JPH11111215A - 放電ランプ用陰極とその製造方法 - Google Patents
放電ランプ用陰極とその製造方法Info
- Publication number
- JPH11111215A JPH11111215A JP29057297A JP29057297A JPH11111215A JP H11111215 A JPH11111215 A JP H11111215A JP 29057297 A JP29057297 A JP 29057297A JP 29057297 A JP29057297 A JP 29057297A JP H11111215 A JPH11111215 A JP H11111215A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- tungsten
- sintered layer
- discharge
- arc
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Discharge Lamp (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ショートアーク型放電ランプにおいて、長時
間の点灯後もアークの安定性を維持するための構造を有
する陰極とその製造方法を提供すること。 【解決手段】 陰極の放電有効先端領域を除いた外表面
にタングステン微粒子の焼結層が形成されており、焼結
層のタングステン微粒子間に酸化トリウムが分散されて
いる放電ランプ用陰極とする。その陰極の製造方法は
（１）所定の形状に加工された陰極の先端領域にあらか
じめ微粒子タングステンの焼結層を形成し、（２）タン
グステン焼結層の形成された陰極先端領域に硝酸トリウ
ムの溶液を塗布し、（３）還元雰囲気中で陰極を熱処理
することにより酸化トリウムの粉末をタングステン焼結
層のタングステン微粒子間に分散させ、（４）陰極の放
電有効先端領域を除いた陰極のタングステン焼結層を除
去するものとする。
間の点灯後もアークの安定性を維持するための構造を有
する陰極とその製造方法を提供すること。 【解決手段】 陰極の放電有効先端領域を除いた外表面
にタングステン微粒子の焼結層が形成されており、焼結
層のタングステン微粒子間に酸化トリウムが分散されて
いる放電ランプ用陰極とする。その陰極の製造方法は
（１）所定の形状に加工された陰極の先端領域にあらか
じめ微粒子タングステンの焼結層を形成し、（２）タン
グステン焼結層の形成された陰極先端領域に硝酸トリウ
ムの溶液を塗布し、（３）還元雰囲気中で陰極を熱処理
することにより酸化トリウムの粉末をタングステン焼結
層のタングステン微粒子間に分散させ、（４）陰極の放
電有効先端領域を除いた陰極のタングステン焼結層を除
去するものとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光化学産業分野、
半導体デバイスの製造分野、などで使用されるショート
アーク型放電ランプの陰極とその製造方法に関する。
半導体デバイスの製造分野、などで使用されるショート
アーク型放電ランプの陰極とその製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術】ショートアーク型放電ランプは、図1に示
すように、石英ガラス製の発光管１の中に陽極２と陰極
３が対向配置されており、前記陽極２と陰極３はそれぞ
れ気密封止部分４を通り電流供給用金属ベース５につな
がっている。発光管１内には水銀、キセノン、アルゴン
などが必要に応じて封入されており、陽極２と陰極３の
間に生じるアーク放電によって発光する。
すように、石英ガラス製の発光管１の中に陽極２と陰極
３が対向配置されており、前記陽極２と陰極３はそれぞ
れ気密封止部分４を通り電流供給用金属ベース５につな
がっている。発光管１内には水銀、キセノン、アルゴン
などが必要に応じて封入されており、陽極２と陰極３の
間に生じるアーク放電によって発光する。
【０００３】図2は陰極３と陽極２との間のアーク放電
を示す拡大図である。Ａはアークをあらわしている。ア
ークは陰極先端３１を起点として陽極２に向かって拡開
して形成される。
を示す拡大図である。Ａはアークをあらわしている。ア
ークは陰極先端３１を起点として陽極２に向かって拡開
して形成される。
