JPH1082829A - 機械的位置合わせ型ｔｃｐテスト用ハンドラー装置 - Google Patents
機械的位置合わせ型ｔｃｐテスト用ハンドラー装置Info
- Publication number
- JPH1082829A JPH1082829A JP8237649A JP23764996A JPH1082829A JP H1082829 A JPH1082829 A JP H1082829A JP 8237649 A JP8237649 A JP 8237649A JP 23764996 A JP23764996 A JP 23764996A JP H1082829 A JPH1082829 A JP H1082829A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probing
- handler
- coordinates
- tcp
- mechanical alignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ＴＣＰへのプロービングにおいて、最適なプロ
ービング位置が設定できないため、搬送による位置ずれ
を見込んだテスト端子サイズが必要であった。 【解決手段】プロービング最適値を次のように求める。
（１）初期座標をＸ１、設定移動量をａとする。（２）
Ｘ１からＸの＋方向にａずつ移動させて、Ｆａｉｌした
地点の座標をＸ２とする。＋方向への移動回数をｎ１と
すると、Ｘ２＝（Ｘ１＋ａ×ｎ１）である。（３）Ｘ１
からＸの−方向にａずつ移動させて、Ｆａｉｌした地点
の座標をＸ３とする。−方向への移動回数をｎ２とする
と、Ｘ３＝（Ｘ１−ａ×ｎ２）である。（４）プロービ
ング最適値は、（Ｘ２＋Ｘ３）／２であるため、（プロ
ービング最適値）＝Ｘ１＋ａ×（ｎ１−ｎ２）／２ と
表わすことができる。同様に、Ｙ、θ方向についても行
う。 【効果】初期設定の段階でマージンをもったプロービン
グを行える。
ービング位置が設定できないため、搬送による位置ずれ
を見込んだテスト端子サイズが必要であった。 【解決手段】プロービング最適値を次のように求める。
（１）初期座標をＸ１、設定移動量をａとする。（２）
Ｘ１からＸの＋方向にａずつ移動させて、Ｆａｉｌした
地点の座標をＸ２とする。＋方向への移動回数をｎ１と
すると、Ｘ２＝（Ｘ１＋ａ×ｎ１）である。（３）Ｘ１
からＸの−方向にａずつ移動させて、Ｆａｉｌした地点
の座標をＸ３とする。−方向への移動回数をｎ２とする
と、Ｘ３＝（Ｘ１−ａ×ｎ２）である。（４）プロービ
ング最適値は、（Ｘ２＋Ｘ３）／２であるため、（プロ
ービング最適値）＝Ｘ１＋ａ×（ｎ１−ｎ２）／２ と
表わすことができる。同様に、Ｙ、θ方向についても行
う。 【効果】初期設定の段階でマージンをもったプロービン
グを行える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＴＣＰ電気的特性検
査に使用するハンドラーに関する。
査に使用するハンドラーに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＴＣＰへのプロービングにおいて、テス
ト端子とプローブカードの針との位置合わせの初期設定
を人が行っていた。
ト端子とプローブカードの針との位置合わせの初期設定
を人が行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の位置合
わせでは、年々狭ピッチ化、狭エリア化されてきている
ＴＣＰに対して理想のプロービングには限界が生じてき
た。
わせでは、年々狭ピッチ化、狭エリア化されてきている
ＴＣＰに対して理想のプロービングには限界が生じてき
た。
【０００４】つまり、位置合わせの初期設定をハンドラ
ーに搭載されたモニターを通して、人が行うため、プロ
ービングエリア（Ｘ、Ｙ、θ方向）にマージンがなく、
ハンドラーにより搬送された以降の製品において、機械
的位置合わせを行っているにも係わらず、装置精度内で
は抑えることができないコンタクト不良が発生してしま
う。それは、初期設定した位置を基点とした機械的位置
合わせであるためである。また、従来の位置合わせで
