JPH1077993A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JPH1077993A JPH1077993A JP23443196A JP23443196A JPH1077993A JP H1077993 A JPH1077993 A JP H1077993A JP 23443196 A JP23443196 A JP 23443196A JP 23443196 A JP23443196 A JP 23443196A JP H1077993 A JPH1077993 A JP H1077993A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 信号線等の部品を設けることなく、ポンプ本
体の機種識別を行うことができるターボ分子ポンプを提
供する。 【解決手段】 ロータおよびロータを駆動するモータを
有したポンプ本体２と、モータを駆動する駆動回路４を
有しモータへの電力供給を接続ケーブル５を通して行う
外部電源装置３とを備えたターボ分子ポンプ１におい
て、駆動回路４は、回転開始時における所定の加速指令
に対応する所定機種の基準加速特性（加速特性テーブル
４３ａ，規定電流値テーブル４３ｂ）を有し、加速指令
に従ってモータへ電力供給を行ってモータの実加速特性
を求め、該実加速特性と基準加速特性との比較によって
ポンプ本体２の機種識別を行う機能を持ち、これによっ
て、ポンプ本体の機種識別を行う。
体の機種識別を行うことができるターボ分子ポンプを提
供する。 【解決手段】 ロータおよびロータを駆動するモータを
有したポンプ本体２と、モータを駆動する駆動回路４を
有しモータへの電力供給を接続ケーブル５を通して行う
外部電源装置３とを備えたターボ分子ポンプ１におい
て、駆動回路４は、回転開始時における所定の加速指令
に対応する所定機種の基準加速特性（加速特性テーブル
４３ａ，規定電流値テーブル４３ｂ）を有し、加速指令
に従ってモータへ電力供給を行ってモータの実加速特性
を求め、該実加速特性と基準加速特性との比較によって
ポンプ本体２の機種識別を行う機能を持ち、これによっ
て、ポンプ本体の機種識別を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ターボ分子ポンプ
に関し、特にターボ分子ポンプの電源装置に関する。
に関し、特にターボ分子ポンプの電源装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ターボ分子ポンプのポンプ本体は、ロー
タ，ステータ，ロータを駆動するモータ，ロータを支持
する軸受等を備え、また、ターボ分子ポンプを駆動する
電源装置は、モータを駆動するインバータ部，および軸
受が磁気軸受の場合には磁気軸受制御部等を備えてい
る。このようなターボ分子ポンプは、その排気速度に応
じて種々の機種のポンプ本体と、該ポンプ本体に対応し
た専用電源装置が設けられ、両者は共用化された１種の
接続ケーブルで接続している。
タ，ステータ，ロータを駆動するモータ，ロータを支持
する軸受等を備え、また、ターボ分子ポンプを駆動する
電源装置は、モータを駆動するインバータ部，および軸
受が磁気軸受の場合には磁気軸受制御部等を備えてい
る。このようなターボ分子ポンプは、その排気速度に応
じて種々の機種のポンプ本体と、該ポンプ本体に対応し
た専用電源装置が設けられ、両者は共用化された１種の
接続ケーブルで接続している。
【０００３】図１０は、従来のポンプ本体と電源装置と
の接続を説明するための図であり、ポンプ本体２Ａは専
用電源装置３Ａと機種識別用の信号線４１を含む接続ケ
ーブル４によって接続し（図１０（ａ））、ポンプ本体
２Ｂは専用電源装置３Ｂと機種識別用の信号線４１を含
む接続ケーブル４０によって接続し（図１０（ｂ））と
