CN113479618A - 一种上下料系统及半导体工艺设备 - Google Patents

Abstract

一种上下料系统及半导体工艺设备，用于驱动半导体工艺设备的石英舟进出反应腔室，上下料系统包括机械手、安装架、传动组件和运输组件；其中，传动组件设于安装架上，运输组件驱动连接于传动组件；机械手能够前后伸缩和上下运动，用于将石英舟放置于运输组件；运输组件用于在传动组件的驱动下沿竖直方向和水平方向运动，以驱动石英舟进出对应的反应腔室。本发明涉及的上下料系统，通过传动组件进行水平运动和竖直运动，以使运输组件驱动石英舟同步运动，避免多个推拉舟间隙较小造成石英舟和机械手损坏的问题，且制造成本较低。

Description

一种上下料系统及半导体工艺设备

技术领域

本发明属于半导体技术领域，更具体地，涉及一种上下料系统及半导体工艺设备。

背景技术

卧式扩散炉用于在P型硅衬底表面进行掺杂制备PN结，是晶体硅光伏电池生产工艺中的关键工艺设备。自动上下料系统是卧式扩散炉的核心部件之一，主要用于将装载有硅片的石英舟送入炉管内开展工艺，待反应完成后将硅片输送回原位，实现设备的高度自动化。

当前的扩散炉设备具有五个反应腔室，如图1所示，现有的一种上下料系统包括一组上下料部件和五组推拉舟部件，其中，上下料部件包括机械手固定架1和机械手2，用于抬起石英舟8做上下运动和前后运动以运送至推拉舟部件；推拉舟部件包括带传动系统41、悬臂承载机构101和悬臂SIC桨7，悬臂承载机构101通过带传动系统41和悬臂SIC桨7将石英舟8运送至设备内部的反应腔室中进行工艺；每组推拉舟部件负责一个反应腔室的工艺，推拉舟部件相互独立，结构较为复杂；而由于设备尺寸的限制，推拉舟部件之间的间距较小，上下料部件在运送石英舟8时容易与推拉舟发生碰撞，造成机械手2和石英舟8的损坏；同时，当前的自动上下料系统结构简单、每个炉管对应一个推拉舟部件，整个自动上下料系统自动化程度不高，其生产成本和维护成本较高。

因此，急需设计一种新型的自动上下料系统，用于解决当前自动上下料系统成本高以及推拉舟间隙较小易造成石英舟和机械手损坏的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种上下料系统及半导体工艺设备，用于解决当前自动上下料系统成本高以及推拉舟间隙较小易造成石英舟和机械手损坏的问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种上下料系统，用于驱动半导体工艺设备的石英舟进出反应腔室，所述上下料系统包括机械手、安装架传动组件和运输组件；其中，

所述传动组件设于所述安装架上，所述运输组件驱动连接于所述传动组件；

所述机械手能够前后伸缩和上下运动，用于将所述石英舟放置于所述运输组件；

所述运输组件用于在所述传动组件的驱动下沿竖直方向和水平方向运动，以驱动所述石英舟进出对应的所述反应腔室。

优选地，所述传动组件包括一对水平传动组件和竖直传动组件；其中，

一对所述水平传动组件平行设置设于所述安装架的上端和下端，所述竖直传动组件的两端分别连接于一对所述水平传动组件，且竖直传动组件能够在所述水平传动组件的带动下沿水平方向运动。

优选地，所述运输组件包括舟头和悬臂；其中，

所述舟头设于所述竖直传动组件上，且能够在所述竖直传动组件的带动下沿竖直方向运动；

所述悬臂SIC桨设于所述舟头上，用于承载所述石英舟。

优选地，还包括控制器、机械手固定架和电缸组件，所述机械手固定架与所述安装架平行，所述电缸组件设于所述机械手固定架上，所述机械手设于所述电缸组件上，所述控制器用于控制所述电缸组件运转以驱动所述机械手上下运动和前后伸缩。

