JPH11135513A - ボート供給装置 - Google Patents
ボート供給装置Info
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- JPH11135513A JPH11135513A JP30122197A JP30122197A JPH11135513A JP H11135513 A JPH11135513 A JP H11135513A JP 30122197 A JP30122197 A JP 30122197A JP 30122197 A JP30122197 A JP 30122197A JP H11135513 A JPH11135513 A JP H11135513A
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- furnace body
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Abstract
(57)【要約】
【課題】作業者の肉体的負担の軽減、ボートの上げ下ろ
しの自動化、ボートや炉床の損傷や破損、衝撃による発
塵や半導体ウェーハの品質への悪影響を低減するボート
供給装置を提供。 【解決手段】サーボモータ６により駆動される昇降機構
３に設けられ、半導体ウェーハ１８用のボート１９が摺
動自在に載置されるボート受皿１６は、前記ボート１９
が収納される炉体２１の炉床２３と一定角度を有して熱
処理炉２２側に傾斜させる。
しの自動化、ボートや炉床の損傷や破損、衝撃による発
塵や半導体ウェーハの品質への悪影響を低減するボート
供給装置を提供。 【解決手段】サーボモータ６により駆動される昇降機構
３に設けられ、半導体ウェーハ１８用のボート１９が摺
動自在に載置されるボート受皿１６は、前記ボート１９
が収納される炉体２１の炉床２３と一定角度を有して熱
処理炉２２側に傾斜させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウェーハが乗
せられるボートのボート供給装置に係わり、特に熱処理
炉への供給を円滑に行えるボート供給装置に関する。
せられるボートのボート供給装置に係わり、特に熱処理
炉への供給を円滑に行えるボート供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に半導体ウェーハのドナーキラー処
理などは、多数の半導体ウェーハが乗せられたボートを
熱処理炉に収納し、一定条件下で加熱処理をして行う。
理などは、多数の半導体ウェーハが乗せられたボートを
熱処理炉に収納し、一定条件下で加熱処理をして行う。
【０００３】熱処理炉に半導体ウェーハが乗せられたボ
ートを収納する場合、従来は図１（ａ）のように、多数
の半導体ウェーハ４０が乗せられた重量約６．５Ｋｇの
ボート４１を載置したボート受皿４２を作業者が持ち上
げ、熱処理炉４３の炉体４４の炉床４５とボート受皿４
２とが平行でかつボート４１の摺動空間Ａを設けて位置
決めし、図１（ｂ）のように、その状態でボート４１を
乗せたボート受皿４２を片手で持ち、他方の手で作業棒
Ｂを用いてボート４１を押し、ボート４１をボート受皿
４２上で滑らせボート４１を熱処理炉４３の炉体４４に
収納していた。
ートを収納する場合、従来は図１（ａ）のように、多数
の半導体ウェーハ４０が乗せられた重量約６．５Ｋｇの
ボート４１を載置したボート受皿４２を作業者が持ち上
げ、熱処理炉４３の炉体４４の炉床４５とボート受皿４
２とが平行でかつボート４１の摺動空間Ａを設けて位置
決めし、図１（ｂ）のように、その状態でボート４１を
乗せたボート受皿４２を片手で持ち、他方の手で作業棒
Ｂを用いてボート４１を押し、ボート４１をボート受皿
４２上で滑らせボート４１を熱処理炉４３の炉体４４に
収納していた。
【０００４】このようなボート４１の供給では、多数の
半導体ウェーハ４０が乗せられたボート４１の重心Ｇが
ボート受皿４２の前端部４２ａを通過するまでは、ボー
ト受皿４２と炉床４５とが平行で、かつ摺動空間Ａが設
けられているので、ボート４１はスムーズにボート受皿
４２上を摺動して移動するが、ボート４１の重心Ｇがボ
ート受皿４２の前端部４２ａを通過するとボート４１は
ボート受皿４２の前端部４２ａを支点として、図１
（ｃ）では時計回り方向に回転し、ボート４１の前端部
４１ａが炉床４５に衝突し、ボート４１や多数の半導体
ウェーハ４０にショックを与える原因となっている。
半導体ウェーハ４０が乗せられたボート４１の重心Ｇが
ボート受皿４２の前端部４２ａを通過するまでは、ボー
ト受皿４２と炉床４５とが平行で、かつ摺動空間Ａが設
けられているので、ボート４１はスムーズにボート受皿
４２上を摺動して移動するが、ボート４１の重心Ｇがボ
ート受皿４２の前端部４２ａを通過するとボート４１は
