JPH11160289A - 超音波検査方法および装置 - Google Patents
超音波検査方法および装置Info
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- JPH11160289A JPH11160289A JP9326418A JP32641897A JPH11160289A JP H11160289 A JPH11160289 A JP H11160289A JP 9326418 A JP9326418 A JP 9326418A JP 32641897 A JP32641897 A JP 32641897A JP H11160289 A JPH11160289 A JP H11160289A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/044—Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】減衰の大きな材質でも精度よく試料の良否を評
価する。 【解決手段】試料ＴＰがセットされた試料台１１を回転
させながら試料ＴＰに超音波を照射し、試料ＴＰからの
反射波を受信して試料ＴＰの内部を検査する。試料ＴＰ
と超音波プローブ１３とを相対移動させる間に超音波を
複数回照射して反射波を複数個取込み、複数個の反射波
の中から予め定めたしきい値を越える反射波を検出し、
検出された反射波の信号強度としきい値との差の総和を
算出し、その総和に基づいて試料ＴＰを評価する。
価する。 【解決手段】試料ＴＰがセットされた試料台１１を回転
させながら試料ＴＰに超音波を照射し、試料ＴＰからの
反射波を受信して試料ＴＰの内部を検査する。試料ＴＰ
と超音波プローブ１３とを相対移動させる間に超音波を
複数回照射して反射波を複数個取込み、複数個の反射波
の中から予め定めたしきい値を越える反射波を検出し、
検出された反射波の信号強度としきい値との差の総和を
算出し、その総和に基づいて試料ＴＰを評価する。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、試料と超音波プロ
ーブとを相対移動させながらを超音波を照射し、試料か
らの反射波を受信して試料の内部を検査する超音波検査
方法およびその装置に関する。
ーブとを相対移動させながらを超音波を照射し、試料か
らの反射波を受信して試料の内部を検査する超音波検査
方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、図６に示すように、モータ１
により回転する試料台２と、その試料台２にセットされ
た試料３に超音波を照射するとともに、試料３からの反
射波（反射エコー）を受信する超音波プローブ４と、受
信した反射波に基づいて試料の内部の状態を表わすＡス
コープ信号を出力する信号出力回路５と、そのＡスコー
プ信号波形を表示するモニタ６とを備える超音波検査装
置が知られている。試料３はたとえば円筒のように中心
軸に対して回転対称な形状のものであり、図６では２つ
の円筒３ａと３ｂを互いの端面同士をレーザ溶接して接
合したものである。なお、図６に示すように、水が満た
された水槽７内に試料３を設置して検査が行われるの
で、水槽７と試料台２との間にはシール８が設けられて
いる。
により回転する試料台２と、その試料台２にセットされ
た試料３に超音波を照射するとともに、試料３からの反
射波（反射エコー）を受信する超音波プローブ４と、受
信した反射波に基づいて試料の内部の状態を表わすＡス
コープ信号を出力する信号出力回路５と、そのＡスコー
プ信号波形を表示するモニタ６とを備える超音波検査装
置が知られている。試料３はたとえば円筒のように中心
軸に対して回転対称な形状のものであり、図６では２つ
の円筒３ａと３ｂを互いの端面同士をレーザ溶接して接
合したものである。なお、図６に示すように、水が満た
された水槽７内に試料３を設置して検査が行われるの
で、水槽７と試料台２との間にはシール８が設けられて
いる。
【０００３】このような超音波検査装置を用いて図７
（ａ）に示すような円筒３ａと３ｂの接合面ＰＬの溶接
状態を検査する場合、試料３と超音波プローブ４と相対
回転させ、所定回転角度ごとに超音波検査信号を試料３
に照射し、接合面からの反射エコーを受信する。通常
