JPH11150078A

JPH11150078A - 縦型熱処理炉

Info

Publication number: JPH11150078A
Application number: JP33246197A
Authority: JP
Inventors: Minoru Oda; 稔小田; Yoshio Sunaga; 芳雄砂賀; Tomohiko Sagawa; 智彦佐川
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 1997-11-17
Filing date: 1997-11-17
Publication date: 1999-06-02

Abstract

(57)【要約】【課題】移載ロボットのアームがウェーハ・ボートに
衝突することによるウェーハ・ボートの破損やウェーハ
の破損を発生させない縦型熱処理炉を提供すること。【解決手段】ローディング・アンローディング室１１
の後扉１４に覗き窓ガラス６６を嵌め込み、光レーザ式
変位センサ６０のセンサ・ヘッド６１を取り付ける。ウ
ェーハ・ボート３１の支持棒３７の上端面板３５の側縁
面の一点を測定点Ｐとして、センサ・ヘッド６１の投光
部６２から測定点Ｐに向けてほぼ垂直に光レーザを投光
し、その反射を受光する受光部６３での受光量の変化に
よって、移載ロボット４０のアーム４１の衝突等によっ
て生起するウェーハ・ボート３１の傾きや位置ずれを微
小な段階で検出し、ウェーハ・ボート３１が破損される
前に移載ロボット４０の駆動を停止させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は縦型熱処理炉に関す
るものであり、更に詳しくは、内部のウェーハ・ボート
の傾き、位置ずれの検出手段を備えた縦型熱処理炉に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造プロセスの中でも熱処理を
伴う、酸化、拡散、減圧ＣＶＤ、ないしはアニール等の
プロセスにおいては、生産効率の向上、清浄度の向上、
装置の小型化等の見地から縦型熱処理炉が広く採用され
ている。

【０００３】図４は代表的な従来例の縦型熱処理炉２を
示す部分破断側面図である。すなわち、従来例の縦型熱
処理炉２は、図４において断面を示した熱処理炉本体１
０と、これに組み合わされた移載ロボット４０、カセッ
ト棚５０から構成されている。

【０００４】熱処理炉本体１０は、ローディング・アン
ローディング室１１とプロセス室２１とが、ローディン
グ・アンローディング室１１を下にし、中間リング２５
を介して上下方向に配置されており、それらの内部にお
いて、ウェーハ・ボート３１がローディング・アンロー
ディング室１１とプロセス室２１との間を昇降するよう
になっている。なお、中間リング２５には仕切弁が設け
られる場合もある。

【０００５】ローディング・アンローディング室１１に
は、図示しない機構によって昇降されるボート・エレベ
ータ１２にウェーハ・ボート３１が設置されている。す
なわち、ボート・エレベータ１２にウェーハ・ボート３
１の台座３２が固定され、その上に設けた断熱筒３４に
は、上下の端面板３５、３６と共に、支持棒３７が立設
されている。そして、支持棒３７に形成されている溝に
多数枚のウェーハＷが水平に支持されるようになってい
る。なお、台座３２の上面はシール板３３となってい
る。また、ローディング・アンローディング室１１の移
載ロボット４０側の側壁にはウェーハＷを出し入れする
ための図示を省略した扉を有する開口１３が形成され、
その反対側にはメンテナンス等に使用される後扉１４が
設けられている。

【０００６】プロセス室２１では、断熱材が充填され、
ヒータ２４を埋め込んだ外套２２に囲われて内部にプロ
セス・チューブ２３が設けられている。プロセス・チュ
ーブ２３の下端は開口されており、ウェーハ・ボート３
１がローディングされ、アンローディングされる。すな
わち、ボート・エレベータ１２が上昇されてウェーハ・
ボート３１が中間リング２５を通ってプロセス・チュー
ブ２３内へ挿入されて上昇位置に至り、シール板３３が
中間リング２５の下端面に当接すると、プロセス・チュ
ーブ２３がローディング・アンローディング室１１と隔
離される。なお、拡散炉や減圧ＣＶＤ炉のような縦型熱
処理炉の場合には、図示せずとも、プロセス・チューブ
２３に真空排気ラインが接続されるが、酸化やアニール
用の縦型熱処理炉においても真空排気ラインの接続され
ることが多い。

