JPH0839419A - ワイヤーソーのワイヤーリール取付構造 - Google Patents
ワイヤーソーのワイヤーリール取付構造Info
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- JPH0839419A JPH0839419A JP9700895A JP9700895A JPH0839419A JP H0839419 A JPH0839419 A JP H0839419A JP 9700895 A JP9700895 A JP 9700895A JP 9700895 A JP9700895 A JP 9700895A JP H0839419 A JPH0839419 A JP H0839419A
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- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ワイヤーの巻き付けによるワイヤーリールの変
形に影響を受けることなく、ターンテーブルからワイヤ
ーリールを容易に取り外すことができるので、作業効率
を向上できるワイヤーソーのワイヤーリール取付構造を
提供する。 【構成】ボルト３２を段付き部３２Ｅを有する段付き構
造に形成し、ターンテーブル２０のフランジ３０とワイ
ヤーリール３６の前記ターンテーブル２０側のフランジ
４２との間にのみボルト３２の締付力が加わるように締
め付け固定すると共に、それぞれの嵌合部３０Ａ、４２
Ａを、テーパ５０合わせにした。これにより、ワイヤー
１０をワイヤーリール３６に巻き付けていくことにより
ワイヤーリール３６の長手方向に伸び力が作用しても、
ボルト３２には軸方向の引張力が働かない。更に、ワイ
ヤーリール３６が変形しても嵌合部３０Ａ、４２Ａ同志
の食い付きが生じない。従って、ワイヤーリール３６を
ターンテーブル２０から簡単に取り外すことができるの
で、作業効率を向上できる。
形に影響を受けることなく、ターンテーブルからワイヤ
ーリールを容易に取り外すことができるので、作業効率
を向上できるワイヤーソーのワイヤーリール取付構造を
提供する。 【構成】ボルト３２を段付き部３２Ｅを有する段付き構
造に形成し、ターンテーブル２０のフランジ３０とワイ
ヤーリール３６の前記ターンテーブル２０側のフランジ
４２との間にのみボルト３２の締付力が加わるように締
め付け固定すると共に、それぞれの嵌合部３０Ａ、４２
Ａを、テーパ５０合わせにした。これにより、ワイヤー
１０をワイヤーリール３６に巻き付けていくことにより
ワイヤーリール３６の長手方向に伸び力が作用しても、
ボルト３２には軸方向の引張力が働かない。更に、ワイ
ヤーリール３６が変形しても嵌合部３０Ａ、４２Ａ同志
の食い付きが生じない。従って、ワイヤーリール３６を
ターンテーブル２０から簡単に取り外すことができるの
で、作業効率を向上できる。
Description
【０００１】
【発明の利用分野】本発明はワイヤーソーのワイヤーリ
ール取付構造に係り、特に、ワイヤーリールをターンテ
ーブルにボルトで締め付け固定するワイヤーソーのワイ
ヤーリール取付構造に関する。また、本発明はワイヤソ
ーに係り、特に円柱状の半導体インゴット、セラミッ
ク、ガラス等の被加工物を走行するワイヤーで多数の薄
板状のウェーハに切断するワイヤソー。
ール取付構造に係り、特に、ワイヤーリールをターンテ
ーブルにボルトで締め付け固定するワイヤーソーのワイ
ヤーリール取付構造に関する。また、本発明はワイヤソ
ーに係り、特に円柱状の半導体インゴット、セラミッ
ク、ガラス等の被加工物を走行するワイヤーで多数の薄
板状のウェーハに切断するワイヤソー。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワイヤーソーのワイヤーリール取
付構造は、ワイヤーリールをターンテーブルにボルトを
ねじ込んで固定する構造になっており、例えば、図９
は、ワイヤーリール１とターンテーブル２のそれぞれの
フランジ３、４の合わせ面に形成された嵌合部３Ａ、４
Ａを嵌め合わせた状態でボルトで締め付け固定する。こ
の場合は、ワイヤーリール１をターンテーブル２に載せ
て、ワイヤーリール１の下フランジ４に形成された円柱
状の凹部４Ａを、ターンテーブル２のフランジ３に形成
された円柱状の凸部３Ａに嵌め合わせる。同時にターン
テーブル２に設けられて回り止めピン６を、下フランジ
４に設けられたピン穴７に挿入する。次に、ワイヤーリ
ール１の中心線に沿って形成されたボルト穴８にボルト
９を差し込んで、ボルトヘッド９Ａをワイヤーリール１
の上フランジ５に支持させると共に、ターンテーブル２
の凸部３Ａに形成されたねじ穴３Ｂ（雌ねじ）に、ボル
ト９のねじ部９Ｂ（雄ねじ）を螺合させる。これによ
り、ボルト９のねじ部９Ｂがターンテーブル２のねじ穴
３Ｂに侵入するに従って、上フランジ５とターンテーブ
ル２のフランジ３との間にボルト９の締付力が加わり、
ワイヤーリール１をターンテーブル２に締め付け固定す
ることができる。即ち、ワイヤーリール１の上フランジ
５をボルト９の締め付け面としていた。
付構造は、ワイヤーリールをターンテーブルにボルトを
ねじ込んで固定する構造になっており、例えば、図９
は、ワイヤーリール１とターンテーブル２のそれぞれの
フランジ３、４の合わせ面に形成された嵌合部３Ａ、４
Ａを嵌め合わせた状態でボルトで締め付け固定する。こ
の場合は、ワイヤーリール１をターンテーブル２に載せ
て、ワイヤーリール１の下フランジ４に形成された円柱
状の凹部４Ａを、ターンテーブル２のフランジ３に形成
された円柱状の凸部３Ａに嵌め合わせる。同時にターン
テーブル２に設けられて回り止めピン６を、下フランジ
４に設けられたピン穴７に挿入する。次に、ワイヤーリ
ール１の中心線に沿って形成されたボルト穴８にボルト
９を差し込んで、ボルトヘッド９Ａをワイヤーリール１
の上フランジ５に支持させると共に、ターンテーブル２
の凸部３Ａに形成されたねじ穴３Ｂ（雌ねじ）に、ボル
ト９のねじ部９Ｂ（雄ねじ）を螺合させる。これによ
り、ボルト９のねじ部９Ｂがターンテーブル２のねじ穴
３Ｂに侵入するに従って、上フランジ５とターンテーブ
ル２のフランジ３との間にボルト９の締付力が加わり、
ワイヤーリール１をターンテーブル２に締め付け固定す
ることができる。即ち、ワイヤーリール１の上フランジ
５をボルト９の締め付け面としていた。
【０００３】半導体インゴット、セラミック、ガラス等
の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の一
つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一対のワイ
ヤリール間を走行するワイヤに砥粒を含む加工液を供給
しながら被加工物を押し当てることにより、その砥粒の
ラッピング作用により前記被加工物を多数の薄板状のウ
ェーハに切断するものである。そして、近年ウェハは８
インチ、１２インチと大口径化しているため、ワイヤソ
ーのワイヤも長くならざるを得なく、１００Kgを越える
重い重量のワイヤリールが使用されている。
の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の一
つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一対のワイ
ヤリール間を走行するワイヤに砥粒を含む加工液を供給
しながら被加工物を押し当てることにより、その砥粒の
ラッピング作用により前記被加工物を多数の薄板状のウ
ェーハに切断するものである。そして、近年ウェハは８
インチ、１２インチと大口径化しているため、ワイヤソ
ーのワイヤも長くならざるを得なく、１００Kgを越える
重い重量のワイヤリールが使用されている。
【０００４】従来、このワイヤソーのワイヤリールは、
駆動モータからベルト伝動によりワイヤリールに回転力
を伝達して駆動していた。
駆動モータからベルト伝動によりワイヤリールに回転力
を伝達して駆動していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤーソーのワイヤーリール取付構造は、次の欠点が
ある。 （１）ワイヤーソーのワイヤーリール１は、ワイヤーリ
ール１にワイヤー１０、１０…が幾重にも巻回するの
で、ワイヤー１０をワイヤーリール１に巻き付けていく
と、図１０に示す矢印方向の力１１がワイヤーリール１
の長手方向に作用する。この力により、ワイヤーリール
１の全長が伸びるので、ボルト９に軸方向の強い引張力
が働く。この結果、ワイヤーリール１をターンテーブル
２から取り外す際に、ボルト９が回らなくなるという欠
点がある。 （２）また、前記矢印方向の力１１によりワイヤーリー
ル１の各フランジ面４、５が弓状に変形するので、ワイ
ヤーリール１の下フランジ面４の凹部４Ａがターンテー
ブル２のフランジ面３の凸部３Ａに食い付き、ボルト９
をワイヤーリール１から抜いてもワイヤーリール１がタ
ーンテーブル２から外れなくなるという欠点がある。
ワイヤーソーのワイヤーリール取付構造は、次の欠点が
ある。 （１）ワイヤーソーのワイヤーリール１は、ワイヤーリ
ール１にワイヤー１０、１０…が幾重にも巻回するの
で、ワイヤー１０をワイヤーリール１に巻き付けていく
と、図１０に示す矢印方向の力１１がワイヤーリール１
の長手方向に作用する。この力により、ワイヤーリール
１の全長が伸びるので、ボルト９に軸方向の強い引張力
が働く。この結果、ワイヤーリール１をターンテーブル
２から取り外す際に、ボルト９が回らなくなるという欠
点がある。 （２）また、前記矢印方向の力１１によりワイヤーリー
ル１の各フランジ面４、５が弓状に変形するので、ワイ
ヤーリール１の下フランジ面４の凹部４Ａがターンテー
ブル２のフランジ面３の凸部３Ａに食い付き、ボルト９
をワイヤーリール１から抜いてもワイヤーリール１がタ
ーンテーブル２から外れなくなるという欠点がある。
【０００６】従って、前記（１）及び（２）の欠点によ
り、ワイヤーリール１をターンテーブル２から取り外す
作業が困難になると共に、作業に長時間を要する。 （３）また、ワイヤーリール１をターンテーブル２に載
せる際に、ワイヤーリール１の凹部４Ａとターンテーブ
ル２の凸部３Ａの嵌め合いと同時に，回り止め用ピン６
とピン穴７の位置出しをしなくてはならず、作業が面倒
であるという欠点がある。
り、ワイヤーリール１をターンテーブル２から取り外す
作業が困難になると共に、作業に長時間を要する。 （３）また、ワイヤーリール１をターンテーブル２に載
せる際に、ワイヤーリール１の凹部４Ａとターンテーブ
ル２の凸部３Ａの嵌め合いと同時に，回り止め用ピン６
とピン穴７の位置出しをしなくてはならず、作業が面倒
であるという欠点がある。
【０００７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、ワイヤーの巻き付けによるワイヤーリールの
変形に影響を受けることなく、ターンテーブルからワイ
ヤーリールを容易に取り外すことができるので、作業効
率を向上できるワイヤーソーのワイヤーリール取付構造
を提供することを目的とする。また、前記ワイヤソーで
被加工物をスライスする場合、そのスライス方法には、
ワイヤを一方向のみに走行させる一方向送りと、ワイヤ
を往復走行させる双方向送りがある。このうち、双方向
送りの場合、ワイヤリールは短時間（１秒〜６秒）で加
速と減速を繰り返さなければならないため、ワイヤリー
ルのイナーシャにより大きな加速トルクを必要とする。
たもので、ワイヤーの巻き付けによるワイヤーリールの
変形に影響を受けることなく、ターンテーブルからワイ
ヤーリールを容易に取り外すことができるので、作業効
率を向上できるワイヤーソーのワイヤーリール取付構造
を提供することを目的とする。また、前記ワイヤソーで
被加工物をスライスする場合、そのスライス方法には、
ワイヤを一方向のみに走行させる一方向送りと、ワイヤ
を往復走行させる双方向送りがある。このうち、双方向
送りの場合、ワイヤリールは短時間（１秒〜６秒）で加
速と減速を繰り返さなければならないため、ワイヤリー
ルのイナーシャにより大きな加速トルクを必要とする。
【０００８】しかしながら、従来のベルトドライブ方式
による駆動で重い重量のワイヤリールを駆動しようとす
れば、ワイヤリールの駆動にはイナーシャの大きなモー
タを必要とするため、必然的に寸法の大きいモータを使
用しなければならず、駆動部が大型化するという問題が
ある。また、加減速トルクが大きいとベルトの破損等が
考えられるため、加減速時間を短縮できない等の問題も
ある。
による駆動で重い重量のワイヤリールを駆動しようとす
れば、ワイヤリールの駆動にはイナーシャの大きなモー
タを必要とするため、必然的に寸法の大きいモータを使
用しなければならず、駆動部が大型化するという問題が
ある。また、加減速トルクが大きいとベルトの破損等が
考えられるため、加減速時間を短縮できない等の問題も
ある。
【０００９】本発明は、このような事情を鑑みてなされ
たもので、イナーシャの低い駆動モータを使用できるの
で、ワイヤソー装置本体をコンパクト化すると共に、加
減速時間を短縮できるので、スループットを向上するこ
とができるワイヤソーの駆動構造を提供することを目的
とする。
たもので、イナーシャの低い駆動モータを使用できるの
で、ワイヤソー装置本体をコンパクト化すると共に、加
減速時間を短縮できるので、スループットを向上するこ
とができるワイヤソーの駆動構造を提供することを目的
とする。
【００１０】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリー
ルの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共
に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して前記被
加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソ
ーであって、前記ワイヤーを巻き戻し又は巻き取りを行
う前記ワイヤーリールの中心線に形成されたボルト穴に
ボルトを差し込み、回転動力側のターンテーブルに前記
ボルトをねじ込んで、前記ワイヤーリールを前記ターン
テーブルに固定するワイヤーソーのワイヤーリール取付
構造に於いて、前記ボルトは段付き構造に形成され、前
記ワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフランジ
を、前記ボルトの段付き部とターンテーブルのフランジ
とで締め付けてタービンロータ側に固定することを特徴
とする。
する為に、一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリー
ルの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共
に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して前記被
加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソ
ーであって、前記ワイヤーを巻き戻し又は巻き取りを行
う前記ワイヤーリールの中心線に形成されたボルト穴に
ボルトを差し込み、回転動力側のターンテーブルに前記
ボルトをねじ込んで、前記ワイヤーリールを前記ターン
テーブルに固定するワイヤーソーのワイヤーリール取付
構造に於いて、前記ボルトは段付き構造に形成され、前
記ワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフランジ
を、前記ボルトの段付き部とターンテーブルのフランジ
とで締め付けてタービンロータ側に固定することを特徴
とする。
【００１１】また、前記目的を達成する為に、一方のワ
イヤーリールと他方のワイヤーリールの間を走行するワ
イヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに
砥粒を含む加工液を供給して前記被加工物を多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
イヤーを巻き戻し又は巻き取りを行う前記ワイヤーリー
ルの嵌合部を回転動力側のターンテーブルの嵌合部に嵌
め合わせた状態で、ワイヤーリールの中心線に形成され
たボルト穴にボルトを差し込み、ターンテーブルに前記
ボルトをねじ込んで、前記ワイヤーリールを前記ターン
テーブルに固定するワイヤーソーのワイヤーリール取付
構造に於いて、前記ボルトは段付き構造に形成され、前
記ワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフランジ
を、前記ボルトの段付き部とターンテーブルのフランジ
とで締め付けてタービンロータ側に固定すると共に、前
記それぞれの嵌合部にテーパを形成してテーパ合わせす
るようにしたことを特徴とする。
イヤーリールと他方のワイヤーリールの間を走行するワ
イヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに
砥粒を含む加工液を供給して前記被加工物を多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
イヤーを巻き戻し又は巻き取りを行う前記ワイヤーリー
ルの嵌合部を回転動力側のターンテーブルの嵌合部に嵌
め合わせた状態で、ワイヤーリールの中心線に形成され
たボルト穴にボルトを差し込み、ターンテーブルに前記
ボルトをねじ込んで、前記ワイヤーリールを前記ターン
テーブルに固定するワイヤーソーのワイヤーリール取付
構造に於いて、前記ボルトは段付き構造に形成され、前
記ワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフランジ
を、前記ボルトの段付き部とターンテーブルのフランジ
とで締め付けてタービンロータ側に固定すると共に、前
記それぞれの嵌合部にテーパを形成してテーパ合わせす
るようにしたことを特徴とする。
【００１２】また、前記目的を達成する為に、一方のワ
イヤーリールと他方のワイヤーリールの間を走行するワ
イヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに
砥粒を含む加工液を供給して前記被加工物を多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
イヤーを巻き戻し又は巻き取りを行う前記ワイヤーリー
ルを回転動力側のターンテーブルにボルトで固定するワ
イヤーソーのワイヤーリール取付構造に於いて、前記ワ
イヤーリールの前記ターンテーブル側のフランジと前記
ターンテーブルのフランジとをボルトで締め付け固定す
ると共に、前記フランジ同志を固定するボルト位置を、
前記ワイヤーリールの中心線からずらした位置に複数設
けることを特徴とする。
イヤーリールと他方のワイヤーリールの間を走行するワ
イヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに
砥粒を含む加工液を供給して前記被加工物を多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
イヤーを巻き戻し又は巻き取りを行う前記ワイヤーリー
ルを回転動力側のターンテーブルにボルトで固定するワ
イヤーソーのワイヤーリール取付構造に於いて、前記ワ
イヤーリールの前記ターンテーブル側のフランジと前記
ターンテーブルのフランジとをボルトで締め付け固定す
ると共に、前記フランジ同志を固定するボルト位置を、
前記ワイヤーリールの中心線からずらした位置に複数設
けることを特徴とする。
【００１３】また、前記目的を達成する為に、ワイヤを
一方のワイヤリールから繰り出して複数個の溝付ローラ
に巻き掛けワイヤ列を形成して他方のワイヤリールに巻
き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給
して被加工物を押し当て、該被加工物を多数の薄板状の
ウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記ワイヤリ
ールを駆動する駆動モータの回転軸に、該回転軸と同軸
上に前記ワイヤリールを連結したことを特徴とする。
一方のワイヤリールから繰り出して複数個の溝付ローラ
に巻き掛けワイヤ列を形成して他方のワイヤリールに巻
き取ると共に、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液を供給
して被加工物を押し当て、該被加工物を多数の薄板状の
ウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記ワイヤリ
ールを駆動する駆動モータの回転軸に、該回転軸と同軸
上に前記ワイヤリールを連結したことを特徴とする。
【００１４】
【作用】本発明の請求項１によれば、ターンテーブルの
フランジとワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフ
ランジとの間にのみボルトの締付力が加わるように締め
付け固定することができる。これにより、従来のよう
に、ワイヤーリールの上フランジとターンテーブルのフ
ランジとの間に締付力が加わらないので、ワイヤーをワ
イヤーリールに巻き付けていくことによりワイヤーリー
ルの長手方向に伸び力が作用しても、ボルトには軸方向
の引張力が働かない。従って、ワイヤーリールをターン
テーブルから取り外す時に、ボルトを簡単に回して弛め
ることができる。
フランジとワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフ
ランジとの間にのみボルトの締付力が加わるように締め
付け固定することができる。これにより、従来のよう
に、ワイヤーリールの上フランジとターンテーブルのフ
ランジとの間に締付力が加わらないので、ワイヤーをワ
イヤーリールに巻き付けていくことによりワイヤーリー
ルの長手方向に伸び力が作用しても、ボルトには軸方向
の引張力が働かない。従って、ワイヤーリールをターン
テーブルから取り外す時に、ボルトを簡単に回して弛め
ることができる。
【００１５】また、本発明の請求項２によれば、ターン
テーブルのフランジとワイヤーリールの前記ターンテー
ブル側のフランジとの間にのみボルトの締付力が加わる
ように締め付け固定すると共に、それぞれの嵌合部を、
テーパ合わせにした。これにより、請求項１の場合と同
様に、ワイヤーの巻き付けによりワイヤーリールに長手
方向の伸び力が作用しても、ボルトには軸方向の引張力
が働かない。更に、嵌合部をテーパ合わせにしたので、
フランジが変形しても嵌合部同志の食い付きが生じな
い。これにより、ワイヤーリールをターンテーブルから
簡単に取り外すことができる。
テーブルのフランジとワイヤーリールの前記ターンテー
ブル側のフランジとの間にのみボルトの締付力が加わる
ように締め付け固定すると共に、それぞれの嵌合部を、
テーパ合わせにした。これにより、請求項１の場合と同
様に、ワイヤーの巻き付けによりワイヤーリールに長手
方向の伸び力が作用しても、ボルトには軸方向の引張力
が働かない。更に、嵌合部をテーパ合わせにしたので、
フランジが変形しても嵌合部同志の食い付きが生じな
い。これにより、ワイヤーリールをターンテーブルから
簡単に取り外すことができる。
【００１６】また、本発明の請求項３によれば、ワイヤ
ーリールとターンテーブルのフランジ同志を締め付け固
定するボルト位置を、前記ワイヤーリールと前記ターン
テーブルの中心線からずらした位置に複数設定するよう
にした。これにより、ワイヤーの巻き付けによりワイヤ
ーリールが変形しても、その変形によるボルトの伸びが
ないので、ボルトには軸方向の引張力が働かない。従っ
て、ワイヤーリールをターンテーブルから簡単に取り外
すことができる。また、ボルトを回り止めピンの代わり
に使用することができる。
ーリールとターンテーブルのフランジ同志を締め付け固
定するボルト位置を、前記ワイヤーリールと前記ターン
テーブルの中心線からずらした位置に複数設定するよう
にした。これにより、ワイヤーの巻き付けによりワイヤ
ーリールが変形しても、その変形によるボルトの伸びが
ないので、ボルトには軸方向の引張力が働かない。従っ
て、ワイヤーリールをターンテーブルから簡単に取り外
すことができる。また、ボルトを回り止めピンの代わり
に使用することができる。
【００１７】請求項４記載の発明によれば、ワイヤリー
ルは駆動モータに直結され、駆動モータからダイレクト
に駆動される。これにより、加減速時間の短縮が行わ
れ、スループットが向上する。また、駆動モータにイナ
ーシャの低いモータ、即ち寸法の小さいモータを使用す
ることができるので、駆動部をコンパクト化することが
できる。更に、従来必要であったベルト伝動機構のため
のスペースを省くことができるので、駆動部をコンパク
ト化することができる。
ルは駆動モータに直結され、駆動モータからダイレクト
に駆動される。これにより、加減速時間の短縮が行わ
れ、スループットが向上する。また、駆動モータにイナ
ーシャの低いモータ、即ち寸法の小さいモータを使用す
ることができるので、駆動部をコンパクト化することが
できる。更に、従来必要であったベルト伝動機構のため
のスペースを省くことができるので、駆動部をコンパク
ト化することができる。
【００１８】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーのワイヤーリール取付構造の好ましい実施例につい
て詳説する。本発明に係るワイヤーソーのワイヤーリー
ル取付構造の実施例を説明する前に、先ず、ワイヤーソ
ー１１０の全体構成を図１に従って説明する。一方のワ
イヤーリール１１２に巻回されたワイヤー１１４は、ワ
イヤー案内装置１１６、複数の固定ガイドローラ１１
８、１１８、ダンサローラ１２０を経由して３本の溝付
きローラ１２２、１２２、１２２に順次巻き掛けられて
ワイヤー列１２４を形成した後、複数の固定ガイドロー
ラ１１８、１１８、ダンサローラ１２０、ワイヤー案内
装置１１６を経て他方のワイヤーリール１２６に巻き取
られる。
ソーのワイヤーリール取付構造の好ましい実施例につい
て詳説する。本発明に係るワイヤーソーのワイヤーリー
ル取付構造の実施例を説明する前に、先ず、ワイヤーソ
ー１１０の全体構成を図１に従って説明する。一方のワ
イヤーリール１１２に巻回されたワイヤー１１４は、ワ
イヤー案内装置１１６、複数の固定ガイドローラ１１
８、１１８、ダンサローラ１２０を経由して３本の溝付
きローラ１２２、１２２、１２２に順次巻き掛けられて
ワイヤー列１２４を形成した後、複数の固定ガイドロー
ラ１１８、１１８、ダンサローラ１２０、ワイヤー案内
装置１１６を経て他方のワイヤーリール１２６に巻き取
られる。
【００１９】前記ダンサローラ１２０には所定重量の錘
１４４が吊設され、走行するワイヤー１１４に常に所要
の張力が付与される。前記ワイヤー走行路の途中にはワ
イヤー洗浄装置１４６が設けられ、このワイヤー洗浄装
置１４６によってワイヤー１１４に付着した加工液１４
０が除去される。
１４４が吊設され、走行するワイヤー１１４に常に所要
の張力が付与される。前記ワイヤー走行路の途中にはワ
イヤー洗浄装置１４６が設けられ、このワイヤー洗浄装
置１４６によってワイヤー１１４に付着した加工液１４
０が除去される。
【００２０】前記ワイヤーリール１１２、１２６は、そ
れぞれ正逆回転可能な駆動モータ１２８、１３０に連結
されると共に、３本のうちの１本の溝付きローラ１２２
は正逆回転可能な駆動モータ１３２に連結される。これ
により、ワイヤー１１４は一方のワイヤーリール１１２
と他方のワイヤーリール１２６の間を往復走行する。前
記ワイヤー列１２４には、砥液貯留タンク１３８に貯留
された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程度のも
のが使用される）を含む加工液１４０が砥液供給ノズル
１４２から供給される。
れぞれ正逆回転可能な駆動モータ１２８、１３０に連結
されると共に、３本のうちの１本の溝付きローラ１２２
は正逆回転可能な駆動モータ１３２に連結される。これ
により、ワイヤー１１４は一方のワイヤーリール１１２
と他方のワイヤーリール１２６の間を往復走行する。前
記ワイヤー列１２４には、砥液貯留タンク１３８に貯留
された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程度のも
のが使用される）を含む加工液１４０が砥液供給ノズル
１４２から供給される。
【００２１】前記ワイヤー列１２４の下方には、被加工
物である半導体インゴット１５４がワークブロック１５
