JPH11138796A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JPH11138796A JPH11138796A JP30848397A JP30848397A JPH11138796A JP H11138796 A JPH11138796 A JP H11138796A JP 30848397 A JP30848397 A JP 30848397A JP 30848397 A JP30848397 A JP 30848397A JP H11138796 A JPH11138796 A JP H11138796A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- pressure chamber
- piezoelectric element
- ink pressure
- laminated piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複合モードでインクジェットヘッドを駆動す
る際、伸縮変形によるインク吐出時のクロストークを十
分に抑えることで安定した吐出性能を保証するインクジ
ェットヘッドを提供すること。 【解決手段】 インク圧力室9の一部を形成する積層圧
電素子５に溝２９を形成し、インク吐出時の前記積層圧
電素子５の伸縮変形による隣接インク圧力室９への影響
を低減することでクロストークを十分に抑えることがで
きる。
る際、伸縮変形によるインク吐出時のクロストークを十
分に抑えることで安定した吐出性能を保証するインクジ
ェットヘッドを提供すること。 【解決手段】 インク圧力室9の一部を形成する積層圧
電素子５に溝２９を形成し、インク吐出時の前記積層圧
電素子５の伸縮変形による隣接インク圧力室９への影響
を低減することでクロストークを十分に抑えることがで
きる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インク滴を飛翔さ
せ記録紙等の記録媒体上にインク像を形成するインクジ
ェットヘッドに関する。
せ記録紙等の記録媒体上にインク像を形成するインクジ
ェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、インクジェットプリンタに搭
載されるインクジェットヘッドの構成については各種の
提案がされており、その一例として、キャビティプレー
トに形成されたインク圧力室の開放面に固定された圧電
素子の駆動電極に対して駆動パルスを印加し、圧電素子
にシェアモード変形を発生させてインク圧力室の容積を
変化させることによりインク吐出口からインク滴を吐出
するように構成したインクジェットヘッドが知られてい
る。シェアモードは圧電層の分極方向と直交する電界を
発生させて圧電層の変形を得るが、変形効率は前記圧電
層が薄い方がより高効率となることから、変形効率を勘
案すれば前記圧電層を可能な限り薄くするのが好まし
い。
載されるインクジェットヘッドの構成については各種の
提案がされており、その一例として、キャビティプレー
トに形成されたインク圧力室の開放面に固定された圧電
素子の駆動電極に対して駆動パルスを印加し、圧電素子
にシェアモード変形を発生させてインク圧力室の容積を
変化させることによりインク吐出口からインク滴を吐出
するように構成したインクジェットヘッドが知られてい
る。シェアモードは圧電層の分極方向と直交する電界を
発生させて圧電層の変形を得るが、変形効率は前記圧電
層が薄い方がより高効率となることから、変形効率を勘
案すれば前記圧電層を可能な限り薄くするのが好まし
い。
【０００３】一方、圧力室の一壁を構成する圧電層はそ
の厚さが薄いと前記圧力室内に発生した圧力に対して剛
性不足となり、インク滴吐出時に撓んでしまうため圧力
室内に発生する圧力の低下を招来する事となる。変形効
率と圧力低下防止の両立を試みた場合には圧電層は一定
厚さは必要となり、結果、十分な変形量が得られない問
題があった。
の厚さが薄いと前記圧力室内に発生した圧力に対して剛
性不足となり、インク滴吐出時に撓んでしまうため圧力
室内に発生する圧力の低下を招来する事となる。変形効
率と圧力低下防止の両立を試みた場合には圧電層は一定
厚さは必要となり、結果、十分な変形量が得られない問
題があった。
【０００４】そこで、前記シェアモードに伸縮変形を利
用したユニモルフモードを併用した複合モード構造とす
ることで大きな変形を得る試みがなされている。図５
