JPH11188218A - 高純度アルミナ質フイルタ及びそのフイルタエレメントの端面封止方法 - Google Patents
高純度アルミナ質フイルタ及びそのフイルタエレメントの端面封止方法Info
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- JPH11188218A JPH11188218A JP9366704A JP36670497A JPH11188218A JP H11188218 A JPH11188218 A JP H11188218A JP 9366704 A JP9366704 A JP 9366704A JP 36670497 A JP36670497 A JP 36670497A JP H11188218 A JPH11188218 A JP H11188218A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】金属製Ｏリングを使用し、合成樹脂のパッキン
を使用しないセラミックスフイルターを提供する。 【解決手段】一端にガス導入口３３を他端にガス導出口
２４を、内部中央部にはガス導入口から送られるガスを
ろ過するセラミックス多孔体フイルタエレメント２６を
装填する空所２５を有し、長手方向で２分割されしかも
段部を設けた接合部２２で嵌合して結合するようにした
ハウジング２１の空所に、外周にガスが通過する間隙を
残してセラミックス多孔体フイルタエレメントを装填
し、セラミックス多孔体フイルタエレメントのガス導入
側の端部を緻密質セラミックスプレート２８で閉塞し、
他端部には緻密質セラミックスフランジ型支持体２８を
接合し、フランジ型支持体をハウジングの接合部内側に
設けた固定用間隙部３３で２個の金属製Ｏリング３１，
３２で挟持してフイルタエレメントをハウジングの空所
に固着した。
を使用しないセラミックスフイルターを提供する。 【解決手段】一端にガス導入口３３を他端にガス導出口
２４を、内部中央部にはガス導入口から送られるガスを
ろ過するセラミックス多孔体フイルタエレメント２６を
装填する空所２５を有し、長手方向で２分割されしかも
段部を設けた接合部２２で嵌合して結合するようにした
ハウジング２１の空所に、外周にガスが通過する間隙を
残してセラミックス多孔体フイルタエレメントを装填
し、セラミックス多孔体フイルタエレメントのガス導入
側の端部を緻密質セラミックスプレート２８で閉塞し、
他端部には緻密質セラミックスフランジ型支持体２８を
接合し、フランジ型支持体をハウジングの接合部内側に
設けた固定用間隙部３３で２個の金属製Ｏリング３１，
３２で挟持してフイルタエレメントをハウジングの空所
に固着した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、セラミックスフ
イルタに関し、フイルタハウジング内のフイルタエレメ
ント及びパッキンなどをセラミックスとして耐熱性を向
上したセラミックスフイルタに関する。
イルタに関し、フイルタハウジング内のフイルタエレメ
ント及びパッキンなどをセラミックスとして耐熱性を向
上したセラミックスフイルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガスフイルタとして使用されるセ
ラミックスフイルタＢは、図２に示すようなものが使用
されていた。
ラミックスフイルタＢは、図２に示すようなものが使用
されていた。
【０００３】図２で１はハウジングでステンレスなどの
金属製で出来ている。このハウジング１は、ハウジング
後端部１1 、ハウジング前端部１2 からなり、ほぼ中央
部の溶接部２で接合され組立てられるものである。ハウ
ジング１のハウジング後端部１1 、ハウジング前端部１
2 にはろ過されるべきガスのガス導入口３、ろ過された
後のガス導出口４が設けられている。さらに、ハウジン
グ１の中央部内側には空所５があって、ここにフイルタ
エレメント６がハウジング１の内壁７との間に隙間８を
置いて配置されている。フイルタエレメント６は、アル
ミナ多孔体で構成され、その形状は図示されているよう
に筒状体で、長手方向の前後をテフロンなどの合成樹脂
パッキン９1 、９2 で挟持されている。さらに、フイル
タエレメント６のハウジング後端部１1 側のパッキン９
1 の外側には、合成樹脂パッキン９1 を握持するように
押えプレート１０がある。この押えプレート１０には、
導入されたガスがフイルタエレメント６の外側に導かれ
るようにガス通過用のガス通路１１が穿設されている。
金属製で出来ている。このハウジング１は、ハウジング
後端部１1 、ハウジング前端部１2 からなり、ほぼ中央
部の溶接部２で接合され組立てられるものである。ハウ
ジング１のハウジング後端部１1 、ハウジング前端部１
2 にはろ過されるべきガスのガス導入口３、ろ過された
後のガス導出口４が設けられている。さらに、ハウジン
グ１の中央部内側には空所５があって、ここにフイルタ
エレメント６がハウジング１の内壁７との間に隙間８を
置いて配置されている。フイルタエレメント６は、アル
ミナ多孔体で構成され、その形状は図示されているよう
に筒状体で、長手方向の前後をテフロンなどの合成樹脂
パッキン９1 、９2 で挟持されている。さらに、フイル
タエレメント６のハウジング後端部１1 側のパッキン９
1 の外側には、合成樹脂パッキン９1 を握持するように
押えプレート１０がある。この押えプレート１０には、
導入されたガスがフイルタエレメント６の外側に導かれ
るようにガス通過用のガス通路１１が穿設されている。
【０００４】このセラミックスフイルターを用いてガス
をろ過するには、セラミックスフイルタのガス導入口３
に接続された図示しないガス導入管を通して、ろ過され
るガスがセラミックスフイルタのガス導入口３から導入
される。このガスは押えプレート１０に穿設されている
ガス通路１１からフイルタエレメント６の外側の間隙８
に達する。間隙８に入ったガスは、次に矢印で示すよう
にフイルタエレメント６の中を通過することによってろ
過されてフイルタエレメント６の中央部に導かれたの
ち、フイルタエレメント６の先端中央部からハウジング
前端部１2 側に送られ、続いてガス導出口から４排出さ
れるものである。
をろ過するには、セラミックスフイルタのガス導入口３
に接続された図示しないガス導入管を通して、ろ過され
るガスがセラミックスフイルタのガス導入口３から導入
される。このガスは押えプレート１０に穿設されている
ガス通路１１からフイルタエレメント６の外側の間隙８
に達する。間隙８に入ったガスは、次に矢印で示すよう
にフイルタエレメント６の中を通過することによってろ
過されてフイルタエレメント６の中央部に導かれたの
ち、フイルタエレメント６の先端中央部からハウジング
前端部１2 側に送られ、続いてガス導出口から４排出さ
れるものである。
【０００５】こうした従来のセラミックスフイルタは、
パッキンにテフロンなどの合成樹脂を使用していたの
