JPH11170152A - ワイヤソー用グルーブローラの緩み止め構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】グルーブローラをスピンドルに締結するための
締結用ボルトの緩みを確実に防止することができるワイ
ヤソー用グルーブローラの緩み止め構造を提供する。 【解決手段】本発明は、グルーブローラ１８と一対のス
ピンドル５４、５６とを締結用ボルト４６で締結した
後、締結用ボルト４６のヘッド部７８をキャップ８２で
覆い、このキャップ８２を一方のスピンドル５６に緩止
用ボルト９０で締結し、ヘッド部７８を一方のスピンド
ル５６とキャップ８２とで締め付けることによりヘッド
部７８に軸力を与えて締結用ボルト４６の緩みを防止す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソー用グルー
ブローラの緩み止め構造に係り、特にシリコン、ガラ
ス、セラミック等の脆性材料を多数のウェーハに切断す
るワイヤソー用グルーブローラの緩み止め構造に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】シリコンインゴットをウェーハに切断す
るワイヤソーは、ワイヤを複数個のグルーブローラに巻
き掛けてグルーブローラ間にワイヤ列を形成し、その走
行するワイヤ列に前記インゴットを押しつけることによ
り、一度の切断動作で多数枚のウェーハに切断するもの
である。

【０００３】図４は、従来のグルーブローラ１の取付構
造を示す断面図である。同図に示すグルーブローラ１
は、その両端部が一対のスピンドル２、３で挟み込ま
れ、そして、締結用ボルト４で一対のスピンドル２、３
に締結されている。前記締結用ボルト４は、図４上右側
のスピンドル３とグルーブローラ１とに形成されたボル
ト挿入孔５、６を介して挿入され、そして、図４上左側
のスピンドル２に形成されたねじ穴７にねじ込まれるこ
とにより、その軸力でグルーブローラ１を一対のスピン
ドル２、３に締結している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のグルーブローラ取付構造では、グルーブローラ１が
大きな慣性力を有しているのにもかかわらず、ただ１本
の締結用ボルト４のみで取り付けているので、グルーブ
ローラ１の反転時（慣性力が最大となる時）に締結用ボ
ルトが緩むという虞がある。

【０００５】前記締結用ボルトが緩むと、グルーブロー
ラ１にガタが生じてワイヤの位置精度が低下するので、
ウェーハの切断精度が悪化するという欠点がある。本発
明はこのような事情に鑑みてなされたもので、締結用ボ
ルトの緩みを確実に防止することができるワイヤソー用
グルーブローラの緩み止め構造を提供することを目的と
する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワイヤが巻き掛けられる多数の溝が形成
されたグルーブローラと一対のスピンドルとを備え、グ
ルーブローラの両端部を一対のスピンドルで挟み込むと
共に、グルーブローラと一方のスピンドルとに形成され
たボルト挿入孔を介して締結用ボルトを挿入し、該締結
用ボルトを他方のスピンドルに形成されたねじ穴にねじ
込むことにより、グルーブローラを一対のスピンドルに
締結したワイヤソー用グルーブローラにおいて、前記締
結用ボルトのヘッド部を覆う被覆部材を設けると共に、
該被覆部材を前記一方のスピンドルに緩止用ボルトで締
結し、該一方のスピンドルと被覆部材とで前記ヘッド部
を締め付けることにより締結用ボルトの緩みを防止した
ことを特徴とする。

【０００７】本発明によれば、グルーブローラと一対の
スピンドルとを締結用ボルトで締結した後、締結用ボル
トのヘッド部を被覆部材で覆い、この被覆部材を一方の
スピンドルに緩止用ボルトで締結し、ヘッド部を一方の
スピンドルと被覆部材とで締め付けることによりヘッド
部に軸力を与えて締結用ボルトの緩みを防止した。これ
により、本発明は、締結用ボルトの緩みを確実に防止す
ることができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソー用グルーブローラの緩み止め構造の好まし
い実施の形態について詳説する。はじめに本発明に係る
グルーブローラの緩み止め構造が適用されたワイヤソー
を図１を参照して説明する。同図に示すワイヤソー１０
は、図１上二点鎖線で示す本体１１内にワイヤリール１
２が設置されている。このワイヤリール１２には、所定
長さのワイヤ１４が巻回されており、このワイヤ１４
は、ガイドローラ１６、１６、…で形成されるワイヤ走
行路を通過して３本の溝付きローラ１８、１８、１８に
巻き掛けられることにより、上部２つの溝付ローラ１
８、１８間に水平なワイヤ列２０が形成される。ワイヤ
列２０を形成したワイヤ１４は、前記ワイヤ列２０を挟
んで左右対称に形成されている他方側のワイヤ走行路を
通過して図示しないワイヤリールに巻き取られる。

【０００９】前記ワイヤ列２０の両側に形成されるワイ
ヤ走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、及びダン
サローラ２４等が配設されており（一方側のみ図示）、
前記ワイヤ案内装置２２によってワイヤ１４は、ワイヤ
リール１２から一定ピッチでガイドされて送り出され
る。また、送り出されたワイヤ１４は、走行中に前記ダ
ンサローラ２４によって一定の張力が付与され、これに
よって、ワイヤ列２０を形成する各ワイヤ１４に切断抵
抗に対抗する張力が付与される。

