JP3564283B2 - 超音波検査方法および装置 - Google Patents
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Description
【発明が属する技術分野】
本発明は、試料と超音波プローブとを相対移動させながらを超音波を照射し、試料からの反射波を受信して試料の内部を検査する超音波検査方法およびその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、図6に示すように、モータ1により回転する試料台2と、その試料台2にセットされた試料3に超音波を照射するとともに、試料3からの反射波(反射エコー)を受信する超音波プローブ4と、受信した反射波に基づいて試料の内部の状態を表わすAスコープ信号を出力する信号出力回路5と、そのAスコープ信号波形を表示するモニタ6とを備える超音波検査装置が知られている。試料3はたとえば円筒のように中心軸に対して回転対称な形状のものであり、図6では2つの円筒3aと3bを互いの端面同士をレーザ溶接して接合したものである。なお、図6に示すように、水が満たされた水槽7内に試料3を設置して検査が行われるので、水槽7と試料台2との間にはシール8が設けられている。
【0003】
このような超音波検査装置を用いて図7(a)に示すような円筒3aと3bの接合面PLの溶接状態を検査する場合、試料3と超音波プローブ4と相対回転させ、所定回転角度ごとに超音波検査信号を試料3に照射し、接合面からの反射エコーを受信する。通常は、モータ1の回転によって出力されるエンコーダからの所定周波数のパルス信号の立上がりに同期して超音波プローブ4を駆動し、1回転当り1000個程度のデータをサンプリングする。接合面からの反射エコーの信号強度は接合面の正常領域と剥離領域に応じて変動する。図7(b)は試料3を1回転させたときの反射エコーの信号強度を示す図であり、横軸が回転角度、縦軸が反射エコー強度である。図7(b)からわかるように、正常領域では強度が小さいが、剥離領域では強度が大きい。
【0004】
従来は、反射エコーの強度に対するしきい値を設定しておき、図8や図9に示すようにしきい値を越えている回転角度範囲内の検査ポイントの数を算出し、この算出ポイント数を総検査ポイント数で除すことにより欠陥率を算出して評価している。しきい値は、予め欠陥率が既知である試料を使用して計測し、計測結果から算出した欠陥率が既知の欠陥率となるように決定される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
図8は試料の材質が減衰の大きなものの場合、図9は減衰が小さいものの場合の検査結果である。図8のように減衰が大きな材質の場合、欠陥からのエコー強度も小さくなり、しきい値が正常なエコー強度に近づくことになる。そのため、試料表面の仕上精度によっては、その粗さに起因したノイズがエコー信号に重畳し、しきい値を越える場合がある。そのため、従来の欠陥率による評価方法では検査の精度が十分でないことがある。
【0006】
本発明の目的は、減衰の大きな材質でも精度よく試料の良否を評価することのできる超音波検査方法および装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
一実施の形態を示す図1および図4に対応付けて説明する。
(1)請求項1の発明による超音波検査方法は、試料TPと超音波プローブ13とを相対移動させる間に超音波を複数回照射して反射波を複数個取込み、複数個の反射波の中から予め定めたしきい値を越える反射波を検出し、検出された反射波の信号強度としきい値との差の総和、検出された反射波の信号強度の総和、および検出された反射波の信号強度を示すデータで囲まれる面積のいずれか1つを被評価量として算出し、算出した被評価量に基づいて試料TPを評価することにより、上記目的を達成する。
(2)請求項2の発明による超音波検査装置は、試料TPに対して相対移動しながら超音波を照射するとともに、試料TPからの反射波を受信する超音波プローブ13と、試料TPと超音波プローブ13とを相対移動する間に超音波を複数回照射して反射波を複数個取込むサンプリング手段16(ステップS22)と、複数個の反射波の中から予め定めたしきい値を越える反射波を検出する比較手段16(ステップS24)と、検出された反射波の信号強度としきい値との差の総和、検出された反射波の信号強度の総和、および検出された反射波の信号強度を示すデータで囲まれる面積のいずれか1つを被評価量として算出する算出手段16(ステップS29)と、算出した被評価量に基づいて試料TPを評価する評価手段16(ステップS30)とを具備することにより、上述の目的を達成する。
【0008】
