JPH11161343A - 薬液調合装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薬液を調合する際に、調合比率が変化して
も、容易にその変更された調合比率に応じて調合を行え
るようにする。 【解決手段】 この装置は、２種類の薬液、例えば薬液
と純水とを調合する装置であって、薬液及び純水を貯留
する調合用タンク２４と、調合用タンク２４に薬液を供
給する薬液管路２９と、調合用タンク２４に純水を供給
する純水管路３０と、薬液管路２９に設けられた薬液バ
ルブ３１と、純水管路３０に設けられた純水バルブ３２
と、純水バルブ３２を通って調合用タンク２４に供給さ
れる純水の流量を計測する流量計３３と、調合用タンク
２４内の薬液及び純水の液面が所定の位置に達したこと
を検出する薬液用フロートセンサ２６と、流量計３３及
び薬液用フロートセンサ２６の測定結果に基づいて薬液
バルブ３１及び純水バルブ３２を開閉制御する制御部７
０とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、薬液調合装置、特
に、第１薬液供給源及び第２薬液供給源から供給される
第１及び第２薬液を調合する薬液調合装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェハ、液晶表示装置用又はプラ
ズマ表示装置用のガラス角形基板等の各種基板を、複数
の処理槽を搬送しながら処理する基板処理装置が従来よ
り提供されている。この種の装置は、主に、基板表面に
対してエッチングや現像等の薬液処理を行う薬液処理部
と、薬液処理された基板を水洗する水洗処理部と、水洗
処理された基板を乾燥する乾燥処理部とを有している。

【０００３】このような基板処理装置における薬液処理
部では、薬液タンクに貯留された薬液をポンプで処理槽
内の薬液ノズルに供給し、この薬液ノズルから基板に薬
液を吐出して処理を行っている。また、処理槽内に落下
した薬液は、戻り管路を介して再び薬液タンクに戻され
る。このように、薬液処理部における薬液は循環して使
用されるが、薬液タンク内の薬液が疲労してくると、新
しい未使用の薬液が薬液タンクに供給される。新しい薬
液は、別に設けられた薬液調合装置によって準備されて
いる。この薬液調合装置は、調合用タンクと、調合用タ
ンクに純水を供給する純水供給部及び薬液を供給する薬
液供給部と、タンク内の調合済みの薬液を薬液処理部の
薬液タンクに供給するポンプとを備えている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記のような薬液調合
装置においては、純水及び薬液の供給量は、それぞれ調
合用タンクに設けられたフロートセンサで確認されるよ
うになっている。例えば、調合用タンクの容量が２００
リットルで、薬液を４倍に希釈する場合、純水が１５０
リットル供給されたことを検出する純水用フロートセン
サと、薬液５０リットルが追加されたことを検出する薬
液用フロートセンサ（純水及び薬液がトータルで２００
リットル供給されたことを検出するフロートセンサ）と
が設けられる。このようにして、純水：薬液＝３：１の
割合でそれぞれを供給して薬液を希釈し、必要に応じて
薬液処理部の薬液タンクに送られる。

【０００５】このような従来の装置では、調合比率を変
化させる場合は、純水及び薬液の供給量（液面高さ）を
検出するためのフロートセンサの長さを変更しなければ
ならず、容易に対応することができない。本発明の課題
は、薬液を調合する際に、調合比率が変化しても、容易
にその変更された調合比率に応じて調合を行えるように
することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る薬液調合
装置は、第１薬液供給源及び第２薬液供給源から供給さ
れる第１及び第２薬液を調合する装置であって、第１及
び第２薬液を貯留する薬液貯留部と、第１薬液供給源か
ら薬液貯留部へ第１薬液を供給する第１供給路と、第２
薬液供給源から薬液貯留部へ第２薬液を供給する第２供
給路と、第１供給路に設けられた第１薬液バルブと、第
２供給路に設けられた第２薬液バルブと、第１薬液バル
ブを通って薬液貯留部に供給される第１薬液の流量を計
測する流量計と、薬液貯留部内の薬液の液面が所定の位
置に達したことを検出する液面検出手段と、流量計及び
液面検出手段の検出結果に基づいて第１及び第２薬液バ
ルブを開閉制御する制御手段とを備えている。