は、作業者間ばらつきも無視できなくなってきている。
ーに搭載されたモニターを通して、人が行うため、プロ
ービングエリア（Ｘ、Ｙ、θ方向）にマージンがなく、
ハンドラーにより搬送された以降の製品において、機械
的位置合わせを行っているにも係わらず、装置精度内で
は抑えることができないコンタクト不良が発生してしま
う。それは、初期設定した位置を基点とした機械的位置
合わせであるためである。また、従来の位置合わせで
は、作業者間ばらつきも無視できなくなってきている。
【０００５】そこで、本発明はこのような問題を解決す
るもので、その目的とするところはＴＣＰのテスト端子
サイズを必要最小限にする、つまり、テストに必要とす
る領域を最小限にして、コスト競争力のある製品を提供
するところにある。
るもので、その目的とするところはＴＣＰのテスト端子
サイズを必要最小限にする、つまり、テストに必要とす
る領域を最小限にして、コスト競争力のある製品を提供
するところにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の機械的位置合わせ型ＴＣＰテスト用ハンド
ラーは、位置合わせの初期設定を機械的に行うＴＣＰテ
スト用ハンドラーであって、前記機械的位置合わせによ
り、初期のプロービング位置を最適な位置にできること
を特徴とする。
に、本発明の機械的位置合わせ型ＴＣＰテスト用ハンド
ラーは、位置合わせの初期設定を機械的に行うＴＣＰテ
スト用ハンドラーであって、前記機械的位置合わせによ
り、初期のプロービング位置を最適な位置にできること
を特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明の機械的位置合わせ型ＴＣＰテスト用ハ
ンドラーの作用を説明すると、位置合わせの初期設定に
おいて機械的対応を行うことである。
ンドラーの作用を説明すると、位置合わせの初期設定に
おいて機械的対応を行うことである。
【０００８】即ち、理想のプロービング位置を見つける
ため、Ｘ、Ｙ、θ各方向において少しずつプロービング
位置をずらして電気的導通確認を行い、電気的導通Ｐａ
ｓｓ領域の中間点でプロービング位置を決定する。
ため、Ｘ、Ｙ、θ各方向において少しずつプロービング
位置をずらして電気的導通確認を行い、電気的導通Ｐａ
ｓｓ領域の中間点でプロービング位置を決定する。
【０００９】また、本発明の処理手順をプログラムの形
で記憶させ、さらに演算、制御等を行うのに必要なマイ
クロコンピュータをハンドラー側に内蔵させる（図
２）。
で記憶させ、さらに演算、制御等を行うのに必要なマイ
クロコンピュータをハンドラー側に内蔵させる（図
２）。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下本発明をその実施例を示す図
面に基づき詳述する。図１は本発明に係わる機械的位置
合わせのフローチャート、図２はその実施に使用する装
置のブロック図、図３はテスト端子上へ行われるプロー
ビング状態図を示す。
面に基づき詳述する。図１は本発明に係わる機械的位置
合わせのフローチャート、図２はその実施に使用する装
置のブロック図、図３はテスト端子上へ行われるプロー
ビング状態図を示す。
【００１１】まず、人による視覚的な位置合わせを行
う。これは従来技術そのものであり、電気的導通はとれ
ているがプロービング領域にマージンがない、或いはマ
ージンがあるかどうか不明である。そして、以降の説明
が本発明の実施例である。
う。これは従来技術そのものであり、電気的導通はとれ
ているがプロービング領域にマージンがない、或いはマ
ージンがあるかどうか不明である。そして、以降の説明
が本発明の実施例である。
【００１２】導通確認Ｐａｓｓであれば、ある一方向
（Ｘ、Ｙ、θの内の１パラメータ）について、一定量プ
ロービング位置を移動し、再度導通確認を行い、Ｆａｉ
ｌしたところ（Ｆａｉｌ地点１）でプロービング方向を
逆方向に移動させ、同様に導通確認（Ｆａｉｌ地点２を
見つける）を行う（図３）。
（Ｘ、Ｙ、θの内の１パラメータ）について、一定量プ
ロービング位置を移動し、再度導通確認を行い、Ｆａｉ
ｌしたところ（Ｆａｉｌ地点１）でプロービング方向を