优选地，所述水平传动组件包括带传动系统、滑动安装板和电机组件；其中，

所述竖直传动组件连接于所述滑动安装板，所述电机组件用于驱动所述带传动系统运转以带动所述滑动安装板沿水平方向运动。

优选地，所述带传动组件包括水平支架、同步带、一对同步带轮和一对同步带轮轴；其中，所述水平支架连接于所述安装架，所述同步带通过一对所述同步带轮和一对所述同步带轮轴传动连接于所述水平支架上，所述滑动安装板连接于所述同步带，所述电机组件用于驱动所述同步带轮轴转动，以使所述同步带驱动所述滑动安装板沿水平方向运动。

优选地，所述竖直传动组件包括竖直支架、舟头安装板、电机、和一对直线导轨；其中，

所述竖直支架的两端分别连接于一对所述水平传动组件的所述滑动安装板上；

所述竖直支架上设有安装槽，一对所述直线导轨沿竖直方向设于所述安装槽内；

所述舟头安装板滑动连接于一对所述直线导轨，用于安装所述舟头；

所述电机设于所述舟头安装板上，所述电机用于驱动所述舟头安装板沿一对所述直线导轨运动。

优选地，所述竖直传动组件还包括齿轮齿条装置，所述齿轮齿条装置设于一对所述直线导轨之间，所述齿轮齿条装置的齿条与所述直线导轨平行，所述电机的输出端穿过所述舟头安装板连接于所述齿轮齿条装置的齿轮，所述电机用于驱动所述齿轮沿所述齿条运动，从而带动所述舟头安装板沿所述直线导轨运动。

优选地，还包括重力补偿装置，所述重力补偿装置设于所述水平传动组件上，且驱动连接于舟头。

优选地，所述重力补偿装置包括气源、无杆气缸、溢流阀和换向阀；其中，

所述无杆气缸的两端分别连接于一对所述水平传动组件上，且与所述竖直传动组件平行；

所述舟头连接于所述无杆气缸，所述无杆气缸在所述气源的作用下驱动所述舟头沿竖直方向运动；

所述溢流阀与所述换向阀设于所述气源与所述无杆气缸之间。

优选地，所述舟头包括调整机构、舟头本体和固定板；其中，

所述固定板连接于所述舟头安装板和所述无杆气缸，所述舟头本体的一侧连接于所述固定板上，所述调整机构设于所述舟头本体靠近所述固定板的一侧，所述悬臂贯穿所属调整机构连接所述舟头本体。

优选地，所述舟头本体包括前转接板、后转接板、多个加强筋板和舟头转接板；其中，

所述前转接板和所述后转接板相对设置，多个所述加强筋板的两端分别连接于所述前转接板和所述后转接板的边缘；

所述固定板的两端分别通过舟头转接板连接于所述前转接板和所述后转接板的侧面；

所述调整机构设于所述前转接板上，且所述调整机构、所述前转接板和所述后转接板设有相对设置的通孔，用于连接所述悬臂。

优选地，所述调整机构包括水平调节底板、竖直导向块、竖直调节板和水平导向块；其中，

所述水平调节底板设于所述前转接板上，所述水平导向块设于所述竖直调节板的顶端；

所述竖直导向块设于所述水平调节底板上，所述竖直导向块设于所述竖直调节板的两侧；

所述竖直调节板和所述水平调节底板上对应所述前转接板的通孔位置设有供所述悬臂贯穿的通孔，且所述水平调节底板和所述竖直调节板上分别设有多个用于调节所述悬臂水平位置和竖直位置的调节孔。