で、高真空下での放出ガスについての問題や高温ガスに
対する耐熱性に問題があってその用途が限られていて、
その点を改善することが望まれていた。
パッキンにテフロンなどの合成樹脂を使用していたの
で、高真空下での放出ガスについての問題や高温ガスに
対する耐熱性に問題があってその用途が限られていて、
その点を改善することが望まれていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この発明はパッキンに
金属製Ｏリングを使用し、これでもってフイルタエレメ
ントに設けたセラミックス支持体を挟持してフイルタエ
レメントをフイルタのハウジング内に固定するように
し、もって合成樹脂のパッキンを使用しないことにより
耐熱性の高いセラミックスフイルタを得ようとするもの
である。
金属製Ｏリングを使用し、これでもってフイルタエレメ
ントに設けたセラミックス支持体を挟持してフイルタエ
レメントをフイルタのハウジング内に固定するように
し、もって合成樹脂のパッキンを使用しないことにより
耐熱性の高いセラミックスフイルタを得ようとするもの
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、一端にガス
導入口を他端にガス導出口を、さらに内部中央部にはこ
のガス導入口から送られるガスをろ過するセラミックス
多孔体フイルタエレメントを装填する空所を有し、かつ
長手方向で２分割されしかも段部を設けた接合部で嵌合
して結合するようにしたハウジングの空所に、その外周
にガスが通過する間隙を残してセラミックス多孔体フイ
ルタエレメントを装填し、さらに前記セラミックス多孔
体フイルタエレメントのガス導入側の端部を緻密質セラ
ミックスプレートで閉塞するとともに、その他端部には
緻密質セラミックスフランジ型支持体を接合し、さらに
このフランジ型支持体をハウジングの接合部内側に設け
た固定用間隙部で２個の金属製Ｏリングで挟持して前記
フイルタエレメントを前記ハウジングの空所に固着した
高純度セラミックスフイルタ（請求項１）、金属製Ｏリ
ングが断面扇型で、その扇型のカナメ側をハウジング側
とし、また扇型の広がった側をセラミックス多孔体フイ
ルタエレメントのフランジ型支持体側に位置するように
したことを特徴とする請求項１記載の高純度セラミック
ス質フイルタ（請求項２）、セラミックス多孔体フイル
タエレメントのガス導入側の端部と緻密質セラミックス
プレートとの接合及び同じフイルタエレメンの他端部と
緻密質セラミックスフランジ型支持体との接合部が、い
ずれも高純度多孔質セラミックスからなり、接合部を構
成する高純度多孔質セラミックスの気孔径が、少なくと
もフイルタエレメントのフイルタ部分の気孔径とほぼ同
等もしくはこれより小さいことを特徴とする請求項１記
載の高純度セラミックスフイルタ（請求項３）、上記の
セラミックス多孔体フイルタエレメント、緻密質セラミ
ックプレート及び緻密質セラミックスフランジ型支持体
が、いずれも９９．９重量％以上のアルミナ組成からな
ることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載
のセラミックスフイルタ（請求項４）、セラミックス多
孔体フイルタエレメントのガス導入側の端部と緻密質セ
ラミックスプレートとの接合及び同フイルタエレメンの
他端部と緻密質セラミックスフランジ型支持体とのそれ
ぞれの接合を、高純度セラミックス粉末に溶媒、分散剤
及びバインダーを混合して得たスラリーを前記緻密質セ
ラミックスプレート及び緻密質セラミックスのフランジ
型支持体上のそれぞれに塗布し、そこにセラミックス多
孔体フイルタエレメントを載置し乾燥してから脱脂し、
その後これを塩化水素雰囲気で７００〜１８００℃で加
熱することを特徴とする高純度セラミックスフイルタエ
レメントの端面封止方法（請求項５）及び上記のセラミ
ックス多孔体フイルタエレメント、緻密質セラミックス
プレート及び緻密質セラミックスフランジ型支持体が、
いずれも９９．９重量％以上のアルミナ組成からなるこ
とを特徴とする請求項５記載の高純度セラミックスフイ
ルタエレメントの端面封止方法（請求項６）である。
導入口を他端にガス導出口を、さらに内部中央部にはこ
のガス導入口から送られるガスをろ過するセラミックス
多孔体フイルタエレメントを装填する空所を有し、かつ
長手方向で２分割されしかも段部を設けた接合部で嵌合
して結合するようにしたハウジングの空所に、その外周
にガスが通過する間隙を残してセラミックス多孔体フイ
ルタエレメントを装填し、さらに前記セラミックス多孔
体フイルタエレメントのガス導入側の端部を緻密質セラ
ミックスプレートで閉塞するとともに、その他端部には
緻密質セラミックスフランジ型支持体を接合し、さらに
このフランジ型支持体をハウジングの接合部内側に設け
た固定用間隙部で２個の金属製Ｏリングで挟持して前記
フイルタエレメントを前記ハウジングの空所に固着した
高純度セラミックスフイルタ（請求項１）、金属製Ｏリ
ングが断面扇型で、その扇型のカナメ側をハウジング側
とし、また扇型の広がった側をセラミックス多孔体フイ
ルタエレメントのフランジ型支持体側に位置するように
したことを特徴とする請求項１記載の高純度セラミック
ス質フイルタ（請求項２）、セラミックス多孔体フイル
タエレメントのガス導入側の端部と緻密質セラミックス
プレートとの接合及び同じフイルタエレメンの他端部と
緻密質セラミックスフランジ型支持体との接合部が、い
ずれも高純度多孔質セラミックスからなり、接合部を構
成する高純度多孔質セラミックスの気孔径が、少なくと
もフイルタエレメントのフイルタ部分の気孔径とほぼ同
等もしくはこれより小さいことを特徴とする請求項１記
載の高純度セラミックスフイルタ（請求項３）、上記の
セラミックス多孔体フイルタエレメント、緻密質セラミ
ックプレート及び緻密質セラミックスフランジ型支持体
が、いずれも９９．９重量％以上のアルミナ組成からな
ることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載
のセラミックスフイルタ（請求項４）、セラミックス多
孔体フイルタエレメントのガス導入側の端部と緻密質セ
ラミックスプレートとの接合及び同フイルタエレメンの
他端部と緻密質セラミックスフランジ型支持体とのそれ
ぞれの接合を、高純度セラミックス粉末に溶媒、分散剤
及びバインダーを混合して得たスラリーを前記緻密質セ
ラミックスプレート及び緻密質セラミックスのフランジ
型支持体上のそれぞれに塗布し、そこにセラミックス多
孔体フイルタエレメントを載置し乾燥してから脱脂し、
その後これを塩化水素雰囲気で７００〜１８００℃で加
熱することを特徴とする高純度セラミックスフイルタエ
レメントの端面封止方法（請求項５）及び上記のセラミ
ックス多孔体フイルタエレメント、緻密質セラミックス
プレート及び緻密質セラミックスフランジ型支持体が、
いずれも９９．９重量％以上のアルミナ組成からなるこ
とを特徴とする請求項５記載の高純度セラミックスフイ
