JPH11106252A - 低温焼成ガラスセラミック材料 - Google Patents
低温焼成ガラスセラミック材料Info
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- JPH11106252A JPH11106252A JP9287987A JP28798797A JPH11106252A JP H11106252 A JPH11106252 A JP H11106252A JP 9287987 A JP9287987 A JP 9287987A JP 28798797 A JP28798797 A JP 28798797A JP H11106252 A JPH11106252 A JP H11106252A
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- JP
- Japan
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- feldspar
- powder
- glass
- ceramic material
- crystal
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- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C10/00—Devitrified glass ceramics, i.e. glass ceramics having a crystalline phase dispersed in a glassy phase and constituting at least 50% by weight of the total composition
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Ceramic Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 長石系結晶の析出量が安定しているために、
特性のバラつきが少なく、品質の優れたガラスセラミッ
クスを得ることが可能な低温焼成ガラスセラミック材料
を提供する。 【解決手段】 長石系結晶を析出する性質を有する結晶
性ガラス粉末を含む低温焼成ガラスセラミック材料にお
いて、Ｋ長石、Ｎａ長石、Ｃａ長石、Ｓｒ長石、Ｂａ長
石又はこれらの固溶体結晶からなる結晶核粉末が０．０
１〜１重量％添加されてなることを特徴とする。
特性のバラつきが少なく、品質の優れたガラスセラミッ
クスを得ることが可能な低温焼成ガラスセラミック材料
を提供する。 【解決手段】 長石系結晶を析出する性質を有する結晶
性ガラス粉末を含む低温焼成ガラスセラミック材料にお
いて、Ｋ長石、Ｎａ長石、Ｃａ長石、Ｓｒ長石、Ｂａ長
石又はこれらの固溶体結晶からなる結晶核粉末が０．０
１〜１重量％添加されてなることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は多層基板などの作製に用
いられる低温焼成ガラスセラミック材料に関するもので
ある。
いられる低温焼成ガラスセラミック材料に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】Ｋ長石、Ｎａ長石、Ｃａ長石、Ｓｒ長
石、Ｂａ長石等の長石系結晶を析出させたガラスセラミ
ックスは、低誘電率で高強度であるため、多層基板等の
基板材料として使用されている。
石、Ｂａ長石等の長石系結晶を析出させたガラスセラミ
ックスは、低誘電率で高強度であるため、多層基板等の
基板材料として使用されている。
【０００３】上記ガラスセラミックスは、長石系の結晶
を析出する性質を有する結晶性ガラス粉末に、必要に応
じてアルミナ等のフィラー粉末を添加したガラスセラミ
ック材料を焼結、結晶化させたものである。
を析出する性質を有する結晶性ガラス粉末に、必要に応
じてアルミナ等のフィラー粉末を添加したガラスセラミ
ック材料を焼結、結晶化させたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一般に結晶性ガラス
