JPH11153764A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
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- JPH11153764A JPH11153764A JP33368397A JP33368397A JPH11153764A JP H11153764 A JPH11153764 A JP H11153764A JP 33368397 A JP33368397 A JP 33368397A JP 33368397 A JP33368397 A JP 33368397A JP H11153764 A JPH11153764 A JP H11153764A
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Abstract
とせずに、1枚の曲面ミラーのみで第2結像光学系を構
成し、像面湾曲、fθ特性、走査線湾曲を良好な性能と
するとともに、光線収差が補正された良好なスポットを
得ること。 【解決手段】 折り返しミラー4とポリゴンミラー5と
曲面ミラー7とを、折り返しミラー4からの光束がポリ
ゴンミラー5の偏向面の法線を含み主走査方向に平行な
面に対して斜め入射し、ポリゴンミラー5からの光束が
曲面ミラー7の頂点における法線を含み主走査方向に平
行な面に対して斜め入射するように、副走査方向に異な
る位置に配置した。
Description
ンタ、レーザファクシミリやデジタル複写機などに用い
られる光走査装置に関するものである。
られている多くの光走査装置は、光源としての半導体レ
ーザと、光偏向器としてのポリゴンミラーと、光偏向器
の面倒れを補正するために光源からの光束を光偏向器に
線状に結像する第1結像光学系と、被走査面上に等速度
で均一なスポットを結像する第2結像光学系と、から構
成されている。
は、fθレンズと呼ばれる大型のガラスレンズ複数枚で
構成されていたが、小型化が困難であるとともに高価で
あるとの問題点があった。
る光走査装置として第2結像光学系に1枚の曲面ミラー
を用いるもの、例えば、特開平4−194814、特開
平6−281872、特開平6−118325、特開平
6−281873、等が提案されている。
案のような1枚の曲面ミラーで構成された光走査装置
は、いずれの場合も像面湾曲、fθ特性、走査線湾曲に
関しての性能は良好であったとしても、光線収差に関し
ては補正が不十分であるため良好なスポットが得られな
いという不都合がある。
などの光路分離手段を必要とせずに、1枚の曲面ミラー
のみで第2結像光学系を構成し、像面湾曲、fθ特性、
走査線湾曲を良好な性能とするとともに、光線収差を適
正に補正して良好なスポットを得る光走査装置を提供す
るものである。
光束を発する光源部と、光源部からの光束を走査する光
偏向器と、光源部と光偏向器との間に配置され、面倒れ
補正のために光偏向器の偏向面上に線像を形成する第1
結像光学系と、光偏向器と被走査面との間に配置され、
1枚の曲面ミラーから構成される第2結像光学系とを備
える。そして、この曲面ミラーの形状は像面湾曲、fθ
誤差、走査線湾曲を補正するような主副の曲率半径が異
なり、さらに母線上の各点における法線がねじれている
自由曲面である。
の光束は曲面ミラーの頂点における法線を含み主走査方
向に平行な面(以後YZ面)に対して斜め入射するよう
に配置されている。このとき、曲面ミラーに副走査方向
に関して斜めに入射することによって光線収差が生じ
る。
査装置は、第1結像光学系からの光束は光偏向器の偏向
面の法線を含み主走査方向に平行な面に対して斜め入射
する配置とし、光線収差を補正する各傾き角の条件を示
した。
副走査方向断面に関して、偏向面で反射される反射光束
が第1結像光学系からの入射光束に対してなす角度の方
向を正の方向とした場合、曲面ミラーで反射される光束
が偏向面からの入射光束に対してなす角度が負の方向で
あることが望ましい。
の法線が第1結像光学系からの光束となす角度をθP、
曲面ミラーの頂点における法線が偏向面からの光束とな
