２８が形成されている。入力
電極及１６、出力電極１７、及びアース電極１８，１９
と各電極２２，２４，２６，２８は各々金線等のワイヤ
３０で繋がれている。
性表面波装置は、図２に示すように、水晶等の圧電性の
基板１２上に二対の櫛形電極１４が交互に対向して設け
られ、この櫛形電極１４の側方には、等ピッチにパター
ンが形成された図示しない反射器が各々配置されてい
る。各櫛形電極１４は、入力電極及１６および出力電極
１７に接続されている。また入力電極及１６および出力
電極１７に並んで、各反射器のアース電極１８，１９が
形成されている。そして、基板１２は、パッケージ２０
内に収容され、パッケージ２０には、入力電極及１６、
出力電極１７、及びアース電極１８，１９に接続される
各電極２２，２４，２６，２８が形成されている。入力
電極及１６、出力電極１７、及びアース電極１８，１９
と各電極２２，２４，２６，２８は各々金線等のワイヤ
３０で繋がれている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術の場
合、ワイヤ３０は、入力電極及１６、出力電極１７、ア
ース電極１８，１９と、各電極２２，２４，２６，２８
とを接続するものであり、各電極の中央部を結ぶように
接続されているため、各ワイヤ３０は互いに異なる方向
に配設され、ワイヤボンディングを行う機械の動作が各
電極の位置毎に異なる動作となり、ボンディングのため
の機械の揺動動作が大きくなり、ボンディング時間が長
くなり、また、位置のばらつきも大きくなるという問題
があった。さらに、電極間の距離が異なるため、ワイヤ
の長さも異なり、ワイヤの取り付け強度にもばらつきが
あった。
合、ワイヤ３０は、入力電極及１６、出力電極１７、ア
ース電極１８，１９と、各電極２２，２４，２６，２８
とを接続するものであり、各電極の中央部を結ぶように
接続されているため、各ワイヤ３０は互いに異なる方向
に配設され、ワイヤボンディングを行う機械の動作が各
電極の位置毎に異なる動作となり、ボンディングのため
の機械の揺動動作が大きくなり、ボンディング時間が長
くなり、また、位置のばらつきも大きくなるという問題
があった。さらに、電極間の距離が異なるため、ワイヤ
の長さも異なり、ワイヤの取り付け強度にもばらつきが
あった。
【０００４】この発明は上記従来の技術の問題点に鑑み
てなされたものであり、簡単な構造で、ワイヤのボンデ
ィング動作が容易となり、製品のばらつきも少ない弾性
表面波装置を提供することを目的とする。
てなされたものであり、簡単な構造で、ワイヤのボンデ
ィング動作が容易となり、製品のばらつきも少ない弾性
表面波装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、圧電性の基
板上に櫛形電極と反射器が形成され、この基板がパッケ
ージ内に収容された弾性表面波装置において、上記基板
上に形成された各入力電極及、出力電極、及びアース電
極と、上記パッケージに形成され各電極とを備え、上記
基板上の各電極と上記パッケージの各電極とを各々ワイ
ヤで連結し、この各電極を繋いだワイヤを互いに平行に
設けた弾性表面波装置である。
板上に櫛形電極と反射器が形成され、この基板がパッケ
ージ内に収容された弾性表面波装置において、上記基板
上に形成された各入力電極及、出力電極、及びアース電
極と、上記パッケージに形成され各電極とを備え、上記
基板上の各電極と上記パッケージの各電極とを各々ワイ
ヤで連結し、この各電極を繋いだワイヤを互いに平行に
設けた弾性表面波装置である。
【０００６】またこの発明は、上記基板上に形成された
各入力電極及、出力電極、及びアース電極の少なくとも
一部の電極の端縁部を延ばすように広げ、この広げた部
分に上記ワイヤを接続し、各ワイヤが互いに平行に且つ
ほぼ等しい長さに形成されるようにしたものである。
各入力電極及、出力電極、及びアース電極の少なくとも
一部の電極の端縁部を延ばすように広げ、この広げた部
分に上記ワイヤを接続し、各ワイヤが互いに平行に且つ
ほぼ等しい長さに形成されるようにしたものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて、図面に基づいて説明する。図１は、この発明の一
実施形態の弾性表面波装置を示すものである。先ず、こ
の実施形態の弾性表面波素子１０は、水晶やリチウムタ
ンタレート等の圧電性を有した基板１２の表面に、銅箔
により二対の櫛形電極１４が各々交互に対向して設けら
れ、この櫛形電極１４の両側方には、等ピッチに銅箔等
の導電体によるパターンが形成された図示しない反射器
が各々配置されている。このピッチは、所望の中心周波
数で同期する波長に対応したものである。
