JPH11129467A - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
インクジェット式記録ヘッドInfo
- Publication number
- JPH11129467A JPH11129467A JP31651597A JP31651597A JPH11129467A JP H11129467 A JPH11129467 A JP H11129467A JP 31651597 A JP31651597 A JP 31651597A JP 31651597 A JP31651597 A JP 31651597A JP H11129467 A JPH11129467 A JP H11129467A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording head
- jet recording
- ink jet
- flow path
- pressure generating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧力発生室のコンプライアンスを一定にする
こと。 【解決手段】 流路形成基板５の圧力発生室９に対向す
る領域にノズルプレート７側に空洞を確保する凹部１３
を設けて弾性膜部１２を形成してコンプライアンスを付
与する。各圧力発生室９の弾性膜部１２が大きなコンプ
ライアンスを持つから、弾性板３によるコンプライアン
スが、圧力発生室全体のコンプライアンスに対して相対
的に低下する。
こと。 【解決手段】 流路形成基板５の圧力発生室９に対向す
る領域にノズルプレート７側に空洞を確保する凹部１３
を設けて弾性膜部１２を形成してコンプライアンスを付
与する。各圧力発生室９の弾性膜部１２が大きなコンプ
ライアンスを持つから、弾性板３によるコンプライアン
スが、圧力発生室全体のコンプライアンスに対して相対
的に低下する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、圧電振動子をア
クチュエータとして弾性変形可能な圧力発生室の容積を
膨張、収縮させてノズル開口からインク滴を吐出させる
インクジェット式記録ヘッドに関する。
クチュエータとして弾性変形可能な圧力発生室の容積を
膨張、収縮させてノズル開口からインク滴を吐出させる
インクジェット式記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】記録ヘッドの記録密度の向上を図るため
にノズル開口列のピッチが小さくなる傾向にあり、この
ためシリコン単結晶のウエハーを異方性エッチングし、
これに他の方法で製作されたノズルプレートや弾性板を
接着剤で固定して流路ユニットを構成し、これに圧電振
動子の変位を伝達して圧力発生室に圧力を発生させ、こ
の圧力によりインク滴をノズル開口から吐出させるよう
に構成されている。
にノズル開口列のピッチが小さくなる傾向にあり、この
ためシリコン単結晶のウエハーを異方性エッチングし、
これに他の方法で製作されたノズルプレートや弾性板を
接着剤で固定して流路ユニットを構成し、これに圧電振
動子の変位を伝達して圧力発生室に圧力を発生させ、こ
の圧力によりインク滴をノズル開口から吐出させるよう
に構成されている。
【０００３】圧力発生室の配列密度が大きくなると、圧
力発生室の幅が極めて小さくなるため、圧力発生室の長
手方向全体を効率的に変形させる必要上、弾性変形可能
な板材に圧力発生室の長手方向に延びる凸部、いわゆる
アイランド部をエッチング等により形成し、このアイラ
ンド部の剛性により圧電振動子の変位を弾性板に伝達し
ている。このため、アイランド部は、圧力発生室の容積
を効率的に変化させるために或程度の剛性を必要とする
ため、通常、不錆鋼等の金属材料により構成されてい
る。
力発生室の幅が極めて小さくなるため、圧力発生室の長
手方向全体を効率的に変形させる必要上、弾性変形可能
な板材に圧力発生室の長手方向に延びる凸部、いわゆる
アイランド部をエッチング等により形成し、このアイラ
ンド部の剛性により圧電振動子の変位を弾性板に伝達し
ている。このため、アイランド部は、圧力発生室の容積
を効率的に変化させるために或程度の剛性を必要とする
ため、通常、不錆鋼等の金属材料により構成されてい
る。
【０００４】しかしながら、金属材料のエッチングは、
レジストによりパターニングして等方性エッチングが施
されるため、エッチングに形成される対象物の絶対精度
は、プラスマイナス１５μｍ程度であるため、圧力発生
室のサイズが小さくなるとダイヤフラム部の相対的精度
が低下する。このため、各圧力発生室のコンプライアン
スに大きなばらつきが生じて、これに支配されるヘルム
ホルツ共振周波数が一定せず、インク滴吐出時のメニス
カスの位置がばらつきいて印字品質の低下を招くという
