JPH11160267A - 感応膜アレイ型ガス検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数種類のガスに対応でき、長寿命、長期安
定性及び高い検出精度が得られる感応膜アレイ型ガス検
出器を提供する。 【構成】 複数個のガス検出素子を設けてそのうちの１
個を動作状態とし、残りの全てを非動作状態にする。そ
して、動作状態にしたガス検出素子の機能を常時チェッ
クし、異常が生じると他のガス検出素子のうちの１個に
切り替える。以後、同様にして動作状態にあるガス検出
素子に異常が生ずる毎に残りのガス検出素子に切り替え
る。２種類以上のガス検出素子がそれぞれ複数個ある場
合は、各種類毎に１個のガス検出素子の機能を常時チェ
ックし、異常が生じた場合に同一種類の他のガス検出素
子に切り替える。これにより、長期間に亘って使用する
ことができ、ガスに反応する毎に使用不能になって新品
と交換しなければならない従来の製品と比べて信頼性を
向上できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、素子内部に検出対
象ガスとの反応を促進させるためのヒータを備えたガス
検出素子を有する感応膜アレイ型ガス検出器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のガス検出器として、例えば図１３
及び図１４に示すような酸化物半導体式センサがある。
この酸化物半導体センサは、高温にした金属酸化物の電
気抵抗が還元性雰囲気ガス（可燃性ガス）あるいは酸化
性雰囲気ガス（ＮＯ₂、ＣＯ₂等）の存在下で変化するこ
とを利用したものである。

【０００３】一般的に金属酸化物は３ｅＶ以上のバンド
幅を持っているため結晶の完全性が高く、金属原子と酸
素の組成比が化学量論比になっていれば絶縁体の性質を
示す筈である。しかし、殆どの酸化物は化学量論比から
僅かのずれを示すことが多く、半導体の性質を示すこと
になる。金属イオンが過剰あるいは酸素欠乏が多い場合
には導電帯に自由電子が発生してｎ型半導体の性質を示
す。酸化スズ（ＳｎＯ₂）、酸化亜鉛（ＺｎＯ₂）などが
その代表的な例である。これに対して、酸素過剰あるい
は金属欠乏の多い酸化物はｐ型半導体の性質を示す。亜
酸化銅（ＣＵ₂Ｏ）や酸化ニッケル（ＮｉＯ）などがそ
の代表的な例である。

【０００４】ここで、代表的なガスセンサ材料である酸
化スズを用いた場合の動作について説明する。酸化スズ
は酸素欠陥になり易くｎ型半導体の性質を示すが、酸素
欠乏による電荷の偏りを補償するために表面に酸素イオ
ンが負電荷吸着している。いま、酸化スズを３００〜４
５０℃の高温にさらした状態で、その表面に水素及びメ
タンのような還元性ガスを接触させると、これらのガス
は酸化スズの表面に吸着している酸素と反応して酸化す
る。負電荷吸着している酸素は離脱する際に電子を酸化
スズ側に放出するので、電気抵抗が減少して電気が通り
易くなる。

【０００５】ガスセンサの抵抗値Ｒはガス濃度Ｃに対し
て、ＲがＣ^r（ｒ〜−１／２）に正比例するという関係
を示すことが多く、ガス濃度Ｃと抵抗値Ｒは直線関係に
無いために正確な濃度の測定には工夫が必要であるが、
低濃度領域で高い感度を示し、ガスの種類によっては１
ｐｐｍ程度の濃度の検出も可能である。

【０００６】図１３のガスセンサは、１対の白金コイル
の間に酸化スズのペーストをプレス形成したもので、片
方のコイルに電流を流して動作温度まで加熱し、二つの
コイル間で酸化スズの抵抗値を測定する。

【０００７】図１４のガスセンサは、厚膜形センサと言
われるもので、現在使用されている酸化物半導体型ガス
センサはこの構造のものが多く、０．４ｍｍ程度と薄い
アルミナ基板の裏面に白金や酸化ルテニウムなどでヒー
タパターンを形成し、表面には一組の対向電極を形成
し、その上にスクリーン印刷法で数十ミクロン程度の厚
さに微量添加物を含む酸化スズのペーストを塗布して焼
結させたものである。なお、同様の構造もので、感ガス
膜をスパッター法などのドライプロセスで作製した場合
は、膜厚が１ミクロン以下と薄いために薄膜型センサと
呼ばれている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のガス検出器にあっては、次のような問題点があっ
た。 （イ）ガスの種類によっては一度反応してしまうと二度
と使えなくなるので、製品としての寿命が短い。 （ロ）長期安定性が得られ難いく、検出精度が悪い。 （ハ）検出対象ガス毎に用意しなければならず、製造コ
ストがかかり、種類が多くなる分、管理が複雑になる。

【０００９】そこで本発明は、複数種類のガスに対応で
き、長寿命、長期安定性及び高い検出精度が得られる感
応膜アレイ型ガス検出器を提供することを目的としてい
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】まず最初に感応膜アレイ
型ガス検出器とは、感応膜を利用して異なるガスに反応
するガス検出素子を一つの基盤等に図４のように配置し
たものである。以下は図４のように名称（１ａ〜１ｄは
ガス検出素子、Ｂ１〜Ｂ５の夫々はガス検出素子１ａ〜
１ｄを一組とするブロック）を用いて説明する。請求項
１記載の発明による感応膜アレイ型ガス検出器は、少な
くとも１種類のガスに反応する感応膜を備えるととも
に、内部にガスとの反応を促進させるためのヒータを備
えるガス検出素子を複数個アレイ状に配置してなるガス
検出部と、このガス検出部の複数個のガス検出素子のう
ちの１個を選択する選択手段と、この選択手段により選
択されたガス検出素子を動作状態にするとともに、その
ガス検出素子の機能を常時チェックし、異常が生じた場
合には他のガス検出素子のうちの１個に切り替え、新た
にガス検出素子を切り替える毎に同様の異常が発生する
と他のガス検出素子に切り替える制御を行う制御手段
と、を備えるものである。

【００１１】ここで、少なくとも１種類のガスとは、感
応膜の材料によっては、一つのガスにのみ反応するもの
や複数種類のガスに反応するものとがあるので、このよ
うな表現とした。例えば、図９に示すように感応膜材料
Ａのガス検出素子２０ａは、アセトン、ＣＯ₂、ＮＯ₂、
ＳＯ₂、ＣＯの５種類のガスに反応するが、感応膜材料
Ｄのガス検出素子２０ｄは、アセトアルデヒド、ＨＣ
Ｌ、ＮＯ₂、ＣＯの４種類のガスに反応する。この図で
は１種類のみ反応する感応膜材料のガス検出素子はない
が、１種類しか反応しない感応膜材料も考えられるの
で、少なくとも１種類のガスとすることで全てを網羅す
るようにした。