は、この複合モードを説明する為の断面図である。図５
（ａ）において、側壁１００により形成されたインク圧
力室１０１を備えたキャビティプレート１０３と、２層
に積層され矢印Ａの方向に分極された積層圧電素子１０
５が一体的に形成されており、前記積層圧電素子１０５
の上面１０７には共通駆動用電極１０９が、前記積層圧
電素子１０５の第１層１１３と第２層１１５の間には、
各インク圧力室１０１に対応した位置に個別駆動用電極
１１１ａが、側壁１００に対応した位置に個別駆動用電
極１１１ｂが形成されている。前記個別駆動用電極１１
１ａはプラス側端子に、前記共通駆動用電極１０９及び
前記個別駆動用電極１１１ｂはマイナス側端子に接続さ
れている。
用したユニモルフモードを併用した複合モード構造とす
ることで大きな変形を得る試みがなされている。図５
は、この複合モードを説明する為の断面図である。図５
（ａ）において、側壁１００により形成されたインク圧
力室１０１を備えたキャビティプレート１０３と、２層
に積層され矢印Ａの方向に分極された積層圧電素子１０
５が一体的に形成されており、前記積層圧電素子１０５
の上面１０７には共通駆動用電極１０９が、前記積層圧
電素子１０５の第１層１１３と第２層１１５の間には、
各インク圧力室１０１に対応した位置に個別駆動用電極
１１１ａが、側壁１００に対応した位置に個別駆動用電
極１１１ｂが形成されている。前記個別駆動用電極１１
１ａはプラス側端子に、前記共通駆動用電極１０９及び
前記個別駆動用電極１１１ｂはマイナス側端子に接続さ
れている。
【０００５】この状態で駆動電圧を印加すると、積層圧
電素子１０５は個別駆動用電極１１１ａと個別駆動用電
極１１１ｂとの間に前記積層圧電素子１０５の分極方向
と直交する方向（矢印Ｂ方向）に電界を生じ、前記個別
駆動用電極１１１ａと前記個別駆動用電極１１１ｂとの
間ではシェアモードで変形する。また、共通駆動用電極
１０９と前記個別駆動用電極１１１ａとの間では、積層
圧電素子１０５の分極方向と平行な方向（矢印Ｃ方向）
に電界を生じ、前記積層圧電素子１０５の第１層１１３
は厚み方向には伸び、長さ方向には縮むため前記積層圧
電素子１０５の第２層１１５との間のバイモルフ効果に
より下向きに凸となるように変形し、全体では図５
（ｂ）に示すように変形する。以上の変形の複合によ
り、それぞれの単独モードよりも大きな変形を得ること
が可能となる。
電素子１０５は個別駆動用電極１１１ａと個別駆動用電
極１１１ｂとの間に前記積層圧電素子１０５の分極方向
と直交する方向（矢印Ｂ方向）に電界を生じ、前記個別
駆動用電極１１１ａと前記個別駆動用電極１１１ｂとの
間ではシェアモードで変形する。また、共通駆動用電極
１０９と前記個別駆動用電極１１１ａとの間では、積層
圧電素子１０５の分極方向と平行な方向（矢印Ｃ方向）
に電界を生じ、前記積層圧電素子１０５の第１層１１３
は厚み方向には伸び、長さ方向には縮むため前記積層圧
電素子１０５の第２層１１５との間のバイモルフ効果に
より下向きに凸となるように変形し、全体では図５
（ｂ）に示すように変形する。以上の変形の複合によ
り、それぞれの単独モードよりも大きな変形を得ること
が可能となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記複
合モードでは伸縮モードも用いているため、駆動電圧印
可時において長さ方向に縮む積層圧電素子１０５によっ
て隣接するインク圧力室１０１ａ及び１０１ｂのそれぞ
れの側壁１００ａ及び１０１ｂは変形させられ、その結
果、前記インク圧力室１０１、１０１ａ及び１０１ｂの
不要な容積（圧力）変化が発生するため、隣接するイン
ク圧力室１０１同士で相互に悪影響を及ぼし合ってイン
ク滴の吐出状態が変化する問題（以後、クロストークと
呼ぶ）が発生していた。
合モードでは伸縮モードも用いているため、駆動電圧印
可時において長さ方向に縮む積層圧電素子１０５によっ
て隣接するインク圧力室１０１ａ及び１０１ｂのそれぞ
れの側壁１００ａ及び１０１ｂは変形させられ、その結
果、前記インク圧力室１０１、１０１ａ及び１０１ｂの
不要な容積（圧力）変化が発生するため、隣接するイン
ク圧力室１０１同士で相互に悪影響を及ぼし合ってイン
ク滴の吐出状態が変化する問題（以後、クロストークと
呼ぶ）が発生していた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明の請求項１に記載のインクジェットヘッド
は、キャビティプレートに形成されると共に一面が開放
されたインク圧力室と、インク圧力室の一面を閉塞する
