JPH1087014A - 表示装置用基板の積載用カセットおよびこれを用いた静電破壊防止方法 - Google Patents

表示装置用基板の積載用カセットおよびこれを用いた静電破壊防止方法

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JPH1087014A
JPH1087014A JP4098897A JP4098897A JPH1087014A JP H1087014 A JPH1087014 A JP H1087014A JP 4098897 A JP4098897 A JP 4098897A JP 4098897 A JP4098897 A JP 4098897A JP H1087014 A JPH1087014 A JP H1087014A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 カセットの移動途中に積載している基板が前
方に抜け出ないようにし、さらに積載している基板が歪
まないようにすると同時に、カセットおよび基板から発
生する静電気が接地を通じて放電され得るようにする。 【解決手段】 この表示装置用基板の積載用カセット
は、基板を積載させるためのスロットが互いに向い合う
ように形成されている多数のサイドプレート21と、サ
イドプレートの上端に結合されている上板23と、サイ
ドプレートの下端に結合されている底板22と、スロッ
トの反対側に位置してスロットから積載している基板が
抜け出ないようにするための1つ以上のストッパー24
と、ストッパーまたはサイドプレートをスロット側に向
けて平行に延長して形成された多数のサポートバー27
とからなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は表示装置用基板積載
用カセットに係り、より詳しくは、カセットの移動途中
にカセットに積載している基板が前方に抜け出ないよう
にし、さらにカセットに積載している基板が歪まないよ
うにすると同時にカセットおよび基板から発生する静電
気による基板の静電破壊を防止するための表示装置用基
板積載用カセットに関する。
【0002】
【従来の技術】現在、画像表示装置として液晶表示装置
(Liquid Crystal Display;以下、LCDという)は薄形、
軽量、低消費電力などにより広く脚光を浴びている。前
記液晶表示装置を製作する過程において、基板をカセッ
トに積載した後、手で持ち上げるか運搬機構に搭載した
後に必要な場所に運搬、移動させる工程が必要になる。
【0003】以下、添付図面を参照して従来の液晶表示
装置における基板積載用カセットについて説明する。図
1は従来の液晶表示装置における基板積載用カセットの
斜視図であり、図2は従来の液晶表示装置における基板
積載用カセットの正面図であり、図3は従来の液晶表示
装置における基板積載用カセットの側面図である。
【0004】図1ないし図3に示すように、従来の液晶
表示装置における基板積載用カセット10は、突起1
5’により形成された基板を積載させるためのスロット
15が形成されているサイドプレート11と、底板12
および上板13と、積載している基板が後方に抜け出な
いようにするためのストッパー14と、作業者がカセッ
ト10を容易に運搬できるようにするためのつまみ16
とからなる。
【0005】前記した構成による、従来の液晶表示装置
における基板積載用カセットの作用について説明する。
液晶表示装置用基板を運搬、移動する場合、工程作業者
は基板をサイドプレート11に形成されているスロット
15に載せることにより、基板をカセット10に積載す
る。
【0006】すべての基板がカセット10に積載される
と、工程作業者は、つまみ16を用いてカセットを持ち
上げた後、基板が抜け出ないようにカセット10の前部
分をやや上向きにし、この状態で基板を積載したカセッ
ト10を運搬、移動させる。しかしながら、前記従来の
液晶表示装置における基板積載用カセット10は前面に
何らの保護装置が設けられていないため、作業者がカセ
ットを移動させる途中にカセットが前方に傾くと、カセ
ットに積載されていた基板がカセットの外部に抜け出て
破損する危険がある。このため、作業者はカセットが前
方に傾かないように注意しなければならないという不都
合さがある。
【0007】さらに、前記従来の液晶表示装置における
基板積載用カセットは、基板の両端部のみを保持してい
る形態であるため、基板の自重により基板の中間部分が
歪むという問題点がある。図4は、従来の液晶表示装置
において、基板積載用カセットに積載された基板が、自
重により中央部分が歪んでいる形態を示すものである。
【0008】同図において、基板の大きさおよび厚さに
従い歪み程度を測定したデータを表1に示す。
【0009】
【表1】
【0010】液晶表示装置において基板の偏平度は製品
の質を左右する重要な要素であり、基板が漸次大型化、
薄型化されるに従って重要な課題となっている。さら
に、前記従来の液晶表示装置における基板積載用カセッ
トは、基板が積載されている場合や移動途中に基板から
発生する静電気を効果的に除去できないという問題点が
ある。
【0011】図5は従来の液晶表示装置における基板積
載用カセットに積載される基板の静電気発生部位を説明
するためのものであって、図5(a)は基板の正面図で
あり、図5(b)は基板の平面図である。図5におい
て、基板をカセットに積載してから2日が経過した後、
位置別に静電気を測定したデータを表2に示す。
【0012】
【表2】
【0013】測定条件に従い実測される静電気量は異な
ることがあるが、前記表2からわかるように、A位置お
よびC位置よりはB位置において静電気が高く、特に基
板側面上におけるB位置が高い。すなわち、帯電物質と
容易に接触可能な基板側面部位と中間部分の静電気が高
いことがわかる。前記静電気は人体または設備との接触
により増加するが、表2において基板平面上におけるB
位置の静電気が人体に接触する以前と人体に接触した後
の変化を測定したデータを表3に示す。
【0014】
【表3】
【0015】通常、基板とスロットから発生する静電気
は、最小200Vから最大2980Vまで実測してい
る。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明は前記
のような従来の短所および問題点を解決するためのもの
であって、その目的は、カセットの移動途中に積載して
いる基板が前方に抜け出ないようにし、さらに積載して
いる基板が歪まないようにし、さらにはカセットおよび
基板から発生する静電気が接地を通じて放電され得るよ
うにするための表示装置用基板の積載用カセットおよび
これを用いた静電破壊防止方法を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
の本発明の表示装置用基板の積載用カセットは、基板を
積載させるためのスロットが互いに向い合うように形成
されている多数のサイドプレートと、前記サイドプレー
トの上端に結合されている上板と、前記サイドプレート
の下端に結合されている底板と、前記スロットの反対側
に位置して前記スロットから積載される前記基板が抜け
出ないようにする一つ以上のストッパーと、前記ストッ
パーまたは前記サイドプレートをスロット側に向けて平
行に延長して形成された多数のサポートバーとを含む。
【0018】さらに、本発明の表示装置用基板の積載用
カセットは、基板を積載するためのスロットが互いに向
い合うように形成されている多数のサイドプレートと、
前記サイドプレートの上端に結合されている上板と、前
記サイドプレートの下端に結合されており少なくとも一
部は金属からなっている第1金属部を含む底板と、前記
スロットの反対側に位置して前記スロットから積載され
る前記基板が抜け出ないように前記底板と結合されてお
り前記底板の第1金属部と連結される第2金属部を有し
ている一つ以上のストッパーと、前記ストッパーを前記
スロット側に向けて平行に延長して形成されており前記
ストッパーの第2金属部と連結される金属性の多数のサ
ポートバーとを含む。
【0019】さらに、本発明の表示装置用基板の静電破
壊防止方法は、少なくとも一部は金属性材質からなる基
板積載用カセットに基板を積載する段階と、前記基板を
前記金属性材質に接触させて静電気を分散させる段階と
を含む。さらに、本発明の表示装置用基板の静電気放出
方法は、金属性材質からなる金属部を含む基板積載用カ
セットに基板を積載する段階と、前記カセットの金属部
を接地させる段階と、前記基板を前記金属部に接触させ
て静電気電流を放出する段階とを含む。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。図6は本発明の
実施形態に従う表示装置用基板の積載用カセットの斜視
図であり、図7は本発明の実施形態に従う表示装置用基
板の積載用カセットの正面図であり、図8は本発明の実
施形態に従う表示装置用基板の積載用カセットの抜け出
し防止手段の構造図であり、図9は本発明の実施形態に
従う表示装置用基板の積載用カセットのサポートバーの
構造図であり、図10は図9におけるサポートバーの構
造を示す平面図であり、図11は本発明の実施形態に従
う表示装置用基板の積載用カセットにおいて底板と上板
とを連結するサイドプレートおよびストッパーの構造を
示す断面図であり、図12は本発明の実施形態に従う表
示装置用基板の積載用カセットにおいて底板および上板
とサイドプレートおよびストッパーを取付ける部分の構
造を示す断面図である。
【0021】図6および図7に示すように、本発明の実
施例に従う表示装置用基板の積載用カセット20は次の
ような構造を有する。四角形の上板23と底板22が互
いに対応するよう上下に配置されており、二つの板2
2、23は多数のサイドプレート21に結合されてい
る。すなわち、棒状のサイドプレート21の上端には上
板23が、下端には底板22がそれぞれ結合されてい
る。
【0022】前方および中央のサイドプレート21には
基板を積載し得るように多数のスロット25が突起2
5’によって互いに向い合うように形成されている。一
方、基板を積載するスロット25の反対側、すなわち後
方にはスロット25を通じて積載された基板が後方に抜
け出ないように多数のストッパー24が上板23および
底板22と結合されている。ストッパー24および後方
のサイドプレート21には前方側に向けて平行に延長さ
れた多数のサポートバー27が形成されている。
【0023】また、作業者がカセット20を持ち上げる
ことができるようにつまみ26が上板23に形成されて
いる。また、スロット25が形成されている前方のサイ
ドプレート21にはカセットが振動するか回転すると
き、基板がスロット25を通じて再び抜け出さないよう
にする抜け出し防止手段28がボルトBにより結合され
ている。
【0024】前記抜け出し防止手段28の構造は図8に
示す通りであるが、図に示されるように、基板29が載
せられている突起25’より若干高く位置するギグ2
8’が多数形成されて基板29が抜け出るのを防止して
いる。ここで、前記底板22および上板23は表面抵抗
率が104 〜106 Ω/m2の導電性樹脂(PEI) で製作
し、底板22と上板23の周縁部にアルミニウム(Al)が
挿入されている。
【0025】さらに、前記底板22と上板23とを連結
するサイドプレート21、サポートバー27およびスト
ッパー24はアルミニウム(Al)と導電性樹脂(PEI) で製
作され、前記底板22と前記上板23との連結部分は金
属からなるボルトBにより固定されている(図11およ
び図12参照)。図11は図7のA−A’に沿って切っ
た断面図であり、図12は図6のC−Dに沿って切った
断面図である。このため、カセット20全体は一つの共
通接地に連結され、静電気の帯電が発生する場合、底板
22を通じて静電気が放電されるようになっている。
【0026】そして、サポートバー27は、一端がサイ
ドプレート21に連結され、その先端はギグ(銛;gig
)形状となっている。なお、中央部のサポートバー2
7は、一端がストッパー24に連結されている。このサ
ポートバー27は弾性を有するアルミニウム(Al)からな
るので、基板の歪みを自然に補正することができる。表
面抵抗率が100 〜102 Ω/m2 のアルミニウム(Al)
は静電気の吸収が速いので、基板29と接触する部分に
は表面抵抗率が1010〜1012Ω/m2 である帯電防止
用樹脂(PN:peek natural) を用いて静電気の防止時のシ
ョックを防止し、アルミニウム(Al)と帯電防止用樹脂(P
N)の相互作用により静電気を低く保持する構造となって
いる。ここで、基板と接触する部分は一つ以上に設計す
ることができ、これによって、帯電防止用樹脂も一つ以
上に製作することができる(図10参照)。
【0027】このように、カセットが導電性金属または
樹脂などで形成されているため、基板などにおいて発生
した静電気が分散される。前記した構成による、この発
明の実施形態に従う表示装置用基板積載用カセットの作
用について説明する。まず、抜け出し防止手段28はカ
セット20の前部分にあるサイドプレート21と分離さ
れている。
【0028】表示装置用基板29を運搬、移動させる場
合、工程作業者は、カセットのサイドプレート21と抜
け出し防止手段28とが分離されている状態において、
基板29をサイドプレート21に形成されているスロッ
ト25に載せることにより、カセット20に積載する。
このとき、基板29は、スロット25(突起25’上)
に支持されると共に、サポートバー27上にも支持され
るようになり、このため歪みが防止される。
【0029】この発明の実施形態においては、基板29
の歪みを防止するため、基板29の中央下端部を長めの
サポートバー27を用いて保持しているが、この発明の
技術範囲がこれに限定されるものでなく、サイドプレー
ト21に形成されているスロット25を長くして基板2
9の下部を保持することにより、基板29の歪みを防止
する構造とすることもできる。
【0030】このように、すべての基板29がカセット
20に積載されると、工程作業者はボルトBを用いて抜
け出し防止手段28を前部分のサイドプレート21と結
合する。これにより、基板29が移動途中に前方に抜け
出ないことになる。次に、作業者は、つまみ26を用い
てカセット20を持ち上げ、基板29を積載したカセッ
ト20を運搬、移動させる。
【0031】この場合、カセット20および基板29か
ら発生する静電気はアルミニウムで互いに連結している
底板22、上板23、サイドプレート21およびサポー
トバー27の共通接地構造を通じて放電される。また、
カセット20を接地した場所や運搬機構などに載せてお
き、底板22を接触させることにより効率的に静電気を
放出することができる。
【0032】前記カセット20および基板29を共通接
地構造を用いて接地させるときと、接地させないときの
静電気電圧を互いに実測して比較したデータを表4に示
す。
【0033】
【表4】
【0034】前記表4からわかるように、カセット20
および基板29を接地させると、静電気が著しく減少す
ることがわかる。この発明の実施形態においては、カセ
ット20および基板29から発生する静電気を防止する
ため、導電体であるアルミニウムを用いた共通接地構造
を採用したが、この発明の技術的範囲はここに限定され
るものではなく、基板と接触する部分に帯電防止材質で
あるピークナチュラル(PN)を用いて静電気の発生を抑制
する構造とすることもできる(図10参照)。
【0035】
【発明の効果】以上のように、この発明では、カセット
の移動途中に積載している基板が前方に抜け出ないよう
にし、さらに積載している基板が歪まないようにすると
共に、カセットおよび基板から発生する静電気が接地を
通じて放電され得るようにする効果を有する。
【0036】この発明のかかる効果は表示装置の生産工
程において当業者により用いられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の液晶表示装置における基板積載用カセッ
トの斜視図である。
【図2】従来の液晶表示装置における基板積載用カセッ
トの正面図である。
【図3】従来の液晶表示装置における基板積載用カセッ
トの側面図である。
【図4】従来の液晶表示装置における基板積載用カセッ
トに基板が積載された後に中央部分が歪む形状を示す図
である。
【図5】従来の液晶表示装置における基板積載用カセッ
トに積載される基板の静電気発生部位を説明するための
図である。
【図6】本発明の実施形態に従う表示装置用基板の積載
用カセットの斜視図である。
【図7】本発明の実施形態に従う表示装置用基板の積載
用カセットの正面図である。
【図8】本発明の実施形態に従う表示装置用基板の積載
用カセットの抜け出し防止手段の構造図である。
【図9】本発明の実施形態に従う表示装置用基板の積載
用カセットのサポートバーの構造図である。
【図10】図9におけるサポートバーの構造を示す平面
図である。
【図11】本発明の実施形態に従う表示装置用基板の積
載用カセットにおいて底板と上板とを連結するサイドプ
レートおよびストッパーの構造を示す断面図である。
【図12】本発明の実施形態に従う表示装置用基板の積
載用カセットにおいて底板および上板とサイドプレート
およびストッパーを取付ける部分の構造を示す断面図で
ある。
【符号の説明】
20 カセット 21 サイドプレート 22 底板 23 上板 24 ストッパー 25 スロット 26 つまみ 27 サポートバー 28 防止手段 29 基板

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】基板を積載するためのスロットが互いに向
    い合うように形成されている多数のサイドプレートと、 前記サイドプレートの上端に結合されている上板と、 前記サイドプレートの下端に結合されている底板と、 前記スロットの反対側に位置して前記スロットから積載
    される前記基板が抜け出ないようにする一つ以上のスト
    ッパーと、 前記ストッパーまたは前記サイドプレートを前記スロッ
    ト側に向けて平行に延長して形成された多数のサポート
    バーとを含む表示装置用基板の積載用カセット。
  2. 【請求項2】延長部に前記サポートバーを有する前記ス
    トッパーは、前記上板および底板と結合されており、前
    記底板の中央部に位置している請求項1に記載の表示装
    置用基板の積載用カセット。
  3. 【請求項3】前記スロットを通じて積載された基板が前
    記スロットを通じて再び抜け出ることを防止するよう前
    記スロットより高い位置に位置する多数のギグ(gig) を
    有している抜け出し防止手段と、前記抜け出し防止手段
    を前記カセットに脱着可能であるように結合する手段と
    をさらに含む請求項1または2に記載の表示装置用基板
    の積載用カセット。
  4. 【請求項4】前記結合手段は少なくとも一つ以上のボル
    トである請求項3に記載の表示装置用基板の積載用カセ
    ット。
  5. 【請求項5】基板を積載するためのスロットが互いに向
    い合うように形成されている多数のサイドプレートと、 前記サイドプレートの上端に結合されている上板と、 前記サイドプレートの下端に結合されており少なくとも
    一部は金属からなっている第1金属部を含む底板と、 前記スロットの反対側に位置して前記スロットから積載
    される前記基板が抜け出ないように前記底板と結合され
    ており前記底板の第1金属部と連結される第2金属部を
    有している一つ以上のストッパーと、 前記ストッパーを前記スロット側に向けて平行に延長し
    て形成されており前記ストッパーの第2金属部と連結さ
    れる金属性の多数のサポートバーとを含む表示装置用基
    板の積載用カセット。
  6. 【請求項6】前記サイドプレートは金属で形成されてい
    る第3金属部を含み、前記第3金属部は前記第2金属部
    と連結されている請求項5に記載の表示装置用基板の積
    載用カセット。
  7. 【請求項7】前記サポートバーは積載された基板と最少
    限一つの接触点を有し、前記接触点付近は前記サポート
    バーの他の部分より高い表面抵抗率を有する材質からな
    る請求項5または6に記載の表示装置用基板の積載用カ
    セット。
  8. 【請求項8】前記接触点付近の材質はピークナチュラル
    (peek natural)である請求項7に記載の表示装置用基板
    の積載用カセット。
  9. 【請求項9】前記第1および第2金属部と前記サポート
    バーはアルミニウムからなる請求項5または6に記載の
    表示装置用基板の積載用カセット。
  10. 【請求項10】少なくとも一部は金属性材質からなる基
    板積載用カセットに基板を積載する段階と、 前記基板を前記金属性材質に接触させて静電気を分散さ
    せる段階とを含む表示装置用基板の静電破壊防止方法。
  11. 【請求項11】前記基板積載用カセットは前記基板が歪
    まないよう基板を支持し導電性材質からなるサポートバ
    ーを含む請求項10に記載の表示装置用基板の静電破壊
    防止方法。
  12. 【請求項12】前記サポートバーは積載される基板と最
    少限一つの接触点を有し、前記接触点付近は前記サポー
    トバーの他の部分より高い表面抵抗率を有する材質から
    なる請求項11に記載の表示装置用基板の静電破壊防止
    方法。
  13. 【請求項13】金属性材質からなる金属部を含む基板積
    載用カセットに基板を積載する段階と、 前記カセットの金属部を接地させる段階と、 前記基板を前記金属部に接触させて静電気電流を放出す
    る段階とを含む表示装置用基板の静電気放出方法。
  14. 【請求項14】前記基板積載用カセットは前記基板が歪
    まないよう基板を支持し導電性材質からなるサポートバ
    ーを含む請求項13に記載の表示装置用基板の静電気放
    出方法。
  15. 【請求項15】前記サポートバーは積載される基板と最
    少限一つの接触点を有し、前記接触点付近は前記サポー
    トバーの他の部分より高い表面抵抗率を有する材質から
    なる請求項14に記載の表示装置用基板の静電気放出方
    法。
  16. 【請求項16】前記接地段階は、 前記カセットを接地した運搬機構に搭載する段階と、 前記運搬機構と前記カセットの金属部を接触させる段階
    とを含む請求項13ないし15のいずれかに記載の表示
    装置用基板の静電気放出方法。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010035014A (ko) * 2000-10-09 2001-05-07 김동관 대형 액정디스플레이 글라스 적재용 카세트
JP2005184002A (ja) * 2003-12-23 2005-07-07 Samsung Electronics Co Ltd 大型基板用カセット
KR100675627B1 (ko) * 2002-10-10 2007-02-01 엘지.필립스 엘시디 주식회사 기판 수납용 카세트
KR100875847B1 (ko) 2007-12-05 2008-12-26 내일시스템주식회사 액정 패널용 유리기판 운반용 트레이의 써포트 바 처짐량보정장치
CN107316832A (zh) * 2017-07-05 2017-11-03 全讯射频科技(无锡)有限公司 一种晶圆板体载具
KR20190058128A (ko) * 2017-11-21 2019-05-29 내일시스템주식회사 그라스 적재용 카세트의 써포트 바 진동방지장치

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CN101726903B (zh) * 2008-10-13 2013-04-24 华映视讯(吴江)有限公司 治具

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010035014A (ko) * 2000-10-09 2001-05-07 김동관 대형 액정디스플레이 글라스 적재용 카세트
KR100675627B1 (ko) * 2002-10-10 2007-02-01 엘지.필립스 엘시디 주식회사 기판 수납용 카세트
JP2005184002A (ja) * 2003-12-23 2005-07-07 Samsung Electronics Co Ltd 大型基板用カセット
KR100875847B1 (ko) 2007-12-05 2008-12-26 내일시스템주식회사 액정 패널용 유리기판 운반용 트레이의 써포트 바 처짐량보정장치
CN107316832A (zh) * 2017-07-05 2017-11-03 全讯射频科技(无锡)有限公司 一种晶圆板体载具
KR20190058128A (ko) * 2017-11-21 2019-05-29 내일시스템주식회사 그라스 적재용 카세트의 써포트 바 진동방지장치

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