本发明还提供一种半导体工艺设备，包括上述的上下料系统。

本发明涉及的上下料系统，用于驱动半导体工艺设备的石英舟进出反应腔室，上下料系统包括机械手、安装架、传动组件和运输组件；其中，传动组件设于安装架上，输组件驱动连接于传动组件；机械手能够前后伸缩和上下运动，用于将石英舟放置于运输组件；运输组件用于在传动组件的驱动下沿竖直方向和水平方向运动，以驱动石英舟进出对应的反应腔室。这样，通过传动组件驱动运输组件进行水平运动和竖直运动，以使运输组件驱动石英舟同步运动，可以实现石英舟进出对应的反应腔室，且只通过一组传动组件就可以实现石英舟进出多个反应腔室，避免多个推拉舟间隙较小容易造成石英舟和机械手损坏的问题，且制造成本较低。

本发明的其它特征和优点将在随后具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

通过结合附图对本发明示例性实施方式进行更详细的描述，本发明的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，其中，在本发明示例性实施方式中，相同的参考标号通常代表相同部件。

图1示出了现有技术的上下料系统的结构示意图；

图2示出了根据本发明的示例性实施例的上下料系统的结构示意图；

图3示出了根据本发明的示例性实施例的上下料系统中水平传动组件的结构示意图；

图4示出了根据本发明的示例性实施例的上下料系统中水平传动组件的带传动系统的结构示意图；

图5示出了根据本发明的示例性实施例的上下料系统中竖直传动组件的俯视图；

图6示出了根据本发明的示例性实施例的上下料系统中舟头的结构示意图；

图7示出了根据本发明的示例性实施例的上下料系统中舟头与重力补偿装置的连接结构示意图；

图8示出了根据本发明的示例性实施例的上下料系统中重力补偿装置的原理图。

附图标记说明：

1、机械手固定架，2、机械手，3、安装架，4、水平传动组件，41、带传动系统，411、水平支架，412、同步带，413、同步带轮，42、滑动安装板，43、电机组件，5、竖直传动组件，51、竖直支架，52、舟头安装板，53、电机，54、直线导轨，55、齿轮齿条装置，6、舟头，61、调整机构，611、水平调节底板，612、竖直导向块，613、竖直调节板，614、水平导向块，62、舟头本体，621、前转接板，622、后转接板，623、加强筋板，624、舟头转接板，63、固定板，7、悬臂，8、石英舟，9、重力补偿装置，91、气源，92、气缸，93、溢流阀，94、换向阀；

101、悬臂承载机构。

具体实施方式

下面将更详细地描述本发明的优选实施方式。虽然以下描述了本发明的优选实施方式，然而应该理解，可以以各种形式实现本发明而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了使本发明更加透彻和完整，并且能够将本发明的范围完整地传达给本领域的技术人员。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

为解决现有技术存在的问题，如图2至图8所示，本发明提供了一种上下料系统，用于驱动石英舟8进出反应腔室，如图2所示的上下料系统的结构示意图，该上下料系统包括机械手2、安装架3、传动组件和运输组件；其中，

传动组件设于安装架3上，运输组件驱动连接于传动组件；

机械手2能够前后伸缩和上下运动，用于将石英舟8放置于运输组件；

运输组件用于在传动组件的驱动下沿竖直方向和水平方向运动，以驱动石英舟8进出对应的反应腔室。

本发明涉及的上下料系统，通过传动组件进行水平运动和竖直运动，以使运输组件驱动石英舟8同步运动，仅通过一组传动组件驱动运输组件就可以实现石英舟进出对应的反应腔室，避免多个推拉舟间隙较小容易造成石英舟8和机械手2损坏的问题，且制造成本较低。

具体地，传动组件包括一对水平传动组件4、和竖直传动组件5；其中，

一对水平传动组件4平行设置安装架3的上端和下端，竖直传动组件5的两端分别连接于一对水平传动组件4，且竖直传动组件5能够在水平传动组件4的带动下沿水平方向运动。

运输组件包括舟头6和悬臂7；其中，

舟头6设于竖直传动组件5上，能够在竖直传动组件5的带动下沿竖直方向运动；

悬臂7设于舟头6，用于承载石英舟8。悬臂7设于舟头6朝向反应腔室的一端，用于将石英舟8运输至反应腔室，反应腔室沿竖直方向设有多个，悬臂7在竖直传动组件5的带动下能够升降至相对应的反应腔室，并在水平传动组件4的带动下向反应腔室移动或返回。