ようにキャビティプレートに固定されると共にインク圧
力室に対応する位置に形成された第１電極及び各インク
圧力室を隔てる側壁に対応する位置に形成された第２電
極、更に最外層表面に形成された共通電極を有し、第１
電極と、第２及び共通電極との間に駆動電圧を印加して
シェアモードと伸縮モードを併用して積層圧電素子を変
形させることによりインク圧力室内のインクをインク吐
出口から吐出するインクジェットヘッドにおいて、 前
記インク圧力室の側壁に対応して位置する前記積層圧電
素子の、前記インク圧力室に面する側とは反対側の面の
少なくとも１ヶ所に溝を形成したことを特徴とする。
に、本発明の請求項１に記載のインクジェットヘッド
は、キャビティプレートに形成されると共に一面が開放
されたインク圧力室と、インク圧力室の一面を閉塞する
ようにキャビティプレートに固定されると共にインク圧
力室に対応する位置に形成された第１電極及び各インク
圧力室を隔てる側壁に対応する位置に形成された第２電
極、更に最外層表面に形成された共通電極を有し、第１
電極と、第２及び共通電極との間に駆動電圧を印加して
シェアモードと伸縮モードを併用して積層圧電素子を変
形させることによりインク圧力室内のインクをインク吐
出口から吐出するインクジェットヘッドにおいて、 前
記インク圧力室の側壁に対応して位置する前記積層圧電
素子の、前記インク圧力室に面する側とは反対側の面の
少なくとも１ヶ所に溝を形成したことを特徴とする。
【０００８】前記請求項１のインクジェットヘッドによ
れば、シェアモードと伸縮モードを併用した複合モード
においてクロストークを十分小さく抑え、安定したイン
ク吐出性能を実現することが可能となる。
れば、シェアモードと伸縮モードを併用した複合モード
においてクロストークを十分小さく抑え、安定したイン
ク吐出性能を実現することが可能となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明のインクジェットヘ
ッドを具体化した実施の形態について図面を参照して説
明する。
ッドを具体化した実施の形態について図面を参照して説
明する。
【００１０】図１は本発明の一実施例を示す概略構成を
表す分解斜視図であり、図２は、本実施の形態のインク
ジェットヘッドの縦断面図である。図１及び図２におい
て、本実施の形態のインクジェットヘッド１は、インク
を貯留する板状のキャビティプレート3と、そのキャビ
ティプレート3に接合されるシート状の積層圧電素子５
と、インクを吐出するための板状のノズルプレート7
と、インクを補充するためのマニホールドプレート１７
とから構成されている。
表す分解斜視図であり、図２は、本実施の形態のインク
ジェットヘッドの縦断面図である。図１及び図２におい
て、本実施の形態のインクジェットヘッド１は、インク
を貯留する板状のキャビティプレート3と、そのキャビ
ティプレート3に接合されるシート状の積層圧電素子５
と、インクを吐出するための板状のノズルプレート7
と、インクを補充するためのマニホールドプレート１７
とから構成されている。
【００１１】尚、シート状積層圧電素子を形成している
圧電材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、
マグネシウムニオブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、亜鉛ニ
オブ酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、
チタン酸鉛等を主成分とする材料が挙げられる。
圧電材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、
マグネシウムニオブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、亜鉛ニ
オブ酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、
チタン酸鉛等を主成分とする材料が挙げられる。
【００１２】キャビティプレート３は、側壁２７ｂによ
って仕切られた複数のインク圧力室９を有し、そのイン
ク圧力室９は、溝状に上面が開放された状態に形成さ
れ、該インク圧力室９にはインクが貯留されている。ま
た、前記キャビティプレート３の一方の底部には、前記
インク圧力室９に連通する貫通孔１５ａが設けられてい
る。また、ノズルプレート７は、インク圧力室９及び貫