【０００４】ショートアーク型放電ランプにおいて、陰
極は、一般には、タングステンの中に陰極からの電子放
出をさせやすくする電子放射性物質として数％の酸化ト
リウム（ＴｈＯ２）を含有したトリエーテッドタングス
テンが用いられる。この酸化トリウム含有型の電極は、
ランプ製作後の新品のときはアーク放出部分である陰極
先端３１近傍に酸化トリウムが十分に存在しているた
め、この陰極先端３１からアークは放出される。
極は、一般には、タングステンの中に陰極からの電子放
出をさせやすくする電子放射性物質として数％の酸化ト
リウム（ＴｈＯ２）を含有したトリエーテッドタングス
テンが用いられる。この酸化トリウム含有型の電極は、
ランプ製作後の新品のときはアーク放出部分である陰極
先端３１近傍に酸化トリウムが十分に存在しているた
め、この陰極先端３１からアークは放出される。
【０００５】しかし、数十時間ないし数１００時間ラン
プ点灯後経過すると、図３に示すように、アーク放電に
よって２５００℃程度の高温下に陰極先端はさらされる
ので、さらされた陰極先端部分のタングステンの再結晶
化が進み、結晶構造が変化してしまい、陰極の先方の円
錐状に加工されたテーパー部分の陰極先端に続く酸化ト
リウムの高濃度部分３２から陰極先端３１への電子放射
性物質（酸化トリウム）の供給が不十分となり、陰極先
端３１の酸化トリウム濃度が低下してアーク起点が酸化
トリウムの高濃度部分３２に移動し、放電アークは全体
として太くなってしまう。
プ点灯後経過すると、図３に示すように、アーク放電に
よって２５００℃程度の高温下に陰極先端はさらされる
ので、さらされた陰極先端部分のタングステンの再結晶
化が進み、結晶構造が変化してしまい、陰極の先方の円
錐状に加工されたテーパー部分の陰極先端に続く酸化ト
リウムの高濃度部分３２から陰極先端３１への電子放射
性物質（酸化トリウム）の供給が不十分となり、陰極先
端３１の酸化トリウム濃度が低下してアーク起点が酸化
トリウムの高濃度部分３２に移動し、放電アークは全体
として太くなってしまう。
【０００６】すると、陰極先端付近の高温領域が広がる
ことによって、陰極の円錐状に加工されたテーパー部分
の陰極先端に続く酸化トリウムの高濃度部分３２の酸化
トリウムが陰極先端３１に拡散してくるので再びアーク
放電は陰極先端３１から放出される。このアーク起点の
移動現象の繰り返しがアークの不安定（ちらつき）現象
として認識される。そして、図６に示すように光出力が
一定しない。図６で縦軸は光出力、横軸は放電ランプ点
灯（動作）時間である。このアーク不安定が生じると、
半導体デバイスの製造工程の露光プロセスのような集光
光学系に使用される放電ランプの場合などは、レチクル
面での照度の変動という形で影響してくるので非常に問
題となる。
ことによって、陰極の円錐状に加工されたテーパー部分
の陰極先端に続く酸化トリウムの高濃度部分３２の酸化
トリウムが陰極先端３１に拡散してくるので再びアーク
放電は陰極先端３１から放出される。このアーク起点の
移動現象の繰り返しがアークの不安定（ちらつき）現象
として認識される。そして、図６に示すように光出力が
一定しない。図６で縦軸は光出力、横軸は放電ランプ点
灯（動作）時間である。このアーク不安定が生じると、
半導体デバイスの製造工程の露光プロセスのような集光
光学系に使用される放電ランプの場合などは、レチクル
面での照度の変動という形で影響してくるので非常に問
題となる。
【０００７】この問題を解決するため、図４に示すよう
に、陰極先端３１にトリウム（Ｔｈ）を供給補給すべ
く、陰極先端３１を除いた、陰極の円錐状に加工された
テーパー部１０に炭化タングステン（ＷＣ）層３３を形
成し、該炭化タングステン層を通過する酸化トリウムが
金属トリウムに還元され、順次陰極先端３１にトリウム
が補給されるという方法が取られることもあった。しか
し、この炭化タングステン層を利用する方法では、炭化
タングステン層の厚みが大きいと、炭素（Ｃ）が多く発
生して悪影響を及ぼす。すなわち炭化タングステン層は
ランプの点灯時間とともに脱炭する。陰極から抜け出た
炭素はランプ中をランプ内の対流に乗って浮遊し、一部
が電極にくっつく。また、他の一部はランプ内の残留酸
素と結合して一酸化炭素となり、これがアーク中で酸素
と炭素に分解され、そして電極に付着する。電極先端に
付着した炭素は低融点である炭化タングステンを形成す