す角度をθMとした場合以下の条件式(1)を満足する
ことが望ましい。条件式の範囲を越えると斜め方向に収
差が生じて高解像度の達成が困難になる。
記光源部からの光束を走査する光偏向器と、前記光源部
と前記光偏向器との間に配置され、前記光偏向器の偏向
面上に線像を形成する第1結像光学系と、前記光偏向器
と被走査面との間に配置され、1枚の曲面ミラーから構
成される第2結像光学系とを備える光走査装置であっ
て、前記第1結像光学系と前記光偏向器と前記第2結像
光学系とを、前記第1結像光学系からの光束が前記光偏
向器の前記偏向面の法線を含み主走査方向に平行な面に
対して斜め入射し、前記光偏向器からの光束が前記曲面
ミラーの頂点における法線を含み主走査方向に平行な面
(以後YZ面)に対して斜め入射するように、副走査方
向に異なる位置に配置する構成とした。
ミラーで構成することができるため、低コスト小型化を
実現することができ、しかも光偏向器からの光束が、曲
面ミラーに対して副走査方向について斜め入射するの
で、ハーフミラーなどの光路分離手段を必要としない。
載の光走査装置において、副走査方向断面に関して、前
記偏向面で反射される反射光束が前記第1結像光学系か
らの入射光束に対してなす角度の方向を正の方向とした
場合、前記曲面ミラーで反射される光束が前記偏向面か
らの入射光束に対してなす角度が負の方向となるように
した。
を、それぞれ正の方向と負の方向と位置づけるため、斜
め入射に起因して生じる光線収差を補正し、良好なスポ
ットを得ることができる。
走査装置において、前記偏向面の法線が前記第1結像光
学系からの光束となす角度をθP、前記曲面ミラーの頂
点における法線が前記偏向面からの光束となす角度をθ
Mとした場合、条件式 1.2<θM/θP<1.8
を満足するようにした。
偏向器と前記第2結像光学系との位置関係が上記条件式
を満足すれば、光束の斜め入射に起因して生じる光線収
差を適正に補正することができる。
至請求項3のいずれかに記載の光走査装置において、前
記曲面ミラーは、斜め入射に起因して生じる走査線曲が
りを補正する形状とした。
項3のいずれかに記載の光走査装置において、前記曲面
ミラーは、前記YZ面に対して非対称の形状とした。
項3のいずれかに記載の光走査装置において、前記曲面
ミラーは、前記YZ面と曲面が交わる曲線(以後母線)
上にある頂点以外の各点の法線が、前記YZ面に含まれ
ない、ねじれ形状とした。
にでき光束の斜め入射に起因して生じる光線収差を補正
しつつ、しかも、走査線曲がりを補正することができ
る。
曲面ミラーは、請求項7記載の発明のように、前記母線
上の各点の法線が前記YZ面となす角度は、周辺ほど大
きくなるようにすればよい。また、請求項8記載の発明
のように、前記母線上の各点の法線が前記YZ面となす
角度の方向は、前記曲面ミラーで反射される光束が前記
偏向面からの入射光束に対してなす角度を正の方向とし
た場合、正の方向となるようにすればよい。
至請求項3記載の光走査装置において、前記曲面ミラー
は、頂点における主走査方向の曲率半径と副走査方向の
曲率半径が異なるアナモフィックミラーとした。
求項3記載の光走査装置において、前記曲面ミラーは、
主走査方向、副走査方向ともに凹のミラー面とした。
求項3記載の光走査装置において、前記曲面ミラーは、
副走査方向の屈折力が主走査方向における中心部と周辺
部で変化しているミラー面とした。
求項3記載の光走査装置において、前記第1結像光学系
は前記光源部からの光束を主走査方向について収束光束
となるようにした。
方向の各像面湾曲、fθ特性を良好な性能とすることが
できる。
求項3記載の光走査装置において、前記光源部は、波長
可変光源と波長制御部を具備する構成とした。
ぼ波長に比例するので、波長を制御すると感光ドラム上
に結像するスポットの大きさを任意に制御することがで
き、しかも、第2結像光学系が反射ミラーのみで構成さ
れるので色収差が全く発生しないため、fθ特性など他
の性能を劣化することなく解像度を任意に変えることが
できる。
と、前記光源部からの光束を走査する光偏向器と、前記
光源部と前記光偏向器との間に配置され、前記光偏向器
の偏向面上に線像を形成する第1結像光学系と、前記光
