JPH11162646A - 有機エレクトロルミネッセント素子 - Google Patents
有機エレクトロルミネッセント素子Info
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- JPH11162646A JPH11162646A JP9340649A JP34064997A JPH11162646A JP H11162646 A JPH11162646 A JP H11162646A JP 9340649 A JP9340649 A JP 9340649A JP 34064997 A JP34064997 A JP 34064997A JP H11162646 A JPH11162646 A JP H11162646A
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Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 長期間にわたり均一な発光が維持でき、かつ
発光効率のよい有機EL素子を提供する。 【解決手段】 発光層を含む一層以上の有機層4および
5よりなる有機EL素子において、正孔注入電極2およ
び電子注入電極7と有機層の間にそれぞれ、例えばMg
F2からなる誘電体薄膜層3および6を設置することに
より、熱による有機層の変質に伴うダークスポットの発
生や成長を抑制すると共に、両電極間のショートを抑制
する。 【効果】 連続発光させた場合にも輝度が低下するとい
うことが少なく、長期にわたって安定した発光が行なえ
る有機EL素子となる。
発光効率のよい有機EL素子を提供する。 【解決手段】 発光層を含む一層以上の有機層4および
5よりなる有機EL素子において、正孔注入電極2およ
び電子注入電極7と有機層の間にそれぞれ、例えばMg
F2からなる誘電体薄膜層3および6を設置することに
より、熱による有機層の変質に伴うダークスポットの発
生や成長を抑制すると共に、両電極間のショートを抑制
する。 【効果】 連続発光させた場合にも輝度が低下するとい
うことが少なく、長期にわたって安定した発光が行なえ
る有機EL素子となる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、正孔注入電極と電
子注入電極との間に少なくとも発光層を含む有機層を挟
持してなる有機エレクトロルミネッセント素子に関し、
発光効率がよく、かつ長期間安定な発光が得られる有機
エレクトロルミネッセント素子に関する。
子注入電極との間に少なくとも発光層を含む有機層を挟
持してなる有機エレクトロルミネッセント素子に関し、
発光効率がよく、かつ長期間安定な発光が得られる有機
エレクトロルミネッセント素子に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、情報機器の多様化などにともなっ
て、小型で消費電カや占有体積の少ない平面表示素子へ
の要求が高まっているが、軽量・小型でかつ、バックラ
イトを必要としない発光素子であるエレクトロルミネッ
セント素子(以下、EL素子と略す)がこのような平面
表示素子の一つとして注目されている。EL素子には、
有機EL素子と無機EL素子がある。このうちの有機E
L素子の特徴は、無機EL素子と違って、5〜20V程
度の低い電圧で駆動でき、かつ、発光材料である螢光物
質を選択することによって目的とする色彩の発光素子を
得ることができることである。また、RGB三原色の発
光領域を秩序正しく配置することによりフルカラー表示
装置への利用が可能であると考えられている。このよう
な期待のもとに有機EL素子の実用化を目指した研究が
盛んに行なわれている。
て、小型で消費電カや占有体積の少ない平面表示素子へ
の要求が高まっているが、軽量・小型でかつ、バックラ
イトを必要としない発光素子であるエレクトロルミネッ
セント素子(以下、EL素子と略す)がこのような平面
表示素子の一つとして注目されている。EL素子には、
有機EL素子と無機EL素子がある。このうちの有機E
L素子の特徴は、無機EL素子と違って、5〜20V程
度の低い電圧で駆動でき、かつ、発光材料である螢光物
質を選択することによって目的とする色彩の発光素子を
得ることができることである。また、RGB三原色の発
光領域を秩序正しく配置することによりフルカラー表示
装置への利用が可能であると考えられている。このよう
な期待のもとに有機EL素子の実用化を目指した研究が
盛んに行なわれている。
【0003】上記の有機EL素子の素子構造としては、
正孔注入電極と電子注入電極との間に、正孔輸送層、発
光層および電子輸送層を積層したTL構造と称される三
層構造のものや、正孔注入電極と電子注入電極との間
に、正孔輸送層と電子輸送性に富む発光層とが積層され
たDL−E構造と称される二層構造のものや、正孔注入
電極と電子注入電極との間に正孔輸送性に富む発光層と
電子輸送層とが積層されたDL−H構造と称される二層
構造のものが知られている。ここで、正孔輸送層や電子
輸送層は2層以上積層しても差し支えない。
正孔注入電極と電子注入電極との間に、正孔輸送層、発
光層および電子輸送層を積層したTL構造と称される三
層構造のものや、正孔注入電極と電子注入電極との間
