JPH1114608A - 電磁超音波探触子 - Google Patents

電磁超音波探触子

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JPH1114608A
JPH1114608A JP17175397A JP17175397A JPH1114608A JP H1114608 A JPH1114608 A JP H1114608A JP 17175397 A JP17175397 A JP 17175397A JP 17175397 A JP17175397 A JP 17175397A JP H1114608 A JPH1114608 A JP H1114608A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】ターゲットまでの距離を短くすることで受信信
号のレベルの向上を図り、検査時における方向ずれの影
響を少なくすることを可能とする。 【解決手段】被検体上面から見てターゲットとする位置
に対してセンサの屈折角から求められる距離に送信セン
サ及5び受信センサ6を逆Vの字に配置し、送信センサ
5から横波せん断波を発生させる電磁超音波探触子にお
いて、送信センサ5及び受信センサ6の中心線の交差角
度を80〜120degの範囲で変化させる角度可変治
具11を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、各種プラント等の
容器や配管の非破壊検査に用いられる電磁超音波探触子
に関する。
【0002】
【従来の技術】プラントの導電性の容器や配管等の被検
体表面に渦電流を誘起させ、被検体中に超音波を発生さ
せることにより被検体中の欠陥等を非破壊で検査する電
磁超音波探触子(EMAT)が広く用いられている。
【0003】図4を用いて本発明の対象とする電磁超音
波探触子の原理を説明する。図4に示すように、永久磁
石もしくは電磁石よりなる磁石1より発生する磁束B
と、導電性の被検体2の表面に生じた渦電流Jとの相互
作用により生じるローレンツ力Fを振動源として被検体
2中に超音波Sを発生させる。また、超音波の受信につ
いては、この逆の過程で超音波を電気信号に変換するよ
うになされている。
【0004】この電磁超音波探触子において、導電性被
検体2の表面に渦電流Jを生じさせる手段としては、磁
石1と被検体2の間に被検体2の表面に近接しておかれ
たコイル3にパルス状の高周波電流Iを流し、渦電流J
を誘導する方法がよく知られている。また、磁石1の磁
極の周期やコイル3の構成方法を変えることで、SH波
と呼ばれる振動モードの超音波を発生させることができ
る。
【0005】図5に電磁超音波探触子から発生する超音
波の振動モードを示す。被検体2表面に載置された電磁
超音波探触子4より超音波を入射した場合、SH波の振
動モードの超音波は、超音波の進行方向に対して直角方
向かつ被検面に平行な方向に振動する横波である。一
方、超音波の進行方向に対して直角方向かつ被検面に垂
直な方向に振動する横波をSV波と呼び、超音波の進行
方向と平行な方向に振動する波を縦波(疎密波)と呼ぶ
(図示せず)。
【0006】また、超音波の入射角度に対する被検体2
のコーナ部での反射特性を図6に示す。図6(a)はS
H波の振動モードの超音波、図6(b)はSV波の振動
モードの超音波、図6(c)は縦波の超音波についての
反射特性をそれぞれ示す。図6(b),(c)に示すよ
うにSV波及び縦波の超音波は、被検体のコーナ部分で
の反射において、超音波の入射角度に対して反射特性が
異なることが知られている。これに対して図6(a)に
示すようにSH波の超音波は、超音波の入射角度に対し
て反射する超音波の信号レベルに角度依存性がないこと
が知られている。
【0007】次に、従来の電磁超音波探触子の配置及び
探傷動作について図7を用いて説明する。図7に示すよ
うに、ターゲットとする位置に対して被検体2上面から
見てセンサの屈折角から求められる距離に、送信センサ
5と受信センサ6を逆Vの字に配置する。また、送信セ
ンサ5及び受信センサ6の中心線をターゲット位置に対
し角度αで配置する。ターゲット位置から送信センサ5
及び受信センサ6それぞれの中心位置までの水平距離L
は、超音波の被検体2表面に対する入射角度をθ、被検
体2の板厚をtとすると、次式で求められる。
