JP3604790B2 - 放電灯の陰極の構造 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、ショートアーク型放電灯などの特定波長を含む紫外線を放射する放電灯に係り、特に、陰極の構成に優れた放電灯の陰極の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、半導体の配線パターンを形成する際に、紫外線を照射するショートアーク型などの放電灯が光源として使用されている。この放電灯は、陽極を上または下にした状態で垂直に点灯して使用され、放電灯の出力が大きく高温になることが知られている。前記放電灯の陰極の材料としては、タングステンの中に0.2wt%から4wt%で酸化トリウムを添加したトリエーテッドタングステンが使用されている。
【0003】
前記トリエーテッドタングステンは、タングステンよりも低い動作温度で豊富な電子放出量が得られることが知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来の放電灯の構成では、以下のような問題が存在していた。すなわち、陰極は、アーク放電による高温の熱対流によって、陰極の動作温度が過大となり、そのために、陰極を構成するタングステンの蒸発がいちじるしくなり、陰極先端が早期に消耗する。そして、陰極が消耗することで管壁が黒化し、さらに、電極間の距離が変わることで、アーク放電位置が変わってしまい放電灯として使用できなくなった。
【0005】
また、陰極の先端側を除く部分に炭化タンタルなどの多孔質膜を焼結して陰極の消耗を抑える方法も知られているが、陰極に処理する作業が特定の部位の作業であるため手間がかかり処理作業が複雑であった。
【0006】
この発明は、前述の問題点を解決すべく創案されたもので、陰極の消耗が少なく、また、陰極の寿命が長く、かつ、放電灯の点灯動作が安定しており、さらに、陰極の処理作業が簡単な放電灯の陰極の構造を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するため、この発明は、バルブ中央の膨出する発光管部内に対向して陽極と陰極が設置される放電灯であって、前記陰極の外表面に炭化タンタル(TaC)および酸化トリウム(ThO2)の混合物よりなる多孔質層を焼結し、前記酸化トリウムを0.1〜10wt%の割合で混合した放電灯の陰極の構造として構成した。
【0008】
したがって、炭化タンタル粉末および酸化トリウム粉末を所定割合で陰極外表面に焼結するため、輻射能力の大きい炭化タンタル層が形成され、さらに、多孔質層が形成されることから陰極の温度上昇を抑制する。また、酸化トリウムを混入することで、多孔質層の仕事関数が小さくなり、陰極の全体を覆っても電子放出の妨げとなることはない。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の一形態を図面に基づいて説明する。
図1(a)は、ショートアーク型放電灯の全体の構成を示す正面図、図1(b)は、電極部分を示す拡大した正面図である。
【0010】
図1(a)で示すように、ショートアーク型の放電灯1は、石英ガラスで形成されたバルブ2と、このバルブ2内に対向して配置された陽極3および陰極6と、前記バルブ2の両端側に設けた口金部9、10から構成されている。
【0011】
前記バルブ2は、その中央部が膨出して形成された発光管部2aと、この発光管部2aの両側に円管状に延びる封止管部2b,2bとから構成されている。そして、前記バルブ2内には、所定量の水銀が封入されると共に、常温で所定気圧の不活性ガスが封入されている。また、前記バルブ2の発光管部2a内には、前記陽極3および陰極6が所定距離離間した状態で対向して配置されている。
【0012】
前記陰極6は、タングステンなどで形成され、所定の形状をしており、その基端側に支持部7を介して金属箔8が接続されている。なお、前記金属箔8は、モリブデン箔で形成されている。
【0013】
前記陰極6は、その外表面に、炭化タンタルおよび酸化トリウムの粉末を、所定割合で混合したものが焼結されている。なお、酸化トリウムは、0.1wt%〜10wt%の範囲内で混入量が決定されている。
【0014】
前記陰極6に、前記所定割合で混合した炭化タンタルおよび酸化トリウムの粉末を焼結する手段としては、混合粉末に溶媒を加えたものを陰極の外表面に塗布し乾燥させた後、減圧雰囲気で高温で加熱して焼結することで、陰極6に多孔質層6aを形成する方法が好ましい。なお、陰極6に形成した多孔質層6aは、その陰極6の先端側までも覆っているが、酸化トリウムを所定量混入していることで、仕事関数が小さく、陰極6から電子を適切に放出させることが可能である。
【0015】
【実施例】
前記構成の陰極6を備える放電灯1を実際に点灯してその使用状態を実験した結果を表1に示す。
なお、この実験データでは、陰極6および陽極3の電極距離が4.0mm離間して対向させ、放電灯1内の発光管部2a内には、1mg/ccの水銀が封入されると共に、不活性ガスとして常温で0.7気圧のアルゴンガスが封入されており、モリブデン箔は、0.02mm程度の板厚で構成されている。また、放電灯1は、陰極6を上あるいは下となるように垂直状態として点灯した。
【0016】
そして、陰極6の外表面には、炭化タンタルと酸化トリウムの混合粉末で、酸化トリウムが0.1wt%〜10wt%の範囲内で混入量が決定されており、特にこの実験では2wt%の酸化トリウムが混入されたものを焼結して多孔質層6aを形成している。
【0017】
【表1】
【0018】
前記表1でも明らかなように、放電灯の点灯時間を500時間とし、炭化タンタルと酸化トリウムを焼結したときは、陰極の消耗度は、点灯前と比べ0.2mmだけ電極間距離が開いたのに対し、本願の多孔質層6aがない場合は1.1mmの電極間距離が開いてしまう。これは、炭化タンタル層および多孔質層だけでは陰極の温度上昇の抑制効果が小さいので、陰極の消耗が激しく、そのため、電極間距離が大きく開いてしまう。
【0019】
なお、前記酸化トリウムの混入量を0.1wt%以下にした場合は、酸化トリウムが蒸発により消失する度合いが短時間であり、そのため、陰極6の表面側の構成が炭化タンタルのみとなることで、陰極6の先端の放電部の仕事関数が高くなる。したがって、陰極6から電子を放出するためのエネルギーが大きくなり、放電灯1が点灯しにくくなることで、いちじるしく放電灯1の寿命が短くなる。