ルタエレメントの端面封止方法（請求項６）である。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１はこの発明の実施の一形体を
示したセラミッスフイルタ２０の断面図である。図１で
２１はハウジング、２１1 はハウジング後端部、２１2
はハウジング先端部である。ハウジング２１は、ハウジ
ング後端部２１1とハウジング前端部２１2 がハウジン
グ接合部２２で接合され一体に組立てられるものであ
る。接合部２２での接合は螺合、溶接など従来のセラミ
ックスフイルターと同じでよい。ハウジング２１のハウ
ジング後端部２１1 、ハウジング前端部２１2 には、ろ
過されるガスのガス導入口２３、ろ過済みガスのガス導
出口２４が設けられている。さらに、ハウジング２１の
中央部内側には空所２５があって、ここにフイルタエレ
メント２６がハウジング２１の内壁２７との間に隙間を
置いて配置されている。これらの事項に関しては図２に
示した従来のセラミックスフイルタと同じである。
示したセラミッスフイルタ２０の断面図である。図１で
２１はハウジング、２１1 はハウジング後端部、２１2
はハウジング先端部である。ハウジング２１は、ハウジ
ング後端部２１1とハウジング前端部２１2 がハウジン
グ接合部２２で接合され一体に組立てられるものであ
る。接合部２２での接合は螺合、溶接など従来のセラミ
ックスフイルターと同じでよい。ハウジング２１のハウ
ジング後端部２１1 、ハウジング前端部２１2 には、ろ
過されるガスのガス導入口２３、ろ過済みガスのガス導
出口２４が設けられている。さらに、ハウジング２１の
中央部内側には空所２５があって、ここにフイルタエレ
メント２６がハウジング２１の内壁２７との間に隙間を
置いて配置されている。これらの事項に関しては図２に
示した従来のセラミックスフイルタと同じである。
【０００９】セラミックスフイルタエレメント２６はア
ルミナ多孔体で構成され、その形状は図示されているよ
うに筒状体である。このフイルタエレメント２６の後端
は緻密質アルミナプレート３０で閉塞されていて、セラ
ミックスフイルタ２０のガス導入口２３から導入された
ガスが、フイルタエレメント２６の外周とハウジング内
壁２７とで形成される隙間に送られるようになってい
る。また、フイルタエレメント２６の先端側には、緻密
質アルミナフランジ型支持体２８が接合されている。な
お、上記のセラミックス多孔体フイルタエレメント、緻
密質セラミックプレート及び緻密質セラミックス支持体
は、例えばアルミナ、シリカ、炭化ケイ素、ジルコニア
のいずれでも、もしくはこれらの組合わせにより構成す
ることが出来るが、フイルタエレメントとプレート或い
は支持体の良好な接合を得るためにはこれらを同一の材
質により形成することが好ましく、さらに半導体製造工
程で使用されるドライガスのろ過等用フイルタに適した
材質は、耐高温性、耐腐食性などの観点からアルミナが
最も好ましい。特に、半導体製造用としては９９．９重
量％の高純度が必要である。
ルミナ多孔体で構成され、その形状は図示されているよ
うに筒状体である。このフイルタエレメント２６の後端
は緻密質アルミナプレート３０で閉塞されていて、セラ
ミックスフイルタ２０のガス導入口２３から導入された
ガスが、フイルタエレメント２６の外周とハウジング内
壁２７とで形成される隙間に送られるようになってい
る。また、フイルタエレメント２６の先端側には、緻密
質アルミナフランジ型支持体２８が接合されている。な
お、上記のセラミックス多孔体フイルタエレメント、緻
密質セラミックプレート及び緻密質セラミックス支持体
は、例えばアルミナ、シリカ、炭化ケイ素、ジルコニア
のいずれでも、もしくはこれらの組合わせにより構成す
ることが出来るが、フイルタエレメントとプレート或い
は支持体の良好な接合を得るためにはこれらを同一の材
質により形成することが好ましく、さらに半導体製造工
程で使用されるドライガスのろ過等用フイルタに適した
材質は、耐高温性、耐腐食性などの観点からアルミナが
最も好ましい。特に、半導体製造用としては９９．９重
量％の高純度が必要である。
【００１０】また、ここで用いる緻密質アルミナプレー
ト及び緻密質アルミナフランジ型支持体２８は、高純度
であるとともに表面欠陥がないことが好ましい。表面欠
陥があると使用中にパーティクルが発生して好ましくな
い。そのために、特に透光性アルミナが好ましい。
ト及び緻密質アルミナフランジ型支持体２８は、高純度
であるとともに表面欠陥がないことが好ましい。表面欠
陥があると使用中にパーティクルが発生して好ましくな
い。そのために、特に透光性アルミナが好ましい。
【００１１】フイルターエレメント２６に緻密質アルミ
ナフランジ型支持体２８を接合するには溶融ガラスでも
よいが、他にこれをアルミナ焼結体の接合部２９とする
とさらによい。この部分の接合をアルミナ焼結体で行う
とガラスを用いて接合した場合のように、フイルタエレ
メントのアルミナとガラスとの反応が回避出来るととも
に、アルミナの持つ優れた耐薬品性を十分に発揮したも
のとすることが出来る。
ナフランジ型支持体２８を接合するには溶融ガラスでも
よいが、他にこれをアルミナ焼結体の接合部２９とする
とさらによい。この部分の接合をアルミナ焼結体で行う
とガラスを用いて接合した場合のように、フイルタエレ
メントのアルミナとガラスとの反応が回避出来るととも
に、アルミナの持つ優れた耐薬品性を十分に発揮したも
のとすることが出来る。
【００１２】また、上記アルミナ焼結体の接合部２９
は、緻密質の焼結体としてもよいが、少なくともフイル
タエレメントのフイルタ部分の気孔径とほぼ同等もしく
はこれより小さい気孔径を有する多孔質の焼結体である
ことが好ましい。この接合部２９を緻密質の焼結体とす
るには、高純度アルミナ粉末を溶媒、分散剤及びバイン
ダーからなるスラリーを用い、脱脂後、大気雰囲気ある
いは水素雰囲気で１２００〜１８００℃で焼結すること
によって製造される。
は、緻密質の焼結体としてもよいが、少なくともフイル
タエレメントのフイルタ部分の気孔径とほぼ同等もしく
はこれより小さい気孔径を有する多孔質の焼結体である
ことが好ましい。この接合部２９を緻密質の焼結体とす
るには、高純度アルミナ粉末を溶媒、分散剤及びバイン
ダーからなるスラリーを用い、脱脂後、大気雰囲気ある
いは水素雰囲気で１２００〜１８００℃で焼結すること
によって製造される。
【００１３】この際に接合部は焼結に伴い収縮し緻密化
される。この収縮に伴って、該接合部と緻密質アルミナ
フランジ型支持体の界面に残留応力が存在し、機械的も
しくは熱的衝撃に比較的弱くなる傾向にあるが、接合部
を上記多孔質の焼結体とすれば接合部の焼結に伴う収縮
がほとんど起こることがなく上記の如き不具合が生ずる
ことがない。
される。この収縮に伴って、該接合部と緻密質アルミナ
フランジ型支持体の界面に残留応力が存在し、機械的も
しくは熱的衝撃に比較的弱くなる傾向にあるが、接合部
を上記多孔質の焼結体とすれば接合部の焼結に伴う収縮
