JP3140091B2 - 全金属製フィルタ - Google Patents
全金属製フィルタInfo
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- JP3140091B2 JP3140091B2 JP03154016A JP15401691A JP3140091B2 JP 3140091 B2 JP3140091 B2 JP 3140091B2 JP 03154016 A JP03154016 A JP 03154016A JP 15401691 A JP15401691 A JP 15401691A JP 3140091 B2 JP3140091 B2 JP 3140091B2
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- metal
- fluid
- metal filter
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- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造設備
等の高純度ガスを取扱う配管に用いられる全金属製フィ
ルタの改良に関する。
等の高純度ガスを取扱う配管に用いられる全金属製フィ
ルタの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の全金属製フィルタとして
は、図５に示したものが知られている。当該全金属製フ
ィルタ１００は、基本的には、分離可能で流体が通流す
るボディ１０１と、これの内部に配されて流体を濾過す
る有底筒状のエレメント１０２と、ボディ１０１の内部
に設けられてエレメント１０２を弾圧してシールするバ
ネ１０３と、から構成されている。而して，この様なも
のは、全ての構成部品が金属製であるので、樹脂製のも
のに比べて脱ガス等に依る高純度ガスに対する汚染問題
がないと共に、ボディが分離可能でエレメントがバネに
依り弾圧されているだけであるので、エレメントをボデ
ィに溶接したものに比べてエレメントを容易に交換でき
る。ところが、この様なものは、バネを使用しているの
で、バネとエレメントとの間、バネとボディとの間には
微少な隙間ができて液溜りが形成される難点があった。
この為、異なる種類のガスを流す際の置換性が劣ってい
た。
は、図５に示したものが知られている。当該全金属製フ
ィルタ１００は、基本的には、分離可能で流体が通流す
るボディ１０１と、これの内部に配されて流体を濾過す
る有底筒状のエレメント１０２と、ボディ１０１の内部
に設けられてエレメント１０２を弾圧してシールするバ
ネ１０３と、から構成されている。而して，この様なも
のは、全ての構成部品が金属製であるので、樹脂製のも
のに比べて脱ガス等に依る高純度ガスに対する汚染問題
がないと共に、ボディが分離可能でエレメントがバネに
依り弾圧されているだけであるので、エレメントをボデ
ィに溶接したものに比べてエレメントを容易に交換でき
る。ところが、この様なものは、バネを使用しているの
で、バネとエレメントとの間、バネとボディとの間には
微少な隙間ができて液溜りが形成される難点があった。
この為、異なる種類のガスを流す際の置換性が劣ってい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、叙上の問題
点に鑑み、これを解決する為に創案されたもので、その
目的とする処は、液溜りが形成されない様にした全金属
製フィルタを提供するにある。
点に鑑み、これを解決する為に創案されたもので、その
目的とする処は、液溜りが形成されない様にした全金属
製フィルタを提供するにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の全金属製フィル
タは、基本的には、雄螺子が形成された第一ボディと，
第二ボディと，第一ボディの雄螺子に適合する雌螺子が
形成されて第一ボディと第二ボディとを分離可能に取付
けるユニオンナットと，第一ボディと第二ボディとの間
に夫々適合すべく形成された廻止凹部及び廻止凸部とを
備えて流体が通流する金属製のボディと、ボディの内部
に配されて流体を濾過する有底筒状の焼結金属製のエレ
