JP2003334431A

JP2003334431A - フィルター装置

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Publication number: JP2003334431A
Application number: JP2002141922A
Authority: JP
Inventors: Hideomi Ishibe; 英臣石部
Original assignee: Nippon Seisen Co Ltd
Current assignee: Nippon Seisen Co Ltd
Priority date: 2002-05-16
Filing date: 2002-05-16
Publication date: 2003-11-25
Anticipated expiration: 2022-05-16
Also published as: JP4315641B2

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体製造ガス用の濾過などに採用しうる精
密濾過のために好適に採用しうるフィルター装置を提供
する。【解決手段】被処理流体を濾過処理するフィルター部
材と、互いに接合することにより前記フィルター部材を
装着する内腔を形成する容器片からなるハウジングとを
具え、前記フィルター部材は、底部の周縁で立ち上がる
周壁部を有するカップ状をなしかつ少なくとも前記周壁
部を濾過機能を発揮する濾過部とするとともに、前記フ
ィルター部材を、前記濾過部よりも粗大な流路を有する
通気性部を前記底部端面との間に介在させて前記内腔内
かつ２つの容器片の向き合う対向面間に配置し、しかも
前記容器片の前記接合を加熱結合により行うことによる
冷却に伴う収縮によって、フィルター部材を前記対向面
間で強圧して前記濾過部を通らない被処理流体のリーク
を防止することを特徴とするフィルター装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造ガス用
の濾過などに採用しうる精密濾過のために好適に採用し
うるフィルター装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】フィルター装置は、通常、被処理流体を
導入させる導入口と、該導入口に通じ処理した流体を排
出させる排出口とを設けたハウジングの内部に、フィル
ター部材を収納し固定しているが、特に半導体製造ガス
用などのような超高純度の濾過を必要とするフィルター
装置では、用いるフィルター部材は０．０１μｍ以上の
微細粒子を１０^-10個以下とする精度で補足する品質が
必要であって、しかもそれに適合する空孔特性のフィル
ター部材であっても、フィルター装置全体としては、ハ
ウジングへ装着する際の取付けを確実かつ効率よく行う
ことが不可欠となり、その適否はフィルター装置として
の性能、品質及び生産性において大きな影響を及ぼす。

【０００３】このために、本発明者はシート状の濾材を
ハウジング内の取付け面間で押圧しメカニカルシールす
る方法を特許２８１３２７４号公報により、及びロウ付
け、拡散接合など直接加熱によって両者を一体的に結合
することを、特許３２１５５０１号公報、特開平８−１
３２２２６号公報などにより提案している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
メカニカルシール法で用いるフィルター部材が、通常、
シート状の平板濾材であって、その有効濾過面積はその
開口面積に制約され、従って多量処理するものではハウ
ジング自体の径が大きくなりフィルター装置が大型化す
る。

【０００５】また、後者の直接加熱法は、主として、筒
状、乃至カップ状のフィルター部材即ち濾材の場合に採
用されるが、ア）濾材を直接高温状態に加熱する為、濾材が着色した
り、酸化するなど耐食性が低下するとともに、これら部
分を再生する為の後処理が必要になること。イ）ロウ付け法では、溶融したロウ材が毛細管現象によ
って浸透し、濾材の有効空孔を閉塞して濾過面積を減少
させること。ウ）半導体用のプロセスガスが被処理流体のとき、場合
によっては、ロウ材乃至溶接材に悪影響を及ぼすものが
あり、フィルター装置の使用が制限される場合があるこ
と。エ）部品点数を増やすことが多くこのとき部材間の微小
隙間やデッドスペースによって、滞留が生じること。などの解決すべき課題がある。

【０００６】本発明は、生産工程の短縮化によるコスト
ダウン、あるいはリーク発生など欠陥のない確実なフィ
ルター部材の装着を可能とし、前記課題を解決しうるフ
ィルター装置の提供を目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
る為に、本願請求項１に係る発明は、被処理流体を濾過
処理するフィルター部材と、互いに接合することにより
前記フィルター部材を装着する内腔を形成する容器片か
らなるハウジングとを具え、前記フィルター部材は、底
部の周縁で立ち上がる周壁部を有するカップ状をなしか
つ少なくとも前記周壁部を濾過機能を発揮する濾過部と
するとともに、前記フィルター部材を、前記濾過部より
も粗大な流路を有する通気性部を前記底部端面との間に
介在させて前記内腔内かつ容器片の対向面間に配置し、
しかも前記容器片の前記接合を加熱結合により行うこと
による冷却に伴う収縮によって、フィルター部材を前記
対向面間で強圧して前記濾過部を通らない被処理流体の
リークを防止することを特徴とするフィルター装置であ
る。