【０００７】この装置では、第１及び第２薬液が、それ
ぞれ第１薬液供給源及び第２薬液供給源から各供給路を
介して薬液貯留部に供給される。この際、第１薬液の流
量は流量計によって計測されている。また、薬液貯留部
では、供給された第１及び第２薬液が所定の液面に達し
たか否かが検出されている。そして、第１薬液の流量計
測結果及び液面高さの検出結果に基づいて、各供給路に
設けられたバルブが開閉制御される。

【０００８】ここでは、調合比率が変更された場合、流
量計によって計測される第１薬液の流量に基づいて各バ
ルブを開閉制御すればよい。したがって、調合比率の変
更に際して非常に容易に対応が可能になる。請求項２に
係る薬液調合装置は、請求項１の装置において、制御手
段は、薬液供給開始時は第１薬液バルブを開けるととも
に第２薬液バルブを閉じ、流量計の計測結果があらかじ
め設定された流量値になったときに第１薬液バルブを閉
じるとともに第２薬液バルブを開け、液面検出手段によ
って薬液の液面が所定の位置に達したときに第２薬液バ
ルブを閉じる。

【０００９】例えば液面検出手段によって設定された液
面が２００リットルに対応しており、第１薬液と第２薬
液とを３：１の調合比率で調合したい場合、第１薬液の
流量を計測しておき、第１薬液の流量が１５０リットル
になるまで第１薬液バルブのみを開けておく。そして、
第１薬液の流量が１５０リットルになれば、第１薬液バ
ルブを閉じ、第２薬液バルブを開ける。そして、薬液貯
留部の液面が２００リットルに対応する液面になれば、
第２薬液バルブを閉じる。これにより、 （第１薬液１５０リットル）：（第２薬液５０リット
ル） の調合比率の薬液を得ることができる。

【００１０】このようにして、容易に任意の比率で調合
を行うことができる。請求項３に係る薬液調合装置は、
第１薬液供給源及び第２薬液供給源から供給される第１
及び第２薬液を調合する装置であって、第１及び第２薬
液を貯留する薬液貯留部と、第１薬液供給源から薬液貯
留部へ第１薬液を供給する第１供給路と、第２薬液供給
源から薬液貯留部へ第２薬液を供給する第２供給路と、
第１供給路に設けられた第１薬液バルブと、第２供給路
に設けられた第２薬液バルブと、第１薬液バルブを通っ
て薬液貯留部に供給される第１薬液の流量を計測する第
１流量計と、第２薬液バルブを通って薬液貯留部に供給
される第２薬液の流量を計測する第２流量計と、第１及
び第２流量計の計測結果に基づいて第１及び第２薬液バ
ルブを開閉制御する制御手段とを備えている。

【００１１】この装置では、前記同様に、第１薬液及び
第２薬液がそれぞれ薬液貯留部に供給されるが、各薬液
の供給量は対応する流量計によって計測されている。そ
して、その計測結果に基づいて第１薬液バルブ及び第２
薬液バルブが開閉制御される。ここでは、各薬液の流量
が計測され、その結果に基づいてバルブが開閉制御され
るので、薬液貯留部に貯留される薬液の量の多少にかか
わらず容易に任意の比率で薬液を調合することができ
る。

【００１２】請求項４に係る薬液調合装置は、請求項１
から３のいずれかの装置において、第１薬液と第２薬液
との調合比率を設定する比率設定手段をさらに備えてい
る。そして、制御手段は、薬液貯留部内における第１薬
液と第２薬液との比率が比率設定手段で設定された設定
値になるように前記第１及び第２薬液バルブを制御す
る。

【００１３】この装置では、液面高さがあらかじめ設定
されている場合は、調合比率が設定されれば、制御手段
によって第１薬液をどれだけの量を供給すべきかを演算
し、流量計がその値になったときに各バルブの開閉制御
を行う。また、第１薬液及び第２薬液の両方の薬液の流
量を計測している場合は、設定された調合比率になるよ
うに各薬液の流量を演算し、その値に応じて各バルブの
開閉制御を行う。

【００１４】ここでは、調合比率を設定するだけで、容
易に所望の調合処理を行うことができる。なお、本発明
において「薬液」とは、「純水」を含む広い概念であ
る。

【００１５】

【発明の実施の形態】図１に、本発明の一実施形態によ
る薬液調合装置が採用された基板処理装置の概略構成図
を示す。 ［全体構成］この基板処理装置１は、薬液処理部２、水
洗処理部３、及び乾燥処理部４がそれぞれ上流側（図１
の左方）から下流側に向けて相互に隣接しながら直列に
配設されて形成されている。そして、薬液処理部２、水
洗処理部３、及び乾燥処理部４を上流側から下流側に向
けて貫通するように搬送手段５が設けられており、薬液
処理部２に順次送り込まれた基板Ｗは、搬送手段５によ
って搬送されつつ薬液処理部２、水洗処理部３、及び乾
燥処理部４において処理される。

【００１６】［搬送手段］本実施形態においては、搬送
手段５はローラコンベアによって構成されている。ロー
ラコンベアは、基板Ｗの搬送方向（図１の左方から右方
に向かう方向）に直交する方向に支持軸を有する複数の
ローラ１０を有しており、これらの複数のローラ１０は
等ピッチで搬送方向に並設されている。そして、この複
数のローラ１０は図示しない駆動機構によって同期して
回転させられるようになっている。

【００１７】なお、基板Ｗは、前工程からコンベアある
いはロボット等の上流側引き継ぎ手段を介して薬液処理
部２内のローラ１０上に導入され、ついで搬送手段５の
駆動によるローラ１０の回転によって、薬液処理部２、
水洗処理部３、及び乾燥処理部４内を搬送される。各処
理が施された基板Ｗは、乾燥処理部４の下流端からコン
ベアあるいはロボット等からなる下流側引き継ぎ手段を
介して次工程に向けて導出される。

【００１８】［薬液処理部］薬液処理部２は、搬送手段
５によって搬送される基板Ｗに対して薬液を供給して基
板Ｗを薬液処理するためのものであり、内部に搬送手段
５が敷設された薬液処理槽１５と、この薬液処理槽１５
内において搬送手段５を挟んで配設された複数の薬液ノ
ズル１６と、薬液処理槽１５から薬液戻し管路１７を介
して排出された薬液を貯留する薬液タンク１８と、この
薬液タンク１８内の薬液を薬液供給管路１９を通して薬
液ノズル１６に供給する薬液ポンプ２０及び流量制御バ
ルブ２１とを有している。また、薬液処理槽１５の出口
側近傍にはエアナイフ２２が配置されており、水洗処理
部２に向けて搬出される基板Ｗに付着した薬液を吹き飛
ばすようにしている。

【００１９】また、この薬液処理部２には、薬液を所定
の割合に調合して薬液タンク１８に供給するための薬液
調合装置２３が設けられている。薬液調合装置２３は、
図２に示すように、調合用タンク２４と、この調合用タ
ンク２４に設けられた下限用フロートセンサ２５及び薬
液用フロートセンサ２６と、調合済み薬液を薬液タンク
１８に送る送液管路２７及びポンプ２８とを有してい
る。なお、下限用フロートセンサ２５はポンプ２８の保
護用である。また、調合用タンク２４には、図示しない
薬液供給源から薬液管路２９を介して薬液が、また図示
しない純水供給源から純水管路３０を介して純水が供給
されるようになっている。薬液管路２９には第１自動バ
ルブ３１が設けられ、純水管路３０には第２自動バルブ
３２及び流量計３３が設けられている。流量計３３は、
ある流量値を設定可能であり、流量が設定値になったと
きに、後述する制御部に信号を出力して、第２自動バル
ブ３２を制御部の制御により閉じさせることが可能なよ
うになっている。