は、モータ１の回転によって出力されるエンコーダから
の所定周波数のパルス信号の立上がりに同期して超音波
プローブ４を駆動し、１回転当り１０００個程度のデー
タをサンプリングする。接合面からの反射エコーの信号
強度は接合面の正常領域と剥離領域に応じて変動する。
図７（ｂ）は試料３を１回転させたときの反射エコーの
信号強度を示す図であり、横軸が回転角度、縦軸が反射
エコー強度である。図７（ｂ）からわかるように、正常
領域では強度が小さいが、剥離領域では強度が大きい。
（ａ）に示すような円筒３ａと３ｂの接合面ＰＬの溶接
状態を検査する場合、試料３と超音波プローブ４と相対
回転させ、所定回転角度ごとに超音波検査信号を試料３
に照射し、接合面からの反射エコーを受信する。通常
は、モータ１の回転によって出力されるエンコーダから
の所定周波数のパルス信号の立上がりに同期して超音波
プローブ４を駆動し、１回転当り１０００個程度のデー
タをサンプリングする。接合面からの反射エコーの信号
強度は接合面の正常領域と剥離領域に応じて変動する。
図７（ｂ）は試料３を１回転させたときの反射エコーの
信号強度を示す図であり、横軸が回転角度、縦軸が反射
エコー強度である。図７（ｂ）からわかるように、正常
領域では強度が小さいが、剥離領域では強度が大きい。
【０００４】従来は、反射エコーの強度に対するしきい
値を設定しておき、図８や図９に示すようにしきい値を
越えている回転角度範囲内の検査ポイントの数を算出
し、この算出ポイント数を総検査ポイント数で除すこと
により欠陥率を算出して評価している。しきい値は、予
め欠陥率が既知である試料を使用して計測し、計測結果
から算出した欠陥率が既知の欠陥率となるように決定さ
れる。
値を設定しておき、図８や図９に示すようにしきい値を
越えている回転角度範囲内の検査ポイントの数を算出
し、この算出ポイント数を総検査ポイント数で除すこと
により欠陥率を算出して評価している。しきい値は、予
め欠陥率が既知である試料を使用して計測し、計測結果
から算出した欠陥率が既知の欠陥率となるように決定さ
れる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図８は試料の材質が減
衰の大きなものの場合、図９は減衰が小さいものの場合
の検査結果である。図８のように減衰が大きな材質の場
合、欠陥からのエコー強度も小さくなり、しきい値が正
常なエコー強度に近づくことになる。そのため、試料表
面の仕上精度によっては、その粗さに起因したノイズが
エコー信号に重畳し、しきい値を越える場合がある。そ
のため、従来の欠陥率による評価方法では検査の精度が
十分でないことがある。
衰の大きなものの場合、図９は減衰が小さいものの場合
の検査結果である。図８のように減衰が大きな材質の場
合、欠陥からのエコー強度も小さくなり、しきい値が正
常なエコー強度に近づくことになる。そのため、試料表
面の仕上精度によっては、その粗さに起因したノイズが
エコー信号に重畳し、しきい値を越える場合がある。そ
のため、従来の欠陥率による評価方法では検査の精度が
十分でないことがある。
【０００６】本発明の目的は、減衰の大きな材質でも精
度よく試料の良否を評価することのできる超音波検査方
法および装置を提供することにある。
度よく試料の良否を評価することのできる超音波検査方
法および装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】一実施の形態を示す図１
および図４に対応付けて説明する。 （１）請求項１の発明による超音波検査方法は、試料Ｔ
Ｐと超音波プローブ１３とを相対移動させる間に超音波
を複数回照射して反射波を複数個取込み、複数個の反射
波の中から予め定めたしきい値を越える反射波を検出
し、検出された反射波の信号強度としきい値との差の総
和に相応する被評価量を算出し、その総和に相応する被
評価量に基づいて試料ＴＰを評価することにより、上記
目的を達成する。 （２）請求項３の発明による超音波検査装置は、試料Ｔ
Ｐに対して相対移動しながら超音波を照射するととも
に、試料ＴＰからの反射波を受信する超音波プローブ１
３と、試料ＴＰと超音波プローブ１３とを相対移動する
間に超音波を複数回照射して反射波を複数個取込むサン
プリング手段１６（ステップＳ２２）と、複数個の反射
波の中から予め定めたしきい値を越える反射波を検出す
る比較手段１６（ステップＳ２４）と、検出された反射
波の信号強度としきい値との差の総和に相応する被評価
量を算出する算出手段１６（ステップＳ２９）と、その
総和に相応する被評価量に基づいて試料ＴＰを評価する
評価手段１６（ステップＳ３０）とを具備することによ
り、上述の目的を達成する。 （３）請求項２や４の発明のように、被評価量として、
検出された反射波の信号強度としきい値との差の総和を
用いるのが好ましい。
および図４に対応付けて説明する。 （１）請求項１の発明による超音波検査方法は、試料Ｔ
Ｐと超音波プローブ１３とを相対移動させる間に超音波
を複数回照射して反射波を複数個取込み、複数個の反射
波の中から予め定めたしきい値を越える反射波を検出
し、検出された反射波の信号強度としきい値との差の総
和に相応する被評価量を算出し、その総和に相応する被
評価量に基づいて試料ＴＰを評価することにより、上記
目的を達成する。 （２）請求項３の発明による超音波検査装置は、試料Ｔ
Ｐに対して相対移動しながら超音波を照射するととも
に、試料ＴＰからの反射波を受信する超音波プローブ１
３と、試料ＴＰと超音波プローブ１３とを相対移動する
間に超音波を複数回照射して反射波を複数個取込むサン
プリング手段１６（ステップＳ２２）と、複数個の反射
波の中から予め定めたしきい値を越える反射波を検出す
る比較手段１６（ステップＳ２４）と、検出された反射
波の信号強度としきい値との差の総和に相応する被評価
量を算出する算出手段１６（ステップＳ２９）と、その
総和に相応する被評価量に基づいて試料ＴＰを評価する
評価手段１６（ステップＳ３０）とを具備することによ
り、上述の目的を達成する。 （３）請求項２や４の発明のように、被評価量として、
検出された反射波の信号強度としきい値との差の総和を
用いるのが好ましい。
【０００８】なお、上記課題を解決するための手段の項
では、本発明を分かり易くするために実施の形態の図を
用いたが、これにより本発明が実施の形態に限定される
ものではない。
では、本発明を分かり易くするために実施の形態の図を
用いたが、これにより本発明が実施の形態に限定される
ものではない。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態について詳細に説明する。図１は本発明に係
る超音波検査装置を示している。この超音波検査装置
は、試料ＴＰがセットされる試料台１１と、この試料台
１１を回転駆動するモータ１２と、超音波信号を試料Ｔ
Ｐに向けて照射するとともに試料ＴＰからの反射波を受
信する超音波プローブ１３と、超音波プローブ１３で受
信した反射波信号（以後、エコー信号と呼ぶ）を増幅し
て検波する増幅検波回路１４と、この増幅検波回路１４
から出力されるエコー信号のうち予め定められたゲート
期間内におけるピーク値を検出するピーク検出回路１５
と、ＣＰＵ、メモリ、Ａ／Ｄ変換器、Ｄ／Ａ変換器など
の周辺機器で構成される制御回路１６と、エコー信号を
Ａスコープ表示したり、検出結果を表示するモニタ１７
と、モータ１２の回転角度位置を検出するエンコーダ２
０と、モータ１２を駆動するためのドライバ２１とで構
成されている。
実施の形態について詳細に説明する。図１は本発明に係
る超音波検査装置を示している。この超音波検査装置
は、試料ＴＰがセットされる試料台１１と、この試料台
１１を回転駆動するモータ１２と、超音波信号を試料Ｔ
Ｐに向けて照射するとともに試料ＴＰからの反射波を受
信する超音波プローブ１３と、超音波プローブ１３で受
信した反射波信号（以後、エコー信号と呼ぶ）を増幅し
て検波する増幅検波回路１４と、この増幅検波回路１４
から出力されるエコー信号のうち予め定められたゲート
期間内におけるピーク値を検出するピーク検出回路１５
と、ＣＰＵ、メモリ、Ａ／Ｄ変換器、Ｄ／Ａ変換器など
の周辺機器で構成される制御回路１６と、エコー信号を
Ａスコープ表示したり、検出結果を表示するモニタ１７
と、モータ１２の回転角度位置を検出するエンコーダ２
０と、モータ１２を駆動するためのドライバ２１とで構
成されている。
【００１０】図２を参照して本発明による超音波検査装
置の処理手順を説明する。ステップＳ１でモータ１２を
駆動し、ステップＳ２で試料ＴＰが１回転したと判定さ
