JPH11106918A5 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH11106918A5 JPH11106918A5 JP1997284642A JP28464297A JPH11106918A5 JP H11106918 A5 JPH11106918 A5 JP H11106918A5 JP 1997284642 A JP1997284642 A JP 1997284642A JP 28464297 A JP28464297 A JP 28464297A JP H11106918 A5 JPH11106918 A5 JP H11106918A5
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- JP
- Japan
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- thin film
- film forming
- forming jig
- jig
- incorporated
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- Pending
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Claims (4)
- 薄膜形成装置内に組み込まれて用いられる薄膜形成用治具であって、
該薄膜形成用治具は、その主体部分が銅あるいは銀で作製されており、この主体部分の表面に、Ｚｎ，Ｎｉ，Ａｌ，Ｆｅ，Ｓｎ，Ｐｂの中から選定された少なくとも１種の金属を含む表面層を備えてなることを特徴とする薄膜形成用治具。 - 基材上に、金、白金、銀および銅の中から選定された少なくとも１種の薄膜またはこれらの合金薄膜を形成する際に、薄膜形成装置内に組み込まれて用いられる請求項１記載の薄膜形成用治具。
- 前記薄膜形成用治具は、前記基材を保持するためのホルダ、薄膜形成範囲を規制するマスク、薄膜形成装置本体内部への金属の付着を防止する防着治具である請求項１または請求項２に記載の薄膜形成用治具。
- 薄膜形成用治具が組み込まれる前記薄膜形成装置が、スパッタ装置、蒸着装置、イオンプレーティング装置である請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の薄膜形成用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28464297A JPH11106918A (ja) | 1997-10-01 | 1997-10-01 | 薄膜形成用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28464297A JPH11106918A (ja) | 1997-10-01 | 1997-10-01 | 薄膜形成用治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11106918A JPH11106918A (ja) | 1999-04-20 |
| JPH11106918A5 true JPH11106918A5 (ja) | 2005-06-09 |
Family
ID=17681117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28464297A Pending JPH11106918A (ja) | 1997-10-01 | 1997-10-01 | 薄膜形成用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11106918A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011508079A (ja) * | 2007-12-19 | 2011-03-10 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | プロセスキット及びチャンバをクリーニングするための方法、及び、ルテニウムを回収するための方法 |
-
1997
- 1997-10-01 JP JP28464297A patent/JPH11106918A/ja active Pending
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