【０００７】移載ロボット４０にはアーム４１が設けら
れており、アーム４１はカセット棚５０と、ローディン
グ・アンローディング室１１内の下降位置にあるウェー
ハ・ボート３１との間を往復して、ウェーハＷをカセッ
ト棚５０からウェーハ・ボート３１へ、またウェーハ・
ボート３１からカセット棚５０へ移載する。従って、４
段のカセット棚５０およびウェーハ・ボート３１の支持
棒３７の上下位置に応じてアーム４１の高さを調整し得
るように、移載ロボット４０にはアーム４１の昇降機構
４２が設けられている。

【０００８】そして、熱処理に当っては、移載ロボット
４０のアーム４１がカセット棚５０に収容されているウ
ェーハＷを１枚または複数枚毎に取り出し、ローディン
グ・アンローディング室１１の開口１６から挿入されて
前進し、ローディング・アンローディング室１１に下降
されているウェーハ・ボート１３の支持棒３７に載置す
る。次いでウェーハ・ボート３１がボート・エレベータ
１２によってローディング・アンローディング室１１か
らプロセス・チューブ２３内へ上昇され、シール板３３
が中間リング２５の下端面に当接してプロセス・チュー
ブ２３を密閉する。同時に、プロセス・チューブ２３は
加熱ヒータ２４によって加熱され、必要な場合には減圧
されて、熱処理が行なわれる。

【０００９】熱処理の完了後、ウェーハ・ボート３１は
ボート・エレベータ１２によってローディング・アンロ
ーディング室１１へ下降される。そして、移載ロボット
４０のアーム４１がローディング・アンローディング室
１１の開口１６から挿入され、ウェーハ・ボート３１の
支持棒３７に載置されている熱処理の完了したウェーハ
Ｗを１枚または複数枚毎に取り出してカセット棚５０へ
戻す。縦型熱処理装置２においては、このような熱処理
のサイクルが繰り返される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】従来例の縦型熱処理装
置２は上記のように構成され作用するが、移載ロボット
４０のアーム４１がウェーハＷをウェーハ・ボート３１
の支持棒３７へ載置する時に、ウェーハＷに割れがある
と、アーム４１がウェーハ・ボート３１、特にその支持
棒３７に衝突して、ウェーハ・ボート３１やウェーハＷ
を破損するということがあるので、従来の縦型熱処理装
置２では、アーム４１がウェーハ・ボート３１の支持棒
３７と衝突した時点で、移載ロボット４０が受ける衝突
の反力を機械的に検出し、移載ロボット４０の駆動を停
止させるようにしている。しかし、その反力を受ける時
の機械的な摩擦抵抗によって、また衝突した時の反力の
方向によって、衝突を検出することができず、ウェーハ
・ボート３１やウェーハＷを破損してしまうという問題
があった。

【００１１】そのほか、ウェーハＷの支持棒３７に移載
した後にアーム４１が戻る時や、熱処理が完了したウェ
ーハＷをアーム４１が支持棒３７から取り出して戻る時
に、何らかの原因によってアーム４１が支持棒３７を引
っ掛けてウェーハ・ボート３１や載置されているウェー
ハＷを破損する場合もある。

【００１２】本発明は上述の問題に鑑みてなされ、移載
ロボットのアームが衝突し、また引っ掛けても、ウェー
ハ・ボートの微小な傾きや位置ずれを瞬時に検出して、
ウェーハ・ボートやウェーハが破損される前に、移載ロ
ボットの駆動を停止させることができる縦型熱処理炉を
提供することを課題とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の課題は本発明の請
求項１の構成によって解決される。すなわち、請求項１
の縦型熱処理炉は、ローディング・アンローディング室
と、その直上の軸心を直立させ下端を開口された熱処理
用のプロセスチューブと、前記ローディング・アンロー
ディング室と前記プロセスチューブとの間をウェーハを
載置して昇降するウェーハ・ボートとからなり、プロセ
ス・チューブ内のウェーハ・ボートの上昇位置でウェー
ハが熱処理され、ローディング・アンローディング室内
のウェーハ・ボートの下降位置でウェーハが載置され、
また熱処理の完了したウェーハが取り出される熱処理炉
本体を備えた縦型熱処理炉において、ウェーハを載置
し、ウェーハを取り出す移載ロボットのアームが前進時
にウェーハ・ボートに衝突したり、後退時にウェーハ・
ボートを引っ掛けることによって生起するウェーハ・ボ
ートの傾きや位置ずれを微小な段階で瞬時に検出する変
位センサがローディング・アンローディング室に取り付
けられており、変位センサがウェーハ・ボートの傾きや
位置ずれを検出すると移載ロボットの駆動を停止させる
ようにした縦型熱処理炉である。