いうように、ポンプ本体と専用電源装置とを共通の接続
ケーブルを介して接続している。
の接続を説明するための図であり、ポンプ本体２Ａは専
用電源装置３Ａと機種識別用の信号線４１を含む接続ケ
ーブル４によって接続し（図１０（ａ））、ポンプ本体
２Ｂは専用電源装置３Ｂと機種識別用の信号線４１を含
む接続ケーブル４０によって接続し（図１０（ｂ））と
いうように、ポンプ本体と専用電源装置とを共通の接続
ケーブルを介して接続している。
【０００４】接続ケーブルが共用化されているため、ポ
ンプ本体に異なる機種用の電源装置を誤って接続する可
能性がある。そのため、ポンプ本体と電源装置との接続
の誤りを検出してアラーム等を表示する必要がある。従
来、ポンプ本体の機種の識別を行うために、接続ケーブ
ルに機種識別用の複数本の信号線を設け、この信号線間
の短絡パターンによってポンプ本体の機種の識別を行っ
ている。
ンプ本体に異なる機種用の電源装置を誤って接続する可
能性がある。そのため、ポンプ本体と電源装置との接続
の誤りを検出してアラーム等を表示する必要がある。従
来、ポンプ本体の機種の識別を行うために、接続ケーブ
ルに機種識別用の複数本の信号線を設け、この信号線間
の短絡パターンによってポンプ本体の機種の識別を行っ
ている。
【０００５】図１１は、従来のポンプ本体の機種識別を
説明するための図である。ポンプ本体側の信号線４１の
接続端の一部を短絡し、その短絡パターンをポンプ本体
の機種毎に異ならせることによって、電源装置からポン
プ本体の機種識別を行う。例えば、図１１（ａ）はポン
プ本体２Ａと専用の電源装置３Ａとを接続した場合であ
り、ポンプ本体２Ａ側の接続端ａ，ｂを短絡しておく。
電源装置３Ａは、信号線４１の接続端ａ’，ｂ’から接
続端ａ，ｂの短絡を検出することによって、ポンプ本体
の機種が２Ａであることを識別することができる。同様
に、ポンプ本体２Ｂ，２Ｃについても、異なる短絡パタ
ーンを形成しておくことによって、電源装置側３Ｂ，３
Ｃからポンプ本体の機種の識別を行うことができる（図
１１（ｂ），（ｃ））。また、図１１（ｄ）に示すよう
に、機種の異なるポンプ本体が接続されている場合に
は、電源装置側は短絡信号を検出しないことによって、
ポンプ本体の機種が異なることを検出することができ
る。
説明するための図である。ポンプ本体側の信号線４１の
接続端の一部を短絡し、その短絡パターンをポンプ本体
の機種毎に異ならせることによって、電源装置からポン
プ本体の機種識別を行う。例えば、図１１（ａ）はポン
プ本体２Ａと専用の電源装置３Ａとを接続した場合であ
り、ポンプ本体２Ａ側の接続端ａ，ｂを短絡しておく。
電源装置３Ａは、信号線４１の接続端ａ’，ｂ’から接
続端ａ，ｂの短絡を検出することによって、ポンプ本体
の機種が２Ａであることを識別することができる。同様
に、ポンプ本体２Ｂ，２Ｃについても、異なる短絡パタ
ーンを形成しておくことによって、電源装置側３Ｂ，３
Ｃからポンプ本体の機種の識別を行うことができる（図
１１（ｂ），（ｃ））。また、図１１（ｄ）に示すよう
に、機種の異なるポンプ本体が接続されている場合に
は、電源装置側は短絡信号を検出しないことによって、
ポンプ本体の機種が異なることを検出することができ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来のように、接続ケ
ーブルに信号線を設け、該信号線の短絡検出を行うこと
によって、電源装置側からポンプ本体の機種識別を行う
方法では、ポンプ本体の機種識別のための信号線を設け
たり、ポンプ本体側で機種に応じた短絡パターンを検出
する必要があり、さらに、接続ケーブルの信号線はポン
プ本体の機種の増加に伴って増加させる必要もある。ま
た、信号線の接続誤りや信号線の断線等によって、ポン
プ本体の機種識別に誤りが発生する可能性がある。
