JPH1113688A - ラビリンスシール装置及びそれを備えた流体機械 - Google Patents

ラビリンスシール装置及びそれを備えた流体機械

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JPH1113688A
JPH1113688A JP9165617A JP16561797A JPH1113688A JP H1113688 A JPH1113688 A JP H1113688A JP 9165617 A JP9165617 A JP 9165617A JP 16561797 A JP16561797 A JP 16561797A JP H1113688 A JPH1113688 A JP H1113688A
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    • F04D29/167—Sealings between pressure and suction sides especially adapted for liquid pumps of a centrifugal flow wheel

Abstract

(57)【要約】 【課題】ラビリンスシール装置及びそれを用いた流体機
械を、長期にわたり安定したシール性能で運転する。 【解決手段】遠心形流体機械において、非接触シールに
ラビリンスシールを用いる。回転軸１側または内側ケー
シング３を含む静止側のいずれかにラビリンスフィン２
ａ〜２ｄを複数段設け、この中のラビリンスフィン２
ｃ，２ｄに対向する内側ケーシング３部分に造隙被削コ
ーティング４を施す。一方、ラビリンスフィン２ａ、２
ｂに対向する内側ケーシング３部の先端隙間δ２をコー
ティング４に対向するフィン２ｃ、２ｄの先端隙間δ１
より大きくする。これにより、最小隙間で運転可能にな
るとともに、コーティング４が剥離等により失われても
前段のフィン２ａ、２ｂがラビリンスシール作用をす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転体と静止部材
間の間の流体の漏れ流れを阻止するシール装置及びそれ
を備えた流体機械に関する。
【０００２】
【従来の技術】多段形流体機械の一例である多段遠心圧
縮機は、図７にその上半部の縦断面図を示すように、吸
込管７から吸い込まれた作動ガス１０が回転軸１に取り
付けられた複数段の羽根車６(6a〜6f)の回転に伴い圧縮
され、出口配管８から機外へ吐出される。つまり、作動
ガス10は吸込管7から流入した後、各段の羽根車6で昇圧
され、次いで各段に設けられたディフューザ13(13a〜13
f)およびリターンチャネル14(14a〜14e)を通過する際に
圧力回復して出口配管8へ導かれる。回転軸1および羽根
車6と静止側ケーシング9との間にはラビリンスシール1
1、12が設けられている。このラビリンスシールには、
羽根車の出口側から入口側へ戻る部分、即ち羽根車の入
口付近に設けられるラビリンスシール１１（以下、入口
ラビリンスと呼ぶ）と、相隣る２つの圧縮機段間に設け
られるラビリンスシール１２（以下、段間ラビリンスと
呼ぶ）と、バランスドラムの部分に使用されるラビリン
ス（シール）15とがある。
【０００３】この図７に示した多段遠心圧縮機におい
て、従来用いられてきたラビリンスシールの詳細を図８
に示す。図８において、各ラビリンスは、回転軸と平行
な円筒面でシール面を形成する。そして、回転側部材あ
るいは静止側部材のいずれかの部材、本図においては静
止側部材に複数のフィン２を設け、フィン２の先端と対
向する部材との隙間を狭くすることにより、高圧側から
の漏れ流れ5a、5bを抑制している。
【０００４】このようなラビリンスシールを設けた例
が、特開平７ー２１７５９５号公報、特開平４ー２０３
５６５号公報に記載されている。この中で、特開平7-21
7595号公報に記載のものは、静止側部材にフィンを設
け、その先端に造隙被削コーティングを施し、両者間の
隙間を小さくして漏れ流量の低減を図っている。一方、
特開平4-203565号公報に記載の例では、回転側部材にフ
ィンを設け、静止側部材に造隙被削コーティングを施
し、両者間の隙間を小さくして漏れ流量の低減を図って
いる。
【０００５】同様に羽根車の入口部の静止側部材に造隙
被削コーティングを施し、漏れ流量の低減を図る例は、
三菱重工技報Vol23、No.5(1986-9)やエバラ時報No.154
(1992-1)にも報告されている。
【０００６】なお、流体機械における他のシールの方法