【００１２】また、この発明では、ガス検出素子の選択
は同じ種類のものを選択するようにする。図４の場合
は、横方向が同じ種類のガス検出素子なので、例えば一
番左端のガス検出素子を選択していて、このガス検出素
子に異常が生じた場合、その右隣のガス検出素子に切り
替える。なお、２種類以上のガス検出素子がそれぞれ複
数個ある場合は、各種類毎に１個のガス検出素子の機能
をチェックし、異常があれば同一種類の他のガス検出素
子に切り替えるようにすると良い。

【００１３】以上を踏まえて、上記構成によれば、複数
個のガス検出素子のうちの１個が動作状態になり、その
ガス検出素子の機能が常時チェックされる。そして、そ
のガス検出素子の配線の断線あるいは素子の劣化（主に
感応膜の劣化）等の異常が生じると、残りのガス検出素
子のうちの１個に切り替わる。以後、同様にして動作状
態にあるガス検出素子に異常が生ずる毎に他のガス検出
素子に切り替わる。

【００１４】したがって、選択したガス検出素子に配線
の断線あるいは素子の劣化等の異常が生じた場合に他の
正常なガス検出素子に切り替わるので、ガス検出器とし
て長期間に亘る使用が可能になり、ガスに反応すること
で使用不能になって新品と交換しなければならないよう
な従来技術のものと比べて信頼性を向上できるととも
に、経費節減ができる。

【００１５】［参考］図５は、ガス検出素子１を用いた
基本測定回路図である。清浄大気中ではガス検出素子１
には一定の電流が流れているが、検出対象ガスが接触す
るとガス検出素子１の抵抗値はガス濃度に応じて減少
し、電流が増加する。この抵抗変化が負荷抵抗ＲLの両
端の電圧変化として取り出せる。この電圧変化は回路電
圧Ｖc及びヒータ電圧ＶHが交流あるいは直流でも同様で
ある。

【００１６】ガス検出素子の異常には、上述したように
配線の断線あるいは素子の劣化があり、これらによる当
初範囲の抵抗値が取れない等の問題があるので、図５の
検出方法に代って、一例として実際のシステムは図６の
ような電流計測を行い、トランスデューサとしては４〜
２０ｍＡの範囲で計測する方式が取られる場合が多い。
図６の回路に流れる電流ｉfは、Ｖｃ／（ＲL＋Ｒf）と
なる。これにより、Ｒfが無限大（∞）の場合は断線で
あり、このとき電流ｉfは０となる。また、Ｒfが０の場
合は劣化であり、このとき電流ｉfはＶｃ／ＲLとなる。
これをグラフ化すると図７のようになる。この出力を４
〜２０ｍＡの電流計測型のトランスデューサを仮定すれ
ば０〜４ｍＡが断線となり、２０ｍＡ以上が劣化とな
る。なお、劣化の場合はｉfとＲfとの勾配の変動によっ
て判断することも可能である。

【００１７】請求項２記載の発明による感応膜アレイ型
ガス検出器は、異なる材料の感応膜を備え、それぞれの
内部にはガスとの反応を促進させるためのヒータを備え
る複数個のガス検出素子を１ブロックとして複数ブロッ
ク配置してなるガス検出部と、このガス検出部の複数ブ
ロックのうちの１ブロックを選択する選択手段と、この
選択手段により選択された１ブロックの各ガス検出素子
を動作状態にするとともに機能を常時チェックしていず
れか一つでも異常になった場合に他のブロックのうちの
１ブロックに切り替え、新たにブロックを切り替える毎
に同様の異常が発生すると他のブロックに切り替える制
御を行う制御手段と、を備えるものである。

【００１８】この構成によれば、複数ブロックのうちの
１ブロックが選択されて、そのブロックの各ガス検出素
子の機能がチェックされる。そして、そのうちの一つで
も配線の断線あるいは素子の劣化等の異常が生じると、
他のブロックのうちの１ブロックに切り替わる。以後、
同様にして動作状態にあるブロックのうちのガス検出素
子の一つでも異常が生じた場合に残りのブロックのうち
の１ブロックに切り替わる。例えば、図４の場合、５ブ
ロックＢ１〜Ｂ５のうちの、ブロックＢ１を選択してい
る状態で、例えばガス検出素子１ｂに異常が発生したと
すると、ブロックＢ２に切り替わる。

【００１９】したがって、１ブロックを構成するガス検
出素子の一つでも異常が生じた場合に、他の正常なブロ
ックに切り替わるので、ガス検出器として長期間に亘る
使用が可能になり、ガスに反応することで使用不能にな
って新品と交換しなければならないような従来技術のも
のと比べて信頼性を向上できるとともに、経費節減がで
きる。

【００２０】また、この発明では、種類の異なる複数の
ガス検出素子を１ブロックとして、それの各ガス検出素
子を動作状態にするので、複数種類のガスを一度に検出
できる。すなわち、食料品の腐敗臭や香り、各環境にて
発生するガスは通常は１種類ではなく複数の成分のガス
から成っており、また防災においてはあらゆる危険なガ
スに対応する必要があることから、本発明のガス検出器
はこの条件に適うものである。

【００２１】請求項３記載の発明による感応膜アレイ型
ガス検出器は、異なる材料の感応膜を備え、それぞれの
内部にはガスとの反応を促進させるためのヒータを備え
る複数個のガス検出素子をブロック配置してなるガス検
出部と、このガス検出部の複数個のガス検出素子の夫々
とこれらの夫々が感応する少なくとも一種類のガスとの
対応を表したテーブルを記憶した記憶手段と、前記ガス
検出部の複数個のガス検出素子の夫々を動作状態にする
とともに、夫々の出力を監視して発報レベル以上である
ものが少なくとも一つあれば、前記記憶手段のテーブル
を参照して該当するガスを検索し、この検索により得ら
れたガスを示す検出信号を出力する制御手段と、を備え
るものである。

【００２２】この構成によれば、異なる材料の感応膜を
備えた複数個のガス検出素子の夫々の出力が監視され、
各出力のうちで発報レベル以上のものが少なくとも一つ
あると、テーブルが参照され、そのテーブルに該当する
ガス検出素子があれば、そのガス検出素子が感応するガ
スを示す検出信号が出力される。

【００２３】例えば、図９に示すように、異なる材料の
感応膜を備えたガス検出素子２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、
２０ｄを１ブロックとした場合、例えばガス検出素子２
０ａ、２０ｂの出力がそれぞれ発報レベルとなると、テ
ーブルよりアセトンであることが分るので、アセトンを
示す検出信号が出力される。また、例えばガス検出素子
２０ａ、２０ｂ、２０ｃの出力がそれぞれ発報レベルと
なると、テーブルよりＣＯ₂（二酸化炭素）であること
が分るので、ＣＯ₂を示す検出信号が出力される。