【０００８】このように、請求項１に係る発明において
は、カップ状のフィルター部材を用いつつフィルター部
材に熱作用を殆ど及ぼすことなくハウジングの内腔に装
着でき、フィルター耐久性、フィルター精度、取付作業
性を向上させうる。

【０００９】請求項２に係る発明は、前記フィルター部
材が、開口側の端面と前記対向面との間にガスケットを
介在させること、請求項３に係る発明は、前記ハウジン
グが、フィルター部材の開口側に位置する容器片の対向
面に設けられ該フィルター部材の開口に通じる一方の導
孔と、前記通気性部側に位置する他の容器片の対向面に
設けられ、前記通気性部で開口する他方の導孔と、前記
内腔の内周面と前記フィルター部材の周壁部との間で形
成される環状流路とを具え、かつ前記通気性部の一部を
前記環状流路に露出することにより、前記他方の導孔と
環状流路とを、前記通気性部を介して連通させたことを
それぞれ特徴事項としている。

【００１０】また請求項４に係る発明は、前記フィルタ
ー部材が、単体では濾過圧に耐え得ない微細濾過層と、
該濾過層を支持する支持層との複合構造体からなること
を特徴とし、かつ請求項５に係る発明は、前記フィルタ
ー部材が、前記周壁部の内周面又は外周面に軸方向に沿
ってのびることにより濾過面積を増大する凹凸部を形成
したこと、及び請求項６に係る発明は、前記通気性部材
が、金属粉末の焼結体からなることを特徴としている。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の一形態を図面
に基づき説明する。図１は、本発明のフィルター装置１
の一実施の形態を例示し、フィルター装置１は、被処理
流体を濾過処理するフィルター部材２と、ハウジング３
と、通気性部６とを具え、又このハウジング３は、互い
に接合することにより前記フィルター部材２を装着する
内腔４を形成する容器片８，９からなる。また、この容
器片８，９は、前記内腔４の軸心と直角にハウジング３
を長手方向にインロー嵌合部１０を有して分割すること
により形成される。なお、ハウジング３は、より多数個
の容器片にも分割できる。

【００１２】前記フィルター部材２は、底部１１に、そ
の周縁で立ち上がることにより一端が開口する周壁部１
２を設けたカップ状をなし、本形態では、周壁部１１は
円筒状をなすとともに、底部１１，周壁部１２は、とも
に濾過機能を発揮する濾過部２ｆとして形成され、これ
により濾過面積の増大を図っている。なお前記周壁部１
１のみを濾過部２ｆとし、底部１０を金属板などの気密
部として形成することもできる。

【００１３】さらにフィルター部材２は、例えば図２、
３に示すように、前記周壁部１１の外周面を、該フィル
ター部材２の軸方向に沿ってのびる山状部１６ａと谷状
部１６ｂとを周方向に交互に繰り返すウエーブ状の凹凸
面１６ｃとし、これにより濾過面積の増大と装置組立て
時の熱収縮に対する長手方向の耐圧強度の向上を図って
いる。なお、内周面を凹凸面とすることも、軸方向に連
続する凹凸に代えて、半球状などの突起状とすることも
できる。

【００１４】又このフィルター部材２は、本発明者が国
際公開Ｗ０９３／０６９１２号公報において提案した、
比較的粗大な空孔の支持体１５を、予め調整した微細粒
子懸濁液中に浸漬して減圧吸引することにより、この支
持体１５の外表面に微細粒子の微細層１６を積層し、か
つ支持体１５は、底板部１５Ａと周壁部１５Ｂとを有す
るカップ体であることにより、前記微細層１６は、前記
底部の外周面に形成される底微細層１６Ａと、周壁部１
６の外周面の側面微細層１６Ｂとからなる。