【００１４】また請求項２の縦型熱処理炉は、変位セン
サがウェーハ・ボートの上半部ないしは頂部に設定した
測定点に対応する高さ位置においてローディング・アン
ローディング室の側壁部分に取り付けられた請求項１の
縦型熱処理炉である。

【００１５】また請求項３の縦型熱処理炉は、ウェーハ
・ボートの測定点における少なくとも１０μｍ〜１ｍｍ
の範囲内の傾きや位置ずれを検出し得る変位センサが取
り付けられた請求項１または請求項２の縦型熱処理炉で
ある。

【００１６】また請求項４の縦型熱処理炉は、センサ・
ヘッドが所定の間隔に設けられた光レーザの投光部と受
光部とを有し、投光部からウェーハ・ボートの測定点に
ほぼ垂直に投光される光レーザの反射を受光する受光部
の受光量の変化によってウェーハ・ボートの傾きや位置
すれを検出する光レーザ式変位センサを備えた請求項１
から請求項３までの何れかの縦型熱処理炉である。

【００１７】このような縦型熱処理炉によれば、移載ロ
ボットのアームがウェーハ・ボートに衝突することによ
る、またウェーハ・ボートを引っ掛けることによるウェ
ーハ・ボートの傾きや位置ずれを微小な段階で瞬時に検
出し得るので、ウェーハ・ボートやウェーハが破損する
に至るまでの間に移載ロボットの駆動を停止させること
ができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】上述したように本発明の縦型熱処
理炉は、ローディング・アンローディング室と、その直
上に設けられ軸心を直立させて下端を開口させた熱処理
用のプロセスチューブと、ウェーハを載置してローディ
ング・アンローディング室とプロセスチューブとの間を
昇降するウェーハボートからなり、プロセス・チューブ
内のウェーハ・ボートの上昇位置でウェーハが熱処理さ
れ、ローディング・アンローディング室内のウェーハ・
ボートの下降位置でウェーハが載置され、また熱処理の
完了したウェーハが取り出される熱処理炉本体を備えた
縦型処理炉であり、半導体の製造プロセスのなかでも加
熱処理を伴う酸化、拡散、減圧ＣＶＤ、ないしはアニー
ル等のプロセスで使用される縦型熱処理炉である。

【００１９】また、下降位置にあるウェーハ・ボートに
ウェーハを載置し、またウェーハ・ボートから熱処理さ
れたウェーハを取り出す移載ロボットのアームがその前
進時にウェーハ・ボートに衝突することによって、また
後退時にウェーハ・ボートを引っ掛けることによって生
起するウェーハ・ボートの傾きや位置ずれを微小な段階
で瞬時に検出する非接触の変位センサをローディング・
アンローディング室に取り付けた縦型熱処理炉である
が、変位センサは、ウェーハ・ボートの上半部ないしは
頂部に設定した測定点に対応する高さ位置で、ローディ
ング・アンローディング室の側壁部分に取り付けられ
る。すなわち、ウェーハ・ボートの支持棒は台座に設け
られた断熱筒に立設されており、移載ロボットのアーム
が衝突、または引っ掛ける時の支持棒の傾きや位置ずれ
は上部ほど大になるので、ウェーハ・ボートの傾きや位
置ずれの測定点は少なくとも上半部、好ましくは頂部に
設定される。従って、変位センサをローディング・アン
ローディング室の側壁部分に取り付けるに当たっては、
その取り付け高さも測定点を観測し得る高さとされる。