【００１０】前記一対のワイヤリール１２及び３本のう
ち１本の溝付ローラ１８には、それぞれモータ（図示せ
ず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、これらのモ
ータを駆動することにより、前記ワイヤリール１２間を
高速走行する。前記溝付ローラ１８の上方には、該ワイ
ヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテ
ーブル２８が設置されており、インゴット３０は、この
ワークフィードテーブル２８の下部に保持される。

【００１１】以上のように構成されたワイヤソー１０に
おいて、インゴット３０は次のように切断される。ま
ず、インゴット３０をワークフィードテーブル２８に取
り付け、ワークフィードテーブル２８をワイヤ列２０に
向けて下降させる。そして、そのインゴット３０を高速
走行するワイヤ列２０に押し当てる。この際、前記ワイ
ヤ列２０には、スラリタンク３２から図示しないノズル
を介してスラリが供給され、インゴット３０は、このス
ラリ中に含有される砥粒のラッピング作用で多数枚のウ
ェーハに切断される。以上がワイヤソー１０の構成であ
る。

【００１２】次に、このワイヤソー１０に適用される本
発明に係るグルーブローラの緩み止め構造の実施の形態
について説明する。まず、グルーブローラ１８について
説明すると、グルーブローラ１８は図２に示すように、
ローラ本体３４、及び溝形成部材３６を主な構成として
いる。前記ローラ本体３４は、中空棒状に形成されてお
り、その両端部に円錐台形の雄テーパブロック３８、４
０が形成されている。そして、その中空部（ボルト挿通
孔）４２に後述する締結用ボルト４６が挿通される。

【００１３】一方、溝形成部材３６は、ウレタン製で筒
状に形成されると共に前記ローラ本体３４の外周に接着
され、その表面に多数の溝４８、４８…が一定ピッチで
形成されている。これらの溝４８、４８…に図１に示す
ワイヤ１４を巻き掛けることにより、ワイヤ列２０が形
成される。次に、前記グルーブローラ１８の取付構造に
ついて説明すると、その構造は図２に示すように一対の
スピンドルユニット５０、５２、及び締結用ボルト４６
を主な構成としている。前記一対のスピンドルユニット
５０、５２は、スピンドル５４、５６を有しており、こ
れらのスピンドル５４、５６はベアリング５８、６０を
介して外筒６２、６４に回動自在に支持されている。ま
た、各スピンドル５４、５６の先端部には雌テーパ６
６、６８が形成され、これらの雌テーパ６６、６８は、
締結時にそれぞれ前記グルーブローラ１８の雄テーパブ
ロック３８、４０と嵌合される。

【００１４】前記外筒６２、６４は支持フレーム７０、
７２に固定され、支持フレーム７０、７２は、図１に示
したワイヤソー１０の本体フレーム１１に固定されてい
る。この支持フレーム７０、７２によって図２に示した
一対のスピンドルユニット５０、５２が所定の間隔をも
って同軸上に支持されている。なお、図２上右側のスピ
ンドルユニット５２は、図示しないリニア（直動）ガイ
ドに支持されており、このリニアガイドによって軸線に
沿ってスライドすることができる。

【００１５】前記締結用ボルト４６は、図２上右側のス
ピンドル５６の軸心部に形成されたボルト挿通孔７４、
及びグルーブローラ１８に形成されたボルト挿通孔４２
を介して挿通された後、図２上左側のスピンドル５４の
軸心部に形成されたねじ穴７６にねじ込まれる。締結用
ボルト４６をねじ込んでいくと、可動側のスピンドルユ
ニット５２は、締結用ボルト４６のヘッド部７８でスピ
ンドル５６が押されることにより、固定側のスピンドル
ユニット５０に向かって移動する。そして、前記グルー
ブローラ１８の雄テーパブロック３８、４０がスピンド
ル５４、５６の雌テーパ６６、６８に嵌合し、グルーブ
ローラ１８がスピンドルユニット５０、５２で挟み込ま
れた後、締結用ボルト４６の軸力でグルーブローラ１８
がスピンドルユニット５０、５２に締結される。

【００１６】次に、締結用ボルト４６の緩み止め構造に
ついて説明する。図３に示すように締結用ボルト４６の
ヘッド部７８は、座金８０とキャップ（被覆部材）８２
とで挟み込まれた状態でスピンドル５６に設けられる。
前記座金８０は、締結用ボルト４６を挿入できるように
筒状に形成されている。また、座金８０は、締結用ボル
ト４６の挿入前にスピンドル５６の端面に形成されたピ
ン穴８３、８３…にピン８４を介して取り付けられる。
前記座金８０は、これらのピン８４によってスピンドル
５６に対し回り止めされた状態で取り付けられる。前記
ピン８４は、座金８０の開口部８１中心を中心とした同
心円状に植設されている。また、座金８０には、ねじ穴
８６、８６…が形成されている。このねじ穴８６も前記
ピン８４と同様に開口部８１中心を中心とした同心円状
に等間隔で４箇所形成されている。