は、再加熱時に結晶が析出しやすいように、ガラス化領
域から外れた失透性の強いガラス組成を有している。そ
れゆえ、溶融条件、ガラス成形条件等の影響を受け易
く、これら条件の僅かな変動によって結晶量が変化し易
い。特に長石系の結晶を析出するガラスはこの傾向が強
く、この系のガラス粉末を用いて作製した基板は、結晶
量に影響される特性（曲げ強度、誘電特性）のバラつき
が大きいという問題がある。
は、再加熱時に結晶が析出しやすいように、ガラス化領
域から外れた失透性の強いガラス組成を有している。そ
れゆえ、溶融条件、ガラス成形条件等の影響を受け易
く、これら条件の僅かな変動によって結晶量が変化し易
い。特に長石系の結晶を析出するガラスはこの傾向が強
く、この系のガラス粉末を用いて作製した基板は、結晶
量に影響される特性（曲げ強度、誘電特性）のバラつき
が大きいという問題がある。
【０００５】本発明の目的は、長石系結晶の析出量が安
定しているために、特性のバラつきが少なく、品質の優
れたガラスセラミックスを得ることが可能な低温焼成ガ
ラスセラミック材料を提供することである。
定しているために、特性のバラつきが少なく、品質の優
れたガラスセラミックスを得ることが可能な低温焼成ガ
ラスセラミック材料を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は種々の検討を
行った結果、結晶核粉末として長石系結晶を添加するこ
とにより、上記目的が達成できることを見いだし、本発
明として提案するものである。
行った結果、結晶核粉末として長石系結晶を添加するこ
とにより、上記目的が達成できることを見いだし、本発
明として提案するものである。
【０００７】即ち、本発明の低温焼成ガラスセラミック
材料は、結晶性ガラス粉末を４０〜１００重量％、フィ
ラー粉末を０〜６０重量％を含む低温焼成ガラスセラミ
ック材料において、長石系結晶又はその固溶体結晶から
なる結晶核粉末が０．０１〜１重量％添加されてなるこ
とを特徴とする。
材料は、結晶性ガラス粉末を４０〜１００重量％、フィ
ラー粉末を０〜６０重量％を含む低温焼成ガラスセラミ
ック材料において、長石系結晶又はその固溶体結晶から
なる結晶核粉末が０．０１〜１重量％添加されてなるこ
とを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明の低温焼成ガラスセラミック材料は、結
晶核として長石系結晶が添加されているため、再加熱時
に安定した結晶析出量を得ることができる。結晶核粉末
の添加量は０．０１〜１重量％である。結晶核粉末が
０．０１重量％より少ないと上記効果が得られず、１重
量％より多いと緻密化しない。結晶核粉末としては、Ｋ
長石、Ｎａ長石、Ｃａ長石、Ｓｒ長石、Ｂａ長石や、こ
れらの固溶体結晶からなる結晶粉末を使用することがで
きる。
晶核として長石系結晶が添加されているため、再加熱時
に安定した結晶析出量を得ることができる。結晶核粉末
の添加量は０．０１〜１重量％である。結晶核粉末が
０．０１重量％より少ないと上記効果が得られず、１重
量％より多いと緻密化しない。結晶核粉末としては、Ｋ
長石、Ｎａ長石、Ｃａ長石、Ｓｒ長石、Ｂａ長石や、こ
れらの固溶体結晶からなる結晶粉末を使用することがで
きる。
【０００９】なお結晶核粉末は、結晶性ガラス粉末の粉
砕時、結晶性ガラス粉末とフィラー粉末の混合時、及び
スラリー調製時の何れの時期に添加してもよい。
砕時、結晶性ガラス粉末とフィラー粉末の混合時、及び
スラリー調製時の何れの時期に添加してもよい。
【００１０】本発明において、結晶性ガラス粉末には、
長石系の結晶（例えばＫ長石、Ｎａ長石、Ｃａ長石、Ｓ
ｒ長石、Ｂａ長石や、これらの固溶体結晶）を析出する
性質を有するものであれば、どのような組成を有するガ
ラスを用いても良い。例えば重量％でＳｉＯ2 ４０〜
７０％、Ａｌ2 Ｏ3 ０〜３０％、Ｂ2 Ｏ3 ３〜２５
％、Ｎａ2 Ｏ ０〜５％、Ｋ2 Ｏ ０〜５％、ＣａＯ
５〜３０％、ＳｒＯ０〜３０％、ＢａＯ ０〜３０％の
組成を有するものを使用することができる。
長石系の結晶（例えばＫ長石、Ｎａ長石、Ｃａ長石、Ｓ