に、正孔輸送層と電子輸送性に富む発光層とが積層され
たDL−E構造と称される二層構造のものや、正孔注入
電極と電子注入電極との間に正孔輸送性に富む発光層と
電子輸送層とが積層されたDL−H構造と称される二層
構造のものが知られている。ここで、正孔輸送層や電子
輸送層は2層以上積層しても差し支えない。
【0004】このような有機EL素子は、上記のように
低電圧で駆動でき、しかも多色化が容易であるという利
点を有しているが、長期間連続発光させると輝度が低下
するという、いわゆる素子寿命が短いという問題があ
る。この問題を解決するために、材料面から、および素
子構造面からのアプローチなど様々な角度からの検討が
なされている。しかしまだ実用化には十分であるとは言
い難い。
低電圧で駆動でき、しかも多色化が容易であるという利
点を有しているが、長期間連続発光させると輝度が低下
するという、いわゆる素子寿命が短いという問題があ
る。この問題を解決するために、材料面から、および素
子構造面からのアプローチなど様々な角度からの検討が
なされている。しかしまだ実用化には十分であるとは言
い難い。
【0005】この素子寿命が短い原因の一つとして、発
光時に発生するジュール熱がある。このジュール熱によ
り電極材料の有機層へのマイグレーションや、発光層な
どの有機層の結晶化などが起こり、いわゆるダークスポ
ットといわれる発光しない場所が生じ、発光領域全体の
発光輝度が低下する。このようなダークスポットの発生
や成長を抑制するためには、 発光層内で正孔と電子の再結合確率の向上や再結合に
より生じたエネルギーを効率よく光に変換すること、す
なわち有機EL素子の高効率化が要求される。 有機層の耐熱性を向上し、熱による薄膜の構造変化を
抑制する。 発生する熱を効率よく拡散することにより、素子の温
度上昇を抑制する。 有機層の膜質が変化しても、ショートしないようにす
る。 ことなどが考えられる。
光時に発生するジュール熱がある。このジュール熱によ
り電極材料の有機層へのマイグレーションや、発光層な
どの有機層の結晶化などが起こり、いわゆるダークスポ
ットといわれる発光しない場所が生じ、発光領域全体の
発光輝度が低下する。このようなダークスポットの発生
や成長を抑制するためには、 発光層内で正孔と電子の再結合確率の向上や再結合に
より生じたエネルギーを効率よく光に変換すること、す
なわち有機EL素子の高効率化が要求される。 有機層の耐熱性を向上し、熱による薄膜の構造変化を
抑制する。 発生する熱を効率よく拡散することにより、素子の温
度上昇を抑制する。 有機層の膜質が変化しても、ショートしないようにす
る。 ことなどが考えられる。
【0006】素子構造の改善により高効率化できる新し
い方法がアプライド・フィジックス・レター 70巻 152-
154頁 (1997年)に提案されている。その方法とは電子注
入電極と有機層との間にLiFやMgOの薄膜を設置す
ることにより、高効率化をはかるものである。この方法
は素子の高効率化の他に、電子注入電極に高活性な仕事
関数が4eV以下の金属が使われ、慣用的にはMgとA
gの共蒸着膜が使用されおり、素子外部から侵入する酸
素や水のために変質しやすいという欠点がある。また、
この方法では安定性の高い仕事関数の大きい金属である
Alを使用しても、MgとAgを共蒸着して作成した素
子よりも効率がよい。しかし、上記誘電体薄膜は、有機
層の上に積層されたものであり、有機層の熱による膜構
造変化の影響をもろに受け、電子注入電極も容易に変形
してしまい、正孔注入電極と電子注入電極とのショート
を抑制することはできないという問題点を有している。
い方法がアプライド・フィジックス・レター 70巻 152-
154頁 (1997年)に提案されている。その方法とは電子注
入電極と有機層との間にLiFやMgOの薄膜を設置す
ることにより、高効率化をはかるものである。この方法
は素子の高効率化の他に、電子注入電極に高活性な仕事
関数が4eV以下の金属が使われ、慣用的にはMgとA
gの共蒸着膜が使用されおり、素子外部から侵入する酸
素や水のために変質しやすいという欠点がある。また、
この方法では安定性の高い仕事関数の大きい金属である
Alを使用しても、MgとAgを共蒸着して作成した素
子よりも効率がよい。しかし、上記誘電体薄膜は、有機
層の上に積層されたものであり、有機層の熱による膜構
造変化の影響をもろに受け、電子注入電極も容易に変形
してしまい、正孔注入電極と電子注入電極とのショート
を抑制することはできないという問題点を有している。
【0007】この電極間のショートを防ぐ方法が、特開
平8−288069号公報に開示されている。その方法
は正孔注入電極と有機層の間に誘電体薄膜を設置する方
法である。これは熱により有機層が変質して、電子注入
電極が変形しても正孔注入電極とショートしないように
誘電体薄膜を設置したもので、発光寿命には顕著な効果
が認められる。しかし、実施例に示されている5nmの
SiO薄膜を設置すると、一定電流を流したときの発光
輝度が誘電体薄膜を設置しない素子の発光輝度より著し
く低下しており、実施例に記載はないが動作電圧はかな
り上昇していることが想定され、実用的ではないという
問題点を有していた。