【0020】
また、酸化トリウムの混入量を10wt%以上とした場合は、酸化トリウムの蒸発が必要以上に多くなり、バルブ2の内壁にその酸化トリウムの蒸発したものが付着することで黒化して光束維持率が低下し、放電灯1の寿命をいちじるしく短くする。
【0021】
なお、前記放電灯の陰極および陽極の形状は、特定されるものでなく任意の形状でも構わず、放電灯内に封入される封入ガスや、水銀などの封入物の量や種類も特定されるものではない。
【0022】
【発明の効果】
以上に述べたごとく本発明は次の優れた効果を発揮する。
放電灯の陰極の外表面に、炭化タンタルと酸化トリウムの粉末を酸化トリウムの量が0.1から10wt%の範囲で混合し焼結することにより、陰極の温度上昇の抑制と、安定した点灯動作に必要な電子放出のバランスが適正に制御されるため、放電灯の安定した点灯動作をおこなえると共に、陰極の寿命を長くすることが可能となる。また、陰極の全体を多孔質層で被覆しているため、陰極の処理作業が簡単である。さらに、陰極の消耗が少ないため、アーク放電の位置が安定し適正な露光作業を可能とする。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)(b)は、この発明の第1の実施の形態を示す放電灯の全体図および電極部分の拡大正面図である。
【符号の説明】
1 放電灯
2 バルブ
2a 発光管部
2b 封止管部
3 陽極
4 支持部
5 金属箔
6 陰極
6a 多孔質層
7 支持部
8 金属箔
9 口金
10 口金
Claims (1)
- バルブ中央の膨出する発光管部内に対向して陽極と陰極が設置される放電灯であって、前記陰極はその外表面に、炭化タンタル(TaC)および酸化トリウム(ThO2)の混合物を焼結して多孔質層を形成し、前記酸化トリウムを0.1〜10wt%の割合で混合したことを特徴とする放電灯の陰極の構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26961495A JP3604790B2 (ja) | 1995-10-18 | 1995-10-18 | 放電灯の陰極の構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26961495A JP3604790B2 (ja) | 1995-10-18 | 1995-10-18 | 放電灯の陰極の構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09115478A JPH09115478A (ja) | 1997-05-02 |
JP3604790B2 true JP3604790B2 (ja) | 2004-12-22 |
Family
ID=17474811
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26961495A Expired - Fee Related JP3604790B2 (ja) | 1995-10-18 | 1995-10-18 | 放電灯の陰極の構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3604790B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29823366U1 (de) * | 1998-08-06 | 1999-07-08 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH, 81543 München | Elektrode für eine Hochdruckentladungslampe mit langer Lebensdauer |
JP4295527B2 (ja) * | 2003-02-27 | 2009-07-15 | 株式会社アライドマテリアル | 放電ランプ及びその電極構造 |
-
1995
- 1995-10-18 JP JP26961495A patent/JP3604790B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09115478A (ja) | 1997-05-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040816 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040825 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040903 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040930 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081008 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091008 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091008 Year of fee payment: 5 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091008 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091008 Year of fee payment: 5 |
|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091008 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091008 Year of fee payment: 5 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091008 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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