JPH11109068A - 二軸ステージ - Google Patents
二軸ステージInfo
- Publication number
- JPH11109068A JPH11109068A JP26678997A JP26678997A JPH11109068A JP H11109068 A JPH11109068 A JP H11109068A JP 26678997 A JP26678997 A JP 26678997A JP 26678997 A JP26678997 A JP 26678997A JP H11109068 A JPH11109068 A JP H11109068A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- screw rod
- stepping motor
- signal
- fixed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ステージ駆動の位置決め精度を高める。
【解決手段】 Ｘ軸、Ｙ軸の両軸駆動を、磁気遮蔽を施
し台に固定した電気制御モータにて行うよう構成し、か
つ非磁性体部材でステージ全体を構成したものである。
したがって、Ｘ軸、Ｙ軸の駆動が円滑に行われる。
し台に固定した電気制御モータにて行うよう構成し、か
つ非磁性体部材でステージ全体を構成したものである。
したがって、Ｘ軸、Ｙ軸の駆動が円滑に行われる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料をＸ軸、Ｙ軸
の二軸方向に移動させながら、試料に磁界を与えてその
欠陥を探査する装置に好適な二軸ステージに関するもの
である。
の二軸方向に移動させながら、試料に磁界を与えてその
欠陥を探査する装置に好適な二軸ステージに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】磁界を使用して金属材料の欠陥検出など
に使用される装置においては、測定試料をＸ軸、Ｙ軸に
移動させる非破壊非接触計測システムが使用される。こ
のシステムとして従来より使用されているものは、図５
に示すように測定試料（Ａ）を載置するＸ軸、Ｙ軸方向
に可動なステージ（Ｂ）と、測定試料（Ａ）に磁界を与
え欠陥を探査するセンサー（Ｃ）と、このセンサー
（Ｃ）からの出力信号を変換するコントローラ（Ｅ）
と、計測制御を行うコンピュータ（Ｄ）と、ステージを
駆動するコントローラ（Ｆ）およびステージ駆動源
（Ｇ）から構成されている。この測定システムでは、測
定対象である鉄や鋼材のような磁性を持つ測定試料
（Ａ）から生ずる、磁気的なバックグランドノイズを除
去することによって測定精度を上げることができる。こ
の磁気的ノイズを除去するために、従来は図６に示すよ
うにＸ軸、Ｙ軸方向に可動なステージ（Ｂ）の一方の軸
のたとえばＸ軸の駆動手段として測定試料（Ａ）を載置
するテーブル（Ｔ）をロッドの先端に取付けた空気圧シ
リンダ（Ｈ）を使用し、他方のＹ軸の駆動手段として
は、前記空気圧シリンダ（Ｈ）の動作方向と直角方向に
配置したねじ棒（Ｊ）に連結する磁気遮蔽を施し固定さ
れている電気駆動源（Ｋ）を設置している。（Ｎ）はね
じ棒が螺合するナットで、空気圧シリンダ（Ｈ）に一体
的に設けられている。なお、ステージ材料にはアルミニ
ウム、真鍮、樹脂などの非磁性材料を使用している。
に使用される装置においては、測定試料をＸ軸、Ｙ軸に
移動させる非破壊非接触計測システムが使用される。こ
のシステムとして従来より使用されているものは、図５
に示すように測定試料（Ａ）を載置するＸ軸、Ｙ軸方向
に可動なステージ（Ｂ）と、測定試料（Ａ）に磁界を与
え欠陥を探査するセンサー（Ｃ）と、このセンサー
（Ｃ）からの出力信号を変換するコントローラ（Ｅ）
と、計測制御を行うコンピュータ（Ｄ）と、ステージを
駆動するコントローラ（Ｆ）およびステージ駆動源
（Ｇ）から構成されている。この測定システムでは、測
定対象である鉄や鋼材のような磁性を持つ測定試料
（Ａ）から生ずる、磁気的なバックグランドノイズを除
去することによって測定精度を上げることができる。こ
の磁気的ノイズを除去するために、従来は図６に示すよ
うにＸ軸、Ｙ軸方向に可動なステージ（Ｂ）の一方の軸
のたとえばＸ軸の駆動手段として測定試料（Ａ）を載置
するテーブル（Ｔ）をロッドの先端に取付けた空気圧シ
リンダ（Ｈ）を使用し、他方のＹ軸の駆動手段として
は、前記空気圧シリンダ（Ｈ）の動作方向と直角方向に
配置したねじ棒（Ｊ）に連結する磁気遮蔽を施し固定さ
れている電気駆動源（Ｋ）を設置している。（Ｎ）はね
じ棒が螺合するナットで、空気圧シリンダ（Ｈ）に一体
的に設けられている。なお、ステージ材料にはアルミニ
ウム、真鍮、樹脂などの非磁性材料を使用している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ステージの