平8−288069号公報に開示されている。その方法
は正孔注入電極と有機層の間に誘電体薄膜を設置する方
法である。これは熱により有機層が変質して、電子注入
電極が変形しても正孔注入電極とショートしないように
誘電体薄膜を設置したもので、発光寿命には顕著な効果
が認められる。しかし、実施例に示されている5nmの
SiO薄膜を設置すると、一定電流を流したときの発光
輝度が誘電体薄膜を設置しない素子の発光輝度より著し
く低下しており、実施例に記載はないが動作電圧はかな
り上昇していることが想定され、実用的ではないという
問題点を有していた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、有機EL素
子における上記のような間題を解決することを課題とす
るものであり、正孔注入電極と電子注入電極からなる一
対の電極間に少なくとも発光層を含む一層以上の有機層
からなる有機エレクトロルミネッセント素子において、
長時間連続発光させた場合にもその輝度低下が少なく、
かつ高効率の発光が得られる有機EL素子を提供するこ
とを目的とするものである。
子における上記のような間題を解決することを課題とす
るものであり、正孔注入電極と電子注入電極からなる一
対の電極間に少なくとも発光層を含む一層以上の有機層
からなる有機エレクトロルミネッセント素子において、
長時間連続発光させた場合にもその輝度低下が少なく、
かつ高効率の発光が得られる有機EL素子を提供するこ
とを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明においては、上記
のような課題を解決するため、正孔注入電極と電子注入
電極との間に少なくとも発光層を含む有機層が形成され
てなる有機エレクトロルミネッセント素子において、正
孔注入電極と有機層との間、および電子注入電極と有機
層の間に、それぞれ誘電体薄膜層を設けるようにしたの
である。すなわち、正孔注入電極上に誘電体薄膜層を蒸
着法やスパッタ法により積層したのち、有機層を積層す
る。次いで、誘電体薄膜層を積層し、電子注入電極を積
層する。驚くべき事には、このような誘電体薄膜を設置
したにもかかわらす、素子の動作電圧は低く、また発光
効率も予想外によい。
のような課題を解決するため、正孔注入電極と電子注入
電極との間に少なくとも発光層を含む有機層が形成され
てなる有機エレクトロルミネッセント素子において、正
孔注入電極と有機層との間、および電子注入電極と有機
層の間に、それぞれ誘電体薄膜層を設けるようにしたの
である。すなわち、正孔注入電極上に誘電体薄膜層を蒸
着法やスパッタ法により積層したのち、有機層を積層す
る。次いで、誘電体薄膜層を積層し、電子注入電極を積
層する。驚くべき事には、このような誘電体薄膜を設置
したにもかかわらす、素子の動作電圧は低く、また発光
効率も予想外によい。
【0010】本発明の有機EL素子における有機層の構
造は、少なくとも発光層を含む有機層が一層以上で形成
されていればよく、前記のTL構造、DL−E構造、D
L―H構造の何れの構造のものであっても良い。本発明
の有機EL素子における有機層とは、正孔輸送、発光、
電子輸送などの目的を持って積層された有機化合物から
なる層の全体を指すものである。
造は、少なくとも発光層を含む有機層が一層以上で形成
されていればよく、前記のTL構造、DL−E構造、D
L―H構造の何れの構造のものであっても良い。本発明
の有機EL素子における有機層とは、正孔輸送、発光、
電子輸送などの目的を持って積層された有機化合物から
なる層の全体を指すものである。
【0011】本発明の有機EL素子に用いられる正孔注
入電極としては、仕事関数の大きい(4eV以上)金
属、合金、電気伝導性化合物およびこれらの混合物を使
用することができる。たとえば、Auなどの金属、Cu
I、インジウムチンオキサイド(以後、ITOと略記す
る)、SnO2、ZnOなどの透明又は半透明な材料を
蒸着やスパッタリングなどの方法により、薄膜を透明な
基板上に形成することができる。一方、通常電子注入電
極には仕事関数の小さい(4eV以下)金属、合金、電
気伝導性化合物およびこれらの混合物が用いられる。し
かし、本発明の有機EL素子に用いられる電子注入電極
には、仕事関数に関係なく導電性材料であれば、いかな
るものでも使用できる。
入電極としては、仕事関数の大きい(4eV以上)金
属、合金、電気伝導性化合物およびこれらの混合物を使
用することができる。たとえば、Auなどの金属、Cu
I、インジウムチンオキサイド(以後、ITOと略記す
る)、SnO2、ZnOなどの透明又は半透明な材料を
蒸着やスパッタリングなどの方法により、薄膜を透明な
基板上に形成することができる。一方、通常電子注入電
極には仕事関数の小さい(4eV以下)金属、合金、電
気伝導性化合物およびこれらの混合物が用いられる。し
かし、本発明の有機EL素子に用いられる電子注入電極
には、仕事関数に関係なく導電性材料であれば、いかな
るものでも使用できる。
【0012】本発明の有機EL素子に用いられる誘電体
薄膜層を構成する材料としては、導電体以外ならば、特
に制限なく使用できる。例えば、アルキル金属酸化物、
アルカリ土類金属酸化物、アルカリ金属ハロゲン化物、
