JPH11102056A - 溶液供給方法及び装置 - Google Patents

溶液供給方法及び装置

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JPH11102056A
JPH11102056A JP4143198A JP4143198A JPH11102056A JP H11102056 A JPH11102056 A JP H11102056A JP 4143198 A JP4143198 A JP 4143198A JP 4143198 A JP4143198 A JP 4143198A JP H11102056 A JPH11102056 A JP H11102056A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】自動現像機等の処理槽に処理液等を劣化なく正
確に送る。 【解決手段】高分子化合物製で変形可能な容器に溶液を
密封収納し、該容器に処理槽に至る流路を形成するチュ
ーブを接続し、容器と該流路に連通したポンプに至るま
での気密流路を形成すると共に、該気密流路に送られた
気体の感知によりポンプ制御を為す如くする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、溶液供給方法及び
装置に関し、特にハロゲン化銀写真感光材料を自動現像
機を使用して処理するとき、その使用する処理液を自動
的に自動現像機処理槽に供給するための処理液等の溶液
供給方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ハロゲン化銀写真感光材料の処理は、像
露光後、銀現像、定着、水洗、乾燥の工程を経る黒白写
真と、発色現像、銀漂白、銀塩定着、水洗、安定、乾燥
等の工程を経るカラー写真とがある。ハロゲン化銀写真
感光材料の処理に使用される上記処理液は、通常自動現
像機の各処理槽に供給され処理に使用される。自動現像
機において、ハロゲン化銀写真感光材料を連続的に処理
を行う場合、各処理槽内の組成は処理により変化し、活
性が低下するので、この低下分を補うための補充液が各
処理槽に補充液として使用される。
【0003】この補充液を各処理槽に補充する場合、一
般的には補充液用タンクより、感光材料の処理量に応じ
て少量の補充液が各処理槽に供給され、処理液の活性を
保っている。この補充液用タンクには補充液を別の所で
溶解して貯溜され、必要に応じて追加補給されているの
が一般的であり、処理液の作製は手作業によって行われ
ている。
【0004】ハロゲン化銀写真感光材料の処理に使用す
る処理液は、各処理液に応じて濃縮液と希釈水を混合し
て調製され、この濃縮液は接触が好ましくない成分同士
を分割しており、通常複数のパートとして供給されてお
り、保存時の処理液の劣化を防止している。このような
状態であるので、処理液の調製作業は煩雑であり、その
ための間違いも生じ易く、処理液として不適正な組成の
処理液となることがある。更に、溶解混合、濃縮液の飛
散により、人体、衣服、周辺機器に付着し、■汚染、破
損の原因となる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】近年、環境保全や資源
節減から、小型自動現像機が多く使用されるようにな
り、同時に補充量の低減がなされ、補充量は益々少量と
なり、補充量が少量であることは、その組成に僅かな変
動があっても処理液の活性に影響を与えることとなり、
更に、溶解した処理液を使用するまで補充液用タンクに
保存することは、水分の蒸発や空気による変質、劣化が
生じ、このような処理液を使用した場合、処理された写
真性は低下することとなる。
【0006】このような事を避けるため、近年では、処
理液容器から直接処理液を取り出し、自動現像機処理槽
に加える方法が行われるようになっており、少量の補充
量に対応する方法としては良い方法であることが分か
る。
【0007】然し、この方法においても、処理液収納容
器内の処理液を完全に使い切ることができず、容器内に
処理液が残り、容器回収時に人体、衣服への飛散、汚染
の原因ともなり、又、処理液の移送経路内に空気の混入
があり、これが原因で移送経路内での処理液の劣化、こ
の空気が原因して補充ポンプが正しく作動せず、補充液
の移送量が正しい量でなくなり、その結果処理槽内の処
理液の劣化が生じ、処理された写真性が低下することと