【００２４】請求項４記載の発明による感応膜アレイ型
ガス検出器は、異なる材料の感応膜を備え、それぞれの
内部にはガスとの反応を促進させるためのヒータを備え
る複数個のガス検出素子を１ブロックとして複数ブロッ
ク配置してなるガス検出部と、このガス検出部の複数ブ
ロックのうちの１ブロックを選択するブロック選択手段
と、このガス検出部の複数個のガス検出素子の夫々とこ
れらの夫々が感応する少なくとも一種類のガスとの対応
を表したテーブルを記憶した記憶手段と、前記ブロック
選択手段により選択された前記ガス検出部の１ブロック
の複数個のガス検出素子の夫々を動作状態にするととも
に、夫々の出力を監視して発報レベル以上であるものが
少なくとも一つあれば、前記記憶手段のテーブルを参照
して該当するガスを検索し、この検索により得られたガ
スを示す検出信号を出力する一方、前記ブロック選択手
段により選択された１ブロックの各ガス検出素子の機能
を常時チェックし、異常が生じたものが一つでもあれば
他のブロックに切り替え、他のブロックを切り替える毎
に同様の異常が発生すると残りのブロックに切り替える
制御を行う制御手段と、を備えるものである。

【００２５】この構成によれば、１ブロックを構成する
複数個のガス検出素子のうちで、発報レベル以上となっ
たガス検出素子があると、テーブルが参照され、そのテ
ーブルに該当するガスがあれば、そのガスを示す検出信
号が出力される。また、１ブロックを構成する複数個の
ガス検出素子のうちの一つでも配線の断線あるいは素子
の劣化等の異常が生じた場合には他の正常なブロックに
切り替わる。したがって、１台のガス検出器で複数種類
のガスを検出することができるとともに、ガス検出器と
して長期間に亘る使用が可能になり、ガスに反応するこ
とで使用不能になって新品と交換しなければならないよ
うな従来技術のものと比べて信頼性を向上できるととも
に経費節減ができる。

【００２６】請求項５記載の発明による感応膜アレイ型
ガス検出器は、異なる材料の感応膜を備え、それぞれの
内部にはガスとの反応を促進させるためのヒータを備え
る複数個のガス検出素子をブロック配置してなるガス検
出部と、前記ガス検出部の複数のガス検出素子のうちの
検出したいガスに最も感応する少なくとも一つのガス検
出素子を選択する選択手段と、この選択手段にて選択さ
れた少なくとも一つのガス検出素子を動作状態にすると
ともに、その出力を監視して発報レベル以上であれば当
該ガス検出素子が感応するガスを示す検出信号を出力す
る制御手段と、を備えるものである。

【００２７】この構成によれば、異なる材料の感応膜を
備えた複数個のガス検出素子の夫々のうちで、選択され
た少なくとも一つのガス検出素子の出力が監視され、発
報レベル以上のものがあれば、そのガス検出素子が感応
するガスを示す検出信号が出力される。例えば、図９に
示すように、例えば、ガス検出素子２０ａ、２０ｂを選
択すると、これらのガス検出素子２０ａ、２０ｂの出力
が監視され、それぞれの出力が共に発報レベルになる
と、アセトンを示す検出信号が出力される。また、例え
ばガス検出素子２０ａ、２０ｂ、２０ｃを選択した場合
で、それぞれの出力が発報レベルになると、ＣＯ₂を示
す検出信号が出力される。したがって、ガス検出器で検
出可能な複数種類のガスのうちで所望のものを検出する
ことができ、しかも現場環境に応じて検出するガスの設
定の変更が可能であることから使い勝手の良い感応膜ア
レイ型ガス検出器を提供できる。

【００２８】請求項６記載の発明による感応膜アレイ型
ガス検出器は、異なる材料の感応膜を備え、それぞれの
内部にはガスとの反応を促進させるためのヒータを備え
る複数個のガス検出素子を１ブロックとして複数ブロッ
ク配置してなるガス検出部と、このガス検出部の複数ブ
ロックのうちの１ブロックを選択するブロック選択手段
と、前記ガス検出部の複数のガス検出素子のうちの検出
したいガスに最も感応する少なくとも一つのガス検出素
子を選択する選択手段と、前記ブロック選択手段により
選択された前記ガス検出部の１ブロックの複数個のガス
検出素子の夫々を動作状態にするとともに、各出力を監
視して発報レベル以上であれば当該ガス検出素子が感応
するガスを示す検出信号を出力する一方、前記ブロック
選択手段により選択された１ブロックの各ガス検出素子
の機能を常時チェックし、異常が生じたものが一つでも
あれば他のブロックに切り替え、他のブロックを切り替
える毎に同様の異常が発生すると残りのブロックに切り
替える制御を行う制御手段と、を備えるものである。

【００２９】この構成によれば、１ブロックを構成する
複数個のガス検出素子の夫々のうちで、選択された少な
くとも一つのガス検出素子の出力が監視され、発報レベ
ル以上のものがあれば、そのガス検出素子が感応するガ
スを示す検出信号が出力される。また、１ブロックを構
成する複数個のガス検出素子のうちの一つでも配線の断
線あるいは素子の劣化等の異常が生じた場合には他の正
常なブロックに切り替わる。

【００３０】したがって、ガス検出器で検出可能な複数
種類のガスのうちで所望のものを検出することができ、
しかも現場環境に応じて検出するガスの設定の変更が可
能であることから使い勝手の良い感応膜アレイ型ガス検
出器を提供できる。また、ガス検出器として長期間に亘
る使用が可能になり、ガスに反応することで使用不能に
なって新品と交換しなければならないような従来技術の
ものと比べて信頼性を向上できるとともに経費節減がで
きる。

【００３１】請求項７記載の発明による感応膜アレイ型
ガス検出器は、請求項１乃至６に記載のガス検出器にお
いて、前記制御手段は、前記ガス検出素子のヒータに通
電を行うことで該ガス検出素子を動作状態にし、通電を
行わないことで非動作状態にするものである。この構成
によれば、ガス検出素子のヒータに通電を行うことで検
出対象ガスとの反応を促進でき、通電を止めることで検
出対象ガスとの反応が低下し該ガス検出素子が非動作状
態になる。このようにヒータへの通電を制御することに
より、任意にガス検出素子を動作状態／非動作状態にす
ることができる。

【００３２】請求項８記載の発明による感応膜アレイ型
ガス検出器は、請求項１乃至６に記載のガス検出器にお
いて、前記複数個のガス検出素子の夫々を、熱により溶
解する樹脂フィルムで覆い、前記制御手段は、動作状態
とするガス検出素子のヒータに通電を行って、その時に
発生する熱で該ガス検出素子の樹脂フィルムを溶解させ
るものである。