ｒ長石、Ｂａ長石や、これらの固溶体結晶）を析出する
性質を有するものであれば、どのような組成を有するガ
ラスを用いても良い。例えば重量％でＳｉＯ2 ４０〜
７０％、Ａｌ2 Ｏ3 ０〜３０％、Ｂ2 Ｏ3 ３〜２５
％、Ｎａ2 Ｏ ０〜５％、Ｋ2 Ｏ ０〜５％、ＣａＯ
５〜３０％、ＳｒＯ０〜３０％、ＢａＯ ０〜３０％の
組成を有するものを使用することができる。
【００１１】またフィラー粉末として、アルミナ、ムラ
イト、ガーナイト、クリストバライト及びフォルステラ
イト等を含有させることができる。
イト、ガーナイト、クリストバライト及びフォルステラ
イト等を含有させることができる。
【００１２】なおガラス粉末及びフィラー粉末の含有量
は、それぞれ４０〜１００重量％、０〜６０重量％であ
る。ガラス粉末が４０重量％より少ないと（即ち、フィ
ラー粉末が６０重量％より多いと）緻密化せず、ポーラ
スになり易い。
は、それぞれ４０〜１００重量％、０〜６０重量％であ
る。ガラス粉末が４０重量％より少ないと（即ち、フィ
ラー粉末が６０重量％より多いと）緻密化せず、ポーラ
スになり易い。
【００１３】以上の構成を有する本発明の材料は、グリ
ーンシートの形態で提供することができる。
ーンシートの形態で提供することができる。
【００１４】
【実施例】以下、実施例に基づいて本発明を説明する。
【００１５】（実施例１）まず、重量％でＳｉＯ2 ５
５％、Ａｌ2 Ｏ3 ２０％、Ｂ2 Ｏ3 ７％、Ｎａ2 Ｏ
２％、Ｋ2 Ｏ １％、ＣａＯ １５％の組成となるよ
うにガラス原料を調合し、１４００〜１５００℃で２〜
３時間溶融した。次いで水冷ローラーでフィルム状に成
型した後、Ｎａ長石粉末を添加してボールミルにて粉砕
混合した。さらにアルミナ粉末を添加し、ボールミルに
て均一に混合して試料を得た。なお結晶性ガラス粉末と
アルミナ粉末とＮａ長石粉末の混合割合は重量比で、８
０：２０：０．１となるように調節した。続いてこの混
合粉末に、結合剤、可塑剤、及び溶剤を添加してスラリ
ー化し、ドクターブレード法にてグリーンシートに成型
した。その後、５００℃で１時間、さらに９００℃で２
０分間焼成して焼成物を得た。
５％、Ａｌ2 Ｏ3 ２０％、Ｂ2 Ｏ3 ７％、Ｎａ2 Ｏ
２％、Ｋ2 Ｏ １％、ＣａＯ １５％の組成となるよ
うにガラス原料を調合し、１４００〜１５００℃で２〜
３時間溶融した。次いで水冷ローラーでフィルム状に成
型した後、Ｎａ長石粉末を添加してボールミルにて粉砕
混合した。さらにアルミナ粉末を添加し、ボールミルに
て均一に混合して試料を得た。なお結晶性ガラス粉末と
アルミナ粉末とＮａ長石粉末の混合割合は重量比で、８
０：２０：０．１となるように調節した。続いてこの混
合粉末に、結合剤、可塑剤、及び溶剤を添加してスラリ
ー化し、ドクターブレード法にてグリーンシートに成型
した。その後、５００℃で１時間、さらに９００℃で２
０分間焼成して焼成物を得た。
【００１６】得られた焼成物について、析出結晶及び結
晶析出量のバラつきを評価した。なお析出結晶は粉末Ｘ
線回折装置を用いて同定した。結晶析出量は、粉末Ｘ線
回折をとり、ハロー法によりガラスの何重量％が結晶化
しているかを求めたものであり、ガラス溶融から焼成ま
でを５回行って試料間の結晶量のバラつきを評価した。
晶析出量のバラつきを評価した。なお析出結晶は粉末Ｘ
線回折装置を用いて同定した。結晶析出量は、粉末Ｘ線
回折をとり、ハロー法によりガラスの何重量％が結晶化
しているかを求めたものであり、ガラス溶融から焼成ま
でを５回行って試料間の結晶量のバラつきを評価した。
【００１７】その結果、得られた焼成物は、Ｃａ長石結
晶を析出しており、その析出量は３８〜４０％であっ
た。
晶を析出しており、その析出量は３８〜４０％であっ
た。
【００１８】（比較例１）Ｎａ長石粉末を添加せず、他
は実施例１と同様にして試料を作製し、析出結晶及び結
晶析出量のバラつきを評価したところ、得られた焼成物
は、実施例１と同様にＣａ長石結晶を析出していたが、
その析出量は２５〜４０％とバラつきが大きかった。
は実施例１と同様にして試料を作製し、析出結晶及び結
晶析出量のバラつきを評価したところ、得られた焼成物
は、実施例１と同様にＣａ長石結晶を析出していたが、