通孔１１ａに連通する、インクを吐出するためのノズル
１３ａを備え、積層圧電素子５の上面に接合されてい
る。
って仕切られた複数のインク圧力室９を有し、そのイン
ク圧力室９は、溝状に上面が開放された状態に形成さ
れ、該インク圧力室９にはインクが貯留されている。ま
た、前記キャビティプレート３の一方の底部には、前記
インク圧力室９に連通する貫通孔１５ａが設けられてい
る。また、ノズルプレート７は、インク圧力室９及び貫
通孔１１ａに連通する、インクを吐出するためのノズル
１３ａを備え、積層圧電素子５の上面に接合されてい
る。
【００１３】マニホールドプレート１７には、インク圧
力室９に貫通孔１５ａを介してインクを補給する為のイ
ンク溜り１７ａと、プリンタに組み込んだ場合に図示し
ないカートリッジからインクを吸入するための貫通孔１
７ｂとが設けられている。
力室９に貫通孔１５ａを介してインクを補給する為のイ
ンク溜り１７ａと、プリンタに組み込んだ場合に図示し
ないカートリッジからインクを吸入するための貫通孔１
７ｂとが設けられている。
【００１４】次に、積層圧電素子５について更に詳細に
説明する。
説明する。
【００１５】図３は、本実施形態のインクジェットヘッ
ドにおける積層圧電素子５の分解斜視図である。図３に
おいて、積層圧電素子５のうち下面側の第２圧電材料１
９ｂには、その上面に、プラス側端子に接合される個別
駆動用電極２１ａ及びマイナス側端子に接合される個別
駆動用電極２１ｂが、所定のピッチでそれぞれ銀ペース
ト等の導電性ペーストにより形成されている。これら２
枚のシート状の圧電材料１９ａ及び１９ｂは、未焼成の
状態でプレスによって一体に積層されて焼成、分極され
た後、前記第１圧電材料１９ａの側壁２７ｂに対応する
部分がショットブラスト等によって削除され、後述する
溝２９が形成される。
ドにおける積層圧電素子５の分解斜視図である。図３に
おいて、積層圧電素子５のうち下面側の第２圧電材料１
９ｂには、その上面に、プラス側端子に接合される個別
駆動用電極２１ａ及びマイナス側端子に接合される個別
駆動用電極２１ｂが、所定のピッチでそれぞれ銀ペース
ト等の導電性ペーストにより形成されている。これら２
枚のシート状の圧電材料１９ａ及び１９ｂは、未焼成の
状態でプレスによって一体に積層されて焼成、分極され
た後、前記第１圧電材料１９ａの側壁２７ｂに対応する
部分がショットブラスト等によって削除され、後述する
溝２９が形成される。
【００１６】さらに、該第１圧電材料１９ａの上面のほ
ぼ全幅に亘って、全インク圧力室９に共通の共通駆動用
電極２５が形成されて積層圧電素子５が完成する。その
後、該積層圧電素子５は、図１に示したようにキャビテ
ィプレート３の開放面側に接合される。この場合、個別
駆動用電極２１ａを、キャビティプレート３の各インク
圧力室９のほぼ中央に対応する位置に、個別駆動用電極
２１ｂを、キャビティプレート３の側壁２７ｂに対応す
る位置になるように接合する。
ぼ全幅に亘って、全インク圧力室９に共通の共通駆動用
電極２５が形成されて積層圧電素子５が完成する。その
後、該積層圧電素子５は、図１に示したようにキャビテ
ィプレート３の開放面側に接合される。この場合、個別
駆動用電極２１ａを、キャビティプレート３の各インク
圧力室９のほぼ中央に対応する位置に、個別駆動用電極
２１ｂを、キャビティプレート３の側壁２７ｂに対応す
る位置になるように接合する。
【００１７】尚、本実施の形態においては、積層圧電素
子５は２層構造であるが３層以上の構造でも構わない。
子５は２層構造であるが３層以上の構造でも構わない。
【００１８】そして、ノズルプレート７を、積層圧電素
子５の貫通孔１１ａにノズル１３ａを合わせて接合し、
マニホールドプレート１７を、貫通孔１５ａの位置に合
わせて接合してインクジェットヘッドが完成される。そ
の後、共通駆動用電極２５、個別駆動用電極２１ａ及び
２１ｂを図示しないスイッチング回路を介して図示しな
い駆動電源に接続させてインクジェットヘッドのセット
が完了する。
子５の貫通孔１１ａにノズル１３ａを合わせて接合し、
マニホールドプレート１７を、貫通孔１５ａの位置に合
わせて接合してインクジェットヘッドが完成される。そ
の後、共通駆動用電極２５、個別駆動用電極２１ａ及び
２１ｂを図示しないスイッチング回路を介して図示しな
い駆動電源に接続させてインクジェットヘッドのセット
が完了する。
【００１９】次に、本実施の形態のインクジェットヘッ
ド１の動作について説明する。
ド１の動作について説明する。
【００２０】図４は、本実施の形態のインクジェットヘ