が、特開平5-36640号公報に記載されている。この特開
平５ー３６６４０号公報に記載のものは、回転軸に垂直
なシール面を持ち、隙間センサで隙間量を検出し、電磁
力を利用して隙間を制御している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のラビリンス
シールは、静止側部材に設けたフィンと回転側部材が原
則接触せず、必ず隙間を有するように設計されているの
で、両部材間の隙間の低減には限界がある。例えば、図
８において、主流10の流量に対して漏れ流れ11a、11bの
流量割合が小さい場合には漏れ流れが性能に及ぼす影響
は小さい。しかしながら、漏れ流れの割合が大きくなる
低比速度段では、漏れ流れにより効率が著しく低下す
る。そして、この種のラビリンスシールにおいて隙間を
小さくしすぎると、例えば圧縮機の場合、旋回失速やサ
ージに起因する不安定振動が発生し、ラビリンスフィン
の接触により回転側部材が損傷する恐れがある。
【０００８】一方、シール効果を高めるためにシール面
の隙間をできるだけ小さくし、シール面の一方に造隙被
削コーティングを施こす特開平7-217595号公報や特開平
4-203565号公報に記載のものは、造隙被削コーティング
が経時劣化し、所期の性能を長期にわたって発揮できな
い恐れがある。すなわち、種々のガスを扱うプロセス用
圧縮機等に用いると、腐食性ガスに起因してコーティン
グ材が劣化し、その後サージングや旋回失速などの流体
的不安定現象が生じたときに軸振動が増加してフィンと
コーティング面の接触を生じ、その結果コーティング材
が剥離する恐れがある。この場合、流体機械の性能は大
幅に低下し、さらに信頼性の低下という不具合も生じ
る。
【０００９】本発明は上記従来技術の有する不具合に鑑
みなされたものであり、その目的とするところは、長期
にわたり安定した性能を保持しうるラビリンスシール装
置及びそれを用いた流体機械を提供することにある。
【００１０】本発明の他の目的は、コーティング材が腐
食等により損傷したり剥離しても漏れ損失の少なく信頼
性の高いラビリンスシール装置及びそれを用いた流体機
械を提供することにある。
【００１１】本発明のさらに他の目的は、従来のラビリ
ンスフィンの性能を損なうことなく、長寿命なラビリン
スシール装置及びそれを用いた流体機械を提供すること
にある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の第１の態様は、回転軸と、この回転軸に取り
付けられた少なくとも１枚の遠心羽根車と、この遠心羽
根車を覆うように設けられたケーシングとを備えた流体
機械において、回転軸または遠心羽根車の少なくとも１
つに複数の第１のフィンとこの第１のフィンと軸方向距
離を置いて複数の第２のフィンとを設け、ケーシングの
第１のフィンに対向する部分に造隙被削コーティングを
施し、ケーシングと第１のフィンとの間に形成される隙
間を、ケーシングと第２のフィンとの間に形成される隙
間よりも小さくしたものである。
【００１３】上記目的を達成するための本発明の第２の
態様は、回転軸と、この回転軸に取り付けられた少なく
とも１枚の遠心羽根車と、この遠心羽根車を覆うように
設けられたケーシングとを備えた流体機械において、回
転軸または遠心羽根車の少なくとも１つに複数の第１の
フィンを設けるとともに、ケーシングに複数の第２のフ
ィンを設け、ケーシングは第１のフィンに対向する位置
に造隙被削コーティングが施され、第１のフィンとケー
シングとの間に形成される隙間を、第２のフィンと回転
軸または遠心羽根車との間に形成される隙間より小さく
したものである。
【００１４】そして、上記流体機械において、ラビリン
スフィンは、回転軸に垂直で周方向に連続しているこ
と、または、ラビリンスフィンはフィン根本幅がフィン
先端幅より広いこと、第１のフィンを第２のフィンを挟
む軸方向２カ所に設けるとともに、第１のフィンと第２
のフィンとの間のケーシングに周方向に連続する溝を形
成すること、造隙被削コーティングは、ニッケル・グラ
ファイト系コーティング材の溶射、アルミ・シリコン・
ポリエステル系コーティング材の溶射、またはホワイト
メタルのコーティングとすることが好ましい。
【００１５】上記目的を達成するための本発明の第３の
態様は、回転軸と静止ケーシングとを有し、この回転軸
または静止ケーシングのいずれかに複数のラビリンスフ
ィンを設けたラビリンスシール装置において、ラビリン
スフィンの中で、少なくとも１個のラビリンスフィンが
対向する回転軸または静止ケーシングとの間に形成する