なお、上記課題を解決するための手段の項では、本発明を分かり易くするために実施の形態の図を用いたが、これにより本発明が実施の形態に限定されるものではない。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。図1は本発明に係る超音波検査装置を示している。この超音波検査装置は、試料TPがセットされる試料台11と、この試料台11を回転駆動するモータ12と、超音波信号を試料TPに向けて照射するとともに試料TPからの反射波を受信する超音波プローブ13と、超音波プローブ13で受信した反射波信号(以後、エコー信号と呼ぶ)を増幅して検波する増幅検波回路14と、この増幅検波回路14から出力されるエコー信号のうち予め定められたゲート期間内におけるピーク値を検出するピーク検出回路15と、CPU、メモリ、A/D変換器、D/A変換器などの周辺機器で構成される制御回路16と、エコー信号をAスコープ表示したり、検出結果を表示するモニタ17と、モータ12の回転角度位置を検出するエンコーダ20と、モータ12を駆動するためのドライバ21とで構成されている。
【0010】
図2を参照して本発明による超音波検査装置の処理手順を説明する。ステップS1でモータ12を駆動し、ステップS2で試料TPが1回転したと判定されるとステップS3に進む。これは回転が安定してから計測を始めるための手順であり、エンコーダ20からのパルス信号のカウント値に基づいて行われる。ステップS3では、エンコーダ20から出力されるパルス信号の立ち上がりに同期させて超音波プローブ13から超音波信号を試料に向けて発射し、試料TPからのエコー信号を受信する。受信したエコー信号は増幅検波回路14で増幅検波されてピーク検出回路15に送られる。
【0011】
図3は超音波検査信号とエコー信号の一例である。波形W1が超音波検査信号、W2が試料TPの表面から反射する表面エコー信号、W3が試料TPの表面から所定深さにある反射エコー信号、すなわちこの実施の形態では接合面の欠陥や剥離からの反射エコー信号である。ピーク検出回路15は試料TPの表面から所定深さのエコー信号にゲートをかけてそのピーク値を検出して制御回路16に送る。ステップS4では、エンコーダ20からのパルス信号に応じた回転角度位置に対応づけて、ピーク検出回路15で検出されたピーク値をA/D変換してメモリに格納する。
【0012】
ステップS5において、エンコーダ20からのパルス信号のカウント値に基づいて試料TPが1回転したかを判定し、1回転していなければステップS3、ステップS4を繰り返して、たとえば1000個のデータをサンプリングする。ステップS5で1回転したことが判定されると、ステップS6に進み、取込んだピーク値データの強度レベルを、検出した試料の回転角度位置に対応付けてモニタ17に表示するとともに、モータ12を停止する。ステップS7で試料が合格品か不良品かを評価して図2の処理を終了する。
【0013】
図4は図2のステップS7における試料の評価手順を示すフローチャートである。ステップS21において、変数iとjを初期化する。ステップS22において、制御回路16のメモリからサンプリングデータRiを読み込み、ステップS23で変数iに1を加算する。ここで、サンプリングデータRiは各サンプリング点におけるエコー信号強度である。ステップS24において、データRiが予め定めたしきい値Rrを越えていないと判定されると、ステップS22に戻って次のデータを読み込み、ステップS23で変数iに1を加算する。
【0014】
ステップS24において、データRiが予め定めたしきい値Rrを越えていると判定されると、ステップS25において、データRiからしきい値Rrを減算して、差データΔRjとして記憶する。ステップS26で変数jに1を加算してステップS27に進み、ここで変数iが1回転分のサンプリング総数Nを越えていないと判定される場合には、ステップS2に戻り、以上の処理を繰り返す。ステップS27で変数iがサンプリング総数Nを越えていると判定されると、ステップS28において変数jを変数nに代入する。ステップS29において、変数j=0〜nまでの差データΔRjの総和を算出して総和データTRとして記憶する。ステップS30で総和データTRが評価基準値TRrを越えていると判定されるとステップS31で試料TPを不良品とし、ステップS30で総和データTRが評価基準値TRrを越えていないと判定されると、ステップS32で試料TPを合格品として図4の処理を終了する。
【0015】
図4の評価手順を図5を参照して説明する。図5は横軸がサンプリング回転角度、縦軸がエコー信号の強度を示す。サンプリングデータR1〜サンプリングデータR7はエンコーダ20から出力されるパルス信号の立上がりに同期してサンプリングされる。データR1〜R7のうちしきい値を越えるデータR3〜7のそれぞれについて、しきい値Rrとの差ΔRを算出し、差ΔRの総和TRを算出する。そして、この総和TRが評価基準値TRrを越えている場合に不良品と判定する。
【0016】
上述したように、減衰の大きな試料では、しきい値のレベルが正常レベルに近くなり、しきい値を越えるノイズが不良品データに紛れ込むおそれがあり、従来の欠陥率法では精度のよい評価が難しいという問題があった。これに対して本実施の形態では、しきい値を越えた全サンプリングデータに対して、その強度としきい値との差の総和を算出し、その総和が評価基準値を越えている場合に試料が不良品であると判定するようにしたので、減衰の大きな材質の試料でノイズがしきい値を越える場合があっても、精度よく試料の良否を評価することができる。すなわち、ノイズに起因してサンプリングデータがしきい値を越える場合、しきい値との差は小さいので総和はそれほど大きくならず、このような場合に総和が評価基準値を越えることはない。