ボート受皿４２の前端部４２ａを支点として、図１
（ｃ）では時計回り方向に回転し、ボート４１の前端部
４１ａが炉床４５に衝突し、ボート４１や多数の半導体
ウェーハ４０にショックを与える原因となっている。
【０００５】さらにボート４１を炉体４４に押し込む
と、ボート４１の後端部４１ｂがボート受皿４２の前端
部４２ａと離間し、ボート４１の後端部４１ｂは炉床４
５に落下して衝突し、ショックを受ける。
と、ボート４１の後端部４１ｂがボート受皿４２の前端
部４２ａと離間し、ボート４１の後端部４１ｂは炉床４
５に落下して衝突し、ショックを受ける。
【０００６】また、半導体ウェーハ４０の熱処理が完了
し、半導体ウェーハ４０が乗せられたボート４１を炉体
４４から取り出す場合も、上述ボート４１の炉入れと同
様の作業を行っていた。
し、半導体ウェーハ４０が乗せられたボート４１を炉体
４４から取り出す場合も、上述ボート４１の炉入れと同
様の作業を行っていた。
【０００７】しかし、このようなボート４１の炉入れ炉
出し作業は、作業者に頼っているため作業者に肉体的負
荷がかかり、ボート受皿４２の炉体４４に対する位置決
めとその位置での保持が困難であり、また高所にある炉
体４４へのボート４１の供給は困難性を伴い、しかも熱
処理炉を背高にできず炉のスペース効率も悪かった。
出し作業は、作業者に頼っているため作業者に肉体的負
荷がかかり、ボート受皿４２の炉体４４に対する位置決
めとその位置での保持が困難であり、また高所にある炉
体４４へのボート４１の供給は困難性を伴い、しかも熱
処理炉を背高にできず炉のスペース効率も悪かった。
【０００８】さらに、炉体が保温材で支持されているた
め、経時的に炉体の高さが変動し、高精度に炉床とボー
トの受け部との位置決めを行うことが困難であった。
め、経時的に炉体の高さが変動し、高精度に炉床とボー
トの受け部との位置決めを行うことが困難であった。
【０００９】またさらに、上述のように、ボート４１の
炉体４４への出し入れ時、ボート４１の前端部４１ａが
炉床４５に衝突し、またボート受皿４２の前端部４２ａ
とボート４１の前端部４１ａを荷重の作用点としてボー
ト４１が炉床４５を擦るため円滑な滑りでなく、ボート
４１や炉床４５の損傷や破損、衝撃による発塵やウェー
ハの品質への悪影響などさまざまな問題点があった。
炉体４４への出し入れ時、ボート４１の前端部４１ａが
炉床４５に衝突し、またボート受皿４２の前端部４２ａ
とボート４１の前端部４１ａを荷重の作用点としてボー
ト４１が炉床４５を擦るため円滑な滑りでなく、ボート
４１や炉床４５の損傷や破損、衝撃による発塵やウェー
ハの品質への悪影響などさまざまな問題点があった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】そこで、作業者に肉体
的負担がかからず、自動化が容易でかつ、スムーズにボ
ートの炉入れ炉出しが行えボートや炉床の破損、衝撃に
よる発塵やウェーハの品質への悪影響などのないボート
供給装置が要望されていた。
的負担がかからず、自動化が容易でかつ、スムーズにボ
ートの炉入れ炉出しが行えボートや炉床の破損、衝撃に
よる発塵やウェーハの品質への悪影響などのないボート
供給装置が要望されていた。
【００１１】本発明は上述した事情を考慮してなされた
もので、作業者の肉体的負担の軽減、ボートの上げ下ろ
しの自動化、ボートや炉床の破損、衝撃による発塵やウ
ェーハの品質への悪影響を低減したボート供給装置を目
的とする。本発明の他の目的は高所に設けられた炉体へ
のボートの供給を容易にして背高の熱処理炉を使用可能
にし、炉の設置スペース効率を向上させ、かつ、ボート
供給装置の設置により作業環境を損なうことのないボー
ト供給装置を提供することにある。
もので、作業者の肉体的負担の軽減、ボートの上げ下ろ
しの自動化、ボートや炉床の破損、衝撃による発塵やウ
ェーハの品質への悪影響を低減したボート供給装置を目
的とする。本発明の他の目的は高所に設けられた炉体へ
のボートの供給を容易にして背高の熱処理炉を使用可能
にし、炉の設置スペース効率を向上させ、かつ、ボート
供給装置の設置により作業環境を損なうことのないボー
ト供給装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
になされた本願請求項１の発明は、モータにより駆動さ
れる昇降機構と、この昇降機構より炉体に対応する所定
の位置に昇降される受皿ホルダと、この受皿ホルダに載
置され半導体ウェーハ用のボートが摺動自在に載置され
るボート受皿とを具備し、このボート受皿は前記ボート
が収納される炉体の炉床と一定角度を有して炉体側に下
り傾斜していることを特徴とするボート供給装置である
ことを要旨としている。
になされた本願請求項１の発明は、モータにより駆動さ
れる昇降機構と、この昇降機構より炉体に対応する所定
の位置に昇降される受皿ホルダと、この受皿ホルダに載
