JPH11111161A

JPH11111161A - 蛍光表示装置の製造方法

Info

Publication number: JPH11111161A
Application number: JP26981097A
Authority: JP
Inventors: Sashiro Kamimura; 佐四郎上村
Original assignee: Ise Electronics Corp
Current assignee: Noritake Itron Corp
Priority date: 1997-10-02
Filing date: 1997-10-02
Publication date: 1999-04-23

Abstract

(57)【要約】【課題】蛍光表示装置の電子放出部を、より容易に作
製できるようにする。【解決手段】セラミック基板１０６ａ上の中央部に電
極１０６ｂを配置し、その上面の約３ｍｍφの領域に、
カーボンナノチューブの集合体からなる長さ数ｍｍの針
形状の柱状グラファイト（エミッタ）１２１を、その長
手方向をほぼ蛍光面１０４の方向に向けて固定配置する
ことで、カソード構体１０６を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、電子線の衝撃に
よる蛍光体の発光を利用した蛍光表示装置の製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】蛍光表示装置は、少なくとも一方が透明
な真空容器の中で、電子放出部から放出される電子を、
蛍光体に衝突発光させて発光させ、その発光光を利用す
る電子管である。この蛍光表示装置は、通常では、電子
の働きを制御するためのグリッドを備えた３極管構造の
ものが最も多く用いられている。そして、従来では、電
子放出部にフィラメントと呼ばれる陰極を用い、ここよ
り放出される熱電子を蛍光体に衝突発光させていた。こ
のような蛍光表示装置の中で、大画面ディスプレイ装置
の画素を構成する画像管がある。

【０００３】以下、画像管について図２を用いて説明す
る。まず、円筒形のガラスバルブ２０１内に、蛍光面２
０４、陽極電極構体２０５、そして、および電子放出部
を構成するカソード構体２０６を配置する。そして、円
筒形のガラスバルブ２０１の開口端に、透光性を有する
フェースガラス２０２を低融点フリットガラス２０３に
より接着固定する。そして、ガラスバルブ２０１のステ
ムガラス２０８に一体形成されている排気管２０８ａよ
り真空排気することで、ガラスバルブ２０１内を真空状
態としている。

【０００４】まず、フェースガラス２０２は、前面側に
凸型レンズ状の球面部２０２ａを形成し、周縁部に鍔状
に段差部２０２ｂを形成しておく。また、内面２０２ｃ
の主要面には、蛍光面２０４およびＡｌメタルバック膜
２０７を順次積層して形成しておく。また、フェースガ
ラス２０２の内面２０２ｃの周辺部には、例えばステン
レス材の薄板をプレス成形法により加工して形成した弾
性力を有する接触片２０７ａの一端側を挿入してある。
また、その接触片２０７ａは、例えばカーボンまたは銀
とフリットガラスとの混合体からなる導電性接着材によ
り、Ａｌメタルバック膜２０７に接触してフェースガラ
ス２０２の内面２０２ｃの所定部分に接着固定する。そ
して、この接触片２０７ａの他端側は、ガラスバルブ２
０１の内壁面方向に向けて延在した状態としておく。

【０００５】一方、ガラスバルブ２０１底部を構成する
ステムガラス２０８には、リードピン２０９ａ〜２０９
ｅを挿通しておく。また、このステムガラス２０８上に
は、そのリードピン２０９ａの先端部に陽極リード２１
０を溶接により固定し、この陽極リード２１０の先端部
に円筒状の陽極電極構体２０５を溶接により固定配置し
て搭載する。この陽極電極構体２０５は、例えばステン
レス材の金属線をリング状に丸めて成形したリング状陽
極２０５ａと、このリング状陽極２０５ａの外周面に矩
形状のステンレス材の薄板を巻き付けて重ね合った部分
を２点で溶接などにより固定して円筒形状に形成した円
筒状陽極２０５ｂとから構成する。

【０００６】また、この陽極電極構体２０５は、陽極リ
ード２１０の先端部に対してリング状陽極２０５ａと所
定の箇所で溶接し、さらに陽極リード２１０の最先端部
分で円筒状陽極２０５ｂの内側との接触部分で溶接して
固定した状態とする。さらにこのリング状陽極２０５ａ
の一部には、Ｂａゲッター２０５ｃを溶接などより取り
付け固定しておく。