上下料系统还包括控制器(图2-图8未示出)、机械手固定架1和电缸组件，机械手固定架1与安装架3平行，电缸组件设于机械手固定架1上，机械手2设于电缸组件上，控制器用于控制电缸组件运转以驱动机械手2上下运动和前后伸缩。电缸组件为现有产品，能够将驱动电机的旋转运动转换为直线运动，具体结构不再赘述。电缸组件竖直安装于机械手固定架1上，机械手2固定于电缸组件的可动部件上，且朝向安装架3，用于将石英舟8放置于悬臂7上。

机械手2包括一对伸缩臂和托举梁，托举梁连接于一对伸缩臂的伸缩端，控制器控制伸缩端的伸缩，托举梁用于托举石英舟8。机械手2为现有产品，伸缩臂为常见的伸缩方式，如伸缩杆，伸缩臂的伸缩端由常见的驱动装置驱动，如液压缸、气缸或电缸等，机械手固定架1为框型结构，电缸组件为一对，分别设于机械手固定架1的两端，每个电缸组件驱动连接于机械手2的一个伸缩臂，且同步运转，从而带动机械手2的一对伸缩臂上下运动。值得说明的是，机械手2托举石英舟8的过程为现有技术，具体结构和原理不再赘述。

如图3水平传动组件的结构示意图，水平传动组件4包括带传动系统41、滑动安装板42和电机组件43；其中，

竖直传动组件5连接于滑动安装板42，电机组件43用于驱动带传动系统41运转以带动滑动安装板42沿水平方向运动。滑动安装板42用于连接竖直传动组件5，以实现舟头6的水平运动。

如图4所示的带传动系统的结构示意图，带传动系统41包括水平支架411、同步带412、一对同步带轮413和一对同步带轮413轴；其中，

水平支架411通过螺钉连接于安装架3，同步带412通过一对同步带轮413和一对同步带轮413轴传动连接于水平支架411上，滑动安装板42连接于同步带411；

电机组件43用于驱动同步带轮413轴转动，以使同步带412驱动滑动安装板42沿水平方向运动。

滑动安装板42通过螺钉连接于同步带412。同步带412通过电机组件43驱动带动滑动安装板42沿水平方向左右运动，从而带动竖直传动组件5水平运动。

一对水平传动组件4与安装架3形成框型结构，一对水平转动组件4相互平行设于水平方向，且一端朝向反应腔室，竖直传动组件5沿水平传动组件4运动，使舟头6带动石英舟8进出反应腔室。水平支架411由铝合金制成。

如图5所示的竖直传动组件的俯视图，竖直传动组件5包括竖直支架51、舟头安装板52、电机53、和一对直线导轨54；其中，

竖直支架51的两端分别连接于一对水平传动组件4的滑动安装板42上；

竖直支架51上设有安装槽，一对直线导轨54通过螺钉沿竖直方向设于安装槽内；

舟头安装板52滑动连接于一对直线导轨54，且用于安装舟头6；

电机53设于舟头安装板52上，电机53用于驱动舟头安装板52沿一对直线导轨54运动。

其中，舟头安装板52上设有通孔和螺纹孔，螺纹孔用于连接于电机53，通孔用于安装滑块，滑块滑动连接于直线导轨54。

竖直传动组件5还包括齿轮齿条装置55，齿轮齿条装置55设于一对直线导轨54之间，齿轮齿条装置55的齿条与直线导轨54平行，电机53的输出端穿过舟头安装板52连接于齿轮齿条装置55的齿轮，电机53用于驱动齿轮沿齿条运动，从而带动舟头安装板52沿齿条和一对直线导轨54运动。