問題がある。本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであって，その目的とするところは圧力発生室のコ
ンプライアンスを可及的に均一化してインク滴吐出特性
を均一にすることができるインクジェット式記録ヘッド
を提供することである。
レジストによりパターニングして等方性エッチングが施
されるため、エッチングに形成される対象物の絶対精度
は、プラスマイナス１５μｍ程度であるため、圧力発生
室のサイズが小さくなるとダイヤフラム部の相対的精度
が低下する。このため、各圧力発生室のコンプライアン
スに大きなばらつきが生じて、これに支配されるヘルム
ホルツ共振周波数が一定せず、インク滴吐出時のメニス
カスの位置がばらつきいて印字品質の低下を招くという
問題がある。本発明はこのような問題に鑑みてなされた
ものであって，その目的とするところは圧力発生室のコ
ンプライアンスを可及的に均一化してインク滴吐出特性
を均一にすることができるインクジェット式記録ヘッド
を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、リザーバ、インク供給口、
及び圧力発生室を区画する流路形成基板と、該流路形成
基板の一方の面を封止して圧電振動子の変位を受ける弾
性板と、前記圧力発生室に連通するノズル開口を備え、
前記流路形成基板の他方の面を封止するノズルプレート
とからなるインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記
圧力発生室にノズルプレート側を空洞とする弾性膜部を
形成するようにした。
るために本発明においては、リザーバ、インク供給口、
及び圧力発生室を区画する流路形成基板と、該流路形成
基板の一方の面を封止して圧電振動子の変位を受ける弾
性板と、前記圧力発生室に連通するノズル開口を備え、
前記流路形成基板の他方の面を封止するノズルプレート
とからなるインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記
圧力発生室にノズルプレート側を空洞とする弾性膜部を
形成するようにした。
【０００６】
【作用】各圧力発生室の弾性膜部が大きなコンプライア
ンスを持つから、弾性板によるコンプライアンスが圧力
発生室全体のコンプライアンスに占める割合が相対的に
低下し、ヘルムホルツ共振周波数の変動率を抑えること
ができる。
ンスを持つから、弾性板によるコンプライアンスが圧力
発生室全体のコンプライアンスに占める割合が相対的に
低下し、ヘルムホルツ共振周波数の変動率を抑えること
ができる。
【０００７】
【発明の実施の態様】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明の一実
施例を示すものであって、軸方向に伸縮する圧電振動子
１は、その先端を流路ユニット２を構成する弾性板３に
当接した状態でヘッドホルダ４に固定されている。この
流路ユニット２は、圧電振動子１に当接するアイランド
部３ａと、弾性変形可能なダイヤフラム部３ｂが形成さ
れた弾性板３と、後述する流路形成基板５と、ノズル開
口６を備えたノズルプレート７とを積層して構成されて
いる。
した実施例に基づいて説明する。図１は、本発明の一実
施例を示すものであって、軸方向に伸縮する圧電振動子
１は、その先端を流路ユニット２を構成する弾性板３に
当接した状態でヘッドホルダ４に固定されている。この
流路ユニット２は、圧電振動子１に当接するアイランド
部３ａと、弾性変形可能なダイヤフラム部３ｂが形成さ
れた弾性板３と、後述する流路形成基板５と、ノズル開
口６を備えたノズルプレート７とを積層して構成されて
いる。
【０００８】流路形成基板５は、貫通孔として形成され
るリザーバ８と、圧電振動子側に凹部として形成された
圧力発生室９と、圧力発生室９に連通する凹部として形
成されたインク供給口１０と、ノズル開口６に対向する
貫通孔からなるノズル連通孔１１と、圧力発生室９に対
向する位置にインク滴吐出時の圧力により弾性変形可能
な弾性膜部１２を形成する、ノズルプレート側が開口す
る凹部１３を設けて構成されている。
るリザーバ８と、圧電振動子側に凹部として形成された
圧力発生室９と、圧力発生室９に連通する凹部として形
成されたインク供給口１０と、ノズル開口６に対向する
貫通孔からなるノズル連通孔１１と、圧力発生室９に対
向する位置にインク滴吐出時の圧力により弾性変形可能
な弾性膜部１２を形成する、ノズルプレート側が開口す
る凹部１３を設けて構成されている。
【０００９】この実施例において、圧電振動子１が収縮
して圧力発生室９が膨張すると、リザーバ８のインクが
インク供給口１０から圧力発生室９に流れ込み圧力発生
室９にインクが供給される。
して圧力発生室９が膨張すると、リザーバ８のインクが
インク供給口１０から圧力発生室９に流れ込み圧力発生
室９にインクが供給される。
【００１０】圧電振動子１が伸長してアイランド部３ａ