【０００７】また、リードピン２０９ｂ〜２０９ｅの先
端部には、カソードリード２１１ｂ〜２１１ｅを溶接に
より固定し、このカソードリード２１１ｂ〜２１１ｅの
先端部には、カソード構体２０６を溶接により固定配置
した状態とする。このカソード構体２０６は、次に示す
ように形成する。まず、セラミック基板２０６ａ上の中
央部に背面電極２０６ｂを配置して固定する。次に、そ
の上部に所定の間隔を開けてフィラメントカソード２０
６ｃを２本の支柱により固定する。そして、それらを覆
うように、メッシュ部２０６ｅを有する楕円状のグリッ
ドハウジング２０６ｄを、セラッミック基板２０６ａ上
に搭載する。なお、メッシュ部２０６ｅは、蛍光面２０
４の方向に球面状に突出した形状としておく。

【０００８】以上示したように形成される画像管は、ま
ず、外部回路からリードピン２０９ｃ，２０９ｄに電圧
（加熱電源）を供給することで、カソードリード２１１
ｃ，２１１ｄを介し、フィラメントカソード２０６ｃに
所定の電位を印加して熱電子が放出される状態とする。
また、外部回路からリードピン２０９ｂに電圧を供給す
ることで、カソードリード２１１ｂを介し、背面電極２
０６ｂにフィラメントカソード２０６ｃに対して負の電
位を印加する。加えて、外部回路からリードピン２０９
ｅに電圧を供給することで、カソードリード２１１ｅを
介し、グリトハウジング２０６ｄにフィラメントカソー
ド２０６ｃに対して正の電位を印加することで、グリッ
ドハウジング２０６ｄのメッシュ部２０６ｅより電子ビ
ームを放出させる。

【０００９】そして、外部回路からリードピン２０９ａ
に高電圧を供給し、陽極リード２１０→陽極電極構体２
０５（円筒状陽極２０５ｂ）→接触片２０７ａの経路を
それぞれ導通してＡｌメタルバック膜２０７にその高電
圧が印加された状態とすることで、放出された電子を円
筒状陽極２０５ｂにより加速し、Ａｌメタルバック膜２
０７を貫通させて蛍光面２０４に衝撃させる。この結
果、蛍光面２０４は電子衝撃により励起し、蛍光面２０
４を構成する蛍光体の応じた発光色をフェースガラス２
０２を透過して前面側に発光表示することになる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の蛍光
表装置に用いられていた電子放出部としてのフィラメン
ト（フィラメントカソード）は、主に、直径７〜２０μ
ｍのタングステンの細線に、電子放射性物質を塗布して
形成している。その電子放出物質としては、一般に、酸
化バリウム・酸化カルシウム・酸化ストロンチウムのい
わゆる三元酸化物から構成するようにしている。ここ
で、これら酸化物は空気中ではきわめて不安定である、
このため、フィラメントの作製においては、炭酸バリウ
ム・炭酸カルシウム・炭酸ストロンチウムのいわゆる炭
酸塩の形でタングステン細線に外形が２２〜３５μｍに
なるように塗布し、これを例えば、上述の画像管製造に
おいて、各部品とともに組み込んだ上で、外囲器内を真
空排気してエージングする段階で酸化物にするようにし
ている。

【００１１】したがって、従来の蛍光表示装置では、電
子放出部として上述したようなフィラメントを用いるよ
うにしているため、次に示すような問題点があった。す
なわち、非常に細く脆弱なフィラメントを架張して取り
付け組み立てなければならないため、取り扱いに不便が
あり、製造しにくいという問題があった。また、上述し
たように、フィラメントカソードを作製するためには工
数が非常に多い状態であった。

【００１２】この発明は、以上のような問題点を解消す
るためになされたものであり、蛍光表示装置の電子放出
部を、より容易に作製できるようにすることを目的とす
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この発明の蛍光表示装置
の製造方法は、電子放出部を、円筒状のグラファイトの
層からなるカーボンナノチューブから構成され、その先
端部が蛍光面側に向かって配置されてその先端部より電
子が放出するエミッタと、そのエミッタの電子放出側に
配置されたエミッタより電子を引き出すための電子引き
出し電極とから構成するようにした。このように製造す
るようにしたので、エミッタと電子引き出し電極とで電
界放出型冷陰極電子源を構成できる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下この発明の実施の形態を図を
参照して説明する。図１は、この発明の実施の形態にお
ける蛍光表示装置である画像管の構成を示す構成図であ
る。以下、この実施の形態における画像管の構成につい
て、その製造方法とともに説明すると、まず、円筒形の
ガラスバルブ１０１中に、蛍光面１０４、陽極電極構体
１０５、そして、および電子放出部を構成するカソード
構体１０６を配置する。また、ガラスバルブ１０１の開
口端に、フェースガラス１０２を低融点フリットガラス
１０３により接着固定する。そして、ガラスバルブ１０
１の底部にはステムガラス１０８を配置し、このステム
ガラス１０８に一体形成した排気管１０８ａより真空排
気することで、柄図バルブ１０１内を真空状態とする。