なる。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、ハロゲ
ン化銀写真感光材料の処理等に使用する処理液の供給方
法として、処理液収容容器内の処理液を完全に使い切
り、これにより容器回収時に人体、衣服、機器等への飛
散、それによる汚染をなくし、又、別の目的として、処
理液の移送経路内に空気の混入をなくすこと、それによ
り移送経路内での処理液の劣化をなくすこと、更には、
補充ポンプを正しく作動させることで、正しい補充量を
自動現像機等の処理槽内に送り、その結果として処理さ
れた写真性能の低下をなくすことにある。
【0009】これらの目的は、下記に記載の本発明によ
り達成することができる。高分子化合物製で変形可能な
容器に溶液を密封収納し、該容器に処理槽に至る流路を
形成するチューブを接続し、該流路に連通したポンプに
至るまでの気密流路を形成すると共に、チューブに送ら
れた気体の感知、若しくは該気密流路内の内圧変化に伴
う該気密流路内の気体の体積変化の感知によりポンプ制
御を為す如くした溶液供給方法。及び、高分子化合物製
で変形可能な容器に溶液を密封収納し、該容器に処理槽
に至る流路を形成するチューブを接続し、該流路にポン
プを連通すると共に、チューブに処理液と分離された気
体を感知、若しくは気体の体積変化を感知する気体感知
センサーを形成したことを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明は、処理液を調整するため
にパート化された処理液を、高分子化合物材料で作られ
た変形可能な容器に収納したものを用い、各々の容器は
チューブを用いて容器内の処理液と気密的に接続する。
処理液は接続されたチューブ及びポンプにより、自動現
像機処理槽に供給される。このようにして接続されたチ
ューブ内には、気泡を含むこととなり、この気泡は処理
液の劣化の原因、更には処理液の移送に使用するポンプ
の精度を落とすこととなる。この気泡を取り除くため、
本発明ではチューブ内の気泡を感知し、それによりポン
プを制御し、次に感知した気泡を処理液収納容器内に押
し戻すこと、又は、この気泡を取り除き、容器内の処理
液がなくなったことが判るように、本発明では気体感知
センサ−又は気体感知センサ−及び気液分離部を設け、
チュ−ブ内の気泡を処理液と分離し容器内の処理液を使
い切った際のチュ−ブ内における気泡の体積変化を感知
し、それによりポンプを制御し、次に感知した気泡を新
たな処理液収納容器内に押し戻すことにある。
【0011】本発明の方法及び装置では、処理液の劣化
を防止し、ポンプの精度を落とすことなく、処理液を自
動現像機処理槽に供給することができると同時に、処理
液収納容器内の処理液を全量取り出すことができ、これ
により収納容器回収時に残液による人体、衣服への飛
散、汚染をなくすことができる。
【0012】
【実施例1】図1は本発明を自動現像機の処理液供給方
法に使用した場合における処理液の流れの概要を示した
ものである。ポンプ9の回転により、容器としての処理
液収納容器1内にある処理液2は、チューブ4を通して
気液分離部としての分離槽5に入る。処理液収納容器1
と分離槽5の間にストレナーを設置してもよい。分離槽
5ではチューブ4内にある気体としての気泡15と処理
液2を分離した後、チューブ4により気泡15を感知す
る気体感知センサー6を通過する。こゝで処理液2内に
ある気泡15が感知される。気体感知センサー6はポン
プ9と接続してあり、気泡15の感知により、ポンプ9
は停止する。一方、処理液2と気泡15は、逆流装置7
により気泡15を今来た流路を通して処理液収納容器1
内まで戻される。この状態となると、処理液収納容器1
から逆流槽71の間には、処理液2のみとなり、気泡1
5のない状態となる。逆流装置7により気泡が除かれた
処理液2は、チューブ4を通してポンプ9に入り、定量
の処理液2として自動現像機処理槽10に送られる。こ
の間のチューブ4はポンプ9に至るまで流路において気
密的に接続されている。
【0013】別に、処理液収納容器1内の処理液2を必
要とする液濃度にするために、希釈水13をポンプ12
により必要な量、自動現像機処理槽10に加えられ、処
理液2の濃度が保たれる。
【0014】本発明の処理液供給方法は、処理液収納容
器1内の処理液2に代えて、水を使用することにより、
希釈水をも自動現像機処理槽10に定期的に送ること