【0008】 (水平距離L)=t×tanθ (1) ターゲットに欠陥が存在する場合、送信センサ5から入
射した超音波は欠陥で反射し、送信センサ5に対してタ
ーゲットを挟んで対称な位置に配置された受信センサ6
で検出される。そして、この検出された信号に基づいて
欠陥の有無が検査される。
【0009】次に、SH波による超音波探傷における送
受信センサ間角度αと受信信号レベルとの関係を図8に
示す。SH波を用いた電磁超音波探触子では、SV波を
用いた電磁超音波探触子では見られない特性として、送
受信センサ間角度αに対して受信信号レベルが変化す
る。すなわち、送受信センサ間角度αが大きくなると電
磁超音波探触子の受信信号レベルは急激に減少するた
め、従来の電磁超音波探触子はα≦30degで用いら
れるように設計されており、α>30degの範囲で
は、受信信号レベルの点から用いなかった。
【0010】ここで、αは小さいほど受信信号レベルは
高くなっている。従って、これまでの電磁超音波探触子
は、送信センサ5や受信センサ6の寸法形状上、干渉が
生じない範囲でかつ可能な限り小さな送受信センサ間角
度αのセンサ配置とした電磁超音波探触子を用いてい
る。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の電磁超音波
探触子では受信信号レベルを高くとるため、送受信セン
サ間角度αを30deg以下で配置している。しかしな
がら、被検体2の板厚tが薄くなった場合に送受信セン
サ間角度αを30deg以下とするには、センサを小型
化する他に、図9に示すように、被検体2中で底面と表
面の間を何回か反射させてターゲットに達するようにし
なければならない。なお、何回か反射させてターゲット
に当てる場合における水平距離Lは、式(1)に替わり
式(2)で定められる。
【0012】 (水平距離L)=t×tanθ×反射回数N (2) 反射回数N:底面及び表面での超音波の反射回数 このように、被検体2中を底面と表面の間で何回も反射
させると、直接ターゲット位置に超音波を入射する場合
に比べ、反射による減衰や超音波伝播距離が長くなるこ
と等により、電磁超音波探触子4の受信信号レベルは低
くなり、十分な探傷検査ができなくなる不具合があっ
た。
【0013】また、超音波伝播距離が長くなることは即
ちターゲット位置から各センサ5,6の中心までの水平
距離Lが長くなることを意味する。水平距離Lが長くな
ると、狭隘な箇所においては送受信センサ5,6をター
ゲット位置に対して十分な距離がとれず、探傷作業が困
難となる。
【0014】さらに、送受信センサ5,6の寸法形状
は、被検体2の板厚tが薄くなればなるほど相対的に大
きくなるため、被検体2内での反射回数を多くとる必要
があり、ターゲットからより離れることになり、超音波
の入射角度θが少しでもずれるとターゲットに超音波が
あたらなくなる不具合があった。
【0015】本発明は上記課題を解決するためになされ
たもので、その目的とするところは、ターゲットまでの
距離を短くすることで受信信号のレベルの向上を図り、
検査時における方向ずれの影響を少なくする電磁超音波
探触子を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明の電磁超音波探触
子は、被検体上面から見てターゲットとする位置に対し
て送信センサ及び受信センサを逆Vの字に配置し、該送
信センサから横波せん断波を発生させる電磁超音波探触
子において、前記送信センサ及び受信センサの中心線の
交差角度を80〜120degの範囲で変化させる角度
可変手段を具備してなることを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の一実施形態を説明する。図1は本発明の一実施形態に
係る電磁超音波探触子の全体構成を示す上面図である。
図1において、角度可変治具11は大きく分けて回転部
と2本の腕部から構成される。2本の腕部にはそれぞれ
送信センサ5及び受信センサ6が取り付けられ、回転部
の回転に従って送信センサ5及び受信センサ6が一定の
半径を有する円弧上を可動する。このように、角度可変
治具11により送受信センサ5,6間の角度を変更する
ことができる。
【0018】次に、角度可変動作における信号の流れに
ついて説明する。電磁超音波探傷装置12で生成された
送信信号が送信センサ5に伝えられる。送信センサ5は
入力された送信信号に基づいて図示しない被検体中に超