【００１５】又フィルター部材２が、半導体プロセスガ
ス濾過用である本形態の場合には、前記支持体１５は、
例えば、外径２１ｍｍ、内径１４ｍｍ，長さ３３ｍｍの
有底カップ状のステンレス鋼粉末焼結体とすることがで
き、かつ周壁部１２の外周面の前記凹凸面１６ｃは幅５
ｍｍ，深さ５ｍｍとしている。しかしながら、フィルタ
ー部材２の形状、寸法は外径が６〜３０ｍｍ，内径が２
〜２８ｍｍ，長さが５〜６０ｍｍ程度の範囲で用途、求
められる性能に応じて形状、寸法とともに自在に設定し
うる。

【００１６】又前記支持体１５は、フィルター部材２に
おいて補強材として機能するとともに前記微細層１６を
支持してフィルター部材２を構成する多孔体であり、前
記のようにカップ状としている。この底板部１５Ａと周
壁部１５Ｂとはともに多孔性焼結体からなり、図１〜３
に示す形態では底板部１５Ａと周壁部１５Ｂとはとも一
体のカップ状成形体として形成されている。

【００１７】なおこの底板部１５Ａと周壁部１５Ｂと
は、図４に示すように、別体として成形したのち、電子
ビーム溶接などの適宜の固着手段により一体化すること
によっても形成しうる。

【００１８】さらに支持体１５は、微細層１６のように
濾過のために微細空孔とする必要はないことから、例え
ばステンレス鋼、ニッケルなどの通常の金属アトマイズ
粉末（例えば直径１０〜１００μｍ程度）を焼結した金
属焼結体が用いられ、比較的大きな空孔（空孔精度１０
〜３０μｍ程度）と、高い圧力に耐えうる十分な厚さと
を有し、かつ空孔率を２０〜８０％程度に成形したもの
が好ましく、このように、比較的粗大な空孔と通気性を
備えるとともに、機械的外圧にも耐え得る強度とするの
がよい。このような金属粉末の焼結体では、該フィルタ
ー部材２を強圧する場合においても変形や破断の発生が
なく好ましい。

【００１９】前記微細層１６は、実質的に濾過機能を発
揮する部分であって、前記支持体１５よりも空孔径を小
とするため、使用する粉状体を微細としている。またこ
の金属フィルタ１が半導体製造用のプロセスガスなどの
精密濾過用として使用される場合にあっては、０．０１
μｍ以上、より好ましくは０．００３μｍ以上の大きさ
を対象とする微小パーティクルを１０^-10個以下乃至そ
れ以下とする精度を具えるために、使用する粉状体を選
択する。粉状体として、微小な金属粒子、金属短繊維、
又はその混合体などを用いうる。このような前記フィ
ルター部材２の微細層１６は、単体では濾過圧に耐え得
ないが前記支持体１５で支持させることくにより精密な
濾過層として採用しうることとなる。

【００２０】なお前記凹凸面１６ｃも、周方向に隣り合
う前記幅、即ち周方向ピッチＰを、前記山状部１６ａ間
の谷状部１６ｂの谷底からの山頂までの隆起高さＨの２
〜４倍とするのがよく、例えば、隆起高さＨが過大、即
ち周方向ピッチＰが相対的に過小である場合には、谷底
まで微細層１６により被覆することが困難となる。また
好ましくは、周方向ピッチＰを例えば０．５〜１０mm
（好ましくは１〜８mm程度、さらに好ましくは４〜６mm
程度）とし、かつ隆起高さＨも例えば０．５〜６mm程度
（好ましくは１〜３mm程度）とするのがよく、フィルタ
の使用目的に応じて、また必要となる濾過精度、濾過効
率により適当な範囲を設定する。

【００２１】前記金属粒子としては例えば５μｍ以下、
好ましくは３μｍ以下程度の直径の粉状体を使用するの
がよく、またたとえばステンレス鋼ＳＵＳ３１６Ｌなど
耐食性に優れた材料が好ましい。また微細層１６は、厚
さ０．５ｍｍ、濾過精度０．３μｍ，空孔率５１％の特
性とした、ステンレス鋼短繊維（繊維径３μｍ，アスペ
クト比１〜１０）によって成形している。したがって、
この微細層は単体では濾過圧に耐え得ない非常に薄いも
のであり、濾過時の圧力損失を小さくすることができ
る。