も、必要な濃度の処理液2を自動現像機処理槽10に作
ることもできる。
【0015】本発明の溶液供給方法及び装置を実施例を
示す図1に随って説明する。溶液としてハロゲン化銀写
真感光材料の処理に使用する処理液2は、高分子化合物
を使用した変形可能な容器として処理液収納容器1に入
れ供給する。ハロゲン化銀写真感光材料の処理に使用す
る処理液2は、希釈水14と共に使用する複数のパート
液として供給されるもの、一つのパート液として供給さ
れるもの、更にそのまゝ使用できる処理液として供給さ
れるものがある。
【0016】こゝで使用される処理液収納容器1は、筒
状体の上下端をシールしたもの(図2)、2枚の基布を
重ねて四辺をシールし、一部に口部を設けたもの(図
3)、四角形容器に口部を設けたもの(図5)等種々の
ものが使用しうる。
【0017】処理液収納容器1に使用される高分子化合
物は、収納されている処理液2により変質したり、処理
液2に悪影響を及ぼさない材質であれば、制限されるこ
とはない。その具体例として、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリ酢酸ビニ
ル、ポリ塩化ビニリデン、ポリアミド、ポリフェニレン
オキサイド、ポリアリレート、ポリサルフォン、ポリフ
ェニレンサルファイド、酢酸セルロース、シリコーン等
が上げられ、好ましくはポリエチレン、ナイロン等の無
延伸材料がよい。又、この処理液収納容器1は、ガスバ
リア性を有することが好ましく、具体的には、酸素透過
性が60ml/m2atm・day(20℃,60%)以下であ
ることが好ましい。
【0018】4はチューブで、一端3は処理液収納容器
1に連通させ、他端は自動現像機処理槽11に至る流路
を構成している。チューブ4の一端3の処理液収納容器
1への連通は、例えば先端を尖状、斜状等刺入容易なる
如く構成したり、注射針等を先端に設けるように構成し
てもよく、該一端3は溶液漏れ防止の為及び残液をなく
すため、処理液収納容器1の上方或いは側方から刺入し
て下底部に位置させるのがよい。或は又、処理液収納容
器1又はその栓等に刺入可能な連通部を形成し、そこか
ら一端3を刺入してもよい。更には、栓等に溶液に入る
吸入パイプを設け、そこに一端3を連通させることも出
来る。該チューブ4はテフロン、塩化ビニール、ポリエ
チレン、金属等が利用できる。
【0019】5はチューブ4に連通して形成した気液分
離部としての分離槽で、気泡と処理液2を分離するもの
である。その構成は、チューブ4より大なる径の滞留室
を形成させることで、該滞留室1個、場合により数個連
続して設ける。6は気体感知センサーで、チューブ4と
同径又はやゝ大径に形成した室61にフロート62を収
容させ、下部にフロートセンサー、光電センサー、フォ
トマイクロセンサー、近接センサー等の感知器63を設
けてある。
【0020】7は逆流装置で、処理液収納容器1とポン
プ9間に設け、チューブ4内の空気、処理液を処理液収
納容器1に逆送するもので、チューブ4に連通した逆流
槽71にピストン72をOリング73により密封し、出
入り自在に装着し、発条74を介在させてピストン72
の引出しを容易ならしめてある。又、逆流装置7は、逆
流槽71或いはチューブ4に直接にジャバラ容器75を
設け、逆流槽71に加圧空気を送る如くコンチェルティ
ーナ型に形成することもできる。又、他の実施例では、
気液分離部5と逆流装置7を一体化することも出来る
(図11,図12)。即ち、逆流装置7はチューブ4に
連通した逆流槽71、ジャバラ容器75等の容積可変容
器の容積変動により気液を処理液収納容器1に逆流させ
るものである。
【0021】チューブ4は直接処理液収納容器1に接続
し、チューブ4の一端3は処理液収納容器1内の底部に
位置するところに置く。ポンプ9の回転により処理液収
納容器1内の処理液2は吸引され、それと同時に変形可
能な処理液収納容器1は変形を始め、処理液2が全て吸
引されると、始めから処理液収納容器1内にあった空気
が吸引され、この空気による気泡が気体感知センサー6
により感知されると、ポンプ9の作動は停止される。ポ
ンプ9の停止により、処理液収納容器1内の処理液2が
無くなったことが分かり、新しい処理液収納容器1と交
換することができる。この間処理液2は全く空気に触れ
ることがなく、処理液2の安定性が保たれる。
【0022】処理液収納容器1内の処理液2が全て吸引
された後、始めから処理液収納容器1内にあった空気が