逆方向に移動させ、同様に導通確認（Ｆａｉｌ地点２を
見つける）を行う（図３）。
【００１３】そうすることによって得られた情報をもと
に、最適なプロービング位置（Ｆａｉｌ地点１と２の中
間点）をハンドラー上で計算する。
に、最適なプロービング位置（Ｆａｉｌ地点１と２の中
間点）をハンドラー上で計算する。
【００１４】これらの処理を行う際の各装置（テスタ
ー、ハンドラー）の役割り、および装置間の信号のやり
とりを以下に示す。
ー、ハンドラー）の役割り、および装置間の信号のやり
とりを以下に示す。
【００１５】導通確認のＰａｓｓ／Ｆａｉｌ判定はテス
ター側で行い、その信号をハンドラー側へ送る。テスタ
ー側から送られてきたＰａｓｓ／Ｆａｉｌ信号をもと
に、プロービング位置の移動方向をハンドラー側で決定
し、移動した地点での再コンタクト終了信号をテスター
側へ送る。ハンドラー側から送られてきた再コンタクト
終了信号をテスター側で受け取り、導通確認のＰａｓｓ
／Ｆａｉｌ判定を行う。この一連の処理を、図１のフロ
ーチャートに従い、最適なプロービング位置を決定する
まで行う。
ター側で行い、その信号をハンドラー側へ送る。テスタ
ー側から送られてきたＰａｓｓ／Ｆａｉｌ信号をもと
に、プロービング位置の移動方向をハンドラー側で決定
し、移動した地点での再コンタクト終了信号をテスター
側へ送る。ハンドラー側から送られてきた再コンタクト
終了信号をテスター側で受け取り、導通確認のＰａｓｓ
／Ｆａｉｌ判定を行う。この一連の処理を、図１のフロ
ーチャートに従い、最適なプロービング位置を決定する
まで行う。
【００１６】上述の各装置の役割り、および装置間の信
号のやりとりとは別に、ハンドラー側において、プロー
ビング位置の移動量を個別に設定する。この移動量はプ
ロービング位置精度の要求とテスト端子サイズとのトレ
ードオフ関係であり必要性に応じて自由設定可能なもの
とするためである。
号のやりとりとは別に、ハンドラー側において、プロー
ビング位置の移動量を個別に設定する。この移動量はプ
ロービング位置精度の要求とテスト端子サイズとのトレ
ードオフ関係であり必要性に応じて自由設定可能なもの
とするためである。
【００１７】つまり、設定する移動量を小さくする、換
言するとプロービング精度を上げれば、プロービング位
置をずらして電気的導通確認をとる回数が増加するた
め、最適なプロービング位置を見つける時間が長くなる
が、設定する移動量を大きくすれば、逆に初期設定時間
が短くなりスループットは上がるが、プロービング精度
が下がることになる。
言するとプロービング精度を上げれば、プロービング位
置をずらして電気的導通確認をとる回数が増加するた
め、最適なプロービング位置を見つける時間が長くなる
が、設定する移動量を大きくすれば、逆に初期設定時間
が短くなりスループットは上がるが、プロービング精度
が下がることになる。
【００１８】例として、プロービングエリアのサイズが
１００（μｍ）の製品に対して５（μｍ）の移動量を設
定すると、プロービング位置をずらした際のＰａｓｓエ
リアでのプロービング回数は最大２０回（１００μｍ／
５μｍ）となり、Ｆａｉｌエリアでのプロービング回数
の２回を合わせて、計２２回がプロービング位置初期設
定に必要なプロービング回数となる。このとき５μｍの
精度でプロービング位置の設定を行ったことになる。
１００（μｍ）の製品に対して５（μｍ）の移動量を設
定すると、プロービング位置をずらした際のＰａｓｓエ
リアでのプロービング回数は最大２０回（１００μｍ／
５μｍ）となり、Ｆａｉｌエリアでのプロービング回数
の２回を合わせて、計２２回がプロービング位置初期設
定に必要なプロービング回数となる。このとき５μｍの
精度でプロービング位置の設定を行ったことになる。
【００１９】また、プロービング最適値を式で表わすと
以下の様になる。（Ｘ座標の場合） （１）初期座標をＸ１、設定移動量をａとする。
以下の様になる。（Ｘ座標の場合） （１）初期座標をＸ１、設定移動量をａとする。
【００２０】（２）Ｘ１からＸの＋方向にａずつ移動さ
せて、Ｆａｉｌした地点の座標をＸ２とする。＋方向へ
の移動回数をｎ１とすると、Ｘ２の座標は（Ｘ１＋ａ×
ｎ１）と表わすことができる。