がほとんど起こることがなく上記の如き不具合が生ずる
ことがない。
【００１４】アルミナ焼結体接合部２９でフイルタエレ
メント２６に緻密質アルミナプレートもしくは緻密質ア
ルミナフランジ型支持体２８を接合する方法は、後者を
例にとると次の通りである。
メント２６に緻密質アルミナプレートもしくは緻密質ア
ルミナフランジ型支持体２８を接合する方法は、後者を
例にとると次の通りである。
【００１５】高純度アルミナ粉末を溶媒、分散剤及びバ
インダーと混合し攪拌してスラリーとする。このスラリ
ーをフランジ型支持体２８の接着面に塗布し、その面に
アルミナ多孔体フイルタエレメントの２６一端を載置し
て接着する。この場合、フランジ型支持体２８の接着面
は、予めグラインダーやサンドブラストなどを用いて加
工するか、或いは化学的にエッチング処理をして粗面に
しておくのが好ましい。フランジ型支持体２８の一面に
多孔体フイルタエレメント２６の一端を載置し乾燥して
接着したのち大気雰囲気中で加熱して脱脂処理をする。
この脱脂処理温度は、接着に使用した高純度アルミナ成
形体が焼結収縮を起こさない温度で、しかも使用したバ
インダーが十分に除去できる温度である。一般に、高純
度アルミナ原料を用いた成形体が焼結収縮を起こす温度
は、原料によっても異なるがほぼ８００℃〜１１００℃
である。また、バインダーが十分に除去できる温度はこ
れもバインダーの種類によって異なるが、一般的には６
００℃程度である。
インダーと混合し攪拌してスラリーとする。このスラリ
ーをフランジ型支持体２８の接着面に塗布し、その面に
アルミナ多孔体フイルタエレメントの２６一端を載置し
て接着する。この場合、フランジ型支持体２８の接着面
は、予めグラインダーやサンドブラストなどを用いて加
工するか、或いは化学的にエッチング処理をして粗面に
しておくのが好ましい。フランジ型支持体２８の一面に
多孔体フイルタエレメント２６の一端を載置し乾燥して
接着したのち大気雰囲気中で加熱して脱脂処理をする。
この脱脂処理温度は、接着に使用した高純度アルミナ成
形体が焼結収縮を起こさない温度で、しかも使用したバ
インダーが十分に除去できる温度である。一般に、高純
度アルミナ原料を用いた成形体が焼結収縮を起こす温度
は、原料によっても異なるがほぼ８００℃〜１１００℃
である。また、バインダーが十分に除去できる温度はこ
れもバインダーの種類によって異なるが、一般的には６
００℃程度である。
【００１６】脱脂した後、接合部が多孔質アルミナとな
るように焼結する。この時に大気雰囲気中や水素雰囲気
中で十分に緻密化しない温度で処理し、多孔質アルミナ
とすることも可能であるが、粒子間の結合が弱く強度が
低くなる。接合部分の多孔質アルミナの強度を高くする
ためには、塩化水素雰囲気で熱処理を施すと接着に使用
した高純度アルミナ成形体部分が焼結収縮をほとんど起
こさず、しかも緻密化しないで粒子成長をしてフランジ
型支持体２８と多孔体フイルターエレメント２６を強固
に結合する。塩化水素雰囲気での熱処理温度を７００℃
以上としたのは、７００℃未満では接合部分のアルミナ
粒子の成長が十分でなく良好な接合が出来ないからであ
る。
るように焼結する。この時に大気雰囲気中や水素雰囲気
中で十分に緻密化しない温度で処理し、多孔質アルミナ
とすることも可能であるが、粒子間の結合が弱く強度が
低くなる。接合部分の多孔質アルミナの強度を高くする
ためには、塩化水素雰囲気で熱処理を施すと接着に使用
した高純度アルミナ成形体部分が焼結収縮をほとんど起
こさず、しかも緻密化しないで粒子成長をしてフランジ
型支持体２８と多孔体フイルターエレメント２６を強固
に結合する。塩化水素雰囲気での熱処理温度を７００℃
以上としたのは、７００℃未満では接合部分のアルミナ
粒子の成長が十分でなく良好な接合が出来ないからであ
る。
【００１７】また、１８００℃以下としたのは、１８０
０℃を超える温度で熱処理を施すと接合部分やフランジ
型支持体の部分が塩化水素と反応して、この部分の損傷
が大きくなってフイルターとしての機能を果たさなくな
るからである。塩化水素雰囲気としては、塩化水素の他
に窒素、水素、アルゴン、ヘリウム、ネオンなどを含ん
でもよいが、酸素、水素を含むことはよくない。多孔体
フイルターエレメント２６の他面は上記と全く同じよう
にしてアルミナプレート３０で封止する。上述した方法
で多孔体フイルタエレメント２６とアルミナプレート３
０、フランジ型支持体２９を接合したものをそのまま用
いてもよいし、さらに多孔体部分及び接合部分にフイル
ター機能を具備する膜を形成して用いることも出来る。
０℃を超える温度で熱処理を施すと接合部分やフランジ
型支持体の部分が塩化水素と反応して、この部分の損傷
が大きくなってフイルターとしての機能を果たさなくな
るからである。塩化水素雰囲気としては、塩化水素の他
に窒素、水素、アルゴン、ヘリウム、ネオンなどを含ん
でもよいが、酸素、水素を含むことはよくない。多孔体
フイルターエレメント２６の他面は上記と全く同じよう
にしてアルミナプレート３０で封止する。上述した方法
で多孔体フイルタエレメント２６とアルミナプレート３
０、フランジ型支持体２９を接合したものをそのまま用
いてもよいし、さらに多孔体部分及び接合部分にフイル
ター機能を具備する膜を形成して用いることも出来る。
【００１８】こうしたフイルタエレメント２６に緻密質
アルミナフランジ型支持体２８を接合したものは図１に
示すようにしてそのフランジ型支持体２８を金属製のＯ
リング３１、３２で挟持して、ハウジング後段部２１1
とハウジング前段部２１2で固定する。即ち、フイルタ
エレメント２６のフランジ型支持体２８を金属製Ｏリン
グ３０，３１で挟持したものを、ハウジングの接合部の
内側に設けた固定用の間隙部３３で、ハウジング後段部
２１1とハウジング前段部２１2で固定するものである。
これによって、フイルタエレメント２６はセラミックス
フイルタのハウジング２１の中に気密に固定される。
アルミナフランジ型支持体２８を接合したものは図１に
示すようにしてそのフランジ型支持体２８を金属製のＯ
リング３１、３２で挟持して、ハウジング後段部２１1
とハウジング前段部２１2で固定する。即ち、フイルタ
エレメント２６のフランジ型支持体２８を金属製Ｏリン
グ３０，３１で挟持したものを、ハウジングの接合部の
内側に設けた固定用の間隙部３３で、ハウジング後段部
２１1とハウジング前段部２１2で固定するものである。
これによって、フイルタエレメント２６はセラミックス
フイルタのハウジング２１の中に気密に固定される。
【００１９】ここに用いられるＯリングは金属製で、例
えばニッケル金属で中空のものが用いられる。しかしな
がら、こうした中空のニッケル金属のＯリングを使用し
た場合、使用形態によっては図３に示すように中空Ｏリ
ング４０が潰れてシール性が悪くなる場合がある。こう
した状態を避けるためにＯリングの断面形状に工夫を加
え、図４のようにすることが有効である。
えばニッケル金属で中空のものが用いられる。しかしな