ッドの動作を説明する説明図である。図４（ａ）は、イ
ンクを吐出する前の状態を示し、図４（ｂ）は、インク
を吐出している時の状態を示す。図４（ａ）において、
本インクジェットヘッドは、側壁２７ｂによって仕切ら
れた複数のインク圧力室９ａ及び９ｂにインクを貯留す
るためのキャビティプレート３と、２層に積層され、そ
の層方向に分極された積層圧電素子５とを備えている。
積層圧電素子５は、上側の第１圧電素子１９ａと、下側
の第２圧電素子１９ｂとの２層によって構成され、前記
第１圧電材料１９ａと前記第２圧電材料１９ｂとの間に
おいて、前記インク圧力室９ａ及び９ｂのほぼ中央部に
対応した位置に個別駆動用電極２１ａが、前記側壁２７
ｂに対応した位置に個別駆動用電極２１ｂが形成されて
いる。そして図示しない駆動電源のプラス側端子には前
記個別駆動用電極２１ａが、マイナス側端子には前記個
別駆動用電極２１ｂが接続されている。
ッドの動作を説明する説明図である。図４（ａ）は、イ
ンクを吐出する前の状態を示し、図４（ｂ）は、インク
を吐出している時の状態を示す。図４（ａ）において、
本インクジェットヘッドは、側壁２７ｂによって仕切ら
れた複数のインク圧力室９ａ及び９ｂにインクを貯留す
るためのキャビティプレート３と、２層に積層され、そ
の層方向に分極された積層圧電素子５とを備えている。
積層圧電素子５は、上側の第１圧電素子１９ａと、下側
の第２圧電素子１９ｂとの２層によって構成され、前記
第１圧電材料１９ａと前記第２圧電材料１９ｂとの間に
おいて、前記インク圧力室９ａ及び９ｂのほぼ中央部に
対応した位置に個別駆動用電極２１ａが、前記側壁２７
ｂに対応した位置に個別駆動用電極２１ｂが形成されて
いる。そして図示しない駆動電源のプラス側端子には前
記個別駆動用電極２１ａが、マイナス側端子には前記個
別駆動用電極２１ｂが接続されている。
【００２１】このように構成されたインクジェットヘッ
ド１に駆動電圧を印加すると、積層圧電素子５は、個別
駆動用電極２１ａと個別駆動用電極２１ｂとの間におい
て、シェアモードで変形し、前記個別駆動用電極２１ａ
と共通駆動電極２５との間においてはユニモルフモード
で変形する。その結果、積層圧電素子５は、図４（ｂ）
に示すようにインク圧力室９（ａ）に向かって凸状態と
なり、前記インク圧力室９ａ内のインク圧力が上昇す
る。そして、インクがノズル１３ａから吐出される。
ド１に駆動電圧を印加すると、積層圧電素子５は、個別
駆動用電極２１ａと個別駆動用電極２１ｂとの間におい
て、シェアモードで変形し、前記個別駆動用電極２１ａ
と共通駆動電極２５との間においてはユニモルフモード
で変形する。その結果、積層圧電素子５は、図４（ｂ）
に示すようにインク圧力室９（ａ）に向かって凸状態と
なり、前記インク圧力室９ａ内のインク圧力が上昇す
る。そして、インクがノズル１３ａから吐出される。
【００２２】ここで、積層圧電素子５の上面には、隣接
するインク圧力室９（ｂ）、（ｃ）との連接を弱めるよ
うに溝２９が形成されているため、ユニモルフモードに
よる側壁２７（ｂ）、２７（ｃ）の変形は殆ど発生しな
いため、クロストークが問題となることはなく安定した
インク吐出性能が得られる。
するインク圧力室９（ｂ）、（ｃ）との連接を弱めるよ
うに溝２９が形成されているため、ユニモルフモードに
よる側壁２７（ｂ）、２７（ｃ）の変形は殆ど発生しな
いため、クロストークが問題となることはなく安定した
インク吐出性能が得られる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明の請求項１に記載のインクジェットヘッドは、シ
ェアモードとユニモルフモードを併せ持つ複合モードイ
ンクジェットヘッドにおいて、インク圧力室の側壁に対
応して位置する積層圧電素子の少なくとも一ヶ所に溝を
設けたので、クロストークを十分小さく抑え安定したイ
ンク吐出が可能となる。
本発明の請求項１に記載のインクジェットヘッドは、シ
ェアモードとユニモルフモードを併せ持つ複合モードイ
ンクジェットヘッドにおいて、インク圧力室の側壁に対
応して位置する積層圧電素子の少なくとも一ヶ所に溝を
設けたので、クロストークを十分小さく抑え安定したイ
ンク吐出が可能となる。
【図１】本発明の実施の形態におけるインクジェットヘ
ッドの概略構成を示す分解斜視図である。
ッドの概略構成を示す分解斜視図である。
【図２】本実施の形態のインクジェットヘッドの概略縦
断面図である。
断面図である。
【図３】本実施の形態における積層体の分解斜視図であ
る。
る。
