CN213054822U - 一种半导体制造用的机械手臂 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体为一种半导体制造用的机械手臂，包括有底座和设在底座顶部的升降装置，升降装置滑动连接有夹持组件，夹持组件包括有安装板和第一丝杆，第一丝杆与安装板固定连接，第一丝杆连接有夹爪装置，每一夹爪装置包括有滑动板、夹爪和螺母，滑动板与安装板滑动连接，滑动板通过螺母与第一丝杆螺旋连接，滑动板设有第一电机，第一电机连接有主动齿轮，主动齿轮啮合连接有从动齿轮，从动齿轮与螺母固定连接；本实用新型由第一电机驱动主动齿轮和从动齿轮转动，使得螺母在丝杆外壁上下滑动，进而带动夹爪上下滑动，每一夹爪都由一个对应的第一电机驱动，使得各夹爪之间的间距可任意调节。

Description

一种半导体制造用的机械手臂

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体为一种半导体制造用的机械手臂。

背景技术

在将单晶硅加工过程棒状后，还需要根据需求将单晶硅棒切段或切片，切割后，将需要处理的晶片从大气环境中逐步传送到反应腔室内进行工艺处理，通常情况下，这一传送过程要依靠一系列大气设备和真空设备等组成的晶片传输系统来完成。现有的半导体加工设备主要包括多个功能腔室，例如装载腔室、传输腔室和工艺腔室等等，晶片在这些功能腔室之间的传输主要依靠机械手来完成；

同行业现有技术多为采用多指固定式搬运机械手，但是多指固定式搬运机械手并不能适应不同层间距片盒之间的搬运。

基于此，本实用新型设计了一种半导体制造用的机械手臂，以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体制造用的机械手臂，用于以解决上述技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体制造用的机械手臂，包括有底座和设置在底座顶部的升降装置，所述底座与升降装置滑动连接，所述升降装置滑动连接有夹持组件，所述夹持组件包括有安装板和第一丝杆，所述第一丝杆与安装板固定连接，所述第一丝杆外壁螺旋连接有复数个夹爪装置，每一所述夹爪装置包括有滑动板、夹爪和螺母，所述滑动板与安装板滑动连接，所述螺母与滑动板转动连接，所述滑动板通过螺母与第一丝杆螺旋连接，所述滑动板顶部设置有第一电机，所述第一电机输出端贯穿滑动板连接有主动齿轮，所述主动齿轮外壁啮合连接有从动齿轮，所述从动齿轮与螺母固定连接，所述夹爪设置在滑动板远离安装板的一侧。

优选的，所述夹住的上下两端均设置有防止晶片刮伤的尼龙垫。

优选的，所述第一丝杆的上下两端均通过键条与安装板固定连接。

优选的，所述升降装置包括有机架以及设置在机架上的第二导轨，所述第二导轨滑动连接有第二滑块，所述安装板与第二滑块固定连接，所述机架转动连接有第三丝杆，所述第三丝杆上端贯穿机架连接有第三电机，所述第三丝杆与安装板螺旋连接。

优选的，所述底座上设置有第一导轨，所述第一导轨滑动连接有第一滑块，所述升降装置与第一滑块固定连接，所述底座顶部设置有第二丝杆，所述第二丝杆的两端通过轴承座固定在底座顶部，所述第二丝杆的一端贯穿轴承座连接有第二电机，所述机架与第二丝杆螺旋连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型由第一电机驱动主动齿轮和从动齿轮转动，使得螺母在丝杆外壁上下滑动，进而带动夹爪上下滑动，每一夹爪都由一个对应的第一电机驱动，使得各夹爪之间的间距可任意调节，能够适应不同层间距片盒之间的搬运。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型底座底座图；

图3为本实用新型升降装置结构示意图；

图4为本实用新型夹持组件结构示意图；

图5为本实用新型夹爪装置结构示意图；

图6为图5中A处局部放大图；

图7为图5中B处局部放大图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、底座；2、升降装置；3、夹持组件；4、安装板；5、第一丝杆；6、夹爪装置；7、滑动板；8、夹爪；9、螺母；10、第一电机；11、主动齿轮；12、从动齿轮；13、尼龙垫；14、键条；15、第一导轨；16、第一滑块；17、第二丝杆；18、第二电机；19、机架；20、第二导轨；21、第二滑块；22、第三丝杆；23、第三电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

请参阅图1-7，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体制造用的机械手臂，包括有底座1和设置在底座1顶部的升降装置2，底座1与升降装置2滑动连接，升降装置2滑动连接有夹持组件3，夹持组件3包括有安装板4和第一丝杆5，第一丝杆5与安装板4固定连接，第一丝杆5外壁螺旋连接有复数个夹爪装置6，每一夹爪装置6包括有滑动板7、夹爪8和螺母9，滑动板7与安装板4滑动连接，螺母9与滑动板7转动连接，滑动板7通过螺母9与第一丝杆5螺旋连接，滑动板7顶部设置有第一电机10，第一电机10输出端贯穿滑动板7连接有主动齿轮11，主动齿轮11外壁啮合连接有从动齿轮12，从动齿轮12与螺母9固定连接，夹爪8设置在滑动板7远离安装板4的一侧。