駆動に空気圧シリンダを使う従来技術では、特に空気圧
シリンダの起動、停止時の位置決め精度が悪く、その誤
差を少なくするため空気圧シリンダを起動、停止するこ
となく一定速度で動かしながらデータを収集するという
操作をしなければならない。また、電源以外にコンプレ
ッサーなどの空圧源や空気圧制御装置などが必要であり
システム全体が大掛かりになるという問題点があった。
本発明は上記問題点に鑑み、システム全体をコンパクト
にまとめると共に、位置決め精度の高い二軸ステージを
提供することを目的とするものである。
駆動に空気圧シリンダを使う従来技術では、特に空気圧
シリンダの起動、停止時の位置決め精度が悪く、その誤
差を少なくするため空気圧シリンダを起動、停止するこ
となく一定速度で動かしながらデータを収集するという
操作をしなければならない。また、電源以外にコンプレ
ッサーなどの空圧源や空気圧制御装置などが必要であり
システム全体が大掛かりになるという問題点があった。
本発明は上記問題点に鑑み、システム全体をコンパクト
にまとめると共に、位置決め精度の高い二軸ステージを
提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の二軸ステージはＸ軸、Ｙ軸の両軸駆動を、
磁気遮蔽を施した電気制御モータにて行うよう構成し、
かつ非磁性体部材でステージ全体を構成したものであ
る。したがって、Ｘ軸、Ｙ軸の駆動が円滑に行われる。
め、本発明の二軸ステージはＸ軸、Ｙ軸の両軸駆動を、
磁気遮蔽を施した電気制御モータにて行うよう構成し、
かつ非磁性体部材でステージ全体を構成したものであ
る。したがって、Ｘ軸、Ｙ軸の駆動が円滑に行われる。
【０００５】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１から図４にし
たがって説明する。
たがって説明する。
【０００６】基礎となる台１に、二本のガイドバー２
ａ、２ｂをＹ軸方向に平行に配置し、このガイドバー２
ａ、２ｂに空隙なく係合しＹ軸方向にスライド可能なガ
イド受け３ａ、３ｂを有するテーブル３が取り付けられ
ている。このテーブル３には、二本のガイドバー４ａ、
４ｂを前記Ｙ軸と直角なＸ軸方向に平行に配置し、この
ガイドバー４ａ、４ｂに空隙なく係合し、Ｘ軸方向にス
ライド可能なガイド受け５ａ、５ｂを有するテーブル５
が取り付けられている。
ａ、２ｂをＹ軸方向に平行に配置し、このガイドバー２
ａ、２ｂに空隙なく係合しＹ軸方向にスライド可能なガ
イド受け３ａ、３ｂを有するテーブル３が取り付けられ
ている。このテーブル３には、二本のガイドバー４ａ、
４ｂを前記Ｙ軸と直角なＸ軸方向に平行に配置し、この
ガイドバー４ａ、４ｂに空隙なく係合し、Ｘ軸方向にス
ライド可能なガイド受け５ａ、５ｂを有するテーブル５
が取り付けられている。
【０００７】前記基礎となる台１のＹ軸方向の一端に
は、軸受１２ｂ、継手１２ｃ、ステッピングモータ１２
ｄおよび、それらを囲むパーマロイ製の磁気遮蔽ケース
１２ａから構成される前記テーブル３の駆動装置１２が
取付け台１３を介して取付けられている。テーブル３の
駆動装置１２側の側面にはＹ軸方向に軸心を有する、め
ねじ部１６が突設されており、このめねじ部１６に空隙
なく係合したねじ棒１１が、駆動装置１２の軸受１２ｂ
に支受けされ継手１２ｃによってステッピングモータ１
２ｄに連結されている。
は、軸受１２ｂ、継手１２ｃ、ステッピングモータ１２
ｄおよび、それらを囲むパーマロイ製の磁気遮蔽ケース
１２ａから構成される前記テーブル３の駆動装置１２が
取付け台１３を介して取付けられている。テーブル３の
駆動装置１２側の側面にはＹ軸方向に軸心を有する、め
ねじ部１６が突設されており、このめねじ部１６に空隙
なく係合したねじ棒１１が、駆動装置１２の軸受１２ｂ
に支受けされ継手１２ｃによってステッピングモータ１
２ｄに連結されている。
【０００８】一方前記基礎となる台１のＸ軸方向の一端
には、軸受７ｂ、継手７ｃ、ステッピングモータ７ｄお
よびそれらを囲むパーマロイ製の磁気遮蔽ケース７ａか
ら構成される前記テーブル５の駆動装置７が取付け台８
を介して取付けられている。テーブル５の駆動装置７側
の側面には、Ｙ軸に平行でＹ軸方向に長い抜き穴１４が
突設されたフラットプレート部９が設けられている。こ
の抜き穴に外周の両端で嵌合する溝を有しＹ軸方向に可
動で、回転方向に固定されたＸ軸方向に軸芯を有するめ
ねじ部材１０が設けられており、このめねじ部材１０に
係合するねじ棒６が、駆動装置７の軸受７ｂに支受けさ
れ継手７ｃによってステッピングモータ７ｄに連結され
ている。
には、軸受７ｂ、継手７ｃ、ステッピングモータ７ｄお
よびそれらを囲むパーマロイ製の磁気遮蔽ケース７ａか
ら構成される前記テーブル５の駆動装置７が取付け台８