【００２０】［水洗処理部］水洗処理部３は、薬液処理
部２から搬送されてきた基板Ｗを循環水によって水洗処
理する循環水水洗処理部３５と、循環水水洗処理部３５
で水洗処理された基板Ｗをさらに新水で水洗処理する新
水水洗処理部３６とを有している。 ＜循環水水洗処理部＞循環水水洗処理部３５は、内部に
搬送手段５が敷設された水洗処理槽４０と、この水洗処
理槽４０内に搬送手段５を挟んで上下に配設された複数
の循環水ノズル４１と、循環水を貯留する循環水タンク
４２と、循環水タンク４２の循環水を循環水供給管路４
３を介して循環水ノズル４１に供給する循環水ポンプ４
４とを有している。また、循環水供給管路４３には、循
環水ポンプ４４からの循環水の流量を制御するための流
量制御バルブ４５が設けられている。なお、水洗処理槽
４０の入口部には、循環水が薬液処理部２側に入り込む
のを防止するためのエアナイフ４６が設けられている。

【００２１】水洗処理槽４０と循環水タンク４２との間
には、水洗処理槽４０で使用された循環水を循環水タン
ク４２に戻すための循環水戻し管路４７が設けられてい
る。また、循環水タンク４２には、オーバーフローした
循環水を廃棄するための廃棄管路４８と、底部の排出口
に接続された排出管路４９とが設けられている。排出管
路４９にはバルブ５０が設けられている。

【００２２】＜新水水洗処理部＞新水水洗処理部３６
は、内部に搬送手段５が敷設された水洗処理槽５５と、
この水洗処理槽５５内に搬送手段５を挟んで上下に配設
された複数の新水ノズル５６とを有している。新水ノズ
ル５６には、図示しない新水供給部から新水が供給され
るようになっている。また、水洗処理槽５５には、水洗
処理槽５５で使用された新水を循環水タンク４２に導入
するための新水導入管路５７が設けられている。

【００２３】［乾燥処理部］乾燥処理部４は、水洗処理
部３の新水水洗処理部３６から搬出された基板Ｗを乾燥
するためのものであり、乾燥処理槽６０と、この乾燥処
理槽６０内の搬送手段５を挟むように設けられたエアー
ナイフ６１とを備えている。 ［薬液調合装置の制御部］図３に、薬液調合装置２３に
関わる制御ブロックを示す。この図に示すように、薬液
調合装置２３は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等からなるマ
イクロコンピュータを有する制御部７０を有している。
なお、この制御部７０は、基板処理装置全体の制御を行
う制御部を利用して構成してもよい。

【００２４】制御部７０には、操作パネル７１と、純水
流量を測定する流量計３３と、下限用フロートセンサ２
５と、薬液用フロートセンサ２６と、薬液タンク側のセ
ンサ７２とが接続されている。また、この制御部７０に
は、薬液バルブ３１と、純水バルブ３２と、ポンプ２８
とが接続されている。 ［全体動作］薬液処理部２では、薬液タンク１８内の薬
液が薬液ポンプ２０によって薬液ノズル１６に供給さ
れ、搬送手段５によって搬送されてきた基板Ｗに薬液が
吐出される。余った薬液は、薬液処理槽１５の底部に自
然落下し、薬液戻し管路１７を介して薬液タンク１８に
戻される。このように、薬液は循環使用される。そし
て、薬液処理された基板Ｗは搬送手段５によって循環水
水洗処理部３５に搬送される。

【００２５】循環水水洗処理部３５では、循環水タンク
４２の循環水が循環水ポンプ４４によって循環水ノズル
４１に供給される。したがって、水洗処理槽４０内の基
板は循環水によって水洗処理される。使用後の循環水は
循環水戻し管路４７を介して循環水タンク４２に戻され
る。なお、循環水タンク４２には新水水洗処理部３６か
ら使用後の新水が新水導入管路５７を介して導入されて
おり、循環水タンク４２の水量が多くなってオーバーフ
ローした循環水は廃棄管路４８を介して廃棄される。ま
た新水水洗処理部３６では、新水ノズル５６に新水が供
給されており、基板Ｗは新水によって水洗処理される。

【００２６】以上のようにして水洗処理された基板Ｗ
は、乾燥処理部４においてエアーナイフ６１から噴出さ
れるエアによって乾燥処理される。 ［薬液処理部での調合動作］薬液処理部２においては薬
液は循環使用されるが、薬液が疲労してくると、薬液タ
ンク１８に設けられた排出管路１８ａ及びバルブ１８ｂ
を介してかかる薬液全量が排出廃棄され、新たな薬液が
薬液タンク１８に供給される。そのために、薬液調合装
置２３において、あらかじめ所定の割合で希釈された薬
液が用意される。また、薬液処理の種類が変更されるよ
うな場合にも、別の調合比率の薬液が薬液調合装置２３
によって調合されて用意される。

【００２７】薬液の調合処理は、図４以降のフローチャ
ートにしたがって行われる。まず図４に示すステップＳ
１においては調合処理を行うか否かを判断し、ステップ
Ｓ２では送液処理を行うか否かを判断する。調合処理の
指示がなされた場合はステップＳ１からステップＳ３に
移行する。ステップＳ３では調合処理を実行する。ま
た、送液処理の指示がなされた場合はステップＳ２から
ステップＳ４に移行し、ステップＳ４において送液処理
を実行する。

【００２８】図５に調合処理のフローチャートを示す。
ここでは、まずステップＳ１０において、調合に必要な
純水の量を後述のように認識し、かかる値を設定値とし
て流量計３３に設定する。次にステップＳ１１におい
て、薬液バルブ３１を閉じるとともに純水バルブ３２を
開ける。これにより、空の状態の調合用タンク２４には
純水のみが供給開始される。ステップＳ１２において
は、純水の流量、すなわち調合用タンク２４への純水の
供給量が設定値になったか否かを流量計３３からの信号
の有無により判断する。純水の流量が設定値になれば、
ステップＳ１２からステップＳ１３に移行する。ステッ
プＳ１３では、純水バルブ３２を閉じるとともに薬液バ
ルブ３１を開ける。これにより、純水の供給は停止さ
れ、薬液のみが調合用タンク２４に供給される。次にス
テップＳ１４においては、薬液用フロートセンサ２６が
オンになったか否かを判断する。オンになればステップ
Ｓ１４からステップＳ１５に移行し、薬液バルブ３１を
閉じる。

【００２９】例えば、薬液用フロートセンサ２６の位置
が調合用タンク２４内の容量の２００リットルの位置に
設定されており、薬液を４倍に希釈する場合は、調合に
必要な純水の量は調合後の薬液２００リットルに対して
１５０リットルであるから、かかる値を必要純水量とし
て認識し、ステップＳ１０において流量計３３の設定値
を１５０リットルに設定する。すると、調合用タンク２
４に純水が１５０リットル供給されるまでは純水バルブ
３２のみが開いており、純水が１５０リットル供給され
ると純水バルブ３２が閉じられるとともに薬液バルブ３
１が開けられ、合計で２００リットルになれば薬液フロ
ートセンサ２６がオンになって薬液の供給が停止され
る。このようにして、４倍に希釈された薬液が得られ
る。

【００３０】図６に送液処理のフローチャートを示す。
ここでは、まずステップＳ２０においてポンプ２８が駆
動され、調合用タンク２４内の調合済みの薬液が薬液タ
ンク１８に供給される。ステップＳ２１では下限用フロ
ートセンサ２５がオンしたか否かを判断し、またステッ
プＳ２２では薬液タンク側から供給停止の指示が送出さ
れてきたか否かを判断する。下限用フロートセンサ２５
がオンになるか、あるいは薬液タンク１８側から供給停
止の指示が送出されてきた場合は、ステップＳ２１又は
ステップＳ２２からステップＳ２３に移行し、ポンプ２
８を停止する。なお、調合用タンク２４の容量は、薬液
タンク１８と略同一の容量を有し、調合用タンク２４内
の薬液ほぼ全量で薬液タンク１８を満たし得る大きさと
されている。また、調合用タンク２４内に薬液を残した
状態でポンプ２８による薬液タンク１８への送液を停止
した場合には、次回の調合時には、かかる残量を考慮し
た上で純水の必要量を認識設定するが、下限用フロート
センサ２５がオンする際の残量は次回の調合の調合比率
に対して無視できる程度の値とすることが望ましい。