【００１７】このように座金８０がスピンドル５６に取
り付けられた後、前記締結用ボルト４６が座金８０の開
口部８１を介してスピンドル５６のボルト挿通孔７４に
挿入される。そして、締結用ボルト４６は、ヘッド部７
８に形成された図上点線で示す六角穴７９に図示しない
六角レンチが嵌合され、この六角レンチを回すことによ
りねじ込まれる。この時の軸力は、ヘッド部７８の図上
左端面７８Ａから座金８０を介してスピンドル５６に伝
達される。

【００１８】一方、キャップ８２は、前記ヘッド部７８
の図上右端面７８Ｂを覆う大きさに形成されると共に、
その中央部にヘッド部７８の六角穴７９を露出するため
の開口部８８が形成されている。また、キャップ８２に
は、ボルト挿入孔８２Ａ、８２Ａ…が形成されている。
これらのボルト挿入孔８２Ａは、前記座金８０側のねじ
穴８６と一致する位置にねじ穴８６と同数形成されてい
る。したがって、これらのボルト挿入孔８２Ａから緩止
用ボルト９０を挿入してねじ込むと、座金８０とキャッ
プ８２とが締結される。これにより、ヘッド部７８は、
座金８０とキャップ８２とで締め付けられる。よって、
締結用ボルト４６は、座金８０とキャップ８２との間で
生じた軸力で緩み止めされる。以上が、締結用ボルト４
６の緩み止め構造である。

【００１９】したがって、本実施の形態の緩み止め構造
によれば、締結用ボルト４６の緩みを確実に防止するこ
とができる。なお、本実施の形態では、座金８０とキャ
ップ８２とで締結用ボルト４６のヘッド部７８を締め付
けるようにしたが、これに限られるものではなく、座金
８０を取り除いて、スピンドル５６とキャップ８２とで
ヘッド部７８を締め付けても良い。

【００２０】ところで、前記キャップ８２の外側には、
防塵カバー９２が取り付けられている。この防塵カバー
９２は、ワイヤソー１０の運転時に飛散するスラリーや
切削塵等からキャップ８２を保護するものであり、その
取付構造の一例として、外筒６４にボルト９４で固定さ
れたリング９６にボルト９８で固定されている。また、
防塵カバー９２には把手９３が設けられ、この把手９３
を利用して防塵カバー９２がリング９６に対して着脱さ
れる。防塵カバー９２の外周部には、外カバー１００が
設けられる。この外カバー１００は図２に示すように、
支持フレーム７２に取り付けられると共に、図３に示す
ように開口部１０２が形成され、この開口部１０２を介
して前記防塵カバー９２がリング９６に取り付けられ
る。

【００２１】グルーブローラ１８をメンテナンスする時
や交換する時には、防塵カバー９２を取り外した後、キ
ャップ８２を取り外して締結用ボルト４６を緩め、締結
用ボルト４６をグルーブローラ１８から引き抜く。これ
によって、グルーブローラ１８を一対のスピンドルユニ
ット５０、５２から取り外すことができるので、グルー
ブローラ１８のメンテナンス、交換を容易に行うことが
できる。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るワイヤ
ソー用グルーブローラの緩み止め構造によれば、グルー
ブローラと一対のスピンドルとを締結用ボルトで締結し
た後、締結用ボルトのヘッド部を被覆部材で覆い、この
被覆部材を一方のスピンドルに緩止用ボルトで締結し、
ヘッド部を一方のスピンドルと被覆部材とで締め付けた
ので、締結用ボルトの緩みを確実に防止することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】ワイヤソーの全体構成を示す透視図

【図２】本発明に係るグルーブローラの緩み止め構造が
適用されたグルーブローラ取付構造を示す断面図

【図３】本発明に係るグルーブローラの緩み止め構造の
要部を示す断面図

【図４】従来のグルーブローラ取付構造を示す断面図

【符号の説明】

１０…ワイヤソー １４…ワイヤ １８…グルーブローラ ２０…ワイヤ列 ３０…インゴット ４６…締結用ボルト ５４、５６…スピンドル ７８…締結用ボルトのヘッド部 ８０…座金 ８２…キャップ ９０…緩止用ボルト

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ワイヤが巻き掛けられる多数の溝が形成さ
   れたグルーブローラと一対のスピンドルとを備え、グル
   ーブローラの両端部を一対のスピンドルで挟み込むと共
   に、グルーブローラと一方のスピンドルとに形成された
   ボルト挿入孔を介して締結用ボルトを挿入し、該締結用
   ボルトを他方のスピンドルに形成されたねじ穴にねじ込
   むことにより、グルーブローラを一対のスピンドルに締
   結したワイヤソー用グルーブローラにおいて、 前記締結用ボルトのヘッド部を覆う被覆部材を設けると
   共に、該被覆部材を前記一方のスピンドルに緩止用ボル
   トで締結し、該一方のスピンドルと被覆部材とで前記ヘ
   ッド部を締め付けることにより締結用ボルトの緩みを防
   止したことを特徴とするワイヤソー用グルーブローラの
   緩み止め構造。