【００２０】また取り付ける変位センサは、ウェーハ・
ボートの傾きや位置ずれを微小な段階で時間遅れなく瞬
時に検出し得るもの、例えば、ウェーハ・ボートの測定
点における少なくとも１０μｍ〜１ｍｍの範囲内の傾き
や位置ずれを瞬時に検出し得るものであれば、変位セン
サの方式は限定されない。種々ある変位センサの中で
も、センサ・ヘッドに光レーザの投光部と受光部とが所
定の間隔で設けられており、投光部から光レーザがウェ
ーハ・ボートの測定点に向けてほぼ垂直に投光され、そ
の反射を受光する受光部での受光量の変化によってウェ
ーハ・ボートの傾きや位置ずれを１００μｍ以下の精度
で検出することが可能な光レーザ式変位センサは好適な
変位センサである。光レーザは変位センサの小型化の観
点から半導体レーザによるものであることが好ましい
が、可視光レーザであっても、また赤外線レーザであっ
てもよく、その波長は問わない。

【００２１】そのほか各種の変位センサを使用し得る。
例えば、交流を流したコイル（センサ）に導電体（ウェ
ーハ・ボートの一部分）が近接すると、導電体に渦電流
が流れ交流磁界を生じてコイルのインピーダンスを変化
させるが、このインピーダンス変化を電圧または周波数
の変化に変換して捉える渦電流式変位センサによっても
ウェーハ・ボートの傾きや位置ずれを検出し得る。ま
た、指向性の高い超音波を発信し、ウェーハ・ボートか
らの反射を受信するまでの所要時間によってウェーハ・
ボートの傾きや位置ずれを検出する超音波式変位センサ
も採用し得る。

【００２２】以下、図面を参照し、本発明の実施例によ
る縦型熱処理炉１について具体的に説明する。

【００２３】

【実施例】図１は実施の形態の縦型熱処理炉１の部分破
断側面図であり、従来例を示す図４に対応する図であ
る。図１と図４とを比較して容易に分かるように、本実
施の形態の縦型熱処理炉１と従来例の縦型熱処理炉２と
は基本的には同様に構成されている。従って、それぞれ
に共通する構成要素には同一の符号を付しており、図１
について、それらを重複して説明することは省略する。
図１の縦型熱処理炉１が従来例の縦型熱処理炉２と異な
るころは、ローディング・アンローディング室１１の後
扉１４に変位センサとして光レーザ式変位センサ６０が
取り付けられていることにある。

【００２４】そして、図２は図１における［２］−
［２］線方向の破断平面図であり、図３は図１における
［３］−［３］線方向の矢視図である。ローディング・
アンローディング室１１を部分的に示す図２を参照し
て、一点鎖線の円は上方のプロセス室２１の外套２２の
外径を示し、二点鎖線の円は同じく上方のプロセス・チ
ューブ２３の外径を示すが、プロセス・チューブ２３か
らローディング・アンローディング室１１に下降されて
いるウェーハ・ボート３１に対して、移載ロボット４０
のアーム４１が図２において上方から挿入されて前進し
ウェーハＷ（ウェーハＷは図示されていない）を載置す
るが、前述したように、破損したウェーハＷがあるとア
ーム４１は前進時にウェーハ・ボート３１に衝突してウ
ェーハ・ボート３１を破損し、載置されているウェーハ
Ｗを破損する。それ以外の原因によってアーム４１が前
進時にウェーハ・ボート３１に衝突する場合や、アーム
４１が後退時にウェーハ・ボート３１を引っ掛ける場合
も同様である。これらのことはウェーハ・ボート３１か
ら熱処理されたウェーハＷを取り出す場合にも生起す
る。

【００２５】これに対して、後扉１４に光レーザ式変位
センサ６０のセンサヘッド６１を取り付けて、内部のウ
ェーハ・ボート３１の傾きや位置ずれを監視するように
されている。すなわち、後扉１４の上端部を加工して取
り付け枠６５に覗き窓ガラス６６を嵌め込み、図示せず
ともガスケットを介して押え枠６８をあてがい、これら
をセンサ用ブラッケト６９で固定している。そして、こ
のセンサ用ブラッケト６９に光レーザ式変位センサ６０
のセンサヘッド６１が取り付けられており、センサヘッ
ド６１には光レーザの投光部６２と受光部６３とが所定
の間隔をあけて設けられている。ウェーハ・ボート３１
の支持棒３７の上端面板３５の側縁面の一点を測定点Ｐ
とし、センサヘッド６１の投光部６２から覗き窓ガラス
６６を通し測定点Ｐに向けて光レーザＬ₁ が１ｍｍ程度
のスポット径で投光され、その反射の一部である反射光
レーザＬ₂ が受光部６３において受光される。そして、
その光はセンサ・コード６４によって図示しないアンプ
・ユニットに入力され、受光量に応じた出力電圧に変換
される。