【００３３】この構成によれば、動作状態にしたいガス
検出素子のヒータに通電を行うことにより、ヒータから
発生する熱によってそのガス検出素子を覆った樹脂フィ
ルムが溶解してそのガス検出素子が空気中に露出する。
このように、ガス検出素子を実際に使用するまでは樹脂
フィルムによって空気中にさらさないように保護するの
で、素子の経年変化による劣化を最小限に抑えることが
でき、長寿命化が図れる。

【００３４】請求項９記載の発明による感応膜アレイ型
ガス検出器は、請求項１乃至６に記載の感応膜アレイ型
ガス検出器において、前記複数個のガス検出素子の夫々
を、熱により収縮する樹脂フィルムで覆うとともに該樹
脂フィルムとガス検出素子との接着に部分的に熱により
溶解する接着剤を用い、前記制御手段は、動作状態とす
るガス検出素子のヒータに通電を行って、その時に発生
する熱で該ガス検出素子の樹脂フィルムを固定している
接着剤を溶解させるとともに樹脂フィルムを収縮させる
ものである。

【００３５】この構成によれば、動作状態にしたいガス
検出素子のヒータに通電を行うことにより、ヒータから
発生する熱によってそのガス検出素子を覆った樹脂フィ
ルムを接着する接着が溶解するとともに樹脂フィルムが
収縮してそのガス検出素子が空気中に露出する。このよ
うに、ガス検出素子を実際に使用するまでは樹脂フィル
ムによって空気中にさらさないように保護するので、素
子の経年変化による劣化を最小限に抑えることができ、
長寿命化が図れる。

【００３６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面例と共に説明する。 （I）第１の実施の形態 図１は本発明に係る感応膜アレイ型ガス検出器の第１の
実施の形態の構成を示すブロック図である。第１の実施
の形態の感応膜アレイ型ガス検出器は、ＩＣのプロセス
技術とマイクロマシン技術を組み合わせてシリコン基板
上に熱絶縁した超小型のガス検出素子を用いたものであ
る。

【００３７】図２はそのガス検出素子を示す平面図及び
縦断面図である。この図において、ガス検出素子１は、
異方性エッチングした長辺２００ミクロンの孔の上に酸
化シリコン膜の４つの梁３で支持したテラス４を形成
し、その上にはポリシリコンの膜を形成してヒータ５と
し、さらに酸化シリコンの絶縁膜６をつけた上に酸化ス
ズの感ガス膜７を形成し、さらに感ガス膜７に接触させ
てアルミ電極８を形成している。このガス検出素子１は
超小型に形成できるために４００℃まで加熱するのに必
要な電力が５０ｍＷ以下と小さく、熱応答速度も０．６
ｍｓｅｃと早い。

【００３８】この実施の形態の感応膜アレイ型ガス検出
器は、図１に示すように、ガス検出素子１を６個有し、
そのうちの１個を動作状態にするとともに他のガス検出
素子１を全て非動作状態し、動作状態にしたものに配線
の断線あるいは素子の劣化等の異常が生じると、他の１
個に切り替える機能を有するものである。マルチプレク
サ１０は、ＣＰＵ１１からの選択信号によって６個のガ
ス検出素子１のうちの１個を選択する。選択されたガス
検出素子１の出力は、電流計測型のトランスデューサ１
２に入力されて信号の変換が行われる。トランスデュー
サ１２の出力はＡ／Ｄ変換部１３でディジタル変換され
てＣＰＵ１１に取り込まれる。

【００３９】ＣＰＵ１１はマルチプレクサ１０に選択指
令を与えるとともに、ヒータ駆動部１４を制御して選択
したガス検出素子１のヒータ５に通電を行う。また、Ａ
／Ｄ変換部１３の出力を常時監視し、その出力レベルが
予め設定された発報レベルに達すると、信号出力部１５
から検出信号を出力する。また、Ａ／Ｄ変換部１３の出
力が所定時間上限レベルを超えるかまたは下限レベルを
下回る（以後、異常範囲という）と判断すると、マルチ
プレクサ１０に選択信号を供給して現在選択中のガス検
出素子１から他の５個のガス検出素子１のうちの１個に
切り替える制御を行い、またヒータ駆動部１４を制御し
て現在選択中のガス検出素子１のヒータ５の通電を停止
するとともに、新たに選択したガス検出素子１に対して
そのヒータ５に通電を行う。

【００４０】この処理は、現在選択中のガス検出素子１
に対するＡ／Ｄ変換部１３の出力が所定時間異常範囲に
ある場合に行われ、最後のガス検出素子１に異常が生じ
た場合には、寿命に達したことを知らせる信号が信号出
力部１５から出力される。なお、ＣＰＵ１１には制御プ
ログラムが書き込まれたメモリ（図示略）が設けられて
おり、ＣＰＵ１１はこの制御プログラムに従ってガス検
出処理等を行う。

【００４１】このように、第１の実施の形態では、６個
のガス検出素子１のうちの１個を動作状態にし、そのガ
ス検出素子１の機能を常時チェックして配線の断線ある
いは素子の劣化等の異常が生じると残りのガス検出素子
１に切り替えるようにした。したがって、選択したガス
検出素子１に異常が生じた場合に他の正常なガス検出素
子１に切り替わるので、ガス検出器として長期間に亘る
使用が可能になり、ガスに反応することで使用不能とな
って新品と交換しなければならない従来のガス検出器と
比べて信頼性を向上できるとともに経費を節減すること
ができる。

【００４２】（II）第２の実施の形態 図３は本発明に係る感応膜アレイ型ガス検出器の第２の
実施の形態の構成を示すブロック図である。第２の実施
の形態の感応膜アレイ型ガス検出器は、図４に示すよう
に、４種類のガス検出素子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを１
ブロックとした５ブロックＢ１〜Ｂ５のガス検出部を備
え、このガス検出部の５ブロックＢ１〜Ｂ５のうちの１
ブロックを選択し、その選択した１ブロックの各ガス検
出素子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを動作状態にするととも
に、残りの４ブロックの全てのガス検出素子１ａ、１
ｂ、１ｃ、１ｄを非動作状態にし、動作状態にした１ブ
ロックの各ガス検出素子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの機能
を常時チェックして、いずれか一つでも異常になると、
残りの４ブロックのうちの１ブロックに切り替える機能
を有するものである。