アルカリ土類金属ハロゲン化物などである。アルキル金
属酸化物としてはLi2O、Na2O、K2Oなどが挙げ
られる。アルカリ土類金属酸化物としては、BeO、M
gO、CaOなどが挙げられる。アルカリ金属ハロゲン
化物としては、LiCl、NaCl、KCl、LiF、
NaF、KFなどが挙げられる。アルカリ土類金属ハロ
ゲン化物としては、BeCl2、MgCl2、CaC
l2、BeF2、MgF2、CaF2などが挙げられる。こ
のうち、誘電体薄膜層を構成する材料として好ましいの
は、LiF、NaF、KFなどのアルキル金属フっ化
物、もしくはBeF2、MgF2、CaF2などのアルカ
リ土類金属フッ化物である。
薄膜層を構成する材料としては、導電体以外ならば、特
に制限なく使用できる。例えば、アルキル金属酸化物、
アルカリ土類金属酸化物、アルカリ金属ハロゲン化物、
アルカリ土類金属ハロゲン化物などである。アルキル金
属酸化物としてはLi2O、Na2O、K2Oなどが挙げ
られる。アルカリ土類金属酸化物としては、BeO、M
gO、CaOなどが挙げられる。アルカリ金属ハロゲン
化物としては、LiCl、NaCl、KCl、LiF、
NaF、KFなどが挙げられる。アルカリ土類金属ハロ
ゲン化物としては、BeCl2、MgCl2、CaC
l2、BeF2、MgF2、CaF2などが挙げられる。こ
のうち、誘電体薄膜層を構成する材料として好ましいの
は、LiF、NaF、KFなどのアルキル金属フっ化
物、もしくはBeF2、MgF2、CaF2などのアルカ
リ土類金属フッ化物である。
【0013】本発明の有機EL素子に用いられる誘電体
薄膜層を、正孔注入電極と発光層との間に設けるにあた
っては、有機EL素子の駆動電圧の上昇を抑えるため
に、この誘電体薄膜層の膜厚を薄く、しかも均一に形成
することが好ましい。電子注入電極側と正孔注入電極側
の誘電体薄膜層の厚さは同じであっても、異なっていて
も差し支えない。しかしながら、正孔注入電極側の誘電
体薄膜層はショート防止が目的であるため厚い方が好ま
しいが、50nm以上の膜厚では絶縁層となって有機E
L素子が発光しなくなるか、動作電圧が著しく上昇し実
用的でない。誘電体薄膜層の厚さは好ましくは20nm
以下であり、さらに好ましくは5nm以下である。さら
に、この正孔注入電極側の誘電体薄膜層の厚さは、用い
られる材料の分子の大きさ以上であるのが好ましい。
薄膜層を、正孔注入電極と発光層との間に設けるにあた
っては、有機EL素子の駆動電圧の上昇を抑えるため
に、この誘電体薄膜層の膜厚を薄く、しかも均一に形成
することが好ましい。電子注入電極側と正孔注入電極側
の誘電体薄膜層の厚さは同じであっても、異なっていて
も差し支えない。しかしながら、正孔注入電極側の誘電
体薄膜層はショート防止が目的であるため厚い方が好ま
しいが、50nm以上の膜厚では絶縁層となって有機E
L素子が発光しなくなるか、動作電圧が著しく上昇し実
用的でない。誘電体薄膜層の厚さは好ましくは20nm
以下であり、さらに好ましくは5nm以下である。さら
に、この正孔注入電極側の誘電体薄膜層の厚さは、用い
られる材料の分子の大きさ以上であるのが好ましい。
【0014】上記の無機材料からなる誘電体薄膜層を設
ける場合には、たとえば抵抗加熱蒸着法やエレクトロン
ビーム蒸着法やスパッタ法などの通常行われている方法
を用いることができる。スパッタ法などの高エネルギー
法で誘電体薄膜層を有機層の上に形成するときには、下
地となる有機層が熱により劣化するため、そのようなこ
とが起こらないように十分な管理下のもとで行なわなけ
ればならないので、抵抗蒸着法で誘電体薄膜を形成する
のが好ましい。また、電子注入電極側の誘電体薄膜層の
厚さの動作電圧の上昇が及ぼす影響は、上記正孔注入電
極側の誘電体薄膜層の厚さ依存性に比較して激しいため
に、電子注入電極側の誘電体薄膜層は薄い方がよく、好
ましくは10nm以下であり、さらに好ましくは2nm
以下である。さらに、電子注入電極側の誘電体薄膜層の
厚さは、用いられる材料の分子の大きさ以上であるのが
好ましい。
ける場合には、たとえば抵抗加熱蒸着法やエレクトロン
ビーム蒸着法やスパッタ法などの通常行われている方法
を用いることができる。スパッタ法などの高エネルギー
法で誘電体薄膜層を有機層の上に形成するときには、下
地となる有機層が熱により劣化するため、そのようなこ
とが起こらないように十分な管理下のもとで行なわなけ
ればならないので、抵抗蒸着法で誘電体薄膜を形成する
のが好ましい。また、電子注入電極側の誘電体薄膜層の
厚さの動作電圧の上昇が及ぼす影響は、上記正孔注入電
極側の誘電体薄膜層の厚さ依存性に比較して激しいため
に、電子注入電極側の誘電体薄膜層は薄い方がよく、好
ましくは10nm以下であり、さらに好ましくは2nm
以下である。さらに、電子注入電極側の誘電体薄膜層の
厚さは、用いられる材料の分子の大きさ以上であるのが
好ましい。
【0015】
【作用】本発明の有機EL素子においては、有機層上に
誘電体薄膜層を設け、更にその上に電極を設けたため、
有機EL素子の動作電圧を低下することができるととも
に、従来必要とされていた低仕事関数の金属に限定され
ることなく、アルミニウムなどの仕事関数が4eV以上
の電極も使用できる。また誘電体薄膜層を有機層の両側