【図４】本実施の形態におけるインクジェットの動作説
明図である。
明図である。
【図５】従来の複合モードインクジェットヘッドを示す
図である。
図である。
１ インクジェットヘッド ３ キャビティプレート ５ 積層圧電素子 ７ ノズルプレート ９ インク圧力室 １３ ノズル １７ インク溜り １９ シート状圧電材料 ２１ 個別駆動用電極 ２５ 共通駆動用電極 ２９ 溝
Claims (1)
- 【請求項１】 キャビティプレートに形成されると共に
一面が開放されたインク圧力室と、インク圧力室の一面
を閉塞するようにキャビティプレートに固定されると共
に、インク圧力室のほぼ中央に対応する位置に形成され
た第１電極及び各インク圧力室を隔てる側壁に対応した
位置に形成された第２電極、更に最外層表面に形成され
た共通電極を有し、第１電極と、第２及び共通電極との
間に駆動電圧を印加してシェアモードと伸縮モードを併
用して積層圧電素子を変形させることによりインク圧力
室内のインクをインク吐出口から吐出するインクジェッ
トヘッドにおいて、 インク圧力室の側壁に対応して位置する積層圧電素子
の、前記インク圧力室に面する側とは反対側の面の少な
くとも１ヶ所に溝を形成したことを特徴とするインクジ
ェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30848397A JP3767131B2 (ja) | 1997-11-11 | 1997-11-11 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30848397A JP3767131B2 (ja) | 1997-11-11 | 1997-11-11 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11138796A true JPH11138796A (ja) | 1999-05-25 |
| JP3767131B2 JP3767131B2 (ja) | 2006-04-19 |
Family
ID=17981567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30848397A Expired - Lifetime JP3767131B2 (ja) | 1997-11-11 | 1997-11-11 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3767131B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7290865B2 (en) | 2002-02-19 | 2007-11-06 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Inkjet head |
| US7374276B2 (en) | 2003-06-30 | 2008-05-20 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Inkjet printing head and printer |
| US7506970B2 (en) | 2004-09-22 | 2009-03-24 | Fujifilm Corporation | Liquid ejection head and image forming apparatus |
| JP2010208111A (ja) * | 2009-03-09 | 2010-09-24 | Canon Inc | 圧電体素子、それを用いた液体吐出ヘッド及び記録装置 |
| JP2012204352A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-10-22 | Konica Minolta Holdings Inc | 薄膜圧電体デバイス |
-
1997
- 1997-11-11 JP JP30848397A patent/JP3767131B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7290865B2 (en) | 2002-02-19 | 2007-11-06 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Inkjet head |
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