【００３１】以上のような処理により、任意の濃度の薬
液を容易に調合することができる。また、流量計が１個
ですむので低コストである。 ［他の実施形態］ （ａ）図７に薬液調合装置の他の実施形態を示す。この
実施形態では、薬液管路２９及び純水管路３０のそれぞ
れに、自動バルブ３１，３２と流量計８０，３３が設け
られている。他の構成は前記実施形態と同様である。

【００３２】ここでは、各流量計８０，３３にそれぞれ
任意の流量を設定することができ、流量がその設定値に
達したか否かによって各対応するバルブ３１，３２の開
閉を制御できる。したがって、フロートセンサを用いる
ことなく、広い容量範囲で同濃度の薬液を調合すること
ができる。（ｂ）図８にさらに他の実施形態による調合
処理のフローチャートを示す。

【００３３】ここでは、制御部７０に接続された操作パ
ネル７１から、オペレータは調合比率を設定することが
可能である。そして、制御部７０は、設定された調合比
率に基づいて、図８に示すフローチャートにしたがって
調合処理を行う。なお、この場合の装置構成は、図１及
び図２に示す構成と同様である。まず、ステップＳ３０
において、オペレータによって設定された調合比率を認
識する。次にステップＳ３１では、設定された調合比率
に基づいて調合用タンク２４に供給すべき純水の流量Ｌ
を演算し、かかる値を流量計３３に設定値として設定す
る。そして、ステップＳ３２では、薬液バルブ３１を閉
じるとともに純水バルブ３２を開ける。これにより純水
のみが調合用タンク２４に供給される。次にステップＳ
３３では、純水が流量Ｌだけ供給されたか否かを判断す
る。供給された場合はステップＳ３４に移行する。ステ
ップＳ３４では、純水バルブ３２を閉じるとともに薬液
バルブ３１を開ける。したがってここでは、薬液のみが
調合用タンク２４に供給される。次にステップＳ３５で
は、薬液用フロートセンサ２６がオンになったか否かを
判断する。オンになった場合はステップＳ３６に移行
し、薬液バルブ３１を閉じる。

【００３４】このようにして、調合比率を操作パネル７
１によって設定するだけで、所望の比率の薬液を容易に
得ることができる。 （ｃ）図９にさらに他の実施形態による調合処理のフロ
ーチャートを示す。この実施形態は、装置構成が図７に
示す構成の場合に適用されるものであり、基本的な考え
は図７に示す実施形態と同様である。

【００３５】ここでは、ステップＳ４０において、オペ
レータによって設定された調合比率を認識し、ステップ
Ｓ４１では、設定された調合比率に基づいて調合用タン
ク２４に供給すべき純水の流量Ｌ１及び薬液の流量Ｌ２
を演算し、流量Ｌ１の値を流量計３３に、流量Ｌ２の値
を流量計８０に、それぞれ設定値として設定する。そし
て、ステップＳ４２では薬液バルブ３１を閉じるととも
に純水バルブ３２を開ける。次にステップＳ４３では、
純水が流量Ｌ１だけ供給されたか否かを判断し、供給さ
れた場合はステップＳ４４に移行する。ステップＳ４４
では薬液バルブ３１を開けるとともに純水バルブ３２を
閉じる。次にステップＳ４５では、薬液が流量Ｌ２だけ
供給されたか否かを判断する。供給された場合はステッ
プＳ４６に移行し、薬液バルブ３１を閉じる。

【００３６】このような実施形態においても、操作パネ
ル７１から調合比率を設定するだけで、所望の比率の薬
液を容易に得ることができる。 （ｄ）なお、前記各実施形態では、薬液調合装置によっ
て、純水と薬液とを調合する場合を例にとって説明した
が、他の薬液を調合する場合等にも本発明を適用でき
る。また、３種類以上の薬液を所定の比率で調合する際
には、純水管路３０、純水バルブ３２、流量計３３と同
様の薬液供給配管系路を、必要な薬液数だけ図２、図７
の構成に付加することで、同様に本発明を適用できる。