置され半導体ウェーハ用のボートが摺動自在に載置され
るボート受皿とを具備し、このボート受皿は前記ボート
が収納される炉体の炉床と一定角度を有して炉体側に下
り傾斜していることを特徴とするボート供給装置である
ことを要旨としている。
【００１３】本願請求項２の発明は、受皿ホルダは摺動
機構を介し昇降機構に取り付けられていることを特徴と
する請求項１記載のボート供給装置であることを要旨と
している。
機構を介し昇降機構に取り付けられていることを特徴と
する請求項１記載のボート供給装置であることを要旨と
している。
【００１４】本願請求項３の発明は、ボートおよび加熱
炉の炉床が石英ガラスであることを特徴とする請求項１
記載のボート供給装置であることを要旨としている。
炉の炉床が石英ガラスであることを特徴とする請求項１
記載のボート供給装置であることを要旨としている。
【００１５】本願請求項４の発明は、一定角度が２度乃
至３度であることを特徴とする請求項１記載のボート供
給装置であることを要旨としている。
至３度であることを特徴とする請求項１記載のボート供
給装置であることを要旨としている。
【００１６】本願請求項５の発明は、熱処理炉が設置さ
れるクリーンルームとボート供給装置が設置されるメン
テナンスルームを仕切る隔壁に設けられた透孔を貫通
し、昇降機構の一部を構成するアームの動きに連動し、
かつ前記透孔を常時閉塞するシャッター機構を前記アー
ムに取り付けたことを特徴とする請求項１記載のボート
供給装置であることを要旨としている。
れるクリーンルームとボート供給装置が設置されるメン
テナンスルームを仕切る隔壁に設けられた透孔を貫通
し、昇降機構の一部を構成するアームの動きに連動し、
かつ前記透孔を常時閉塞するシャッター機構を前記アー
ムに取り付けたことを特徴とする請求項１記載のボート
供給装置であることを要旨としている。
【００１７】本願請求項６の発明は、シャッター機構が
複数のローラと、このローラに張設された平面状シャッ
ターとで構成されることを特徴とする請求項１記載のボ
ート供給装置であることを要旨としている。
複数のローラと、このローラに張設された平面状シャッ
ターとで構成されることを特徴とする請求項１記載のボ
ート供給装置であることを要旨としている。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るボート供給装
置の実施の形態について添付図面に基づき説明する。
置の実施の形態について添付図面に基づき説明する。
【００１９】図２は本発明に係るボート供給装置１であ
る。このボート供給装置１は支柱２に取り付けられた昇
降機構３を有し、この昇降機構３は昇降部材４と、この
昇降部材４とネジ結合して昇降部材４を昇降させボール
ネジで形成されたスクリューシャフト５と、このスクリ
ューシャフト５を回動させるモータ、例えばサーボモー
タ６と、このサーボモータ６を制御するコントローラ７
と、このコントローラ７に信号を送りサーボモータ６の
回転、停止を行うスイッチ手段としてのペンダントスイ
ッチ８で構成されている。
る。このボート供給装置１は支柱２に取り付けられた昇
降機構３を有し、この昇降機構３は昇降部材４と、この
昇降部材４とネジ結合して昇降部材４を昇降させボール
ネジで形成されたスクリューシャフト５と、このスクリ
ューシャフト５を回動させるモータ、例えばサーボモー
タ６と、このサーボモータ６を制御するコントローラ７
と、このコントローラ７に信号を送りサーボモータ６の
回転、停止を行うスイッチ手段としてのペンダントスイ
ッチ８で構成されている。
【００２０】昇降部材４にはアーム９が取り付けられ、
このアーム９の先端には摺動機構１０が設けられてい
る。この摺動機構１０はアーム９の先端に設けられた支
持部１１と、この支持部１１に設けられ貫通孔１２（図
３参照）を有する２個１組の係止部１３が２組設けられ
ている。受皿ホルダ１４は摺動棒１５を介してアーム９
に摺動自在に載置され、この２本の摺動棒１５がそれぞ
れの組をなす２個の貫通孔１２を摺動自在に貫通してい
る。
このアーム９の先端には摺動機構１０が設けられてい
る。この摺動機構１０はアーム９の先端に設けられた支
持部１１と、この支持部１１に設けられ貫通孔１２（図
３参照）を有する２個１組の係止部１３が２組設けられ
ている。受皿ホルダ１４は摺動棒１５を介してアーム９
に摺動自在に載置され、この２本の摺動棒１５がそれぞ
れの組をなす２個の貫通孔１２を摺動自在に貫通してい
る。
【００２１】摺動棒１５は図３の状態から一定の距離
Ｌ、例えば１８０ｍｍ右方に摺動可能に構成されてい
る。従って、図３の位置から受皿ホルダ１４を右方に１
８０ｍｍ摺動させることが可能である。また、受皿ホル
ダ１４にはボート受皿１６が水平線に対し一定角度θ、
すなわち２度乃至３度、望ましくは３度時計回り方向に
傾斜して載置され、ボート受皿１６の脚部１７を介して