に設置することにより、両電極のショートやリーク電流
の発生を抑制することができる。
誘電体薄膜層を設け、更にその上に電極を設けたため、
有機EL素子の動作電圧を低下することができるととも
に、従来必要とされていた低仕事関数の金属に限定され
ることなく、アルミニウムなどの仕事関数が4eV以上
の電極も使用できる。また誘電体薄膜層を有機層の両側
に設置することにより、両電極のショートやリーク電流
の発生を抑制することができる。
【0016】
【実施例】以下、本発明の実施例に係る有機EL素子を
添付図面に基づいて具体的に説明すると共に、比較例を
挙げ、この実施例の有機EL素子の有用性を明らかにす
る。
添付図面に基づいて具体的に説明すると共に、比較例を
挙げ、この実施例の有機EL素子の有用性を明らかにす
る。
【0017】[実施例1]この実施例の有機EL素子
は、図1に示すように、ガラス基板1上に、膜厚が20
00nmの透明なITOで構成された正孔注入電極2
と、LiFで構成された膜厚が1nmの誘電体薄膜層3
と、膜厚が50nmのN,N'-ジフェニル-N,N'-ビス(3-メ
チルフェニル)-1,1'-ビフェニル-4,4'-ジアミン(以
下、TPDと略す)で構成される正孔輸送層4と、トリ
ス(8-キノリノール)アルミニウム(以下、Alqと略
す)で構成された膜厚が50nmの発光層兼電子輸送層
5と、LiFで構成された膜厚が0.5nmの誘電体薄
膜層6とアルミニウムで構成された電子注入電極7とが
順々に積層された構造である。また、この実施例の有機
EL素子においては、上記の正孔注入電極2と電子注入
電極7とにそれぞれリード線8を接続させて電圧を印加
できるようにしている。
は、図1に示すように、ガラス基板1上に、膜厚が20
00nmの透明なITOで構成された正孔注入電極2
と、LiFで構成された膜厚が1nmの誘電体薄膜層3
と、膜厚が50nmのN,N'-ジフェニル-N,N'-ビス(3-メ
チルフェニル)-1,1'-ビフェニル-4,4'-ジアミン(以
下、TPDと略す)で構成される正孔輸送層4と、トリ
ス(8-キノリノール)アルミニウム(以下、Alqと略
す)で構成された膜厚が50nmの発光層兼電子輸送層
5と、LiFで構成された膜厚が0.5nmの誘電体薄
膜層6とアルミニウムで構成された電子注入電極7とが
順々に積層された構造である。また、この実施例の有機
EL素子においては、上記の正孔注入電極2と電子注入
電極7とにそれぞれリード線8を接続させて電圧を印加
できるようにしている。
【0018】次に、この実施例の有機EL素子を製造す
る方法を具体的に説明する。まず、ガラス基板1上に所
望のパターン付けを行った正孔注入電極2が形成された
透明電極基板を中性洗剤によリ洗浄した後、これを純水
中で10分間、イソプロパノール中で10分間それぞれ
超音波洗浄を行なったのち、イソプロパノールで蒸気乾
燥した。そして、上記の透明電極基板を蒸着装置の基板
ホルダー固定し、別個の石英製るつぼにTPDとAlq
を入れ、モリブデンボートにLiFを入れて真空槽内を
1×10-4Paまで減圧した。モリブデンボートを加熱
し、正孔注入電極2上にLiFからなる誘電体薄膜層3
を形成した。蒸着速度は0.005nm/秒であった。
その後、順次石英るつぼを加熱して、TPD次いでAl
qを、それぞれ50nmの厚さに積層し、正孔輸送層4
および電子輸送層5を形成した。蒸着速度は0.2〜
0.4nm/秒であった。ついで、LiFを上記と同じ
速度で0.5nm積層し、誘電体薄膜6を形成した。つ
いで、蒸着槽内を常圧に戻し、蒸着用マスクを基板ホル
ダーに固定し、タングステンボートにAlを入れて、真
空槽内を2×10-4Paまで減圧してから、1〜2nm
/秒の速度で200nm蒸着して、電子注入電極7とし
た。
る方法を具体的に説明する。まず、ガラス基板1上に所
望のパターン付けを行った正孔注入電極2が形成された
透明電極基板を中性洗剤によリ洗浄した後、これを純水
中で10分間、イソプロパノール中で10分間それぞれ
超音波洗浄を行なったのち、イソプロパノールで蒸気乾
燥した。そして、上記の透明電極基板を蒸着装置の基板
ホルダー固定し、別個の石英製るつぼにTPDとAlq
を入れ、モリブデンボートにLiFを入れて真空槽内を
1×10-4Paまで減圧した。モリブデンボートを加熱
し、正孔注入電極2上にLiFからなる誘電体薄膜層3
を形成した。蒸着速度は0.005nm/秒であった。
その後、順次石英るつぼを加熱して、TPD次いでAl
qを、それぞれ50nmの厚さに積層し、正孔輸送層4
および電子輸送層5を形成した。蒸着速度は0.2〜
0.4nm/秒であった。ついで、LiFを上記と同じ
速度で0.5nm積層し、誘電体薄膜6を形成した。つ
いで、蒸着槽内を常圧に戻し、蒸着用マスクを基板ホル
ダーに固定し、タングステンボートにAlを入れて、真
空槽内を2×10-4Paまで減圧してから、1〜2nm
/秒の速度で200nm蒸着して、電子注入電極7とし
た。
【0019】実施例2〜5においては、上記実施例1の
有機EL素子における誘電体薄膜層3および6の材質お
よび膜厚を変更した。 [実施例2]誘電体薄膜層3および6を厚さ1nmのL
iFとした以外は、実施例1と同様な方法により有機E
L素子を作製した。 [実施例3]誘電体薄膜層3および6をMgF2とした
