JPH11132187A - ファンフィルターユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ファンフィルターユニットにセンサーレスＤ
Ｃモーターで駆動するファンを複数台搭載しても、一旦
電源が投入された後、全てのファンが相互に干渉する風
圧の影響を受けずに短時間に安定して起動させることを
目的とする。 【解決手段】 センサーレスＤＣモーター３ａ、３ｂ、
３ｃ、３ｄにより駆動される４台のファン４ａ、４ｂ、
４ｃ、４ｄのケーシングの吹出口７に取り付けられた第
２のモーター８により駆動するダンパー９を、電源投入
後、ファン４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄが所定の目標回転数
ω２で回転するまで閉じておくことにより、各々のファ
ン４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄは、互いの風圧の影響を受け
ずに短時間で目標回転数ω２で駆動できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、センサーレスＤＣ
モーターによって駆動するファンをチャンバー内に複数
台搭載したクリーンルーム等で使用されるファンフィル
ターユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のファンフィルターユニッ
トに限らず、センサーレスＤＣモーターを複数台駆動さ
せる一般的な方法として、図１１〜１２に記載されたも
のが知られている。

【０００３】以下、そのファンフィルターユニットにつ
いて図１１、図１２、図１３および図１４のフローチャ
ートを参照しながら説明する。

【０００４】図１１および図１２に示すように、ファン
フィルターユニット１０１は、センサーレスＤＣモータ
ー１０２によって回転駆動されるファン１０３ａ、１０
３ｂ、１０３ｃ、１０３ｄと、各々のセンサーレスＤＣ
モーター１０２に電気的に接続された制御装置１０４
ａ、１０４ｂ、１０４ｃ、１０４ｄにより駆動制御さ
れ、汚れた空気を吸い込みチャンバー１０５に吹き出
し、チャンバー１０５につながる空気の塵を除去するフ
ィルター１０６に通すことにより空気をきれいにして連
通する清浄空間に吹き出す構成となっている。

【０００５】図１３に、ファン１０３ａ、１０３ｂ、１
０３ｃ、１０３ｄを駆動するセンサーレスＤＣモーター
１０２の一般的な回路ブロック図を示し、電源１０７を
ＡＣ−ＤＣコンバーター１０８で直流電圧に平滑しトラ
ンジスターで構成された三相フルブリッジインバーター
１０９で三相交流にＤＣ−ＡＣ変換してセンサーレスＤ
Ｃモーター１０２の巻き線１１０に電圧を印加してい
る。センサーレスＤＣモーター１０２の特徴として回転
しているローター（図示せず）の磁界が巻き線１１０を
通過することで巻き線１１０に誘起される誘起電圧をロ
ーター位置検出装置１１１で監視し、センサーレスＤＣ
モーター１０２のローター位置信号１１１ａをマイクロ
コンピューター１１２内部にあるローター位置検出手段
１１３に送りローターの位置を判断した後、処理手段１
１４でセンサーレスＤＣモーター１０２を駆動させる通
電パターンを作成し出力手段１１５に送り、出力手段１
１５ではそれに基づく駆動パターンを出力し、前記三相
フルブリッジインバーター１０９を駆動させて三相交流
を作り、巻き線１１０に三相交流を印加しセンサーレス
ＤＣモーター１０２を回転させている。

【０００６】ところが、センサーレスＤＣモーター１０
２を停止から起動させる際には、巻き線１１０に誘起電
圧が発生していないので、ローターの位置検出ができ
ず、次のような制御をおこなっている。

【０００７】すなわち、巻き線１１０に強制的に通電す
ることでローターを動かし、そのときに発生する微弱な
誘起電圧を監視することでマイクロコンピューター１１
２では次の三相フルブリッジインバーター１０９への通
電パターンを作成し出力することで、センサーレスＤＣ
モーター１０２を安定して起動し回転させていくのであ
る。