メントと、エレメントに設けられてボディの第一ボディ
と第二ボディとに依り挾持されてシールされる金属製の
フランジと、から構成した事に特徴が存する。
タは、基本的には、雄螺子が形成された第一ボディと，
第二ボディと，第一ボディの雄螺子に適合する雌螺子が
形成されて第一ボディと第二ボディとを分離可能に取付
けるユニオンナットと，第一ボディと第二ボディとの間
に夫々適合すべく形成された廻止凹部及び廻止凸部とを
備えて流体が通流する金属製のボディと、ボディの内部
に配されて流体を濾過する有底筒状の焼結金属製のエレ
メントと、エレメントに設けられてボディの第一ボディ
と第二ボディとに依り挾持されてシールされる金属製の
フランジと、から構成した事に特徴が存する。
【０００５】
【作用】フランジは、有底筒状のエレメントに設けられ
る。フランジが設けられたエレメントは、分離可能なボ
ディの内部に収容される。ボディの内部にエレメントが
収容されると、ボディが合体される。ボディが合体され
ると、フランジがボディに挾持されてシールされる。ボ
ディを通流する流体は、途中に設けられたエレメントに
依り濾過される。エレメントは、フランジを介して分離
可能なボディに挾持されているので、容易に交換する事
ができる。ボディの内部には、バネがないので、液溜り
が形成される事がない。
る。フランジが設けられたエレメントは、分離可能なボ
ディの内部に収容される。ボディの内部にエレメントが
収容されると、ボディが合体される。ボディが合体され
ると、フランジがボディに挾持されてシールされる。ボ
ディを通流する流体は、途中に設けられたエレメントに
依り濾過される。エレメントは、フランジを介して分離
可能なボディに挾持されているので、容易に交換する事
ができる。ボディの内部には、バネがないので、液溜り
が形成される事がない。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面に基づいて説
明する。図１は、本発明の第一実施例に係る全金属製フ
ィルタを示す縦断側面図。図２は、要部斜視図である。
全金属製フィルタ１は、ボディ２、エレメント３、フラ
ンジ４とからその主要部が構成されている。ボディ２
は、分離可能で流体が通流するもので、この例では、ス
テンレス等の金属製で略筒状を呈し、図１に於ける左側
の第一ボディ５と、右側の第二ボディ６と、これらを分
離可能に取付けるユニオンナット７とから成っている。
第一ボディ５は、内部には左側から流入路８、テーパ孔
９、エレメント収容腔１０、フランジ収容腔１１、廻止
凹部１２が形成してあると共に、外部には左側から角形
部１３、雄螺子１４が形成してある。第二ボディ６は、
内部には左側からテーパ孔１５、流出路１６が形成して
あると共に、外部には左側から廻止凹部１２に適合する
廻止凸部１７、段部１８が形成してある。ユニオンナッ
ト７は、内部には左側から雄螺子１４に適合する雌螺子
１９、段部１８に適合する内鍔部２０が形成してあると
共に、外部には角形部２１が形成してある。エレメント
３は、ボディ２の内部に配されて流体を濾過する有底筒
状のもので、この例では、絶対口径が２μｍ以下の均一
なポアサイズを有して流体が通過するステンレス等の焼
結金属製で、周壁２２とこれの左側を塞ぐ底壁２３とを
備えて右側が開放されている。フランジ４は、エレメン
ト３に設けられてボディ２に依り挾持されてシールされ
るもので、この例では、流体が通過しないステンレス等
の金属製で環状を呈し、エレメント３の周壁２２の右側
つまり開放側に溶接に依り固定してあり、ガスケット２
４を介して第一ボディ５と第二ボディ６に依り挾持され
る。ガスケット２４は、ステンレス等の金属製で環状を
呈している。次に、この様な構成に基づいて作用を述解
する。フランジ４は、エレメント３の周壁２２の開放側
に溶接に依り固定して設けられる。フランジ４が設けら
れたエレメント３は、エレメント３がエレメント収容腔
１０に、フランジ４がフランジ収容腔１１に夫々位置す
べく第一ボディ５の内部に収容される。この時、フラン
ジ４の両側には、ガスケット２４が配される。エレメン
ト３が第一ボディ５の内部に収容されると、第一ボディ
５と第二ボディ６が嵌合されると共に、第一ボディ５と
ユニオンナット７が螺合されてこれらつまりボディ２が