を介して取付けられている。テーブル５の駆動装置７側
の側面には、Ｙ軸に平行でＹ軸方向に長い抜き穴１４が
突設されたフラットプレート部９が設けられている。こ
の抜き穴に外周の両端で嵌合する溝を有しＹ軸方向に可
動で、回転方向に固定されたＸ軸方向に軸芯を有するめ
ねじ部材１０が設けられており、このめねじ部材１０に
係合するねじ棒６が、駆動装置７の軸受７ｂに支受けさ
れ継手７ｃによってステッピングモータ７ｄに連結され
ている。
【０００９】しかも、基礎となる台１をはじめ前記磁気
遮蔽ケース７ａ、１２ａで囲まれた駆動装置７、１２以
外のすべての部材すなわち、台１、テーブル３、５、ガ
イドバー２ａ、２ｂ、４ａ、４ｂ、ガイド受け３ａ、３
ｂ、５ａ、５ｂ、ねじ棒６、１１、取付け台８、１３、
駆動装置１２、１６およびフラットプレート部９など
は、アルミニュウム、真鍮、樹脂などの非磁性体材料で
構成されている。
遮蔽ケース７ａ、１２ａで囲まれた駆動装置７、１２以
外のすべての部材すなわち、台１、テーブル３、５、ガ
イドバー２ａ、２ｂ、４ａ、４ｂ、ガイド受け３ａ、３
ｂ、５ａ、５ｂ、ねじ棒６、１１、取付け台８、１３、
駆動装置１２、１６およびフラットプレート部９など
は、アルミニュウム、真鍮、樹脂などの非磁性体材料で
構成されている。
【００１０】いま、ステッピングモータ１２ｄに信号を
送ると信号に応じた分だけねじ棒１１が右または左に回
転し、めねじ部１６を介してテーブル３がテーブル５と
共にＹ軸上を前進または後進する。このとき、テーブル
５の駆動用ねじ棒６は、フラットプレート部９の抜き穴
１４に嵌合しためねじ部材１０を介してＹ軸方向にスラ
イド可能であり、基礎となる台１に固定されている。
送ると信号に応じた分だけねじ棒１１が右または左に回
転し、めねじ部１６を介してテーブル３がテーブル５と
共にＹ軸上を前進または後進する。このとき、テーブル
５の駆動用ねじ棒６は、フラットプレート部９の抜き穴
１４に嵌合しためねじ部材１０を介してＹ軸方向にスラ
イド可能であり、基礎となる台１に固定されている。
【００１１】次にステッピングモータ７ｄに駆動信号を
送ると、ねじ棒６が右または左に回転し、ねじ棒６に係
合しためねじ部材１０がＹ軸方向に長い抜き穴１４によ
って回転方向に固定されているので、ねじ棒６が回転し
た分フラットプレート部９を介してテーブル５をＸ軸方
向に動かす。この操作によりテーブル５に固定された測
定試料を精度よく位置決めすることができる。
送ると、ねじ棒６が右または左に回転し、ねじ棒６に係
合しためねじ部材１０がＹ軸方向に長い抜き穴１４によ
って回転方向に固定されているので、ねじ棒６が回転し
た分フラットプレート部９を介してテーブル５をＸ軸方
向に動かす。この操作によりテーブル５に固定された測
定試料を精度よく位置決めすることができる。
【００１２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したようにＸ軸、Ｙ
軸共に電気的駆動装置としたことにより位置決め精度を
よくし、それらの電気的駆動装置を磁気遮蔽ケースで囲
うことやステージ全体の構成材料を非磁性体で構成する
ことにより磁気的ノイズを少なくしたことによってデー
タの信頼性を向上させ、電源以外の駆動源を必要とせず
システム全体を簡素にすることができる。
軸共に電気的駆動装置としたことにより位置決め精度を
よくし、それらの電気的駆動装置を磁気遮蔽ケースで囲
うことやステージ全体の構成材料を非磁性体で構成する
ことにより磁気的ノイズを少なくしたことによってデー
タの信頼性を向上させ、電源以外の駆動源を必要とせず
システム全体を簡素にすることができる。
【図１】本発明の一実施例を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】図１のＣ−Ｃ断面図である。
【図５】従来の実施例を示すシステム構成図である。
【図６】図５のＺ−Ｚ矢視図である。
１…台 ２ａ、２ｂ…ガイドバー ３…テーブル ３ａ、３ｂ…ガイド受け ４ａ、４ｂ…ガイドバー ５…テーブル ５ａ、５ｂ…ガイド受け ６…ねじ棒 ７…駆動装置 ７ａ…磁気遮蔽ケース ７ｂ…軸受 ７ｃ…継手 ７ｄ…ステッピングモータ ８…取付け台 ９…フラットプレート １１…ねじ棒 １２…駆動装置 １２ａ…磁気遮蔽ケース １２ｂ…軸受 １２ｃ…継手 １２ｄ…ステッピングモータ １３…取付け台
Claims (1)
- 【請求項１】 二軸ステージにおいて、Ｘ軸およびＹ軸
駆動装置として磁気遮蔽部材で囲まれた電気駆動機構を