【０００８】上記のセンサーレスＤＣモーター１０２の
制御を一般的に、「起動時のローター位置決め制御」と
称しており、この制御技術はセンサーレスＤＣモーター
１０２を駆動させる上で非常に重要な技術であるが、起
動時にローターの動作を外乱により狂わされると「起動
時のローター位置決め制御」がうまくおこなえず、セン
サーレスＤＣモーター１０２の起動失敗が起こる要因と
なっていた。

【０００９】このような、センサーレスＤＣモーター１
０２によって複数台（本従来例では４台）のファン１０
３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ、１０３ｄを駆動させる場
合、マイクロコンピューター１１２とＡＣ−ＤＣコンバ
ーター１０８と三相フルブリッジインバーター１０９と
ローター位置検出装置１１１を備えた各々のファン１０
３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ、１０３ｄに備えられた各々
の制御装置１０４ａ、１０４ｂ、１０４ｃ、１０４ｄ間
で、モーターシャフトの精度や巻き線のターン数など、
部品精度のばらつきなどによる時間的なずれがあり、そ
の結果として各々のファン１０３ａ、１０３ｂ、１０３
ｃ、１０３ｄ間で起こる回転数のばらつきにより風圧の
差が生じ、ファン１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ、１０
３ｄの起動時、相互に風圧の影響を受け合い起動失敗が
起こりやすくなる。

【００１０】そこで、前記各々の制御装置１０４ａ、１
０４ｂ、１０４ｃ、１０４ｄでは、電源１０７の投入
時、ファン１０３ａ、１０３ｂ、１０３ｃ、１０３ｄの
起動時の相互に干渉する風圧の影響を受けにくくするた
めにマイクロコンピューター１１２で回転するのに最小
限必要な最低回転数ω１で一定時間Ｔ１駆動させた後、
所定の目標回転数ω２まで上昇させていた。

【００１１】上記一連の動作をマイクロコンピューター
１１２内部の動作として図１４のフローチャートに示
し、これに基づいて順に説明する。

【００１２】まず、電源１０７の投入時である第１ステ
ップ２０１よりマイクロコンピューター１１２の動作が
始まる。

【００１３】電源１０７が投入されると次の第２ステッ
プ２０２でＲＯＭテーブルより遅延時間Ｔ１の値とロー
ターが少々の外乱を受けても安定して回る最低回転数ω
１の値を取り出す。

【００１４】次の第３ステップ２０３で予め決められた
三相フルブリッジインバーター１０９への駆動パターン
をＲＯＭより呼び出し、出力手段１１５によって出力す
る。

【００１５】その後、第４ステップ２０４で、ローター
位置検出装置１１１より送られてきたローター位置信号
１１１ａをローター位置検出手段１１３に受けて、ロー
ターの位置を判断する。

【００１６】次に第５ステップ２０５では、その結果を
受けてローターの回転数が上がるように処理手段１１４
にて次の三相フルブリッジインバーター１０９の駆動パ
ターンを作成し出力手段１１５に送る。

【００１７】この駆動パターンを次の第６ステップ２０
６で出力手段１１５より出力する。その後、次の第７ス
テップ２０７で最低回転数ω１に達しているか否かを判
断し、最低回転数ω１になったと判断すると次の第８ス
テップ２０８でこの状態を維持するように三相フルブリ
ッジインバーター１０９への駆動パターンを出力手段１
１５より出力し続ける。

【００１８】次の第９ステップ２０９に進み遅延時間Ｔ
１だけ待機し、遅延時間Ｔ１がタイムアップすると第１
０ステップ２１０に進み、三相フルブリッジインバータ
ー１０９の駆動パターンを目標回転数ω２になるように
変化させていくこととなる。