【００４３】図３において、マルチプレクサ１６は、Ｃ
ＰＵ１１からのブロック選択信号に従って５ブロックＢ
１〜Ｂ５のうちの１ブロックの各ガス検出素子１ａ、１
ｂ、１ｃ、１ｄを極短い時間で順番に繰り返し選択す
る。そして、選択された各ガス検出素子１ａ、１ｂ、１
ｃ、１ｄの出力はトランスデューサ１２に入力され、信
号の変換が行われる。そして、Ａ／Ｄ変換部１３でディ
ジタル変換されてＣＰＵ１１に取り込まれる。ＣＰＵ１
１はマルチプレクサ１６にブロック選択信号を与える一
方、ヒータ駆動部１７を制御して、選択した１ブロック
の各ガス検出素子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄのヒータ５に
通電を行う。

【００４４】また、ＣＰＵ１１は、選択した１ブロック
の各ガス検出素子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄに対してＡ／
Ｄ変換部１３の出力を常時監視し、予め設定された発報
レベルに達したと判断すると、その時のガス検出素子
（例えばガス検出素子１ａ）の検出対象ガス（例えばＣ
Ｏ）を示す検出信号を信号出力部１５から出力する。例
えば、ガス検出素子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄの全てにお
いてＡ／Ｄ変換部１３の出力が発報レベルに達した場合
には、４種類のガスを示す検出信号を出力する。

【００４５】また、ＣＰＵ１１は、ガス検出素子１ａ、
１ｂ、１ｃ、１ｄのうちの一つでもそれに対するＡ／Ｄ
変換部１３の出力が所定時間異常範囲にあると判断する
と、マルチプレクサ１６にブロック選択信号を供給して
現在選択中の１ブロックから残りの４ブロックのうちの
１ブロックに切り替える制御を行い、さらにヒータ駆動
部１７を制御して現在選択中の１ブロックの各ガス検出
素子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄのヒータ５の通電を停止
し、新たに選択した１ブロックの各ガス検出素子１ａ、
１ｂ、１ｃ、１ｄに対してそのヒータ５に通電を行う。

【００４６】この処理は、現在選択中の１ブロックのガ
ス検出素子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄのうちの一つでもそ
れに対するＡ／Ｄ変換部１３の出力が所定時間異常範囲
にある場合に行われ、最後の１ブロックのガス検出素子
１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄのうちの一つでも異常が生じた
場合には、センサ自体が寿命に達したことを知らせる信
号が信号出力部１５から出力される。

【００４７】このように、第２の実施の形態では、選択
した１ブロックのガス検出素子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ
のうちの一つでも配線の断線あるいは素子の劣化等の異
常が生ずると、他の正常なブロックに切り替わるので、
ガス検出器として長期間に亘る使用が可能になり、ガス
に反応することで使用不能となって新品と交換しなけれ
ばならない従来のガス検出器と比べて信頼性を向上でき
るとともに経費を節減することができる。

【００４８】また、第２の実施の形態では、種類の異な
る４種類のガス検出素子１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを１ブ
ロックとして夫々を動作状態にするので、４種類のガス
を一度に検出することもできる。この場合、食料品の腐
敗臭や香り、各環境にて発生するガスは通常は一種類で
はなく複数の成分のガスから成っており、また防災にお
いてはあらゆる危険なガスに対応する必要があり、本実
施の形態はこれに適うものである。なお、第２の実施の
形態では、４種類のガス検出素子１ａ、１ｂ、１ｃ、１
ｄを１ブロックとして５ブロックＢ１〜Ｂ５のガス検出
部を備えるものであったが、ガス検出部のガス検出素子
の種類及びブロック数に限定はなく任意である。

【００４９】（III）第３の実施の形態 図８は、本発明に係る感応膜アレイ型ガス検出器の第３
の実施の形態の構成を示すブロック図である。第３の実
施の形態の感応膜アレイ型ガス検出器は、異なる材料の
感応膜を備えた４個のガス検出素子２０ａ〜２０ｄを１
ブロックとした５ブロックＢ１〜Ｂ５のガス検出部を備
え、このガス検出部の５ブロックＢ１〜Ｂ５のうちの１
ブロックを選択し、選択した１ブロックの各ガス検出素
子２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄを動作状態にすると
ともに、残りの４ブロックの全てのガス検出素子２０
ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄを非動作状態にし、動作状
態にした１ブロックのガス検出素子２０ａ、２０ｂ、２
０ｃ、２０ｄの機能を常時チェックして、いずれか一つ
でも異常になると、残りの４ブロックのうちの１ブロッ
クに切り替える機能を有するものである。

【００５０】また、第３の実施の形態の感応膜アレイ型
ガス検出器は、選択中の１ブロックのガス検出素子２０
ａ〜２０ｄの出力を監視し、発報レベル以上であるもの
が少なくとも一つあれば、テーブル（ガス検出素子２０
ａ〜２０ｄの夫々とこれらの夫々が感応する少なくとも
一種類のガスとの対応を表したもの）を参照して該当す
るガスを検索し、この結果得られたガスを示す検出信号
を出力する。

【００５１】例えば、図９に示すように、ガス検出素子
２０ａに感応膜材料Ａ、ガス検出素子２０ｂに感応膜材
料Ｂ、ガス検出素子２０ｃに感応膜材料Ｃ、ガス検出素
子２０ｄに感応膜材料Ｄが使用されていて、これら感応
膜材料Ａ〜Ｄが同図に示すようなガス反応するものであ
るとし、例えばガス検出素子２０ａ、２０ｂの出力がそ
れぞれ発報レベルになると、アセトンを示す検出信号が
出力される。また、ガス検出素子２０ｄの出力のみ発報
レベルになると、アセトアルデヒドを示す検出信号が出
力される。また、ガス検出素子２０ａ、２０ｂ、２０ｃ
の出力がそれぞれ発報レベルになると、ＣＯ₂（二酸化
炭素）を示す検出信号が出力される。また、ガス検出素
子２０ａ、２０ｄの出力がそれぞれ発報レベルになる
と、ＣＯ（一酸化炭素）を示す検出信号が出力される。

【００５２】この図９に示すテーブルは予めＲＯＭ２０
（図８参照）に書き込まれている。ＣＰＵ１１は、現在
選択中の１ブロックのガス検出素子２０ａ〜２０ｄの夫
々を動作状態にするとともに、それらの出力を監視し、
出力が発報レベル以上であるガス検出素子があるか否か
を判定し、発報レベル以上であるガス検出素子が一つで
もあると判断すると、テーブルを参照して該当するガス
があれば、そのガスを示す検出信号を信号出力部１５か
ら出力する。

【００５３】また、ＣＰＵ１１は現在選択中の１ブロッ
クのガス検出素子２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄのう
ちの一つでもそれに対応するＡ／Ｄ変換部１３の出力が
所定時間異常範囲にあると判断すると、マルチプレクサ
１６にブロック選択信号を与えて現在選択中の１ブロッ
クから残りの４ブロックのうちの１ブロックに切り替え
る制御を行う。またさらに、ヒータ駆動部１７を制御し
て現在選択中の１ブロックの各ガス検出素子２０ａ、２
０ｂ、２０ｃ、２０ｄのヒータ５の通電を停止するとと
もに、新たに選択した１ブロックの各ガス検出素子２０
ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄのヒータ５に通電を行う。