音波を伝播させる。被検体中の欠陥で反射した超音波は
受信センサ6で受信され、電気信号に変換されて受信信
号として電磁超音波探傷装置12に出力される。
【0019】電磁超音波探傷装置12は受信信号を受信
信号レベル評価装置13に出力する。受信信号レベル評
価装置13は受信信号に基づいて受信信号レベルを算出
する。そして、得られた受信信号レベルと送受信センサ
間角度を変化させる前のレベルとを比較し、その大小に
よって送受信センサ間角度を大きく、あるいは小さくす
る角度変更信号を角度可変制御装置14に出力する。
【0020】角度可変制御装置14は、入力された角度
変更信号に基づいて角度可変治具11を駆動させる駆動
信号を角度可変治具11に出力する。角度可変治具11
は駆動信号に基づいて送受信センサ間角度αを大きくあ
るいは小さくする方向に腕部を回転させ、送受信センサ
間角度αを変化させる。電磁超音波探傷装置12はこの
変化後の送受信センサ間角度αにおいて、送信センサ5
に新たに送信信号を出力して上記と同様超音波を発生さ
せ、得られた受信信号から角度αの変化前の受信信号レ
ベルと比較する。これら動作を繰り返すことにより、最
大の受信信号レベルとなる送受信センサ間角度αを求め
ることができる。
【0021】次に、本電磁超音波探触子の送信センサ5
及び受信センサ6の配置を図2を用いて説明する。図2
(a)は送信センサ5及び受信センサ6を被検体2側面
から見た図、図2(b)は被検体2の上面から見た図、
図2(c)は図2(b)をA−A’方向から見た側面図
である。図2(b)に示すように、送信センサ5及び受
信センサ6はそれぞれターゲット位置に対して一定の距
離Lに配置される。これら送受信センサ5,6を、ター
ゲット位置に対して被検体2上面から見て逆Vの字に個
々のセンサ5,6の中心軸がαで交差するように配置す
る。また、図2(c)に示すように、送信センサ5から
発生する超音波は、板厚tの被検体2の表面に垂直な方
向に対して角度θで入射する。従って、送受信センサ
5,6はL=t×tanθの関係が成り立つように配置
される。
【0022】上記実施形態に係る電磁超音波探触子の動
作を説明する。まず、実際に被検体2の探傷を行う前
に、予め被検体2と同じ形状の模擬試験片を用いて送受
信センサ間の最適角度を定める。送信センサ5と受信セ
ンサ6の中心線の交差角度、即ち、送受信センサ間角度
αを80〜120degの範囲で例えば80degから
始めて+方向に一定ピッチ毎変化させ、同時に電磁超音
波探傷装置10によって送信センサ2に送信信号を出力
する。送信センサ5は超音波を被検体2に入射させ、そ
の反射信号を受信センサ6で検出して受信信号として得
る。
【0023】得られた受信信号に基づいて、受信信号レ
ベル評価装置13にて受信信号レベルを求めるととも
に、変化前の送受信センサ間角度αでの受信信号レベル
と比較し、その大小によって送受信センサ間角度αを大
きく、あるいは小さくする角度変更信号を角度可変制御
装置14に出力する。
【0024】変化前の受信信号レベルより変化語の受信
信号レベルが高くなれば+方向に、低くなれば−方向に
角度を変化させる。角度変更信号が1回毎に+/−方向
に交互に切り替わるようになった場合、その送受信セン
サ間角度αが受信信号レベルのピークとなる角度、すな
わち最適角度となる。
【0025】上記求められた受信信号レベルが最大とな
る送受信センサ間角度αにより、実際に被検体2の探傷
を行う。図4に示すように、送信センサ5に組み込まれ
た永久磁石もしくは電磁石よりなる磁石1から被検体2
表面に対して垂直に磁束Bを生じさせる。また、コイル
3に高周波電流Iを流し、渦電流Jを被検体2表面に生
じさせる。これら渦電流J及び磁束Bにより被検体6中
にその表面に対して平行な方向にローレンツ力Fが生じ
る。このローレンツ力Fにより被検体6中にSH波と呼
ばれる振動モードの超音波が発生する。
【0026】発生した超音波は図2(c)に示すように
被検体2表面の垂直方向に対して角度θの方向に伝播
し、ターゲットに到達する。ターゲットに欠陥がある場
合、欠陥で超音波が反射して受信センサ6で受信され
る。受信センサ6は受信した超音波を電気信号に変換
し、受信信号として電磁超音波探傷装置12に出力す
る。電磁超音波探触装置12は、入力された受信信号に
基づいて傷の有無を検出することができる。
【0027】次に、被検体2を測定した場合におけるS
H波の受信信号レベルと送受信センサ間角度αとの関係