【００１９】また、電源１０７の瞬断時には、センサー
レスＤＣモーター１０２を回す電力の蓄積がなくなった
時点でセンサーレスＤＣモーター１０２への通電が必然
的になくなり、ファン１０３は慣性で回り続けようとす
るが、ここにも各制御装置１０４ａ、１０４ｂ、１０４
ｃ、１０４ｄ間で時間的ずれがあり、例えばファン１０
３ａが先に止まったとしても他のファン１０３ｂ、１０
３ｃ、１０３ｄはまだ回転しており、ファン１０３ａは
大きな風圧を受けてすぐに回転を止められるばかりか、
さらには正常と反対の方向へ逆回転し始めることもあっ
た。

【００２０】このときに電源１０７が復電しても、セン
サーレスＤＣモーター１０２の「起動時のローター位置
決め制御」ができずに再起動させることはできなかっ
た。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】このようなファンフィ
ルターユニットにおいては、一旦電源が投入された後、
全てのセンサーレスＤＣモーターを安定して正しく起動
させるには、相互に干渉する風圧の影響を受けずに起動
させなければならず、そのため、しばらくの間、低速回
転で回し続ける遅延時間を設けなければならなかった。

【００２２】したがって所定の目標回転数までに達する
のに時間を要するという課題があり、電源投入から所定
の目標回転数に達する時間を短くすることが要求されて
いる。

【００２３】また、電源瞬断時にファンを回し続けられ
る時間も各々の制御装置にずれがあり、一度電源瞬断に
よりセンサーレスＤＣモーターへの通電が停止された後
の電源復電時に他の回転しているファンの風圧を受けて
再起動することができないという課題があり、電源瞬断
後の復電時には再起動が確実かつ素早く行うことがで
き、電源の不安定さに対しても長期的に安定して運転し
続けることが要求されている。

【００２４】本発明は、このような従来の課題を解決す
るものであり、相互に干渉する風圧の影響を受けること
なく全てのファンが安定して起動することができ、ま
た、電源瞬断後の復電時に素早く再起動ができるファン
フィルターユニットを提供することを目的としている。

【００２５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明のファンフィルターユニットの第１の手段はチ
ャンバー内部に複数搭載され、駆動するための制御装置
を各々に設けたセンサーレスＤＣモーターと、前記セン
サーレスＤＣモーターによって駆動するファンと、この
各々のファンのケーシングの吹出口に取り付けられ、所
定の目標回転数に達するまで閉じているダンパーとを設
けたものである。

【００２６】本発明によれば、所定の目標回転数で回る
まで他のファンの風圧の影響を受けずに済むことがで
き、また、相互に干渉する風圧の影響を受けることなく
全てのファンを短時間で目標回転数で回すことのできる
ファンフィルターユニットを提供できる。

【００２７】また、第２の手段は、仕切板により区画し
て仕切られたチャンバーと、前記チャンバーの各区画内
に駆動するための制御装置を設けたセンサーレスＤＣモ
ーターと、前記センサーレスＤＣモーターによって駆動
するファンとを１台ずつ搭載したものである。

【００２８】本発明によれば、他のファンの風圧の影響
を受けずに済むことができ、また、相互に干渉する風圧
の影響を受けることなく全てのファンを短時間で目標回
転数で回すことのできるファンフィルターユニットを提
供できる。

【００２９】また、第３の手段は、上記第１の手段に加
えて、電源の瞬断と復電を判断する電源監視装置を制御
装置に備え、電源の瞬断によりセンサーレスＤＣモータ
ーへの通電を止めると同時にダンパーを閉じ、他のファ
ンの風圧の影響を受けずに慣性で回すことにより再起動
を容易にしたものである。

【００３０】これにより電源瞬断後の復電時に素早く再
起動ができるファンフィルターユニットを提供できる。

【００３１】また、他の手段は、上記第２の手段に加え
て、電源の瞬断と復電を判断する電源監視装置を制御装
置に備え、電源の瞬断によりセンサーレスＤＣモーター
への通電を停止し、ファンを慣性で回すことにより再起
動を容易にしたものである。

【００３２】これにより電源瞬断後の電源復電時に素早
く再起動ができるファンフィルターユニットを提供でき
る。

【００３３】

【発明の実施の形態】本発明は、チャンバー内部に複数
搭載され、駆動するための制御装置を各々に設けたセン
サーレスＤＣモーターと、前記センサーレスＤＣモータ
ーによって駆動するファンと、この各々のファンのケー
シングの吹出口に取り付けられ、所定の目標回転数に達
するまで閉じているダンパーとを設けたものであり、目
標回転数で回るまでダンパーを閉じておくことにより他
のファンからの風圧を受けずに済むという作用を有す
る。

【００３４】また、仕切板により区画して仕切られたチ
ャンバーと、前記チャンバーの各区画内に駆動するため
の制御装置を設けたセンサーレスＤＣモーターと、前記
センサーレスＤＣモーターによって駆動するファンとを
１台ずつ搭載したものであり、チャンバーを区画して仕
切ることにより各々のファン間の風圧の影響を受けずに
済むという作用を有する。

【００３５】また、電源の瞬断と復電を判断する電源監
視装置を制御装置に備え、電源の瞬断によりセンサーレ
スＤＣモーターへの通電を止めると同時にダンパーを閉
じ、他のファンの風圧の影響を受けずに慣性で回すこと
により再起動を容易にしたものであり、ファンの制御装
置が電源瞬断および復電を検知することでダンパーを閉
じれば他のファンの風圧の影響を受けないという作用を
有する。

【００３６】また、電源の瞬断と復電を判断する電源監
視装置を制御装置に備え、電源の瞬断によりセンサーレ
スＤＣモーターへの通電を停止し、ファンを慣性で回す
ことにより再起動を容易にしたものであり、他のファン
からの風圧の影響を受けずに済み、かつファンの制御装
置が電源瞬断および復電を知るという作用を有する。

【００３７】

【実施例】

（実施例１）以下、本発明の実施例について添付図面を
参照しながら説明する。

【００３８】図１〜図３に示すように、ファンフィルタ
ーユニット１は、そのチャンバー２内部に複数台のセン
サーレスＤＣモーター３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄによって
回転駆動されるファン４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄと、各々
のセンサーレスＤＣモーター３ａ〜３ｄに対応し電気的
に接続された制御装置５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄにより駆
動制御され、汚れた空気を吸い込み、チャンバー２に吹
き出し、チャンバー２につながる空気の塵を除去するフ
ィルター６に通すことにより空気をきれいにして連通す
る清浄空間に吹き出す構成となっている。

【００３９】また、図１にその要部を示すように、この
各々のファン４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄのケーシングの吹
出口７にファン４ａ〜４ｄを駆動する制御装置５ａ〜５
ｄにより駆動する第２のモーター８で開閉動作するダン
パー９を設ける。

【００４０】図４はファン４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄを駆
動するセンサーレスＤＣモーター３ａ、３ｂ、３ｃ、３
ｄの回路ブロック図を示し、電源１０をＡＣ−ＤＣコン
バーター１１で直流電圧に平滑しトランジスターで構成
された三相フルブリッジインバーター１２で三相交流に
ＤＣ−ＡＣ変換してセンサーレスＤＣモーター３ａ〜３
ｄの巻き線１３に電圧を印加している。

【００４１】センサーレスＤＣモーターの特徴として回
転しているローター（図示せず）の磁界が巻き線１３を
通過することで巻き線１３に誘起される誘起電圧をロー
ター位置検出装置１４で監視し、センサーレスＤＣモー
ター３ａ〜３ｄのローター位置信号１４ａをマイクロコ
ンピューター１５の内部にあるローター位置検出手段１
６に送りローターの位置を判断した後、処理手段１７で
センサーレスＤＣモーター３ａ〜３ｄを駆動させる通電
パターンを作成し出力手段１８に送り、出力手段１８で
はそれに基づく駆動パターンを出力し、前記三相フルブ
リッジインバーター１２を駆動させて三相交流を作り、
巻き線１３に三相交流を印加しセンサーレスＤＣモータ
ー３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄを回転させている。