る。この層の形成により電極先端の損耗変形や電極物質
の蒸発を生じ、アーク輝度の低下や発光管内面への電極
物質の付着によってランプからの放射光の減衰を生じ
る。
に、陰極先端３１にトリウム（Ｔｈ）を供給補給すべ
く、陰極先端３１を除いた、陰極の円錐状に加工された
テーパー部１０に炭化タングステン（ＷＣ）層３３を形
成し、該炭化タングステン層を通過する酸化トリウムが
金属トリウムに還元され、順次陰極先端３１にトリウム
が補給されるという方法が取られることもあった。しか
し、この炭化タングステン層を利用する方法では、炭化
タングステン層の厚みが大きいと、炭素（Ｃ）が多く発
生して悪影響を及ぼす。すなわち炭化タングステン層は
ランプの点灯時間とともに脱炭する。陰極から抜け出た
炭素はランプ中をランプ内の対流に乗って浮遊し、一部
が電極にくっつく。また、他の一部はランプ内の残留酸
素と結合して一酸化炭素となり、これがアーク中で酸素
と炭素に分解され、そして電極に付着する。電極先端に
付着した炭素は低融点である炭化タングステンを形成す
る。この層の形成により電極先端の損耗変形や電極物質
の蒸発を生じ、アーク輝度の低下や発光管内面への電極
物質の付着によってランプからの放射光の減衰を生じ
る。
【０００８】また逆に炭化タングステン層の厚みが薄い
と放電ランプ製作工程で発生する水分、酸素等の不純ガ
スによって炭化タングステン層の被膜は破壊されてその
機能を失うことになる。この炭化タングステン層形成を
利用した方法は炭化タングステン層を適切な厚みに管理
することが困難であった。
と放電ランプ製作工程で発生する水分、酸素等の不純ガ
スによって炭化タングステン層の被膜は破壊されてその
機能を失うことになる。この炭化タングステン層形成を
利用した方法は炭化タングステン層を適切な厚みに管理
することが困難であった。
【０００９】また、特開平９−１１５４７８号公報に
は、陰極の外表面に炭化タンタルと酸化トリウムの混合
物よりなる多孔質層を焼結した陰極構造が提案されてい
る。しかし、炭化タンタルと酸化トリウムの混合物を混
合粉末として溶媒を混ぜて陰極の表面に塗布乾燥後焼結
すると、炭化タンタル粒子間に入り込んで存在する高融
点である酸化トリウム粒子が炭化タンタル粒子の焼結の
進行を阻害して緻密な焼結体とすることができず、焼結
体の強度が低下する。したがって放電ランプ製作工程中
に前記多孔質層（焼結層）が剥離するという不具合も起
こりうる。
は、陰極の外表面に炭化タンタルと酸化トリウムの混合
物よりなる多孔質層を焼結した陰極構造が提案されてい
る。しかし、炭化タンタルと酸化トリウムの混合物を混
合粉末として溶媒を混ぜて陰極の表面に塗布乾燥後焼結
すると、炭化タンタル粒子間に入り込んで存在する高融
点である酸化トリウム粒子が炭化タンタル粒子の焼結の
進行を阻害して緻密な焼結体とすることができず、焼結
体の強度が低下する。したがって放電ランプ製作工程中
に前記多孔質層（焼結層）が剥離するという不具合も起
こりうる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明の目的
は、ショートアーク型放電ランプにおいて、長時間の点
灯後もアークの安定性を維持するための構造を有する陰
極とその製造方法を提供することにある。
は、ショートアーク型放電ランプにおいて、長時間の点
灯後もアークの安定性を維持するための構造を有する陰
極とその製造方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1の発明は、陰極の放電有効先端領域を除い
た外表面にタングステン微粒子の焼結層が形成されてお
り、該焼結層のタングステン微粒子間に酸化トリウムが
分散されている放電ランプ用陰極とする。
に、請求項1の発明は、陰極の放電有効先端領域を除い
た外表面にタングステン微粒子の焼結層が形成されてお
り、該焼結層のタングステン微粒子間に酸化トリウムが
分散されている放電ランプ用陰極とする。
【００１２】請求項2の発明は、請求項1に記載の放電ラ
ンプ用陰極の製造方法であって、次の工程からなる製造
方法とする。 （１）所定の形状に加工された陰極の先端領域にあらか
じめ微粒子タングステンの焼結層を形成する第一の工
程。 （２）第一の工程でタングステン焼結層の形成された陰
極先端領域に硝酸トリウムの溶液を塗布する第二の工