【0017】
以上では、しきい値を越えた全サンプリングデータに対して、その強度としきい値との差の総和を算出し、その総和が評価基準値を越えている場合に試料が不良品であると判定するようにした。これに代り、しきい値を越えた全サンプリングデータの強度そのものの総和を算出し、その総和が評価基準値を越えている場合に試料が不良品であると判定してもよい。また、図5において、しきい値を越えるサンプリングデータで囲まれる面積を求め、この面積で試料を評価してもよい。つまり、サンプリングデータがただ単にしきい値を越えたか否かではなく、どの程度しきい値を越えているかを1回転分集計し、それを被評価量として評価基準値と比較する方法ならばどのようなものでもよい。
【0018】
さらに、試料を1回転させてその間に試料から得られる複数個の反射エコー信号により試料を評価するようにしたが、2回転以上回転させる間に試料の表面エコー信号を取込むようにしてもよい。さらにまた、超音波プローブを固定し、試料を回転するようにしたが、試料を固定し、超音波プローブを回転させてもよい。また、試料の形状は円筒、円柱に限ることなく、歯車などを検査する場合にも本発明を適用できる他、直線状の検査部分を有する試料に対しても本発明を適用できる。
【0019】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、しきい値を越えた全サンプリングデータに対して、その強度としきい値との差の総和、検出された反射波の信号強度の総和、および検出された反射波の信号強度を示すデータで囲まれる面積のいずれか1つを被評価量として算出し、その被評価量に基づいてたとえば被評価量が評価基準値を越えている場合に試料が不良品であると判定するようにしたので、減衰の大きな材質の試料で正常レベルとしきい値が接近してノイズがしきい値を越えるような場合でも、精度よく試料を評価することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る超音波検査装置の一実施の形態のブロック図
【図2】超音波検査装置の処理手順例を示すフローチャート
【図3】超音波検査信号、表面エコー信号、欠陥信号を示す図
【図4】評価処理手順例を示すフローチャート
【図5】評価処理を説明する図
【図6】超音波検査装置の一例を示す図
【図7】(a)2つの円筒を接合してなる試料の斜視図、(b)は接合面からのエコー信号の波形
【図8】減衰が大きい材質の試料における接合面からのエコー信号の波形図
【図9】減衰が小さい材質の試料における接合面からのエコー信号の波形図
【符号の説明】
11 試料台
12 モータ
13 超音波プローブ
15 ピーク検出回路
16 制御回路
17 モニタ
TP 試料
Claims (2)
- 試料と超音波プローブとを相対移動させる間に超音波を複数回照射して反射波を複数個取込み、
前記複数個の反射波の中から予め定めたしきい値を越える反射波を検出し、
検出された反射波の信号強度と前記しきい値との差の総和、検出された反射波の信号強度の総和、および検出された反射波の信号強度を示すデータで囲まれる面積のいずれか1つを被評価量として算出し、
算出した被評価量に基づいて前記試料を評価することを特徴とする超音波検査方法。 - 試料に対して相対移動しながら超音波を照射するとともに、前記試料からの反射波を受信する超音波プローブと、
前記試料と超音波プローブとを相対移動する間に前記超音波を複数回照射して前記反射波を複数個取込むサンプリング手段と、
前記複数個の反射波の中から予め定めたしきい値を越える反射波を検出する比較手段と、
検出された反射波の信号強度と前記しきい値との差の総和、検出された反射波の信号強度の総和、および検出された反射波の信号強度を示すデータで囲まれる面積のいずれか1つを被評価量として算出する算出手段と、
算出した被評価量に基づいて前記試料を評価する評価手段とを具備することを特徴とする超音波検査装置。
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JP32641897A JP3564283B2 (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | 超音波検査方法および装置 |
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JPH11160289A JPH11160289A (ja) | 1999-06-18 |
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Family Applications (1)
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1997
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