ーブルに信号線を設け、該信号線の短絡検出を行うこと
によって、電源装置側からポンプ本体の機種識別を行う
方法では、ポンプ本体の機種識別のための信号線を設け
たり、ポンプ本体側で機種に応じた短絡パターンを検出
する必要があり、さらに、接続ケーブルの信号線はポン
プ本体の機種の増加に伴って増加させる必要もある。ま
た、信号線の接続誤りや信号線の断線等によって、ポン
プ本体の機種識別に誤りが発生する可能性がある。
【０００７】そこで、本発明は前記した従来のターボ分
子ポンプの問題点を解決し、信号線等の部品を設けるこ
となく、ポンプ本体の機種識別を行うことができるター
ボ分子ポンプを提供することを目的とする。
子ポンプの問題点を解決し、信号線等の部品を設けるこ
となく、ポンプ本体の機種識別を行うことができるター
ボ分子ポンプを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のターボ分子ポン
プは、ロータおよびロータを駆動するモータを有したポ
ンプ本体と、モータを駆動する駆動回路を有しモータへ
の電力供給を接続ケーブルを通して行う外部電源装置と
を備えたターボ分子ポンプにおいて、回転開始時におけ
る所定の加速指令に対応する所定機種の基準加速特性を
有し、該加速指令に従ってモータへ電力供給を行ってモ
ータの実加速特性を求め、該実加速特性と基準加速特性
との比較によってポンプ本体の機種識別を行う機能を駆
動回路に持たせ、これによって、信号線等の部品を新た
に設けることなくポンプ本体の機種識別を行うことがで
きる。
プは、ロータおよびロータを駆動するモータを有したポ
ンプ本体と、モータを駆動する駆動回路を有しモータへ
の電力供給を接続ケーブルを通して行う外部電源装置と
を備えたターボ分子ポンプにおいて、回転開始時におけ
る所定の加速指令に対応する所定機種の基準加速特性を
有し、該加速指令に従ってモータへ電力供給を行ってモ
ータの実加速特性を求め、該実加速特性と基準加速特性
との比較によってポンプ本体の機種識別を行う機能を駆
動回路に持たせ、これによって、信号線等の部品を新た
に設けることなくポンプ本体の機種識別を行うことがで
きる。
【０００９】ポンプ本体が備えるロータは、機種毎に大
きさが異なり、例えば排気速度が大きいほど大型で大重
量となる。ロータのイナーシャ（回転軸回りの慣性モー
メント）は、このロータの大きさや重量に比例して機種
毎に異なり、同一の機種では一定となる。通常、ターボ
分子ポンプのモータの回転開始時の加速特性は、主にロ
ータのイナーシャに依存するため、ポンプ本体の機種毎
に異なり、同一機種では一定特性となる。本発明のター
ボ分子ポンプは、この回転開始時の加速特性がポンプ本
体の機種に対応する点を利用し、所定の加速指令でモー
タを駆動して実加速特性を求め、この実加速特性と加速
指令に対応した所定機種の基準加速特性とを比較するこ
とによって、ポンプ本体の機種識別を行うことができ
る。
きさが異なり、例えば排気速度が大きいほど大型で大重
量となる。ロータのイナーシャ（回転軸回りの慣性モー
メント）は、このロータの大きさや重量に比例して機種
毎に異なり、同一の機種では一定となる。通常、ターボ
分子ポンプのモータの回転開始時の加速特性は、主にロ
ータのイナーシャに依存するため、ポンプ本体の機種毎
に異なり、同一機種では一定特性となる。本発明のター
ボ分子ポンプは、この回転開始時の加速特性がポンプ本
体の機種に対応する点を利用し、所定の加速指令でモー
タを駆動して実加速特性を求め、この実加速特性と加速
指令に対応した所定機種の基準加速特性とを比較するこ
とによって、ポンプ本体の機種識別を行うことができ
る。
【００１０】本発明の第１の実施態様は、所定の加速指
令によるモータへの電力供給として、一定電流の供給あ
るいは一定電圧の供給を行うものであり、このときのモ