程。 （３）第二の工程後、還元雰囲気中で陰極を熱処理する
ことにより、酸化トリウムの粉末を前記タングステン焼
結層のタングステン微粒子間に分散させる第三の工程。 （４）第三の工程後、陰極の放電有効先端領域を除いた
陰極のタングステン焼結層を除去する第四の工程。
ンプ用陰極の製造方法であって、次の工程からなる製造
方法とする。 （１）所定の形状に加工された陰極の先端領域にあらか
じめ微粒子タングステンの焼結層を形成する第一の工
程。 （２）第一の工程でタングステン焼結層の形成された陰
極先端領域に硝酸トリウムの溶液を塗布する第二の工
程。 （３）第二の工程後、還元雰囲気中で陰極を熱処理する
ことにより、酸化トリウムの粉末を前記タングステン焼
結層のタングステン微粒子間に分散させる第三の工程。 （４）第三の工程後、陰極の放電有効先端領域を除いた
陰極のタングステン焼結層を除去する第四の工程。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を説明す
る。図５に示すように、トリエーテッドタングステンか
らなる陰極３の円錐状に加工されたテーパー部１０のう
ち側面部分３４にタングステン微粉末が焼結された状態
でしかも、その微粉末粒子間に酸化トリウムが分散され
た状態にして放電ランプ用陰極を構成した。この分散さ
れた酸化トリウムはこの放電ランプが動作している際
に、高温度になった陰極表面から微量ではあるが適度に
陰極先端のアーク放出部分３１へと拡散していくので、
常に安定なアーク放電を維持することができる。
る。図５に示すように、トリエーテッドタングステンか
らなる陰極３の円錐状に加工されたテーパー部１０のう
ち側面部分３４にタングステン微粉末が焼結された状態
でしかも、その微粉末粒子間に酸化トリウムが分散され
た状態にして放電ランプ用陰極を構成した。この分散さ
れた酸化トリウムはこの放電ランプが動作している際
に、高温度になった陰極表面から微量ではあるが適度に
陰極先端のアーク放出部分３１へと拡散していくので、
常に安定なアーク放電を維持することができる。
【００１４】陰極の製造方法は次の通りである。 （１）第一の工程：トリエーテッドタングステンからな
るロッド状部材の先端領域を円錐状に切削加工した陰極
を準備し、該円錐状に切削加工した先端領域の表面に微
粒子タングステンの焼結層を形成する。 （２）第二の工程：第一工程でタングステン焼結層を形
成した陰極の先端領域に硝酸トリウムの水溶液に浸すな
どして塗布する。 （３）第三の工程：第二の工程で硝酸トリウムの被膜が
形成された陰極を水素炉中など還元雰囲気にて熱処理
し、硝酸トリウムの中のガス放出を行ない、酸化トリウ
ムのみをタングステン微粒子間に残留させる。 （４）第四の工程：第三の工程を経て、タングステンの
焼結層に万遍なく酸化トリウムが分散存在した状態で、
陰極の放電有効先端領域の前記タングステン焼結層を除
去する。 ここで、放電有効先端領域とは、放電に際して有効に機
能する陰極先端部の領域である。
るロッド状部材の先端領域を円錐状に切削加工した陰極
を準備し、該円錐状に切削加工した先端領域の表面に微
粒子タングステンの焼結層を形成する。 （２）第二の工程：第一工程でタングステン焼結層を形
成した陰極の先端領域に硝酸トリウムの水溶液に浸すな
どして塗布する。 （３）第三の工程：第二の工程で硝酸トリウムの被膜が
形成された陰極を水素炉中など還元雰囲気にて熱処理
し、硝酸トリウムの中のガス放出を行ない、酸化トリウ
ムのみをタングステン微粒子間に残留させる。 （４）第四の工程：第三の工程を経て、タングステンの
焼結層に万遍なく酸化トリウムが分散存在した状態で、
陰極の放電有効先端領域の前記タングステン焼結層を除
去する。 ここで、放電有効先端領域とは、放電に際して有効に機
能する陰極先端部の領域である。
【００１５】
【実施例】図５は本発明の陰極の一実施例を示す。この
陰極の製造方法を具体的に示すと以下のようになる。 （１）酸化トリウムの含有量約２％のトリエーテッドタ
ングステンロッドから切削して先端が円錐状の陰極を準
備する。次に、平均粒径μｍが１μｍ、５μｍ、１０μ
ｍの３種のタングステン微粉末（純度９９．９％）をニ
トロセルロースおよび酢酸ブチルを溶剤にして混合し、
そのタングステン微粒子が分散した溶液を陰極の先端の
円錐状部分に筆等を用いて塗布する。この粒径は電極表