その析出量は２５〜４０％とバラつきが大きかった。
【００１９】（実施例２）まず、重量％でＳｉＯ2 ６
０％、Ｂ2 Ｏ3 ２０％、Ｎａ2 Ｏ ４％、Ｋ2Ｏ ４
％、ＣａＯ １２％の組成となるようにガラス原料を調
合し、１４５０〜１５５０℃で２〜３時間溶融した。次
いで水冷ローラーでフィルム状に成型した後、粉砕し
た。さらにアルミナ粉末及びＣａ長石粉末を添加し、ボ
ールミルにて均一に混合して試料を得た。なお結晶性ガ
ラス粉末とアルミナ粉末とＣａ長石粉末の混合割合は重
量比で、６０：４０：０．０５となるように調節した。
続いてこの混合粉末に、結合剤、可塑剤、及び溶剤を添
加してスラリー化し、ドクターブレード法にてグリーン
シートに成型した。その後、５００℃で１時間、さらに
９２０℃で３０分間焼成して焼成物を得た。
０％、Ｂ2 Ｏ3 ２０％、Ｎａ2 Ｏ ４％、Ｋ2Ｏ ４
％、ＣａＯ １２％の組成となるようにガラス原料を調
合し、１４５０〜１５５０℃で２〜３時間溶融した。次
いで水冷ローラーでフィルム状に成型した後、粉砕し
た。さらにアルミナ粉末及びＣａ長石粉末を添加し、ボ
ールミルにて均一に混合して試料を得た。なお結晶性ガ
ラス粉末とアルミナ粉末とＣａ長石粉末の混合割合は重
量比で、６０：４０：０．０５となるように調節した。
続いてこの混合粉末に、結合剤、可塑剤、及び溶剤を添
加してスラリー化し、ドクターブレード法にてグリーン
シートに成型した。その後、５００℃で１時間、さらに
９２０℃で３０分間焼成して焼成物を得た。
【００２０】このようにして得られた焼成物について、
上記の同様の方法で析出結晶及び結晶析出量のバラつき
を評価した。その結果、得られた焼成物は、Ｎａ−Ｃａ
長石結晶を析出しており、その析出量は３５〜３７％で
あった。
上記の同様の方法で析出結晶及び結晶析出量のバラつき
を評価した。その結果、得られた焼成物は、Ｎａ−Ｃａ
長石結晶を析出しており、その析出量は３５〜３７％で
あった。
【００２１】（比較例２）Ｃａ長石粉末を添加せず、他
は実施例１と同様にして試料を作製し、析出結晶及び結
晶析出量のバラつきを評価したところ、得られた焼成物
は、実施例１と同様にＮａ−Ｃａ長石結晶を析出してい
たが、その析出量は１５〜２５％とバラつきが大きかっ
た。
は実施例１と同様にして試料を作製し、析出結晶及び結
晶析出量のバラつきを評価したところ、得られた焼成物
は、実施例１と同様にＮａ−Ｃａ長石結晶を析出してい
たが、その析出量は１５〜２５％とバラつきが大きかっ
た。
【００２２】（実施例３）まず、重量％でＳｉＯ2 ５
０％、Ｂ2 Ｏ3 １５％、Ｎａ2 Ｏ ５％、Ｋ2Ｏ ３
％、ＣａＯ ２７％の組成となるようにガラス原料を調
合し、１４００〜１４５０℃で２〜３時間溶融した。次
いで水冷ローラーでフィルム状に成型した後、粉砕し
た。さらにアルミナ粉末を添加し、ボールミルにて均一
に混合して試料を得た。続いてこの混合粉末に、結合
剤、可塑剤、溶剤、及びＫ長石を添加してスラリー化
し、ドクターブレード法にてグリーンシートに成型し
た。なお結晶性ガラス粉末とアルミナ粉末とＫ長石粉末
の混合割合は重量比で、５０：５０：０．５となるよう
に調節した。その後、グリーンシートを５００℃で１時
間、さらに８５０℃で２０分間焼成して焼成物を得た。
０％、Ｂ2 Ｏ3 １５％、Ｎａ2 Ｏ ５％、Ｋ2Ｏ ３
％、ＣａＯ ２７％の組成となるようにガラス原料を調
合し、１４００〜１４５０℃で２〜３時間溶融した。次
いで水冷ローラーでフィルム状に成型した後、粉砕し
た。さらにアルミナ粉末を添加し、ボールミルにて均一
に混合して試料を得た。続いてこの混合粉末に、結合
剤、可塑剤、溶剤、及びＫ長石を添加してスラリー化
し、ドクターブレード法にてグリーンシートに成型し
た。なお結晶性ガラス粉末とアルミナ粉末とＫ長石粉末
の混合割合は重量比で、５０：５０：０．５となるよう
に調節した。その後、グリーンシートを５００℃で１時
間、さらに８５０℃で２０分間焼成して焼成物を得た。
【００２３】このようにして得られた焼成物について、
上記の同様の方法で析出結晶及び結晶析出量のバラつき
を評価した。その結果、得られた焼成物は、Ｎａ−Ｃａ
長石結晶を析出しており、その析出量は５２〜５５％で