吸引されるが、この状態では空気による気泡と処理液2
が気体感知センサー6に流れた場合、気体感知センサー
6での感知が正確になされ難いため、分離槽5を設ける
ことにより、気泡15と処理液2を分離させることがで
き気体感知センサー6に対する感知が正確となり、誤作
動がなくなる。気泡と処理液2が充分に分離された状態
で気体感知センサー6で気泡15が感知されることで、
処理液収納容器1内の処理液2が無くなったことが分か
る。
【0023】気体感知センサー6により気泡を感知し、
処理液収納容器1内の処理液2が無くなったことが分か
ると、処理液2が収納されている新しい処理液収納容器
1と交換する。その後、逆流槽71内にあるピストン8
の動作により、処理液2の体積を減ずることで、逆流槽
71、気体感知センサー6、気液分離槽5及び処理液2
移送のためのチューブ4内にある気泡15と処理液2の
一部は、新しく接続された処理液収納容器1内に押出さ
れ、処理液収納容器1内のチューブ4の先端3から逆流
槽71までには気泡の無い状態として、新しい処理液2
が使用されることとなり、この操作が繰り返されること
で処理液2は全く空気に触れることなく安定に使用する
ことが出来る。又、逆流槽71とポンプ9間に弁を設け
て逆流時に備えてもよい。
【0024】逆流装置7の操作により押し戻された気泡
は、処理液収納容器1の上部に上がり、処理液2が全て
吸引され、空気が吸引されるまで処理液収納容器1の上
部にある。最後にこの空気が再び吸引されることで、又
処理液収納容器1内の処理液2が全く無くなったことを
感知する。
【0025】逆流装置7のピストン8を操作し或いはジ
ャバラ容器75を押圧することで、逆流槽71内の体積
を減じ、流路内にある気泡と処理液2を処理液収納容器
1内に押し戻した後、逆流装置7のピストン8を発条7
4の反発力により復帰させ、ジャバラ容器75を復元さ
せ、逆流槽71内の体積を増すことで、処理液収納容器
1内にあるチューブ4の先端3より処理液2のみが吸引
される。ポンプ9が回転することで、一定量の処理液2
が自動現像機処理槽10に加えられる。
【0026】別にポンプ12より希釈水槽14にある希
釈水13はチューブ11を通して、必要な量の希釈水1
3が自動現像機処理槽10に加えられ、ハロゲン化銀写
真感光材料の処理に必要な処理液組成が保持され、安定
な処理を行うことが出来る。更に、処理液収納容器1内
に希釈のための水を収納して使用することで、ポンプ1
2、希釈水槽14、希釈水13と同じ働きをさせること
が出来る。
【0027】
【実施例2】図1は本発明を自動現像機の処理液供給方
法に使用した場合における処理液の流れの概要を示した
ものである。ポンプ9の回転により、容器としての処理
液収納容器1内にある処理液2は、チューブ4を通して
気液分離部としての分離槽5に入る。処理液収納容器1
と分離槽5の間にストレナーを設置してもよい。分離層
5ではチュ−ブ4内にある気体としての気泡15と処理
液2を分離した後、気泡15を分離層5に蓄えておき、
その後、処理液収納容器1内の処理液2を完全に使い切
る際にも未だポンプ9が作動しているためチュ−ブ内の
内圧が減少して分離層5に蓄えた気泡15が膨張し、膨
張した気泡15を感知する気体感知センサ−6を通過す
る。ここで処理液2内にある気泡15が感知される。気
体感知センサ−6はポンプ9と接続してあり、気泡15
の感知により、ポンプ9は停止する。ここで処理液収納
容器1ないの処理液が完全になくなったことが分かるの
で、新たな処理液収納容器1を装着する。一方、処理液
2と気泡15は、逆流装置7により気泡15を今来た流
路を通して新たに装着した処理液収納容器1内まで戻さ
れる。この状態となると、処理液収納容器1から逆流層
71の間には、処理液2のみとなり、気泡15のない状
態となる。逆流装置7により気泡が除かれた処理液2
は、チュ−ブ4を通してポンプ9に入り、定量の処理液
2として自動現像機処理槽10に送られる。この間のチ
ュ−ブ4はポンプ9に至るまで流路において気密的に接
続されている。
【0028】チュ−ブ4は直接処理液収納容器1に接続
し、チュ−ブ4の一端3は処理液収納容器1内であれば
何処に位置するように設置してもよいが、該容器の底部
に位置するところに設置することが望ましい。ポンプ9
の回転により処理液収納容器1内の処理液2及び始めか
ら処理液収納容器1内にあった気体は吸引され、それと
同時に変形可能な処理液収納容器1は変形を始め、処理