合体される。この時、第一ボディ５と第二ボディ６と
は、廻止凹部１２と廻止凸部１７とが掛合しているの
で、相対的な廻止めが行われる。ボディ２が合体される
と、フランジ４がガスケット２４を介して第一ボディ５
と第二ボディ６に依り挾持されてシールされる。この
時、第一ボディ５と第二ボディ６とは、相対的な廻止め
が行われているので、フランジ４とガスケット２４が捻
じられる事がない。ボディ２の流入路８から流出路１６
へ通流する流体は、途中に設けられたエレメント３に依
り濾過される。エレメント３は、フランジ４を介して分
離可能なボディ２に依り挾持されているので、容易に交
換する事ができる。ボディ２の内部には、バネがないの
で、液溜りが形成される事がない。
明する。図１は、本発明の第一実施例に係る全金属製フ
ィルタを示す縦断側面図。図２は、要部斜視図である。
全金属製フィルタ１は、ボディ２、エレメント３、フラ
ンジ４とからその主要部が構成されている。ボディ２
は、分離可能で流体が通流するもので、この例では、ス
テンレス等の金属製で略筒状を呈し、図１に於ける左側
の第一ボディ５と、右側の第二ボディ６と、これらを分
離可能に取付けるユニオンナット７とから成っている。
第一ボディ５は、内部には左側から流入路８、テーパ孔
９、エレメント収容腔１０、フランジ収容腔１１、廻止
凹部１２が形成してあると共に、外部には左側から角形
部１３、雄螺子１４が形成してある。第二ボディ６は、
内部には左側からテーパ孔１５、流出路１６が形成して
あると共に、外部には左側から廻止凹部１２に適合する
廻止凸部１７、段部１８が形成してある。ユニオンナッ
ト７は、内部には左側から雄螺子１４に適合する雌螺子
１９、段部１８に適合する内鍔部２０が形成してあると
共に、外部には角形部２１が形成してある。エレメント
３は、ボディ２の内部に配されて流体を濾過する有底筒
状のもので、この例では、絶対口径が２μｍ以下の均一
なポアサイズを有して流体が通過するステンレス等の焼
結金属製で、周壁２２とこれの左側を塞ぐ底壁２３とを
備えて右側が開放されている。フランジ４は、エレメン
ト３に設けられてボディ２に依り挾持されてシールされ
るもので、この例では、流体が通過しないステンレス等
の金属製で環状を呈し、エレメント３の周壁２２の右側
つまり開放側に溶接に依り固定してあり、ガスケット２
４を介して第一ボディ５と第二ボディ６に依り挾持され
る。ガスケット２４は、ステンレス等の金属製で環状を
呈している。次に、この様な構成に基づいて作用を述解
する。フランジ４は、エレメント３の周壁２２の開放側
に溶接に依り固定して設けられる。フランジ４が設けら
れたエレメント３は、エレメント３がエレメント収容腔
１０に、フランジ４がフランジ収容腔１１に夫々位置す
べく第一ボディ５の内部に収容される。この時、フラン
ジ４の両側には、ガスケット２４が配される。エレメン
ト３が第一ボディ５の内部に収容されると、第一ボディ
５と第二ボディ６が嵌合されると共に、第一ボディ５と
ユニオンナット７が螺合されてこれらつまりボディ２が
合体される。この時、第一ボディ５と第二ボディ６と
は、廻止凹部１２と廻止凸部１７とが掛合しているの
で、相対的な廻止めが行われる。ボディ２が合体される
と、フランジ４がガスケット２４を介して第一ボディ５
と第二ボディ６に依り挾持されてシールされる。この
時、第一ボディ５と第二ボディ６とは、相対的な廻止め
が行われているので、フランジ４とガスケット２４が捻
じられる事がない。ボディ２の流入路８から流出路１６
へ通流する流体は、途中に設けられたエレメント３に依
り濾過される。エレメント３は、フランジ４を介して分
離可能なボディ２に依り挾持されているので、容易に交
換する事ができる。ボディ２の内部には、バネがないの
で、液溜りが形成される事がない。
【０００７】次に、本発明の第二実施例を図３に基づい
て説明する。第二実施例は、ガスケット２４を省略した
点、第一ボディ５と第二ボディ６とにフランジ４との挾
持圧を増大する凸周部２５を形成した点、が第一実施例
と異なる。この様にすれば、部品点数が少なくなり、そ
れだけフランジ４を設けたエレメント３の交換が容易に
行える。
て説明する。第二実施例は、ガスケット２４を省略した
点、第一ボディ５と第二ボディ６とにフランジ４との挾