【００１５】まず、フェースガラス１０２は、前面側に
は凸型レンズ状の球面部１０２ａを形成し、周縁部には
鍔状に段差部１０２ｂを形成しておく。このフェースガ
ラス１０２の内面１０２ｃには、図１（ｂ）に示すよう
に、その周辺部分の一部に窪み状の凹部１０２ｄも形成
しておく。また、この内面１０２ｃの主要面には、蛍光
面１０４を形成し、この蛍光面１０４表面にはＡｌメタ
ルバック膜１０７を形成する。なお、凹部１０２ｄ内に
は蛍光面１０４は形成せず、Ａｌメタルバック膜１０７
のみを形成するようにする。この、凹部１０２ｄ内に
は、例えばステンレス材の薄板をプレス成形法により加
工して形成された弾性力を有する接触片１０７ａの一端
側を挿入配置する。この接触片１０７ａは、例えばカー
ボンまたは銀とフリットガラスとの混合体からなる導電
性接着材１０により、その凹部１０２ｄ部分に接着固定
することで形成する。そして、この接触片１０７ａの他
端側は、ガラスバルブ１０１の内壁面方向に向けて延在
しておく。

【００１６】ところで、蛍光面１０４は、白色蛍光体と
して、例えば、Ｙ₂Ｏ₂Ｓ：Ｔｂ＋Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ混合蛍光
体を溶媒に溶かした溶材を約２０μｍ程度の厚さに内面
１０２ｃに印刷塗布し、これを乾燥することで形成す
る。ここで、凹部１０２ｄ内には蛍光面１０４は塗布し
ない状態としておく。なお、用いる蛍光体は、Ｙ₂Ｏ
₂Ｓ：Ｔｂ＋Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ混合蛍光体に限るものではな
く、他の蛍光体を用いるようにしてもよいことはいうま
でもない。また、蛍光面１０４表面には、蒸着により約
厚さ１５０ｎｍ程度にアルミニウム膜を成膜すること
で、Ａｌメタルバック膜１０７を形成する。ここで、凹
部１０２ｄ内には蛍光面１０４は塗布されていないの
で、Ａｌメタルバック膜１０７のみが形成された状態と
なる。

【００１７】なお、このＡｌメタルバック膜１０７の厚
さは薄すぎると、ピンホールが増加して蛍光面１０４の
反射が減少する。一方、その厚さが厚すぎると、蛍光面
１０４に対する電子ビームの電子の侵入が阻害されて発
光が小さくなる。したがって、Ａｌメタルバック膜１０
７の厚さのコントロールは重要である。このため、前述
したように、Ａｌメタルバック膜１０７は厚さを約１５
０ｎｍ程度とした方がよい。なお、それら蛍光面１０４
及びＡｌメタルバック膜１０７を形成した後、フェース
ガラス１０２を、例えば電気炉などにより５６０℃で３
０分程度空気中で焼成し、塗布膜中の溶媒類を除去す
る。

【００１８】そして、このフェースガラス１０２は、例
えば、直径約２０mm，長さ約５０mmの両端が切断された
ガラスバルブ１０１の一方の開口端に、フェースガラス
１０２の周縁部に形成された鍔状の段差部１０２ｂ部分
で、低融点フリットガラス１０３により接着固定する。
これは、その接着面に低融点フリットガラスペーストを
塗布し、フェースガラス１０２の段差部１０２ｂ部分と
ガラスバルブ１０１の開口端とを、その低融点フリット
ガラスペーストを介してつき合わせ、これらを加熱焼成
すればよい。