【００５４】この処理は、現在選択中の１ブロックのガ
ス検出素子２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄのうちの一
つでもそれに対するＡ／Ｄ変換部１３の出力が所定時間
異常範囲にある場合に行われ、最後の１ブロックのガス
検出素子２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄのうちの一つ
でも異常が生じた場合には寿命に達したことを知らせる
信号が信号出力部１５から出力される。

【００５５】このように、第３の実施の形態では、異な
る材料の感応膜を備えた４個のガス検出素子２０ａ〜２
０ｄを備えているので、１台のガス検出器で複数種類の
ガスを検出することができる。また、第３の実施の形態
では、選択した１ブロックのガス検出素子２０ａ、２０
ｂ、２０ｃ、２０ｄのうちの一つでも配線の断線あるい
は素子の劣化等の異常が生じた場合に他の正常なブロッ
クに切り替わるので、ガス検出器として長期間に亘る使
用が可能になり、ガスに反応することで使用不能となっ
て新品と交換しなければならない従来のガス検出器と比
べて信頼性を向上できるとともに経費を節減することが
できる。なお、第３の実施の形態では、４個のガス検出
素子２０ａ〜２０ｄを１ブロックとして５ブロック備え
るものであったが、ガス検出素子２０の種類及びブロッ
ク数に限定はなく任意である。

【００５６】（IV）第４の実施の形態 第４の実施の形態の感応膜アレイ型ガス検出器は、上記
第３の実施の形態の感応膜アレイ型ガス検出器のＲＯＭ
２０に代って、ガス検出素子２０ａ〜２０ｄの選択を可
能としたディップスイッチ等からなる設定器２１（図８
に点線で示す）を備えたものである。

【００５７】設定器２１によるガス検出素子２０ａ〜２
０ｄの選択は、例えば図９に示すように、アセトンを検
出したい場合はガス検出素子２０ａ、２０ｂを選択し、
アセトアルデヒドを検出したい場合はガス検出素子２０
ｄを選択し、ＣＯ₂を検出したい場合はガス検出素子２
０ａ、２０ｂ、２０ｃを選択し、ＣＯを検出したい場合
はガス検出素子２０ａ、２０ｄを選択する。

【００５８】ＣＰＵ１１は、現在選択中の１ブロックの
各ガス検出素子２０ａ〜２０ｄを動作状態にするととも
に、それらの出力を監視し、発報レベル以上のものがあ
るか否かを判定する。そしてこの判定において、出力が
発報レベル以上であるガス検出素子が一つでもあると判
断すると、そのガス検出素子（複数ある場合には、それ
らのガス検出素子）が設定器２１にて選択されたガス検
出素子であるか否かを判定し、選択されたものであると
判断すると、選択されたガス検出素子が感応するガスを
示す検出信号を出力する。この場合、共通するガスに反
応するガス検出素子が複数ある場合には、それらの全て
がガスに反応したときに検出信号を出力する。

【００５９】また、ＣＰＵ１１は、現在選択中の１ブロ
ックのガス検出素子２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの
うちの一つでもそれに対するＡ／Ｄ変換部１３の出力が
所定時間異常範囲にあると判断すると、マルチプレクサ
１６にブロック選択信号を与えて現在選択中の１ブロッ
クから残りの４ブロックのうちの１ブロックに切り替え
る制御を行う。またさらに、ヒータ駆動部１７を制御し
て現在選択中の１ブロックの各ガス検出素子２０ａ、２
０ｂ、２０ｃ、２０ｄのヒータ５の通電を停止するとと
もに、新たに選択した１ブロックの各ガス検出素子２０
ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄのヒータ５に通電を行う。

【００６０】この処理は、現在選択中の１ブロックのガ
ス検出素子２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄのうちの一
つでもそれに対するＡ／Ｄ変換部１３の出力が所定時間
異常範囲にある場合に行われ、最後の１ブロックのガス
検出素子２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄのうちの一つ
でも異常が生じた場合には寿命に達したことを知らせる
信号が信号出力部１５から出力される。

【００６１】このように、第４の実施の形態では、検出
可能な複数種類のガスのうちの検出したいガスを任意に
選択することができる。そして、共通するガスに反応す
るガス検出素子が複数ある場合には、それらの全てがガ
スに反応したときに検出信号が出力されるので、一つの
ガス検出素子のみで検出する場合よりも検出精度が上が
る。なお、第４の実施の形態では、４個のガス検出素子
２０ａ〜２０ｄを１ブロックとして５ブロック備えるも
のであったが、ガス検出素子２０の種類及びブロック数
に限定はなく任意である。

【００６２】（V）第５の実施の形態 図１０は本発明に係る感応膜アレイ型ガス検出器の第５
の実施の形態の縦断面図である。第５の実施に形態の感
応膜アレイ型ガス検出器は、上記第１〜第４の実施の形
態の感応膜アレイ型ガス検出器における複数個のガス検
出素子（１、１ａ〜１ｄ、２０、２０ａ〜２０ｄ）の夫
々を、熱により溶解する樹脂フィルム２５で覆い、ガス
検出素子を動作させる時のヒータ５の熱によって溶解さ
せるようにしたものである。図１１は樹脂フィルム２５
が溶けた状態を示す平面図である。

【００６３】この構成によれば、動作状態にしたいガス
検出素子のヒータ５に通電を行うことによりそのガス検
出素子を覆った樹脂フィルム２５がヒータ５から発生す
る熱によって溶解し、空気中に露出する。したがって、
ガス検出素子を実際に使用するまでは樹脂フィルム２５
によって空気中にさらさないように保護できることか
ら、経年変化による劣化を最小限に抑えることができ、
製品としての長寿命化が図れる。

【００６４】なお、第５の実施の形態では、素子をフィ
ルムで覆い、ガスとの反応を促進させるためのヒータの
熱によってフィルムが剥がれる構成を取っているが人為
的にフィルムを剥がす手段を取ることも可能である。

【００６５】（V）第６の実施の形態 図１２は本発明に係る感応膜アレイ型ガス検出器の第６
の実施の形態の縦断面図である。第６の実施の形態の感
応膜アレイ型ガス検出器は、上記第１〜第４の実施の形
態の感応膜アレイ型ガス検出器における複数個のガス検
出素子（１、１ａ〜１ｄ、２０、２０ａ〜２０ｄ）の夫
々を、熱により収縮する樹脂フィルム２６で覆うととも
に、該樹脂フィルム２６とガス検出素子との接着に部分
的に熱により溶解する接着剤２７を用い、ガス検出素子
を動作させた時のヒータ５の熱で該ガス検出素子の樹脂
フィルム２６を固定している接着剤２７を溶解させると
ともに、樹脂フィルム２６を収縮させるようにしたもの
である。

