JPH1092367A

JPH1092367A - 走査電子顕微鏡

Info

Publication number: JPH1092367A
Application number: JP9197532A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Negishi; 勉根岸; Toshiji Kobayashi; 利治小林
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1996-07-24
Filing date: 1997-07-23
Publication date: 1998-04-10

Abstract

(57)【要約】【課題】倍率の異なった複数の像の比較観察を容易に
行うことができる走査電子顕微鏡を実現する。【解決手段】制御回路８に設定された２種の倍率値
は、倍率メモリー１８と１９に記憶される。倍率比較回
路２０は、２種の倍率値と、第１と第２の陰極線管１
５，１７の画面のサイズとにより、第１の陰極線管１５
に表示する倍率比較枠のサイズＦ１と、第２の陰極線管
１７に表示する倍率比較枠のサイズＦ２とを求める。Ｆ
１，Ｆ２の信号は倍率比較枠表示装置２１に供給され、
Ｆ１，Ｆ２に応じた枠信号が作成されて加算器１４，１
６に供給され、それぞれ像信号と加算される。この結
果、第１の陰極線管１５には、第２の陰極線管１７の表
示されている像の領域を示す枠が表示される。また、第
２の陰極線管１７には、第１の陰極線管１５の表示され
ている像の領域を示す枠が表示される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、倍率の異なった像
を同時に表示し、倍率の低い方の像中において、倍率の
高い方の像の範囲を識別可能とした走査電子顕微鏡に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来の走査電子顕微鏡では、電子銃から
の一次電子ビームをコンデンサレンズと対物レンズによ
り試料上に細く集束し、更に、一次電子ビームを走査コ
イルにより試料上で２次元的に走査している。そして試
料への電子ビームの照射によって発生した２次電子等を
検出し、検出信号を陰極線管に供給して陰極線管上に２
次電子像などを表示するようにしている。

【０００３】このような走査電子顕微鏡において、倍率
の異なる画像を比べたいときに用いる手法として、同じ
視野を倍率を変えて同時に表示することが行われてい
る。この手法では、ある倍率の画像に対して、その一部
の領域を指定してその領域の拡大像を他の画面に表示す
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記した手法は、低倍
率の像の中の一部領域を指定し拡大する方法であるか
ら、必ず低いほうの倍率を予め決めてから拡大倍率を決
める必要があった。しかしながら、通常の走査電子顕微
鏡観察においては、未知の試料に対してよい結果を得る
ために、装置のオペレータは様々な試行錯誤を行うこと
になる。このため、従来の低いほうの倍率を予め決めて
から拡大倍率を決めるのとは逆に、今見ている拡大され
た画像を低倍率の像で見たとすれば、低倍率の像のどの
部分に当たるかを確認したい場合も多い。これを第１の
課題とする。

【０００５】また、第１の画像に観察対象物を表示して
おき、観察対象物について付随する様々な情報、例え
ば、その観察対象物の周辺の情報やその観察対象物の微
細な構造の情報を得るために、第２の画像の倍率を第１
の画像の倍率よりも低い倍率から第１の画像の倍率より
も高い倍率までの広い範囲の倍率に次々変えながら表示
し観察したい場合もある。これを第２の課題とする。

【０００６】さらに、今見ている拡大された画像中の観
察対象物と同様のものが、試料中には外にもあるのでは
ないかと考えたとき、これを調べるために、上記の拡大
された画像を参照にしながら、同様な形状で、同様な大
きさのものを、低倍率の画像の表示する視野を次々と変
えながら観察対象物と同様なものを探し出したい場合も
ある。これを第３の課題とする。

【０００７】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、倍率の異なった複数の像の比較観
察を容易に行うことができる走査電子顕微鏡を実現する
にある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１に基づく第１の
発明の走査電子顕微鏡は、電子銃から発生し加速された
電子ビームを電子レンズにより集束し、試料上で電子ビ
ームを２次元的に走査し、この走査に伴って得られた信
号に基づいて像の表示を行うようにした走査電子顕微鏡
において、異なった倍率の像を同時に表示するように構
成すると共に、任意の一方の像の倍率を、他方の像の倍
率に依らずに、任意の倍率に可変できるようにし、か
つ、常に低倍率の像中に、高倍率の像の範囲を表示する
ようにしたことを特徴としている。