れるとステップＳ３に進む。これは回転が安定してから
計測を始めるための手順であり、エンコーダ２０からの
パルス信号のカウント値に基づいて行われる。ステップ
Ｓ３では、エンコーダ２０から出力されるパルス信号の
立ち上がりに同期させて超音波プローブ１３から超音波
信号を試料に向けて発射し、試料ＴＰからのエコー信号
を受信する。受信したエコー信号は増幅検波回路１４で
増幅検波されてピーク検出回路１５に送られる。
置の処理手順を説明する。ステップＳ１でモータ１２を
駆動し、ステップＳ２で試料ＴＰが１回転したと判定さ
れるとステップＳ３に進む。これは回転が安定してから
計測を始めるための手順であり、エンコーダ２０からの
パルス信号のカウント値に基づいて行われる。ステップ
Ｓ３では、エンコーダ２０から出力されるパルス信号の
立ち上がりに同期させて超音波プローブ１３から超音波
信号を試料に向けて発射し、試料ＴＰからのエコー信号
を受信する。受信したエコー信号は増幅検波回路１４で
増幅検波されてピーク検出回路１５に送られる。
【００１１】図３は超音波検査信号とエコー信号の一例
である。波形Ｗ１が超音波検査信号、Ｗ２が試料ＴＰの
表面から反射する表面エコー信号、Ｗ３が試料ＴＰの表
面から所定深さにある反射エコー信号、すなわちこの実
施の形態では接合面の欠陥や剥離からの反射エコー信号
である。ピーク検出回路１５は試料ＴＰの表面から所定
深さのエコー信号にゲートをかけてそのピーク値を検出
して制御回路１６に送る。ステップＳ４では、エンコー
ダ２０からのパルス信号に応じた回転角度位置に対応づ
けて、ピーク検出回路１５で検出されたピーク値をＡ／
Ｄ変換してメモリに格納する。
である。波形Ｗ１が超音波検査信号、Ｗ２が試料ＴＰの
表面から反射する表面エコー信号、Ｗ３が試料ＴＰの表
面から所定深さにある反射エコー信号、すなわちこの実
施の形態では接合面の欠陥や剥離からの反射エコー信号
である。ピーク検出回路１５は試料ＴＰの表面から所定
深さのエコー信号にゲートをかけてそのピーク値を検出
して制御回路１６に送る。ステップＳ４では、エンコー
ダ２０からのパルス信号に応じた回転角度位置に対応づ
けて、ピーク検出回路１５で検出されたピーク値をＡ／
Ｄ変換してメモリに格納する。
【００１２】ステップＳ５において、エンコーダ２０か
らのパルス信号のカウント値に基づいて試料ＴＰが１回
転したかを判定し、１回転していなければステップＳ
３、ステップＳ４を繰り返して、たとえば１０００個の
データをサンプリングする。ステップＳ５で１回転した
ことが判定されると、ステップＳ６に進み、取込んだピ
ーク値データの強度レベルを、検出した試料の回転角度
位置に対応付けてモニタ１７に表示するとともに、モー
タ１２を停止する。ステップＳ７で試料が合格品か不良
品かを評価して図２の処理を終了する。
らのパルス信号のカウント値に基づいて試料ＴＰが１回
転したかを判定し、１回転していなければステップＳ
３、ステップＳ４を繰り返して、たとえば１０００個の
データをサンプリングする。ステップＳ５で１回転した
ことが判定されると、ステップＳ６に進み、取込んだピ
ーク値データの強度レベルを、検出した試料の回転角度
位置に対応付けてモニタ１７に表示するとともに、モー
タ１２を停止する。ステップＳ７で試料が合格品か不良
品かを評価して図２の処理を終了する。
【００１３】図４は図２のステップＳ７における試料の
評価手順を示すフローチャートである。ステップＳ２１
において、変数ｉとｊを初期化する。ステップＳ２２に
おいて、制御回路１６のメモリからサンプリングデータ
Ｒｉを読み込み、ステップＳ２３で変数ｉに１を加算す
る。ここで、サンプリングデータＲｉは各サンプリング
点におけるエコー信号強度である。ステップＳ２４にお
いて、データＲｉが予め定めたしきい値Ｒｒを越えてい
ないと判定されると、ステップＳ２２に戻って次のデー
タを読み込み、ステップＳ２３で変数ｉに１を加算す
る。
評価手順を示すフローチャートである。ステップＳ２１
において、変数ｉとｊを初期化する。ステップＳ２２に
おいて、制御回路１６のメモリからサンプリングデータ
Ｒｉを読み込み、ステップＳ２３で変数ｉに１を加算す
る。ここで、サンプリングデータＲｉは各サンプリング
点におけるエコー信号強度である。ステップＳ２４にお
