JPH1095668A - ガラス状炭素被覆炭素材及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐摩耗性、対基体付着性に優れたガラス状炭
素被覆炭素材の提供。 【解決手段】 炭素材から成る基体の表面層にガラス状
炭素層を有し、このガラス状炭素層の表面が、Ｘ線光電
子分光法により測定したＯ_1S及びＣ_1Sピークの面積比Ｏ
_1S／Ｃ_1Sを０．１〜０．２とする表面性状であることを
特徴とするガラス状炭素被覆炭素材。平均気孔半径が
０．１〜５．０μｍの炭素材の表面層に、合成樹脂を有
機溶媒に溶解した溶液又は液状樹脂を１〜５０ｃｐの粘
度に調整した前駆体溶液を含浸又は／及び塗布し、乾燥
後、不活性雰囲気中又は真空雰囲気中で加熱硬化、更に
焼成して、炭素材から成る基体の表面層に１〜２００μ
ｍの厚みのガラス状炭素層を有するガラス状炭素被覆炭
素材を製造する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、炭素材を基体と
し、その表面層にガラス状炭素層を有するガラス状炭素
被覆炭素材に係り、さらに詳しくは、半導体、光ファイ
バ等の製造の際に使用されるサセプタ、るつぼ、ボー
ト、ヒータ、熱処理用治具等の各種部材、金属蒸着用る
つぼ、ガラス封着用治具、セラミック焼結用治具などに
好適に使用できるガラス状炭素被覆炭素材及びその製造
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】各種の炭素材を基体として、その表面層
にガラス状炭素層を有するガラス状炭素被覆炭素材は、
炭素材のガス不浸透性、耐摩耗性、化学安定性、表面硬
度などを向上させたり、粉塵の発生を防止したりする部
材として、各種の用途に広範に使用されており、特開平
5−319939号公報、特開平 5−262510号公報、特開平 6
−93453 号公報などに先行技術が開示されている。例え
ば、ガラス状炭素層に要求される特性の一つである耐摩
耗性は、炭素材の場合では機械的摩耗によりその表面か
ら微粉が簡単に発生して被処理製品を汚染するため、そ
の表面層にガラス状炭素層を形成することによって耐摩
耗性を向上させ微粉の発生を防ぐものである。

【０００３】この種のガラス状炭素被覆炭素材は、層形
成時の熱処理温度によってその特性が大きく変化するた
め、熱処理温度値の決定は重要であるが、熱処理温度を
決定しても昇温速度が異なると、得られるガラス状炭素
層の物性が異なってしまうことになる。すなわち、熱処
理温度と昇温速度は一体不可分の関係であり、これらの
条件はガラス状炭素層の特性を支配する大きな要因とな
るものである。それ故、品質の安定したガラス状炭素被
覆炭素材を製造するためには、熱処理温度と昇温速度と
を綿密に決定する必要がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ガラス状炭
素層の形成方法には各種の方法があり、例えば各種の合
成樹脂を該樹脂が可溶な有機溶媒に溶解して前駆体溶液
を調整し、次いでこの溶液を炭素材の表面層に含浸又は
／及び塗布し、乾燥後、不活性雰囲気又は真空雰囲気で
硬化、更に焼成することによって形成できるが、このよ
うな熱処理時において処理炉内位置に起因する温度分布
により、熱処理温度や昇温速度を決定しても、得られる
ガラス状炭素層は耐摩耗性や基体に対する付着性が低か
ったり、半導体ウエハ等の被処理製品と固着したりする
など品質欠陥を招く場合がしばしばある。従って、たと
え熱処理温度や昇温速度を規定してガラス状炭素層を形
成したとしても、高耐摩耗性、高固着性を備えた被覆層
であるかどうかの保証は得られ難く、品質保持の点で問
題が多いのが実状である。

【０００５】本発明は、このような問題点の解消を図る
ために成されたものであり、本発明の目的は、高耐摩耗
性、高固着性を備えた所謂、健全性に富んだガラス状炭
素被覆炭素材を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するため以下に述べる構成としたものである。即
ち、本発明は、炭素材から成る基体の表面層にガラス状
炭素層を有するガラス状炭素被覆炭素材であって、前記
ガラス状炭素層の表面が、Ｘ線光電子分光法（以下、単
に「ＸＰＳ」と記す）により測定したＯ_1S及びＣ_1Sピー
クの面積比Ｏ_1S／Ｃ_1Sを０．１〜０．２とする表面性状
を備えることを特徴とする。

【０００７】本発明はまた、平均気孔半径が０．１〜
５．０μｍの炭素材の表面に、合成樹脂を有機溶媒に溶
解した溶液又は液状樹脂を１〜５０ｃｐの粘度に調整し
た前駆体溶液を含浸又は／及び塗布し、乾燥後、不活性
雰囲気中又は真空雰囲気中で加熱硬化し、更に焼成する
ことによって、炭素材から成る基体の表面層に、１〜２
００μｍの厚みで、ＸＰＳにより測定したＯ_1S及びＣ_1S
ピークの面積比Ｏ_1S／Ｃ _1Sを０．１〜０．２とする表面
性状のガラス状炭素層を有するガラス状炭素被覆炭素材
を製造することを特徴とするガラス状炭素被覆炭素材の
製造方法である。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態に関して説明する。本発明者等は、熱処理を施した後
のガラス状炭素層の物的特性と、その表面をＸＰＳで観
測した際の炭素（Ｃ）、酸素（Ｏ）及び窒素（Ｎ）の元
素の挙動（特にディジタル的割合で示した比）とを詳細
に調査・検討した結果、ガラス状炭素層の表面が、ＸＰ
Ｓで測定したＯ_1S及びＣ_1Sピークの面積比Ｏ_1S／Ｃ_1Sが
０．１〜０．２の値であれば、耐摩耗性や基体との固着
性が良好で、被処理製品と固着することがない等の健全
性を有することを知見するに至ったものである。

【０００９】基体となる炭素材としては特に制約されな
いが、通常は２５００〜３２００℃の範囲内で熱処理さ
れた等方性や異方性の炭素材を使用することができる。
炭素材の熱処理が２５００℃未満では、黒鉛化が十分に
進行していないために、ガラス状炭素層を形成する際の
熱処理（炭素化）時に基体が収縮してしまって、ガラス
状炭素層に微細な亀裂や剥離が生じ易く、その結果、微
粉が発生し易くなるからである。また、熱処理温度が３
２００℃を超える炭素材を使用すると、黒鉛化が進み過
ぎており、基体表面は微粉が頗る発生し易い状態である
ため、熱処理すればガラス状炭素となる前駆体溶液を含
浸・塗布する際に微粉が混入してしまい、ガラス状炭素
層を形成しても微粉の発生を防ぐことが困難になる。さ
らに、このような層の場合、表面硬度が低くなるため、
機械的摩耗によって微粉が発生し易くなるからに他なら
ない。

【００１０】ガラス状炭素層の形成は公知の各方法で行
えば良く、例えば、各種合成樹脂を有機溶媒に溶解して
前駆体溶液を製造する。次いで、この溶液を炭素材の表
面層に含浸又は／及び塗布し、乾燥後、不活性雰囲気又
は真空雰囲気で加熱硬化し、更に焼成して形成すること
ができる。また、液状樹脂をそのまま基体に含浸又は／
及び塗布して加熱硬化、更に焼成しても形成できる。い
ずれにしても本発明においては、ガラス状炭素層の形成
方法に格別の制約を受けない。以下にガラス状炭素層の
前駆体溶液を用いて被覆層を形成する方法に基づき、ガ
ラス状炭素被覆炭素材を製造する方法を説明する。

【００１１】ガラス状炭素被覆炭素材を製造するために
は、炭素材の表面層に、前駆体溶液を含浸又は／及び塗
布すれば良いが、炭素基体の平均気孔半径が０．１μｍ
未満では、基体へのアンカー効果が低く、摩擦や急激な
加熱、急冷等により容易に亀裂、剥離等が生じ易い。ま
た、５．０μｍより大きいと適当な厚みの前駆体溶液を
含浸又は／及び塗布しても、基体表面層の気孔を十分に
塞ぐことができず、緻密な層を形成するのが難しい。そ
れ故、平均気孔半径が０．１〜５．０μｍの炭素材の表
面層に前駆体溶液を含浸又は／及び塗布することによっ
て、健全性を有するガラス状炭素被覆炭素材を製造し得
るものである。なお、基体に対する固着強度が高く、か
つ緻密な膜を形成する為には、平均気孔半径が０．２〜
２．０μｍの炭素材を基体に用いるのがさらに好まし
い。この場合、炭素基体の平均気孔半径は、水銀圧入法
で最大圧力１１００kg/cm²、試料と水銀との接触角１４
１．３°で測定した累積気孔容積の1/2 とした。

【００１２】ここで、合成樹脂は焼成後ガラス状炭素質
を与えるものであれば特に問われない。このガラス状炭
素質を与える合成樹脂としてはフェノール樹脂、フラン
樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイ
ミド樹脂、ポリカルボジイミド樹脂、エポキシ樹脂、ユ
リア樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、キ
シレン樹脂、アルキッド樹脂、塩化ビニル樹脂などを例
示できる。また、使用する有機溶媒は合成樹脂を溶解す
るものであれば特に問われないが、例えばテトラクロロ
エチレン、トリクロロエチレン、ジメチルアセトアミ
ド、Ｎ−メチルピロリドン、ケトン類（アセトン、メチ
ルエチルケトン等）、アルコール類（メタノール、エタ
ノール等）などがある。これらの溶媒は単独で用いても
よく、又、溶解性を損なわない範囲で二種類以上を混合
して用いてもよい。このうち、樹脂の溶解性や被覆層形
成の容易性の観点から、ポリカルボジイミド樹脂はテト
ラクロロエチレン、フェノール樹脂はメタノール、ポリ
アミドイミド樹脂はＮ−メチルピロリドン等の組合せが
好ましい。

【００１３】基体に含浸する場合は、樹脂の重合度と溶
媒希釈率により若干異なるが、これらを１〜５０ｃｐ
（centipoise）の粘度になるように混合して前駆体溶液
を製造するのが良い。粘度が、５０ｃｐを超えるとガラ
ス封着用治具等の小さい穴を有する製品では穴詰まりを
生じるおそれがあり、１ｃｐ未満では含浸後に基体表面
層に残存する量が少なくなる。特に最適な粘度は５〜３
０ｃｐである。一方、基体に塗布する場合は、０．１〜
３０ｃｐが適している。これは３０ｃｐを超えると、平
滑で、かつ剥離や亀裂に強い層を得ることが難しくな
り、０．１ｃｐ未満では、塗布回数を多くしなければな
らず、手間が掛かるため、工業的ではないからである。

【００１４】このようにして得られた前駆体溶液を、基
体に含浸したり、ハケ、スプレー等により塗布したりす
る。このような含浸物や塗布物を通常は６０〜１００℃
で乾燥した後、１５０〜３００℃で加熱して硬化、次い
で６００〜３０００℃で焼成してガラス状炭素被覆層を
形成することができるが、本発明ではガラス状炭素層の
表面がＸＰＳで測定したＯ_1S及びＣ_1Sピークの面積比Ｏ
_1S／Ｃ_1Sを０．１〜０．２の値になるように焼成等の熱
処理を行う必要がある。ここで、形成するガラス状炭素
層の厚みは使用目的によって異なるが、通常、１〜２０
０μｍである。厚みが１μｍよりも少ないとガス不浸透
性、耐摩耗性、化学安定性を発揮しにくくなり、又、２
００μｍよりも厚くすると塗布したガラス状炭素層が黒
鉛基体より剥離したり、ガラス状炭素層に亀裂が生じた
りするので好ましくない。

【００１５】ガラス状炭素層の表面に関してＸＰＳで測
定したＯ_1S及びＣ_1Sピークの面積比Ｏ_1S／Ｃ_1Sが０．２
を超えると、基体表面層に含浸又は／及び塗布した物質
の炭素化が進んでいないため、層の熱収縮が大きく、急
熱により亀裂や剥離が生じる。更には、ヘテロ原子を残
存しているため、熱処理製品との固着や汚染、層の変
質、ガス発生の原因になる。一方、Ｏ_1S及びＣ_1Sピーク
の面積比Ｏ_1S／Ｃ_1Sが０．１未満では炭素化が進み過ぎ
ているため、被覆層は損傷し易く、耐摩耗性も低下し、
微粉が発生する。本発明に係るガラス状炭素層の表面は
Ｏ_1S及びＣ_1Sピークの面積比Ｏ_1S／Ｃ_1Sを０．１〜０．
２の値としているため、亀裂や剥離、層の変質、被処理
製品への固着や汚染、ガス発生等が生じない、取扱い時
に被覆層に傷が付かない等の著しく優れた特性を発揮し
得るものとなる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。本
発明者等は、各種の合成樹脂を使用して熱処理を施した
後のガラス状炭素層の物的特性と、その表面をＸＰＳで
観測した際の炭素（Ｃ）、酸素（Ｏ）及び窒素（Ｎ）の
元素の挙動（特にディジタル的割合で示した比）とを詳
細に調査・検討した結果に基づいて、本発明を完成する
に至ったものである。なお本発明において、ＸＰＳの測
定としては、各種の技術分野で広く用いられており、か
つ、その測定手法についても良く知られているＣ_1S、Ｏ
_1S及びＮ_1Sを対象として測定した。その主な結果を以下
に(1) 〜(7）の各項に分けて記述する。

【００１７】(1) 窒素を含む合成樹脂を使用した場合に
おいて、窒素のＮ_1Sピークは観測することができず、ガ
ラス状炭素層の特性にはおよそ無関係であった。但し、
乾燥工程後の被覆層には小さなＮ_1Sピークを観測するこ
とができたが、この層はガラス状炭素の形態をとってお
らず、本発明に係る被覆層ではない。換言すれば、焼成
するとＮ_1Sピークは存在しなくなり、基体に塗布した物
質はガラス状炭素に変化すると考えられる。 (2) 酸素のＯ_1Sピークはどの試料も左右対称であり、ピ
ーク位置が５３２〜５３４ｅＶのものが観測された。 (3) 炭素のＣ_1Sピークは左右対称のものから高エネルギ
ー側に裾が広がった形状のものまであり、ピーク位置が
２８４〜２８７ｅＶのものが観測された。

【００１８】なお参考までに、結合エネルギーの変化
（化学シフト）は、存在する化学種の化学結合状態の変
化を示しており、より低いエネルギー側へシフトしたピ
ークを示している試料は、次のように考察できる。即
ち、炭素化があまり進んでいないときには、局在化した
分子軌道を持つ「−Ｃ＝Ｏ」、「−Ｎ＝Ｃ−」などの結
合は、熱処理により切断されて脱離したり、分子内での
組替えが生じたりする。それと共に炭素化され、より安
定な六角網目構造を形成するようになる。従って、この
ような結合状態、即ち結合エネルギーの変化が、Ｏ_1S及
びＣ_1Sのピーク位置の低エネルギー側へのシフトとなっ
たものであり、このように低エネルギー側へのシフトが
大きいもの程、炭素化が進んでいると考えられる。

【００１９】(4) Ｏ_1Sピークの高さは、一番低いピーク
を１とした場合、１〜３．５倍程度の範囲内で全試料の
ピークが観測された。 (5) Ｃ_1Sピークの高さは、一番低いピークを１とした場
合、１〜１．５倍程度の範囲内で全試料のピークが観測
された。 (6) Ｏ_1Sピークの面積は、一番小さいピークを１とした
場合、１〜２．７倍程度の範囲内で全試料のＯ_1Sピーク
の面積が観測された。 (7) Ｃ_1Sピークの面積は、一番小さいピークを１とした
場合、１〜１．５倍程度の範囲内で全試料のＣ_1Sピーク
の面積が観測された。

【００２０】以上の結果に基づき、Ｏ_1S及びＣ_1Sのピー
クの位置、高さ、面積の項目中から、ガラス状炭素層の
特性と密接な関係にあるものを各種実験によって定めた
結果、ガラス状炭素層の前記健全性を評価するために
は、Ｏ_1S及びＣ_1Sのピークの面積比Ｏ_1S／Ｃ_1Sが適当で
あることが判った。以下に実験例及び比較例によって、
本発明を更に具体的に説明する。

【００２１】実施例１,(Ａ) 〜実施例４,(Ｄ) 、比較例
１,(Ｅ) 〜比較例５,(Ｉ) 及び参照例１,(Ｊ) 〜参照例
３,(Ｌ) ：平均気孔半径１．５μｍ、熱処理温度３００
０℃の等方性炭素材を基体とし、ポリカルボジイミド樹
脂をテトラクロロエチレンで溶解したガラス状炭素前駆
体溶液を基体表面層に含浸及びスプレー塗布し、焼成速
度及び焼成温度を変えて、ＸＰＳにより測定したＯ_1S及
びＣ_1Sのピークの面積比Ｏ_1S／Ｃ_1Sが下記の表１に示す
ような値のガラス状炭素層（厚み：５０μｍ）を形成し
た（実施例１〜実施例４及び比較例１〜比較例５）。な
お、表１における参照例１〜３は黒鉛基体のみのもので
ある。

【００２２】

【表１】

【００２３】実施例１〜実施例４、比較例１〜比較例５
及び参照例１〜参照例３についてそれらの試料の引掻試
験、固着試験及び急熱試験を行い、ガラス状炭素層の健
全性を比較評価した。 〈試験１：連続荷重方式による引掻試験〉引掻針を実施
例１〜実施例４、比較例１〜比較例５及び参照例１〜参
照例３の各試料表面に垂直に降ろし、垂直方向の荷重を
０から５００ｇまで増やしながら表面を引っ掻く。この
とき、引掻針の先端が受けた力を引掻強度として記録
し、被覆層が破損したときの垂直荷重（臨界荷重）を比
較した。この結果は、主に被覆層の付着力、剪断力を評
価したものである。なお、参照例１〜参照例３は、基体
表面が削られ始めた際の荷重を臨界荷重とした。

【００２４】〈試験２：一定荷重方式による往復引掻試
験〉試験１と同様に、引掻針を各試料表面に垂直に降ろ
し、垂直方向荷重５０ｇ一定として引掻針で直線方向に
往復運動させ、被覆層が破損するまでの往復回数を比較
した。この結果は、主に被覆層の耐摩耗性を評価したも
のである。なお、参照例１〜参照例３は、基体表面が削
られ始めた際の荷重を臨界荷重とした。

【００２５】ここで、引掻試験は次の条件で行った。 ・機 種： トライボギア ＴＹＰＥ２２ ・記録計： フラットベット型ペンレコーダ ・引掻針： ダイヤモンド製（先端０．１mm，Ｒ９０°） ・荷 重： 連続荷重測定：０〜５００ｇ 一定荷重測定：５０ｇ ・荷重速度： 連続荷重測定：１０ｇ／秒 ・引掻速度： 連続荷重測定：０．５mm／秒 一定荷重測定：５mm／秒

【００２６】これらの引掻試験の結果を表１及び図１，
２に示す。この結果より、ガラス状炭素層表面がＯ_1S／
Ｃ_1S（面積比）が０．１未満になると、臨界荷重及び破
損までの往復回数が顕著に低下することが判る。又、基
体のみを用いた参照例１〜参照例３においても耐摩耗性
は実施例１〜実施例４に劣り、粉塵を発生した。なお、
図１には、各試料における被覆層が破損したときの垂直
荷重（臨界荷重）とＯ _1S／Ｃ_1S（面積比）の関係が、ま
た図２には、同じく破損したときの往復回数とＯ_1S／Ｃ
_1S（面積比）の関係がそれぞれ示されている。

【００２７】〈試験３：固着試験〉各試料の表面上にシ
リコンウエハを置き、３００℃／時間の昇温速度に設定
した炉に入れ、炉内温度がガラス状炭素被覆炭素材が通
常使用される代表的な温度である１２００℃に到達後、
この温度で１時間保持した。これにより、シリコンウエ
ハが各試料に固着するか否かを調べた。

【００２８】この固着試験結果を表１に示す。この結果
から明らかなように、ガラス状炭素層表面のＯ_1S／Ｃ_1S
（面積比）が０．２を超えると、シリコンウエハに固着
することが判る。

【００２９】〈試験４：急熱試験〉各試料（室温状態）
を１０００℃に設定した炉に素早く入れて急熱した。こ
の急熱により、ガラス状炭素層に亀裂や剥離が生じるか
否かを調べた。

【００３０】この急熱試験結果を表１に示す。この結果
より、ガラス状炭素層表面がＯ_1S／Ｃ_1S（面積比）が
０．２を超えると、亀裂が生じることが判る。

【００３１】以上の各試験結果からみて、表面のＯ_1S／
Ｃ_1S（面積比）が０．１〜０．２のガラス状炭素層に関
して健全性を確保していることが証されることが判る。

【００３２】また、フェノール樹脂、塩化ビニル樹脂を
用いて形成したガラス状炭素層でも同様にこれらの試験
を行ったところ、表面のＯ_1S／Ｃ_1S（面積比）が０．１
〜０．２のガラス状炭素層であれば健全性にすぐれてい
ることが判明した。

【００３３】〈ＸＰＳ測定条件〉ここで、ＸＰＳの測定
は全て以下の条件で行った。 ・測定装置： ＥＳＣＡ−７５０（島津製作所（株）製） ・Ｘ線源： Ｍｇ Ｋα線 ・加速電圧： ８ｋＶ ・測定時の真空度： １０^-6Ｐａ以下 ・Ｃ_1S測定範囲： ２８０〜２９４ｅＶ（０．１ｅＶステップ） ・Ｏ_1S測定範囲： ５２６〜５４０ｅＶ（０．１ｅＶステップ） ・Ｃ_1S測定範囲： ３９５〜４１０ｅＶ（０．１ｅＶステップ）

【００３４】また、Ｏ_1S／Ｃ_1S（面積比）の値は、ピー
クの両裾を結ぶ線をバックグランド線とし、この線より
上に存在するピーク面積の全カウント数（ｃｐｓ）をそ
のピークの面積とし、Ｏ_1Sピークの面積をＣ_1Sピークの
面積で除した値である。

【００３５】

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明に係るガラス
状炭素被覆炭素材は、ガラス状炭素層に要求される特
性、即ち、ガス不浸透性、耐摩耗性、化学安定性、表面
高硬度、防発塵性等の諸特性を具備する上に、被処理製
品との固着や汚染、被覆層の変質、ガス発生が起こら
ず、被覆層と基体との密着性が良好であり、損傷し難い
など、優れた特性を有するものになる。従って、本発明
に係るガラス状炭素被覆炭素材は、半導体、光ファイバ
等の製造の際に使用されるサセプタ、るつぼ、ボート、
ヒータ、熱処理用治具等の各種部材、金属蒸着用るつ
ぼ、ガラス封着用治具、セラミック焼結用治具などに好
適に使用することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】各試料における被覆層が破損したときの垂直荷
重（臨界荷重）とＯ_1S／Ｃ_1S（面積比）の関係を示す分
布図である。

【図２】各試料における被覆層が破損したときの往復回
数とＯ_1S／Ｃ_1S（面積比）の関係を示す分布図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 土居 賜 香川県三豊郡大野原町大字萩原850 東洋 炭素株式会社内 (72)発明者 東城 哲朗 香川県三豊郡大野原町大字中姫2181−２ 東洋炭素株式会社内 (72)発明者 伊藤 正之 香川県三豊郡大野原町大字中姫2181−２ 東洋炭素株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 炭素材から成る基体の表面層にガラス状
   炭素層を有するガラス状炭素被覆炭素材であって、前記
   ガラス状炭素層の表面が、Ｘ線光電子分光法により測定
   したＯ_1S及びＣ_1Sピークの面積比Ｏ_1S／Ｃ_1Sを０．１〜
   ０．２とする表面性状を備えることを特徴とするガラス
   状炭素被覆炭素材。
2. 【請求項２】 平均気孔半径が０．１〜５．０μｍの炭
   素材の表面に、合成樹脂を有機溶媒に溶解した溶液又は
   液状樹脂を１〜５０ｃｐの粘度に調整した前駆体溶液を
   含浸又は／及び塗布し、乾燥後、不活性雰囲気中又は真
   空雰囲気中で加熱硬化し、更に焼成することによって、
   炭素材から成る基体の表面層に、１〜２００μｍの厚み
   で、Ｘ線光電子分光法により測定したＯ_1S及びＣ_1Sピー
   クの面積比Ｏ_1S／Ｃ_1Sを０．１〜０．２とする表面性状
   のガラス状炭素層を有するガラス状炭素被覆炭素材を製
   造することを特徴とするガラス状炭素被覆炭素材の製造
   方法。