せて、Ｆａｉｌした地点の座標をＸ２とする。＋方向へ
の移動回数をｎ１とすると、Ｘ２の座標は（Ｘ１＋ａ×
ｎ１）と表わすことができる。
【００２１】（３）Ｘ１からＸの−方向にａずつ移動さ
せて、Ｆａｉｌした地点の座標をＸ３とする。−方向へ
の移動回数をｎ２とすると、Ｘ３の座標は（Ｘ１−ａ×
ｎ２）と表わすことができる。
せて、Ｆａｉｌした地点の座標をＸ３とする。−方向へ
の移動回数をｎ２とすると、Ｘ３の座標は（Ｘ１−ａ×
ｎ２）と表わすことができる。
【００２２】（４）本発明によるプロービング最適値
は、（Ｘ２＋Ｘ３）／２であるため、（プロービング最
適値）＝Ｘ１＋ａ×（ｎ１−ｎ２）／２ と表わすこと
ができる。このときａは最適値を発見するための精度で
あり、ａが小さくなるほどｎ１、ｎ２が大きくなり、真
の最適値に近づくことになる。
は、（Ｘ２＋Ｘ３）／２であるため、（プロービング最
適値）＝Ｘ１＋ａ×（ｎ１−ｎ２）／２ と表わすこと
ができる。このときａは最適値を発見するための精度で
あり、ａが小さくなるほどｎ１、ｎ２が大きくなり、真
の最適値に近づくことになる。
【００２３】以上のような方法にて、Ｙ、θについても
最適なプロービング位置を決定し、プローブエリアにマ
ージンを持った位置合わせを実現する。
最適なプロービング位置を決定し、プローブエリアにマ
ージンを持った位置合わせを実現する。
【００２４】
【発明の効果】上述の如く本発明の機械的位置合わせ型
ＴＣＰテスト用ハンドラーによれば、初期設定の段階で
マージンをもったプロービングを行えることにより、ハ
ンドラーにより搬送された以降の製品でのコンタクト不
良を低減することができる。
ＴＣＰテスト用ハンドラーによれば、初期設定の段階で
マージンをもったプロービングを行えることにより、ハ
ンドラーにより搬送された以降の製品でのコンタクト不
良を低減することができる。
【００２５】また、テスト端子の領域はほぼ機械的精度
分、プローブカードとＴＣＰの製造誤差分のみ確保する
だけで済むことにより、より狭エリアにＴＣＰ製品を収
めることができ、コストダウンが図れる。
分、プローブカードとＴＣＰの製造誤差分のみ確保する
だけで済むことにより、より狭エリアにＴＣＰ製品を収
めることができ、コストダウンが図れる。
【図１】本発明に係わる機械的位置合わせのフローチャ
ートである。
ートである。
【図２】本発明の実施に使用する装置のブロック図であ
る。
る。
【図３】本発明がテスト端子上へ行われるプロービング
状態図である。
状態図である。
２１・・・キーボード ２２・・・ハンドラー ２３・・・テスター ２４・・・表示部 ３１・・・ＴＣＰ ３２・・・ＴＣＰ部分拡大 ３３・・・テスト端子 ３４・・・プロービング位置
Claims (2)
- 【請求項１】ＴＡＢ実装された半導体装置（以下、ＴＣ
Ｐと称す）の電気的特性検査を行う際に、テスター側で
の電気的導通確認、ハンドラー側でのプロービング一連
動作を装置間の信号のやりとりにより、ＴＣＰテスト端
子とプローブカードの針との接触（以下、プロービング
と称す）の初期設定を行うことを特徴とする機械的位置
合わせ型ＴＣＰテスト用ハンドラー装置。 - 【請求項２】ハンドラーへの外部入力により、プロービ
ング精度を自由に設定できることを特徴とする機械的位
置合わせ型ＴＣＰテスト用ハンドラー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8237649A JPH1082829A (ja) | 1996-09-09 | 1996-09-09 | 機械的位置合わせ型ｔｃｐテスト用ハンドラー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8237649A JPH1082829A (ja) | 1996-09-09 | 1996-09-09 | 機械的位置合わせ型ｔｃｐテスト用ハンドラー装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1082829A true JPH1082829A (ja) | 1998-03-31 |
Family