いて、データＲｉが予め定めたしきい値Ｒｒを越えてい
ないと判定されると、ステップＳ２２に戻って次のデー
タを読み込み、ステップＳ２３で変数ｉに１を加算す
る。
【００１４】ステップＳ２４において、データＲｉが予
め定めたしきい値Ｒｒを越えていると判定されると、ス
テップＳ２５において、データＲｉからしきい値Ｒｒを
減算して、差データΔＲｊとして記憶する。ステップＳ
２６で変数ｊに１を加算してステップＳ２７に進み、こ
こで変数ｉが１回転分のサンプリング総数Ｎを越えてい
ないと判定される場合には、ステップＳ２に戻り、以上
の処理を繰り返す。ステップＳ２７で変数ｉがサンプリ
ング総数Ｎを越えていると判定されると、ステップＳ２
８において変数ｊを変数ｎに代入する。ステップＳ２９
において、変数ｊ＝０〜ｎまでの差データΔＲｊの総和
を算出して総和データＴＲとして記憶する。ステップＳ
３０で総和データＴＲが評価基準値ＴＲｒを越えている
と判定されるとステップＳ３１で試料ＴＰを不良品と
し、ステップＳ３０で総和データＴＲが評価基準値ＴＲ
ｒを越えていないと判定されると、ステップＳ３２で試
料ＴＰを合格品として図４の処理を終了する。
め定めたしきい値Ｒｒを越えていると判定されると、ス
テップＳ２５において、データＲｉからしきい値Ｒｒを
減算して、差データΔＲｊとして記憶する。ステップＳ
２６で変数ｊに１を加算してステップＳ２７に進み、こ
こで変数ｉが１回転分のサンプリング総数Ｎを越えてい
ないと判定される場合には、ステップＳ２に戻り、以上
の処理を繰り返す。ステップＳ２７で変数ｉがサンプリ
ング総数Ｎを越えていると判定されると、ステップＳ２
８において変数ｊを変数ｎに代入する。ステップＳ２９
において、変数ｊ＝０〜ｎまでの差データΔＲｊの総和
を算出して総和データＴＲとして記憶する。ステップＳ
３０で総和データＴＲが評価基準値ＴＲｒを越えている
と判定されるとステップＳ３１で試料ＴＰを不良品と
し、ステップＳ３０で総和データＴＲが評価基準値ＴＲ
ｒを越えていないと判定されると、ステップＳ３２で試
料ＴＰを合格品として図４の処理を終了する。
【００１５】図４の評価手順を図５を参照して説明す
る。図５は横軸がサンプリング回転角度、縦軸がエコー
信号の強度を示す。サンプリングデータＲ１〜サンプリ
ングデータＲ７はエンコーダ２０から出力されるパルス
信号の立上がりに同期してサンプリングされる。データ
Ｒ１〜Ｒ７のうちしきい値を越えるデータＲ３〜７のそ
れぞれについて、しきい値Ｒｒとの差ΔＲを算出し、差
ΔＲの総和ＴＲを算出する。そして、この総和ＴＲが評
価基準値ＴＲｒを越えている場合に不良品と判定する。
る。図５は横軸がサンプリング回転角度、縦軸がエコー
信号の強度を示す。サンプリングデータＲ１〜サンプリ
ングデータＲ７はエンコーダ２０から出力されるパルス
信号の立上がりに同期してサンプリングされる。データ
Ｒ１〜Ｒ７のうちしきい値を越えるデータＲ３〜７のそ
れぞれについて、しきい値Ｒｒとの差ΔＲを算出し、差
ΔＲの総和ＴＲを算出する。そして、この総和ＴＲが評
価基準値ＴＲｒを越えている場合に不良品と判定する。
【００１６】上述したように、減衰の大きな試料では、
しきい値のレベルが正常レベルに近くなり、しきい値を
越えるノイズが不良品データに紛れ込むおそれがあり、
従来の欠陥率法では精度のよい評価が難しいという問題
があった。これに対して本実施の形態では、しきい値を
越えた全サンプリングデータに対して、その強度としき
い値との差の総和を算出し、その総和が評価基準値を越
えている場合に試料が不良品であると判定するようにし
たので、減衰の大きな材質の試料でノイズがしきい値を
越える場合があっても、精度よく試料の良否を評価する
ことができる。すなわち、ノイズに起因してサンプリン
グデータがしきい値を越える場合、しきい値との差は小
さいので総和はそれほど大きくならず、このような場合
に総和が評価基準値を越えることはない。
しきい値のレベルが正常レベルに近くなり、しきい値を
越えるノイズが不良品データに紛れ込むおそれがあり、
従来の欠陥率法では精度のよい評価が難しいという問題
があった。これに対して本実施の形態では、しきい値を
越えた全サンプリングデータに対して、その強度としき
い値との差の総和を算出し、その総和が評価基準値を越