ータの実速度変化と、所定機種のモータに一定電流ある
いは一定電圧を供給したときの速度変化とを比較し、こ
れによって、ポンプ本体の機種識別を行うものである。
令によるモータへの電力供給として、一定電流の供給あ
るいは一定電圧の供給を行うものであり、このときのモ
ータの実速度変化と、所定機種のモータに一定電流ある
いは一定電圧を供給したときの速度変化とを比較し、こ
れによって、ポンプ本体の機種識別を行うものである。
【００１１】また、本発明の第２の実施態様は、所定の
加速指令によるモータへの電力供給として、モータの回
転速度があらかじめ定めた加速特性となるよう電流制御
を行うものであり、このときのモータへの実供給電流
と、所定機種のモータを回転速度があらかじめ定めた加
速特性となるよう電流制御したときの基準供給電流とを
比較し、これによって、ポンプ本体の機種識別を行うも
のである。
加速指令によるモータへの電力供給として、モータの回
転速度があらかじめ定めた加速特性となるよう電流制御
を行うものであり、このときのモータへの実供給電流
と、所定機種のモータを回転速度があらかじめ定めた加
速特性となるよう電流制御したときの基準供給電流とを
比較し、これによって、ポンプ本体の機種識別を行うも
のである。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明のターボ
分子ポンプの一実施の形態を説明するための概略ブロッ
ク図である。図１において、ターボ分子ポンプ１は、ポ
ンプ本体２と電源装置３と接続ケーブル５を備える。ポ
ンプ本体２は、図示しないロータ，ステータ，ロータを
駆動するモータ，およびロータを支持する軸受を備え、
モータは電源装置３から接続ケーブル５を通して供給さ
れる電力によって駆動される。
参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明のターボ
分子ポンプの一実施の形態を説明するための概略ブロッ
ク図である。図１において、ターボ分子ポンプ１は、ポ
ンプ本体２と電源装置３と接続ケーブル５を備える。ポ
ンプ本体２は、図示しないロータ，ステータ，ロータを
駆動するモータ，およびロータを支持する軸受を備え、
モータは電源装置３から接続ケーブル５を通して供給さ
れる電力によって駆動される。
【００１３】電源装置３は、モータを駆動するための駆
動回路４を備え、駆動回路４中のインバータ４１によっ
てポンプ本体１中のモータへの電力供給制御を行う。な
お、電源装置３は、ロータの軸受が磁気軸受の場合に
は、磁気軸受制御部を備える。さらに、本発明の電源装
置３中の駆動回路４は、比較演算部４２と基準加速特性
テーブル４３を備える。
動回路４を備え、駆動回路４中のインバータ４１によっ
てポンプ本体１中のモータへの電力供給制御を行う。な
お、電源装置３は、ロータの軸受が磁気軸受の場合に
は、磁気軸受制御部を備える。さらに、本発明の電源装
置３中の駆動回路４は、比較演算部４２と基準加速特性
テーブル４３を備える。
【００１４】比較演算部４２は、回転開始時に所定の加
速指令をインバータ４１に対して行い、該加速指令によ
り駆動されたモータの回転速度やモータ電流をインバー
タ４１から受け取り、基準加速特性テーブル４３中のデ
ータと比較して、ポンプ本体の機種識別を行う。基準加
速特性テーブル４３は、ポンプ本体の機種識別を行うた
めのデータを格納する部分であり、加速特性テーブル４
３ａあるいは規定電流値テーブル４３ｂを備える。加速
特性テーブル４３ａは、モータに一定電圧あるいは一定
電流を供給して回転開始させた場合の、回転開始時点か
らの経過時間に対するモータ速度のデータを格納する記
憶手段であり、また、規定電流値テーブル４３ｂは、モ
ータを所定の速度増加率で加速する場合のモータに流れ
る電流値を格納する記憶手段である。
速指令をインバータ４１に対して行い、該加速指令によ