隙間を、他のラビリンスフィンが形成する隙間よりも小
さく、かつ、隙間の小さいラビリンスフィンに対向する
回転軸または静止ケーシングに造隙被削コーティングを
施したものである。
【００１６】そして、好ましくは、造隙被削コーティン
グを施した部分に対向するラビリンスフィンを複数設
け、このラビリンスフィンの高さを高圧側から低圧側に
向けて順次変えたものである。
【００１７】上記目的を達成するための本発明の第４の
態様は、羽根車とケーシングとを有し、この羽根車また
はケーシングのいずれかに複数のラビリンスフィンを設
けたラビリンスシール装置において、ラビリンスフィン
の中で、少なくとも１個のラビリンスフィンが対向する
羽根車またはケーシングとの間に形成する隙間を、他の
ラビリンスフィンが形成する隙間よりも小さく、かつ、
隙間の小さいラビリンスフィンに対向する羽根車または
ケーシングに造隙被削コーティングを施したものであ
る。
【００１８】そして、上記ラビリンスシール装置におい
て、ラビリンスフィンは、回転軸に垂直で周方向に連続
していること、または、ラビリンスフィンはフィン根本
幅がフィン先端幅より広いこと、造隙被削コーティング
は、ニッケル・グラファイト系コーティング材の溶射、
アルミ・シリコン・ポリエステル系コーティング材の溶
射、ホワイトメタルのコーティングであることが望まし
い。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明のいくつかの実施例
を図面を用いて説明する。図１〜図６は、本発明に係る
ラビリンスシール装置の一実施例の縦断面図であり、図
７に示した多段形遠心圧縮機に用いる場合の詳細を示す
ものである。回転軸1と静止ケーシング3の間に生じる漏
れ流れ5を小さくするために、軸封装置としてラビリン
スが設けられている。図１は、遠心圧縮機を回転起動し
ていない状態、すなわち静止時の状態を示しており、図
２は同装置の回転軸が回転中の状態を示す図である。こ
れら両図においては、回転軸１にラビリンス装置を形成
するフィン２a〜２dを設けている。また、各フィン２a
〜２dの先端径ｄｆは同一である。対向する内側ケーシ
ング３には軸方向に段差が設けられており、フィン２a
〜２dと内側ケーシング３間の距離である先端隙間は、
漏れ流れ５の上流部（高圧側）で大きく、下流部（低圧
側）で小さくなるように段差を設定している。つまり、
フィン2c,2dの先端隙間δ1はフィン2a、2bの先端隙間δ
2より小さい。そして、内側ケーシング３のフィン2c,2d
の先端に対向する部分には造隙被削コーティング4が施
されている。なお、このコーティングは、別部材の表面
に予め処理しておき、その部材とフィンとの間の間隔が
所定間隔になるように配置してもよいことは言うまでも
ない。
【００２０】この造隙被削コーティング4とフィン2c,2d
の先端間は、静止時、即ち組立時にはわずかに隙間を有
するように設計される。そして、回転軸１の回転振動や
遠心力により、フィン部が半径方向外方に伸びたとき、
フィン2c,2dの先端がコーティング４に接触するように
設計されている。フィン2c,2dの先端がコーティング４
に接触すると、コーティング面がわずかに被削される。
その結果、回転軸１の回転中、フィン2c,2dの先端隙間
を可能な限り小さくすることができる。
【００２１】高圧側のフィン2a、2bも、回転軸１の振動
や遠心力により半径方向外方に伸びる。したがって、フ
ィン2a、2bの先端と内側ケーシング３間の距離は、静止
時に比べて運転時には狭くなる。しかしながら、フィン
2a、2bの先端と内側ケーシング３間の隙間を、たとえ回
転軸１が回転しても接触しないように設定する。本実施
例においては、フィン2a、2bの先端隙間を従来の非接触
形のシール手段、例えばラビリンスシールやネジシール
を用いる場合より大きくしている。これにより、通常運
転においては、フィン2a、2bとフィン2a、2bに対向する
内側ケーシング３との間では接触が生ぜず、回転軸とケ
ーシングとの接触を考慮しないで内側ケーシング３の材
質を選定することが可能になる。
【００２２】以上述べた本実施例においては、運転中に
対向する面との接触により最小隙間を形成するタイプの
フィン2c、2dと、基本的には接触せずに所定の隙間を有
するタイプのフィン2a、2bによりシールフィンを構成し
ている。漏れ流量はほとんどの場合、最小隙間により決
定されるから、フィン2c,2dのように造隙被削コーティ
ングとの間で最小隙間を形成するフィンを多く備える必