以外は、実施例1と同様な方法により有機EL素子を作
製した。
有機EL素子における誘電体薄膜層3および6の材質お
よび膜厚を変更した。 [実施例2]誘電体薄膜層3および6を厚さ1nmのL
iFとした以外は、実施例1と同様な方法により有機E
L素子を作製した。 [実施例3]誘電体薄膜層3および6をMgF2とした
以外は、実施例1と同様な方法により有機EL素子を作
製した。
【0020】[実施例4]誘電体薄膜層3をMgF2、
誘電体薄膜層6をLiFとした以外は、実施例1と同様
な方法により有機EL素子を作製した。 [実施例5]誘電体薄膜層3をLiF、誘電体薄膜層6
をMgF2とした以外は、実施例1と同様な方法により
有機EL素子を作製した。
誘電体薄膜層6をLiFとした以外は、実施例1と同様
な方法により有機EL素子を作製した。 [実施例5]誘電体薄膜層3をLiF、誘電体薄膜層6
をMgF2とした以外は、実施例1と同様な方法により
有機EL素子を作製した。
【0021】[実施例6]実施例3と同様に誘電体層3
および6をMgF2とし、電子注入電極にはMg・Ag
共蒸着膜を用いた以外は実施例3と同様な方法により有
機EL素子を作製した。Mg・Ag共蒸着膜は次に示す
方法で形成した。グラファイト製のるつぼから、マグネ
シウムを1.2〜2.4nm/秒の蒸着速度で、同時に
もう一方のるつぼから銀を0.1〜0.2nm/秒の蒸
着速度で蒸着した。
および6をMgF2とし、電子注入電極にはMg・Ag
共蒸着膜を用いた以外は実施例3と同様な方法により有
機EL素子を作製した。Mg・Ag共蒸着膜は次に示す
方法で形成した。グラファイト製のるつぼから、マグネ
シウムを1.2〜2.4nm/秒の蒸着速度で、同時に
もう一方のるつぼから銀を0.1〜0.2nm/秒の蒸
着速度で蒸着した。
【0022】[比較例1]図2に示すように、実施例1
の有機EL素子における誘電体薄膜層3および6を設け
ないで、それ以外は実施例1の場合と同様にして、ガラ
ス基板1上に正孔注入電極2と、正孔輸送層4と、電子
輸送層5と、電子注入電極6とを順々に積層した。
の有機EL素子における誘電体薄膜層3および6を設け
ないで、それ以外は実施例1の場合と同様にして、ガラ
ス基板1上に正孔注入電極2と、正孔輸送層4と、電子
輸送層5と、電子注入電極6とを順々に積層した。
【0023】[比較例2]誘電体層3を膜厚0.2nm
のSiOとして、誘電体層6を設けない以外は、実施例
6と同様な方法により有機EL素子を作製した。 [比較例3]誘電体層3を膜厚2nmのSiOとして、
誘電体層6を設けない以外は、実施例6と同様な方法に
より有機EL素子を作製した。
のSiOとして、誘電体層6を設けない以外は、実施例
6と同様な方法により有機EL素子を作製した。 [比較例3]誘電体層3を膜厚2nmのSiOとして、
誘電体層6を設けない以外は、実施例6と同様な方法に
より有機EL素子を作製した。
【0024】上記実施例1〜6及ぴ比較例1〜3の各有
機EL素子に、ITO電極を正孔注入電極に、電子注入
電極を電子注入電極として、100cd/m2の輝度が
得られる電圧とそのときの発光効率を測定した。つい
で、それぞれ乾燥空気中で10mA/cm2の一定電流
によリ連続発光させ、各有機EL素子の発光開始時から
輝度の半減するまでの時間を測定した。これらの結果を
下記の第1表に示す。
機EL素子に、ITO電極を正孔注入電極に、電子注入
電極を電子注入電極として、100cd/m2の輝度が
得られる電圧とそのときの発光効率を測定した。つい
で、それぞれ乾燥空気中で10mA/cm2の一定電流
によリ連続発光させ、各有機EL素子の発光開始時から
輝度の半減するまでの時間を測定した。これらの結果を
下記の第1表に示す。
【0025】
【表1】
【0026】上記の結果から明らかなように、上記実施
例1〜5に示すように正孔注入電極2と正孔輸送層4お
よび発光層兼電子輸送層5と電子注入輸送層7との間に
アルカリ金属フッ化物およびアルカリ土類金属フッ化物
からなる誘電体薄膜層3および6を設けた有機EL素子
は、誘電体薄膜層3および6を設けていない比較例1の
有機EL素子に比べて、100cd/m2の発光輝度が
得られる電圧は低く、またそのときの発光効率も予想以
上によいことがわかる。また、実施例6に示すように、
有機EL素子の特性におよぼす電子注入電極の材質の影
響は小さい。SiOを誘電体層3に用いると、動作電圧
の上昇が激しく実用的でない。上記の各実施例において
は、DL−E構造の有機EL素子の例を示しただけであ
るが、DL−H構造やTL構造で構成される有機EL素
子においても同様の結果が得られる。
例1〜5に示すように正孔注入電極2と正孔輸送層4お
よび発光層兼電子輸送層5と電子注入輸送層7との間に
アルカリ金属フッ化物およびアルカリ土類金属フッ化物
からなる誘電体薄膜層3および6を設けた有機EL素子
は、誘電体薄膜層3および6を設けていない比較例1の
有機EL素子に比べて、100cd/m2の発光輝度が
得られる電圧は低く、またそのときの発光効率も予想以
上によいことがわかる。また、実施例6に示すように、
有機EL素子の特性におよぼす電子注入電極の材質の影
響は小さい。SiOを誘電体層3に用いると、動作電圧