がら、こうした中空のニッケル金属のＯリングを使用し
た場合、使用形態によっては図３に示すように中空Ｏリ
ング４０が潰れてシール性が悪くなる場合がある。こう
した状態を避けるためにＯリングの断面形状に工夫を加
え、図４のようにすることが有効である。
【００２０】即ち、図４に示すようにＯリング５０の断
面形状を扇型とし、その扇型のカナメ側を側２１1，２
１2とし、また扇型の広がった側をアルミナ多孔体のフ
イルタエレメント２６のフランジ型支持体２８側に位置
するようにしたものである。なお、図３及び図４では部
材の符号は図１と同様な符号を用いた。
面形状を扇型とし、その扇型のカナメ側を側２１1，２
１2とし、また扇型の広がった側をアルミナ多孔体のフ
イルタエレメント２６のフランジ型支持体２８側に位置
するようにしたものである。なお、図３及び図４では部
材の符号は図１と同様な符号を用いた。
【００２１】このセラミックスフイルタを用いてガスを
ろ過するには、セラミックスフイルタのガス導入口２３
に接続された図示しないガス導入口２３から導入され
る。このガスはフイルタエレメント26の外側に達する。
この間隙に入ったガスは、次に矢印で示すようにフイル
タエレメント２６の中を通過することによってろ過され
てフイルタエレメント２６の中央部に導かれたのち、フ
イルタエレメント２６の先端中央部からハウジング前段
部２１1に送られ、続いてハウジング前段部２１2のガス
導出口２４から排出されるものである。
ろ過するには、セラミックスフイルタのガス導入口２３
に接続された図示しないガス導入口２３から導入され
る。このガスはフイルタエレメント26の外側に達する。
この間隙に入ったガスは、次に矢印で示すようにフイル
タエレメント２６の中を通過することによってろ過され
てフイルタエレメント２６の中央部に導かれたのち、フ
イルタエレメント２６の先端中央部からハウジング前段
部２１1に送られ、続いてハウジング前段部２１2のガス
導出口２４から排出されるものである。
【００２２】
【実施例】（実施例１）平均粒子径が０．２μｍの高純
度アルミナ粉末１００重量部に、イオン交換水２０重量
部、バインダーとしてポリビンイルアルコール１重量
部、分散剤としてポリアクリル酸アンモニウム０．５重
量部を添加してボールミルで一昼夜混合してスラリーと
した。このスラリーを用いて平均気孔径１０μの高純度
アルミナからなる単層の多孔体フイルターエレメントの
端面に、緻密質アルミナセラミックスのフランジ型支持
体を接着した。また、同じスラリーを用いて多孔体フイ
ルタエレメントの他端面に緻密質アルミナプレートを接
着して封止した。次いでこれを大気雰囲気中で６００℃
で１時間の加熱処理をして脱脂処理をし、さらにこれを
水素雰囲気中で１７５０℃で２時間処理を行って焼結を
し、上記各接着部をアルミナ焼結体で強固に接着した。
このフイルタエレメントをＣｌＦ３雰囲気で３０℃で１
２０分間処理し、その接合部の損傷状況を観察したとこ
ろ変化はみられなかった。また、重量変化を測定したと
ころ重量変化もゼロであった。 （実施例２）実施例１同様な方法でスラリーを作成し、
さらに実施例１と同様の方法で平均気孔径１０μｍの高
純度アルミナからなる単層の多孔体フイルタエレメント
の端面に、緻密質アルミナセラミックスのフランジ型支
持体及び緻密質アルミナプレートを接着した。次いで、
これを大気雰囲気中で６００℃で１時間加熱して脱脂処
理をし、さらにこれを塩化水素雰囲気中で１５００℃で
４時間の処理を行って焼結をし、上記各接着部を多孔質
アルミナ焼結体で強固に接合した。このフイルタエレメ
ントをＣｌＦ３雰囲気で３０℃で１２０分間処理し、そ
の接合部の損傷状況を観察したところ変化はみられなか
った。また、重量変化を測定したところ重量変化もゼロ
であった。
度アルミナ粉末１００重量部に、イオン交換水２０重量
部、バインダーとしてポリビンイルアルコール１重量
部、分散剤としてポリアクリル酸アンモニウム０．５重
量部を添加してボールミルで一昼夜混合してスラリーと
した。このスラリーを用いて平均気孔径１０μの高純度
アルミナからなる単層の多孔体フイルターエレメントの
端面に、緻密質アルミナセラミックスのフランジ型支持
体を接着した。また、同じスラリーを用いて多孔体フイ
ルタエレメントの他端面に緻密質アルミナプレートを接
着して封止した。次いでこれを大気雰囲気中で６００℃
で１時間の加熱処理をして脱脂処理をし、さらにこれを
水素雰囲気中で１７５０℃で２時間処理を行って焼結を
し、上記各接着部をアルミナ焼結体で強固に接着した。
このフイルタエレメントをＣｌＦ３雰囲気で３０℃で１
２０分間処理し、その接合部の損傷状況を観察したとこ
ろ変化はみられなかった。また、重量変化を測定したと
ころ重量変化もゼロであった。 （実施例２）実施例１同様な方法でスラリーを作成し、
さらに実施例１と同様の方法で平均気孔径１０μｍの高
純度アルミナからなる単層の多孔体フイルタエレメント
の端面に、緻密質アルミナセラミックスのフランジ型支
持体及び緻密質アルミナプレートを接着した。次いで、
これを大気雰囲気中で６００℃で１時間加熱して脱脂処
理をし、さらにこれを塩化水素雰囲気中で１５００℃で
４時間の処理を行って焼結をし、上記各接着部を多孔質
アルミナ焼結体で強固に接合した。このフイルタエレメ
ントをＣｌＦ３雰囲気で３０℃で１２０分間処理し、そ
の接合部の損傷状況を観察したところ変化はみられなか
った。また、重量変化を測定したところ重量変化もゼロ
であった。
【００２３】
【発明の効果】以上の通り、この発明によれば合成樹脂
のパッキンを使用していないので、極めて耐熱性の優れ
たセラミックスフイルターを得ることが出来る。さら
に、フイルタエレメントと緻密質セラミックスフランジ
型支持体との接合をセラミックス焼結体で行った場合
は、フイルタエレメント、フイルターエレメントのフラ
ンジ型支持体、さらにはこれらを接合する結合部材まで
も全てセラミックスで構成されるので、これらと金属製
Ｏリングでもって、耐薬品性が極めて優れたセラミック
スフイルタとすることが出来て、如何なる種類のガスの
ろ過に対しても長期で安定して使用することが可能であ
る。
のパッキンを使用していないので、極めて耐熱性の優れ
たセラミックスフイルターを得ることが出来る。さら
に、フイルタエレメントと緻密質セラミックスフランジ
型支持体との接合をセラミックス焼結体で行った場合
は、フイルタエレメント、フイルターエレメントのフラ
ンジ型支持体、さらにはこれらを接合する結合部材まで
も全てセラミックスで構成されるので、これらと金属製
Ｏリングでもって、耐薬品性が極めて優れたセラミック
スフイルタとすることが出来て、如何なる種類のガスの
ろ過に対しても長期で安定して使用することが可能であ
る。
【００２４】また、フイルタエレメントのガス導入側端
部とセラミックスプレートとの接合及び同じフイルタエ
レメントの他端部とセラミックスフランジ型支持体との
接合部を、この部分に高純度セラミックス粉末に溶媒、