【００６６】この構成によれば、動作状態にしたいガス
検出素子のヒータ５に通電を行うことにより、ヒータ５
から発生する熱によってガス検出素子を覆った樹脂フィ
ルム２６を接着する接着剤２７が溶解するとともに樹脂
フィルム２６が収縮してガス検出素子１が空気中に露出
する。したがって、ガス検出素子１を実際に使用するま
では樹脂フィルム２６によって空気中にさらさないよう
に保護できることから、経年変化による劣化を最小限に
抑えることができ、長寿命化が図れる。

【００６７】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、選択した
ガス検出素子に配線の断線あるいは素子の劣化等の異常
が生じた場合に他の正常なガス検出素子に切り替えるの
で、ガス検出器として長期間に亘る使用が可能になり、
ガスに反応することで使用不能となって新品と交換しな
ければならない従来のガス検出器と比べて信頼性を向上
できるとともに経費を節減することができる。

【００６８】請求項２記載の発明によれば、１ブロック
を構成する複数個のガス検出素子のうちの一つでも配線
の断線あるいは素子の劣化等の異常が生じた場合に他の
正常なブロックに切り替わるので、ガス検出器として長
期間に亘る使用が可能になり、ガスに反応することで使
用不能となって新品と交換しなければならない従来のガ
ス検出器と比べて信頼性を向上できるとともに経費を節
減することができる。

【００６９】また、この発明では、種類の異なる複数の
ガス検出素子を１ブロックとして、それの各ガス検出素
子を動作状態にするので、複数種類のガスを一度に検出
することができる。この場合、食料品の腐敗臭や香り、
各環境にて発生するガスは通常は１種類ではなく複数の
成分のガスから成っており、また防災においてはあらゆ
る危険なガスに対応する必要があるが、本発明の感応膜
アレイ型ガス検出器はこの要件に適うものである。

【００７０】請求項３記載の発明によれば、異なる材料
の感応膜を備えた複数個のガス検出素子の夫々の出力を
監視し、発報レベル以上になったものが少なくとも一つ
あると、複数個のガス検出素子の夫々とこれらの夫々が
感応する少なくとも一種類のガスとの対応を表したテー
ブルを参照し、該当すればそのガス検出素子が感応する
ガスを示す検出信号を出力するので、１台のガス検出器
で複数種類のガスを検出することができる。

【００７１】請求項４記載の発明によれば、異なる材料
の感応膜を備えた複数個のガス検出素子の夫々の出力を
監視し、発報レベル以上になったものが少なくとも一つ
あると、複数個のガス検出素子の夫々とこれらの夫々が
感応する少なくとも一種類のガスとの対応を表したテー
ブルを参照し、該当すればそのガス検出素子が感応する
ガスを示す検出信号を出力し、また１ブロックを構成す
る複数個のガス検出素子のうちの一つでも配線の断線あ
るいは素子の劣化等の異常が生じた場合、残りの正常な
ブロックに切り替わるので、１台のガス検出器で複数種
類のガスを検出することができ、またガス検出器として
長期間に亘る使用が可能になり、ガスに反応することで
使用不能となって新品と交換しなければならない従来の
ガス検出器と比べて信頼性を向上できるとともに経費を
節減することができる。

【００７２】請求項５記載の発明によれば、検出可能な
複数種類のガスのうちの検出したいガスを任意に選択す
ることができ、しかも共通するガスに反応するガス検出
素子が複数ある場合には、それらの全てがガスに反応し
たときに検出信号を出力するので、一つのガス検出素子
のみで検出する場合よりも検出精度の向上が図れ、また
現場に応じた設定ができることから使い勝手の良い感応
膜アレイ型ガス検出器を提供できる。

【００７３】請求項６記載の発明によれば、検出可能な
複数種類のガスのうちの検出したいガスを任意に選択す
ることができ、しかも共通するガスに反応するガス検出
素子が複数ある場合には、それらの全てがガスに反応し
たときに検出信号を出力し、また１ブロックを構成する
複数個のガス検出素子のうちの一つでも配線の断線ある
いは素子の劣化等の異常が生じた場合、残りの正常なブ
ロックに切り替わるので、１台のガス検出器で複数種類
のガスを検出することができ、また一つのガス検出素子
のみで検出する場合よりも検出精度の向上が図れ、また
現場に応じた設定ができることから使い勝手の良い感応
膜アレイ型ガス検出器を提供できる。

【００７４】請求項７記載の発明によれば、ガス検出素
子のヒータに通電を行うことで該ガス検出素子を動作状
態にし、通電を行わないことで非動作状態にするので、
任意に複数個のガス検出素子の夫々を動作状態／非動作
状態にすることができる。

【００７５】請求項８、９記載の発明によれば、ガス検
出素子を実際に使用するまでは樹脂フィルムによって空
気中にさらさないように保護するので、経年変化による
劣化を最小限に抑えることができ、長寿命化が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る感応膜アレイ型ガス検出器の第１
の実施の形態の構成を示すブロック図である。

【図２】第１の実施の形態の感応膜アレイ型ガス検出器
に用いられるガス検出素子の構造を示す図である。

【図３】本発明に係る感応膜アレイ型ガス検出器の第２
の実施の形態の構成を示すブロック図である。

【図４】第２の実施の形態の感応膜アレイ型ガス検出器
のガス検出素子をアレイ状に並べた状態を示す平面図で
ある。

【図５】ガス検出素子を用いた基本測定回路を示す図で
ある。

【図６】ガス検出素子を用いた他の基本測定回路を示す
図である。

【図７】図６の基本測定回路におけるｉf−Ｒfグラフを
示す図である。

【図８】本発明に係る感応膜アレイ型ガス検出器の第３
の実施の形態の構成を示すブロック図である。

【図９】第３の実施の形態の感応膜アレイ型ガス検出器
のガス検出素子設定テーブルを示す図である。

【図１０】本発明に係る感応膜アレイ型ガス検出器の第
５の実施の形態の構成を示す縦断面図である。

【図１１】第５の実施の形態の感応膜アレイ型ガス検出
器の平面図である。

【図１２】本発明に係る感応膜アレイ型ガス検出器の第
６の実施の形態の構成を示す縦断面図である。

【図１３】従来のプレス成形型ガスセンサを示す斜視図
である。

【図１４】従来の圧膜型ガスセンサを示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１、１ａ〜１ｄ、２０、２０ａ〜２０ｄ ガス検出素子 ５ ヒータ １０、１６ マルチプレクサ １１ ＣＰＵ １２ トランスデューサ １３ Ａ／Ｄ変換部 １４、１７ ヒータ駆動部 １５ 信号出力部 ２０ ＲＯＭ ２１ 設定器 ２５、２６ 樹脂フィルム ２７ 接着剤