面の表面積をかせぎしかも確実に焼結させるために選定
された。そして、塗布面が乾燥した後、２×１０-4Ｐａ
の真空雰囲気中で２２００℃の温度にて２時間保持する
熱処理を行なった。微粒子状タングステンの焼結層の厚
みは特に限定されないが、例えば５乃至１５μｍ程度で
ある。 （２）次に濃度２０〜３０％の硝酸トリウム溶液を準備
し、その溶液の中へ前記陰極の焼結層形成部分を直接浸
し、あるいは筆等で塗布する。 （３）塗布後、大気中で乾燥後水素炉中で約４００℃、
１０分間の処理をして、硝酸ナトリウムから分解発生す
るガスを放散させる。このときに、酸化トリウムの分散
層が形成される。そして、さらに、約１０００℃まで昇
温し、１０分間保持する。これは、前記分解発生する放
出ガスによる陰極表面の酸化層を還元除去するためであ
る。さらに、真空中で約２０００℃まで昇温し１０分間
の保持をする。これは、電極を発光管に入れ放電ランプ
を製作するときに電極が晒される温度域でのガス放出を
事前に電極作製するときに行なっておくものである。 （４）次に、タングステンの焼結層に万遍なく酸化トリ
ウムが分散存在した状態で、陰極の放電有効先端領域の
前記タングステン焼結層を除去する。
陰極の製造方法を具体的に示すと以下のようになる。 （１）酸化トリウムの含有量約２％のトリエーテッドタ
ングステンロッドから切削して先端が円錐状の陰極を準
備する。次に、平均粒径μｍが１μｍ、５μｍ、１０μ
ｍの３種のタングステン微粉末（純度９９．９％）をニ
トロセルロースおよび酢酸ブチルを溶剤にして混合し、
そのタングステン微粒子が分散した溶液を陰極の先端の
円錐状部分に筆等を用いて塗布する。この粒径は電極表
面の表面積をかせぎしかも確実に焼結させるために選定
された。そして、塗布面が乾燥した後、２×１０-4Ｐａ
の真空雰囲気中で２２００℃の温度にて２時間保持する
熱処理を行なった。微粒子状タングステンの焼結層の厚
みは特に限定されないが、例えば５乃至１５μｍ程度で
ある。 （２）次に濃度２０〜３０％の硝酸トリウム溶液を準備
し、その溶液の中へ前記陰極の焼結層形成部分を直接浸
し、あるいは筆等で塗布する。 （３）塗布後、大気中で乾燥後水素炉中で約４００℃、
１０分間の処理をして、硝酸ナトリウムから分解発生す
るガスを放散させる。このときに、酸化トリウムの分散
層が形成される。そして、さらに、約１０００℃まで昇
温し、１０分間保持する。これは、前記分解発生する放
出ガスによる陰極表面の酸化層を還元除去するためであ
る。さらに、真空中で約２０００℃まで昇温し１０分間
の保持をする。これは、電極を発光管に入れ放電ランプ
を製作するときに電極が晒される温度域でのガス放出を
事前に電極作製するときに行なっておくものである。 （４）次に、タングステンの焼結層に万遍なく酸化トリ
ウムが分散存在した状態で、陰極の放電有効先端領域の
前記タングステン焼結層を除去する。
【００１６】本発明の陰極を使用してショートアーク型
水銀ランプを作製した。ランプの仕様は次の通りであ
る。 陰極直径 ：６．０ｍｍ 焼結層の幅：３〜５ｍｍ（陰極先端から陰極表面に沿っ
て３．０ｍｍの幅で焼結層を削除） アーク長 ：４．０ｍｍ 封入ガス ：Ａｒ １〜２気圧 水銀量 ：５〜１０μｌ 電流値 ：約７０Ａ 定格電圧 ：２０Ｖ
水銀ランプを作製した。ランプの仕様は次の通りであ
る。 陰極直径 ：６．０ｍｍ 焼結層の幅：３〜５ｍｍ（陰極先端から陰極表面に沿っ
て３．０ｍｍの幅で焼結層を削除） アーク長 ：４．０ｍｍ 封入ガス ：Ａｒ １〜２気圧 水銀量 ：５〜１０μｌ 電流値 ：約７０Ａ 定格電圧 ：２０Ｖ
【００１７】上記の仕様のショートアーク水銀ランプを
点灯したところ、図７に示すように、放電末期である保
証寿命の点灯（動作）時間である１５００時間以上まで
安定なアーク放電を維持することを確認した。なお、上
記では陰極先端から陰極表面に沿って３．０ｍｍの幅で
焼結層を削除したものを示したが、発明者は１．０、
２．０、４．０、５．０ｍｍの幅で焼結層を除去したラ
ンプにおいても安定なアーク放電を維持することを確認
している。
点灯したところ、図７に示すように、放電末期である保
証寿命の点灯（動作）時間である１５００時間以上まで
安定なアーク放電を維持することを確認した。なお、上
記では陰極先端から陰極表面に沿って３．０ｍｍの幅で
焼結層を削除したものを示したが、発明者は１．０、