がノズルプレート側に押圧されると、圧力発生室９の容
積が縮小してインクが加圧され、ノズル開口６からイン
ク滴が吐出する。
がノズルプレート側に押圧されると、圧力発生室９の容
積が縮小してインクが加圧され、ノズル開口６からイン
ク滴が吐出する。
【００１１】インク滴吐出後、ノズル開口９のメニスカ
スは、圧力発生室９のコンプライアンス等の要因で支配
されるヘルムホルツ共振周波数ｆにより振動を開始す
る。
スは、圧力発生室９のコンプライアンス等の要因で支配
されるヘルムホルツ共振周波数ｆにより振動を開始す
る。
【００１２】ところで、インクジェット式記録ヘッドの
ヘルムホルツ共振振動の周波数ｆは、周知のように圧力
発生室９のインクの圧縮性に起因する流体コンプライア
ンスをＣｉ、また圧力発生室９を形成している弾性板
３、ノズルプレート７等の材料自体による剛性コンプラ
イアンスをＣｖ、ノズル開口６のイナータンスをＭｎ、
インク供給口４のイナータンスをＭｓとすると、 ｆ=1/2π×√｛(Ｍｎ+Ｍｓ)/（Ｍｎ×Ｍｓ）(Ｃｉ+Ｃ
ｖ)｝ により表される。また、メニスカスのコンプライアンス
をＣｎとすると、メニスカスの固有振動周期Ｔｍは次式
で示される。 Ｔｍ＝２π×√｛（Ｍｎ＋Ｍｓ）Ｃｎ｝ また、圧力発生室９の体積をＶ、インクの密度をρ、イ
ンク中での音速をｃとすると、流体コンプライアンスＣ
ｉは次式で示される。 Ｃｉ＝Ｖ／ρｃ2 さらに圧力発生室９の剛性コンプライアンスＣｖは、圧
力発生室９に単位圧力を印加したときの圧力発生室２の
静的な変形率に一致する。
ヘルムホルツ共振振動の周波数ｆは、周知のように圧力
発生室９のインクの圧縮性に起因する流体コンプライア
ンスをＣｉ、また圧力発生室９を形成している弾性板
３、ノズルプレート７等の材料自体による剛性コンプラ
イアンスをＣｖ、ノズル開口６のイナータンスをＭｎ、
インク供給口４のイナータンスをＭｓとすると、 ｆ=1/2π×√｛(Ｍｎ+Ｍｓ)/（Ｍｎ×Ｍｓ）(Ｃｉ+Ｃ
ｖ)｝ により表される。また、メニスカスのコンプライアンス
をＣｎとすると、メニスカスの固有振動周期Ｔｍは次式
で示される。 Ｔｍ＝２π×√｛（Ｍｎ＋Ｍｓ）Ｃｎ｝ また、圧力発生室９の体積をＶ、インクの密度をρ、イ
ンク中での音速をｃとすると、流体コンプライアンスＣ
ｉは次式で示される。 Ｃｉ＝Ｖ／ρｃ2 さらに圧力発生室９の剛性コンプライアンスＣｖは、圧
力発生室９に単位圧力を印加したときの圧力発生室２の
静的な変形率に一致する。
【００１３】なお、弾性膜部１２の変形スパンは、弾性
板３のダイヤフラム部３ｂの変位スパンに比較して可及
的に大きく構成されるため、弾性膜部１２の形成誤差に
起因するコンプライアンスのばらつきは小さく抑えられ
ている。
板３のダイヤフラム部３ｂの変位スパンに比較して可及
的に大きく構成されるため、弾性膜部１２の形成誤差に
起因するコンプライアンスのばらつきは小さく抑えられ
ている。
【００１４】いうまでもなく、弾性膜部１２によるコン
プライアンスは、弾性板３のダイヤフラム部３ｂによる
コンプライアンスよりも大きいから、アイランド部３ａ
の形成誤差による弾性板３のコンプライアンスのばらつ
きが相対的に小さくなり、ヘルムホルツ共振周波数ｆが
一定となる。
プライアンスは、弾性板３のダイヤフラム部３ｂによる
コンプライアンスよりも大きいから、アイランド部３ａ
の形成誤差による弾性板３のコンプライアンスのばらつ
きが相対的に小さくなり、ヘルムホルツ共振周波数ｆが
一定となる。
【００１５】このため、総ての圧力発生室２のメニスカ
スの振動位相が一致することになり、インク滴のインク
量や飛行速度を一定とすることができる。
スの振動位相が一致することになり、インク滴のインク
量や飛行速度を一定とすることができる。
【００１６】図２は、本発明の他の実施例を示すもので
あって、流路形成基板２０は、流路形成基板として必要
な厚みのほぼ１／２程度の厚みの第１部材２１と、第２
部材２２と、これに弾性膜２３を介装し、第２部材２２
の凹部２４を弾性膜２３により封止することで、弾性膜
部２５が形成されている。
あって、流路形成基板２０は、流路形成基板として必要
な厚みのほぼ１／２程度の厚みの第１部材２１と、第２
部材２２と、これに弾性膜２３を介装し、第２部材２２
の凹部２４を弾性膜２３により封止することで、弾性膜
部２５が形成されている。
【００１７】図３は、上述の流路形成基板２０の一実施
例を示すものであって、第１部材２１は、シリコン単結
晶基板を異方性エッチングすることにより、圧力発生室
９及びリザーバ８、及び圧力発生室９とリザーバ８を接
続するインク供給口１０の形状を備えた貫通孔２６、２
７２８を形成して構成されている。
例を示すものであって、第１部材２１は、シリコン単結
晶基板を異方性エッチングすることにより、圧力発生室
９及びリザーバ８、及び圧力発生室９とリザーバ８を接
続するインク供給口１０の形状を備えた貫通孔２６、２
７２８を形成して構成されている。