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも１種類のガスに反応する感応
   膜を備えるとともに、内部にガスとの反応を促進させる
   ためのヒータを備えるガス検出素子を複数個アレイ状に
   配置してなるガス検出部と、 このガス検出部の複数個のガス検出素子のうちの１個を
   選択する選択手段と、 この選択手段により選択されたガス検出素子を動作状態
   にするとともに、そのガス検出素子の機能を常時チェッ
   クし、異常が生じた場合には他のガス検出素子のうちの
   １個に切り替え、新たにガス検出素子を切り替える毎に
   同様の異常が発生すると他のガス検出素子に切り替える
   制御を行う制御手段と、 を備えたことを特徴とする感応膜アレイ型ガス検出器。
2. 【請求項２】 異なる材料の感応膜を備え、それぞれの
   内部にはガスとの反応を促進させるためのヒータを備え
   る複数個のガス検出素子を１ブロックとして複数ブロッ
   ク配置してなるガス検出部と、 このガス検出部の複数ブロックのうちの１ブロックを選
   択する選択手段と、 この選択手段により選択された１ブロックの各ガス検出
   素子を動作状態にするとともに機能を常時チェックして
   いずれか一つでも異常になった場合に他のブロックのう
   ちの１ブロックに切り替え、新たにブロックを切り替え
   る毎に同様の異常が発生すると他のブロックに切り替え
   る制御を行う制御手段と、 を備えたことを特徴とする感応膜アレイ型ガス検出器。
3. 【請求項３】 異なる材料の感応膜を備え、それぞれの
   内部にはガスとの反応を促進させるためのヒータを備え
   る複数個のガス検出素子をブロック配置してなるガス検
   出部と、 このガス検出部の複数個のガス検出素子の夫々とこれら
   の夫々が感応する少なくとも一種類のガスとの対応を表
   したテーブルを記憶した記憶手段と、 前記ガス検出部の複数個のガス検出素子の夫々を動作状
   態にするとともに、夫々の出力を監視して発報レベル以
   上であるものが少なくとも一つあれば、前記記憶手段の
   テーブルを参照して該当するガスを検索し、この検索に
   より得られたガスを示す検出信号を出力する制御手段
   と、 を備えたことを特徴とする感応膜アレイ型ガス検出器。
4. 【請求項４】 異なる材料の感応膜を備え、それぞれの
   内部にはガスとの反応を促進させるためのヒータを備え
   る複数個のガス検出素子を１ブロックとして複数ブロッ
   ク配置してなるガス検出部と、 このガス検出部の複数ブロックのうちの１ブロックを選
   択するブロック選択手段と、 このガス検出部の複数個のガス検出素子の夫々とこれら
   の夫々が感応する少なくとも一種類のガスとの対応を表
   したテーブルを記憶した記憶手段と、 前記ブロック選択手段により選択された前記ガス検出部
   の１ブロックの複数個のガス検出素子の夫々を動作状態
   にするとともに、夫々の出力を監視して発報レベル以上
   であるものが少なくとも一つあれば、前記記憶手段のテ
   ーブルを参照して該当するガスを検索し、この検索によ
   り得られたガスを示す検出信号を出力する一方、前記ブ
   ロック選択手段により選択された１ブロックの各ガス検
   出素子の機能を常時チェックし、異常が生じたものが一
   つでもあれば他のブロックに切り替え、他のブロックを
   切り替える毎に同様の異常が発生すると残りのブロック
   に切り替える制御を行う制御手段と、 を備えたことを特徴とする感応膜アレイ型ガス検出器。
5. 【請求項５】 異なる材料の感応膜を備え、それぞれの
   内部にはガスとの反応を促進させるためのヒータを備え
   る複数個のガス検出素子をブロック配置してなるガス検
   出部と、 前記ガス検出部の複数のガス検出素子のうちの検出した
   いガスに最も感応する少なくとも一つのガス検出素子を
   選択する選択手段と、 この選択手段にて選択された少なくとも一つのガス検出
   素子を動作状態にするとともに、その出力を監視して発
   報レベル以上であれば当該ガス検出素子が感応するガス
   を示す検出信号を出力する制御手段と、 を備えたことを特徴とする感応膜アレイ型ガス検出器。
6. 【請求項６】 異なる材料の感応膜を備え、それぞれの
   内部にはガスとの反応を促進させるためのヒータを備え
   る複数個のガス検出素子を１ブロックとして複数ブロッ
   ク配置してなるガス検出部と、 このガス検出部の複数ブロックのうちの１ブロックを選
   択するブロック選択手段と、 前記ガス検出部の複数のガス検出素子のうちの検出した
   いガスに最も感応する少なくとも一つのガス検出素子を
   選択する選択手段と、 前記ブロック選択手段により選択された前記ガス検出部
   の１ブロックの複数個のガス検出素子の夫々を動作状態
   にするとともに、各出力を監視して発報レベル以上であ
   れば当該ガス検出素子が感応するガスを示す検出信号を
   出力する一方、前記ブロック選択手段により選択された
   １ブロックの各ガス検出素子の機能を常時チェックし、
   異常が生じたものが一つでもあれば他のブロックに切り
   替え、他のブロックを切り替える毎に同様の異常が発生
   すると残りのブロックに切り替える制御を行う制御手段
   と、 を備えたことを特徴とする感応膜アレイ型ガス検出器。
7. 【請求項７】 前記制御手段は、前記ガス検出素子のヒ
   ータに通電を行うことで該ガス検出素子を動作状態に
   し、通電を行わないことで非動作状態にすることを特徴
   とする請求項１乃至６に記載の感応膜アレイ型ガス検出
   器。
8. 【請求項８】 前記複数個のガス検出素子の夫々を、熱
   により溶解する樹脂フィルムで覆い、 前記制御手段は、動作状態とするガス検出素子のヒータ
   に通電を行って、その時に発生する熱で該ガス検出素子
   の樹脂フィルムを溶解させることを特徴とする請求項１
   乃至６に記載の感応膜アレイ型ガス検出器。
9. 【請求項９】 前記複数個のガス検出素子の夫々を、熱
   により収縮する樹脂フィルムで覆うとともに該樹脂フィ
   ルムとガス検出素子との接着に部分的に熱により溶解す
   る接着剤を用い、 前記制御手段は、動作状態とするガス検出素子のヒータ
   に通電を行って、その時に発生する熱で該ガス検出素子
   の樹脂フィルムを固定している接着剤を溶解させるとと
   もに樹脂フィルムを収縮させることを特徴とする請求項
   １乃至６に記載の感応膜アレイ型ガス検出器。