齿条通过螺钉连接于安装槽内，齿轮齿条装置55中的齿轮为斜齿轮。齿轮通过键固定于电机53的输出轴上且与齿条啮合连接，将电机53的旋转运动转为直线运动，为竖直传动组件5提供动力，从而实现带动舟头6和悬臂7及石英舟8上下运动。

本实施例中，还包括重力补偿装置9，重力补偿装置9设于水平传动组件4上，且驱动连接于舟头6。

如图7所示的舟头与重力补偿装置的连接结构示意图，重力补偿装置9包括气源91、无杆气缸92、溢流阀93和换向阀94；其中，

无杆气缸92的两端通过螺钉分别连接于一对水平传动组件4上，且与竖直传动组件5平行；

舟头6通过螺钉连接于无杆气缸92，无杆气缸92在气源91的作用下驱动舟头6沿竖直方向运动；

溢流阀93与换向阀94设于气源91与无杆气缸92之间。

硅片尺寸及单个炉管批次装片量的提高导致负载重量大幅增加，相应的电机和减速机规格会随着负载的增加而提高，竖直传动组件5设于舟头6连接悬臂7的一端，重力补偿装置9设于舟头6的另一端，重力补偿装置9可以抵消部分舟头6及负载的重力作用，因此可以选用小规格的电机和减速机驱动负载运动。如图8所示的重力补偿装置的原理图，重力补偿装置9的气源91驱动无杆气缸92带动舟头6做竖直方向的直线运动，与竖直传动组件5协同动作驱动舟头6、悬臂7及石英舟8竖直上升及下降，当竖直传动组件5突然失效时，溢流阀93可以防止无杆气缸92突然下降，从而有效保护悬臂7和石英舟8，避免设备损坏，换向阀94用于更换无杆气缸92的驱动方向，可以通过控制器控制溢流阀93和换向阀94的开关。

如图6所示的舟头的结构示意图，舟头6包括调整机构61、舟头本体62和固定板63；其中，固定板63连接于舟头安装板52和无杆气缸92，舟头本体62的一侧通过螺钉连接于固定板63上，调整机构61设于舟头本体62靠近固定板63的一侧，悬臂7贯穿调整机构61连接于舟头本体62。

舟头本体62包括前转接板621、后转接板622、多个加强筋板623和舟头转接板624；其中，

前转接板621和后转接板622相对设置，多个加强筋板623的两端分别连接于前转接板621和后转接板622的边缘；

固定板63的两端分别通过舟头转接板624连接于前转接板621和后转接板622的侧面；

调整机构61设于前转接板621上，且调整机构61、前转接板621和后转接板622设有相对设置的通孔，用于连接于悬臂7。调整机构61用于安装悬臂7，以承载石英舟8，同时可以调节其固定位置。

调整机构61包括水平调节底板611、竖直导向块612、竖直调节板613和水平导向块614；其中，

水平调节底板611设于前转接板621上，水平导向块614设于水平调节底板611的顶端；

竖直调节板613通过螺钉设于水平调节底板611上，竖直导向块612设于竖直调节板613的两侧；

竖直调节板613和水平调节底板611上对应前转接板621的通孔位置设有供悬臂7贯穿的通孔，且水平调节底板611和竖直调节板613上分别设有多个用于调节悬臂7水平位置和竖直位置的调节孔。

通过竖直调节板613的调节孔可以调节悬臂7竖直方向的位置，通过水平调节底板611的调节孔可以调节悬臂7在水平方向的位置。本实施例中，水平调节底板611和竖直调节板613上的调节孔为长圆孔，竖直调节板613的上具有半圆孔，水平调节底板611具有圆形通孔，与长圆孔共同作用以配合悬臂7的插接，通过调节半圆孔、圆形通孔与长圆孔之间的位置关系，能够对悬臂7的水平位置和竖直位置进行调节，且调节过程为自适应调节过程。值得说明书的是，在其他实施例中，调节孔的形状、尺寸等可以根据需求而设计，并不局限于本实施例。