分散剤及びバインダーを混合したスラリーを塗布してこ
れらを接合し、乾燥脱脂して塩化水素雰囲気で７００〜
1800℃で加熱してセラミックス焼結体としたので、セラ
ミックス焼結体が殆ど収縮しないで焼結してセラミック
スプレートとフランジ型支持体をフイルタエレメントに
強固に接合することが出来る。また、上記効果は特にセ
ラミックスの材質がアルミナである場合に顕著なもので
あり、この場合特に半導体製造用として有効である。
部とセラミックスプレートとの接合及び同じフイルタエ
レメントの他端部とセラミックスフランジ型支持体との
接合部を、この部分に高純度セラミックス粉末に溶媒、
分散剤及びバインダーを混合したスラリーを塗布してこ
れらを接合し、乾燥脱脂して塩化水素雰囲気で７００〜
1800℃で加熱してセラミックス焼結体としたので、セラ
ミックス焼結体が殆ど収縮しないで焼結してセラミック
スプレートとフランジ型支持体をフイルタエレメントに
強固に接合することが出来る。また、上記効果は特にセ
ラミックスの材質がアルミナである場合に顕著なもので
あり、この場合特に半導体製造用として有効である。
【図１】この発明の１実施例になるセラミックスフイル
タの側断面図。
タの側断面図。
【図２】従来のセラミックスフイルタの側断面図。
【図３】図１に示すセラミックスフイルタのＡに示した
部分の拡大図で、中空Ｏリングが潰れた状態を示した断
面図。
部分の拡大図で、中空Ｏリングが潰れた状態を示した断
面図。
【図４】図１に示すセラミックスフイルタのＡに示した
部分の拡大図で、断面が扇型のＯリングを使用した状態
を示した断面図。
部分の拡大図で、断面が扇型のＯリングを使用した状態
を示した断面図。
２０……セラミックスフイルタ、２１1 ……ハウジング
後端部、２１2 ……ハウジング前端部、２２……ハウジ
ング接合部、２３……ガス導入口、２４……ガス導出
口、２５……空所、２６……フイルタエレメント、２７
……内壁、２８……フランジ型支持体、２９……アルミ
ナ焼結体接合部、３１，３２……Ｏリング、３３。
後端部、２１2 ……ハウジング前端部、２２……ハウジ
ング接合部、２３……ガス導入口、２４……ガス導出
口、２５……空所、２６……フイルタエレメント、２７
……内壁、２８……フランジ型支持体、２９……アルミ
ナ焼結体接合部、３１，３２……Ｏリング、３３。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 市川 浩行 神奈川県秦野市曽屋30番地 東芝セラミッ クス株式会社開発研究所内 (72)発明者 大嶋 一之 神奈川県秦野市曽屋30番地 東芝セラミッ クス株式会社開発研究所内 (72)発明者 岩崎 武士 神奈川県秦野市曽屋30番地 東芝セラミッ クス株式会社開発研究所内
Claims (6)
- 【請求項１】 一端にガス導入口を他端にガス導出口
を、さらに内部中央部にはこのガス導入口から送られる
ガスをろ過するセラミックス多孔体フイルタエレメント
を装填する空所を有し、かつ長手方向で２分割されしか
も段部を設けた接合部で嵌合して結合するようにしたハ
ウジングの空所に、その外周にガスが通過する間隙を残
してセラミックス多孔体フイルタエレメントを装填し、
さらに前記セラミックス多孔体フイルタエレメントのガ
ス導入側の端部を緻密質セラミックスプレートで閉塞す
るとともに、その他端部には緻密質セラミックスフラン
ジ型支持体を接合し、さらにこのフランジ型支持体をハ
ウジングの接合部内側に設けた固定用間隙部で２個の金
属製Ｏリングで挟持して前記フイルタエレメントを前記
ハウジングの空所に固着した高純度セラミックスフイル
タ。 - 【請求項２】 金属製Ｏリングが断面扇型で、その扇型
のカナメ側をハウジング側とし、また扇型の広がった側
をセラミックス多孔体フイルタエレメントのフランジ型
支持体側に位置するようにしたことを特徴とする請求項
１記載の高純度セラミックス質フイルタ。 - 【請求項３】 セラミックス多孔体フイルタエレメント
のガス導入側の端部と緻密質セラミックスプレートとの
接合及び同じフイルタエレメンの他端部と緻密質セラミ
ックスフランジ型支持体との接合部が、いずれも高純度
多孔質セラミックスからなり、接合部を構成する高純度
多孔質セラミックスの気孔径が、少なくともフイルタエ
レメントのフイルタ部分の気孔径とほぼ同等もしくはこ
れより小さいことを特徴とする請求項１記載の高純度セ
ラミックスフイルタ。 - 【請求項４】 上記のセラミックス多孔体フイルタエレ
メント、緻密質セラミックプレート及び緻密質セラミッ
クスフランジ型支持体が、いずれも９９．９重量％以上
のアルミナ組成からなることを特徴とする請求項１ない
し３のいずれかに記載のセラミックスフイルタ。 - 【請求項５】 セラミックス多孔体フイルタエレメント
のガス導入側の端部と緻密質セラミックスプレートとの
接合及び同フイルタエレメンの他端部と緻密質セラミッ
クスフランジ型支持体とのそれぞれの接合を、高純度セ
ラミックス粉末に溶媒、分散剤及びバインダーを混合し
て得たスラリーを前記緻密質セラミックスプレート及び
緻密質セラミックスのフランジ型支持体上のそれぞれに
塗布し、そこにセラミックス多孔体フイルタエレメント
を載置し乾燥してから脱脂し、その後これを塩化水素雰
囲気で７００〜１８００℃で加熱することを特徴とする
高純度セラミックスフイルタエレメントの端面封止方
法。 - 【請求項６】 上記のセラミックス多孔体フイルタエレ
メント、緻密質セラミックスプレート及び緻密質セラミ
ックスフランジ型支持体が、いずれも９９．９重量％以
上のアルミナ組成からなることを特徴とする請求項５記
載の高純度セラミックスフイルタエレメントの端面封止
方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36670497A JP3517104B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 高純度セラミックスフイルタ及びそのフイルタエレメントの端面封止方法 |
| US09/220,348 US6210458B1 (en) | 1997-12-26 | 1998-12-24 | Gas filter module having two-part filter and method of producing the same |
| KR1019980058473A KR100289878B1 (ko) | 1997-12-26 | 1998-12-24 | 가스필터모듈 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36670497A JP3517104B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 高純度セラミックスフイルタ及びそのフイルタエレメントの端面封止方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11188218A true JPH11188218A (ja) | 1999-07-13 |