【００４２】また、従来例と同様にローターの位置検出
は、巻き線１３に強制的に通電することでローターを動
かし、そのときに発生する微弱な誘起電圧を監視する。

【００４３】つまり、マイクロコンピューター１５では
次の三相フルブリッジインバーター１２への通電パター
ンを作成し出力することで、センサーレスＤＣモーター
３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄを安定して起動させ回転させる
ようになっている。

【００４４】上記構成により、電源１０の投入後の各々
のファン４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ起動時、所定の目標回
転数ω２に達するまでダンパー９を閉じておき、所定の
目標回転数ω２になると同時にダンパー９を開くように
し、各々のファン４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄの起動時に起
きる相互の風圧の干渉を受けなくすることとなる。

【００４５】これら一連の動作をマイクロコンピュータ
ー１５内部での処理として図５に示すフローチャートに
基づいて順に説明する。

【００４６】まず、電源１０の電源投入時の第１ステッ
プ１９よりマイクロコンピューター１５の動作が開始さ
れる。

【００４７】電源１０が投入されると第２ステップ２０
では出力手段１８よりダンパー９を閉じる第２のモータ
ー８の駆動パターンを出力する。

【００４８】次の第３ステップ２１ではＲＯＭテーブル
より目標回転数ω２の値を取り出す。

【００４９】次の第４ステップ２２で予め決められた三
相フルブリッジインバーター１２への駆動パターンをＲ
ＯＭより呼び出し、出力手段１８によって出力する。

【００５０】その後、第５ステップ２３で、ローター位
置検出装置１４より送られてきたローター位置信号１４
ａをローター位置検出手段１６に受けて、ローターの位
置を判断する。

【００５１】次に第６ステップ２４では、その結果を受
けてローターの回転数が上がるように処理手段１７にて
次の三相フルブリッジインバーター１２への駆動パター
ンを作成し出力手段１８に送り、第７ステップ２５で、
出力手段１８より三相フルブリッジインバーター１２へ
の駆動パターンを出力する。

【００５２】その後、第８ステップ２６で目標回転数ω
２に達したか否かを判断しながら、目標回転数ω２に達
したと判断すると次の第９ステップ２７に移り、出力手
段１８よりダンパー９を開ける第２のモーター８の駆動
パターンを出力する。

【００５３】上記したフローおよび構成によって、ファ
ン４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄの起動時に各々のファン４
ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄの風圧の影響を受けることなく短
時間で所定の目標回転数ω２で回すことができる。

【００５４】（実施例２）図６および図７に示すよう
に、チャンバー２内部を仕切板２ａで区画して仕切り、
その区画に１台ずつのセンサーレスＤＣモーター３ａ、
３ｂ、３ｃ、３ｄおよび対応するファン４ａ、４ｂ、４
ｃ、４ｄと、制御装置５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄを搭載し
ている。

【００５５】これら一連の動作に関するマイクロコンピ
ューター１５内部での処理を示したフローチャートは図
５から実施例１のダンパー９の動作の関する第２ステッ
プ２０および第９ステップ２７を省けば同等であるの
で、具体的フローチャートに基づく説明は省略する。

【００５６】上記したフローおよび構成によって、起動
時に各々のファン４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄは仕切板２ａ
により風路が独立することにより、互いの風圧の影響を
受けることなく短時間で所定の目標回転数ω２まで回す
ことができる。

【００５７】（実施例３）図８に示すように、図４に示
した制御装置５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄに電源監視装置２
８を設けている。

【００５８】上記構成により、電源１０の投入後全ての
ファン４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄが所定の目標回転数ω２
で回っているときに電源１０の電源瞬断が発生したとす
ると、電源監視装置２８は電源１０が落ちたことを信号
によりマイクロコンピューター１５に知らせる。