り駆動されたモータの回転速度やモータ電流をインバー
タ４１から受け取り、基準加速特性テーブル４３中のデ
ータと比較して、ポンプ本体の機種識別を行う。基準加
速特性テーブル４３は、ポンプ本体の機種識別を行うた
めのデータを格納する部分であり、加速特性テーブル４
３ａあるいは規定電流値テーブル４３ｂを備える。加速
特性テーブル４３ａは、モータに一定電圧あるいは一定
電流を供給して回転開始させた場合の、回転開始時点か
らの経過時間に対するモータ速度のデータを格納する記
憶手段であり、また、規定電流値テーブル４３ｂは、モ
ータを所定の速度増加率で加速する場合のモータに流れ
る電流値を格納する記憶手段である。
【００１５】本発明のターボ分子ポンプによる第１の機
種識別は、基準加速特性テーブル４３として加速特性テ
ーブル４３ａを用いるものであり、モータに一定電圧あ
るいは一定電流を供給して回転開始させ、このときのモ
ータ速度の変化特性を基準速度変化と比較して機種識別
を行う。また、第２の機種識別は、基準加速特性テーブ
ル４３として規定電流値テーブル４３ｂを用いるもので
あり、モータを所定の加速特性となるように制御し、そ
のときの電流値を基準電流値と比較して機種識別を行
う。
種識別は、基準加速特性テーブル４３として加速特性テ
ーブル４３ａを用いるものであり、モータに一定電圧あ
るいは一定電流を供給して回転開始させ、このときのモ
ータ速度の変化特性を基準速度変化と比較して機種識別
を行う。また、第２の機種識別は、基準加速特性テーブ
ル４３として規定電流値テーブル４３ｂを用いるもので
あり、モータを所定の加速特性となるように制御し、そ
のときの電流値を基準電流値と比較して機種識別を行
う。
【００１６】以下、本発明のターボ分子ポンプによる第
１の機種識別を図２〜図５を用いて説明し、第２の機種
識別を図６〜図９を用いて説明する。はじめに、本発明
のターボ分子ポンプによる第１の機種識別について説明
する。この場合には、基準加速特性テーブル４３として
加速特性テーブル４３ａを用いる。図２はモータの回転
開始を一定電圧あるいは一定電流の供給によって行う場
合の速度変化を示す図である。ターボ分子ポンプのモー
タの回転開始時の加速特性は、主にロータのイナーシャ
に依存するため、回転開始時の速度変化は、図２中の
Ａ，Ｂ，Ｃに示すようにポンプ本体の機種毎に一定の加
速特性となる。なお、図中に示す一加速特性の上限曲線
は各ポンプ内が真空の場合の加速特性を示し、下限曲線
は各ポンプ内が大気の場合の加速特性を示しており、通
常両曲線ではさまれる斜線部分内の速度となる。
１の機種識別を図２〜図５を用いて説明し、第２の機種
識別を図６〜図９を用いて説明する。はじめに、本発明
のターボ分子ポンプによる第１の機種識別について説明
する。この場合には、基準加速特性テーブル４３として
加速特性テーブル４３ａを用いる。図２はモータの回転
開始を一定電圧あるいは一定電流の供給によって行う場
合の速度変化を示す図である。ターボ分子ポンプのモー
タの回転開始時の加速特性は、主にロータのイナーシャ
に依存するため、回転開始時の速度変化は、図２中の
Ａ，Ｂ，Ｃに示すようにポンプ本体の機種毎に一定の加
速特性となる。なお、図中に示す一加速特性の上限曲線
は各ポンプ内が真空の場合の加速特性を示し、下限曲線
は各ポンプ内が大気の場合の加速特性を示しており、通
常両曲線ではさまれる斜線部分内の速度となる。
【００１７】従って、例えば一定電流あるいは一定電圧
を供給して回転を開始した場合、回転開始から経過時間
Ｔ後の速度ｖＡ，ｖＢ，ｖＣを検出し、図２中の加速特
性と比較することによって、電源装置と接続しているポ
ンプ本体の機種Ａ，Ｂ，Ｃを識別することができる。ま
た、接続されているポンプ本体の機種があらかじめ予定
されている場合に、検出した速度と、予定しているポン
プ本体の速度との比較によって、予定されているポンプ