【００２６】そして、センサヘッド６１と測定点Ｐとの
距離が変化すると、すなわち、ウェーハ・ボート３１に
傾きや位置ずれが発生すると、センサヘッド６１の受光
部６３の受光量が変化し、その信号が入力されるアンプ
・ユニットは移載ロボット４０の駆動を停止するように
なっている。この光レーザ式変位センサ６０の分解能、
すなわち変位の測定精度はセンサヘッド６１と測定点Ｐ
との距離にもよって異なるが、２〜５０μｍ程度であ
る。この光レーザ源としては、可視光または赤外線を発
光する半導体レーザが使用される。なお、後扉１４の内
面側には遮光板１５を設けているが、これは図２の右方
となる図示されない覗き窓から入る光がセンサヘッド６
１の受光部６３へ入射して誤動作が生ずることを防止す
るためのものである。

【００２７】このように構成される縦型熱処理炉１によ
れば、ローディング・アンローディング室１１の下降位
置にあるウェーハ・ボート３１に対して移載ロボット４
０のアーム４１がウェーハＷを載置する時に、破損した
ウェーハＷがあってアーム４１が前進時にウェーハ・ボ
ート３１に衝突し、その衝突によってウェーハ・ボート
３１に傾き、位置ずれを生じても、それが微小な段階で
光レーザ式変位センサ６０のセンサ・ヘッド６１によっ
て瞬時に検出され、その信号はアンプ・ユニットへ入力
されて移載ロボット４０の駆動が直ちに停止されるの
で、ウェーハ・ボート３１が破損したり、載置されてい
るウェーハＷが破損されるような事態には至らない。破
損したウェーハＷが原因となるアーム４１の衝突以外
に、何等かの原因によるアーム４１の前進時におけるウ
ェーハ・ボート３１への衝突、またはアーム４１の後退
時におけるウェーハ・ボート３１の引っ掛け等の場合も
同様である。

【００２８】本発明の実施の形態による縦型熱処理炉１
は以上のように構成され作用するが、勿論、本発明はこ
れに限られることなく、本発明の技術的思想に基づいて
種々の変形が可能である。

【００２９】例えば本実施の形態においては、ウェーハ
・ボート３１の傾きや位置ずれの測定点Ｐをウェーハ・
ボート３１の支持棒３７の上端面板３５の側縁面に設定
したが、支持棒３７の上端部を測定点としてもよく、ま
た専用の測定板を付設してもよい。

【００３０】また本実施の形態においては、光レーザ式
変換センサ６０のセンサ・ヘッド６１をローディング・
アンローディング室１１の後扉１４に取り付けたが、後
扉１４以外の側壁部に取り付けてもよい。

【００３１】また本実施の形態においては、１台の光レ
ーザ式変位センサ６０を、移載ロボット４０のアーム４
１がローディング・アンローディング室１１内へ挿入さ
れる側とは反対側に取り付け、１方向からのみウェーハ
・ボート３１の傾きや位置ずれを検出するようにした
が、２台の光レーザ方式変位センサによって直角な２方
向からウェーハ・ボート３１の傾きや位置ずれを検出す
るようにしてもよい。

【００３２】また本実施の形態においては、光レーザの
投光部６２と受光部６３とを同一のセンサヘッド６１に
設ける方式の光レーザ式変位センサ６０を採用したが、
受光部６３とを対向させてローディング・アンローディ
ング室１１の側壁部に設置し、常時は投光部６２からの
光レーザが受光部６３で受光されているが、ウェーハ・
ボート３１が傾きや位置ずれを発生すると光レーザが遮
断されるようにして（その逆にしてもよい）、ウェーハ
・ボート３１の傾きや位置ずれを検出するようにしても
よい。この場合には、通常の光を細径の光束として発光
させる投光素子と、その光束を受ける受光素子とを組み
合わせたものとしてもよい。

【００３３】また本実施の形態において採用した光レー
ザ式変位センサ６０に代えて、同じく光レーザを使用す
るが、測定点Ｐで反射させた光レーザと、反射させない
光レーザとの間における干渉を利用して測定する変位セ
ンサもあり、同様に精度の高い検出が必要である。