【００１９】一方、ガラスバルブ１０１底部のステムガ
ラス１０８部分には、リードピン１０９を挿通して形成
する。また、そのリードピン１０９の先端部に、陽極リ
ード１１０を溶接により固定し、この陽極リード１１０
の先端部に、円筒状の陽極電極構体（電子加速電極）１
０５を溶接により固定配置する。この陽極電極構体１０
５の形成について説明すると、まず、例えばステンレス
材の金属線（線径約０．５ｍｍ）をリング状に丸めるこ
とで、リング状陽極１０５ａを成形する。そして、この
リング状陽極１０５ａの外周面に、矩形状のステンレス
材の薄板（板厚０．０１〜０．０２mm）を巻き付け、重
ね合った部分を溶接点１０５ｄと溶接点１０５ｅの２カ
所で溶接して固定する。このことにより、円筒形状に円
筒状陽極１０５ｂを形成できる。

【００２０】また、この陽極電極構体１０５は、陽極リ
ード１１０の先端部に対してリング状陽極１０５ａと所
定の箇所で溶接し、さらに、陽極リード１１０の最先端
部分で円筒状陽極１０５ｂの内側との接触部分で溶接し
て固定する。さらに、このリング状陽極１０５ａの一部
には、Ｂａゲッター１０５ｃを溶接などより取り付け固
定する。なお、図１（ａ）において、陽極電極構体１０
５やリードピン１０９に関しては、断面を示していな
い。

【００２１】また、ステムガラス１０８には、リードピ
ン１０９ａ，１０９ｂも挿通し、リードピン１０９ａ，
１０９ｂの先端部には、カソードリード１１１ａ，１１
１ｂを溶接により固定し、このカソードリード１１１
ａ，１１１ｂの先端部には、カソード構体１０６を溶接
により固定配置する。このカソード構体１０６は、次に
示すように形成する。まず、セラミック基板１０６ａ上
の中央部に、電極（導電板）１０６ｂを配置する。ま
た、その上面に、図１（ｂ）に拡大表示したように、約
３ｍｍφの領域に、カーボンナノチューブの集合体から
なる長さ数ｍｍの針形状の柱状グラファイト（エミッ
タ）１２１を、その長手方向をほぼ蛍光面１０４の方向
に向けて固定配置する。

【００２２】その柱状グラファイト１２１は、導電性接
着剤１２２により固定配置する。この固定は、例えば、
導電性接着剤１２２を介して柱状グラファイト１２１を
電極１０６ｂ上に配置し、導電性接着剤１２２の溶剤な
どを揮発させ、その後、空気中で４０〜６００℃程度に
１５〜６０分間程度加温して焼成すればよい。このよう
に、酸素が存在する雰囲気で焼成を行うことで、製造過
程で副生成物などとして柱状グラファイト１２１に付着
している炭素粉を、焼失させることができる。この炭素
粉が残留していると、振動などにより飛散し、悪影響を
及ぼす原因となる場合がある。なお、この焼成は、例え
ば、１〜１０^-3Ｔｏｒｒ程度に真空排気された雰囲気で
行うようにしてもよい。そして、それらを覆うように、
メッシュ部（電子引き出し電極）１０６ｅを備えたハウ
ジング１０６ｄを配置する。

【００２３】この柱状グラファイト１２１は、図１
（ｃ）に示すように、カーボンナノチューブ１２１ａ
が、ほぼ同一方向を向いて集合した構造体である。な
お、この図１（ｃ）は、柱状グラファイト１２１を途中
で切った断面を見る斜視図である。そして、カーボンナ
ノチューブ１２１ａは、例えば図１（ｄ）に示すよう
に、完全にグラファイト化して筒状をなし、その直径は
４〜５０ｎｍ程度であり、その長さは１μｍオーダであ
る。そして、図１（ｅ）に示すように、その先端部は五
員環が入ることにより閉じている。このカーボンナノチ
ューブは、ヘリウムガス中で２本の炭素電極を１〜２ｍ
ｍ程度離した状態で直流アーク放電を起こすことで、陽
極側の炭素が蒸発して陰極側の炭素電極先端に凝集した
堆積物中に形成できる。