６とスライスベース１５８を介してワーク送りテーブル
１４８に支持される。このワーク送りテーブル１４８は
モータ１５０で回動するネジ桿１５２により上下方向に
移動自在に設けられる。前記半導体インゴット１５４
は、前記ワーク送りテーブル１４８を上方に移動させる
ことにより高速走行するワイヤー列１２４に押し当てら
れ、その高速走行するワイヤー列１２４に供給される加
工液１４０によるラッピング作用により多数の薄板状の
ウェーハに切断される。
物である半導体インゴット１５４がワークブロック１５
６とスライスベース１５８を介してワーク送りテーブル
１４８に支持される。このワーク送りテーブル１４８は
モータ１５０で回動するネジ桿１５２により上下方向に
移動自在に設けられる。前記半導体インゴット１５４
は、前記ワーク送りテーブル１４８を上方に移動させる
ことにより高速走行するワイヤー列１２４に押し当てら
れ、その高速走行するワイヤー列１２４に供給される加
工液１４０によるラッピング作用により多数の薄板状の
ウェーハに切断される。
【００２２】次に、本発明に係るワイヤーソーのワイヤ
ーソー取付構造の第１実施例に付いて説明する。図２
は、本発明のワイヤーソーのワイヤーリール取付構造の
第１実施例を説明する断面図である。図示しないワイヤ
ーソー本体のフレーム壁には、ターンテーブル２０を回
転させるモータ２２及び回転軸２４等の回転動力部を内
蔵するケーシング２６がボルト２８、２８…止めされ
る。また、ターンテーブル２０のフランジ３０上面の中
央部には、円柱状の凸部３０Ａが形成されると共に、後
記するボルト３２のねじ部３２Ａ（雄ねじ）に螺合する
ねじ穴３０Ｂ（雌ねじ）が形成され、更に、前記フラン
ジ面３０の外周側には、回り止めピン３４が突出してい
る。一方、ワイヤーリール３６は、円筒状の胴部３８の
両端に円板状の上フランジ４０（図２の上側のフラン
ジ）と下フランジ４２（図２の下側のフランジ）が夫々
固着され、下フランジ４２の中央部には、ターンテーブ
ル２０の凸部３０Ａに嵌合する凹部４２Ａが形成されて
いると共に、外周側には回り止めピン３４に対応するピ
ン穴４３が形成されている。また、ワイヤーリール３６
の中心線には、ボルト３２が貫通するボルト穴４４が形
成され、このボルト穴４４の径は、上フランジ４０と胴
部３８がボルト３２の軸部３２Ｂが貫通する径に形成さ
れると共に、下フランジ４２が軸部３２Ｂより径の小さ
なねじ部３２Ａが貫通する径に形成される。また、ボル
ト３２は、ボルトの軸部３２Ｂよりネジ部３２Ａが細く
なった段付き部３２Ｅを有する段付き構造に形成され、
ボルト３２のねじ部３２Ａの長さは、ターンテーブル２
０に形成されたねじ穴３０Ｂよりやや短めに形成され
る。また、ボルト３２のヘッド部３２Ｃは軸部３２Ｂと
同じ径に形成されると共に、その端面にドライバー部材
（図示せず）を差し込む六角穴３２Ｄが穿設されてい
る。
ーソー取付構造の第１実施例に付いて説明する。図２
は、本発明のワイヤーソーのワイヤーリール取付構造の
第１実施例を説明する断面図である。図示しないワイヤ
ーソー本体のフレーム壁には、ターンテーブル２０を回
転させるモータ２２及び回転軸２４等の回転動力部を内
蔵するケーシング２６がボルト２８、２８…止めされ
る。また、ターンテーブル２０のフランジ３０上面の中
央部には、円柱状の凸部３０Ａが形成されると共に、後
記するボルト３２のねじ部３２Ａ（雄ねじ）に螺合する
ねじ穴３０Ｂ（雌ねじ）が形成され、更に、前記フラン
ジ面３０の外周側には、回り止めピン３４が突出してい
る。一方、ワイヤーリール３６は、円筒状の胴部３８の
両端に円板状の上フランジ４０（図２の上側のフラン
ジ）と下フランジ４２（図２の下側のフランジ）が夫々
固着され、下フランジ４２の中央部には、ターンテーブ
ル２０の凸部３０Ａに嵌合する凹部４２Ａが形成されて
いると共に、外周側には回り止めピン３４に対応するピ
ン穴４３が形成されている。また、ワイヤーリール３６
の中心線には、ボルト３２が貫通するボルト穴４４が形
成され、このボルト穴４４の径は、上フランジ４０と胴
部３８がボルト３２の軸部３２Ｂが貫通する径に形成さ
れると共に、下フランジ４２が軸部３２Ｂより径の小さ
なねじ部３２Ａが貫通する径に形成される。また、ボル
ト３２は、ボルトの軸部３２Ｂよりネジ部３２Ａが細く
なった段付き部３２Ｅを有する段付き構造に形成され、
ボルト３２のねじ部３２Ａの長さは、ターンテーブル２
０に形成されたねじ穴３０Ｂよりやや短めに形成され
る。また、ボルト３２のヘッド部３２Ｃは軸部３２Ｂと
同じ径に形成されると共に、その端面にドライバー部材
（図示せず）を差し込む六角穴３２Ｄが穿設されてい
る。
【００２３】そして、ワイヤーリール３６をターンテー
ブル２０に固定するには、先ず、ターンテーブル２０の
フランジ３０面上にワイヤーリール３６を載せて、ワイ
ヤーリール３６の下フランジ４２面に形成された凹部４
２Ａを、ターンテーブル２０のフランジ３０面に形成さ
れた凸部３０Ａに嵌合させる。同時に下フランジ４２の
ピン穴４３をターンテーブル２０から突起した回り止め
ピン３４に挿入する。次に、ボルト３２をボルト穴４４
に差し込んで、ねじ部３２Ａをターンテーブルフランジ
２０のねじ穴３０Ｂに螺合させる。これにより、ボルト
３２を回転してねじ部３２Ａをねじ穴３０Ｂに侵入させ
ていくと、ボルト３２の段付き部３２Ｅが下フランジ４
２の上面４２Ｂに当接し、下フランジ４２とターンテー
ブル２０のフランジ３０との間にボルト３２の締付力が
働くので、ワイヤーリール３６はターンテーブル２０に
締め付け固定される。即ち、ワイヤーリール３６の下フ
ランジ４２とターンテーブル２０のフランジ３０との間
にのみボルト３２の締付力が加わるように締め付け固定
することができる。
ブル２０に固定するには、先ず、ターンテーブル２０の
フランジ３０面上にワイヤーリール３６を載せて、ワイ
ヤーリール３６の下フランジ４２面に形成された凹部４
２Ａを、ターンテーブル２０のフランジ３０面に形成さ
れた凸部３０Ａに嵌合させる。同時に下フランジ４２の
ピン穴４３をターンテーブル２０から突起した回り止め
ピン３４に挿入する。次に、ボルト３２をボルト穴４４
に差し込んで、ねじ部３２Ａをターンテーブルフランジ
２０のねじ穴３０Ｂに螺合させる。これにより、ボルト
３２を回転してねじ部３２Ａをねじ穴３０Ｂに侵入させ
ていくと、ボルト３２の段付き部３２Ｅが下フランジ４
２の上面４２Ｂに当接し、下フランジ４２とターンテー
ブル２０のフランジ３０との間にボルト３２の締付力が
働くので、ワイヤーリール３６はターンテーブル２０に
締め付け固定される。即ち、ワイヤーリール３６の下フ
ランジ４２とターンテーブル２０のフランジ３０との間
にのみボルト３２の締付力が加わるように締め付け固定
することができる。
【００２４】従って、本発明のワイヤーソーのワイヤー
リール取付構造によれば、ワイヤーリール３６の上フラ
ンジ４０とターンテーブル２０のフランジ３０との間に
ボルト３２の締付力が加わる従来のワイヤーソーのワイ
ヤーリール取付構造とは異なり、ワイヤー１０の巻き付
けによりワイヤーリール３６の長手方向に伸び力が作用
しても、ボルト３２には引張力が働かない。この結果、
ワイヤーリール３６をターンテーブル２０から取り外す
時に、ボルト３２を簡単に回して弛めることができる。
従って、ワイヤーリール３６の取り外し作業を容易且つ
迅速に行うことができるので、作業能率を向上させるこ
とができる。
リール取付構造によれば、ワイヤーリール３６の上フラ
ンジ４０とターンテーブル２０のフランジ３０との間に
ボルト３２の締付力が加わる従来のワイヤーソーのワイ
ヤーリール取付構造とは異なり、ワイヤー１０の巻き付
けによりワイヤーリール３６の長手方向に伸び力が作用
しても、ボルト３２には引張力が働かない。この結果、
ワイヤーリール３６をターンテーブル２０から取り外す
時に、ボルト３２を簡単に回して弛めることができる。
従って、ワイヤーリール３６の取り外し作業を容易且つ
迅速に行うことができるので、作業能率を向上させるこ
とができる。
【００２５】次に、図３に従って、本発明のワイヤーソ
ーのワイヤーリール取付構造の第２実施例を説明する。
第１実施例は、段付き部３２Ｅを下フランジ４２の上面
４２Ｂに当接させる必要があるので、ボルト３２を差し
込む上フランジ４０と胴部３８は、ボルト３２の軸部３
２Ｂが挿入できる径のボルト穴４４が必要であり、一
方、下フランジ４２はボルト３２のネジ部３２Ａが挿入
でき、且つ、軸部３２Ｂが通過できない径のボルト穴４
４が必要である。これにより、第１実施例では、ワイヤ
ーリール３６が上下対称でないため、上フランジ４０と
下フランジ４２を逆にして（上フランジ４０をターンテ
ーブル２０のフランジ３０と合わせる）使用することが
できない。従って、新しいワイヤーを巻き付ける際に、
ワイヤーの巻き方向を限定しなくてはならないという不
具合がある。即ち、ワイヤーソーの構造上、図４（ａ）
に示すように、作業者４６側の手前にワイヤー１０がく
るように巻き付ける必要があり、図４（ｂ）のようにワ
イヤー１０が作業者４６の裏側にくるように巻き付ける
と問題がある。
ーのワイヤーリール取付構造の第２実施例を説明する。
第１実施例は、段付き部３２Ｅを下フランジ４２の上面
４２Ｂに当接させる必要があるので、ボルト３２を差し
込む上フランジ４０と胴部３８は、ボルト３２の軸部３
２Ｂが挿入できる径のボルト穴４４が必要であり、一
方、下フランジ４２はボルト３２のネジ部３２Ａが挿入
でき、且つ、軸部３２Ｂが通過できない径のボルト穴４
４が必要である。これにより、第１実施例では、ワイヤ
ーリール３６が上下対称でないため、上フランジ４０と
下フランジ４２を逆にして（上フランジ４０をターンテ
ーブル２０のフランジ３０と合わせる）使用することが
できない。従って、新しいワイヤーを巻き付ける際に、
ワイヤーの巻き方向を限定しなくてはならないという不
具合がある。即ち、ワイヤーソーの構造上、図４（ａ）
に示すように、作業者４６側の手前にワイヤー１０がく
るように巻き付ける必要があり、図４（ｂ）のようにワ
イヤー１０が作業者４６の裏側にくるように巻き付ける
と問題がある。
【００２６】そこで、本発明のワイヤーソーのワイヤー
リール取付構造の第２実施例では、図３に示すように、
ワイヤーリール３６の構造を上下対称にし、ワイヤーリ
ール３６胴部３２Ｂのボルト穴４４内にワッシャ４８を
移動自在に設けた。具体的には、ボルト穴４４の径、及
び凹部４０Ａ、４２Ａ及びピン穴４３を上下のフランジ
４０、４２で同じに形成すると共に、ワイヤーリール３
６の胴部３８のボルト穴４４の径を各フランジ４０、４
２に形成されるボルト穴の径より大きくした。また、胴
部３８のボルト穴４４内に、ボルト３２のねじ部３２Ａ
が挿入可能で、且つ軸部３２Ｂが通らない孔を有するワ
ッシャ４８を移動自在に設けた。そして、ワッシャ４８
を介して段付き部３２Ｅをワイヤーリールのフランジに
当接させるようにした。その他の構造は、第１実施例と
同じである。
リール取付構造の第２実施例では、図３に示すように、
ワイヤーリール３６の構造を上下対称にし、ワイヤーリ
ール３６胴部３２Ｂのボルト穴４４内にワッシャ４８を
移動自在に設けた。具体的には、ボルト穴４４の径、及
び凹部４０Ａ、４２Ａ及びピン穴４３を上下のフランジ
４０、４２で同じに形成すると共に、ワイヤーリール３
６の胴部３８のボルト穴４４の径を各フランジ４０、４
２に形成されるボルト穴の径より大きくした。また、胴
部３８のボルト穴４４内に、ボルト３２のねじ部３２Ａ
が挿入可能で、且つ軸部３２Ｂが通らない孔を有するワ
ッシャ４８を移動自在に設けた。そして、ワッシャ４８
を介して段付き部３２Ｅをワイヤーリールのフランジに
当接させるようにした。その他の構造は、第１実施例と
同じである。
【００２７】これにより、第２実施例によれば、ターン
テーブル２０に載せるワイヤーリール３６の上下方向を
逆にすることができるので、ワイヤー１０の巻き方向を
限定する必要がない。即ち、図４（ｂ）の巻き方になる
場合には、ワイヤーリール３６の上下方向を逆にしてタ
ーンテーブル２０に載せてボルト３２で固定すれば、図
４（ａ）の巻き方向に変えることができる。
テーブル２０に載せるワイヤーリール３６の上下方向を
逆にすることができるので、ワイヤー１０の巻き方向を
限定する必要がない。即ち、図４（ｂ）の巻き方になる
場合には、ワイヤーリール３６の上下方向を逆にしてタ
ーンテーブル２０に載せてボルト３２で固定すれば、図
４（ａ）の巻き方向に変えることができる。
【００２８】次に、図５に従って、本発明のワイヤーソ
ーのワイヤーリール取付構造の第３実施例を説明する。
第３実施例は、ワイヤーリール３６の下フランジ４２に
形成された凹部４２Ａの形状を、奥に行くに従って穴径
が細くなるようにテーパ５０を付けると共に、ターンテ
ーブル２０のフランジ３０に形成された凸部３０Ａを、
先端部に行くに従って細くなるようにテーパ５０を付け
た。その他の構造は第１実施例と同様である。これによ
り、第１実施例と同様に、ターンテーブル２０のフラン
ジ３０とワイヤーリール３６の下フランジ４２との間に
のみボルト３２の締付力が加わるように締め付け固定す
ることができるという効果を奏する上に、嵌め合い部
（凸部３０Ａと凹部４２Ａ）をテーパ５０にしたので、
ワイヤーリール３６が図１０に示したように変形して
も、凹部４２Ａが凸部３０Ａに食い付くことがない。従
って、第１実施例よりも更に、ワイヤーリール３６の取
り外し作業を容易且つ迅速に行うことができる。
ーのワイヤーリール取付構造の第３実施例を説明する。
第３実施例は、ワイヤーリール３６の下フランジ４２に
形成された凹部４２Ａの形状を、奥に行くに従って穴径
が細くなるようにテーパ５０を付けると共に、ターンテ
ーブル２０のフランジ３０に形成された凸部３０Ａを、
先端部に行くに従って細くなるようにテーパ５０を付け
た。その他の構造は第１実施例と同様である。これによ
り、第１実施例と同様に、ターンテーブル２０のフラン
ジ３０とワイヤーリール３６の下フランジ４２との間に
のみボルト３２の締付力が加わるように締め付け固定す
ることができるという効果を奏する上に、嵌め合い部
（凸部３０Ａと凹部４２Ａ）をテーパ５０にしたので、
ワイヤーリール３６が図１０に示したように変形して
も、凹部４２Ａが凸部３０Ａに食い付くことがない。従
って、第１実施例よりも更に、ワイヤーリール３６の取
り外し作業を容易且つ迅速に行うことができる。