要はない。このように構成した本実施例に記載のラビリ
ンスシールは、造隙被削コーティングを備えていないラ
ビリンスシールに比べて漏れ流量を充分小さくすること
が出来る。
【００２３】また、この造隙被削コーティング部分に万
一何らかのトラブルや腐食環境化での長期間使用により
劣化したり剥離したりしても、非接触ラビリンス2a、2b
により、ある程度漏れ流れを抑制できる。したがって、
圧縮機の性能を著しく低下させることなく圧縮機を運転
でき、きわめて信頼性の高いラビリンスシールを提供す
ることが出来る。このラビリンスシールは、図７に示し
た多段圧縮機のどのラビリンスシール部にも適用できる
が、特にバランスピストン部に適している。
【００２４】なお、回転軸の振動振幅が想定を越えて、
ケーシング３のフィンに対向する面がフィン2a、2bに接
触してもフィンが損傷しないように対向面を構成する場
合がある。つまり、対向面がフィンに比べて柔らかい材
料の場合には、このフィンと対向する部分の先端隙間δ
2を従来の非接触タイプのフィンと同程度の隙間にして
もよい。
【００２５】図３は遠心形流体機械の羽根車6の入口ラ
ビリンスに本発明に係るラビリンスシールを適用した場
合を示した図である。流体機械は、遠心圧縮機や遠心ポ
ンプである。羽根車6で昇圧された流体の主流10は、羽
根車６を出た後半径方向外方にあるディフューザ13に流
入する。このとき流体の一部は漏れ流れ5となって羽根
車５とケーシング９間に形成される隙間を流れ、羽根車
入口側へと流入する。
【００２６】ところで、羽根車６の側板の入口（吸込み
口）部にはフィン2i、2jが形成されている。一方、ケー
シング９の内径側には内側ケーシング３が取り付けられ
ており、内側ケーシング３このフィン2i、2jに対向する
面には造隙被削コーティング4が施されている。また、
内側ケーシング３の、羽根車６のさらに入口側に対向す
る内周面には、フィン2f、2g、2hが形成されている。フ
ィン2i、2jと造隙被削コーティング4との間に形成され
るフィン先端隙間δ1は、フィン2f、2g、2hと内側ケー
シング３との間に形成される先端隙間δ2より小さい。
したがって、羽根車6が回転すると羽根車の遠心力によ
りフィン2i、2jは伸びて造隙被削コーティング4に接触
し、ここにおいて最小隙間が形成される。
【００２７】また、本実施例ではフィン2f、2g、2hが、
フィン2i、2jとは逆向きになっている。これにより、漏
れ流れ５は半径方向外向きから半径方向内向きに流れ方
向を変えざるを得ず、いわゆる通り抜け流れがなくな
り、より高いシール効果が得られる。
【００２８】また羽根車６には、羽根車に作用する遠心
力を考慮して高強度材料を使っており、フィン加工のよ
うな精密加工は工数を多く必要とする。従って本実施例
のように、羽根車には最低限必要な数のフィンを加工
し、残りは加工性の良い材料で製作可能な内側ケーシン
グ3に加工すれば、経済的であるとともに、加工精度の
維持が容易である。
【００２９】図４及び図５は、本発明の他の実施例に係
るラビリンスシール部の詳細縦断面図であり、図４は静
止状態の図、図５は運転状態を示す図である。本実施例
が図１に示した実施例と異なる点は、内側ケーシング３
に設けた造隙被削コーティング４とそれに対向するフィ
ン2k、2l、2mとの間に形成される先端隙間δ1k、δ1l、
δ1mが軸方向に変化している点である。このように構成
することにより、軸1が回転を始め所定の回転数に達す
る間に、これらのフィンは同時に造隙被削コーティング
に接触することがない。つまり、全てのフィンが接触す
るような運転においても、フィンは１つづつ時間をおい
て接触していく。そのため、接触による衝撃を小さく抑
えることができ、軸受等を損傷するおそれがない。この
結果、信頼性が高く、漏れ抑制効果の高いラビリンスシ
ールを提供できる。なお、フィン2a、2bはある程度のラ
ビリンス効果を得るため及び衝撃や腐食等によりたとえ
造隙被削コーティング4が剥落または欠損してもラビリ
ンス効果を得るために設けている。
【００３０】図６は、本発明のさらに他の実施例に係る
ラビリンスシール部の詳細縦断面図である。ラビリンス
シールの入口出口間の圧力差が大きいときに有効な方法
である。この例としては、バランスピストン15部に設け
た例が考えられる。本実施例が図１に示した実施例と異
なる点は、造隙被削コーティングを軸方向２ヶ所4a、4b
に各々離して設け、その間に溝16を形成した点である。
さらに本実施例では、フィン2d、2cで示した軸１に形成
したフィンの数を他の実施例に比べて多くし、漏れ流れ