液2及び始めから処理液収納容器1内にあった気体が全
て吸引されると、チュ−ブ内の内圧の減少により膨張し
た気泡が気体感知センサ−6により感知されて、ポンプ
9の作動は停止される。ポンプ9の停止により、処理液
収納容器1内の処理液2が無くなったことが分かり、新
しい処理液収納容器1と交換することができる。この間
処理液2はまったく外気に触れることがなく、処理液2
の安定性が保たれる。又、内圧が減少するまでポンプが
作動し処理液2を供給することで処理液収納容器1内の
処理液を完全に使い切ることができ、残量が零となる。
【0029】処理液収納容器1内の処理液2及び始めか
ら処理液収納容器1内にあった空気がポンプ9により吸
引させるが、この状態では空気による気泡と処理液2が
気体感知センサ−6に流れた場合、気体感知センサ−6
での感知が正確になされ難いため、処理液収納容器1内
にあった気体の全量を蓄えておくことができる容積を有
する分離層5を設けることにより、気泡15と処理液2
を分離させることができので、気体感知センサ−6によ
る感知が正確となり、誤作動が無くなる。気泡と処理液
2が十分に分離された状態で気体感知センサ−6で気泡
15の体積変化が感知されることで、処理液収納容器1
内の処理液2が無くなったことが分かる。
【0030】気体感知センサー6により気体の体積変化
を感知し、処理液収納容器1内の処理液2が無くなった
ことが分かると、処理液2が収納されている新しい処理
液収納容器1と交換する。その後、逆流装置7内にある
ピストン8の動作により、処理液2の体積を減ずること
で、逆流槽71、気体感知センサー6、気液分離槽5及
び処理液2移送のためのチューブ4内にある気泡15と
処理液2の一部は、新しく接続された処理液収納容器1
内に押出され、処理液収納容器1内のチューブ4の先端
3から逆流槽71までには気泡の無い状態として、新し
い処理液2が使用されることとなり、この操作が繰り返
されることで処理液2は全く空気に触れることなく安定
に使用することが出来る。又、逆流槽71とポンプ9間
に弁を設けて逆流時に備えてもよい。
【0031】逆流装置7の操作により押し戻された気泡
は、処理液収納容器1の上部に上がり、処理液2及び気
体が全て吸引され、最後にこの気体が再び体積変化を起
こすことで、また処理液収納容器1内の処理液2が全く
無くなったことを感知する。
【0032】また、他の記載されていない実施方法は、
実施例1と同様である。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように請求項1又は3,4
の発明によれば、第1に高分子化合物製で変形可能な容
器に溶液を密封収納し、該容器に処理槽に至る流路を形
成するチューブを接続し、容器と該流路に連通したポン
プに至るまでの気密流路を形成すると共に、該気密流路
に送られた気体の感知、若しくは気体の体積変化の感知
によりポンプ制御を為す如くし、第2に高分子化合物製
で変形可能な容器に溶液を密封収納し、該容器に処理槽
に至る流路を形成するチューブを接続し、該流路にポン
プを連通すると共に、容器とポンプ間に気密流路を形成
する一方、該気密流路に設けた気体感知センサーとポン
プを連結したので、高分子化合物を使用した変形可能な
処理液収納容器に収納した処理液を、密封された状態で
流路を形成するチューブを通して送ることができ、チュ
ーブに気体が送られるとポンプが作動を停止し、溶液の
供給が停止する。従って、気泡を含む溶液の供給はな
く、処理液の劣化の原因をなくし、ポンプ精度を落とす
ことなく精密な溶液供給が出来る。
【0034】また、請求項2又は5の発明によれば、上
記効果の他、処理液収納容器内の処理液及び気体が全て
吸引されチュ−ブ内の気体が体積変化を起こすと始めて
ポンプが作動を停止するので、処理液収納容器内の処理
液を完全に使い切ることができ、且つ、処理液収納容器
内の処理液の残量を使用中にチェックする必要がなく、
ポンプの停止により処理液が全てなくなったことが分か
る。
【0035】又、請求項6又は7,8,9の発明によれ
ば上記効果の他、気体と液体の分離が出来、気体に優先
して液体が流路内を流れるので、気体感知センサ−によ
る感知が正確でポンプの誤作動がなくなり、チュ−ブ内
又は処理液収納容器内の溶液のなくなりが気体感知セン
サーにより容易に且つ正確に感知される。又、請求項1
0,11の発明によれば、流路内にある気泡と処理液を
処理液収納容器内に容易に押し戻すことができ、流路内