偏向器と被走査面との間に配置される第2結像光学系と
を備える光走査装置であって、前記光源部が少なくとも
2つの光源からなり、前記光源部と前記光偏向器の間に
配置される前記少なくとも2つの光源からの光束を合成
する光合成手段を具備し、第2結像光学系を1枚の曲面
ミラーにより構成するようにした。
の走査を行うことができるため、光源が1つの場合と比
較して少なくとも2倍の線像情報を被走査面上に走査す
ることができる。
ックミラーを使用できる。ダイクロイックミラーは、波
長を選択して反射、透過するので効率よく光を合成する
ことができる。また、ハーフミラーを使用することもで
きる。ハーフミラーは、加工が容易なので低コストで光
合成を実現できる。
4記載の光走査装置において、前記第1結像光学系、前
記光偏向器、前記第2結像光学系を、副走査方向に異な
る位置に配置するようにした。
様に、第2結像光学系が1枚のミラーで構成されるの
で、低コスト、小型化を実現する光走査装置であって、
曲面ミラーに副走査方向に関して斜め入射するのでハー
フミラーなどの光路分離手段を必要としない。
又は請求項15の光走査装置において、前記光偏向器と
被走査面との間に配置される光束を分解する光分解手段
を具備する構成とした。
光束を分解する光分解手段を配置することで、一度の走
査で同時に少なくとも2本の線像を被走査面上に形成す
ることができ、画像形成速度あるいは画像読み取り速度
を少なくとも2倍速くする効果が得られる。
ロイックミラー等を使用するとよい。回折格子によれ
ば、入射した光束は波長により異なる回折角で回折され
るので、低コスト高効率で光を分解することができる。
また、ダイクロイックミラーによれば、波長を選択して
反射、透過するので効率よく光を分解することができ
る。
請求項15記載の光走査装置において、前記光源部を構
成する少なくとも2つの光源から発する光の波長を異な
るようにした。
も、第2結像光学系が反射ミラーのみで構成されるの
で、通常発生する色収差が全く発生しないため、高解像
度のカラー画像形成あるいはカラー画像読み取りが可能
となる。
発明のように、上記請求項1乃至請求項17記載の発明
を、画像読取装置又は画像形成装置に適用することによ
り、小型、低コスト、高解像度で、しかも、高速の画像
読取装置、画像形成装置を得ることができる。
て、図1から図8を用いて説明する。 (実施の形態1)図1は、本発明の実施の形態1に係る
光走査装置を示す構成図である。図1において、光走査
装置は、半導体レーザ1、軸対称レンズ2、副走査方向
にのみ屈折力を持つシリンドリカルレンズ3、折り返し
ミラー4、ポリゴンミラー5、回転中心軸6、曲面ミラ
ー7、走査面である感光ドラム8から構成されている。
む副走査方向に平行な面で切った断面図である。折り返
しミラー4からの光束はポリゴンミラー5の偏向面に対
して斜めに入射し、ポリゴンミラー5からの光束は曲面
ミラー7に対して斜めに入射するように、副走査方向に
異なる位置に配置されている。
し、ポリゴンミラー5の偏向反射点と曲面ミラー7の間
隔をLとし、曲面ミラー7と感光ドラム8の間隔をDと
し、折り返しミラー4からの光軸と偏向反射面の法線と
のなす角をθPとし、偏向反射面からの光軸と曲面ミラ
ー7の頂点における法線とのなす角をθMとする。
標、主走査方向座標がx(mm)、y(mm)の位置に
おける頂点からのサグ量を入射光束の向かう方向を正と
するz(mm)とすれば、本実施の形態1の曲面ミラー
7の面形状は、式(2)で示される。
式、g(y)はy位置における副走査方向(x方向)の
曲率半径、θ(y)はy位置におけるねじり量を示す式
である。そして、RDy(mm)は頂点における主走査
方向曲率半径、RDx(mm)は副走査方向曲率半径、
Kは母線形状を示す円錐定数、A、B、C、Dは母線形状を
示す高次定数であり、Eはy位置におけるねじり量を決
めるねじり定数である。
表4に示す。なお、最大像高をYmax、それに対応した
ポリゴン回転角をαmaxとした。
1、図2を用いてその動作を説明する。
ズ2によって収束光となる。この収束光は、シリンドリ
カルレンズ3によって副走査方向についてのみ収束さ