| JP3517104B2 JP3517104B2 (ja) | 2004-04-05 |
Family
ID=18487455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36670497A Expired - Fee Related JP3517104B2 (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 高純度セラミックスフイルタ及びそのフイルタエレメントの端面封止方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6210458B1 (ja) |
| JP (1) | JP3517104B2 (ja) |
| KR (1) | KR100289878B1 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010065599A (ko) * | 1999-12-30 | 2001-07-11 | 신영주 | 여과필터가 장착된 팽창밸브 |
| JP2003334431A (ja) * | 2002-05-16 | 2003-11-25 | Nippon Seisen Co Ltd | フィルター装置 |
| KR100900091B1 (ko) * | 2008-11-25 | 2009-05-28 | 주식회사 태광에스씨티 | 고청정 라인용 메탈 엘리멘트 및 그를 구비하는 필터 |
| JP2015077567A (ja) * | 2013-10-17 | 2015-04-23 | コバレントマテリアル株式会社 | モジュール |
| JP2016022426A (ja) * | 2014-07-18 | 2016-02-08 | 日本特殊陶業株式会社 | 流体分離装置 |
| JP2017064699A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 株式会社キッツエスシーティー | 高圧用フィルタとこれを用いた水素ステーション |
| JP2018046123A (ja) * | 2016-09-14 | 2018-03-22 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 電子部品装着装置用のカートリッジ |
| WO2018051737A1 (ja) * | 2016-09-14 | 2018-03-22 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 電子部品装着装置および電子部品装着装置用のカートリッジ |
| CN108283847A (zh) * | 2018-04-12 | 2018-07-17 | 成都易态科技有限公司 | 内滤式过滤装置 |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6635114B2 (en) * | 1999-12-17 | 2003-10-21 | Applied Material, Inc. | High temperature filter for CVD apparatus |
| US6716275B1 (en) * | 2001-12-11 | 2004-04-06 | Sandia Corporation | Gas impermeable glaze for sealing a porous ceramic surface |
| EP1587616B1 (en) * | 2003-01-22 | 2013-05-01 | Camfil Ab | Method for manufacture of a filter structure |
| US7429322B2 (en) * | 2003-11-20 | 2008-09-30 | Honda Motor Co., Ltd. | Fuel tank with filters |
| US20050191194A1 (en) * | 2004-02-26 | 2005-09-01 | Falk Theodore J. | Low power electromagnetic pump having internal compliant element |
| US7264644B2 (en) * | 2004-03-26 | 2007-09-04 | Purafil, Inc. | Methods and apparatuses for mounting a filtration housing for solid filtration media |
| US7833299B2 (en) * | 2005-02-03 | 2010-11-16 | Strionair, Inc. | Filters and filter assemblies with bypass seal |
| US7562638B2 (en) * | 2005-12-23 | 2009-07-21 | Lam Research Corporation | Methods and arrangement for implementing highly efficient plasma traps |
| US7554053B2 (en) * | 2005-12-23 | 2009-06-30 | Lam Research Corporation | Corrugated plasma trap arrangement for creating a highly efficient downstream microwave plasma system |
| US7679024B2 (en) * | 2005-12-23 | 2010-03-16 | Lam Research Corporation | Highly efficient gas distribution arrangement for plasma tube of a plasma processing chamber |
| US20080163817A1 (en) * | 2007-01-04 | 2008-07-10 | Oc Oerlikon Balzers Ag | Apparatus for gas handling in vacuum processes |
| KR101113641B1 (ko) * | 2009-05-12 | 2012-02-14 | 기아자동차주식회사 | 고압 수소 충전용 리셉터클 필터 |
| NL2009358A (en) * | 2011-09-23 | 2013-03-26 | Asml Netherlands Bv | Radiation source. |