の上昇が激しく実用的でない。上記の各実施例において
は、DL−E構造の有機EL素子の例を示しただけであ
るが、DL−H構造やTL構造で構成される有機EL素
子においても同様の結果が得られる。
【0027】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明における
有機EL素子においては、誘電体薄膜層を両電極と発光
層などからなる有機層との間にそれぞれ設けたため、こ
の誘電体薄膜層によって低電圧で発光し、発光効率もよ
く、しかもリーク電流の発生が抑制され、連続発光させ
た場合にも輝度が低下するということが少なく、長期に
わたって安定した発光が行なえるようになった。
有機EL素子においては、誘電体薄膜層を両電極と発光
層などからなる有機層との間にそれぞれ設けたため、こ
の誘電体薄膜層によって低電圧で発光し、発光効率もよ
く、しかもリーク電流の発生が抑制され、連続発光させ
た場合にも輝度が低下するということが少なく、長期に
わたって安定した発光が行なえるようになった。
【図1】この発明の実施例1〜6における有機EL素子
の状態を示した概略図である。
の状態を示した概略図である。
【図2】比較例1における有機EL素子の状態を示した
概略図である。
概略図である。
1ガラス基板 2正孔注入電極 3誘電体薄膜層 4正孔輸送層 5発光層兼電子輸送層 6誘電体薄膜層 7電子注入電極 8リード線
Claims (3)
- 【請求項1】 正孔注入電極と電子注入電極からなる
一対の電極間に、発光層を含む一層以上の有機層を備え
る有機エレクトロルミネッセント素子において、該両電
極と該有機層との間に、それぞれ誘電体薄膜層を設ける
ことを特徴とする有機エレクトロルミネッセント素子。 - 【請求項2】 誘電体薄膜層を構成する材料が、アル
カリ金属酸化物、アルカリ土類金属酸化物、アルカリ金
属ハロゲン化物もしくはアルカリ土類金属ハロゲン化物
である請求項1記載の有機エレクトロルミネッセント素
子。 - 【請求項3】 誘電体薄膜層を構成する材料が、アル
キル金属フっ化物もしくはアルカリ土類金属フッ化物で
ある請求項1記載の有機エレクトロルミネッセント素
子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9340649A JPH11162646A (ja) | 1997-11-26 | 1997-11-26 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9340649A JPH11162646A (ja) | 1997-11-26 | 1997-11-26 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11162646A true JPH11162646A (ja) | 1999-06-18 |
Family
ID=18338998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9340649A Pending JPH11162646A (ja) | 1997-11-26 | 1997-11-26 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11162646A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001093671A (ja) * | 1999-09-22 | 2001-04-06 | Korea Electronics Telecommun | 二重絶縁層を有する有機電界発光素子 |
JPWO2004095892A1 (ja) * | 2003-04-24 | 2006-07-13 | 出光興産株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及び表示装置 |
US7084426B2 (en) | 2003-12-16 | 2006-08-01 | Seiko Epson Corporation | Organic electroluminescent device, method of manufacturing the same, and electronic apparatus |
US7239081B2 (en) * | 2002-08-09 | 2007-07-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Organic electroluminescent device |
US7768197B2 (en) | 2005-10-26 | 2010-08-03 | Seiko Epson Corporation | Electroluminescence device, an electronic equipment, and methods of manufacturing the same |
KR101065597B1 (ko) | 2002-08-09 | 2011-09-20 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 유기 전계발광 소자 |