れ、折り返しミラー4によって折り返されポリゴンミラ
ー5の反射面上に線像として結像される。その反射光
は、ポリゴンミラー5が回転中心軸6を中心に回転する
ことによって主走査され、曲面ミラー7、感光ドラム8
上に結像する。
θ誤差を補正するように、主走査方向断面の非円弧形
状、各像高に対応した副走査方向の曲率半径が決められ
ており、さらに、走査線湾曲を補正するために各像高に
対応した位置での面のねじり量が決められている。
射によって生じる光線収差が補正されるように、θP、
θMが決められている。上記各数値例1〜数値例4の走
査中心、最大像高における波面収差を表5に示す。
像面湾曲量、残存走査線湾曲量を、図3乃至図6に示
す。
誤差、(b)像面湾曲量、(c)残存走査線湾曲量を示す。
誤差、(b)像面湾曲量、(c)残存走査線湾曲量を示す。
誤差、(b)像面湾曲量、(c)残存走査線湾曲量を示す。
誤差、(b)像面湾曲量、(c)残存走査線湾曲量を示す。
傍におけるポリゴンの単位回転角あたりの走査速度(感
光ドラム面上で光束が走査される速度)をV(mm/de
g)、ポリゴン回転角α(deg)、像高をY(mm)としたと
き式(3)で表される量である。
り、その波長を制御すると感光ドラム8上に結像するス
ポットの大きさを任意に制御することもできる。
を表すため、式(2)を用いたが、同様の形状を表すこ
とができれば他の式を用いてもよい。
は、半導体レーザからの光束を走査するポリゴンミラー
と、光源部とポリゴンミラーとの間に配置され、ポリゴ
ンミラーの偏向面上に線像を形成する第1結像光学系
と、ポリゴンミラーと感光ドラムとの間に配置され、1
枚の曲面ミラーから構成される第2結像光学系とを備え
る光走査装置であって、第1結像光学系からの光束はポ
リゴンミラーの偏向面の法線を含み主走査方向に平行な
面に対して斜め入射し、ポリゴンミラーからの光束は曲
面ミラーのYZ面に対して斜め入射するように、副走査
方向について傾けて配置している。また、曲面ミラーの
形状は主副の曲率半径が異なり、さらに母線上の各点に
おける法線がねじれている自由曲面である。
湾曲、fθ特性、走査線湾曲を良好な性能とすることが
できる。
め入射するのでハーフミラーなどの光路分離手段を必要
としない。そして、偏向反射面に副走査方向に関して斜
めに入射させる角度を、この斜め入射に起因して生じる
光線収差を補正するための条件を満足する角度とするこ
とで波面収差の小さい良好なスポットを得ることができ
る。
し、その波長を制御すると感光ドラム上に結像するスポ
ットの大きさを任意に制御することもできる。 (実施の形態2)図7は、本発明の実施の形態2に係る
光走査装置を示す概略斜視図である。図7において、光
走査装置は、波長λ1の光束を発する第1の光源9と、
波長λ2の光束を発する第2の光源10と、第1の光源
9からの光を収束光とする第1の軸対称レンズ11と、
第2の光源10からの光を収束光とする第2の軸対称レ
ンズ12と、副走査方向にのみ屈折力を持ち偏向面上に
第1の光源9からの光束を線像として結像する第1のシ
リンドリカルレンズ13と、副走査方向にのみ屈折力を
持ち偏向面上に第2の光源10からの光束を線像として
結像する第2のシリンドリカルレンズ14と、波長λ1
の光束を透過し、波長λ2の光束を反射するダイクロイ
ックミラー15と、折り返しミラー16と、ポリゴンミ
ラー17と、ポリゴンミラー17の回転中心軸18と、
数値例1〜数値例4に示した形状および配置である曲面
ミラー19と、波長λ1と波長λ2の光束に分離する回折
格子20と、感光ドラムと、から構成される。
てその動作を説明する。ダイクロイックミラー15で合
成された2つの異なる波長の光束がポリゴンミラー17
によって走査され、曲面ミラー19によって収束光とな
り、回折格子20によって2つの光束に分離され感光ド
ラム21上に結像されるので、一度の走査で2ライン走
査することができる。
く発生しない。故に、回折格子20によって分離された
2つの光束はともに感光ドラム21に良好に結像するこ
ととなる。ここでは、合成手段としてダイクロイックミ
ラーを用いたがハーフミラーを用いても良く、また分離