【００２９】また、第３実施例は、第２実施例にも適用
することができることは言うまでもない。次に、図６に
従って、本発明のワイヤーソーのワイヤーリール取付構
造の第４実施例を説明する。第４実施例は、嵌め合い部
（凸部３０Ａと凹部４２Ａ）をテーパ５０にした以外
に、ターンテーブル２０のフランジ３０の外周側近傍の
対向する位置にボルト穴５２、５２を形成すると共に、
ワイヤーリール３６の下フランジ４２の前記ボルト穴５
２、５２に対応する位置にねじ穴５４、５４を形成し
た。即ち、第１〜第３実施例で示したように、ワイヤー
リール３６とターンテーブル２０の中心線に沿ってボル
ト穴４４及びねじ穴３０Ｂを形成するのではなく、中心
線から離れた位置にボルト穴５０とねじ穴５２を形成し
て、ワイヤーリール３６の下フランジ４２とターンテー
ブル２０のフランジ３０との間にボルト５６、５６の締
付力が加わるようにした。これにより、ワイヤーリール
３６が図１０にように変形しても、その変形によるボル
ト５６の伸びがないため、ボルト５６には軸方向の引張
力が働かない。従って、ターンテーブル２０からワイヤ
ーリール３６を取り外す時に、ボルト５６を容易に回転
させて弛めることができる。また、ボルト５６が回り止
めピン３４の役目を行うので、回り止めピン３４を省略
することができる。これにより、回り止めピン３４とピ
ン穴４３の位置出しをする必要がなくなる。従って、ワ
イヤーリール３６をターンテーブル２０に着脱する時間
を大幅に短縮することができる。また、ボルト５６の長
さが短くなるので、ワイヤーソーにボルト５６の抜き差
しに必要なスペースを殆ど取る必要がなくなるので、ワ
イヤーソー本体をコンパクト化することができる。
することができることは言うまでもない。次に、図６に
従って、本発明のワイヤーソーのワイヤーリール取付構
造の第４実施例を説明する。第４実施例は、嵌め合い部
（凸部３０Ａと凹部４２Ａ）をテーパ５０にした以外
に、ターンテーブル２０のフランジ３０の外周側近傍の
対向する位置にボルト穴５２、５２を形成すると共に、
ワイヤーリール３６の下フランジ４２の前記ボルト穴５
２、５２に対応する位置にねじ穴５４、５４を形成し
た。即ち、第１〜第３実施例で示したように、ワイヤー
リール３６とターンテーブル２０の中心線に沿ってボル
ト穴４４及びねじ穴３０Ｂを形成するのではなく、中心
線から離れた位置にボルト穴５０とねじ穴５２を形成し
て、ワイヤーリール３６の下フランジ４２とターンテー
ブル２０のフランジ３０との間にボルト５６、５６の締
付力が加わるようにした。これにより、ワイヤーリール
３６が図１０にように変形しても、その変形によるボル
ト５６の伸びがないため、ボルト５６には軸方向の引張
力が働かない。従って、ターンテーブル２０からワイヤ
ーリール３６を取り外す時に、ボルト５６を容易に回転
させて弛めることができる。また、ボルト５６が回り止
めピン３４の役目を行うので、回り止めピン３４を省略
することができる。これにより、回り止めピン３４とピ
ン穴４３の位置出しをする必要がなくなる。従って、ワ
イヤーリール３６をターンテーブル２０に着脱する時間
を大幅に短縮することができる。また、ボルト５６の長
さが短くなるので、ワイヤーソーにボルト５６の抜き差
しに必要なスペースを殆ど取る必要がなくなるので、ワ
イヤーソー本体をコンパクト化することができる。
【００３０】尚、図７は、ワイヤーリール３６をターン
テーブル２０に載せる際の位置出しを容易にするため
に、ターンテーブル２０に沿って、Ｖガイド６０を立設
させたものであり、第１から第４実施例の全てに適用す
ることができる。また、ワイヤーリール側のフランジに
凹部を設け、ターンテーブル側のフランジに凸部を設け
たが、逆にしてもよい。
テーブル２０に載せる際の位置出しを容易にするため
に、ターンテーブル２０に沿って、Ｖガイド６０を立設
させたものであり、第１から第４実施例の全てに適用す
ることができる。また、ワイヤーリール側のフランジに
凹部を設け、ターンテーブル側のフランジに凸部を設け
たが、逆にしてもよい。
【００３１】また、本実施例では、ターンテーブル２０
を直接モータ２２の回転軸２４に連結して駆動するよう
にしているが、以下この点に付いて詳説する。図８に
は、ワイヤーリール１１２の駆動部の断面図が示されて
いる。前記ワイヤーリール１１２を駆動する駆動モータ
１２８は、回転軸１６２等を収納したケーシング１６０
が図示しないワイヤーソー１１０の本体フレームにボル
ト止めで固定されている。前記ケーシング１６０内の中
央には回転軸６２が軸受１６４、１６４、１６４を介し
て回動自在に支持されており、その回転軸１６２の周面
には永久磁石１６６、１６６が固着されている。一方、
前記ケーシング１６０の内周壁には、前記永久磁石１６
６、１６６に対向するように電機子コイル１６８、１６
８が固着されており、この電機子コイル１６８、１６８
に電流を流すことにより、前記回転軸１６２が回転す
る。
を直接モータ２２の回転軸２４に連結して駆動するよう
にしているが、以下この点に付いて詳説する。図８に
は、ワイヤーリール１１２の駆動部の断面図が示されて
いる。前記ワイヤーリール１１２を駆動する駆動モータ
１２８は、回転軸１６２等を収納したケーシング１６０
が図示しないワイヤーソー１１０の本体フレームにボル
ト止めで固定されている。前記ケーシング１６０内の中
央には回転軸６２が軸受１６４、１６４、１６４を介し
て回動自在に支持されており、その回転軸１６２の周面
には永久磁石１６６、１６６が固着されている。一方、
前記ケーシング１６０の内周壁には、前記永久磁石１６
６、１６６に対向するように電機子コイル１６８、１６
８が固着されており、この電機子コイル１６８、１６８
に電流を流すことにより、前記回転軸１６２が回転す
る。
【００３２】前記回転軸１６２の上端部には、円盤状の
ターンテーブル１７０が連結される。このターンテーブ
ル１７０は前記回転軸１６２と同軸上に連結され、その
連結部を２本の連結ボルト１７２、１７２でボルト止め
されて固定される。前記ターンテーブル１７０の上面に
は、ワイヤーリール１１２が連結される。このワイヤー
リール１１２のフランジ１１３の下面中央部には、円錐
台形の凹部１１３Ａが形成されており、連結時にこの凹
部１１３Ａを前記ターンテーブル１７０の上面中央部に
形成された円錐台形の凸部１７０Ａに嵌め込むことによ
り、前記ワイヤーリール１１２と前記ターンテーブル１
７０は同軸上に連結される。また、連結された前記フラ
ンジ１１３と前記ターンテーブル１７０は、周端部をボ
ルト１７４、１７４でボルト止めされて固定され、ター
ンテーブル１７０の回転を共回りすることなくワイヤー
リール１１２に伝達する。
ターンテーブル１７０が連結される。このターンテーブ
ル１７０は前記回転軸１６２と同軸上に連結され、その
連結部を２本の連結ボルト１７２、１７２でボルト止め
されて固定される。前記ターンテーブル１７０の上面に
は、ワイヤーリール１１２が連結される。このワイヤー
リール１１２のフランジ１１３の下面中央部には、円錐
台形の凹部１１３Ａが形成されており、連結時にこの凹
部１１３Ａを前記ターンテーブル１７０の上面中央部に
形成された円錐台形の凸部１７０Ａに嵌め込むことによ
り、前記ワイヤーリール１１２と前記ターンテーブル１
７０は同軸上に連結される。また、連結された前記フラ
ンジ１１３と前記ターンテーブル１７０は、周端部をボ
ルト１７４、１７４でボルト止めされて固定され、ター
ンテーブル１７０の回転を共回りすることなくワイヤー
リール１１２に伝達する。
【００３３】前記の如くターンテーブル１７０の回転駆
動部をビルトインタイプにすることによって、ワイヤー
リール１１２は、駆動モータ１２８に直結されて、ダイ
レクトに駆動される。これにより、加減速時間の短縮が
行われ、スループットが向上する。また、駆動モータに
イナーシャの低いモータ、即ち寸法の小さなモータを使
用することができるので、駆動部をコンパクト化するこ
とができる。
動部をビルトインタイプにすることによって、ワイヤー
リール１１２は、駆動モータ１２８に直結されて、ダイ
レクトに駆動される。これにより、加減速時間の短縮が
行われ、スループットが向上する。また、駆動モータに
イナーシャの低いモータ、即ち寸法の小さなモータを使
用することができるので、駆動部をコンパクト化するこ
とができる。
【００３４】更に、従来必要であったベルト伝動機構の
ためのスペースを省くことができるので、駆動部をコン
パクト化することができる。また、これにより、運転中
のベルト破損等の心配もなくなる。なお、ワイヤー列１
２４を形成する溝付ローラ１２２の駆動方式について
も、前記ワイヤーリール１１２と同様にして駆動モータ
を直接溝付ローラ１２２に連結して駆動する方式を採用
することにより、ワイヤソー１１０と同様の効果を得る
ことができる。
ためのスペースを省くことができるので、駆動部をコン
パクト化することができる。また、これにより、運転中
のベルト破損等の心配もなくなる。なお、ワイヤー列１
２４を形成する溝付ローラ１２２の駆動方式について
も、前記ワイヤーリール１１２と同様にして駆動モータ
を直接溝付ローラ１２２に連結して駆動する方式を採用
することにより、ワイヤソー１１０と同様の効果を得る
ことができる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
のワイヤーソーのワイヤーリール取付構造によれば、タ
ーンテーブルのフランジとワイヤーリールの前記ターン
テーブル側のフランジとの間にのみボルトの締付力が加
わるように締め付け固定するようにした。これにより、
ワイヤーをワイヤーリールに巻き付けていくことにより
ワイヤーリールに長手方向の伸び力が作用しても、ボル
トには軸方向の引張力が働かないので、ワイヤーリール
をターンテーブルから取り外す時に、ボルトを簡単に回
して弛めることができる。
のワイヤーソーのワイヤーリール取付構造によれば、タ
ーンテーブルのフランジとワイヤーリールの前記ターン
テーブル側のフランジとの間にのみボルトの締付力が加
わるように締め付け固定するようにした。これにより、
ワイヤーをワイヤーリールに巻き付けていくことにより
ワイヤーリールに長手方向の伸び力が作用しても、ボル
トには軸方向の引張力が働かないので、ワイヤーリール
をターンテーブルから取り外す時に、ボルトを簡単に回
して弛めることができる。
【００３６】また、本発明の請求項２のワイヤーソーの
ワイヤーリール取付構造によれば、ターンテーブルのフ
ランジとワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフラ
ンジとの間にのみボルトの締付力が加わるように締め付
け固定するようにすると共に、ワイヤーリールとターン
テーブルの嵌め合わせ部をテーパ合わせにした。これい
より、ワイヤーをワイヤーリールに巻き付けていくこと
によりワイヤーリールに長手方向の伸び力が作用して
も、ボルトには軸方向の引張力が働かないので、ワイヤ
ーリールをターンテーブルから取り外す時に、ボルトを
簡単に回して弛めることができると共に、ワイヤーリー
ルのフランジが変形しても前記嵌め合わせ部を簡単に取
り外すことができる。
ワイヤーリール取付構造によれば、ターンテーブルのフ
ランジとワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフラ
ンジとの間にのみボルトの締付力が加わるように締め付
け固定するようにすると共に、ワイヤーリールとターン
テーブルの嵌め合わせ部をテーパ合わせにした。これい
より、ワイヤーをワイヤーリールに巻き付けていくこと
によりワイヤーリールに長手方向の伸び力が作用して
も、ボルトには軸方向の引張力が働かないので、ワイヤ
ーリールをターンテーブルから取り外す時に、ボルトを
簡単に回して弛めることができると共に、ワイヤーリー
ルのフランジが変形しても前記嵌め合わせ部を簡単に取
り外すことができる。
【００３７】また、本発明の請求項３のワイヤーソーの
ワイヤーリール取付構造によれば、ワイヤーリールとタ
ーンテーブルのフランジ同志を締め付け固定するボルト
位置を、前記ワイヤーリールと前記ターンテーブルの中
心線からずらした位置に複数設定するようにした。これ
により、ワイヤーの巻き付けによりワイヤーリールが変
形しても、その変形によるボルトの伸びがないので、ボ
ルトには軸方向の引張力が働かない。従って、ワイヤー
リールをターンテーブルから簡単に取り外すことができ
る。また、ボルトを回り止めピンの代わりに使用するこ
とができる。
ワイヤーリール取付構造によれば、ワイヤーリールとタ
ーンテーブルのフランジ同志を締め付け固定するボルト
位置を、前記ワイヤーリールと前記ターンテーブルの中
心線からずらした位置に複数設定するようにした。これ
により、ワイヤーの巻き付けによりワイヤーリールが変
形しても、その変形によるボルトの伸びがないので、ボ
ルトには軸方向の引張力が働かない。従って、ワイヤー
リールをターンテーブルから簡単に取り外すことができ
る。また、ボルトを回り止めピンの代わりに使用するこ
とができる。
【００３８】このように、本発明のワイヤーソーのワイ
ヤーリール取付構造を採用すると、ターンテーブルに対
するワイヤーリールの着脱を容易且つ迅速に行うことが
できるので、作業能率を向上させることができる。ま
た、ボルトに異常な引張力が加わらないので、ボルトの
寿命を伸ばすことができる。また、ボルト位置を、ワイ
ヤーリールと前記ターンテーブルの中心線からずらした
位置に複数設定する場合には、ボルトを短くできるの
で、ボルトの抜き差しのためのスペースが殆ど必要な
く、ワイヤーソー本体をコンパクト化できる。
ヤーリール取付構造を採用すると、ターンテーブルに対
するワイヤーリールの着脱を容易且つ迅速に行うことが
できるので、作業能率を向上させることができる。ま
た、ボルトに異常な引張力が加わらないので、ボルトの
寿命を伸ばすことができる。また、ボルト位置を、ワイ
ヤーリールと前記ターンテーブルの中心線からずらした
位置に複数設定する場合には、ボルトを短くできるの
で、ボルトの抜き差しのためのスペースが殆ど必要な
く、ワイヤーソー本体をコンパクト化できる。
【００３９】また、請求項４記載の発明によれば、ワイ
ヤリール及び溝付ローラは駆動モータに直結され、各々
の駆動モータからダイレクトに駆動される。これによ
り、加減速時間の短縮が行われ、スループットが向上す
る。また、駆動モータにイナーシャの低いモータ、即ち