２．０、４．０、５．０ｍｍの幅で焼結層を除去したラ
ンプにおいても安定なアーク放電を維持することを確認
している。
【００１８】
【発明の効果】本発明の陰極においては、陰極の放電有
効先端領域を除いた外表面にタングステン微粒子の焼結
層を形成し、焼結層のタングステン微粒子間に酸化トリ
ウムが分散している。したがって、酸化トリウムはタン
グステン微粒子の焼結層の隙間およびタングステン微粒
子の表面に保持されており、タングステン微粒子の焼結
層や酸化トリウムが剥離落下することなく、放電動作中
に充分な量の酸化トリウムが陰極に存在し、放電動作中
にに陰極先端のアーク領域に酸化トリウムが適宜過不足
なく供給されるので、長時間の点灯後もアークの安定性
を維持することが可能となった。
効先端領域を除いた外表面にタングステン微粒子の焼結
層を形成し、焼結層のタングステン微粒子間に酸化トリ
ウムが分散している。したがって、酸化トリウムはタン
グステン微粒子の焼結層の隙間およびタングステン微粒
子の表面に保持されており、タングステン微粒子の焼結
層や酸化トリウムが剥離落下することなく、放電動作中
に充分な量の酸化トリウムが陰極に存在し、放電動作中
にに陰極先端のアーク領域に酸化トリウムが適宜過不足
なく供給されるので、長時間の点灯後もアークの安定性
を維持することが可能となった。
【図１】本発明の適用される放電ランプの概略を示す断
面図である。
面図である。
【図２】陰極と陽極との間のアーク放電を示す図であ
る。
る。
【図３】陰極と陽極との間のアーク放電を示す図であ
る。
る。
【図４】従来の炭化タングステン被膜を塗布した陰極の
概観図を示す。
概観図を示す。
【図５】本発明の陰極先端部の断面図を示す。
【図６】アークの不安定な状況を示す図である。
【図７】本発明の陰極使用によりアークが安定した状況
を示す図である。
を示す図である。
１ 発光管 ２ 陽極 ３ 陰極 ３１ 陰極先端 ３２ 高濃度部分 ３３ 炭化タングステン層 ３４ タングステン焼結層 ４ 気密封止部分 ５ 電流供給用金属ベース １０ テーパー部 Ａ アーク
Claims (2)
- 【請求項１】 陰極の放電有効先端領域を除いた外表面
にタングステン微粒子の焼結層が形成されており、該焼
結層のタングステン微粒子間に酸化トリウムが分散して
いることを特徴とする放電ランプ用陰極。 - 【請求項２】 請求項1に記載の放電ランプ用陰極の製
造方法であって、次の工程からなる製造方法。 （１）所定の形状に加工された陰極の先端領域に微粒子
タングステンの焼結層を形成する第一の工程。 （２）第一の工程でタングステン焼結層の形成された陰
極先端領域に硝酸トリウムの溶液を塗布する第二の工
程。 （３）第二の工程後、還元雰囲気中で陰極を熱処理する
ことにより、酸化トリウムの粉末を前記タングステン焼
結層のタングステン粒子間に分散させる第三の工程。 （４）第三の工程後、陰極の放電有効先端領域を除いた
陰極のタングステン焼結層を除去する第四の工程。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29057297A JPH11111215A (ja) | 1997-10-08 | 1997-10-08 | 放電ランプ用陰極とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29057297A JPH11111215A (ja) | 1997-10-08 | 1997-10-08 | 放電ランプ用陰極とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11111215A true JPH11111215A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17757769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29057297A Pending JPH11111215A (ja) | 1997-10-08 | 1997-10-08 | 放電ランプ用陰極とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11111215A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009526366A (ja) * | 2006-02-08 | 2009-07-16 | ヴァリアン メディカル システムズ インコーポレイテッド | Ｘ線管のための改良型陰極構造 |