手段として回折格子を用いたがダイクロイックミラーを
用いても良い。
ライン走査を行うとしたが、分解手段を設けずに波長多
重の走査を行うこともできる。
は、光源部を少なくとも2つの光源から構成し、光源部
と光偏向器の間に少なくとも2つの光源からの光束を合
成する光合成手段を配置し、第2結像光学系を光偏向器
からの光束を反射する曲面ミラーで構成し、曲面ミラー
の形状、配置は実施の形態1と同様としたので高解像度
を実現しながら、一度の走査で光源が1つの場合と比較
して少なくとも2倍の線像情報を被走査面上に走査する
効果が得られる。
を分解する光分解手段を配置することで、一度の走査で
同時に少なくとも2本の線像を被走査面上に形成するこ
とができ、画像形成速度あるいは画像読み取り速度を少
なくとも2倍速くする効果が得られる。
少なくとも2つの光源から構成し、光合成手段をダイク
ロイックミラーあるいはハーフミラーとし、光分解手段
を回折格子あるいはダイクロイックミラーとすること
で、低コストで画像形成速度あるいは画像読み取り速度
を少なくとも2倍速くする効果が得られる。なお、この
とき第2結像光学系が反射ミラーのみで構成されるの
で、波長の異なる光の場合に通常発生する色収差が全く
発生しないため、高解像度、高速の光走査装置を実現す
ることができる。 (実施の形態3)図8は、実施の形態1又は実施の形態
2に記載した光走査装置を適用した画像読取装置を示す
概略斜視図である。図8において、図1に示した実施の
形態1の光走査装置と同一の部材には同一番号を付して
説明を省略する。本画像読取装置は、読取面22と、光
源1からの光束を透過するとともに読取面22からの戻
り光を検出系に反射するハーフミラー23と、検出器2
4と、検出器24に戻り光を導く検出光学系25とから
構成される。
ことにより、小型、低コスト、高解像度の画像読取装置
を実現することができる。 (実施の形態4)図9は、実施の形態1又は実施の形態
2に記載した光走査装置を適用した他の画像形成装置を
示す概略斜視図である。図9において、光走査装置は、
光が照射されると電荷が変化する感光体が表面を覆って
いる感光ドラム26と、感光体の表面に静電気イオンを
付着し帯電する一次帯電器27と、印字情報を感光ドラ
ム26上に書き込む上記図1に示した実施例の光走査装
置28、印字部に帯電トナーを付着させる現像器29、
付着したトナーを用紙に転写する転写帯電器30、残っ
たトナーを除去するクリーナー31、転写されたトナー
を用紙に定着する定着装置32、給紙カセット33であ
る。
ることにより、小型、低コストの画像形成装置を実現す
ることができる。
れば、ハーフミラーなどの光路分離手段を必要とせず
に、1枚の曲面ミラーのみで第2結像光学系を構成し、
像面湾曲、fθ特性、走査線湾曲を良好な性能とすると
ともに、光線収差を適正に補正して良好なスポットを得
る光走査装置を得ることができる。
概略ブロック図
平行な面で切った断面図
(a)fθ誤差、(b)像面湾曲量、(c)残存走査線湾曲量を
示す図
(a)fθ誤差、(b)像面湾曲量、(c)残存走査線湾曲量を
示す図
(a)fθ誤差、(b)像面湾曲量、(c)残存走査線湾曲量を
示す図
(a)fθ誤差、(b)像面湾曲量、(c)残存走査線湾曲量を
示す図
概略ブロック図
概略ブロック図
概略断面図
Claims (19)
- 【請求項1】 光源部と、前記光源部からの光束を走査
する光偏向器と、前記光源部と前記光偏向器との間に配
置され、前記光偏向器の偏向面上に線像を形成する第1
結像光学系と、前記光偏向器と被走査面との間に配置さ
れ、1枚の曲面ミラーから構成される第2結像光学系と
を備える光走査装置であって、前記第1結像光学系と前
記光偏向器と前記第2結像光学系とを、前記第1結像光
学系からの光束が前記光偏向器の前記偏向面の法線を含
み主走査方向に平行な面に対して斜め入射し、前記光偏
向器からの光束が前記曲面ミラーの頂点における法線を
含み主走査方向に平行な面(以後YZ面)に対して斜め
入射するように、副走査方向に異なる位置に配置したこ
とを特徴とする光走査装置。 - 【請求項2】 副走査方向断面に関して、前記偏向面で