寸法の小さいモータを使用することができるので、駆動
部をコンパクト化することができる。更に、従来必要で
あったベルト伝動機構のためのスペースを省くことがで
きるので、駆動部をコンパクト化することができる。
ヤリール及び溝付ローラは駆動モータに直結され、各々
の駆動モータからダイレクトに駆動される。これによ
り、加減速時間の短縮が行われ、スループットが向上す
る。また、駆動モータにイナーシャの低いモータ、即ち
寸法の小さいモータを使用することができるので、駆動
部をコンパクト化することができる。更に、従来必要で
あったベルト伝動機構のためのスペースを省くことがで
きるので、駆動部をコンパクト化することができる。
【図１】ワイヤーソーの全体構成図
【図２】本発明に係るワイヤーソーのワイヤーリール取
付構造の第１実施例を説明する断面図
付構造の第１実施例を説明する断面図
【図３】本発明に係るワイヤーソーのワイヤーリール取
付構造の第２実施例を説明する断面図
付構造の第２実施例を説明する断面図
【図４】ワイヤーリールの巻き取り方向を説明する説明
図で、図４（ａ）は正しい巻き取り方向を示し、図４
（ｂ）は誤った巻き取り方向を示す
図で、図４（ａ）は正しい巻き取り方向を示し、図４
（ｂ）は誤った巻き取り方向を示す
【図５】本発明に係るワイヤーソーのワイヤーリール取
付構造の第３実施例を説明する断面図
付構造の第３実施例を説明する断面図
【図６】本発明に係るワイヤーソーのワイヤーリール取
付構造の第４実施例を説明する断面図
付構造の第４実施例を説明する断面図
【図７】ワイヤーリールをターンテーブルに取り付ける
際の、位置合わせ用Ｖブロックを示した上面図
際の、位置合わせ用Ｖブロックを示した上面図
【図８】ワイヤーリールの駆動部の断面図
【図９】従来のワイヤーソーのワイヤーリール取付構造
を説明する断面図
を説明する断面図
【図１０】ワイヤーリールにワイヤーを巻き付ける際に
発生するワイヤーリールの変形を示した説明図
発生するワイヤーリールの変形を示した説明図
１０、１１４…ワイヤー ２０…ターンテーブル ３０…ターンテーブルのフランジ ３０Ａ…ターンテーブルの凸部 ３０Ｂ…ターンテーブルのねじ穴 ３２、５２…ボルト ３２Ａ、５４…ボルトのねじ部 ３２Ｂ…ボルトの軸部 ３２Ｅ…ボルトの段付き部 ３６、１１２…ワイヤーリール ３８…ワイヤーリールの胴部 ４０…上フランジ ４２…下フランジ ４４、５２…ボルト穴 ４８…ワッシャ ５０…テーパ １１０…ワイヤーソー １２２…溝付ローラ １２４…ワイヤ列 １２８、１３０、１３２…駆動モータ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年５月１６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 ワイヤーソーのワイヤーリール取付
構造
構造
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の利用分野】本発明はワイヤーソーのワイヤーリ
ール取付構造に係り、特に、ワイヤーリールをターンテ
ーブルにボルトで締め付け固定するワイヤーソーのワイ
ヤーリール取付構造に関する。
ール取付構造に係り、特に、ワイヤーリールをターンテ
ーブルにボルトで締め付け固定するワイヤーソーのワイ
ヤーリール取付構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ワイヤーソーのワイヤーリール取
付構造は、ワイヤーリールをターンテーブルにボルトを
ねじ込んで固定する構造になっており、例えば、図８
は、ワイヤーリール１とターンテーブル２のそれぞれの
フランジ３、４の合わせ面に形成された嵌合部３Ａ、４
Ａを嵌め合わせた状態でボルトで締め付け固定する。こ
の場合は、ワイヤーリール１をターンテーブル２に載せ
て、ワイヤーリール１の下フランジ４に形成された円柱
状の凹部４Ａを、ターンテーブル２のフランジ３に形成
された円柱状の凸部３Ａに嵌め合わせる。同時にターン
テーブル２に設けられて回り止めピン６を、下フランジ
４に設けられたピン穴７に挿入する。次に、ワイヤーリ
ール１の中心線に沿って形成されたボルト穴８にボルト
９を差し込んで、ボルトヘッド９Ａをワイヤーリール１
の上フランジ５に支持させると共に、ターンテーブル２
の凸部３Ａに形成されたねじ穴３Ｂ（雌ねじ）に、ボル
ト９のねじ部９Ｂ（雄ねじ）を螺合させる。これによ
り、ボルト９のねじ部９Ｂがターンテーブル２のねじ穴
３Ｂに侵入するに従って、上フランジ５とターンテーブ
ル２のフランジ３との間にボルト９の締付力が加わり、
ワイヤーリール１をターンテーブル２に締め付け固定す
ることができる。即ち、ワイヤーリール１の上フランジ
５をボルト９の締め付け面としていた。
付構造は、ワイヤーリールをターンテーブルにボルトを
ねじ込んで固定する構造になっており、例えば、図８
は、ワイヤーリール１とターンテーブル２のそれぞれの
フランジ３、４の合わせ面に形成された嵌合部３Ａ、４
Ａを嵌め合わせた状態でボルトで締め付け固定する。こ
の場合は、ワイヤーリール１をターンテーブル２に載せ
て、ワイヤーリール１の下フランジ４に形成された円柱
状の凹部４Ａを、ターンテーブル２のフランジ３に形成
された円柱状の凸部３Ａに嵌め合わせる。同時にターン
テーブル２に設けられて回り止めピン６を、下フランジ
４に設けられたピン穴７に挿入する。次に、ワイヤーリ
ール１の中心線に沿って形成されたボルト穴８にボルト
９を差し込んで、ボルトヘッド９Ａをワイヤーリール１
の上フランジ５に支持させると共に、ターンテーブル２
の凸部３Ａに形成されたねじ穴３Ｂ（雌ねじ）に、ボル
ト９のねじ部９Ｂ（雄ねじ）を螺合させる。これによ
り、ボルト９のねじ部９Ｂがターンテーブル２のねじ穴
３Ｂに侵入するに従って、上フランジ５とターンテーブ
ル２のフランジ３との間にボルト９の締付力が加わり、
ワイヤーリール１をターンテーブル２に締め付け固定す
ることができる。即ち、ワイヤーリール１の上フランジ
５をボルト９の締め付け面としていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤーソーのワイヤーリール取付構造は、次の欠点が
ある。 （１）ワイヤーソーのワイヤーリール１は、ワイヤーリ
ール１にワイヤー１０、１０…が幾重にも巻回するの
で、ワイヤー１０をワイヤーリール１に巻き付けていく
と、図９に示す矢印方向の力１１がワイヤーリール１の
長手方向に作用する。この力により、ワイヤーリール１
の全長が伸びるので、ボルト９に軸方向の強い引張力が
働く。この結果、ワイヤーリール１をターンテーブル２
から取り外す際に、ボルト９が回らなくなるという欠点
がある。 （２）また、前記矢印方向の力１１によりワイヤーリー
ル１の各フランジ面４、５が弓状に変形するので、ワイ
ヤーリール１の下フランジ面４の凹部４Ａがターンテー
ブル２のフランジ面３の凸部３Ａに食い付き、ボルト９
をワイヤーリール１から抜いてもワイヤーリール１がタ
ーンテーブル２から外れなくなるという欠点がある。
ワイヤーソーのワイヤーリール取付構造は、次の欠点が
ある。 （１）ワイヤーソーのワイヤーリール１は、ワイヤーリ
ール１にワイヤー１０、１０…が幾重にも巻回するの
で、ワイヤー１０をワイヤーリール１に巻き付けていく
と、図９に示す矢印方向の力１１がワイヤーリール１の
長手方向に作用する。この力により、ワイヤーリール１
の全長が伸びるので、ボルト９に軸方向の強い引張力が
働く。この結果、ワイヤーリール１をターンテーブル２
から取り外す際に、ボルト９が回らなくなるという欠点
がある。 （２）また、前記矢印方向の力１１によりワイヤーリー
ル１の各フランジ面４、５が弓状に変形するので、ワイ
ヤーリール１の下フランジ面４の凹部４Ａがターンテー
ブル２のフランジ面３の凸部３Ａに食い付き、ボルト９
をワイヤーリール１から抜いてもワイヤーリール１がタ
ーンテーブル２から外れなくなるという欠点がある。
【０００４】従って、前記（１）及び（２）の欠点によ
り、ワイヤーリール１をターンテーブル２から取り外す
作業が困難になると共に、作業に長時間を要する。 （３）また、ワイヤーリール１をターンテーブル２に載
せる際に、ワイヤーリール１の凹部４Ａとターンテーブ
ル２の凸部３Ａの嵌め合いと同時に，回り止め用ピン６
とピン穴７の位置出しをしなくてはならず、作業が面倒
であるという欠点がある。
り、ワイヤーリール１をターンテーブル２から取り外す
作業が困難になると共に、作業に長時間を要する。 （３）また、ワイヤーリール１をターンテーブル２に載
せる際に、ワイヤーリール１の凹部４Ａとターンテーブ
ル２の凸部３Ａの嵌め合いと同時に，回り止め用ピン６
とピン穴７の位置出しをしなくてはならず、作業が面倒
であるという欠点がある。
【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、ワイヤーの巻き付けによるワイヤーリールの
変形に影響を受けることなく、ターンテーブルからワイ
ヤーリールを容易に取り外すことができるので、作業効
率を向上できるワイヤーソーのワイヤーリール取付構造
を提供することを目的とする。
たもので、ワイヤーの巻き付けによるワイヤーリールの
変形に影響を受けることなく、ターンテーブルからワイ
ヤーリールを容易に取り外すことができるので、作業効
率を向上できるワイヤーソーのワイヤーリール取付構造
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリー
ルの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共
に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して前記被
加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソ
ーであって、前記ワイヤーを巻き戻し又は巻き取りを行
う前記ワイヤーリールの中心線に形成されたボルト穴に
ボルトを差し込み、回転動力側のターンテーブルに前記
ボルトをねじ込んで、前記ワイヤーリールを前記ターン
テーブルに固定するワイヤーソーのワイヤーリール取付
構造に於いて、前記ボルトは段付き構造に形成され、前
記ワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフランジ
を、前記ボルトの段付き部とターンテーブルのフランジ
とで締め付けてタービンロータ側に固定することを特徴
とする。
する為に、一方のワイヤーリールと他方のワイヤーリー
ルの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共
に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して前記被
加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソ
ーであって、前記ワイヤーを巻き戻し又は巻き取りを行
う前記ワイヤーリールの中心線に形成されたボルト穴に
ボルトを差し込み、回転動力側のターンテーブルに前記
ボルトをねじ込んで、前記ワイヤーリールを前記ターン
テーブルに固定するワイヤーソーのワイヤーリール取付
構造に於いて、前記ボルトは段付き構造に形成され、前
記ワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフランジ
を、前記ボルトの段付き部とターンテーブルのフランジ
とで締め付けてタービンロータ側に固定することを特徴
とする。
【０００７】また、前記目的を達成する為に、一方のワ
イヤーリールと他方のワイヤーリールの間を走行するワ
イヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに
砥粒を含む加工液を供給して前記被加工物を多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
イヤーを巻き戻し又は巻き取りを行う前記ワイヤーリー
ルの嵌合部を回転動力側のターンテーブルの嵌合部に嵌
め合わせた状態で、ワイヤーリールの中心線に形成され
たボルト穴にボルトを差し込み、ターンテーブルに前記
ボルトをねじ込んで、前記ワイヤーリールを前記ターン
テーブルに固定するワイヤーソーのワイヤーリール取付
構造に於いて、前記ボルトは段付き構造に形成され、前
記ワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフランジ
を、前記ボルトの段付き部とターンテーブルのフランジ
とで締め付けてタービンロータ側に固定すると共に、前
記それぞれの嵌合部にテーパを形成してテーパ合わせす
るようにしたことを特徴とする。
イヤーリールと他方のワイヤーリールの間を走行するワ
イヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに
砥粒を含む加工液を供給して前記被加工物を多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
イヤーを巻き戻し又は巻き取りを行う前記ワイヤーリー
ルの嵌合部を回転動力側のターンテーブルの嵌合部に嵌
め合わせた状態で、ワイヤーリールの中心線に形成され
たボルト穴にボルトを差し込み、ターンテーブルに前記
ボルトをねじ込んで、前記ワイヤーリールを前記ターン
テーブルに固定するワイヤーソーのワイヤーリール取付
構造に於いて、前記ボルトは段付き構造に形成され、前
記ワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフランジ
を、前記ボルトの段付き部とターンテーブルのフランジ
とで締め付けてタービンロータ側に固定すると共に、前
記それぞれの嵌合部にテーパを形成してテーパ合わせす
るようにしたことを特徴とする。
【０００８】また、前記目的を達成する為に、一方のワ
イヤーリールと他方のワイヤーリールの間を走行するワ
イヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに
砥粒を含む加工液を供給して前記被加工物を多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
イヤーを巻き戻し又は巻き取りを行う前記ワイヤーリー
ルを回転動力側のターンテーブルにボルトで固定するワ