抑制効果をより高めている。
【００３１】ただしこの種のフィンは、単に数を増して
も、以下の理由であまり効果がない。つまり、フィン数
に応じて接触による衝撃が大きくなること、および上流
側のフィンの接触に伴い生じた被削粉が下流側の接触部
に敷き込まれて、下流側のフィン先端隙間が増大するお
それがある。この結果、シール効果はフィン数に見合う
ほど得られないばかりか、逆に低下するおそれも生じ
る。
【００３２】本実施例においては、造隙被削コーティン
グ4aの下流に比較的深い溝16を設けている。これにより
造隙被削コーティング4aで削られた被削粉の中で大きく
て重い被削粉をこの溝16に留め下流へ流出するのを防止
している。その結果、下流側の造隙被削コーティング4b
へは上流側の造隙被削コーティング4aの塵埃が流入せ
ず、シール性能が同等の造隙被削ラビリンスが２ヶ所形
成されており、より高いシール効果が得られる。
【００３３】なお、上記いずれの実施例においても造隙
被削コーティングとして、ニッケル・グラファイト系コ
ーティング材、アルミ・シリコン・ポリエステル系コー
ティング材、ホワイトメタル等のいずれかを用いればよ
い。また、本発明は多段の遠心圧縮機を例に取り説明し
たが、単段の遠心圧縮機、多段の遠心ポンプ、単段の遠
心ポンプ当本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々適用可
能である。さらに、本発明に示したいくつかの実施例は
例示的なものであり、限定的なものではない。発明の範
囲は特許請求の範囲によって示されており、本発明の真
の精神及び範囲内に存在する変形例は、全て特許請求の
範囲に含まれる。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、造隙被削コーティング
に対向するフィンと通常のフィンとを組み合わせて使用
しているので、大幅に漏れ流量を低減したラビリンスシ
ール及びそれを用いた流体機械を提供できる。また、造
隙被削コーティング部が腐食等により損傷や剥離を起こ
しても、シール性能の低下の少ないラビリンスシール及
びそれを用いた流体機械を提供できる。
【００３５】また、本発明によれば、通常の使用では漏
れによる損失が少なく、また万一トラブルが発生しても
シール性能の低下が少ない軸封手段及びそれを備えた流
体機械を提供できる。
【００３６】さらに、フィン接触時の抵抗を小さくで
き、その結果、振動を小さく抑えたきわめて信頼性の高
いラビリンスシール及びそれを備えた流体機械を提供で
きる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るラビリンスシールの一実施例を示
す図であり、静止時の状態を示す縦断面図である。
【図２】本発明に係るラビリンスシールの一実施例を示
す図であり、運転中の状態を示す縦断面図である。
【図３】本発明に係る多段遠心圧縮機の一実施例の部分
詳細縦断面図である。
【図４】本発明に係るラビリンスシールの他の実施例を
示す図であり、静止時の状態を示す縦断面図である。
【図５】本発明に係るラビリンスシールの他の実施例を
示す図であり、運転時の状態を示す縦断面図である。
【図６】本発明に係るラビリンスシールのさらに他の実
施例の縦断面図である。
【図７】多段形遠心圧縮機の一実施例の上半部縦断面図
である。
【図８】従来の多段形遠心圧縮機に用いられるラビリン
スシールを示した図である。
【符号の説明】
1…回転軸、 2…フィン、 3…内側ケーシング、4…造
隙被削コーティング部、 5…漏れ流れの方向、 6…羽
根車、7…吸込ケーシング、 8…吐出ケーシング、 9
…ケーシング、10…主流の方向、 11,11a,11b…入口ラ
ビリンス、 12…段間ラビリンス、13…ディフューザ、
14…戻り流路、 15…バランスドラム膨張部材、16…
溝。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 栄野 隆 茨城県土浦市神立町603番地 株式会社日 立製作所土浦工場内 (72)発明者 高橋 一樹 茨城県土浦市神立町603番地 株式会社日 立製作所土浦工場内

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】回転軸と、この回転軸に取り付けられた少
    なくとも１枚の遠心羽根車と、この遠心羽根車を覆うよ
    うに設けられたケーシングとを備えた流体機械におい
    て、 前記回転軸または前記遠心羽根車の少なくとも１つに複
    数の第１のフィンとこの第１のフィンと軸方向距離を置