反射される反射光束が前記第1結像光学系からの入射光
束に対してなす角度の方向を正の方向とした場合、前記
曲面ミラーで反射される光束が前記偏向面からの入射光
束に対してなす角度が負の方向であることを特徴とする
請求項1記載の光走査装置。 - 【請求項3】 前記偏向面の法線が前記第1結像光学系
からの光束となす角度をθP、前記曲面ミラーの頂点に
おける法線が前記偏向面からの光束となす角度をθMと
した場合、条件式 1.2<θM/θP<1.8 を満
足することを特徴とする請求項2記載の光走査装置。 - 【請求項4】 前記曲面ミラーは、斜め入射に起因して
生じる走査線曲がりを補正する形状であることを特徴と
する請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の光走査装
置。 - 【請求項5】 前記曲面ミラーは、前記YZ面に対して
非対称であることを特徴とする請求項1乃至請求項3の
いずれかに記載の光走査装置。 - 【請求項6】 前記曲面ミラーは、前記YZ面と曲面が
交わる曲線(以後母線)上にある頂点以外の各点の法線
が、前記YZ面に含まれない、ねじれ形状であることを
特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の光
走査装置。 - 【請求項7】 前記母線上の各点の法線が前記YZ面と
なす角度は、周辺ほど大きくなることを特徴とする請求
項6記載の光走査装置。 - 【請求項8】 前記母線上の各点の法線が前記YZ面と
なす角度の方向は、前記曲面ミラーで反射される光束が
前記偏向面からの入射光束に対してなす角度を正の方向
とした場合、正の方向であることを特徴とする請求項6
記載の光走査装置。 - 【請求項9】 前記曲面ミラーは、頂点における主走査
方向の曲率半径と副走査方向の曲率半径が異なるアナモ
フィックミラーであることを特徴とする請求項1乃至請
求項3のいずれかに記載の光走査装置。 - 【請求項10】 前記曲面ミラーは主走査方向、副走査
方向ともに凹のミラー面であることを特徴とする請求項
1乃至請求項3のいずれかに記載の光走査装置。 - 【請求項11】 前記曲面ミラーは副走査方向の屈折力
が主走査方向における中心部と周辺部で変化しているミ
ラー面であることを特徴とする請求項1乃至請求項3記
載の光走査装置。 - 【請求項12】 前記第1結像光学系は前記光源部から
の光束を主走査方向について収束光束とすることを特徴
とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の光走査
装置。 - 【請求項13】 前記光源部は、波長可変光源と波長制
御部を具備することを特徴とする請求項1乃至請求項3
のいずれかに記載の光走査装置。 - 【請求項14】 光源部と、前記光源部からの光束を走
査する光偏向器と、前記光源部と前記光偏向器との間に
配置され、前記光偏向器の偏向面上に線像を形成する第
1結像光学系と、前記光偏向器と被走査面との間に配置
される第2結像光学系とを備える光走査装置であって、
前記光源部が少なくとも2つの光源からなり、前記光源
部と前記光偏向器の間に配置される前記少なくとも2つ
の光源からの光束を合成する光合成手段を具備し、第2
結像光学系は1枚の曲面ミラーから構成されることを特
徴とする光走査装置。 - 【請求項15】 前記第1結像光学系、前記光偏向器、
前記第2結像光学系を、副走査方向に異なる位置に配置
したことを特徴とする請求項14記載の光走査装置。 - 【請求項16】 前記光偏向器と被走査面との間に配置
される光束を分解する光分解手段を具備することを特徴
とする請求項14又は請求項15記載の光走査装置。 - 【請求項17】 前記光源部を構成する少なくとも2つ
の光源から発する光の波長は異なることを特徴とする請
求項14又は請求項15記載の光走査装置。 - 【請求項18】 請求項1乃至請求項17記載の光走査
装置を用いた画像読取装置。 - 【請求項19】 請求項1乃至請求項17記載の光走査
装置を用いた画像形成装置。
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