受皿ホルダ１４に固定されている。ボート受皿１６は直
線状の前端部１６ａを有する。
Ｌ、例えば１８０ｍｍ右方に摺動可能に構成されてい
る。従って、図３の位置から受皿ホルダ１４を右方に１
８０ｍｍ摺動させることが可能である。また、受皿ホル
ダ１４にはボート受皿１６が水平線に対し一定角度θ、
すなわち２度乃至３度、望ましくは３度時計回り方向に
傾斜して載置され、ボート受皿１６の脚部１７を介して
受皿ホルダ１４に固定されている。ボート受皿１６は直
線状の前端部１６ａを有する。
【００２２】図４（ａ）のように、ボート１９上に多数
の半導体ウェーハ１８が乗せられる。ボート１９は一側
に前端部１９ａを有し、他側に把手部１９ｂを有する。
ボート１９は脚部２０を介してボート受皿１６に載置さ
れる。このようにボート１９が平坦な棒状の脚部２０を
介してボート受皿１６に載置されているので、ボート１
９はスムーズかつ自由にボート受皿１６上を摺動するこ
とができる。
の半導体ウェーハ１８が乗せられる。ボート１９は一側
に前端部１９ａを有し、他側に把手部１９ｂを有する。
ボート１９は脚部２０を介してボート受皿１６に載置さ
れる。このようにボート１９が平坦な棒状の脚部２０を
介してボート受皿１６に載置されているので、ボート１
９はスムーズかつ自由にボート受皿１６上を摺動するこ
とができる。
【００２３】図３に示すように、ボート供給装置１は石
英製で、複数の炉体２１を有する熱処理炉２２に適宜の
距離、例えば受皿ホルダ１４が最も後退した位置にある
とき、受皿ホルダ１４の前端部１４ａと炉体２１の前面
部２１ａの距離は摺動距離Ｌ、例えば１８０ｍｍと、受
皿ホルダー１４の前端部１４ａと炉体２１の前面部２１
ａとの間隙Ｃ、例えば１０ｍｍとの和１９０ｍｍになる
位置に設置される。
英製で、複数の炉体２１を有する熱処理炉２２に適宜の
距離、例えば受皿ホルダ１４が最も後退した位置にある
とき、受皿ホルダ１４の前端部１４ａと炉体２１の前面
部２１ａの距離は摺動距離Ｌ、例えば１８０ｍｍと、受
皿ホルダー１４の前端部１４ａと炉体２１の前面部２１
ａとの間隙Ｃ、例えば１０ｍｍとの和１９０ｍｍになる
位置に設置される。
【００２４】本発明に係るボート供給装置は以上のよう
な構造になっているから、半導体ウェーハ１８が乗せら
れたボート１９を炉体２１に供給する場合には、あらか
じめ所定の位置に設置されたボート供給装置１のペンダ
ントスイッチ８を操作しコントローラ７を介してサーボ
モータ６を回転させる。このサーボモータ６の回転によ
りスクリューシャフト５を回動させ昇降部材４を作業者
が作業し易い高さ、例えば１メートルにし、この昇降部
材４にアーム９、受皿ホルダ１６を介して取り付けられ
ているボート受皿１４の高さもほぼ昇降部材４の高さと
同じ１メートルとする。
な構造になっているから、半導体ウェーハ１８が乗せら
れたボート１９を炉体２１に供給する場合には、あらか
じめ所定の位置に設置されたボート供給装置１のペンダ
ントスイッチ８を操作しコントローラ７を介してサーボ
モータ６を回転させる。このサーボモータ６の回転によ
りスクリューシャフト５を回動させ昇降部材４を作業者
が作業し易い高さ、例えば１メートルにし、この昇降部
材４にアーム９、受皿ホルダ１６を介して取り付けられ
ているボート受皿１４の高さもほぼ昇降部材４の高さと
同じ１メートルとする。
【００２５】しかるのち、半導体ウェーハ１８が多数乗
せられたボート１９を水平線に対し３度時計回り方向に
下り傾斜して載置されたボート受皿１６に載置する。半
導体ウェーハ１８が、例えば２００枚乗せられたボート
１９の重量は約６．５Ｋｇであるが、この載置作業は、
作業者が比較的作業のし易い高さで行われ、かつ前工程
で半導体ウェーハが多数乗せられたボート１９を同一高
さの作業台に用意したものを、作業台からボート受皿１
６に移動、載置するだけであるので、従来に比べ作業者
の負担が軽減される。
せられたボート１９を水平線に対し３度時計回り方向に
下り傾斜して載置されたボート受皿１６に載置する。半
導体ウェーハ１８が、例えば２００枚乗せられたボート
１９の重量は約６．５Ｋｇであるが、この載置作業は、
作業者が比較的作業のし易い高さで行われ、かつ前工程
で半導体ウェーハが多数乗せられたボート１９を同一高
さの作業台に用意したものを、作業台からボート受皿１
６に移動、載置するだけであるので、従来に比べ作業者
の負担が軽減される。
【００２６】ボート１９をボート受皿１６に載置した
後、再びペンダントスイッチ８を操作しコントローラ７
を介してサーボモータ６を回転させる。このサーボモー
タ６の回転によりスクリューシャフト５を回動させ昇降
部材４を上昇させ、昇降部材４の上昇によりボート１９
が載置されたボート受皿１６を蓋体（図示せず）が開放
された炉体２１に対向する位置に上昇させる。炉体２１
に対向して位置しボート１９が載置された支持部１１に