を図3に示す。横軸は送受信センサ間角度α、縦軸は受
信信号レベルを示す。測定に際しては、被検体2の板厚
t=20mm、超音波の入射角度θ=60degとし
た。また、従来の電磁超音波探触子との比較のために1
0deg≦α≦120degの範囲で測定するため、そ
の角度αに応じて図9に示すように被検体2内で必要な
回数反射させて配置して行った。
【0028】送受信センサ間角度αが60deg以下に
おいては、被検体2内での反射回数が多くなるため反射
による超音波の減衰が大きい。また、超音波の伝播距離
が長くなり、受信信号レベルが低くなる。これに対し
て、80deg≦α≦120degにおいては、被検体
2内での反射回数も少なく、また図8に示す第2のピー
ク範囲に重なるため、受信信号レベルが高く、充分に測
定可能な範囲である。また、およそα=100degに
おいて受信信号レベルがピークとなっている。
【0029】この測定結果より、従来の送受信センサ間
角度であるα≦30degの範囲でかつ被検体内での数
多くの回数反射させていた電磁超音波探触子に比較し
て、本実施形態の電磁超音波探触子では80deg≦α
の範囲においては、2倍以上の受信信号レベルが実現さ
れている。
【0030】このように、受信信号レベル評価装置13
において送受信センサ間角度α及び受信信号レベルに基
づいて角度可変治具11を駆動し、送信センサ5及び受
信センサ6間の距離を変化させて最適な送受信センサ間
角度αを求めることができる。また、送受信センサ間角
度αを80deg≦α≦120degの範囲で本電磁超
音波探触子を用いるため、同じ寸法の電磁超音波探触子
を用いた場合でもターゲットまでの距離を短くできる。
また、電磁超音波探触子の長さを含めターゲットまでの
長さを短くできるため、探触子の方向がずれることでタ
ーゲットに超音波があたらないといった不具合が生じに
くくなっている。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように本発明の電磁超音波
探触子によれば、送信センサ及び受信センサの中心線の
交差角度を80〜120degの範囲で変化させる角度
可変手段を具備してなるため、 (1)電磁超音波探触子からターゲットまでの距離を短
くできる。従って、超音波の伝播距離が短く、減衰が少
なくなり受信信号のレベルが向上する。
【0032】(2)また、超音波の伝播距離が短くなる
ことでターゲットに超音波を当てる際の方向ずれの補正
が容易となる。 (3)さらに、被検体上面から見てターゲット位置から
送受信センサまでの距離を短くすることができるため、
狭隘な箇所における探傷作業にも適用可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る電磁超音波探触子の
全体構成を示す図。
【図2】同実施形態における電磁超音波探触子の配置を
示す図。
【図3】同実施形態における電磁超音波探触子の送受信
センサ間角度に対する信号レベルの関係を測定した結果
の一例を示す図。
【図4】本発明の対象とする電磁超音波探触子の原理を
示す図。
【図5】各種の超音波の振動モードを示す図。
【図6】各種の超音波の入射角度に対する被検体のコー
ナ部での反射特性の違いを示す図。
【図7】従来の電磁超音波探触子の配置を示す図。
【図8】被検体内で反射させずに超音波を伝播させた場
合の送受信センサ間角度αに対する受信信号レベルの関
係を示す図。
【図9】被検体内で反射させてターゲットに超音波を入
射させる場合における超音波の伝播を示す図。
【符号の説明】
1 磁石 2 被検体 3 コイル 4 電磁超音波探触子 5 送信センサ 6 受信センサ 11 角度可変治具 12 電磁超音波探傷装置 13 受信信号レベル評価装置 14 角度可変制御装置

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検体上面から見てターゲットとする位
    置に対して送信センサ及び受信センサを逆Vの字に配置
    し、該送信センサから横波せん断波を発生させる電磁超
    音波探触子において、 前記送信センサ及び受信センサの中心線の交差角度を8
    0〜120degの範囲で変化させる角度可変手段を具
    備してなることを特徴とする電磁超音波探触子。
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