あった。
上記の同様の方法で析出結晶及び結晶析出量のバラつき
を評価した。その結果、得られた焼成物は、Ｎａ−Ｃａ
長石結晶を析出しており、その析出量は５２〜５５％で
あった。
【００２４】（比較例３）Ｋ長石粉末を添加せず、他は
実施例１と同様にして試料を作製し、析出結晶及び結晶
析出量のバラつきを評価したところ、得られた焼成物
は、実施例１と同様にＮａ−Ｃａ長石結晶を析出してい
たが、その析出量は４０〜５５％とバラつきが大きかっ
た。
実施例１と同様にして試料を作製し、析出結晶及び結晶
析出量のバラつきを評価したところ、得られた焼成物
は、実施例１と同様にＮａ−Ｃａ長石結晶を析出してい
たが、その析出量は４０〜５５％とバラつきが大きかっ
た。
【００２５】
【発明の効果】本発明の材料は、長石系結晶の析出量が
安定しているために、曲げ強度や誘電特性等のバラつき
が少なく、品質の優れたガラスセラミックスを提供する
ことができる。
安定しているために、曲げ強度や誘電特性等のバラつき
が少なく、品質の優れたガラスセラミックスを提供する
ことができる。
【００２６】また核形成剤を使用することにより、ガラ
ス化領域内の安定した組成を有する結晶化し難いガラス
を使用することも可能である。
ス化領域内の安定した組成を有する結晶化し難いガラス
を使用することも可能である。
Claims (9)
- 【請求項１】 結晶性ガラス粉末を４０〜１００重量
％、フィラー粉末を０〜６０重量％を含む低温焼成ガラ
スセラミック材料において、長石系結晶又はその固溶体
結晶からなる結晶核粉末が０．０１〜１重量％添加され
てなることを特徴とする低温焼成ガラスセラミック材
料。 - 【請求項２】 結晶核粉末が、Ｋ長石、Ｎａ長石、Ｃａ
長石、Ｓｒ長石、Ｂａ長石又はこれらの固溶体結晶から
なることを特徴とする請求項１の低温焼成ガラスセラミ
ック材料。 - 【請求項３】 結晶性ガラス粉末が、Ｋ長石、Ｎａ長
石、Ｃａ長石、Ｓｒ長石、Ｂａ長石又はこれらの固溶体
結晶を析出する性質を有することを特徴とする請求項１
の低温焼成ガラスセラミック材料。 - 【請求項４】 結晶性ガラス粉末が、重量％でＳｉＯ2
４０〜７０％、Ａｌ2 Ｏ3 ０〜３０％、Ｂ2 Ｏ3
３〜２５％、Ｎａ2 Ｏ ０〜５％、Ｋ2 Ｏ０〜５％、Ｃ
ａＯ ５〜３０％、ＳｒＯ ０〜３０％、ＢａＯ ０〜
３０％の組成を有することを特徴とする請求項１又は３
の低温焼成ガラスセラミック材料。 - 【請求項５】 フィラー粉末が、アルミナ、ムライト、
ガーナイト、クリストバライト及びフォルステライトか
ら選ばれる１種以上であることを特徴とする請求項１の
低温焼成ガラスセラミック材料。 - 【請求項６】 グリーンシートの形態で提供されること
を特徴とする請求項１〜５の低温焼成ガラスセラミック
材料。 - 【請求項７】 結晶性ガラス粉末の粉砕時に結晶核粉末
が添加されてなることを特徴とする請求項１〜６の低温
焼成ガラスセラミック材料。 - 【請求項８】 結晶性ガラス粉末とフィラー粉末の粉砕
時に結晶核粉末が添加されてなることを特徴とする請求
項１〜６の低温焼成ガラスセラミック材料。 - 【請求項９】 グリーンシート成型のためのスラリー調
整時に結晶核粉末が添加されてなることを特徴とする請
求項１〜６の低温焼成ガラスセラミック材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9287987A JPH11106252A (ja) | 1997-10-03 | 1997-10-03 | 低温焼成ガラスセラミック材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9287987A JPH11106252A (ja) | 1997-10-03 | 1997-10-03 | 低温焼成ガラスセラミック材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11106252A true JPH11106252A (ja) | 1999-04-20 |
Family