イヤーソーのワイヤーリール取付構造に於いて、前記ワ
イヤーリールの前記ターンテーブル側のフランジと前記
ターンテーブルのフランジとをボルトで締め付け固定す
ると共に、前記フランジ同志を固定するボルト位置を、
前記ワイヤーリールの中心線からずらした位置に複数設
けることを特徴とする。
イヤーリールと他方のワイヤーリールの間を走行するワ
イヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに
砥粒を含む加工液を供給して前記被加工物を多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
イヤーを巻き戻し又は巻き取りを行う前記ワイヤーリー
ルを回転動力側のターンテーブルにボルトで固定するワ
イヤーソーのワイヤーリール取付構造に於いて、前記ワ
イヤーリールの前記ターンテーブル側のフランジと前記
ターンテーブルのフランジとをボルトで締め付け固定す
ると共に、前記フランジ同志を固定するボルト位置を、
前記ワイヤーリールの中心線からずらした位置に複数設
けることを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明の請求項１によれば、ターンテーブルの
フランジとワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフ
ランジとの間にのみボルトの締付力が加わるように締め
付け固定することができる。これにより、従来のよう
に、ワイヤーリールの上フランジとターンテーブルのフ
ランジとの間に締付力が加わらないので、ワイヤーをワ
イヤーリールに巻き付けていくことによりワイヤーリー
ルの長手方向に伸び力が作用しても、ボルトには軸方向
の引張力が働かない。従って、ワイヤーリールをターン
テーブルから取り外す時に、ボルトを簡単に回して弛め
ることができる。
フランジとワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフ
ランジとの間にのみボルトの締付力が加わるように締め
付け固定することができる。これにより、従来のよう
に、ワイヤーリールの上フランジとターンテーブルのフ
ランジとの間に締付力が加わらないので、ワイヤーをワ
イヤーリールに巻き付けていくことによりワイヤーリー
ルの長手方向に伸び力が作用しても、ボルトには軸方向
の引張力が働かない。従って、ワイヤーリールをターン
テーブルから取り外す時に、ボルトを簡単に回して弛め
ることができる。
【００１０】また、本発明の請求項２によれば、ターン
テーブルのフランジとワイヤーリールの前記ターンテー
ブル側のフランジとの間にのみボルトの締付力が加わる
ように締め付け固定すると共に、それぞれの嵌合部を、
テーパ合わせにした。これにより、請求項１の場合と同
様に、ワイヤーの巻き付けによりワイヤーリールに長手
方向の伸び力が作用しても、ボルトには軸方向の引張力
が働かない。更に、嵌合部をテーパ合わせにしたので、
フランジが変形しても嵌合部同志の食い付きが生じな
い。これにより、ワイヤーリールをターンテーブルから
簡単に取り外すことができる。
テーブルのフランジとワイヤーリールの前記ターンテー
ブル側のフランジとの間にのみボルトの締付力が加わる
ように締め付け固定すると共に、それぞれの嵌合部を、
テーパ合わせにした。これにより、請求項１の場合と同
様に、ワイヤーの巻き付けによりワイヤーリールに長手
方向の伸び力が作用しても、ボルトには軸方向の引張力
が働かない。更に、嵌合部をテーパ合わせにしたので、
フランジが変形しても嵌合部同志の食い付きが生じな
い。これにより、ワイヤーリールをターンテーブルから
簡単に取り外すことができる。
【００１１】また、本発明の請求項３によれば、ワイヤ
ーリールとターンテーブルのフランジ同志を締め付け固
定するボルト位置を、前記ワイヤーリールと前記ターン
テーブルの中心線からずらした位置に複数設定するよう
にした。これにより、ワイヤーの巻き付けによりワイヤ
ーリールが変形しても、その変形によるボルトの伸びが
ないので、ボルトには軸方向の引張力が働かない。従っ
て、ワイヤーリールをターンテーブルから簡単に取り外
すことができる。また、ボルトを回り止めピンの代わり
に使用することができる。
ーリールとターンテーブルのフランジ同志を締め付け固
定するボルト位置を、前記ワイヤーリールと前記ターン
テーブルの中心線からずらした位置に複数設定するよう
にした。これにより、ワイヤーの巻き付けによりワイヤ
ーリールが変形しても、その変形によるボルトの伸びが
ないので、ボルトには軸方向の引張力が働かない。従っ
て、ワイヤーリールをターンテーブルから簡単に取り外
すことができる。また、ボルトを回り止めピンの代わり
に使用することができる。
【００１２】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーのワイヤーリール取付構造の好ましい実施例につい
て詳説する。本発明に係るワイヤーソーのワイヤーリー
ル取付構造の実施例を説明する前に、先ず、ワイヤーソ
ー１１０の全体構成を図１に従って説明する。一方のワ
イヤーリール１１２に巻回されたワイヤー１１４は、ワ
イヤー案内装置１１６、複数の固定ガイドローラ１１
８、１１８、ダンサローラ１２０を経由して３本の溝付
きローラ１２２、１２２、１２２に順次巻き掛けられて
ワイヤー列１２４を形成した後、複数の固定ガイドロー
ラ１１８、１１８、ダンサローラ１２０、ワイヤー案内
装置１１６を経て他方のワイヤーリール１２６に巻き取
られる。
ソーのワイヤーリール取付構造の好ましい実施例につい
て詳説する。本発明に係るワイヤーソーのワイヤーリー
ル取付構造の実施例を説明する前に、先ず、ワイヤーソ
ー１１０の全体構成を図１に従って説明する。一方のワ
イヤーリール１１２に巻回されたワイヤー１１４は、ワ
イヤー案内装置１１６、複数の固定ガイドローラ１１
８、１１８、ダンサローラ１２０を経由して３本の溝付
きローラ１２２、１２２、１２２に順次巻き掛けられて
ワイヤー列１２４を形成した後、複数の固定ガイドロー
ラ１１８、１１８、ダンサローラ１２０、ワイヤー案内
装置１１６を経て他方のワイヤーリール１２６に巻き取
られる。
【００１３】前記ダンサローラ１２０には所定重量の錘
１４４が吊設され、走行するワイヤー１１４に常に所要
の張力が付与される。前記ワイヤー走行路の途中にはワ
イヤー洗浄装置１４６が設けられ、このワイヤー洗浄装
置１４６によってワイヤー１１４に付着した加工液１４
０が除去される。
１４４が吊設され、走行するワイヤー１１４に常に所要
の張力が付与される。前記ワイヤー走行路の途中にはワ
イヤー洗浄装置１４６が設けられ、このワイヤー洗浄装
置１４６によってワイヤー１１４に付着した加工液１４
０が除去される。
【００１４】前記ワイヤーリール１１２、１２６は、そ
れぞれ正逆回転可能な駆動モータ１２８、１３０に連結
されると共に、３本のうちの１本の溝付きローラ１２２
は正逆回転可能な駆動モータ１３２に連結される。これ
により、ワイヤー１１４は一方のワイヤーリール１１２
と他方のワイヤーリール１２６の間を往復走行する。前
記ワイヤー列１２４には、砥液貯留タンク１３８に貯留
された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程度のも
のが使用される）を含む加工液１４０が砥液供給ノズル
１４２から供給される。
れぞれ正逆回転可能な駆動モータ１２８、１３０に連結
されると共に、３本のうちの１本の溝付きローラ１２２
は正逆回転可能な駆動モータ１３２に連結される。これ
により、ワイヤー１１４は一方のワイヤーリール１１２
と他方のワイヤーリール１２６の間を往復走行する。前
記ワイヤー列１２４には、砥液貯留タンク１３８に貯留
された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程度のも
のが使用される）を含む加工液１４０が砥液供給ノズル
１４２から供給される。
【００１５】前記ワイヤー列１２４の下方には、被加工
物である半導体インゴット１５４がワークブロック１５
６とスライスベース１５８を介してワーク送りテーブル
１４８に支持される。このワーク送りテーブル１４８は
モータ１５０で回動するネジ桿１５２により上下方向に
移動自在に設けられる。前記半導体インゴット１５４
は、前記ワーク送りテーブル１４８を上方に移動させる
ことにより高速走行するワイヤー列１２４に押し当てら
れ、その高速走行するワイヤー列１２４に供給される加
工液１４０によるラッピング作用により多数の薄板状の
ウェーハに切断される。
物である半導体インゴット１５４がワークブロック１５
６とスライスベース１５８を介してワーク送りテーブル
１４８に支持される。このワーク送りテーブル１４８は
モータ１５０で回動するネジ桿１５２により上下方向に
移動自在に設けられる。前記半導体インゴット１５４
は、前記ワーク送りテーブル１４８を上方に移動させる
ことにより高速走行するワイヤー列１２４に押し当てら
れ、その高速走行するワイヤー列１２４に供給される加
工液１４０によるラッピング作用により多数の薄板状の
ウェーハに切断される。
【００１６】次に、本発明に係るワイヤーソーのワイヤ
ーソー取付構造の第１実施例に付いて説明する。図２
は、本発明のワイヤーソーのワイヤーリール取付構造の
第１実施例を説明する断面図である。図示しないワイヤ
ーソー本体のフレーム壁には、ターンテーブル２０を回
転させるモータ２２及び回転軸２４等の回転動力部を内
蔵するケーシング２６がボルト２８、２８…止めされ
る。また、ターンテーブル２０のフランジ３０上面の中
央部には、円柱状の凸部３０Ａが形成されると共に、後
記するボルト３２のねじ部３２Ａ（雄ねじ）に螺合する
ねじ穴３０Ｂ（雌ねじ）が形成され、更に、前記フラン
ジ面３０の外周側には、回り止めピン３４が突出してい
る。一方、ワイヤーリール３６は、円筒状の胴部３８の
両端に円板状の上フランジ４０（図２の上側のフラン
ジ）と下フランジ４２（図２の下側のフランジ）が夫々
固着され、下フランジ４２の中央部には、ターンテーブ
ル２０の凸部３０Ａに嵌合する凹部４２Ａが形成されて
いると共に、外周側には回り止めピン３４に対応するピ
ン穴４３が形成されている。また、ワイヤーリール３６
の中心線には、ボルト３２が貫通するボルト穴４４が形
成され、このボルト穴４４の径は、上フランジ４０と胴
部３８がボルト３２の軸部３２Ｂが貫通する径に形成さ
れると共に、下フランジ４２が軸部３２Ｂより径の小さ
なねじ部３２Ａが貫通する径に形成される。また、ボル
ト３２は、ボルトの軸部３２Ｂよりネジ部３２Ａが細く
なった段付き部３２Ｅを有する段付き構造に形成され、
ボルト３２のねじ部３２Ａの長さは、ターンテーブル２
０に形成されたねじ穴３０Ｂよりやや短めに形成され
る。また、ボルト３２のヘッド部３２Ｃは軸部３２Ｂと
同じ径に形成されると共に、その端面にドライバー部材
（図示せず）を差し込む六角穴３２Ｄが穿設されてい
る。
ーソー取付構造の第１実施例に付いて説明する。図２
は、本発明のワイヤーソーのワイヤーリール取付構造の
第１実施例を説明する断面図である。図示しないワイヤ
ーソー本体のフレーム壁には、ターンテーブル２０を回
転させるモータ２２及び回転軸２４等の回転動力部を内
蔵するケーシング２６がボルト２８、２８…止めされ
る。また、ターンテーブル２０のフランジ３０上面の中
央部には、円柱状の凸部３０Ａが形成されると共に、後
記するボルト３２のねじ部３２Ａ（雄ねじ）に螺合する
ねじ穴３０Ｂ（雌ねじ）が形成され、更に、前記フラン
ジ面３０の外周側には、回り止めピン３４が突出してい
る。一方、ワイヤーリール３６は、円筒状の胴部３８の
両端に円板状の上フランジ４０（図２の上側のフラン
ジ）と下フランジ４２（図２の下側のフランジ）が夫々
固着され、下フランジ４２の中央部には、ターンテーブ
ル２０の凸部３０Ａに嵌合する凹部４２Ａが形成されて
いると共に、外周側には回り止めピン３４に対応するピ
ン穴４３が形成されている。また、ワイヤーリール３６
の中心線には、ボルト３２が貫通するボルト穴４４が形
成され、このボルト穴４４の径は、上フランジ４０と胴
部３８がボルト３２の軸部３２Ｂが貫通する径に形成さ
れると共に、下フランジ４２が軸部３２Ｂより径の小さ
なねじ部３２Ａが貫通する径に形成される。また、ボル
ト３２は、ボルトの軸部３２Ｂよりネジ部３２Ａが細く
なった段付き部３２Ｅを有する段付き構造に形成され、
ボルト３２のねじ部３２Ａの長さは、ターンテーブル２
０に形成されたねじ穴３０Ｂよりやや短めに形成され
る。また、ボルト３２のヘッド部３２Ｃは軸部３２Ｂと
同じ径に形成されると共に、その端面にドライバー部材
（図示せず）を差し込む六角穴３２Ｄが穿設されてい
る。
【００１７】そして、ワイヤーリール３６をターンテー
ブル２０に固定するには、先ず、ターンテーブル２０の
フランジ３０面上にワイヤーリール３６を載せて、ワイ
ヤーリール３６の下フランジ４２面に形成された凹部４
２Ａを、ターンテーブル２０のフランジ３０面に形成さ
れた凸部３０Ａに嵌合させる。同時に下フランジ４２の
ピン穴４３をターンテーブル２０から突起した回り止め
ピン３４に挿入する。次に、ボルト３２をボルト穴４４
に差し込んで、ねじ部３２Ａをターンテーブルフランジ
２０のねじ穴３０Ｂに螺合させる。これにより、ボルト
３２を回転してねじ部３２Ａをねじ穴３０Ｂに侵入させ
ていくと、ボルト３２の段付き部３２Ｅが下フランジ４
２の上面４２Ｂに当接し、下フランジ４２とターンテー
ブル２０のフランジ３０との間にボルト３２の締付力が
働くので、ワイヤーリール３６はターンテーブル２０に
締め付け固定される。即ち、ワイヤーリール３６の下フ
ランジ４２とターンテーブル２０のフランジ３０との間
にのみボルト３２の締付力が加わるように締め付け固定
することができる。
ブル２０に固定するには、先ず、ターンテーブル２０の
フランジ３０面上にワイヤーリール３６を載せて、ワイ
ヤーリール３６の下フランジ４２面に形成された凹部４
２Ａを、ターンテーブル２０のフランジ３０面に形成さ
れた凸部３０Ａに嵌合させる。同時に下フランジ４２の
ピン穴４３をターンテーブル２０から突起した回り止め
ピン３４に挿入する。次に、ボルト３２をボルト穴４４
に差し込んで、ねじ部３２Ａをターンテーブルフランジ
２０のねじ穴３０Ｂに螺合させる。これにより、ボルト