    いて複数の第２のフィンとを設け、前記第１のフィンに
    対向する前記ケーシング部に造隙被削コーティングを施
    し、前記ケーシングと前記第１のフィンとの間に形成さ
    れる隙間を、前記ケーシングと前記第２のフィンとの間
    に形成される隙間よりも小さくしたことを特徴とする流
    体機械。
  2. 【請求項２】回転軸と、この回転軸に取り付けられた少
    なくとも１枚の遠心羽根車と、この遠心羽根車を覆うよ
    うに設けられたケーシングとを備えた流体機械におい
    て、 前記回転軸または前記遠心羽根車の少なくとも１つに複
    数の第１のフィンを設けるとともに、前記ケーシングに
    複数の第２のフィンを設け、前記ケーシングは前記第１
    のフィンに対向する位置に造隙被削コーティングが施さ
    れ、前記第１のフィンとケーシングとの間に形成される
    隙間を、前記第２のフィンと回転軸または前記遠心羽根
    車との間に形成される隙間より小さくしたことを特徴と
    する流体機械。
  3. 【請求項３】前記ラビリンスフィンは、回転軸に垂直で
    周方向に連続していることを特徴とする請求項１または
    ２に記載の流体機械。
  4. 【請求項４】前記ラビリンスフィンはフィン根本幅がフ
    ィン先端幅より広いことを特徴とする請求項３に記載の
    流体機械。
  5. 【請求項５】前記第１のフィンを前記第２のフィンを挟
    む軸方向２カ所に設け、前記第１のフィンと前記第２の
    フィンとの間の前記ケーシングに周方向に連続する溝を
    形成したことを特徴とする請求項２に記載の流体機械。
  6. 【請求項６】前記造隙被削コーティングは、ニッケル・
    グラファイト系コーティング材の溶射、アルミ・シリコ
    ン・ポリエステル系コーティング材の溶射、またはホワ
    イトメタルのコーティングのいずれかであることを特徴
    とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の流体機
    械。
  7. 【請求項７】回転軸と静止ケーシングとを有し、この回
    転軸または静止ケーシングのいずれかに複数のラビリン
    スフィンを設けたラビリンスシール装置において、 前記ラビリンスフィンの中で、少なくとも１個のラビリ
    ンスフィンが対向する回転軸または静止ケーシングとの
    間に形成する隙間を、他のラビリンスフィンが形成する
    隙間よりも小さく、かつ、前記隙間の小さいラビリンス
    フィンに対向する前記回転軸または前記静止ケーシング
    に造隙被削コーティングを施したことを特徴とするラビ
    リンスシール装置。
  8. 【請求項８】前記造隙被削コーティングを施した部分に
    対向するラビリンスフィンを複数設け、このラビリンス
    フィンの高さを高圧側から低圧側に向けて順次変えたこ
    とを特徴とする請求項７に記載のラビリンスシール装
    置。
  9. 【請求項９】羽根車とケーシングとを有し、この羽根車
    またはケーシングのいずれかに複数のラビリンスフィン
    を設けたラビリンスシール装置において、 前記ラビリンスフィンの中で、少なくとも１個のラビリ
    ンスフィンが対向する羽根車またはケーシングとの間に
    形成する隙間を、他のラビリンスフィンが形成する隙間
    よりも小さく、かつ、前記隙間の小さいラビリンスフィ
    ンに対向する前記羽根車または前記ケーシングに造隙被
    削コーティングを施したことを特徴とするラビリンスシ
    ール装置。
  10. 【請求項１０】前記ラビリンスフィンは、回転軸に垂直
    で周方向に連続していることを特徴とする請求項７ない
    し９のいずれかに記載のラビリンスシール装置。
  11. 【請求項１１】前記ラビリンスフィンはフィン根本幅が
    フィン先端幅より広いことを特徴とする請求項１０に記
    載のラビリンスシール装置。
  12. 【請求項１２】前記造隙被削コーティングは、ニッケル
    ・グラファイト系コーティング材の溶射、アルミ・シリ
    コン・ポリエステル系コーティング材の溶射、またはホ
    ワイトメタルのコーティングのいずれかであることを特
    徴とする請求項７ないし１１のいずれか１項に記載のラ
    ビリンスシール装置。
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