| FR2996778A1 (fr) * | 2012-10-16 | 2014-04-18 | Air Liquide Medical Systems | Filtre bacteriologique pour ventilateur medical |
| JP2016094712A (ja) * | 2014-11-12 | 2016-05-26 | Toto株式会社 | 衛生洗浄装置 |
| KR101661424B1 (ko) * | 2015-05-12 | 2016-09-29 | (주)보강하이텍 | 연소가스를 포함하는 혼합가스의 선택적 분리막 장치 및 그 제조방법 |
| KR101724886B1 (ko) * | 2015-08-10 | 2017-04-07 | 현대자동차주식회사 | 가스저장용기의 필터장치 및 이의 설치방법 |
| CN105413328B (zh) * | 2015-12-29 | 2018-03-23 | 株洲壹星科技股份有限公司 | 一种风源系统多功能集成式前置过滤器及其过滤方法 |
| KR102308053B1 (ko) * | 2019-12-27 | 2021-10-05 | 나노콤코리아 유한회사 | 첨단산업용 초저차압 가스필터 |
| KR102504917B1 (ko) * | 2020-12-28 | 2023-02-28 | 현담산업 주식회사 | 수소 연료전지 차량용 리셉터클 |
| WO2024091500A1 (en) * | 2022-10-24 | 2024-05-02 | Entegris, Inc. | High pressure filter apparatus with external sleeve and related methods |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61238304A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-23 | Ngk Insulators Ltd | セラミックフィルタの製造方法 |
| JPS62129104A (ja) | 1985-11-28 | 1987-06-11 | Ngk Insulators Ltd | セラミック管状フィルターの製造法 |
| DE8715130U1 (ja) * | 1987-11-13 | 1988-01-28 | Foseco International Ltd., Birmingham, Gb | |
| JPH02172511A (ja) | 1988-12-26 | 1990-07-04 | Ngk Insulators Ltd | 管状セラミックスフィルタおよびその端部封止方法ならびにその端部封止装置 |
| US5089134A (en) * | 1989-12-28 | 1992-02-18 | Toshiba Ceramics Co., Ltd. | Silica glass filter |
| JPH03288504A (ja) | 1990-04-05 | 1991-12-18 | Nippon Cement Co Ltd | フィルターモジュール |
| JP3213759B2 (ja) * | 1991-05-01 | 2001-10-02 | 東芝セラミックス株式会社 | 半導体製造用サイズユニット |
| JP3140091B2 (ja) * | 1991-05-28 | 2001-03-05 | 清原 まさ子 | 全金属製フィルタ |
| KR0177533B1 (ko) * | 1993-02-11 | 1999-03-20 | 길버트 피. 와이너 | 배관용 필터 |
| US5545242A (en) * | 1994-07-19 | 1996-08-13 | Pall Corporation | In-line filter for tubing |
-
1997
- 1997-12-26 JP JP36670497A patent/JP3517104B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-12-24 US US09/220,348 patent/US6210458B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-12-24 KR KR1019980058473A patent/KR100289878B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010065599A (ko) * | 1999-12-30 | 2001-07-11 | 신영주 | 여과필터가 장착된 팽창밸브 |
| JP2003334431A (ja) * | 2002-05-16 | 2003-11-25 | Nippon Seisen Co Ltd | フィルター装置 |
| KR100900091B1 (ko) * | 2008-11-25 | 2009-05-28 | 주식회사 태광에스씨티 | 고청정 라인용 메탈 엘리멘트 및 그를 구비하는 필터 |
| JP2015077567A (ja) * | 2013-10-17 | 2015-04-23 | コバレントマテリアル株式会社 | モジュール |
| JP2016022426A (ja) * | 2014-07-18 | 2016-02-08 | 日本特殊陶業株式会社 | 流体分離装置 |
| JP2017064699A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 株式会社キッツエスシーティー | 高圧用フィルタとこれを用いた水素ステーション |
| JP2018046123A (ja) * | 2016-09-14 | 2018-03-22 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 電子部品装着装置用のカートリッジ |
| WO2018051737A1 (ja) * | 2016-09-14 | 2018-03-22 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 電子部品装着装置および電子部品装着装置用のカートリッジ |
| US10383268B2 (en) | 2016-09-14 | 2019-08-13 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Electronic component installing device and cartridge for electronic component installing device |
| CN108283847A (zh) * | 2018-04-12 | 2018-07-17 | 成都易态科技有限公司 | 内滤式过滤装置 |
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