【００３７】

【発明の効果】以上のように本発明では、複数種類の薬
液を調合する場合に、少なくとも一方の薬液の流量を測
定するとともに、他方の薬液の流量を液面検出手段ある
いは流量計によって測定して所望の調合比率の薬液を得
るようにしたので、調合比率が変更になった場合にも容
易に対応が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態による薬液調合装置が採用
された基板処理装置の概略断面構成図。

【図２】前記薬液調合装置の概略断面構成図。

【図３】前記薬液調合装置の制御ブロック図。

【図４】前記薬液調合装置の制御フローチャート。

【図５】調合処理のフローチャート。

【図６】送液処理のフローチャート。

【図７】本発明の他の実施形態による薬液調合装置の概
略断面構成図。

【図８】本発明のさらに他の実施形態による調合処理の
フローチャート。

【図９】本発明のさらに他の実施形態による調合処理の
フローチャート。

【符号の説明】

２３ 薬液調合装置 ２４ 調合用タンク ２６ 薬液用フロートセンサ ２９ 薬液管路 ３０ 純水管路 ３１ 薬液バルブ ３２ 純水バルブ ３３，８０ 流量計 ７０ 制御部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第１薬液供給源及び第２薬液供給源から供
   給される第１及び第２薬液を調合する薬液調合装置であ
   って、 前記第１及び第２薬液を貯留する薬液貯留部と、 前記第１薬液供給源から前記薬液貯留部へ第１薬液を供
   給する第１供給路と、 前記第２薬液供給源から前記薬液貯留部へ第２薬液を供
   給する第２供給路と、 前記第１供給路に設けられた第１薬液バルブと、 前記第２供給路に設けられた第２薬液バルブと、 前記第１薬液バルブを通って前記薬液貯留部に供給され
   る第１薬液の流量を計測する流量計と、 前記薬液貯留部内の薬液の液面が所定の位置に達したこ
   とを検出する液面検出手段と、 前記流量計及び液面検出手段の検出結果に基づいて前記
   第１及び第２薬液バルブを開閉制御する制御手段と、を
   備えた薬液調合装置。
2. 【請求項２】前記制御手段は、薬液供給開始時は前記第
   １薬液バルブを開けるとともに前記第２薬液バルブを閉
   じ、前記流量計の計測結果があらかじめ設定された流量
   値になったときに前記第１薬液バルブを閉じるとともに
   前記第２薬液バルブを開け、前記液面検出手段によって
   薬液の液面が所定の位置に達したときに前記第２薬液バ
   ルブを閉じる、請求項１に記載の薬液調合装置。
3. 【請求項３】第１薬液供給源及び第２薬液供給源から供
   給される第１及び第２薬液を調合する薬液調合装置であ
   って、 前記第１及び第２薬液を貯留する薬液貯留部と、 前記第１薬液供給源から前記薬液貯留部へ第１薬液を供
   給する第１供給路と、 前記第２薬液供給源から前記薬液貯留部へ第２薬液を供
   給する第２供給路と、 前記第１供給路に設けられた第１薬液バルブと、 前記第２供給路に設けられた第２薬液バルブと、 前記第１薬液バルブを通って前記薬液貯留部に供給され
   る第１薬液の流量を計測する第１流量計と、 前記第２薬液バルブを通って前記薬液貯留部に供給され
   る第２薬液の流量を計測する第２流量計と、 前記第１及び第２流量計の計測結果に基づいて前記第１
   及び第２薬液バルブを開閉制御する制御手段と、を備え
   た薬液調合装置。
4. 【請求項４】前記第１薬液と第２薬液との調合比率を設
   定する比率設定手段をさらに備え、 前記制御手段は、前記薬液貯留部内における前記第１薬
   液と第２薬液との比率が前記比率設定手段で設定された
   設定値になるように前記第１及び第２薬液バルブを制御
   する、請求項１から３のいずれかに記載の薬液調合装
   置。