【００２４】すなわち、炭素電極間のギャップを１ｍｍ
程度に保った状態で、ヘリウム中で安定なアーク放電を
持続させ、陽極の炭素電極の直径とほぼ同じ径をもつ円
柱状の堆積物を陰極先端に形成する。その円柱状の堆積
物は、外側の固い殻と、その内側のもろくて黒い芯との
２つの領域から構成されている。そして、内側の芯は、
堆積物柱の長さ方向にのびた繊維状の組織をもってい
る。その繊維状の組織が、上述した柱状グラファイトで
あり、堆積物柱を切り出すことなどにより、柱状グラフ
ァイトを得ることができる。なお、外側の固い殻は、グ
ラファイトの多結晶体である。

【００２５】そして、その柱状グラファイトにおいて、
カーボンナノチューブは、炭素の多面体微粒子（ナノポ
リヘドロン：nanopolyhedoron）とともに、複数が集合
している。そのカーボンナノチューブは、図１（ｄ），
（ｅ）では模式的に示したように、グラファイトの単層
が円筒状に閉じた形状と、複数のグラファイトの層が入
れ子構造的に積層し、それぞれのグラファイト層が円筒
状に閉じた同軸多層構造となっている形状とがある。そ
して、それらの中心部分は、空洞となっている。

【００２６】以上示したように、この実施の形態におい
ては、カーボンナノチューブ１２０ａからなる柱状グラ
ファイト１２１を電極１０６ｂ上に固定配置し、そし
て、それらを覆うように、ハウジング１０６ｄをセラッ
ミック基板１０６ａ上に搭載した状態とすることでカソ
ード構体１０６を形成した。なお、メッシュ部１０６ｅ
は、蛍光面１０４の方向に球面状に突出した形状とす
る。また、このハウジング１０６ｄは、板厚が約１００
μｍ程度のステンレス板材をプレス成形することにより
形成する。また、メッシュ部１０６ｅは、例えば縦方向
寸法が約６mm，横方向寸法が約４mmとし、高さが約１．
２５mmの大きさに形成する。そして、メッシュ部１０６
ｅは、柱状グラファイト１２１先端部より０．５〜１ｍ
ｍ程度離間した状態とする。なお、これらの間隔は、接
触しない状態でなるべく近づけた方がよい。

【００２７】以上示したように形成される画像管は、ま
ず、外部回路からリードピン１０９ａ，１０９ｂに電圧
を供給することで、カソードリード１１１ａ，１１１ｂ
を介して電極１０６とハウジング１０６ｄとの間に電界
をかける。そして、このことにより、電極１０６上に固
定配置された柱状グラファイト１２１のカーボンナノチ
ューブ先端に高電界を集中させ、電子を引き出してメッ
シュ部１０６ｅより放出させる。すなわち、この実施の
形態によれば、電子放出部であるカソード構体１０６
が、柱状グラファイト１２１のカーボンナノチューブ１
２１ａをエミッタとした、電界放出型冷陰極電子源の構
成となる。

【００２８】そして、外部回路からリードピン１０９に
高電圧を供給し、陽極リード１１０→陽極電極構体１０
５（円筒状陽極１０５ｂ）→接触片１０７ａの経路をそ
れぞれ導通してＡｌメタルバック膜１０７にその高電圧
が印加された状態とすることで、放出された電子を円筒
状陽極１０５ｂにより加速し、Ａｌメタルバック膜１０
７を貫通させて蛍光面１０４に衝撃させる。この結果、
蛍光面１０４は電子衝撃により励起し、蛍光面１０４を
構成する蛍光体の応じた発光色を、フェースガラス１０
２を透過して前面側に発光表示することになる。

【００２９】以上示したように、この実施の形態によれ
ば、カーボンナノチューブを配置することで電子放出部
を形成した。この結果、電子放出部は電界放出型冷陰極
電子源なりる。したがって、この実施の形態によれば、
電子放出部は、フィラメントのような脆弱な部品を用い
るようにしていないので、簡便に取り扱うことができ、
容易に形成することが可能となる。また、フィラメント
の加熱電源も必要がないので、リードピンの数が減ら
せ、より製造を簡略化できる。