【００３４】

【発明の効果】本発明の縦型熱処理炉は以上に説明した
ような形態で実施され、次ぎに記述するような効果を奏
する。

【００３５】本発明の縦型熱処理炉はローディング・ア
ンローディング室の下降位置にあるウェーハ・ボートの
微小な傾きや位置ずれを瞬時に検出する変位センサを設
けているので、ウェーハ・ボートにウェーハを載置し、
またウェーハ・ボートから熱処理されたウェーハを取り
出す移載ロボットのアームの前進時におけるウェーハ・
ボートへの衝突や、後退時におけるウェーハ・ボートの
引っ掛けによって、ウェーハ・ボートが傾きや位置ずれ
を生じても、それらが微小な段階で瞬時に検出し、直ち
に移載ロボットの駆動を停止させる。従って、ウェーハ
・ボートが破損されたり、載置されているウェーハが破
損されることはない。

【００３６】また、上記以外に、プロセス・チューブか
らローディング・アンローディング室へ下降されるウェ
ーハ・ボートの下降位置が正常で無い場合の検出も可能
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の縦型熱処理炉の部分破断側面図であ
る。

【図２】図１における［２］−［２］線方向の破断平面
図である。

【図３】図１における［３］−［３］線方向の矢視図で
ある。

【図４】従来例の縦型熱処理炉の部分破断側面図であ
る。

【符号の説明】

１実施例の縦型熱処理炉２従来例の縦型熱処理炉１０熱処理炉本体１１ローディング・アンローディング室１２ボート・エレベータ１４後扉２１プロセス室２３プロセス・チューブ２５中間リング３１ウェーハ・ボート３４断熱筒３５上端面板３７支持棒４０移載ロボット４１アーム４２昇降機能５０カセット棚６０光レーザ式変位センサ６１センサ・ヘッド６２投光部６３受光部６６覗き窓ガラス６９センサ用ブラケットＷウェーハＰ測定点Ｌ₁ 光レーザＬ₂ 反射光レーザ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】軸心を直立させ下端を開口された熱処理
用のプロセスチューブと、その直下に設けられたローデ
ィング・アンローディング室と、前記ローディング・ア
ンローディング室と前記プロセスチューブとの間をウェ
ーハを載置して昇降されるウェーハ・ボートとからな
り、前記プロセスチューブ内の前ウェーハ・ボートの上昇位
置で前記ウェーハが熱処理され、前記ローディング・ア
ンローディング室内の前記ウェーハ・ボートの下降位置
で前記ウェーハが載置され、また取り出される熱処理炉
本体を備えた縦型熱処理炉において、前記ローディング・アンローディング室の下降位置にあ
る前記ウェーハ・ボートにウェーハを載置し、また前記
ウェーハ・ボートから前記ウェーハを取り出す移載ロボ
ットのアームが前進時に前記ウェーハ・ボートに衝突す
ることによる、また後退時に前記ウェーハ・ボートを引
っ掛けることによる前記ウェーハ・ボートの傾きや位置
ずれを微小な段階で瞬時に検出し得る非接触の変位セン
サが前記ローディング・アンローディング室に取り付け
られており、前記変位センサが前記ウェーハ・ボートの傾きや位置ず
れを検出した場合には前記移載ロボットの駆動が停止さ
れることを特徴とする縦型熱処理炉。
【請求項２】前記変位センサが、前記ウェーハ・ボー
トの上半部ないしは頂部に設定された傾きや位置ずれの
測定点に対応する高さ位置において、前記ローディング
・アンローディング室の側壁部分に取り付けられている
請求項１に記載の縦型熱処理炉。
【請求項３】前記変位センサが前記ウェーハ・ボート
の前記測定点における少なくとも１０μｍ〜１ｍｍの範
囲内の傾きや位置ずれを検出し得るものである請求項１
または請求項２に記載の縦型熱処理炉。
【請求項４】前記変位センサが、そのセンサ・ヘッド
に所定の間隔に設けられた光レーザの投光部と受光部と
を有し、前記投光部から前記ウェーハ・ボートの前記測
定点に向けてほぼ垂直に投光される前記光レーザの反射
を受光する前記受光部の受光量の変化によって前記ウェ
ーハ・ボートの傾きや位置ずれを検出する光レーザ式変
位センサである請求項１から請求項３までの何れかに記
載の縦型熱処理炉。