設けられボート受皿１６を作業者が手で押し、摺動機構
１０を用い受皿ホルダ１６の摺動棒１５と支持部１１に
設けられ貫通孔１２の摺動作用で受皿ホルダ１４および
ボート受皿１６をボート受皿１６の前端部１６ａと炉体
２１の前面部２１ａとの距離が１０ｍｍになる迄移動さ
せる。
後、再びペンダントスイッチ８を操作しコントローラ７
を介してサーボモータ６を回転させる。このサーボモー
タ６の回転によりスクリューシャフト５を回動させ昇降
部材４を上昇させ、昇降部材４の上昇によりボート１９
が載置されたボート受皿１６を蓋体（図示せず）が開放
された炉体２１に対向する位置に上昇させる。炉体２１
に対向して位置しボート１９が載置された支持部１１に
設けられボート受皿１６を作業者が手で押し、摺動機構
１０を用い受皿ホルダ１６の摺動棒１５と支持部１１に
設けられ貫通孔１２の摺動作用で受皿ホルダ１４および
ボート受皿１６をボート受皿１６の前端部１６ａと炉体
２１の前面部２１ａとの距離が１０ｍｍになる迄移動さ
せる。
【００２７】摺動機構１０は支持部１１と、この支持部
１１に設けられ貫通孔１２を有する２個１組の係止部１
３が２組設けられている。受皿ホルダ１４は摺動棒１５
を介してアーム９に摺動自在に載置され、この２本の摺
動棒１５がそれぞれの組をなす２個の貫通孔１２を摺動
自在に貫通している。
１１に設けられ貫通孔１２を有する２個１組の係止部１
３が２組設けられている。受皿ホルダ１４は摺動棒１５
を介してアーム９に摺動自在に載置され、この２本の摺
動棒１５がそれぞれの組をなす２個の貫通孔１２を摺動
自在に貫通している。
【００２８】図４（ａ）に示すようにボート受皿１５が
炉体２１に対向したとき、ボート受皿１６、すなわちボ
ート１９の脚部２０とこの脚部２０と炉体２１の炉床２
３との間に約１．５ｍｍの段差、すなわち間隙Ｈが形成
されるように昇降部材４の高さを調整する。
炉体２１に対向したとき、ボート受皿１６、すなわちボ
ート１９の脚部２０とこの脚部２０と炉体２１の炉床２
３との間に約１．５ｍｍの段差、すなわち間隙Ｈが形成
されるように昇降部材４の高さを調整する。
【００２９】次に、ボート１９を炉体２１に供給、収納
する。このボート１９の炉体２１への収納は、ボート１
９の把手部１９ａを作業棒Ｂで押し、ボート１９をボー
ト受皿１６上で摺動させる。ボート１９がボート受皿１
６上を摺動する間、ボート１９は３度下り傾斜したボー
ト受皿１６に載置されているので、ボート１９も３度傾
斜したままボート受皿１５上を摺動し、ボート１９の前
端部１９ａと炉体２１の炉床２３との間隙Ｈは徐々に狭
まる。
する。このボート１９の炉体２１への収納は、ボート１
９の把手部１９ａを作業棒Ｂで押し、ボート１９をボー
ト受皿１６上で摺動させる。ボート１９がボート受皿１
６上を摺動する間、ボート１９は３度下り傾斜したボー
ト受皿１６に載置されているので、ボート１９も３度傾
斜したままボート受皿１５上を摺動し、ボート１９の前
端部１９ａと炉体２１の炉床２３との間隙Ｈは徐々に狭
まる。
【００３０】図４（ａ）のように、さらにボート１９が
炉体２１内に押され多数の半導体ウェーハ１８が乗せら
れた状態のボート１９の重心Ｇがボート受皿１６の前端
部１６ａを通過すると、ボート１９は前端部１９ａを支
点として時計回り方向に回転し、ボート１９の先端部１
９ａが炉床２３に接触する。
炉体２１内に押され多数の半導体ウェーハ１８が乗せら
れた状態のボート１９の重心Ｇがボート受皿１６の前端
部１６ａを通過すると、ボート１９は前端部１９ａを支
点として時計回り方向に回転し、ボート１９の先端部１
９ａが炉床２３に接触する。
【００３１】ボート１９の先端部１９ａが炉床２３に接
触するが、ボート１９の前端部１９ａと炉体２１の炉床
２３との間隙Ｈは徐々に狭まり、先端部１９ａが炉床２
３に接触する時点では、間隙Ｈがほぼ存在しない状態ま
で狭められているので、この接触によるボート１９およ
び半導体ウェーハ１８への影響が少なく、石英製のボー
ト１９や半導体ウェーハ１８が破損することもなく、ま
た接触により炉体２１内で発塵することもない。ボート
１９上に載置された半導体ウェーハ１８にショックを与
えることもなく炉床２３への移載が可能である。
触するが、ボート１９の前端部１９ａと炉体２１の炉床
２３との間隙Ｈは徐々に狭まり、先端部１９ａが炉床２
３に接触する時点では、間隙Ｈがほぼ存在しない状態ま
で狭められているので、この接触によるボート１９およ
び半導体ウェーハ１８への影響が少なく、石英製のボー
ト１９や半導体ウェーハ１８が破損することもなく、ま
た接触により炉体２１内で発塵することもない。ボート
１９上に載置された半導体ウェーハ１８にショックを与
えることもなく炉床２３への移載が可能である。
【００３２】さらにボート１９を炉体２１内に押し込む
が、ボート受皿１６とボート１９は同じ角度、例えば３