【００３０】なお、上記実施の形態では、画像管につい
て説明したが、これに限るものではな。この発明は、真
空容器内に蛍光体からなる発光部と、これを発光させる
ための電子放出源とを備えた、その他の蛍光表示装置に
も適用できることはいうまでもない。例えば、フェース
ガラスと蛍光面との間に光学フィルターを形成してもよ
い。このように光学フィルターを形成することで、発光
色を変化させた画像管とすることができる。また、同一
の真空容器内に複数の蛍光面を備え、多色化をした画像
管とするようにしてもよい。また、蛍光面を所望の形状
とし、所望の形状のキャラクタを表示する平型管とする
ようにしてもよい。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、この発明では、蛍
光表示管を構成する外囲器内に、円筒状のグラファイト
の層からなり先端部が蛍光面側に向かって配置したカー
ボンナノチューブからなるエミッタを形成し、外囲器内
のエミッタの電子放出側に配置してエミッタより電子を
引き出すための電子引き出し電極を形成するようにし
た。すなわち、この発明によれば、カーボンナノチュー
ブからなるエミッタと電子引き出し電極とにより、電界
放出型冷陰極電子源が構成できる。この結果、この発明
によれば、蛍光表示装置の電子放出部を、フィラメント
のような脆弱な部品を用いることなく作製できるように
なり、ひいては、蛍光表示装置をより容易に製造できる
ようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態における画像管の構成
を示す構成図である。

【図２】従来の画像管の構成を示す構成図である。

【符号の説明】

１０１…ガラスバルブ、１０２…フェースガラス、１０
３…低融点フリットガラス、１０４…蛍光面、１０５…
陽極電極構体、１０５ａ…リング状陽極、１０５ｂ…円
筒状陽極、１０５ｃ…Ｂａゲッター、１０６…カソード
構体、１０６ａ…セラミック基板、１０６ｂ…電極（導
電板）、１０６ｄ…ハウジング、１０６ｅ…メッシュ部
（電子引き出し電極）、１０７…Ａｌメタルバック膜、
１０７ａ…接触片、１０８…ステムガラス、１０８ａ…
排気管、１０９，１０９ａ，１０９ｂ…リードピン、１
１０…陽極リード、１１１ａ，１１１ｂ…カソードリー
ド、１２１…柱状グラファイト（エミッタ）、１２１ａ
…カーボンナノチューブ、１２２…導電性接着剤。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも一部が透光性を有する表示面
を有しかつ内部が真空排気された外囲器と、前記表示面
の内側に形成された蛍光体からなり電子の衝撃により発
光する蛍光面を備えた蛍光表示管の製造方法において、前記外囲器内に、円筒状のグラファイトの層からなり先
端部が前記蛍光面側に向かって配置したカーボンナノチ
ューブからなるエミッタを形成し、前記外囲器内のエミッタの電子放出側に前記エミッタよ
り電子を引き出すための電子引き出し電極を配置するこ
とを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。
【請求項２】請求項１記載の蛍光表示装置の製造方法
において、前記エミッタは、前記外囲器内で表面を前記蛍光面に向
けて配置した板状の導電板上に、前記カーボンナノチュ
ーブを導電性を有する接着剤で固定することにより形成
されることを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。
【請求項３】請求項２記載の蛍光表示装置の製造方法
において、前記カーボンナノチューブの導電性を有する接着剤によ
る固定は、酸素が存在する雰囲気で高温処理して焼成す
ることにより行うことを特徴とする蛍光表示装置の製造
方法。
【請求項４】請求項１〜３いずれか１記載の蛍光表示
装置の製造方法において、前記エミッタは、前記カーボンナノチューブの集合体か
らなる柱状グラファイトから構成されていることを特徴
とする蛍光表示装置の製造方法。
【請求項５】請求項４記載の蛍光表示装置の製造方法
において、前記柱状グラファイトは、その先端部が前記蛍光面に向
いた状態で配置されることを特徴とする蛍光表示装置の
製造方法。
【請求項６】請求項１〜５記載の蛍光表示装置の製造
方法において、前記引き出し電極は、前記蛍光面と前記エミッタとの間
に配置されることを特徴とする蛍光表示装置の製造方
法。
【請求項７】請求項１〜５記載の蛍光表示装置の製造
方法において、前記引き出し電極は、前記蛍光面と前記表示面との間に
配置されることを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。
【請求項８】請求項１〜７記載の蛍光表示装置の製造
方法において、前記蛍光面と前記表示面との間に光学フィルターが配置
されることを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。
【請求項９】請求項１〜８記載の蛍光表示装置の製造
方法において、前記蛍光面を形成した後でこの表面に金属膜を形成し、さらに、前記蛍光面と前記電子引き出し電極との間に、
前記金属膜に電気的に接続させて、前記電子引き出し電
極より高い電位が印加される電子加速電極を配置するこ
とを特徴とする蛍光表示装置の製造方法。