ID=17018457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8237649A Withdrawn JPH1082829A (ja) | 1996-09-09 | 1996-09-09 | 機械的位置合わせ型ｔｃｐテスト用ハンドラー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1082829A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7323894B2 (en) | 2005-08-04 | 2008-01-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Needle alignment verification circuit and method for semiconductor device |
-
1996
- 1996-09-09 JP JP8237649A patent/JPH1082829A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7323894B2 (en) | 2005-08-04 | 2008-01-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Needle alignment verification circuit and method for semiconductor device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6175413B1 (en) | Laser calibration of robotics systems | |
| KR100933413B1 (ko) | 반도체 집적 회로 | |
| TW201901167A (zh) | 元件之檢查方法 | |
| US6552559B2 (en) | IC tester adjusting unit | |
| JPH1082829A (ja) | 機械的位置合わせ型ｔｃｐテスト用ハンドラー装置 | |
| JP3509001B2 (ja) | 自己診断テスト回路機能を備えた半導体集積回路および半導体集積回路のテスト方法 | |
| JP2007095938A (ja) | テスタ、プローバ、ウエハテストシステム及び電気的接触位置検出方法 | |
| JP2006261391A (ja) | 半導体装置およびその検査方法 | |
| JP2008026271A (ja) | ショート検出方法及びショート検出装置 | |
| JP3191790B2 (ja) | サーチ機能付きハンドラ装置 | |
| JPS6059746A (ja) | プロ−バ−における座標系の整合方法 | |
| JPH051832Y2 (ja) | ||
| JP3346707B2 (ja) | 半導体集積回路装置の検査方法 | |
| JP2002196036A (ja) | 半導体装置及びその検査方法 | |
| JPH065674A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
| JPS6174355A (ja) | ハンドラ | |
| JPH0250450A (ja) | 半導体特性測定方法 | |
| JP2548703Y2 (ja) | 回路基板検査装置 | |
| CN112611958A (zh) | 一种防止芯片关键参数偏移的方法及装置 | |
| JP2005127903A (ja) | 半導体チップのプロービングテスト方法 | |
| JPH0364036A (ja) | 半導体検査方法 | |
| JPH04355378A (ja) | コンタクトプローブ接触確認法 | |
| JPH09304485A (ja) | ブリッジ検出方法及びブリッジ検出回路 | |
| JPH02165060A (ja) | プローブカード | |
| JPS62203343A (ja) | 半導体部品の性能検査装置におけるチエツク方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031202 |