【００２２】前記金属短繊維としては、アスペクト比
（Ｌ／ｄ）を２〜２０程度とする。アスペクト比の平均
値が２〜２０の金属短繊維を含む粉状体により形成した
焼結体では、各短繊維の絡み付きが大きくバインダーの
使用を必要とせず保形でき、形成される空孔も立体的な
三次元空孔となって空孔率を高くすることができる。更
に金属短繊維の直径を例えば１〜３μｍ程度の太さとす
るのがよい。またこうした金属短繊維としては、例えば
特公昭６３−６３６４５号が開示する結晶調整化熱処理
によりえられる切断端部にダレ発生が無いものが好適に
使用できる。

【００２３】前記金属短繊維を用いるときには、例えば
谷底６Ａでの濾過層１６の平均厚さは０．０５〜１mm程
度とし、かつ前記のように、粉状体を分散させた懸濁液
中に、前記支持体１５を浸漬して、例えば０．２〜１kg
／cm²程度の適当な負圧力で約１〜１５秒、例えば５秒
間程度吸引することにより、前記短繊維の微細層１６を
積層成形し、かかる成型品を焼結炉内で温度１０５０℃
程度の無酸化雰囲気中での焼結を行ない、例えば金属短
繊維を三次元的にランダム配向し、０．００３μｍのパ
ーティクルを１０^-11個の精度で濾過でき、しかも圧力
損失を低減した多孔性焼結品であるフィルター部材２を
形成する。

【００２４】なおフィルター部材２は、外周面を凹凸面
としない場合の他、周壁部１２として非円筒状、円錐
形、角錘形など、種々な形状のものとして形成でき、か
つ前記複合構造の濾材を内外逆形態に構成することによ
って、支持体１５の内側に微細層１６を形成することも
できる。さらに、前記２層体の他、１層からなる濾材を
用いることもできるが、ハウジング３への装着時に作用
する押圧力に耐える耐圧強度に耐える必要から、特性に
する為に全体厚さを厚くなるため、濾過特性低下を考慮
することが必要となる。

【００２５】前記ハウジング３は、前記のように、長さ
方向と直角に前記内腔４をインロー嵌合部１０を有して
分割しかつ互いに例えば突き合わせ溶接により接合する
ことにより前記フィルター部材２を装着する内腔４を形
成する容器片８，９からなる。又フィルター装置１は本
形態では、例えば製造ラインにおいてパイプに組込むイ
ンライン型であって、前記容器片８，９は、接合される
ことにより前記内腔４を形成するカップ状の主凹部８
ａ、９ａと、該主凹部８ａ、９ａからそれぞれ反対外向
きにのびかつ接続用の案内部、ネジ部を設けた突出部８
ｂ，９ｂとを同芯に具え、しかも突出部８ｂ，９ｂの外
端には、前記内腔４に導通する導孔８ｃ，９ｃを中心線
上に開口している。

【００２６】又前記主凹部８ａ、９ａは、前記内腔４に
臨み、互いに対向する対向面８ｄ，９ｄを具え、該対向
面８ｄ，９ｄには、三角形のヌスミ部８ｅ，９ｅを介し
て前記導孔８ｃ，９ｃがその中心に開口している。な
お、内腔４の内周面４ａには両側に段差４ｂ，４ｃを介
して短い小径部を形成し、かつ少なくとも、内腔４を含
む流路面には鏡面仕上げが施される。

【００２７】前記通気性部６は、一方の容器片９の前記
対向面９ｄに当接できかつ内腔４の前記段差４ｃの外側
の小径部において嵌着する外径と、嵌着により前記段差
４ｃよりも内方にこえてはみ出すはみ出し部６Ａを形成
しうる厚さとを具える。