度傾斜しているので、ボート１９はボート受皿１６上を
引き続き摺動し、またボート１９の前端部１９ａと炉床
２３との摺動もスムーズであり、石英製のボート１９の
前端部１９ａで石英製の炉床２３を傷付けることもな
い。
が、ボート受皿１６とボート１９は同じ角度、例えば３
度傾斜しているので、ボート１９はボート受皿１６上を
引き続き摺動し、またボート１９の前端部１９ａと炉床
２３との摺動もスムーズであり、石英製のボート１９の
前端部１９ａで石英製の炉床２３を傷付けることもな
い。
【００３３】上述傾斜角度θが２度より小さいとボート
１９の前端部１９ａ従来で述べたと同様に、ボート１９
の重心Ｇがボート受皿１６の前端部１６ａを通過すると
ボート１９は前端部１９ａを支点として時計回り方向に
回転し、ボート１９の先端部１９ａが炉床２３に衝突す
る。その結果、ボート１９、半導体ウェーハ１８および
炉床２３を破損する虞がある。また、傾斜角度θが３度
より大くなると、前端部１９ａと炉床２３の間隙が徐々
に狭まることなく、急速に狭まり、前端部１９ａが炉床
２３に強く衝突し、これまたボート１９、半導体ウェー
ハ１８および炉床２３を損傷させたり、破損する虞があ
る。
１９の前端部１９ａ従来で述べたと同様に、ボート１９
の重心Ｇがボート受皿１６の前端部１６ａを通過すると
ボート１９は前端部１９ａを支点として時計回り方向に
回転し、ボート１９の先端部１９ａが炉床２３に衝突す
る。その結果、ボート１９、半導体ウェーハ１８および
炉床２３を破損する虞がある。また、傾斜角度θが３度
より大くなると、前端部１９ａと炉床２３の間隙が徐々
に狭まることなく、急速に狭まり、前端部１９ａが炉床
２３に強く衝突し、これまたボート１９、半導体ウェー
ハ１８および炉床２３を損傷させたり、破損する虞があ
る。
【００３４】図４（ｃ）のようにボート１９の重心Ｇが
炉体２３内に移った時点で、ペンダントスイッチ８を操
作しコントローラ７、サーボモータおよびスクリューシ
ャフト５を介してボート受皿１６を降下させ、ボート１
９を炉床２３に当接させる。
炉体２３内に移った時点で、ペンダントスイッチ８を操
作しコントローラ７、サーボモータおよびスクリューシ
ャフト５を介してボート受皿１６を降下させ、ボート１
９を炉床２３に当接させる。
【００３５】しかるのち、ボート１９をボート受皿１６
から離間させボート１９を炉床２３に載置し、さらにボ
ート１９を炉体２１内に押し込みボート１９の炉体２１
内への収納を完了する。
から離間させボート１９を炉床２３に載置し、さらにボ
ート１９を炉体２１内に押し込みボート１９の炉体２１
内への収納を完了する。
【００３６】このボート１９の炉体２１への収納時、ボ
ート１９が炉床２３に当接するまでボート１９をボート
受皿１６で受けており、ボート受皿１６の前端部１６ａ
からボート１９を落下させることもないので、ボート１
９および半導体ウェーハ１８への衝撃もほとんどない。
ート１９が炉床２３に当接するまでボート１９をボート
受皿１６で受けており、ボート受皿１６の前端部１６ａ
からボート１９を落下させることもないので、ボート１
９および半導体ウェーハ１８への衝撃もほとんどない。
【００３７】ボート１９の炉体２１内への収納を完了し
た後、蓋体（図示せず）を閉じ、半導体ウェーハ１８の
熱処理を行い、熱処理終了後、蓋体を開放し半導体ウェ
ーハ１８が乗せられたボート１９を取り出す。このボー
ト１９を取り出しボート１９を次工程へ送り出すまでの
作業は、ボート１９の炉体２１内への収納とは全く逆
に、図４（ｃ）〜（ａ）に示すような順に行い、１メー
トルの高さの位置に下ろされたボート受皿１６からボー
ト１９を作業者が持ち上げ次工程へ送り出す。
た後、蓋体（図示せず）を閉じ、半導体ウェーハ１８の
熱処理を行い、熱処理終了後、蓋体を開放し半導体ウェ
ーハ１８が乗せられたボート１９を取り出す。このボー
ト１９を取り出しボート１９を次工程へ送り出すまでの
作業は、ボート１９の炉体２１内への収納とは全く逆
に、図４（ｃ）〜（ａ）に示すような順に行い、１メー
トルの高さの位置に下ろされたボート受皿１６からボー
ト１９を作業者が持ち上げ次工程へ送り出す。
【００３８】次に、本発明に係わるボート供給装置の他
の実施形態について説明する。
の実施形態について説明する。
【００３９】図５はボート供給装置の他の実施形態を示
し、熱処理炉３０が設置されるクリーンルームＣＲのク
リーン度を保つため、クリーンルームＣＲとボート供給
装置３１が設置されるメンテナンスルームＭＲとは、隔
壁Ｐによって仕切られ、この隔壁Ｐに設けられた透孔Ｔ
にはボート供給装置３１の昇降機構３２の一部を構成す
るアーム３３が貫通している。このアーム３３には、複
数のローラ３４と共にシャッター機構３５を構成し、こ
の複数のローラ３４の周囲に張設され、平面状、例えば
平ゴム製でループ状のシャッター３５の両端部が取り付
けられている。このシャッター３５は常時透孔Ｔを閉塞