持圧を増大する凸周部２５を形成した点、が第一実施例
と異なる。この様にすれば、部品点数が少なくなり、そ
れだけフランジ４を設けたエレメント３の交換が容易に
行える。
【０００８】次に、本発明の第三実施例を図４に基づい
て説明する。第三実施例は、フランジ４のボディ２に挾
持される外周部を流体が通過しないステンレス等の金属
製にすると共に、フランジ４の残りとエレメント３とを
流体が通過するステンレス等の焼結金属製にしてこれら
を一体的に形成した点、が第一実施例と異なる。この様
にすれば、フランジ４の一部でも流体の濾過が行われる
ので、濾過面積が増大する。
て説明する。第三実施例は、フランジ４のボディ２に挾
持される外周部を流体が通過しないステンレス等の金属
製にすると共に、フランジ４の残りとエレメント３とを
流体が通過するステンレス等の焼結金属製にしてこれら
を一体的に形成した点、が第一実施例と異なる。この様
にすれば、フランジ４の一部でも流体の濾過が行われる
ので、濾過面積が増大する。
【０００９】尚、第一ボディ５と第二ボディ６は、先の
実施例では、第一ボディ５に廻止凹部１２を、第二ボデ
ィ６に廻止凸部１７を夫々設けたが、これに限らず、例
えばこれらを逆にしても良い。
実施例では、第一ボディ５に廻止凹部１２を、第二ボデ
ィ６に廻止凸部１７を夫々設けたが、これに限らず、例
えばこれらを逆にしても良い。
【００１０】
【発明の効果】以上、既述した如く、本発明に依れば、
次の様な優れた効果を奏する事ができる。 （１） ボディ、エレメント、フランジとで構成し、と
りわけエレメントにフランジを設けてこれをボディに依
り挾持する様にしたので、バネが不要になり、液溜りが
形成される事がない。この為、異なる種類のガスを流す
際の置換性に優れる。又、バネが不要であるので、内面
を清浄にする為の特殊表面処理が施し易い。 （２） エレメントとフランジとを溶接した場合には、
既存のエレメントを利用できる。 （３） フランジの外周部を流体が通過しないステンレ
ス等の金属製にすると共に、フランジの残りとエレメン
トとを流体が通過するステンレス等の焼結金属製にして
これらを一体的に形成した場合には、フランジの一部も
濾過作用に寄与させる事ができ、濾過面積が増大する。（４） ボディは、雄螺子が形成された第一ボディと，
第二ボディと，第一ボディの雄螺子に適合する雌螺子が
形成されて第一ボディと第二ボディとを分離可能に取付
けるユニオンナット７とを備えているので、螺子部で発
生する金属粉等の微細な固体粉が内部のガス中に混入す
る惧れが全くないと共に、それでいてエレメントを容易
に交換できる。 （５） ボディは、第一ボディと第二ボディとの間に夫
々適合すべく形成された廻止凹部及び廻止凸部とを備え
ているので、第一ボディと第二ボディとが相対的な廻止
めが行なわれてフランジが捻られる事がない。その結
果、フランジの損傷を防止する事ができる。 （６） エレメントは、焼結金属製であるので、単体と
して構成でき、それだけその構造を簡単化できてコスト
の低減を図る事ができる。
次の様な優れた効果を奏する事ができる。 （１） ボディ、エレメント、フランジとで構成し、と
りわけエレメントにフランジを設けてこれをボディに依
り挾持する様にしたので、バネが不要になり、液溜りが
形成される事がない。この為、異なる種類のガスを流す
際の置換性に優れる。又、バネが不要であるので、内面
を清浄にする為の特殊表面処理が施し易い。 （２） エレメントとフランジとを溶接した場合には、
既存のエレメントを利用できる。 （３） フランジの外周部を流体が通過しないステンレ
ス等の金属製にすると共に、フランジの残りとエレメン
トとを流体が通過するステンレス等の焼結金属製にして
これらを一体的に形成した場合には、フランジの一部も
濾過作用に寄与させる事ができ、濾過面積が増大する。（４） ボディは、雄螺子が形成された第一ボディと，
第二ボディと，第一ボディの雄螺子に適合する雌螺子が
形成されて第一ボディと第二ボディとを分離可能に取付
けるユニオンナット７とを備えているので、螺子部で発
生する金属粉等の微細な固体粉が内部のガス中に混入す
る惧れが全くないと共に、それでいてエレメントを容易
に交換できる。 （５） ボディは、第一ボディと第二ボディとの間に夫