使用本发明涉及的上下料系统的过程如下：

整个自动上下料系统仅包含一个舟头6和悬臂SIC桨7，负责五个反应腔室的进出石英舟8：在机械手2上放置承载待加工硅片的装置，即石英舟8，控制器控制机械手2运动至指定位置并向前伸出，将石英舟8放置在悬臂7上，然后控制器控制竖直传动组件5带动舟头6、悬臂7及石英舟8进行上下运动，运动至与对应反应腔室高度相同的位置后，控制器控制水平传动组件4运转带动竖直传动组件5、舟头6、悬臂7及石英舟8向其对应的反应腔室进行运动，悬臂7伸入反应腔室并将石英舟8放置到反应腔室内，运动过程结束。取出石英舟8的过程同理。

本发明还提供一种半导体工艺设备，包括上述的上下料系统。

以上已经描述了本发明的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。

Claims (14)

1.一种上下料系统，用于驱动半导体工艺设备的石英舟(8)进出反应腔室，其特征在于，所述上下料系统包括机械手(2)、安装架(3)、传动组件和运输组件；其中，

所述传动组件设于所述安装架(3)上，所述运输组件驱动连接于所述传动组件；

所述机械手(2)能够前后伸缩和上下运动，用于将所述石英舟(8)放置于所述运输组件；

所述运输组件用于在所述传动组件的驱动下沿竖直方向和水平方向运动，以驱动所述石英舟进出对应的所述反应腔室。

2.根据权利要求1所述的上下料系统，其特征在于，所述传动组件包括一对水平传动组件(4)和竖直传动组件(5)；其中，

一对所述水平传动组件(4)平行设置于所述安装架(3)的上端和下端，所述竖直传动组件(5)的两端分别连接于一对所述水平传动组件(4)，且所述竖直传动组件(5)能够在所述水平传动组件(4)的带动下沿水平方向运动。

3.根据权利要求2所述的上下料系统，其特征在于，所述运输组件包括舟头(6)和悬臂(7)；其中，

所述舟头(6)设于所述竖直传动组件(5)上，且能够在所述竖直传动组件(5)的带动下沿竖直方向运动；

所述悬臂(7)设于所述舟头(6)上，用于承载所述石英舟(8)。

4.根据权利要求1所述的上下料系统，其特征在于，还包括控制器、机械手固定架(1)和电缸组件，所述机械手固定架(1)与所述安装架(3)平行，所述电缸组件设于所述机械手固定架(1)上，所述机械手(2)设于所述电缸组件上，所述控制器用于控制所述电缸组件运转以驱动所述机械手(2)上下运动和前后伸缩。

5.根据权利要求3所述的上下料系统，其特征在于，所述水平传动组件(4)包括带传动系统(41)、滑动安装板(42)和电机组件(43)；其中，

所述竖直传动组件(5)连接于所述滑动安装板(42)，所述电机组件(43)用于驱动所述带传动系统(41)运转以带动所述滑动安装板(42)沿水平方向运动。

6.根据权利要求5所述的上下料系统，其特征在于，所述带传动组件(41)包括水平支架(411)、同步带(412)、一对同步带轮(413)和一对同步带轮轴(414)；其中，

所述水平支架(411)连接于所述安装架(3)，所述同步带(412)通过一对所述同步带轮(413)和一对所述同步带轮轴(414)传动连接于所述水平支架(411)上，所述滑动安装板(42)连接于所述同步带(411)；