するように取り付けられ、かつアーム３３の昇降に応じ
て常時透孔Ｔを閉塞したままシャッター３５を回動させ
るようになっている。
し、熱処理炉３０が設置されるクリーンルームＣＲのク
リーン度を保つため、クリーンルームＣＲとボート供給
装置３１が設置されるメンテナンスルームＭＲとは、隔
壁Ｐによって仕切られ、この隔壁Ｐに設けられた透孔Ｔ
にはボート供給装置３１の昇降機構３２の一部を構成す
るアーム３３が貫通している。このアーム３３には、複
数のローラ３４と共にシャッター機構３５を構成し、こ
の複数のローラ３４の周囲に張設され、平面状、例えば
平ゴム製でループ状のシャッター３５の両端部が取り付
けられている。このシャッター３５は常時透孔Ｔを閉塞
するように取り付けられ、かつアーム３３の昇降に応じ
て常時透孔Ｔを閉塞したままシャッター３５を回動させ
るようになっている。
【００４０】このような、本実施の形態のボート供給装
置においては、ボート供給装置３１にシャッター機構３
５を設けたので、ボート供給装置３１を設けても熱処理
炉３０が設置されるクリーンルームＣＲのクリーン度を
保つことができる。
置においては、ボート供給装置３１にシャッター機構３
５を設けたので、ボート供給装置３１を設けても熱処理
炉３０が設置されるクリーンルームＣＲのクリーン度を
保つことができる。
【００４１】
【発明の効果】以上に述べたように本発明に係るボート
供給装置において、この昇降機構より所定の位置に昇降
されるボート受皿とボートを炉床と一定角度を有して下
り傾斜させることにより、作業者の肉体的負担の軽減、
ボートの上げ下ろしの自動化、ボートや炉床の破損をな
くしボートや熱処理炉の長時間使用を可能にする。
供給装置において、この昇降機構より所定の位置に昇降
されるボート受皿とボートを炉床と一定角度を有して下
り傾斜させることにより、作業者の肉体的負担の軽減、
ボートの上げ下ろしの自動化、ボートや炉床の破損をな
くしボートや熱処理炉の長時間使用を可能にする。
【００４２】またボートおよび炉体が石英製であって
も、ボートの収納、取り出し時のボートへの衝撃による
発塵やウェーハの品質への悪影響を低減できる。さら
に、炉の設置スペース効率を向上させることができる。
さらにまた、ボート供給装置にシャッター機構を設ける
ことにより、ボート供給装置が設置されても熱処理炉が
設置されるクリーンルームのクリーン度を保つことがで
きる。
も、ボートの収納、取り出し時のボートへの衝撃による
発塵やウェーハの品質への悪影響を低減できる。さら
に、炉の設置スペース効率を向上させることができる。
さらにまた、ボート供給装置にシャッター機構を設ける
ことにより、ボート供給装置が設置されても熱処理炉が
設置されるクリーンルームのクリーン度を保つことがで
きる。
【図１】従来のボートの炉体への供給状態を示す説明
図。
図。
【図２】本発明に係わるボート供給装置の斜視図。
【図３】本発明に係わるボート供給装置に用いられる摺
動機構の側面図。
動機構の側面図。
【図４】本発明に係わるボート供給装置におけるボート
の炉体への供給状態を示す説明図。
の炉体への供給状態を示す説明図。
【図５】本発明に係る他の実施の形態のボート供給装置
の概略図。
の概略図。
１ ボート供給装置 ２ 支柱 ３ 昇降機構 ４ 昇降部材 ５ スクリューシャフト ６ サーボモータ ７ コントローラ ８ ペンダントスイッチ ９ アーム １０ 摺動機構 １１ 支持部 １２ 貫通孔 １３ 係止部 １４ 受皿ホルダー １４ａ 前端部 １５ 摺動棒 １６ ボート受皿 １６ａ 前端部 １７ 脚部 １８ 半導体ウェーハ １９ ボート １９ａ 前端部 １９ｂ 把手部 ２０ 脚部 ２１ 炉体 ２１ａ 前面部 ２２ 熱処理炉 ２３ 炉床 ３０ 熱処理炉 ３１ ボート供給装置 ３２ 昇降機構 ３３ アーム ３４ ローラ ３５ シャッタ機構 ４０ 半導体ウェーハ ４１ ボート ４２ ボート受皿 ４３ 熱処理炉 ４４ 炉体 ４５ 炉床 Ａ、Ｃ、Ｈ 間隙 Ｇ 重心 θ 角度
Claims (6)
- 【請求項１】 モータにより駆動される昇降機構と、こ
の昇降機構より炉体に対応する所定の位置に昇降される
受皿ホルダと、この受皿ホルダに載置され半導体ウェー
ハ用のボートが摺動自在に載置されるボート受皿とを具
備し、このボート受皿は前記ボートが収納される炉体の
炉床と一定角度を有して炉体側に下り傾斜していること
を特徴とするボート供給装置。 - 【請求項２】 受皿ホルダは摺動機構を介し昇降機構に
取り付けられていることを特徴とする請求項１記載のボ
ート供給装置。 - 【請求項３】 ボートおよび炉体が石英ガラスであるこ
とを特徴とする請求項１記載のボート供給装置。 - 【請求項４】 一定角度が２度乃至３度であることを特
徴とする請求項１記載のボート供給装置。 - 【請求項５】 熱処理炉が設置されるクリーンルームと