用いたことを特徴とする二軸ステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26678997A JPH11109068A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 二軸ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26678997A JPH11109068A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 二軸ステージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11109068A true JPH11109068A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17435717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26678997A Pending JPH11109068A (ja) | 1997-09-30 | 1997-09-30 | 二軸ステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11109068A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001020867A (ja) * | 1999-07-08 | 2001-01-23 | Nec Corp | エアーポンプ |
| JP2010230125A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Miruc Optical Co Ltd | 手動ステージ構成システム |
| KR101272839B1 (ko) * | 2011-03-04 | 2013-06-10 | 이무석 | 콘택트렌즈의 통기공 가공장치 |
-
1997
- 1997-09-30 JP JP26678997A patent/JPH11109068A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001020867A (ja) * | 1999-07-08 | 2001-01-23 | Nec Corp | エアーポンプ |
| JP2010230125A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Miruc Optical Co Ltd | 手動ステージ構成システム |
| KR101272839B1 (ko) * | 2011-03-04 | 2013-06-10 | 이무석 | 콘택트렌즈의 통기공 가공장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5982132A (en) | Rotary wafer positioning system and method | |
| JPS61109637A (ja) | テ−ブル装置 | |
| CN1273795C (zh) | 模拟探头 | |
| US3641535A (en) | Positioning apparatus employing a magnetized screw thread | |
| JPH11109068A (ja) | 二軸ステージ | |
| US3732608A (en) | Method of making a precision positioning apparatus | |
| KR100675327B1 (ko) | 자기장 측정시스템 | |
| EP0836098B1 (en) | Height stage for positioning apparatus | |
| JPH05346120A (ja) | 静圧流体軸受の駆動構造 | |
| JP2952166B2 (ja) | 門型駆動装置 | |
| JPH0460523B2 (ja) | ||
| JP3097884B2 (ja) | リニア多極磁石着磁装置 | |
| CN219200677U (zh) | 一种电机扭矩力试验装置 | |
| CN218416149U (zh) | 一种电机外壳装配夹具 | |
| JPS61239307A (ja) | 位置決め装置 | |
| JPH0635152Y2 (ja) | リニアモータの試験装置 | |
| JPS62198710A (ja) | 三次元測定機 | |
| JPH08257849A (ja) | ねじ浮き検出装置 | |
| CN101319881B (zh) | 非圆柱体最大径测量装置及其测量方法 | |
| CN208043624U (zh) | 一种摩擦系数仪 | |
| JPH0214915Y2 (ja) | ||
| JPS59115140A (ja) | 精密位置決めテ−ブル | |
| JPS61155901A (ja) | 触針式測定機 | |
| JPS63109956A (ja) | Ｘｙテ−ブル | |
| JP2002090648A (ja) | 測定顕微鏡 |