えている場合に試料が不良品であると判定するようにし
たので、減衰の大きな材質の試料でノイズがしきい値を
越える場合があっても、精度よく試料の良否を評価する
ことができる。すなわち、ノイズに起因してサンプリン
グデータがしきい値を越える場合、しきい値との差は小
さいので総和はそれほど大きくならず、このような場合
に総和が評価基準値を越えることはない。
【００１７】以上では、しきい値を越えた全サンプリン
グデータに対して、その強度としきい値との差の総和を
算出し、その総和が評価基準値を越えている場合に試料
が不良品であると判定するようにした。これに代り、し
きい値を越えた全サンプリングデータの強度そのものの
総和を算出し、その総和が評価基準値を越えている場合
に試料が不良品であると判定してもよい。また、図５に
おいて、しきい値を越えるサンプリングデータで囲まれ
る面積を求め、この面積で試料を評価してもよい。つま
り、サンプリングデータがただ単にしきい値を越えたか
否かではなく、どの程度しきい値を越えているかを１回
転分集計し、それを被評価量として評価基準値と比較す
る方法ならばどのようなものでもよい。
グデータに対して、その強度としきい値との差の総和を
算出し、その総和が評価基準値を越えている場合に試料
が不良品であると判定するようにした。これに代り、し
きい値を越えた全サンプリングデータの強度そのものの
総和を算出し、その総和が評価基準値を越えている場合
に試料が不良品であると判定してもよい。また、図５に
おいて、しきい値を越えるサンプリングデータで囲まれ
る面積を求め、この面積で試料を評価してもよい。つま
り、サンプリングデータがただ単にしきい値を越えたか
否かではなく、どの程度しきい値を越えているかを１回
転分集計し、それを被評価量として評価基準値と比較す
る方法ならばどのようなものでもよい。
【００１８】さらに、試料を１回転させてその間に試料
から得られる複数個の反射エコー信号により試料を評価
するようにしたが、２回転以上回転させる間に試料の表
面エコー信号を取込むようにしてもよい。さらにまた、
超音波プローブを固定し、試料を回転するようにした
が、試料を固定し、超音波プローブを回転させてもよ
い。また、試料の形状は円筒、円柱に限ることなく、歯
車などを検査する場合にも本発明を適用できる他、直線
状の検査部分を有する試料に対しても本発明を適用でき
る。
から得られる複数個の反射エコー信号により試料を評価
するようにしたが、２回転以上回転させる間に試料の表
面エコー信号を取込むようにしてもよい。さらにまた、
超音波プローブを固定し、試料を回転するようにした
が、試料を固定し、超音波プローブを回転させてもよ
い。また、試料の形状は円筒、円柱に限ることなく、歯
車などを検査する場合にも本発明を適用できる他、直線
状の検査部分を有する試料に対しても本発明を適用でき
る。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
しきい値を越えた全サンプリングデータに対して、その
強度としきい値との差の総和に相応する被評価量を算出
し、その被評価量に基づいてたとえば被評価量が評価基
準値を越えている場合に試料が不良品であると判定する
ようにしたので、減衰の大きな材質の試料で正常レベル
としきい値が接近してノイズがしきい値を越えるような
場合でも、精度よく試料を評価することができる。
しきい値を越えた全サンプリングデータに対して、その
強度としきい値との差の総和に相応する被評価量を算出
し、その被評価量に基づいてたとえば被評価量が評価基
準値を越えている場合に試料が不良品であると判定する
ようにしたので、減衰の大きな材質の試料で正常レベル
としきい値が接近してノイズがしきい値を越えるような
場合でも、精度よく試料を評価することができる。
【図１】本発明に係る超音波検査装置の一実施の形態の
ブロック図
ブロック図
【図２】超音波検査装置の処理手順例を示すフローチャ
ート
ート
【図３】超音波検査信号、表面エコー信号、欠陥信号を
示す図
示す図
【図４】評価処理手順例を示すフローチャート
【図５】評価処理を説明する図
【図６】超音波検査装置の一例を示す図
【図７】（ａ）２つの円筒を接合してなる試料の斜視
図、（ｂ）は接合面からのエコー信号の波形
図、（ｂ）は接合面からのエコー信号の波形