ID=17724338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9287987A Pending JPH11106252A (ja) | 1997-10-03 | 1997-10-03 | 低温焼成ガラスセラミック材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11106252A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1095915A2 (en) | 1999-10-27 | 2001-05-02 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Low-temperature firing ceramic composition, process for producing same and wiring substrate prepared by using same |
| JP2006135012A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Hitachi Metals Ltd | 多層セラミック基板の製造方法および多層セラミック基板 |
| JP2010037197A (ja) * | 2009-09-25 | 2010-02-18 | Murata Mfg Co Ltd | ガラスセラミック基板の製造方法 |
| CN107352967A (zh) * | 2016-05-10 | 2017-11-17 | Toto株式会社 | 大型陶瓷板及其制造方法 |
| CN117069382A (zh) * | 2023-08-21 | 2023-11-17 | 贵州晶垚无机材料有限公司 | 一种微晶玻璃粉及其制备方法和基于其的电解预焙阳极防氧化保护浆料 |
-
1997
- 1997-10-03 JP JP9287987A patent/JPH11106252A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1095915A2 (en) | 1999-10-27 | 2001-05-02 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Low-temperature firing ceramic composition, process for producing same and wiring substrate prepared by using same |
| US6602623B1 (en) | 1999-10-27 | 2003-08-05 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Low-temperature firing ceramic composition, process for producing same and wiring substrate prepared by using same |
| JP2006135012A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Hitachi Metals Ltd | 多層セラミック基板の製造方法および多層セラミック基板 |
| JP2010037197A (ja) * | 2009-09-25 | 2010-02-18 | Murata Mfg Co Ltd | ガラスセラミック基板の製造方法 |
| CN107352967A (zh) * | 2016-05-10 | 2017-11-17 | Toto株式会社 | 大型陶瓷板及其制造方法 |
| CN107352967B (zh) * | 2016-05-10 | 2021-01-05 | Toto株式会社 | 大型陶瓷板及其制造方法 |
| CN117069382A (zh) * | 2023-08-21 | 2023-11-17 | 贵州晶垚无机材料有限公司 | 一种微晶玻璃粉及其制备方法和基于其的电解预焙阳极防氧化保护浆料 |
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