【００１８】また第２部材２２は、シリコン単結晶基板
を異方性エッチングすることにより、ノズル連通孔１
１、凹部２４、及びリザーバ８の形状に一致する貫通孔
２９、３０、３１を、さらに、弾性膜２３は、ノズル連
通孔１１、及びリザーバ８の形状に一致する貫通孔３
２、３３を形成して構成されている。
を異方性エッチングすることにより、ノズル連通孔１
１、凹部２４、及びリザーバ８の形状に一致する貫通孔
２９、３０、３１を、さらに、弾性膜２３は、ノズル連
通孔１１、及びリザーバ８の形状に一致する貫通孔３
２、３３を形成して構成されている。
【００１９】なお、弾性膜部２５は、弾性膜２３を介し
て一方の面が圧力発生室９のインクに、他方の面が凹部
２４の空気に接しているため、弾性膜２３がインクを構
成する溶媒の蒸気や空気に対して透過性を有する場合に
は、凹部２４内の圧力が変化し、これに起因して弾性膜
部２５のコンプライアンスも変化することになる。この
ため、弾性膜２３は、不錆鋼等の耐インク性を備えた金
属や、ポリイミド等の高分子材料に遮気用の金属膜を形
成した材料により構成するのが望ましい。
て一方の面が圧力発生室９のインクに、他方の面が凹部
２４の空気に接しているため、弾性膜２３がインクを構
成する溶媒の蒸気や空気に対して透過性を有する場合に
は、凹部２４内の圧力が変化し、これに起因して弾性膜
部２５のコンプライアンスも変化することになる。この
ため、弾性膜２３は、不錆鋼等の耐インク性を備えた金
属や、ポリイミド等の高分子材料に遮気用の金属膜を形
成した材料により構成するのが望ましい。
【００２０】この実施例によれば、弾性膜部を第２部材
２２に貫通孔３０を形成し、この貫通孔３０を弾性膜２
３により封止することにより構成できるため、エッチン
グ量の管理が比較的困難なハーフエッチング処理が不要
で、かつエッチング時の膜厚の管理が不要となって、高
い精度がコンプライアンスを付与することができる。
２２に貫通孔３０を形成し、この貫通孔３０を弾性膜２
３により封止することにより構成できるため、エッチン
グ量の管理が比較的困難なハーフエッチング処理が不要
で、かつエッチング時の膜厚の管理が不要となって、高
い精度がコンプライアンスを付与することができる。
【００２１】また、金属等の等方性エッチングに比較し
てエッチング精度が高いシリコン単結晶基板の異方性エ
ッチングを使用することができる。
てエッチング精度が高いシリコン単結晶基板の異方性エ
ッチングを使用することができる。
【００２２】なお、上述の実施例においては流路形成基
板をシリコン単結晶基板を異方性エッチングして構成し
ているが、感光性ガラスに所要のパターンを露光して、
エッチングしても同等の精度を備えた流路形成基板を構
成することができる。
板をシリコン単結晶基板を異方性エッチングして構成し
ているが、感光性ガラスに所要のパターンを露光して、
エッチングしても同等の精度を備えた流路形成基板を構
成することができる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
リザーバ、インク供給口、及び圧力発生室を区画する流
路形成基板と、流路形成基板の一方の面を封止して圧電
振動子の変位を受ける弾性板と、圧力発生室に連通する
ノズル開口を備え、流路形成基板の他方の面を封止する
ノズルプレートとからなるインクジェット式記録ヘッド
において、圧力発生室にノズルプレート側を空洞とする
弾性膜部を形成したので、各圧力発生室の弾性膜部が大
きなコンプライアンスを付与でき、弾性板によるコンプ
ライアンスの圧力発生室全体のコンプライアンスに占め
る割合が低下してヘルムホルツ共振周波数の変動率を抑
えることができる。
リザーバ、インク供給口、及び圧力発生室を区画する流
路形成基板と、流路形成基板の一方の面を封止して圧電
振動子の変位を受ける弾性板と、圧力発生室に連通する
ノズル開口を備え、流路形成基板の他方の面を封止する
ノズルプレートとからなるインクジェット式記録ヘッド
において、圧力発生室にノズルプレート側を空洞とする
弾性膜部を形成したので、各圧力発生室の弾性膜部が大
きなコンプライアンスを付与でき、弾性板によるコンプ
ライアンスの圧力発生室全体のコンプライアンスに占め
る割合が低下してヘルムホルツ共振周波数の変動率を抑
えることができる。
【図１】本発明のインクジェット式記録ヘッドの一実施
例を、圧力発生室の中心線での断面構造を示す図であ
る。
例を、圧力発生室の中心線での断面構造を示す図であ
る。
【図２】本発明の他の実施例を、圧力発生室の中心線で
の断面構造を示す図である。
の断面構造を示す図である。
【図３】同上記録ヘッドの流路形成基板の一実施例を示
す分解斜視図である。
す分解斜視図である。
１ 圧電振動子 ２ 流路ユニット ３ 弾性板 ４ ヘッドホルダ ５ 流路形成基板 ７ ノズルプレート ８ リザーバ ９ 圧力発生室 １０ インク供給口 １１ ノズル連通孔 １２ 弾性膜部 １３ 凹部
Claims (9)