【００５９】一方、マイクロコンピューター１５内部で
は、電源監視手段２９により電源１０が落ちたものと判
断する。

【００６０】電源１０が落ち続けると所定の目標回転数
ω２で回すことができなくなるため予め決められた時間
Ｔ２の経過後、第２のモーター８をダンパー９が閉じる
ように駆動させ、一旦、センサーレスＤＣモーター３
ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄへの通電を止める。

【００６１】ここでは、各々の制御装置５ａ、５ｂ、５
ｃ、５ｄの間の若干の時間的ずれにより各々のファン４
ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄを止めるタイミングが異なるが、
例えばファン４ａが最初に止まったとしても、他のファ
ン４ｂ、４ｃ、４ｄの風圧を受けることなく、ダンパー
９を閉じたファン４ａは慣性で回転していることとな
る。

【００６２】しばらくして電源１０が復電するとファン
４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄは、まだ慣性で回転しているの
で、センサーレスＤＣモーター３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ
の巻き線１３の誘起電圧が誘起され続けており、ロータ
ー位置検出装置１４およびローター位置検出手段１６に
よりセンサーレスＤＣモーター３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ
のローター位置は判る。

【００６３】したがって、前述の「起動時のローター位
置決め制御」を省いて三相フルブリッジインバーター１
２への駆動パターンが処理手段１７により判断可能とな
り、出力手段１８よりこの駆動パターンを出力して復電
後の再起動をおこなうことが可能となる。

【００６４】これら一連の動作におけるマイクロコンピ
ューター１５の内部処理を図９に示すフローチャートに
基づいて順に説明する。

【００６５】第１ステップ３０における電源１０の瞬断
により、第２ステップ３１で電源１０の瞬断したことを
電源監視装置２８からの信号２８ａでマイクロコンピュ
ーター１５の内部の電源監視手段２９が反応する。

【００６６】次に第３ステップ３２でセンサーレスＤＣ
モーター３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄへの通電を強制的に停
止させる時間Ｔ２をＲＯＭテーブルより取り出す。

【００６７】次の第４ステップ３３では時間Ｔ２だけ待
機し、タイムアップすると次の第５ステップ３４でダン
パー９を閉じる第２のモーター８の駆動パターンを出力
手段１８より出力する。

【００６８】次に第６ステップ３５ではセンサーレスＤ
Ｃモーター３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄへの通電を停止する
ために出力手段１８より三相フルブリッジインバーター
１２の駆動パターンの出力を止める。

【００６９】次に第７ステップ３６で電源１０が復電さ
れたことを電源監視装置２８からの信号で電源監視手段
２９が反応すると、次の第８ステップ３７では、ロータ
ー位置検出手段１６に、慣性で回転しているファン４
ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄの巻き線１３に発生する誘起電圧
から、ローター位置検出装置１４で生成されたローター
位置信号１４ａが入力されローターの位置を判断する。

【００７０】これにより次の第９ステップ３８でセンサ
ーレスＤＣモーター３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄへの通電パ
ターンが作成されて出力手段１８より三相フルブリッジ
インバーター１２の駆動パターンを出力する。

【００７１】上記フローおよび構成により電源瞬断後の
復電時に確実にファン４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄの再起動
ができ、しかも短時間の再起動が実現できる。

【００７２】（実施例４）図１０に示すように、図６お
よび図７にて示した実施例２の構成に加え、上記実施例
３の構成要素である電源監視装置２８を設けている。

【００７３】上記構成により、実施例２と同様、チャン
バー２内部を仕切板２ａで区画して仕切り、その独立区
画に１台ずつのセンサーレスＤＣモーター３ａ〜３ｄ
と、対応するファン４ａ〜４ｄおよび制御装置５ａ〜５
ｄを搭載しているので、電源１０の電源瞬断時にセンサ
ーレスＤＣモーター３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄへの通電を
停止させても各々相互のファン４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ
の風圧を受けることなく慣性で回転し続ける。