【００２８】この通気性部６は、前記フィルター部材２
の微細層１６の接合に伴う変形、濾過性能の低下を抑制
するものであり、前記対向面９ｄとフィルター部材２の
底部１１外表面との間に介在して、フィルター部材２を
緩衝し、これにより、被処理流体が底部１１外表面をも
通過できる。このため、通気性部材６、例えば金属粉末
焼結体からなり、かつ前記底部１１の外表面が接触する
厚さ２〜１０ｍｍ程度の成形体であって、その空孔は前
記濾過部２ｆよりも空孔径を粗とし、特に金属粉末焼結
体では、軟質としてある程度の変形に順応させるととも
に、成形空孔はその全面に亙って極めて均一とし、前記
フィルター部材２との接触部でも滞留などが発生するこ
となく、円滑な濾過処理を可能とする。

【００２９】通気性部６として、通気性部材６を対向面
９ｄに当接する形状（例えば円環状）とすることも、フ
ィルター部材２の底部１１に予め拡散結合などにより固
着させておくこともできる。なお前記フィルター部材２
での支持体１５の内周に微細層１６を形成したときに
は、この支持体１５を通気性部６として機能させ、部品
点数を削減させることもできる。

【００３０】このような、フィルター部材２と、ハウジ
ング３，即ち容器片８，９、通気性部６とは、図１に示
すように、主凹部９ａを上向きとした容器片９の前記対
向面９ｄに通気性部６を載置し、かつフィルター部材２
を、その底部１１の外周面を通気性部６上に当接させて
設置する。

【００３１】さらに本形態では、フィルター部材２の開
口側の端面と、容器部８の対向面８ｄとの間にリング状
のガスケット部材７を介在させて、容器片８を載置す
る。このガスケット部材７により、端面と対向面８ｄと
の間の、前記濾過部２ｆを通らない被処理流体のリーク
発生を防止する。なお、リーク洩れがないときには不要
となる。用いるガスケット部材７としては例えば微細空
孔の多孔体や、ハウジング組立時の押圧によって延性変
形する軟質金属材料などが用いられる。また、例えば、
図５に示すように前記微細層１６を延長してフィルター
部材２の開口側の端面を覆う覆部１６ｄを形成するか、
又は図６に示すように、対向面８ｄをテーパー状に形成
して前記微細層１６に部分的に強圧しリーク漏れを低下
することも考えられる。

【００３２】こうして配置された各部材は、各容器片
８，９をインロー嵌合させ容器片８，９を押圧しつつ、
好ましくは押し縮め後においても小スキマ（０．０５〜
０．２０ｍｍ）を保持してスキマを突き合わせ溶接す
る。溶接方法としては、例えば電子ビーム溶接などあま
り溶融加熱部が広がらない方法が好ましい。

【００３３】このようなインロー嵌合によってずれを防
ぐとともに、押圧しつつ熱溶着することにより、冷却時
の熱収縮によって、前記フィルター部材２及び通気性部
材６を強圧させ、フィルター部材２をハウジング３に強
固に取付けできる。る。

【００３４】このように組み立てることにより、前記ハ
ウジング３は、フィルター部材２の開口側に位置する容
器片８の対向面８ｄに設けられる前記導孔８ｃは該フィ
ルター部材２の開口に通じる流路Ｒ１を形成する。また
フィルター部材２の前記周壁部１２の濾過部２ｆの外周
面は、前記内腔４の内周面４ａとの間で、環状流路Ｒ２
を形成しうる。さらにフィルター部材２の前記通気性部
６側に位置する他の容器片９の対向面９ｄに設けられる
他方の導孔９ｃは、前記通気性部６で開口する流路Ｒ３
を構成する。さらに前記のように通気性部６には、はみ
出し部６Ａを有し、このはみ出し部６Ａが前記環状流路
Ｒ２に露出することにより、前記環状流路Ｒ２は、前記
流路Ｒ３に通気性部６を介して連通している。

【００３５】従って、流路Ｒ１の被処理流体は濾過部２
ｆで濾過されて環状流路Ｒ２に流れ前記のように通気性
部６をへて流路Ｒ３に流出する。なおフィルター部材２
の底部１１を流れる流体は直接通気性部６を介して流路
Ｒ３に流れる。