々適合すべく形成された廻止凹部及び廻止凸部とを備え
ているので、第一ボディと第二ボディとが相対的な廻止
めが行なわれてフランジが捻られる事がない。その結
果、フランジの損傷を防止する事ができる。 （６） エレメントは、焼結金属製であるので、単体と
して構成でき、それだけその構造を簡単化できてコスト
の低減を図る事ができる。
【図１】本発明の第一実施例に係る全金属製フィルタを
示す縦断側面図。
示す縦断側面図。
【図２】図１の要部斜視図。
【図３】本発明の第二実施例に係る全金属製フィルタを
示す要部拡大縦断側面図。
示す要部拡大縦断側面図。
【図４】本発明の第三実施例に係る全金属製フィルタを
示す要部縦断側面図。
示す要部縦断側面図。
【図５】従来の全金属製フィルタを示す要部拡大縦断側
面図。
面図。
１ 全金属製フィルタ ２ ボディ ３ エレメント ４ フランジ
Claims (1)
- 【請求項１】 雄螺子が形成された第一ボディと，第二
ボディと，第一ボディの雄螺子に適合する雌螺子が形成
されて第一ボディと第二ボディとを分離可能に取付ける
ユニオンナットと，第一ボディと第二ボディとの間に夫
々適合すべく形成された廻止凹部及び廻止凸部とを備え
て流体が通流する金属製のボディと、ボディの内部に配
されて流体を濾過する有底筒状の焼結金属製のエレメン
トと、エレメントに設けられてボディの第一ボディと第
二ボディとに依り挾持されてシールされる金属製のフラ
ンジと、から構成した事を特徴とする全金属製フィル
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03154016A JP3140091B2 (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 全金属製フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03154016A JP3140091B2 (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 全金属製フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04349912A JPH04349912A (ja) | 1992-12-04 |
| JP3140091B2 true JP3140091B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=15575070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03154016A Expired - Fee Related JP3140091B2 (ja) | 1991-05-28 | 1991-05-28 | 全金属製フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3140091B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3517104B2 (ja) * | 1997-12-26 | 2004-04-05 | 東芝セラミックス株式会社 | 高純度セラミックスフイルタ及びそのフイルタエレメントの端面封止方法 |
| JP3468282B2 (ja) * | 1999-02-09 | 2003-11-17 | 株式会社ジェイ・セブン | 医療器具用ガスフィルター |
| JP6517040B2 (ja) * | 2015-02-24 | 2019-05-22 | 株式会社キッツエスシーティー | 高圧用フィルタ装置とこれを用いた水素ステーション |
-
1991
- 1991-05-28 JP JP03154016A patent/JP3140091B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04349912A (ja) | 1992-12-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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