具体的，夹爪8的上下两端均设置有防止晶片刮伤的尼龙垫13；通过设置尼龙垫13防止夹爪8与切割后的晶片直接接触，造成晶片表面的划伤。

具体的，第一丝杆5的上下两端均通过键条14与安装板4固定连接；通过键条14固定第一丝杆5，限制第一丝杆5的转动，防止在螺母9的带动下，第一丝杆5跟随螺母9转动。

具体的，升降装置2包括有机架19以及设置在机架19上的第二导轨20，第二导轨20滑动连接有第二滑块21，安装板4与第二滑块21固定连接，机架19转动连接有第三丝杆22，第三丝杆22上端贯穿机架19连接有第三电机23，第三丝杆22与安装板4螺旋连接。

具体的，底座1上设置有第一导轨15，第一导轨15滑动连接有第一滑块16，升降装置2与第一滑块16固定连接，底座1顶部设置有第二丝杆17，第二丝杆17的两端通过轴承座固定在底座1顶部，第二丝杆17的一端贯穿轴承座连接有第二电机18，机架19与第二丝杆17螺旋连接。

本实施例的一个具体应用为：在本实用新型中，第二电机18转动带动第二丝杆17转动，因为第二丝杆17与机架19螺旋连接，因此，在第二丝杆17转动时，机架19带动第一滑块16在第一导轨15上滑动，实现升降装置2在水平方向的移动；

第三电机23转动带动第三丝杆22转动，因为第三丝杆22与安装板4螺旋连接，因此，在第三丝杆22转动时，安装板4带动第二滑块21在第二导轨20上滑动，实现夹持组件3在竖直方向的移动；

当需要调节各夹爪8之间的间距时，启动对应第一电机10，第一电机10带动对应的主动齿轮11转动，进而带动从动齿轮12转动，通过从动齿轮12的转动带动螺母9转动，由于第一丝杆5固定在安装板4上，因此，在螺母9转动的同时，螺母9在第一丝杆5外壁上下滑动，通过螺母9在第一丝杆5外壁的上下滑动带动滑动板7在安装板4内上下滑动，进而带动夹爪8上下移动；依次调节各夹爪8之间的间距，以便相邻的夹爪8之间的间距符合切割后晶片的尺寸。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (5)

1.一种半导体制造用的机械手臂，包括有底座(1)和设置在底座(1)顶部的升降装置(2)，其特征在于：所述底座(1)与升降装置(2)滑动连接，所述升降装置(2)滑动连接有夹持组件(3)，所述夹持组件(3)包括有安装板(4)和第一丝杆(5)，所述第一丝杆(5)与安装板(4)固定连接，所述第一丝杆(5)外壁螺旋连接有复数个夹爪装置(6)，每一所述夹爪装置(6)包括有滑动板(7)、夹爪(8)和螺母(9)，所述滑动板(7)与安装板(4)滑动连接，所述螺母(9)与滑动板(7)转动连接，所述滑动板(7)通过螺母(9)与第一丝杆(5)螺旋连接，所述滑动板(7)顶部设置有第一电机(10)，所述第一电机(10)输出端贯穿滑动板(7)连接有主动齿轮(11)，所述主动齿轮(11)外壁啮合连接有从动齿轮(12)，所述从动齿轮(12)与螺母(9)固定连接，所述夹爪(8)设置在滑动板(7)远离安装板(4)的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制造用的机械手臂，其特征在于：所述夹爪(8)的上下两端均设置有防止晶片刮伤的尼龙垫(13)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制造用的机械手臂，其特征在于：所述第一丝杆(5)的上下两端均通过键条(14)与安装板(4)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制造用的机械手臂，其特征在于：所述升降装置(2)包括有机架(19)以及设置在机架(19)上的第二导轨(20)，所述第二导轨(20)滑动连接有第二滑块(21)，所述安装板(4)与第二滑块(21)固定连接，所述机架(19)转动连接有第三丝杆(22)，所述第三丝杆(22)上端贯穿机架(19)连接有第三电机(23)，所述第三丝杆(22)与安装板(4)螺旋连接。

5.根据权利要求4所述的一种半导体制造用的机械手臂，其特征在于：所述底座(1)上设置有第一导轨(15)，所述第一导轨(15)滑动连接有第一滑块(16)，所述升降装置(2)与第一滑块(16)固定连接，所述底座(1)顶部设置有第二丝杆(17)，所述第二丝杆(17)的两端通过轴承座固定在底座(1)顶部，所述第二丝杆(17)的一端贯穿轴承座连接有第二电机(18)，所述机架(19)与第二丝杆(17)螺旋连接。

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