本体であるか否かの判定を行うこともできる。さらに、
図２において、検出した速度がいずれの機種にも当ては
まらない場合には、ポンプ本体の異常を検出することが
できる。
を供給して回転を開始した場合、回転開始から経過時間
Ｔ後の速度ｖＡ，ｖＢ，ｖＣを検出し、図２中の加速特
性と比較することによって、電源装置と接続しているポ
ンプ本体の機種Ａ，Ｂ，Ｃを識別することができる。ま
た、接続されているポンプ本体の機種があらかじめ予定
されている場合に、検出した速度と、予定しているポン
プ本体の速度との比較によって、予定されているポンプ
本体であるか否かの判定を行うこともできる。さらに、
図２において、検出した速度がいずれの機種にも当ては
まらない場合には、ポンプ本体の異常を検出することが
できる。
【００１８】以下、図３〜図５を用いて、予定されてい
るポンプ本体であるか否かの判定を行う場合の駆動例に
ついて説明する。図３は第１の機種識別を行う場合のポ
ンプ本体の判定を行うフローチャートであり、図４，５
は第１の機種識別を行う場合の加速特性図である。な
お、加速特性テーブルは、ポンプ本体の機種毎の加速特
性を備えている。
るポンプ本体であるか否かの判定を行う場合の駆動例に
ついて説明する。図３は第１の機種識別を行う場合のポ
ンプ本体の判定を行うフローチャートであり、図４，５
は第１の機種識別を行う場合の加速特性図である。な
お、加速特性テーブルは、ポンプ本体の機種毎の加速特
性を備えている。
【００１９】はじめに、ポンプを回転開始させるスター
ト信号を入力し（ステップＳ１）、比較演算部４２はイ
ンバータ４１に対して一定電流あるいは一定電圧をポン
プ本体２のモータに供給する加速指令を出力する（ステ
ップＳ２）。この加速指令を受けたインバータ４１は、
接続ケーブル５を通してモータに一定電流あるいは一定
電圧を供給して、回転を開始する（ステップＳ３）。
ト信号を入力し（ステップＳ１）、比較演算部４２はイ
ンバータ４１に対して一定電流あるいは一定電圧をポン
プ本体２のモータに供給する加速指令を出力する（ステ
ップＳ２）。この加速指令を受けたインバータ４１は、
接続ケーブル５を通してモータに一定電流あるいは一定
電圧を供給して、回転を開始する（ステップＳ３）。
【００２０】回転開始してから所定の時間が経過した後
（ステップＳ４）、インバータ４１は、モータの回転速
度を検出して比較演算部４２に送る（ステップＳ５）。
比較演算部４２は、加速特性テーブル４３ａが備える各
機種の加速特性の中から予定しているポンプ本体の加速
特性を選び、経過時間に対応した速度データを読み出
し、前記ステップＳ５で得たモータの実回転速度と比較
して（ステップＳ６）、実回転速度が加速特性の範囲内
（以下許容範囲内という）であるか否かの判定を行う
（ステップＳ７）。
（ステップＳ４）、インバータ４１は、モータの回転速
度を検出して比較演算部４２に送る（ステップＳ５）。
比較演算部４２は、加速特性テーブル４３ａが備える各
機種の加速特性の中から予定しているポンプ本体の加速
特性を選び、経過時間に対応した速度データを読み出
し、前記ステップＳ５で得たモータの実回転速度と比較
して（ステップＳ６）、実回転速度が加速特性の範囲内
（以下許容範囲内という）であるか否かの判定を行う
（ステップＳ７）。
【００２１】ステップＳ７で許容範囲内とする判定が、
合計して正常規定回数Ｎを超えた場合には予定している
ポンプ本体が接続されているものと判断し（ステップＳ
８）、比較演算部４２は通常の加速指令をインバータ４
１に出力し（ステップＳ９）、インバータ４１はポンプ
本体２を通常運転する（ステップＳ１０）。
合計して正常規定回数Ｎを超えた場合には予定している
ポンプ本体が接続されているものと判断し（ステップＳ
８）、比較演算部４２は通常の加速指令をインバータ４