【０００９】請求項１に基づく第１の発明では、異なっ
た倍率の像を同時に表示し、更に、低倍率の像中に、高
倍率の像の範囲を表示する。かつ任意の一方の像の倍率
を、他方の像の倍率に依らずに、任意の倍率に可変でき
るようにした。

【００１０】請求項３に基づく第２の発明の走査電子顕
微鏡は、電子銃から発生し加速された電子ビームを電子
レンズにより集束し、試料上で電子ビームを２次元的に
走査し、この走査に伴って得られた信号に基づいて像の
表示を行うようにした走査電子顕微鏡において、２種の
異なった倍率Ｍ１，Ｍ２の像信号を記憶する２種のフレ
ームメモリーと、２種のフレームメモリーの信号に基づ
いて異なった倍率の２種の像を表示する表示手段と、２
種の異なった倍率に基づいて２種の倍率の比Ｍ１／Ｍ２
とＭ２／Ｍ１を求め、倍率Ｍ1 の像信号に比Ｍ１／Ｍ
２に基づいて作成された倍率Ｍ２の像の表示範囲を示す
識別信号を加算し、倍率Ｍ２の像信号に比Ｍ２／Ｍ１に
基づいて作成された倍率Ｍ１の像の表示範囲を示す識別
信号を加算するように構成したことを特徴としている。

【００１１】請求項３に基づく第２の発明では、異なっ
た倍率Ｍ１，Ｍ２の像信号を２種のフレームメモリーに
記憶し、２種のフレームメモリーに記憶された信号に基
づいて異なった倍率の像を同時に表示し、更に、２種の
倍率の比Ｍ１／Ｍ２とＭ２／Ｍ１を求め、倍率Ｍ１の像
信号に比Ｍ１／Ｍ２に基づいて作成された倍率Ｍ２の像
の表示範囲を示す識別信号を加算し、倍率Ｍ２の像信号
に比Ｍ２／Ｍ１に基づいて作成された倍率Ｍ１の像の表
示範囲を示す識別信号を加算する。

【００１２】請求項５に基づく第３の発明の走査電子顕
微鏡は、電子銃から発生し加速された電子ビームを電子
レンズにより集束し、試料上で電子ビームを２次元的に
走査し、この走査に伴って得られた信号に基づいて像の
表示を行うようにした走査電子顕微鏡において、２種の
異なった倍率の像信号を記憶する２種のフレームメモリ
ーと、２種のフレームメモリーの信号に基づいて異なっ
た倍率の２種の像を表示する表示手段と、２種の異なっ
た倍率に基づいて低い方の倍率値を高い方の倍率値で除
した比を求め、倍率の低い方の像信号に前記比に基づい
て作成された倍率の高い方の像の表示範囲を示す識別信
号を加算するように構成したことを特徴としている。

【００１３】請求項５に基づく第３の発明では、２種の
異なった倍率の像信号を２種のフレームメモリーに記憶
し、２種のフレームメモリーに記憶された信号に基づい
て異なった倍率の２種の像を同時に表示し、更に、低い
方の倍率値を高い方の倍率値で除した比を求め、倍率の
低い方の像信号に前記比に基づいて作成された倍率の高
い方の像の表示範囲を示す識別信号を加算する。

【００１４】請求項７に基づく第４の発明の走査電子顕
微鏡は、電子銃から発生し加速された電子ビームを電子
レンズにより集束し、試料上で電子ビームを２次元的に
走査し、この走査に伴って得られた信号に基づいて像の
表示を行うようにした走査電子顕微鏡において、２種の
異なった倍率Ｍ１，Ｍ２の像信号のうちの一方の像信号
を記憶するフレームメモリーと、２種の像信号に基づい
て異なった倍率の２種の像を表示する表示手段と、２種
の異なった倍率に基づいて２種の倍率の比Ｍ１／Ｍ２と
Ｍ２／Ｍ１を求め、倍率Ｍ１の像信号に比Ｍ１／Ｍ２に
基づいて作成された倍率Ｍ２の像の表示範囲を示す識別
信号を加算し、倍率Ｍ２の像信号に比Ｍ２／Ｍ１に基づ
いて作成された倍率Ｍ１の像の表示範囲を表示する識別
信号を加算するように構成したことを特徴としている。請求項７に基づく第４の発明では、２種の異なった倍率
Ｍ１，Ｍ２の像信号のうちの一方の像信号をフレームメ
モリーに記憶し、２種の像信号に基づいて異なった倍率
の２種の像を同時に表示し、更に、２種の異なった倍率
に基づいて２種の倍率の比Ｍ１／Ｍ２とＭ２／Ｍ１を求
め、倍率Ｍ１の像信号に比Ｍ１／Ｍ２に基づいて作成さ
れた倍率Ｍ２の像の表示範囲を示す識別信号を加算し、
倍率Ｍ２の像信号に比Ｍ２／Ｍ１に基づいて作成された
倍率Ｍ１の像の表示範囲を表示する識別信号を加算す
る。請求項９に基づく第５の発明の走査電子顕微鏡は、電子
銃から発生し加速された電子ビームを電子レンズにより
集束し、試料上で電子ビームを２次元的に走査し、この
走査に伴って得られた信号に基づいて像の表示を行うよ
うにした走査電子顕微鏡において、２種の異なった倍率
の像信号のうちの一方の像信号を記憶するフレームメモ
リーと、２種の像信号に基づいて異なった倍率の２種の
像を表示する表示手段と、２種の異なった倍率に基づい
て低い方の倍率値を高い方の倍率値で除した比を求め、
倍率の低い方の像信号に前記比に基づいて作成された倍
率の高い方の像の表示範囲を示す識別信号を加算するよ
うに構成したことを特徴とする。

【００１５】請求項９に基づく第５の発明では、２種の
異なった倍率の像信号のうちの一方の像信号をフレーム
メモリーに記憶し、２種の像信号に基づいて異なった倍
率の２種の像を同時に表示し、更に、２種の異なった倍
率に基づいて低い方の倍率値を高い方の倍率値で除した
比を求め、倍率の低い方の像信号に前記比に基づいて作
成された倍率の高い方の像の表示範囲を示す識別信号を
加算するように構成した。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明に基づく走査
電子顕微鏡の一例を示しており、１は電子銃であり、電
子銃１から発生し加速された電子ビームＥＢは、コンデ
ンサレンズ２と対物レンズ３とによって試料４上に細く
集束される。更に、電子ビームＥＢは走査コイル５に供
給される走査信号により、試料４上で２次元的に走査さ
れる。

【００１７】走査コイル５には走査制御回路６から走査
信号が供給されるが、走査制御回路６は倍率制御回路７
からの信号に基づき、走査信号の倍率（走査信号の振
幅）が任意に変えられる。倍率制御回路７はコンピュー
タのごとき制御回路８によって制御される。

【００１８】試料４への電子ビームＥＢの照射によって
発生した２次電子は、検出器９によって検出される。検
出器９の検出信号は、増幅器１０によって増幅された
後、スイッチ回路１１によって切り換えられ、第１のフ
レームメモリー１２か第２のフレームメモリー１３に供
給されて記憶される。なお、増幅器１０からの信号はＡ
Ｄ変換器７によってデジタル信号に変換されるが、この
ＡＤ変換器は図示されていない。

【００１９】第１のフレームメモリー１２に記憶された
像信号は、読み出されて加算器１４に供給された後図示
していないＤＡ変換器に供給され、ＤＡ変換器によって
アナログ信号に変換された像信号は、第１の陰極線管１
５に供給されて第１の像が第１の陰極線管１５に表示さ
れる。

【００２０】第２のフレームメモリー１３に記憶された
像信号は、読み出されて加算器１６に供給された後図示
していないＤＡ変換器に供給され、ＤＡ変換器によって
アナログ信号に変換された像信号は、第２の陰極線管１
７に供給されて第２の像が第２の陰極線管１７に表示さ
れる。

【００２１】倍率制御回路７は制御回路８からの指示に
よって異なった２種の倍率を設定し、走査制御回路６を
制御するが、この時、倍率制御回路７は設定された倍率
を倍率メモリー１８と１９に供給して記憶させる。倍率
メモリー１８，１９に記憶された倍率信号は、倍率比較
装置２０に供給される。

【００２２】倍率比較装置２０は所定の演算を行い、そ
の結果を倍率比較枠表示装置２１に供給する。倍率比較
枠表示装置２１は、第１の陰極線管１５用の比較枠信号
を加算器１４に供給し、第２の陰極線管１７用の比較枠
信号を加算器１６に供給する。なお、倍率制御回路７か
らの倍率切換信号に基づいて、スイッチ回路１１は切り
換えられる。

【００２３】このような構成の動作を次に説明する。

【００２４】２次電子像を観察する場合、電子銃１から
の電子ビームＥＢをコンデンサレンズ２と対物レンズ３
によって試料４上に細く絞って照射すると共に、走査コ
イル５により試料４上で電子ビームを２次元的に走査す
る。

【００２５】試料４への電子ビームの照射によって発生
した２次電子は、２次電子検出器９によって検出され、
検出器９の検出信号は、ＡＤ変換器によってディジタル
信号に変換された後、スイッチ回路１１によって切り換
えられ、第１のフレームメモリー１２か第２のフレーム
メモリー１３に供給されて記憶される。このフレームメ
モリー１２，１３に記憶された信号は、読み出されてＤ
Ａ変換器を介して第１と第２の陰極線管１５，１７に供
給されることから、陰極線管１５，１７上に２次電子像
が表示される。

【００２６】さて、オペレータにより制御回路８に第１
の倍率Ｍ1が設定されると、設定倍率Ｍ1 に基づいて倍
率制御回路７は走査制御回路６を制御し、この倍率に応
じた振幅の走査信号が走査コイル５に供給される。この
結果、倍率Ｍ1 に応じた試料領域が電子ビームＥＢに
よって２次元的に走査される。

【００２７】この走査によって得られた２次電子は、検
出器９によって検出され、スイッチ回路１１に供給され
る。スイッチ回路１１は倍率制御回路７からの信号によ
り切り換えられ、検出器９からの２次電子信号を第１の
フレームメモリー１２に供給して記憶させる。

【００２８】次に、オペレータにより制御回路８に第２
の倍率Ｍ2が設定されると、設定倍率Ｍ2 に基づいて倍
率制御回路７は走査制御回路６を制御し、この倍率に応
じた振幅の走査信号が走査コイル５に供給される。この
結果、倍率Ｍ2 に応じた試料領域が電子ビームＥＢに
よって２次元的に走査される。

【００２９】この走査によって得られた２次電子は、検
出器９によって検出され、スイッチ回路１１に供給され
る。スイッチ回路１１は倍率制御回路７からの信号によ
り切り換えられ、検出器９からの２次電子信号を第２の
フレームメモリー１３に供給して記憶させる。

【００３０】制御回路８に設定された２種の倍率値は、
倍率メモリー１８と１９に記憶される。倍率比較回路２
０は、２種の倍率値Ｍ１，Ｍ２と、第１の陰極線管１５
の画面のサイズＤ１と、第２の陰極線管１７の画面のサ
イズＤ２とにより、次の２種の演算を行う。

【００３１】Ｆ１＝（Ｄ１／Ｄ２）×Ｄ１×（Ｍ１／Ｍ２）Ｆ２＝（Ｄ２／Ｄ１）×Ｄ２×（Ｍ２／Ｍ１）上記Ｆ１は第１の陰極線管１５に表示する倍率比較枠の
サイズであり、Ｆ２は第２の陰極線管１７に表示する倍
率比較枠のサイズである。Ｆ１の信号は倍率比較枠表示
装置２１に供給され、Ｆ１に応じた枠信号が作成されて
加算器１４に供給され、倍率Ｍ１の像信号と加算され
る。この結果、第１の陰極線管１５には、倍率Ｍ１の像
が表示されると共に、第２の陰極線管１７の表示されて
いる像の領域を示す枠が表示される。

【００３２】また、Ｆ１の信号は倍率比較枠表示装置２
１に供給され、Ｆ２に応じた枠信号が作成されて加算器
１６に供給され、倍率Ｍ２の像信号と加算される。この
結果、第２の陰極線管１７には、倍率Ｍ２の像が表示さ
れると共に、第１の陰極線管１５の表示されている像の
領域を示す枠が表示される。

【００３３】図２は第１と第２の陰極線管１５，１７の
表示画面を示しており、図２（ａ）は第１の陰極線管１
５の表示画面Ｉ１、図２（ｂ）は第２の陰極線管１７の
表示画面Ｉ２である。この図２のケースは、倍率Ｍ１が
倍率Ｍ２より低倍率である場合であり、倍率Ｍ１の第１
の陰極線管１５の表示画面Ｉ１にサイズがＦ１の枠Ｆが
表示される。

【００３４】逆に、倍率Ｍ２の第２の陰極線管１７の表
示画面Ｉ２には、Ｆ２のサイズが表示されるように構成
されているが、サイズＦ２が画面Ｉ２のサイズＤ２より
大きくなるために、実質的に枠は表示されない。

【００３５】図３も第１と第２の陰極線管１５，１７の
表示画面を示しており、図３（ａ）は第１の陰極線管１
５の表示画面Ｉ１、図３（ｂ）は第２の陰極線管１７の
表示画面Ｉ２である。この図３のケースは、倍率Ｍ１が
倍率Ｍ２より高倍率である場合であり、倍率Ｍ２の第２
の陰極線管１７の表示画面Ｉ２にサイズＦ２の枠Ｆが表
示される。

【００３６】逆に、倍率Ｍ１の第１の陰極線管１５の表
示画面Ｉ１には、Ｆ１のサイズが表示されるように構成
されているが、サイズＦ１が画面Ｉ１のサイズＤ１より
大きくなるために、実質的に枠は表示されない。

【００３７】このような構成により、例えば、倍率Ｍ２
を設定して、この倍率の像信号を第２のフレームメモリ
ー１３に記憶させ、第２の陰極線管１７上に固定して表
示する。なお、「固定して表示する」とは、既にフレー
ムメモリーに記憶されている画像を、そのまま陰極線管
に表示することを意味し、逆に固定していない時は、フ
レームメモリーは時々刻々新たな画像信号で内容が更新
されていることを意味する。そして、倍率Ｍ２より低い
倍率Ｍ１を設定してこの倍率の像を第１の陰極線管１５
上に表示させ、併せて倍率比較枠Ｆを第１の陰極線管１
５上に表示する。

【００３８】これによって、第１の課題である、今見て
いる拡大された画像が低倍率の像ではどの部分に当たる
かを、容易に確認することができる。

【００３９】この倍率Ｍ１を適宜変えて２種の像を比較
観察することにより、高い倍率Ｍ２の像が試料のどの範
囲の像であるかの認識を正確に行うことができる。もち
ろん、倍率Ｍ１の値を変えれば、第１の陰極線管１５に
表示される比較枠の大きさは変化する。なお、低い倍率
Ｍ１の像を最初に固定し、その後高い倍率の像を倍率を
変えて観察することもできる。

【００４０】また、第１の陰極線管１５上には、倍率Ｍ
２り低い倍率はもちろん高い倍率も設定できるから、任
意の倍率の像が表示でき、併せて倍率比較枠Ｆをその倍
率に応じて第１の陰極線管１５あるいは第２の陰極線管
１７上に表示できる。これによって、第２の陰極線管１
７上に表示されている観察対象物の周辺の情報も微細構
造の情報も第１の陰極線管１５上で観察することがで
き、第２の課題も実現できる。

【００４１】すなわち、第２の陰極線管１７上に倍率Ｍ
２像を固定して表示した上で、倍率Ｍ２に関わりなく、
第１の陰極線管１５上の像は任意の倍率で表示・観察で
きることになる。

【００４２】このように、比較したい２種の倍率の像に
対して、それぞれの像の拡大、縮小が自由に行え、ま
た、高い倍率の像範囲が低い倍率の像に対してどの程度
の大きさであるのかを簡単に認識することができるの
で、使いやすい走査電子顕微鏡を提供することができ
る。

【００４３】また、一方の、例えば高倍率側の画像を固
定、即ち、既に記憶したフレームメモリーの像を表示し
たままの状態にしてから、試料を移動させてもう一方の
低倍率側の画像の観察する視野をずらしても、倍率比較
枠Ｆは表示されたままであるので、同じようなサイズの
対象物を探すような使い方に便利である。

【００４４】例えば、菌類を分類する場合を図４で説明
する。図４の（ａ）は、対象となる菌を一方の画面い
っぱいに拡大して表示したものを示す。図中の記号Ａ
は、その観察対象物である菌である。次に、図４の
（ｂ）は、もう一方の画像の倍率を下げると、菌の大き
さを表す倍率比較枠が表示されていることを示す。この
画像中には、Ａ以外にも沢山のものが見えている。その
内、Ｂは、Ａと同種の別の観察対象物である。図４の
（ｃ）は、試料を移動させて、観察対象物Ｂを、画面の
中央に持ってきた場合を示す。更に、図４の（ｄ）は、
倍率を変えても、枠のサイズが追従して表示されること
を示す。この様に、本発明の機能によって、視野探しの
ために試料を移動させたり、観察に都合が良いように倍
率を変えても、枠のサイズが追従して表示されるので、
大きさの異なる他の菌との区別が容易になる。これによ
って、同じ様な観察対象物を容易に探し出したいと言う
第３の課題も実現できる。すなわち、低倍率側の画像は
倍率を切り換え、視野を移動しても、低倍率の画像中の
倍率比較枠と、拡大された側の像を参照にして、同様な
形状で、同様な大きさの観察対象物を異なる視野の低倍
率の画像中から容易に探し出すことができる。

【００４５】以上本発明の実施の形態を詳述したが、本
発明はこの形態に限定されない。例えば、２次電子を検
出したが、反射電子を検出して反射電子像を表示する場
合にも本発明を適用することができる。また、倍率の低
い像に線による枠を表示したが、倍率の比較のためには
枠のみならず、他方の画面の大きさを示すために、枠の
角に当たる部分に印を付けたり、枠の１つないし３つの
辺で表示したり、その領域を特定の色で着色したり、そ
の領域の輝度を高めることも可能である。更に、２種の
画像を表示するために２種の陰極線管を用いたが、単一
の陰極線管の画面を２分割して２種の画像を表示するよ
うにしても良い。

【００４６】上記では、倍率比較表示装置２１では、倍
率の如何に関わらず、Ｆ１，Ｆ２に応じたそれぞれの枠
信号が生成されて加算器１４，１６に供給されるように
しているが、Ｆ１が画面のサイズＤ１より大きいときに
は、Ｆ２に応じた枠信号生成および加算器１６への供給
のみでも良い。同じく、Ｆ２が画面のサイズＤ２より大
きいときには、Ｆ１に応じた枠信号生成および加算器１
４への供給のみとしても良い。

【００４７】また、図５のように、一方の像信号はフレ
ームメモリーを用いないで、直接加算器を経て陰極線管
に送り込んでも良い。この場合には、固定表示される画
像は、常にフレームメモリーを介した側の画像とすれば
良い。

【００４８】

【発明の効果】請求項１に基づく第１の発明の走査電子
顕微鏡は、異なった倍率の像を同時に表示し、更に、低
倍率の像中に、高倍率の像の範囲を表示するように構成
したので、比較したい２種の倍率の像において、それぞ
れの像の拡大、縮小が他方の像の倍率には制限されずに
自由に行え、また、高い倍率の像範囲が低い倍率の像に
対してどの程度の大きさであるのかを簡単に認識するこ
とができる。

【００４９】請求項３に基づく第２の発明の走査電子顕
微鏡は、異なった倍率Ｍ１，Ｍ２の像信号を２種のフレ
ームメモリーに記憶し、２種のフレームメモリーに記憶
された信号に基づいて異なった倍率の像を同時に表示
し、更に、２種の倍率の比Ｍ１／Ｍ２とＭ２／Ｍ１を求
め、倍率Ｍ１の像信号に比Ｍ１／Ｍ２に基づいて作成さ
れた倍率Ｍ２の像の表示範囲を示す識別信号を加算し、
倍率Ｍ２の像信号に比Ｍ２／Ｍ１に基づいて作成された
倍率Ｍ１の像の表示範囲を示す識別信号を加算するよう
に構成したので、異なった倍率の像を同時に表示し、更
に、低倍率の像中に、高倍率の像の範囲を表示でき、比
較したい２種の倍率の像において、それぞれの像の拡
大、縮小が他方の像の倍率には制限されずに自由に行
え、また、高い倍率の像範囲が低い倍率の像に対してど
の程度の大きさであるのかを簡単に認識することができ
る。

【００５０】請求項５に基づく第３の発明の走査電子顕
微鏡は、異なった倍率Ｍ１，Ｍ２の像信号を２種のフレ
ームメモリーに記憶し、２種のフレームメモリーに記憶
された信号に基づいて異なった倍率の像を同時に表示
し、更に、低い方の倍率値を高い方の倍率値で除した比
を求め、倍率の低い方の像信号に前記比に基づいて作成
された倍率の高い方の像の表示範囲を示す識別信号を加
算するように構成したので、異なった倍率の像を同時に
表示し、更に、低倍率の像中に、高倍率の像の範囲を表
示でき、比較したい２種の倍率の像において、それぞれ
の像の拡大、縮小が他方の像の倍率には制限されずに自
由に行え、また、高い倍率の像範囲が低い倍率の像に対
してどの程度の大きさであるのかを簡単に認識すること
ができる。

【００５１】請求項７に基づく第４の発明の走査電子顕
微鏡は、２種の異なった倍率Ｍ１，Ｍ２の像信号のうち
の一方の像信号をフレームメモリーに記憶し、２種の像
信号に基づいて異なった倍率の２種の像を同時に表示
し、更に、２種の異なった倍率に基づいて２種の倍率の
比Ｍ１／Ｍ２とＭ２／Ｍ１を求め、倍率Ｍ１の像信号に
比Ｍ１／Ｍ２に基づいて作成された倍率Ｍ２の像の表示
範囲を示す識別信号を加算し、倍率Ｍ２の像信号に比Ｍ
２／Ｍ１に基づいて作成された倍率Ｍ１の像の表示範囲
を表示する識別信号を加算するように構成したので、異
なった倍率の像を同時に表示し、更に、低倍率の像中
に、高倍率の像の範囲を表示でき、比較したい２種の倍
率の像において、一方（フレームメモリーを経ていない
側）の像の拡大、縮小が他方の像の倍率には制限されず
に自由に行え、また、高い倍率の像範囲が低い倍率の像
に対してどの程度の大きさであるのかを簡単に認識する
ことができる。

【００５２】請求項９に基づく第５の発明では、２種の
異なった倍率の像信号のうちの一方の像信号をフレーム
メモリーに記憶し、２種の像信号に基づいて異なった倍
率の２種の像を同時に表示し、更に、２種の異なった倍
率に基づいて低い方の倍率値を高い方の倍率値で除した
比を求め、倍率の低い方の像信号に前記比に基づいて作
成された倍率の高い方の像の表示範囲を示す識別信号を
加算するように構成したので、異なった倍率の像を同時
に表示し、更に、低倍率の像中に、高倍率の像の範囲を
表示でき、比較したい２種の倍率の像において、一方
（フレームメモリーを経ていない側）の像の拡大、縮小
が他方の像の倍率には制限されずに自由に行え、また、
高い倍率の像範囲が低い倍率の像に対してどの程度の大
きさであるのかを簡単に認識することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明に基づく走査電子顕微鏡の一例を
示す図である。

【図２】異なった倍率の像が表示される陰極線管画面を
示す図である。

【図３】異なった倍率の像が表示される陰極線管画面を
示す図である。

【図４】表示される陰極線管画面上の高倍率側の画像
（ａ）、低倍率側の画像（ｂ）、視野を変えたときの低
倍率側の画像（ｃ）と更に倍率を変えたときの低倍率側
の画像（ｄ）を説明する図である。