【図８】減衰が大きい材質の試料における接合面からの
エコー信号の波形図
エコー信号の波形図
【図９】減衰が小さい材質の試料における接合面からの
エコー信号の波形図
エコー信号の波形図
１１ 試料台 １２ モータ １３ 超音波プローブ １５ ピーク検出回路 １６ 制御回路 １７ モニタ ＴＰ 試料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森田 輝 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機エ ンジニアリング株式会社内 (72)発明者 高橋 利光 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機エ ンジニアリング株式会社内 (72)発明者 小條 隆 埼玉県上尾市大字壱丁目１番地 日産ディ ーゼル工業株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】試料と超音波プローブとを相対移動させる
間に超音波を複数回照射して反射波を複数個取込み、 前記複数個の反射波の中から予め定めたしきい値を越え
る反射波を検出し、 検出された反射波の信号強度と前記しきい値との差の総
和に相応する被評価量を算出し、 その総和に相応する被評価量に基づいて前記試料を評価
することを特徴とする超音波検査方法。 - 【請求項２】請求項１の超音波検査方法において、 前記被評価量は、検出された反射波の信号強度と前記し
きい値との差の総和であることを特徴とする超音波検査
方法。 - 【請求項３】試料に対して相対移動しながら超音波を照
射するとともに、前記試料からの反射波を受信する超音
波プローブと、 前記試料と超音波プローブとを相対移動する間に前記超
音波を複数回照射して前記反射波を複数個取込むサンプ
リング手段と、 前記複数個の反射波の中から予め定めたしきい値を越え
る反射波を検出する比較手段と、 検出された反射波の信号強度と前記しきい値との差の総
和に相応する被評価量を算出する算出手段と、 その総和に相応する被評価量に基づいて前記試料を評価
する評価手段とを具備することを特徴とする超音波検査
装置。 - 【請求項４】請求項３の超音波検査装置において、 前記被評価量は、検出された反射波の信号強度と前記し
きい値との差の総和であることを特徴とする超音波検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32641897A JP3564283B2 (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | 超音波検査方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32641897A JP3564283B2 (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | 超音波検査方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11160289A true JPH11160289A (ja) | 1999-06-18 |
| JP3564283B2 JP3564283B2 (ja) | 2004-09-08 |
Family
ID=18187578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32641897A Expired - Fee Related JP3564283B2 (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | 超音波検査方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3564283B2 (ja) |
-
1997
- 1997-11-27 JP JP32641897A patent/JP3564283B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3564283B2 (ja) | 2004-09-08 |
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