所述电机组件(43)用于驱动所述同步带轮轴(414)转动，以使所述同步带(412)驱动所述滑动安装板(42)沿水平方向运动。

7.根据权利要求5所述的上下料系统，其特征在于，所述竖直传动组件(5)包括竖直支架(51)、舟头安装板(52)、电机(53)、和一对直线导轨(54)；其中，

所述竖直支架(51)的两端分别连接于一对所述水平传动组件(4)的所述滑动安装板(42)上；

所述竖直支架(51)上设有安装槽，一对所述直线导轨(54)沿竖直方向设于所述安装槽内；

所述舟头安装板(52)滑动连接于一对所述直线导轨(54)，用于安装所述舟头(6)；

所述电机(53)设于所述舟头安装板(52)上，所述电机(53)用于驱动所述舟头安装板(52)沿一对所述直线导轨(54)运动。

8.根据权利要求7所述的上下料系统，其特征在于，所述竖直传动组件(5)还包括齿轮齿条装置(55)，所述齿轮齿条装置(55)设于一对所述直线导轨(54)之间，所述齿轮齿条装置(55)的齿条与所述直线导轨(54)平行，所述电机(53)的输出端穿过所述舟头安装板(52)连接于所述齿轮齿条装置(55)的齿轮，所述电机(53)用于驱动所述齿轮沿所述齿条运动，从而带动所述舟头安装板(52)沿所述直线导轨(54)运动。

9.根据权利要求3所述的上下料系统，其特征在于，还包括重力补偿装置(9)，所述重力补偿装置(9)设于所述水平传动组件(4)上，且驱动连接于舟头(6)。

10.根据权利要求9所述的上下料系统，其特征在于，所述重力补偿装置(9)包括气源(91)、无杆气缸(92)、溢流阀(93)和换向阀(94)；

所述无杆气缸(92)的两端分别连接于一对所述水平传动组件(4)上，且与所述竖直传动组件平行；

所述舟头(6)连接于所述无杆气缸(92)，所述无杆气缸(92)在所述气源(91)的作用下驱动所述舟头(6)沿竖直方向运动；

所述溢流阀(93)与所述换向阀(94)设于所述气源(91)与所述无杆气缸(92)之间。

11.根据权利要求10所述的上下料系统，其特征在于，所述舟头(6)包括调整机构(61)、舟头本体(62)和固定板(63)；其中，

所述固定板(63)连接于所述舟头安装板(52)和所述无杆气缸(92)，所述舟头本体(62)的一侧连接于所述固定板(63)上，所述调整机构(61)设于所述舟头本体(62)靠近所述固定板(63)的一侧，所述悬臂(7)贯穿所述调整机构(61)连接于所述舟头本体(62)。

12.根据权利要求11所述的上下料系统，其特征在于，所述舟头本体(62)包括前转接板(621)、后转接板(622)、多个加强筋板(623)和舟头转接板(624)；其中，

所述前转接板(621)和所述后转接板(622)相对设置，多个所述加强筋板(623)的两端分别连接于所述前转接板(621)和所述后转接板(622)的边缘；

所述固定板(63)的两端分别通过舟头转接板(624)连接于所述前转接板(621)和所述后转接板(622)的侧面；

所述调整机构(61)设于所述前转接板(621)上，且所述调整机构(61)、所述前转接板(621)和所述后转接板(622)设有相对设置的通孔，用于连接所述悬臂。

13.根据权利要求12所述的上下料系统，其特征在于，所述调整机构(61)包括水平调节底板(611)、竖直导向块(612)、竖直调节板(613)和水平导向块(614)；其中，

所述水平调节底板(611)设于所述前转接板(621)上，所述水平导向块(614)设于所述水平调节底板(611)的顶端；

所述竖直调节板(613)设于所述水平调节底板(611)上，所述竖直导向块(612)设于所述竖直调节板(613)的两侧；

所述竖直调节板(613)和所述水平调节底板(611)上对应所述前转接板(621)的通孔位置设有供所述悬臂(7)贯穿的通孔，且所述水平调节底板(611)和所述竖直调节板(613)上分别设有多个用于调节所述悬臂(7)水平位置和竖直位置的调节孔。

14.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括根据权利要求1-13中任一项所述的上下料系统。

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