【００３６】前記通気性部６は、ハウジング溶接時の熱
収縮による押圧に対しても緩衝材として機能でき、濾材
自体の空孔閉塞や破損などの問題を改善できる。しか
も、溶接熱はフィルター部材２には直接影響しない離れ
た部分とすることにより、その熱によるフィルター部材
２の損傷、影響を受けることを防ぎ、商品寿命を向上で
きるとともに、ロウ材を用いず、溶接材も内部には実質
的に侵入しないため、半導体プロセスガスの濾過のため
に用いるときにも、部材腐食のおそれを低減でき、処理
流体が残留したり滞留するなどの問題も解消できる。又
構造簡単でなることから、生産性を高めコストを削減す
る。なお、ガスケット部材７を併用することも、省略す
ることもできる。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によるフィ
ルター装置は、フィルター部材がハウジングに、直接加
熱されることなく強固に固着するものであり、前記課題
を解決しうる。

【００３８】さらに通気性部は、ハウジング溶接時の熱
収縮による押圧に対しても緩衝材として機能でき、濾材
自体の空孔閉塞や破損などの問題を改善できるととも
に、溶接熱はフィルター部材には直接影響しない離れた
部分とすることができて、熱によるフィルター部材の損
傷、影響を受けることを防ぎ、商品寿命を向上できる。
またロウ材を用いず、溶接材も内部には実質的に侵入し
ないため、半導体プロセスガスの濾過のために用いると
きにも、部材腐食のおそれを低減でき、処理流体の残
留、滞留などの問題も解消できる。又構造簡単でなるこ
とから、生産性を高めコストを削減する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態を例示するフィルター装
置の部分断面図である。

【図２】フィルター部材を例示する一部断面側面図であ
る。

【図３】その側面図である。

【図４】フィルター部材の他の例を示す一部断面図であ
る。

【図５】フィルター部材のさらに他の例を示す断面図で
ある。

【図６】フィルター部材の開口端とハウジングの当接の
別の形態を例示する断面図である。

【符号の説明】

２フィルター部材２ｆ濾過部３ハウジング４内腔４ａ内周面６通気性部６Ａはみ出し部７ガスケット部材８，９容器片８ａ，９ａ主凹部８ｂ，９ｂ突出部８ｃ，９ｃ導孔１０インロー嵌合部１１底部１２周壁部１６ａ山状部１６ｂ谷状部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被処理流体を濾過処理するフィルター部材
と、互いに接合することにより前記フィルター部材を装
着する内腔を形成する容器片からなるハウジングとを具
え、前記フィルター部材は、底部の周縁で立ち上がる周壁部
を有するカップ状をなしかつ少なくとも前記周壁部を濾
過機能を発揮する濾過部とするとともに、前記フィルター部材を、前記濾過部よりも粗大な流路を
有する通気性部を前記底部端面との間に介在させて前記
内腔内かつ２つの容器片の向き合う対向面間に配置し、しかも前記容器片の前記接合を加熱結合により行うこと
による冷却に伴う収縮によって、フィルター部材を前記
対向面間で強圧して被処理流体のリークを防止すること
を特徴とするフィルター装置。
【請求項２】前記フィルター部材は、開口側の端面と前
記対向面との間にガスケットを介在させることを特徴と
する請求項１記載のフィルター装置。
【請求項３】前記ハウジングは、フィルター部材の開口
側に位置する容器片の対向面に設けられ該フィルター部
材の開口に通じる一方の導孔と、前記通気性部側に位置
する他の容器片の対向面に設けられ、前記通気性部で開
口する他方の導孔と、前記内腔の内周面と前記フィルタ
ー部材の周壁部との間で形成される環状流路とを具え、
かつ前記通気性部の一部を前記環状流路に露出すること
により、前記他方の導孔と環状流路とを、前記通気性部
を介して連通させたことを特徴とする請求項１又は２記
載のフィルター装置。
【請求項４】前記フィルター部材は、単体では濾過圧に
耐え得ない微細濾過層と、該濾過層を支持する支持層と
の複合構造体からなることを特徴とする請求項１〜３の
いずれかに記載のフィルター装置。
【請求項５】前記フィルター部材は、前記周壁部の内周
面又は外周面に軸方向に沿ってのびることにより濾過面
積を増大する凹凸部を形成したことを特徴とする請求項
１〜４のいずれかに記載のフィルター装置。
【請求項６】前記通気性部材は、金属粉末の焼結体から
なることを特徴とする請求項１〜５のいづれかに記載の
フィルター装置。