- 【請求項１】 リザーバ、インク供給口、及び圧力発生
室を区画する流路形成基板と、該流路形成基板の一方の
面を封止して圧電振動子の変位を受ける弾性板と、前記
圧力発生室に連通するノズル開口を備え、前記流路形成
基板の他方の面を封止するノズルプレートとからなるイ
ンクジェット式記録ヘッドにおいて、 前記圧力発生室にノズルプレート側を空洞とする弾性膜
部が形成されているインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記弾性膜部が、前記流路形成基板の前
記ノズルプレート側に凹部を形成することにより構成さ
れている請求項１に記載のインクジェット式記録ヘッ
ド。 - 【請求項３】 前記流路形成基板が、シリコン単結晶基
板を異方性エッチングすることにより構成されている請
求項１に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記流路形成基板が、感光性ガラスをエ
ッチングして構成されている請求項１に記載のインクジ
ェット式記録ヘッド。 - 【請求項５】 前記流路形成基板が、第１部材、第２部
材、及び弾性膜を積層して構成され、前記弾性膜部が前
記ノズルプレート側に位置する第２部材に貫通孔を形成
することにより構成されている請求項１に記載のインク
ジェット式記録ヘッド。 - 【請求項６】 第１部材、及び第２部材が、シリコン単
結晶基板を異方性エッチングすることにより構成されて
いる請求項５に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項７】 第１部材、及び第２部材が、感光性ガラ
スをエッチングすることにより構成されている請求項５
に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項８】 前記弾性膜が、金属により構成されてい
る請求項５に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項９】 前記弾性膜が、高分子膜と金属薄膜との
積層により構成されている請求項５に記載のインクジェ
ット式記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31651597A JP3733224B2 (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | インクジェット式記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31651597A JP3733224B2 (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | インクジェット式記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11129467A true JPH11129467A (ja) | 1999-05-18 |
| JP3733224B2 JP3733224B2 (ja) | 2006-01-11 |
Family
ID=18077976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31651597A Expired - Fee Related JP3733224B2 (ja) | 1997-10-31 | 1997-10-31 | インクジェット式記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3733224B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009234143A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Brother Ind Ltd | 液体移送装置 |
-
1997
- 1997-10-31 JP JP31651597A patent/JP3733224B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009234143A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Brother Ind Ltd | 液体移送装置 |
| JP4582173B2 (ja) * | 2008-03-28 | 2010-11-17 | ブラザー工業株式会社 | 液体移送装置 |
| US7926921B2 (en) | 2008-03-28 | 2011-04-19 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid transporting apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3733224B2 (ja) | 2006-01-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0787589B1 (en) | Ink jet recording head | |