いて、図面に基づいて説明する。図１は、この発明の一
実施形態の弾性表面波装置を示すものである。先ず、こ
の実施形態の弾性表面波素子１０は、水晶やリチウムタ
ンタレート等の圧電性を有した基板１２の表面に、銅箔
により二対の櫛形電極１４が各々交互に対向して設けら
れ、この櫛形電極１４の両側方には、等ピッチに銅箔等
の導電体によるパターンが形成された図示しない反射器
が各々配置されている。このピッチは、所望の中心周波
数で同期する波長に対応したものである。
【０００８】櫛形電極１４の側方には入力電極１６が設
けられ、反対側の櫛形電極１４には、出力電極１７が設
けられている。また、各反射器にはアース電極１８，１
９が設けられている。入力電極１６と出力電極１７の各
端部は、各々基板１２の側縁部で、Ｌ地状に屈曲して側
方に延びた延長部３２を有している。この延長部３２
は、各電極面積を広げるように延長されたものである。
けられ、反対側の櫛形電極１４には、出力電極１７が設
けられている。また、各反射器にはアース電極１８，１
９が設けられている。入力電極１６と出力電極１７の各
端部は、各々基板１２の側縁部で、Ｌ地状に屈曲して側
方に延びた延長部３２を有している。この延長部３２
は、各電極面積を広げるように延長されたものである。
【０００９】この基板１２は、セラミックス製等のパッ
ケージ２０内に収容される。パッケージ２０には上面が
開口した収容空間が形成され、このパッケージ２０の収
容空間内に基板１２が収容されている。そして、入力電
極１６、出力電極１７及び各アース電極１８，１９の端
縁部と対向するパッケージ２０の側縁部には、各々電極
３４，３５，３６，３７が形成されている。そして、入
力電極１６とパッケージ２０の電極３７、出力電極１７
とパッケージ２０の電極３５、一方のアース電極１８と
パッケージ２０の電極３４、及び他方のアース電極１９
とパッケージ２０の電極３６が、各々各々金線等のワイ
ヤ４０で繋がれている。そして、各ワイヤ４０は、各々
ほぼ等しい長さで、ほぼ等しい方向に接続されてる。
ケージ２０内に収容される。パッケージ２０には上面が
開口した収容空間が形成され、このパッケージ２０の収
容空間内に基板１２が収容されている。そして、入力電
極１６、出力電極１７及び各アース電極１８，１９の端
縁部と対向するパッケージ２０の側縁部には、各々電極
３４，３５，３６，３７が形成されている。そして、入
力電極１６とパッケージ２０の電極３７、出力電極１７
とパッケージ２０の電極３５、一方のアース電極１８と
パッケージ２０の電極３４、及び他方のアース電極１９
とパッケージ２０の電極３６が、各々各々金線等のワイ
ヤ４０で繋がれている。そして、各ワイヤ４０は、各々
ほぼ等しい長さで、ほぼ等しい方向に接続されてる。
【００１０】この実施形態の弾性表面波装置の製造は、
先ず基板１２上に櫛形電極１４、反射器、各入出力電極
１６，１７及びアース電極１８，１９等を、フォトリソ
グラフィ技術を用いて形成する。電極間隔は、数μｍ〜
数十μｍ程度に適宜形成される。この基板１２は、多数
個取りの大形の基板を用い、ダイシングにより個々のチ
ップに分割する。そして、分割した各チップはパッケー
ジ２０内の底部に接着剤により固定する。そして、ワイ
ヤボンディングを行い、電極間を接続する。
先ず基板１２上に櫛形電極１４、反射器、各入出力電極
１６，１７及びアース電極１８，１９等を、フォトリソ
グラフィ技術を用いて形成する。電極間隔は、数μｍ〜
数十μｍ程度に適宜形成される。この基板１２は、多数
個取りの大形の基板を用い、ダイシングにより個々のチ
ップに分割する。そして、分割した各チップはパッケー
ジ２０内の底部に接着剤により固定する。そして、ワイ
ヤボンディングを行い、電極間を接続する。
【００１１】この実施形態の弾性表面波装置は、基板１
２側の電極に延長部３２を形成し、ワイヤ４０をほぼ等
しい角度で接続可能にし、且つ長さもほぼ等しくするこ
とができ、ワイヤボンディング作業を高速化することが
でき、接続強度もほぼ一定となる。しかも製品の品質も
一定にすることができるものである。特に、ワイヤ４０
を平行に位置させ、ワイヤボンディングを行うヘッドの
動きを直線的に平行移動のみとすることにより、従来の
ように直線移動と揺動という２種類の動作を行わなくて
も良いので、ボンディング作業の高速化を大幅に図るこ
とができる。さらに、動きが単純であることから、ボン
ディングヘッドの寿命も延ばすことができる。また、ワ
イヤ４０の長さを一定にすることにより、ワイヤ４０の
長さの差によるインダクタンスをのバラツキを抑えるこ
とができ製品の品質を向上させることもできる。
２側の電極に延長部３２を形成し、ワイヤ４０をほぼ等
しい角度で接続可能にし、且つ長さもほぼ等しくするこ
とができ、ワイヤボンディング作業を高速化することが
でき、接続強度もほぼ一定となる。しかも製品の品質も
一定にすることができるものである。特に、ワイヤ４０
を平行に位置させ、ワイヤボンディングを行うヘッドの
動きを直線的に平行移動のみとすることにより、従来の
ように直線移動と揺動という２種類の動作を行わなくて
も良いので、ボンディング作業の高速化を大幅に図るこ
とができる。さらに、動きが単純であることから、ボン
ディングヘッドの寿命も延ばすことができる。また、ワ
イヤ４０の長さを一定にすることにより、ワイヤ４０の
長さの差によるインダクタンスをのバラツキを抑えるこ
とができ製品の品質を向上させることもできる。
【００１２】なお、この発明の弾性表面波装置は、上記
実施形態に限らず、基板とパッケージの電極形状を適宜
変更可能なものでる。
実施形態に限らず、基板とパッケージの電極形状を適宜
変更可能なものでる。
【００１３】
【発明の効果】この発明の弾性表面波装置は、基板とパ
ッケージとを繋ぐワイヤをほぼ等しい方向に設け、ワイ
ヤボンディング作業の高速化を可能とし、接続強度や製
品品質を向上させたものである。
ッケージとを繋ぐワイヤをほぼ等しい方向に設け、ワイ
ヤボンディング作業の高速化を可能とし、接続強度や製
品品質を向上させたものである。
【図１】この発明の弾性表面波装置の一実施形態の平面
図である。
図である。
【図２】従来の技術の弾性表面波装置の平面図である。
１０ 弾性表面波素子 １２ 基板 １４ 櫛形電極 １６ 入力電極 １７ 出力電極 １８，１９ アース電極 ２０ パッケージ ３０，４０ ワイヤ ３２ 延長部
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電性の基板上に櫛形電極と反射器が形
成され、この基板がパッケージ内に収容された弾性表面
波装置において、上記基板上に形成された各入力電極、
出力電極、及びアース電極と、上記パッケージに形成さ
れた各電極とを備え、上記基板上の各電極と上記パッケ
ージの各電極とを各々ワイヤで連結し、この各電極を繋
いだワイヤを互いに平行に設けたことを特徴する弾性表
面波装置。 - 【請求項２】 上記基板上に形成された各入力電極及、
出力電極、及びアース電極の少なくとも一部の電極の端
縁部を延ばすように広げ、この広げた部分に上記ワイヤ
を接続し、各ワイヤが互いに平行に且つほぼ等しい長さ
に形成されるようにした請求項１記載の弾性表面波装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36932997A JPH11195954A (ja) | 1997-12-27 | 1997-12-27 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36932997A JPH11195954A (ja) | 1997-12-27 | 1997-12-27 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11195954A true JPH11195954A (ja) | 1999-07-21 |
Family
ID=18494155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36932997A Pending JPH11195954A (ja) | 1997-12-27 | 1997-12-27 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11195954A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100639282B1 (ko) | 2004-04-28 | 2006-10-30 | 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 | 밸런스 출력형 필터 |
-
1997
- 1997-12-27 JP JP36932997A patent/JPH11195954A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100639282B1 (ko) | 2004-04-28 | 2006-10-30 | 후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤 | 밸런스 출력형 필터 |
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