【図５】図５は本発明に基づく走査電子顕微鏡の他の例
を示す図である。

【符号の説明】

１電子銃２コンデンサレンズ３対物レンズ４試料５走査コイル６走査制御回路７倍率制御回路８制御回路９２次電子検出器１０増幅器１１スイッチ回路１２，１３フレームメモリー１４，１６加算器１５，１７陰極線管１８，１９倍率メモリー２０倍率比較装置２１倍率比較枠表示装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電子銃から発生し加速された電子ビーム
を電子レンズにより集束し、試料上で電子ビームを２次
元的に走査し、この走査に伴って得られた信号に基づい
て像の表示を行うようにした走査電子顕微鏡において、
異なった倍率の像を同時に表示するように構成すると共
に、任意の一方の像の倍率を、他方の像の倍率に依らず
に、任意の倍率に可変できるようにし、かつ、常に倍率
の低い方の像中に、倍率の高い方の像の範囲を表示する
ようにした走査電子顕微鏡。
【請求項２】倍率の低い方の像中に、倍率の高い方の
像の表示範囲を枠によって表示するようにした請求項１
記載の走査電子顕微鏡。
【請求項３】電子銃から発生し加速された電子ビームを
電子レンズにより集束し、試料上で電子ビームを２次元
的に走査し、この走査に伴って得られた信号に基づいて
像の表示を行うようにした走査電子顕微鏡において、２
種の異なった倍率Ｍ１，Ｍ２の像信号を記憶する２種の
フレームメモリーと、２種のフレームメモリーの信号に
基づいて異なった倍率の２種の像を表示する表示手段
と、２種の異なった倍率に基づいて２種の倍率の比Ｍ１
／Ｍ２とＭ２／Ｍ１を求め、倍率Ｍ１の像信号に比Ｍ１
／Ｍ２に基づいて作成された倍率Ｍ２の像の表示範囲を
示す識別信号を加算し、倍率Ｍ２の像信号に比Ｍ２／Ｍ
１に基づいて作成された倍率Ｍ１の像の表示範囲を表示
する識別信号を加算するように構成した走査電子顕微
鏡。
【請求項４】倍率の低い方の像中に、倍率の高い方の
像の表示範囲を枠によって表示するようにした請求項３
記載の走査電子顕微鏡。
【請求項５】電子銃から発生し加速された電子ビーム
を電子レンズにより集束し、試料上で電子ビームを２次
元的に走査し、この走査に伴って得られた信号に基づい
て像の表示を行うようにした走査電子顕微鏡において、
２種の異なった倍率の像信号を記憶する２種のフレーム
メモリーと、２種のフレームメモリーの信号に基づいて
異なった倍率の２種の像を表示する表示手段と、２種の
異なった倍率に基づいて低い方の倍率値を高い方の倍率
値で除した比を求め、倍率の低い方の像信号に前記比に
基づいて作成された倍率の高い方の像の表示範囲を示す
識別信号を加算するように構成した走査電子顕微鏡。
【請求項６】倍率の低い方の像中に、倍率の高い方の
像の表示範囲を枠によって表示するようにした請求項５
記載の走査電子顕微鏡。
【請求項７】電子銃から発生し加速された電子ビーム
を電子レンズにより集束し、試料上で電子ビームを２次
元的に走査し、この走査に伴って得られた信号に基づい
て像の表示を行うようにした走査電子顕微鏡において、
２種の異なった倍率Ｍ１，Ｍ２の像信号のうちの一方の
像信号を記憶するフレームメモリーと、２種の像信号に
基づいて異なった倍率の２種の像を表示する表示手段
と、２種の異なった倍率に基づいて２種の倍率の比Ｍ１
／Ｍ２とＭ２／Ｍ１を求め、倍率Ｍ１の像信号に比Ｍ１
／Ｍ２に基づいて作成された倍率Ｍ２の像の表示範囲を
示す識別信号を加算し、倍率Ｍ２の像信号に比Ｍ２／Ｍ
１に基づいて作成された倍率Ｍ１の像の表示範囲を表示
する識別信号を加算するように構成した走査電子顕微
鏡。
【請求項８】倍率の低い方の像中に、倍率の高い方の
像の表示範囲を枠によって表示するようにした請求項７
記載の走査電子顕微鏡。
【請求項９】電子銃から発生し加速された電子ビーム
を電子レンズにより集束し、試料上で電子ビームを２次
元的に走査し、この走査に伴って得られた信号に基づい
て像の表示を行うようにした走査電子顕微鏡において、
２種の異なった倍率の像信号のうちの一方の像信号を記
憶するフレームメモリーと、２種の像信号に基づいて異
なった倍率の２種の像を表示する表示手段と、２種の異
なった倍率に基づいて低い方の倍率値を高い方の倍率値
で除した比を求め、倍率の低い方の像信号に前記比に基
づいて作成された倍率の高い方の像の表示範囲を示す識
別信号を加算するように構成した走査電子顕微鏡。
【請求項１０】倍率の低い方の像中に、倍率の高い方
の像の表示範囲を枠によって表示するようにした請求項
９記載の走査電子顕微鏡。