| JP2010153292A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Ushio Inc | 放電ランプ |
| JP2011018472A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Ushio Inc | デジタルプロジェクター用キセノンショートアークランプ |
-
1997
- 1997-10-08 JP JP29057297A patent/JPH11111215A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009526366A (ja) * | 2006-02-08 | 2009-07-16 | ヴァリアン メディカル システムズ インコーポレイテッド | Ｘ線管のための改良型陰極構造 |
| US9384935B2 (en) | 2006-02-08 | 2016-07-05 | Varian Medical Systems, Inc. | Cathode structures for X-ray tubes |
| JP2010153292A (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-08 | Ushio Inc | 放電ランプ |
| JP2011018472A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Ushio Inc | デジタルプロジェクター用キセノンショートアークランプ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3175592B2 (ja) | 放電ランプ用電極 | |
| KR100497645B1 (ko) | 고압방전램프용전극구조및그제조방법 | |
| JP2007265883A (ja) | 高圧放電ランプ | |
| JP5293172B2 (ja) | 放電ランプ | |
| JP2005519436A6 (ja) | 酸化ランタン含有陰極を有する水銀ショートアークランプ | |
| JP2946487B1 (ja) | 高圧放電灯の電極構造およびその製造方法 | |
| JP5584093B2 (ja) | ショートアーク放電灯用陰極およびその製造方法 | |
| JP2005519436A (ja) | 酸化ランタン含有陰極を有する水銀ショートアークランプ | |
| JP2005183068A (ja) | 放電ランプ | |
| JP3489373B2 (ja) | ショートアーク型水銀ランプ | |
| US4836816A (en) | Method of treating tungsten cathodes | |
| JPH11111215A (ja) | 放電ランプ用陰極とその製造方法 | |
| JP2003187741A (ja) | 放電ランプ用電極 | |
| JPH1196965A (ja) | ショートアーク型水銀ランプ | |
| US2657325A (en) | Electrode for electric discharge lamps | |
| JP2003123695A (ja) | ショートアーク型超高圧放電ランプ | |
| JP3383905B2 (ja) | 高圧放電灯およびその電極製造方法 | |
| JPH11219682A (ja) | 放電ランプ用陰極 | |
| JP3152134B2 (ja) | 放電ランプ用電極およびその製造方法 | |
| JPS6360498B2 (ja) | ||
| JP2003257365A (ja) | ショートアーク型放電灯の電極およびショートアーク型放電灯 | |
| JPS60218755A (ja) | 光源用放電管 | |
| JP3604790B2 (ja) | 放電灯の陰極の構造 | |
| JP2001319615A (ja) | 放電ランプ用陰極およびその製造方法 | |
| JPH09129178A (ja) | 金属蒸気放電灯用焼結型電極 |