３２を回転してねじ部３２Ａをねじ穴３０Ｂに侵入させ
ていくと、ボルト３２の段付き部３２Ｅが下フランジ４
２の上面４２Ｂに当接し、下フランジ４２とターンテー
ブル２０のフランジ３０との間にボルト３２の締付力が
働くので、ワイヤーリール３６はターンテーブル２０に
締め付け固定される。即ち、ワイヤーリール３６の下フ
ランジ４２とターンテーブル２０のフランジ３０との間
にのみボルト３２の締付力が加わるように締め付け固定
することができる。
【００１８】従って、本発明のワイヤーソーのワイヤー
リール取付構造によれば、ワイヤーリール３６の上フラ
ンジ４０とターンテーブル２０のフランジ３０との間に
ボルト３２の締付力が加わる従来のワイヤーソーのワイ
ヤーリール取付構造とは異なり、ワイヤー１０の巻き付
けによりワイヤーリール３６の長手方向に伸び力が作用
しても、ボルト３２には引張力が働かない。この結果、
ワイヤーリール３６をターンテーブル２０から取り外す
時に、ボルト３２を簡単に回して弛めることができる。
従って、ワイヤーリール３６の取り外し作業を容易且つ
迅速に行うことができるので、作業能率を向上させるこ
とができる。
リール取付構造によれば、ワイヤーリール３６の上フラ
ンジ４０とターンテーブル２０のフランジ３０との間に
ボルト３２の締付力が加わる従来のワイヤーソーのワイ
ヤーリール取付構造とは異なり、ワイヤー１０の巻き付
けによりワイヤーリール３６の長手方向に伸び力が作用
しても、ボルト３２には引張力が働かない。この結果、
ワイヤーリール３６をターンテーブル２０から取り外す
時に、ボルト３２を簡単に回して弛めることができる。
従って、ワイヤーリール３６の取り外し作業を容易且つ
迅速に行うことができるので、作業能率を向上させるこ
とができる。
【００１９】次に、図３に従って、本発明のワイヤーソ
ーのワイヤーリール取付構造の第２実施例を説明する。
第１実施例は、段付き部３２Ｅを下フランジ４２の上面
４２Ｂに当接させる必要があるので、ボルト３２を差し
込む上フランジ４０と胴部３８は、ボルト３２の軸部３
２Ｂが挿入できる径のボルト穴４４が必要であり、一
方、下フランジ４２はボルト３２のネジ部３２Ａが挿入
でき、且つ、軸部３２Ｂが通過できない径のボルト穴４
４が必要である。これにより、第１実施例では、ワイヤ
ーリール３６が上下対称でないため、上フランジ４０と
下フランジ４２を逆にして（上フランジ４０をターンテ
ーブル２０のフランジ３０と合わせる）使用することが
できない。従って、新しいワイヤーを巻き付ける際に、
ワイヤーの巻き方向を限定しなくてはならないという不
具合がある。即ち、ワイヤーソーの構造上、図４（ａ）
に示すように、作業者４６側の手前にワイヤー１０がく
るように巻き付ける必要があり、図４（ｂ）のようにワ
イヤー１０が作業者４６の裏側にくるように巻き付ける
と問題がある。
ーのワイヤーリール取付構造の第２実施例を説明する。
第１実施例は、段付き部３２Ｅを下フランジ４２の上面
４２Ｂに当接させる必要があるので、ボルト３２を差し
込む上フランジ４０と胴部３８は、ボルト３２の軸部３
２Ｂが挿入できる径のボルト穴４４が必要であり、一
方、下フランジ４２はボルト３２のネジ部３２Ａが挿入
でき、且つ、軸部３２Ｂが通過できない径のボルト穴４
４が必要である。これにより、第１実施例では、ワイヤ
ーリール３６が上下対称でないため、上フランジ４０と
下フランジ４２を逆にして（上フランジ４０をターンテ
ーブル２０のフランジ３０と合わせる）使用することが
できない。従って、新しいワイヤーを巻き付ける際に、
ワイヤーの巻き方向を限定しなくてはならないという不
具合がある。即ち、ワイヤーソーの構造上、図４（ａ）
に示すように、作業者４６側の手前にワイヤー１０がく
るように巻き付ける必要があり、図４（ｂ）のようにワ
イヤー１０が作業者４６の裏側にくるように巻き付ける
と問題がある。
【００２０】そこで、本発明のワイヤーソーのワイヤー
リール取付構造の第２実施例では、図３に示すように、
ワイヤーリール３６の構造を上下対称にし、ワイヤーリ
ール３６胴部３２Ｂのボルト穴４４内にワッシャ４８を
移動自在に設けた。具体的には、ボルト穴４４の径、及
び凹部４０Ａ、４２Ａ及びピン穴４３を上下のフランジ
４０、４２で同じに形成すると共に、ワイヤーリール３
６の胴部３８のボルト穴４４の径を各フランジ４０、４
２に形成されるボルト穴の径より大きくした。また、胴
部３８のボルト穴４４内に、ボルト３２のねじ部３２Ａ
が挿入可能で、且つ軸部３２Ｂが通らない孔を有するワ
ッシャ４８を移動自在に設けた。そして、ワッシャ４８
を介して段付き部３２Ｅをワイヤーリールのフランジに
当接させるようにした。その他の構造は、第１実施例と
同じである。
リール取付構造の第２実施例では、図３に示すように、
ワイヤーリール３６の構造を上下対称にし、ワイヤーリ
ール３６胴部３２Ｂのボルト穴４４内にワッシャ４８を
移動自在に設けた。具体的には、ボルト穴４４の径、及
び凹部４０Ａ、４２Ａ及びピン穴４３を上下のフランジ
４０、４２で同じに形成すると共に、ワイヤーリール３
６の胴部３８のボルト穴４４の径を各フランジ４０、４
２に形成されるボルト穴の径より大きくした。また、胴
部３８のボルト穴４４内に、ボルト３２のねじ部３２Ａ
が挿入可能で、且つ軸部３２Ｂが通らない孔を有するワ
ッシャ４８を移動自在に設けた。そして、ワッシャ４８
を介して段付き部３２Ｅをワイヤーリールのフランジに
当接させるようにした。その他の構造は、第１実施例と
同じである。
【００２１】これにより、第２実施例によれば、ターン
テーブル２０に載せるワイヤーリール３６の上下方向を
逆にすることができるので、ワイヤー１０の巻き方向を
限定する必要がない。即ち、図４（ｂ）の巻き方になる
場合には、ワイヤーリール３６の上下方向を逆にしてタ
ーンテーブル２０に載せてボルト３２で固定すれば、図
４（ａ）の巻き方向に変えることができる。
テーブル２０に載せるワイヤーリール３６の上下方向を
逆にすることができるので、ワイヤー１０の巻き方向を
限定する必要がない。即ち、図４（ｂ）の巻き方になる
場合には、ワイヤーリール３６の上下方向を逆にしてタ
ーンテーブル２０に載せてボルト３２で固定すれば、図
４（ａ）の巻き方向に変えることができる。
【００２２】次に、図５に従って、本発明のワイヤーソ
ーのワイヤーリール取付構造の第３実施例を説明する。
第３実施例は、ワイヤーリール３６の下フランジ４２に
形成された凹部４２Ａの形状を、奥に行くに従って穴径
が細くなるようにテーパ５０を付けると共に、ターンテ
ーブル２０のフランジ３０に形成された凸部３０Ａを、
先端部に行くに従って細くなるようにテーパ５０を付け
た。その他の構造は第１実施例と同様である。これによ
り、第１実施例と同様に、ターンテーブル２０のフラン
ジ３０とワイヤーリール３６の下フランジ４２との間に
のみボルト３２の締付力が加わるように締め付け固定す
ることができるという効果を奏する上に、嵌め合い部
（凸部３０Ａと凹部４２Ａ）をテーパ５０にしたので、
ワイヤーリール３６が図１０に示したように変形して
も、凹部４２Ａが凸部３０Ａに食い付くことがない。従
って、第１実施例よりも更に、ワイヤーリール３６の取
り外し作業を容易且つ迅速に行うことができる。
ーのワイヤーリール取付構造の第３実施例を説明する。
第３実施例は、ワイヤーリール３６の下フランジ４２に
形成された凹部４２Ａの形状を、奥に行くに従って穴径
が細くなるようにテーパ５０を付けると共に、ターンテ
ーブル２０のフランジ３０に形成された凸部３０Ａを、
先端部に行くに従って細くなるようにテーパ５０を付け
た。その他の構造は第１実施例と同様である。これによ
り、第１実施例と同様に、ターンテーブル２０のフラン
ジ３０とワイヤーリール３６の下フランジ４２との間に
のみボルト３２の締付力が加わるように締め付け固定す
ることができるという効果を奏する上に、嵌め合い部
（凸部３０Ａと凹部４２Ａ）をテーパ５０にしたので、
ワイヤーリール３６が図１０に示したように変形して
も、凹部４２Ａが凸部３０Ａに食い付くことがない。従
って、第１実施例よりも更に、ワイヤーリール３６の取
り外し作業を容易且つ迅速に行うことができる。
【００２３】また、第３実施例は、第２実施例にも適用
することができることは言うまでもない。次に、図６に
従って、本発明のワイヤーソーのワイヤーリール取付構
造の第４実施例を説明する。第４実施例は、嵌め合い部
（凸部３０Ａと凹部４２Ａ）をテーパ５０にした以外
に、ターンテーブル２０のフランジ３０の外周側近傍の
対向する位置にボルト穴５２、５２を形成すると共に、
ワイヤーリール３６の下フランジ４２の前記ボルト穴５
２、５２に対応する位置にねじ穴５４、５４を形成し
た。即ち、第１〜第３実施例で示したように、ワイヤー
リール３６とターンテーブル２０の中心線に沿ってボル
ト穴４４及びねじ穴３０Ｂを形成するのではなく、中心
線から離れた位置にボルト穴５０とねじ穴５２を形成し
て、ワイヤーリール３６の下フランジ４２とターンテー
ブル２０のフランジ３０との間にボルト５６、５６の締
付力が加わるようにした。これにより、ワイヤーリール
３６が図１０にように変形しても、その変形によるボル
ト５６の伸びがないため、ボルト５６には軸方向の引張
力が働かない。従って、ターンテーブル２０からワイヤ
ーリール３６を取り外す時に、ボルト５６を容易に回転
させて弛めることができる。また、ボルト５６が回り止
めピン３４の役目を行うので、回り止めピン３４を省略
することができる。これにより、回り止めピン３４とピ
ン穴４３の位置出しをする必要がなくなる。従って、ワ
イヤーリール３６をターンテーブル２０に着脱する時間
を大幅に短縮することができる。また、ボルト５６の長
さが短くなるので、ワイヤーソーにボルト５６の抜き差
しに必要なスペースを殆ど取る必要がなくなるので、ワ
イヤーソー本体をコンパクト化することができる。
することができることは言うまでもない。次に、図６に
従って、本発明のワイヤーソーのワイヤーリール取付構
造の第４実施例を説明する。第４実施例は、嵌め合い部
（凸部３０Ａと凹部４２Ａ）をテーパ５０にした以外
に、ターンテーブル２０のフランジ３０の外周側近傍の
対向する位置にボルト穴５２、５２を形成すると共に、
ワイヤーリール３６の下フランジ４２の前記ボルト穴５
２、５２に対応する位置にねじ穴５４、５４を形成し
た。即ち、第１〜第３実施例で示したように、ワイヤー
リール３６とターンテーブル２０の中心線に沿ってボル
ト穴４４及びねじ穴３０Ｂを形成するのではなく、中心
線から離れた位置にボルト穴５０とねじ穴５２を形成し
て、ワイヤーリール３６の下フランジ４２とターンテー
ブル２０のフランジ３０との間にボルト５６、５６の締
付力が加わるようにした。これにより、ワイヤーリール
３６が図１０にように変形しても、その変形によるボル
ト５６の伸びがないため、ボルト５６には軸方向の引張
力が働かない。従って、ターンテーブル２０からワイヤ
ーリール３６を取り外す時に、ボルト５６を容易に回転
させて弛めることができる。また、ボルト５６が回り止
めピン３４の役目を行うので、回り止めピン３４を省略
することができる。これにより、回り止めピン３４とピ
ン穴４３の位置出しをする必要がなくなる。従って、ワ
イヤーリール３６をターンテーブル２０に着脱する時間
を大幅に短縮することができる。また、ボルト５６の長
さが短くなるので、ワイヤーソーにボルト５６の抜き差
しに必要なスペースを殆ど取る必要がなくなるので、ワ
イヤーソー本体をコンパクト化することができる。
【００２４】尚、図７は、ワイヤーリール３６をターン
テーブル２０に載せる際の位置出しを容易にするため
に、ターンテーブル２０に沿って、Ｖガイド６０を立設
させたものであり、第１から第４実施例の全てに適用す
ることができる。また、ワイヤーリール側のフランジに
凹部を設け、ターンテーブル側のフランジに凸部を設け
たが、逆にしてもよい。
テーブル２０に載せる際の位置出しを容易にするため
に、ターンテーブル２０に沿って、Ｖガイド６０を立設
させたものであり、第１から第４実施例の全てに適用す
ることができる。また、ワイヤーリール側のフランジに
凹部を設け、ターンテーブル側のフランジに凸部を設け
たが、逆にしてもよい。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
のワイヤーソーのワイヤーリール取付構造によれば、タ
ーンテーブルのフランジとワイヤーリールの前記ターン
テーブル側のフランジとの間にのみボルトの締付力が加
わるように締め付け固定するようにした。これにより、
ワイヤーをワイヤーリールに巻き付けていくことにより
ワイヤーリールに長手方向の伸び力が作用しても、ボル
トには軸方向の引張力が働かないので、ワイヤーリール
をターンテーブルから取り外す時に、ボルトを簡単に回
して弛めることができる。
のワイヤーソーのワイヤーリール取付構造によれば、タ
ーンテーブルのフランジとワイヤーリールの前記ターン
テーブル側のフランジとの間にのみボルトの締付力が加
わるように締め付け固定するようにした。これにより、
ワイヤーをワイヤーリールに巻き付けていくことにより
ワイヤーリールに長手方向の伸び力が作用しても、ボル
トには軸方向の引張力が働かないので、ワイヤーリール
をターンテーブルから取り外す時に、ボルトを簡単に回
して弛めることができる。
【００２６】また、本発明の請求項２のワイヤーソーの
ワイヤーリール取付構造によれば、ターンテーブルのフ
ランジとワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフラ
ンジとの間にのみボルトの締付力が加わるように締め付
け固定するようにすると共に、ワイヤーリールとターン
テーブルの嵌め合わせ部をテーパ合わせにした。これに
より、ワイヤーをワイヤーリールに巻き付けていく際に
ワイヤーリールに長手方向の伸び力が作用しても、ボル
トには軸方向の引張力が働かないので、ワイヤーリール
をターンテーブルから取り外す時に、ボルトを簡単に回
して弛めることができると共に、ワイヤーリールのフラ
ンジが変形しても前記嵌め合わせ部を簡単に取り外すこ
とができる。
ワイヤーリール取付構造によれば、ターンテーブルのフ
ランジとワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフラ
ンジとの間にのみボルトの締付力が加わるように締め付
け固定するようにすると共に、ワイヤーリールとターン