| JP3763200B2 (ja) | インクジェット式記録装置 | |
| JPH07132597A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP3436299B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP2000006397A (ja) | インクジェット式記録ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP3216664B2 (ja) | インクジェット記録装置 | |
| JP3733224B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP3334752B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP3580343B2 (ja) | インクジェット式記録装置 | |
| JPH11123822A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP3976817B2 (ja) | インクジェット式記録装置 | |
| JP3384202B2 (ja) | インクジェット記録装置の駆動方法 | |
| US7222946B2 (en) | Ink jet head and droplet ejection device having same mounted thereon | |
| JP4763331B2 (ja) | インクジェットヘッドの駆動信号の波形作成方法及びインクジェット記録装置 | |
| JP2000190497A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
| JP3374877B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JPH09141864A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0436067B2 (ja) | ||
| JPH08174824A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JPH10202875A (ja) | インクジェット記録装置 | |
| JP3769371B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッドの駆動方法 | |
| JPH11277743A (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP2003291341A (ja) | 液体噴射ヘッド | |
| JP3603939B2 (ja) | ノズルプレート及びその製造方法並びにインクジェット式記録ヘッド | |
| JP3769370B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッドの駆動方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20030129 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050901 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051017 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091021 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101021 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101021 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111021 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121021 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121021 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131021 Year of fee payment: 8 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |