JPH1086087A - 吸着装置 - Google Patents

吸着装置

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JPH1086087A
JPH1086087A JP8247324A JP24732496A JPH1086087A JP H1086087 A JPH1086087 A JP H1086087A JP 8247324 A JP8247324 A JP 8247324A JP 24732496 A JP24732496 A JP 24732496A JP H1086087 A JPH1086087 A JP H1086087A
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JP
Japan
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suction
sheet
adsorption
adsorbed
adsorbing
Prior art date
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Pending
Application number
JP8247324A
Other languages
English (en)
Inventor
Hideki Ashikawa
英喜 芦川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ono Sokki Co Ltd
Original Assignee
Ono Sokki Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH1086087A publication Critical patent/JPH1086087A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構成により、吸着対象物に、孔,切り
欠き又は凹部などの吸着不能部分が存在する場合であっ
ても、確実に吸着することを可能にする。 【解決手段】 複数の吸着用孔33aが形成された支持
板33と、プリント基板Pに対面して配置され、支持板
33の吸着用孔33aを覆う気密性及び弾力性のある吸
着用シート34と、支持板33の吸着用孔の裏側の形成
された真空引き室36とを備え、真空引き室36を減圧
することにより、吸着用シート34を変形させて、プリ
ント基板Pと吸着シート34の表面との間に減圧空間を
形成して、そのプリント基板Pを吸着する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板など
の吸着対象物を、搬送や位置決め,加工時などに吸着保
持する吸着装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】プリント基板は、未加工の基板に、回路
パターンを印刷又は露光することにより行なわれてい
る。この場合に、基板の搬送や位置決め、加工時など
に、その基板を吸着装置によって吸着保持していた。
【0003】従来の吸着装置は、吸着盤に多数の吸着用
孔が形成されており、その吸着用孔の裏側から真空引き
することによって、基板を吸着していた。しかし、基板
に孔や切り欠き等がある場合に、その部分の吸着用孔か
ら空気が漏れて、確実に吸着ができないという問題があ
った。この問題を解決するために、以下のような提案が
成されている(特開平4−310330号)。
【0004】図5は、従来の吸着装置の一例を示した図
である。従来の吸着装置1は、支持板2上に一体的に設
けられた基台3を備えている。基台3には、吸着パッド
4が設けられている。負圧導入路5の外側端部は、図示
しないコンバム(真空発生機)と連結されており、各導
入路5,6と、弁収納室7内には、コンバムからの負圧
が導入されている。
【0005】図5(a)に示すように、プリント基板を
吸着していない場合には、負圧導入路5,6からの負圧
によって、弁体11が吸引されて、弁体11のパッキン
15が連通孔13bの周辺を密着して、連通孔13bを
閉止するとともに、パッキン15がピン支持突部8の端
面に密着して、ピン挿入孔9の開口端部を閉止する。弁
体11と一体のピン10は、吸着パット4よりも下方へ
突出する。
【0006】プリント基板Pを吸着する場合には、図5
(a)の状態にある吸着装置1の吸着パッド4を、図5
(b)に示すように、プリント基板Pに圧接する。する
と、突出していたピン10がプリント基板Pによって内
部に押し込まれるために、弁体11が連通孔13bの周
縁及びピン支持突部8端面から離間して、連通孔13b
及び挿通孔9を開放する。このために、連通孔13bか
ら導入された負圧が挿通孔9内を介して、吸着パッド4
とプリント基板Pの板面との間に導入される。このため
に、吸着パッド4は、基板Pを吸着することが可能とな
る。
【0007】基板Pに孔や切り欠きが存在する場合に
は、その孔などに吸着パッドを押し付けても、ピン10
の先端が内部に押し込まれることがないので、負圧が挿
通孔9に進入することがなく、吸着することがない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
の吸着装置は、各吸着孔に弁機構を設けなければならな
いので、装置が複雑になり、コストアップにつながる。
また、移動部分の重量が重くなるので、処理速度が遅く
なるという問題があった。
【0009】さらに、ピン10の位置に、孔や切り欠き
が存在とは限らないので、その分だけ吸着性能が低下す
る、という問題があった。
【0010】本発明は、簡単な構成により、吸着対象物
に、孔,切り欠き又は凹部などの吸着不能部分が存在す
る場合であっても、確実に吸着することができる吸着装
置を提供することを課題とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項1の発明は、吸着対象物を吸着保持する吸着
装置において、前記吸着対象物に対面して配置され、気
密性及び弾力性のある吸着用シートと、前記吸着シート
を変形させる変形手段とを備え、前記吸着用シートを変
形させて、前記吸着対象物と前記吸着シートの表面との
間に減圧空間を形成して、その吸着対象物を吸着するこ
とを特徴としている。
【0012】請求項2の発明は、吸着対象物を吸着保持
する吸着装置において、少なくとも1つの吸着用孔が形
成された支持部材と、前記吸着対象物に対面して配置さ
れ、前記支持部材の吸着用孔を覆う気密性及び弾力性の
ある吸着用シートと、前記支持部材の吸着用孔の裏側の
形成された減圧室とを備え、前記減圧室を減圧すること
により、前記吸着用シートを変形させて、前記吸着対象
物と前記吸着シートの表面との間に減圧空間を形成し
て、その吸着対象物を吸着することを特徴としている。
【0013】
【発明の実施の形態】 (第1実施形態)以下、図面等を参照して、本発明の実
施の形態について、さらに詳しくに説明する。図1は、
本発明による吸着装置の第1実施形態を示す図である 第1実施形態の吸着装置21は、内部にエア抜き室26
を形成し、そのエア抜き室26を不図示のコンバムに連
通する真空引き用の孔25を有する基台22と、基台2
2のエア抜き室26側に配置され、吸着用孔23aが形
成された支持板23と、支持板23上に配置され、その
吸着用孔23aをカバーする気密性及び弾力性のある吸
着シート24などとを備えている。
【0014】プリント基板Pを吸着する場合には、図1
(a)の状態にある吸着装置21において、吸着シート
24上にプリント基板Pを載置する。そして、エア抜き
室26内のエアを抜くと、吸着シート24が図4(b)
に示すように、吸着用孔23aの外形に沿って凹状に撓
み、吸盤部24aを形成する。このために、プリント基
板Pの板面と吸盤部24aの表面との間に減圧空間27
が形成され、吸着シート24は、プリント基板Pを吸着
することが可能となる。
【0015】(第2実施形態)図2は、本発明による吸
着装置の第2実施形態を示す図であって、図2(a)
は、断面図、図2(b)は、展開斜視図である。なお、
以下に説明する各実施形態では、同様な機能を果たす部
分には、末尾に共通な符号を付して、重複する説明を適
宜省略する。第2実施形態の吸着装置31は、支持板3
3に多数の吸着用孔33aが形成されており、その上面
に1枚の吸着シート34が配置されている。プリント基
板Pは、吸着シート34の上に載置されるので、いずれ
かの吸着用孔33aの位置に、孔等の吸着不能部P−1
があったとしても、その孔から真空引き室34が開放さ
れてしまうことはなく、残りの部分の吸着用孔33aの
位置において、第1実施形態と同様にして、基板Pを確
実に吸着保持することができる。また、吸着シート34
は、弾力性があるので、プリント基板Pが傷付くことを
防止できる利点もある。
【0016】(第3実施形態)図3は、本発明による吸
着装置の第3実施形態を示す図である。第3実施形態の
吸着装置41は、支持板43の吸着用孔43aの位置の
みに、円形の吸着シート44が貼付されている。すなわ
ち、支持板43は、吸着用孔43aの上面外周に円環状
の段部43bが形成されている。また、吸着シート44
には、円環状の粘着層44aが形成されている。吸着シ
ート44は、段部43bに挿入され、粘着層44aによ
って固定されている。なお、第2実施形態のように、多
数の吸着用孔が形成されている場合には、それぞれの孔
に吸着シート44を貼付すればよい。
【0017】(第4実施形態)図4は、本発明による吸
着装置の第4実施形態を示す図である。第4実施形態の
吸着装置51は、支持部材を兼ねた吸着シート54が用
いられている。吸着シート54は、弾力性のある薄肉部
54aと、硬質の支持部54bと一体成型され、薄肉部
54aの部分に吸着用孔54cが形成されており、基台
52に直接設けられている。この実施形態によれば、部
品点数を減少させ、コストダウンを図ることができる。
【0018】(変形形態)以上説明した実施形態に限定
されることなる、種々の変形や変更が可能であって、そ
れらも本発明の均等の範囲内に含まれる。例えば、吸着
シートは、背後から減圧することによって変形させるの
ではなく、機械的な手段によって変形させるようにして
もよいし、また、電気−機械変換手段をシート自体に形
成して、電気信号により変形させるようにしてもよい。
【0019】
【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、吸着用シートを変形させて、吸着対象物と吸着シ
ートの表面との間に減圧空間を形成して、その吸着対象
物を吸着するので、複雑な形状の吸盤を予め成型しなく
ても、吸着対象物を吸着することができる。
【0020】特に、多数の吸着部によって吸着する場合
には、吸着対象物に孔や切り欠き等の吸着不能部があっ
たとしても、吸着シートの裏側の減圧室が開放されるこ
とがないので、吸着性能が低下することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による吸着装置の第1実施形態を示す図
である。
【図2】本発明による吸着装置の第2実施形態を示す図
である。
【図3】本発明による吸着装置の第3実施形態を示す図
である。
【図4】本発明による吸着装置の第4実施形態を示す図
である。
【図5】従来の吸着装置の一例を示す図である。
【符号の説明】
21,31,41,51 吸着装置 22,32,42,52 基台 23,33,43 支持板 24,34,44,54 吸着シート P プリント基板

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 吸着対象物を吸着保持する吸着装置にお
    いて、 前記吸着対象物に対面して配置され、気密性及び弾力性
    のある吸着用シートと、 前記吸着シートを変形させる変形手段とを備え、 前記吸着用シートを変形させて、前記吸着対象物と前記
    吸着シートの表面との間に減圧空間を形成して、その吸
    着対象物を吸着することを特徴とする吸着装置。
  2. 【請求項2】 吸着対象物を吸着保持する吸着装置にお
    いて、 少なくとも1つの吸着用孔が形成された支持部材と、 前記吸着対象物に対面して配置され、前記支持部材の吸
    着用孔を覆う気密性及び弾力性のある吸着用シートと、 前記支持部材の吸着用孔の裏側の形成された減圧室とを
    備え、 前記減圧室を減圧することにより、前記吸着用シートを
    変形させて、前記吸着対象物と前記吸着シートの表面と
    の間に減圧空間を形成して、その吸着対象物を吸着する
    ことを特徴とする吸着装置。
JP8247324A 1996-09-19 1996-09-19 吸着装置 Pending JPH1086087A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100383413C (zh) * 2006-04-21 2008-04-23 上海大学 单体太阳电池在线测试用防碎、防粘连移栽吸盘
JP2014200874A (ja) * 2013-04-03 2014-10-27 学校法人 関西大学 吸着機構
CN109304725A (zh) * 2017-07-28 2019-02-05 松下知识产权经营株式会社 机械手装置、机械手系统以及保持方法
JP2019025642A (ja) * 2017-07-28 2019-02-21 パナソニックIpマネジメント株式会社 ロボットハンド装置、ロボットハンドシステム及び保持方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100383413C (zh) * 2006-04-21 2008-04-23 上海大学 单体太阳电池在线测试用防碎、防粘连移栽吸盘
JP2014200874A (ja) * 2013-04-03 2014-10-27 学校法人 関西大学 吸着機構
CN109304725A (zh) * 2017-07-28 2019-02-05 松下知识产权经营株式会社 机械手装置、机械手系统以及保持方法
JP2019025642A (ja) * 2017-07-28 2019-02-21 パナソニックIpマネジメント株式会社 ロボットハンド装置、ロボットハンドシステム及び保持方法
JP2019025643A (ja) * 2017-07-28 2019-02-21 パナソニックIpマネジメント株式会社 ロボットハンド装置、ロボットハンドシステム及び保持方法
CN109304725B (zh) * 2017-07-28 2023-04-28 松下知识产权经营株式会社 机械手装置、机械手系统以及保持方法

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