US8183559B2 (en) | 2002-05-21 | 2012-05-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Organic field effect transistor |
WO2015194189A1 (ja) * | 2014-06-20 | 2015-12-23 | 株式会社Joled | 有機発光デバイスおよび表示装置 |
-
1997
- 1997-11-26 JP JP9340649A patent/JPH11162646A/ja active Pending
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001093671A (ja) * | 1999-09-22 | 2001-04-06 | Korea Electronics Telecommun | 二重絶縁層を有する有機電界発光素子 |
US8183559B2 (en) | 2002-05-21 | 2012-05-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Organic field effect transistor |
US9650245B2 (en) | 2002-08-09 | 2017-05-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Organic electroluminescent device |
US7239081B2 (en) * | 2002-08-09 | 2007-07-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Organic electroluminescent device |
KR101065597B1 (ko) | 2002-08-09 | 2011-09-20 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 유기 전계발광 소자 |
US8154193B2 (en) | 2002-08-09 | 2012-04-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Organic electroluminescent device |
US8339036B2 (en) | 2002-08-09 | 2012-12-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Organic electroluminescent device |
US8890404B2 (en) | 2002-08-09 | 2014-11-18 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Organic electroluminescent device |
US9209419B2 (en) | 2002-08-09 | 2015-12-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Organic electroluminescent device |
JPWO2004095892A1 (ja) * | 2003-04-24 | 2006-07-13 | 出光興産株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及び表示装置 |
US7084426B2 (en) | 2003-12-16 | 2006-08-01 | Seiko Epson Corporation | Organic electroluminescent device, method of manufacturing the same, and electronic apparatus |
US7768197B2 (en) | 2005-10-26 | 2010-08-03 | Seiko Epson Corporation | Electroluminescence device, an electronic equipment, and methods of manufacturing the same |
JPWO2015194189A1 (ja) * | 2014-06-20 | 2017-04-20 | 株式会社Joled | 有機発光デバイスおよび表示装置 |
WO2015194189A1 (ja) * | 2014-06-20 | 2015-12-23 | 株式会社Joled | 有機発光デバイスおよび表示装置 |
US10038034B2 (en) | 2014-06-20 | 2018-07-31 | Joled Inc. | Organic light-emitting device and display apparatus |
US10535717B2 (en) | 2014-06-20 | 2020-01-14 | Joled Inc. | Organic light-emitting device |
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