に気泡の無い状態で、処理液を正確に自動現像機処理槽
に移すことで、処理された写真性の低下がなく、加えて
処理液収納容器内の処理液を全部取り出すことが出来る
ことより、収納容器回収時に残液による人体、衣服への
汚染を無くすことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の溶液供給方法による処理液の流れの該
略図
【図2】本発明に使用する容器の一実施例の使用状態斜
面図
【図3】本発明に使用する容器の他実施例の使用状態斜
面図
【図4】本発明に使用する容器の他実施例の使用状態斜
面図
【図5】本発明に使用する気液分離部の一実施例の側面
【図6】本発明に使用する気液分離部の他実施例の側面
【図7】同上気液分離部の使用状態断面説明図
【図8】本発明に使用する気体感知センサーの一実施例
断面説明図
【図9】同上作動状態説明図
【図10】本発明に使用する逆流装置の一実施例説明図
【図11】本発明要部の一実施例断面説明図
【図12】本発明要部の他実施例断面説明図
【符号の説明】
1 処理液収納容器 2 処理液 3 チューブ先端 4 チュ−ブ 5 分離槽 6 気体感知センサー 7 逆流装置 8 ピストン 9 ポンプ 10 自動現像機処理槽 11 チューブ 12 ポンプ 13 希釈水 14 希釈水槽 15 気泡 17 フロートストッパー 18 フロートストッパー

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】高分子化合物製で変形可能な容器に溶液を
    密封収納し、該容器に処理槽に至る流路を形成するチュ
    ーブを接続し、容器と該流路に連通したポンプに至るま
    での気密流路を形成すると共に、該気密流路に送られた
    気体の感知によりポンプ制御を為す如くした溶液供給方
    法。
  2. 【請求項2】高分子化合物製で変形可能な容器に溶液を
    密封収納し、該容器に処理槽に至る流路を形成するチュ
    ーブを接続し、容器と該流路に連通したポンプに至るま
    での気密流路を形成すると共に、該気密流路内の内圧変
    化に伴う該気密流路内の気体の体積変化の感知によりポ
    ンプ制御を為す如くした溶液供給方法。
  3. 【請求項3】チューブの一端を容器に刺入して溶液中に
    挿入することを特徴とする請求項1又は2に記載の溶液
    供給方法。
  4. 【請求項4】高分子化合物製で変形可能な容器に溶液を
    密封収納し、該容器に処理槽に至る流路を形成するチュ
    ーブを接続し、該流路にポンプを連通すると共に、容器
    とポンプ間に気密流路を形成する一方、該気密流路に設
    けた気体感知センサーとポンプを連結したことを特徴と
    する溶液供給装置。
  5. 【請求項5】高分子化合物製で変形可能な容器に溶液を
    密封収納し、該容器に処理槽に至る流路を形成するチュ
    ーブを接続し、該流路にポンプを連通すると共に、容器
    とポンプ間に気密流路を形成する一方、該気密流路内の
    内圧変化に伴う該気密流路内の気体の体積変化を感知す
    る気体感知センサーとポンプを連結したことを特徴とす
    る溶液供給装置。
  6. 【請求項6】気体感知センサーは処理液に浮くフロート
    とその位置を感知する感知器により形成されていること
    を特徴とする請求項4又は5に記載の溶液供給装置。
  7. 【請求項7】気体感知センサーより前のチューブに気液
    分離部を設けたことを特徴とする請求項4乃至6に記載
    の溶液供給装置。
  8. 【請求項8】気液分離部に気体感知センサーを設けたこ
    とを特徴とする請求項4乃至6に記載の溶液供給装置。
  9. 【請求項9】気液分離部は容器内の溶液を完全に使い切
    るまで送られてきた気体を蓄えるのに充分な容積を持つ
    ことを特徴とする請求項7又は8に記載の溶液供給装
    置。
  10. 【請求項10】気体感知センサーとポンプ間のチューブ
    に逆流装置を設けたことを特徴とする請求項4乃至9に
    記載の溶液供給装置。
  11. 【請求項11】逆流装置はチューブに連通した容積可変
    容器より成ることを特徴とする請求項10に記載の溶液
    供給装置。
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