ボート供給装置が設置されるメンテナンスルームを仕切
る隔壁に設けられた透孔を貫通し、昇降機構の一部を構
成するアームの動きに連動し、かつ前記透孔を常時閉塞
するシャッター機構を前記アームに取り付けたことを特
徴とする請求項１記載のボート供給装置。 - 【請求項６】 シャッター機構が複数のローラと、この
ローラに張設された平面状シャッターとで構成されるこ
とを特徴とする請求項１記載のボート供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30122197A JP3410344B2 (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | ボート供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30122197A JP3410344B2 (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | ボート供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11135513A true JPH11135513A (ja) | 1999-05-21 |
| JP3410344B2 JP3410344B2 (ja) | 2003-05-26 |
Family
ID=17894248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30122197A Expired - Fee Related JP3410344B2 (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | ボート供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3410344B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113479618A (zh) * | 2021-05-06 | 2021-10-08 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种上下料系统及半导体工艺设备 |
| KR102384690B1 (ko) * | 2020-10-28 | 2022-04-11 | 주식회사 한화 | 복수의 확산로용 기판 로딩 장치 |
| CN115056369A (zh) * | 2022-07-23 | 2022-09-16 | 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司 | 一种半导体扩散炉石英支架及其精密定位装置 |
| KR20230101449A (ko) * | 2021-12-29 | 2023-07-06 | 주식회사 한화 | 확산로용 기판 이송 장치 |
-
1997
- 1997-10-31 JP JP30122197A patent/JP3410344B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102384690B1 (ko) * | 2020-10-28 | 2022-04-11 | 주식회사 한화 | 복수의 확산로용 기판 로딩 장치 |
| WO2022092822A1 (ko) * | 2020-10-28 | 2022-05-05 | 주식회사 한화 | 복수의 확산로용 기판 로딩 장치 |
| CN113479618A (zh) * | 2021-05-06 | 2021-10-08 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种上下料系统及半导体工艺设备 |
| CN113479618B (zh) * | 2021-05-06 | 2023-08-18 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种上下料系统及半导体工艺设备 |
| KR20230101449A (ko) * | 2021-12-29 | 2023-07-06 | 주식회사 한화 | 확산로용 기판 이송 장치 |
| CN115056369A (zh) * | 2022-07-23 | 2022-09-16 | 盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司 | 一种半导体扩散炉石英支架及其精密定位装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3410344B2 (ja) | 2003-05-26 |
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