【００７４】しかも、実施例３同様、起動時のローター
位置決め制御の時間を短縮した再起動が実現できる。

【００７５】これら一連の動作に関するマイクロコンピ
ューター１５内部での処理を示したフローチャートは図
９から実施例３のダンパー９の動作の関する第５ステッ
プ３４および第１２ステップ４１を省けば同等であるの
で、具体的フローチャートに基づく説明は省略する。

【００７６】上記フローおよび構成により電源瞬断後の
復電時に確実にファン４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄの再起動
ができ、しかも短時間の再起動が実現できる。

【００７７】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ファンの
ケーシングの吹出口に所定の目標回転数まで閉じておく
ダンパーを設けたことにより他のファンの風圧の影響を
受けることなく、短時間のうちに所定の目標回転数でフ
ァンを回すことができる。

【００７８】また、チャンバー内部を区画して仕切り、
その区画にファンを１台ずつ搭載したことにより、他の
ファンの風圧の影響を受けることなく、同様に短時間の
うちに所定の目標回転数でファンを回すことができると
いう効果が得られる。

【００７９】さらに、電源監視装置を備えたファンの制
御装置により電源瞬断時にファンを慣性で回し、慣性に
よる回転での誘起電圧を利用した起動手段で短時間に確
実に再起動でき、電源の不安定さに対しても長期的に安
定した運転をし続けるという有利な効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１のファンフィルターユニット
の要部構成図

【図２】同実施例１の全体構成図

【図３】同実施例１の断面図

【図４】同実施例１の電気回路ブロック図

【図５】同実施例１のマイクロコンピューターの動作を
示したフローチャート

【図６】本発明の実施例２のファンフィルターユニット
の全体構成図

【図７】同実施例２の断面図

【図８】本発明の実施例３のファンフィルターユニット
の電気回路ブロック図

【図９】同実施例３のマイクロコンピューターの動作を
示したフローチャート

【図１０】本発明の実施例４のファンフィルターユニッ
トの電気回路ブロック図

【図１１】従来のファンフィルターユニットの全体構成
図

【図１２】同断面図

【図１３】同電気回路ブロック図

【図１４】同マイクロコンピューターの動作を示したフ
ローチャート

【符号の説明】

１ ファンフィルターユニット ２ チャンバー ２ａ 仕切板 ３ａ センサーレスＤＣモーター ３ｂ センサーレスＤＣモーター ３ｃ センサーレスＤＣモーター ３ｄ センサーレスＤＣモーター ４ａ ファン ４ｂ ファン ４ｃ ファン ４ｄ ファン ５ａ 制御装置 ５ｂ 制御装置 ５ｃ 制御装置 ５ｄ 制御装置 ７ 吹出口（ケーシングの吹出口） ９ ダンパー １０ 電源 ２８ 電源監視装置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】チャンバー内部に複数搭載され、駆動する
   ための制御装置を各々に設けたセンサーレスＤＣモータ
   ーと、前記センサーレスＤＣモーターによって駆動する
   ファンと、この各々のファンのケーシングの吹出口に取
   り付けられ、所定の目標回転数に達するまで閉じている
   ダンパーとを設けたファンフィルターユニット。
2. 【請求項２】区画して仕切られたチャンバーと、前記チ
   ャンバーの各区画内に駆動するための制御装置を設けた
   センサーレスＤＣモーターと前記センサーレスＤＣモー
   ターによって駆動するファンを１台ずつ搭載したファン
   フィルターユニット。
3. 【請求項３】電源の瞬断と復電を判断する電源監視装置
   を制御装置に備え、電源の瞬断によりセンサーレスＤＣ
   モーターへの通電を止めると同時にダンパーを閉じ、他
   のファンの風圧の影響を受けずに慣性で回すことにより
   再起動を容易にした請求項１記載のファンフィルターユ
   ニット。
4. 【請求項４】電源の瞬断と復電を判断する電源監視装置
   を制御装置に備え、電源の瞬断によりセンサーレスＤＣ
   モーターへの通電を停止し、ファンを慣性で回すことに
   より再起動を容易にした請求項２記載のファンフィルタ
   ーユニット。