テーブルの嵌め合わせ部をテーパ合わせにした。これに
より、ワイヤーをワイヤーリールに巻き付けていく際に
ワイヤーリールに長手方向の伸び力が作用しても、ボル
トには軸方向の引張力が働かないので、ワイヤーリール
をターンテーブルから取り外す時に、ボルトを簡単に回
して弛めることができると共に、ワイヤーリールのフラ
ンジが変形しても前記嵌め合わせ部を簡単に取り外すこ
とができる。
【００２７】また、本発明の請求項３のワイヤーソーの
ワイヤーリール取付構造によれば、ワイヤーリールとタ
ーンテーブルのフランジ同志を締め付け固定するボルト
位置を、前記ワイヤーリールと前記ターンテーブルの中
心線からずらした位置に複数設定するようにした。これ
により、ワイヤーの巻き付けによりワイヤーリールが変
形しても、その変形によるボルトの伸びがないので、ボ
ルトには軸方向の引張力が働かない。従って、ワイヤー
リールをターンテーブルから簡単に取り外すことができ
る。また、ボルトを回り止めピンの代わりに使用するこ
とができる。
ワイヤーリール取付構造によれば、ワイヤーリールとタ
ーンテーブルのフランジ同志を締め付け固定するボルト
位置を、前記ワイヤーリールと前記ターンテーブルの中
心線からずらした位置に複数設定するようにした。これ
により、ワイヤーの巻き付けによりワイヤーリールが変
形しても、その変形によるボルトの伸びがないので、ボ
ルトには軸方向の引張力が働かない。従って、ワイヤー
リールをターンテーブルから簡単に取り外すことができ
る。また、ボルトを回り止めピンの代わりに使用するこ
とができる。
【００２８】このように、本発明のワイヤーソーのワイ
ヤーリール取付構造を採用すると、ターンテーブルに対
するワイヤーリールの着脱を容易且つ迅速に行うことが
できるので、作業能率を向上させることができる。ま
た、ボルトに異常な引張力が加わらないので、ボルトの
寿命を伸ばすことができる。また、ボルト位置を、ワイ
ヤーリールと前記ターンテーブルの中心線からずらした
位置に複数設定する場合には、ボルトを短くできるの
で、ボルトの抜き差しのためのスペースが殆ど必要な
く、ワイヤーソー本体をコンパクト化できる。
ヤーリール取付構造を採用すると、ターンテーブルに対
するワイヤーリールの着脱を容易且つ迅速に行うことが
できるので、作業能率を向上させることができる。ま
た、ボルトに異常な引張力が加わらないので、ボルトの
寿命を伸ばすことができる。また、ボルト位置を、ワイ
ヤーリールと前記ターンテーブルの中心線からずらした
位置に複数設定する場合には、ボルトを短くできるの
で、ボルトの抜き差しのためのスペースが殆ど必要な
く、ワイヤーソー本体をコンパクト化できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】ワイヤーソーの全体構成図
【図２】本発明に係るワイヤーソーのワイヤーリール取
付構造の第１実施例を説明する断面図
付構造の第１実施例を説明する断面図
【図３】本発明に係るワイヤーソーのワイヤーリール取
付構造の第２実施例を説明する断面図
付構造の第２実施例を説明する断面図
【図４】ワイヤーリールの巻き取り方向を説明する説明
図で、図４（ａ）は正しい巻き取り方向を示し、図４
（ｂ）は誤った巻き取り方向を示す
図で、図４（ａ）は正しい巻き取り方向を示し、図４
（ｂ）は誤った巻き取り方向を示す
【図５】本発明に係るワイヤーソーのワイヤーリール取
付構造の第３実施例を説明する断面図
付構造の第３実施例を説明する断面図
【図６】本発明に係るワイヤーソーのワイヤーリール取
付構造の第４実施例を説明する断面図
付構造の第４実施例を説明する断面図
【図７】ワイヤーリールをターンテーブルに取り付ける
際の、位置合わせ用Ｖブロックを示した上面図
際の、位置合わせ用Ｖブロックを示した上面図
【図８】従来のワイヤーソーのワイヤーリール取付構造
を説明する断面図
を説明する断面図
【図９】ワイヤーリールにワイヤーを巻き付ける際に発
生するワイヤーリールの変形を示した説明図
生するワイヤーリールの変形を示した説明図
【符号の説明】 １０、１１４…ワイヤー ２０…ターンテーブル ３０…ターンテーブルのフランジ ３０Ａ…ターンテーブルの凸部 ３０Ｂ…ターンテーブルのねじ穴 ３２、５２…ボルト ３２Ａ、５４…ボルトのねじ部 ３２Ｂ…ボルトの軸部 ３２Ｅ…ボルトの段付き部 ３６、１１２…ワイヤーリール ３８…ワイヤーリールに胴部 ４０…上フランジ ４２…下フランジ ４４、５２…ボルト穴 ４８…ワッシャ ５０…テーパ １１０…ワイヤーソー １２２…溝付ローラ １２４…ワイヤ列 １２８、１３０、１３２…駆動モータ
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正内容】
【図８】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正内容】
【図９】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】削除
Claims (5)
- 【請求項１】 一方のワイヤーリールと他方のワイヤー
リールの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てる
と共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して前
記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤ
ーソーであって、前記ワイヤーを巻き戻し又は巻き取り
を行う前記ワイヤーリールの中心線に形成されたボルト
穴にボルトを差し込み、回転動力側のターンテーブルに
前記ボルトをねじ込んで、前記ワイヤーリールを前記タ
ーンテーブルに固定するワイヤーソーのワイヤーリール
取付構造に於いて、 前記ボルトは段付き構造に形成され、前記ワイヤーリー
ルの前記ターンテーブル側のフランジを、前記ボルトの
段付き部とターンテーブルのフランジとで締め付けてタ
ービンロータ側に固定することを特徴とするワイヤーソ
ーのワイヤーリール取付構造。 - 【請求項２】 一方のワイヤーリールと他方のワイヤー
リールの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てる
と共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して前
記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤ
ーソーであって、前記ワイヤーを巻き戻し又は巻き取り
を行う前記ワイヤーリールの嵌合部を回転動力側のター
ンテーブルの嵌合部に嵌め合わせた状態で、ワイヤーリ
ールの中心線に形成されたボルト穴にボルトを差し込
み、ターンテーブルに前記ボルトをねじ込んで、前記ワ
イヤーリールを前記ターンテーブルに固定するワイヤー
ソーのワイヤーリール取付構造に於いて、 前記ボルトは段付き構造に形成され、前記ワイヤーリー
ルの前記ターンテーブル側のフランジを、前記ボルトの
段付き部とターンテーブルのフランジとで締め付けてタ
ービンロータ側に固定すると共に、前記それぞれの嵌合
部にテーパを形成してテーパ合わせするようにしたこと
を特徴とするワイヤーソーのワイヤーリール取付構造。 - 【請求項３】 一方のワイヤーリールと他方のワイヤー
リールの間を走行するワイヤーに被加工物を押し当てる
と共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して前
記被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤ
ーソーであって、前記ワイヤーを巻き戻し又は巻き取り
を行う前記ワイヤーリールを回転動力側のターンテーブ
ルにボルトで固定するワイヤーソーのワイヤーリール取
付構造に於いて、 前記ワイヤーリールの前記ターンテーブル側のフランジ
と前記ターンテーブルのフランジとをボルトで締め付け
固定すると共に、前記フランジ同志を固定するボルト位
置を、前記ワイヤーリールの中心線からずらした位置に
複数設けることを特徴とするワイヤーソーのワイヤーリ
ール取付構造。 - 【請求項４】 ワイヤを一方のワイヤリールから繰り出
して複数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤ列を形成して
他方のワイヤリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ列に
砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し当て、該被
加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソー
において、 前記ワイヤリールを駆動する駆動モータの回転軸に、該
回転軸と同軸上に前記ワイヤリールを連結したことを特
徴とするワイヤソー。 - 【請求項５】 ワイヤを一方のワイヤリールから繰り出
して複数個の溝付ローラに巻き掛けワイヤ列を形成して
他方のワイヤリールに巻き取ると共に、前記ワイヤ列に
砥粒を含む加工液を供給して被加工物を押し当て、該被
加工物を多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソー
において、 前記溝付ローラを駆動する駆動モータの回転軸に、該回
転軸と同軸上に前記溝付ローラを連結したことを特徴と
するワイヤソー。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9700895A JP3084699B2 (ja) | 1994-05-16 | 1995-04-21 | ワイヤーソーのワイヤーリール取付構造 |
| US08/633,645 US5896851A (en) | 1995-04-21 | 1996-04-17 | Wire saw |
| KR1019960011758A KR100394223B1 (ko) | 1995-04-21 | 1996-04-18 | 와이어 톱 |
| DE69622317T DE69622317D1 (de) | 1995-04-21 | 1996-04-19 | Drahtsäge |
| EP96302767A EP0742066B1 (en) | 1995-04-21 | 1996-04-19 | Wire saw |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10121894 | 1994-05-16 | ||
| JP6-101218 | 1994-05-16 | ||
| JP9700895A JP3084699B2 (ja) | 1994-05-16 | 1995-04-21 | ワイヤーソーのワイヤーリール取付構造 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11576495A Division JP3211930B2 (ja) | 1994-05-16 | 1995-05-15 | ワイヤーソー |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0839419A true JPH0839419A (ja) | 1996-02-13 |
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ID=26438158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9700895A Expired - Fee Related JP3084699B2 (ja) | 1994-05-16 | 1995-04-21 | ワイヤーソーのワイヤーリール取付構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3084699B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102039447A (zh) * | 2009-10-13 | 2011-05-04 | 小松Ntc株式会社 | 线材线轴支撑装置以及线状锯的线材送出卷绕装置 |
| KR200468209Y1 (ko) * | 2011-06-24 | 2013-08-01 | 현대중공업 주식회사 | 용접 와이어용 릴의 보호캡 조립체 |
| CN106426584A (zh) * | 2016-09-23 | 2017-02-22 | 江苏美科硅能源有限公司 | 一种硅片线截断机排线机构 |
| CN110509139A (zh) * | 2019-08-13 | 2019-11-29 | 江苏众鑫磁电有限公司 | 多晶硅打磨处理装置 |
| CN110509139B (zh) * | 2019-08-13 | 2024-06-04 | 江苏众鑫磁电有限公司 | 多晶硅打磨处理装置 |
-
1995
- 1995-04-21 JP JP9700895A patent/JP3084699B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102039447A (zh) * | 2009-10-13 | 2011-05-04 | 小松Ntc株式会社 | 线材线轴支撑装置以及线状锯的线材送出卷绕装置 |
| KR200468209Y1 (ko) * | 2011-06-24 | 2013-08-01 | 현대중공업 주식회사 | 용접 와이어용 릴의 보호캡 조립체 |
| CN106426584A (zh) * | 2016-09-23 | 2017-02-22 | 江苏美科硅能源有限公司 | 一种硅片线截断机排线机构 |
| CN110509139A (zh) * | 2019-08-13 | 2019-11-29 | 江苏众鑫磁电有限公司 | 多晶硅打磨处理装置 |
| CN110509139B (zh) * | 2019-08-13 | 2024-06-04 | 江苏众鑫磁电有限公司 | 多晶硅打磨处理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3084699B2 (ja) | 2000-09-04 |
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