１に出力し（ステップＳ９）、インバータ４１はポンプ
本体２を通常運転する（ステップＳ１０）。
【００２２】前記ステップＳ７において、実回転速度が
加速特性の範囲外である場合には、エラーカウンタを１
増加させ（ステップＳ１１）、このエラーカウンタの値
がエラー規定回数Ｍを超えた場合には予定しているポン
プ本体が接続されていないものと判断して（ステップＳ
１２）、比較演算部４２は加速中止の指令をインバータ
４１に出力するとともに（ステップＳ１３）、アラーム
表示を行う（ステップＳ１４）。
加速特性の範囲外である場合には、エラーカウンタを１
増加させ（ステップＳ１１）、このエラーカウンタの値
がエラー規定回数Ｍを超えた場合には予定しているポン
プ本体が接続されていないものと判断して（ステップＳ
１２）、比較演算部４２は加速中止の指令をインバータ
４１に出力するとともに（ステップＳ１３）、アラーム
表示を行う（ステップＳ１４）。
【００２３】なお、エラー規定回数Ｍは、ポンプ本体の
機種と電源装置の機種との不一致や接続誤りを判断する
ための評価値であり、例えば５回程度に設定することが
でき、また、正常規定回数Ｎは、ポンプ本体の機種と電
源装置の機種との一致を判断するための評価値であり、
例えば１０回程度に設定することができる。
機種と電源装置の機種との不一致や接続誤りを判断する
ための評価値であり、例えば５回程度に設定することが
でき、また、正常規定回数Ｎは、ポンプ本体の機種と電
源装置の機種との一致を判断するための評価値であり、
例えば１０回程度に設定することができる。
【００２４】図４，図５は、正常規定回数Ｎとして６回
を設定し、エラー規定回数Ｍとして３回を規定した場合
の例であり、図４は通常運転を行う場合を示し、図５は
アラーム表示を行う場合を示している。また、図４，５
中の×印は所定時間毎の速度を示している。図４は、回
転開始から３回目の速度が許容範囲をはずれ、その他の
速度は許容範囲内である例を示しており、アラーム表示
が行われる前に、７回目の測定時において、許容範囲内
の速度の合計回数が正常規定回数（ここでは６回とす
る）以上となり、通常加速指令がオンとなる。
を設定し、エラー規定回数Ｍとして３回を規定した場合
の例であり、図４は通常運転を行う場合を示し、図５は
アラーム表示を行う場合を示している。また、図４，５
中の×印は所定時間毎の速度を示している。図４は、回
転開始から３回目の速度が許容範囲をはずれ、その他の
速度は許容範囲内である例を示しており、アラーム表示
が行われる前に、７回目の測定時において、許容範囲内
の速度の合計回数が正常規定回数（ここでは６回とす
る）以上となり、通常加速指令がオンとなる。
【００２５】また、図５は、回転開始から３回目以降の
速度が許容範囲をはずれ、その他の速度は許容範囲内で
ある例を示しており、通常加速指令がオンされる前に、
５回目の測定時において、許容範囲外の速度の合計回数
がエラー規定回数（ここでは３回とする）以上となり、
アラーム表示のオンとなる。
速度が許容範囲をはずれ、その他の速度は許容範囲内で
ある例を示しており、通常加速指令がオンされる前に、
５回目の測定時において、許容範囲外の速度の合計回数
がエラー規定回数（ここでは３回とする）以上となり、
アラーム表示のオンとなる。
【００２６】次に、本発明のターボ分子ポンプによる第
２の機種識別について説明する。この場合には、基準加
速特性テーブル４３として規定電流値テーブル４３ｂを
用いる。図６はモータを所定の加速特性となるよう加速
制御を行う場合の電流変化を示す図である。ターボ分子
ポンプのモータを一定の速度増加率で加速を行う場合に
は、図６のＡ，Ｂ，Ｃに示すように流れる電流はほぼ一
定となり、ポンプ本体の機種毎に一定の電流特性とな
る。
２の機種識別について説明する。この場合には、基準加
速特性テーブル４３として規定電流値テーブル４３ｂを
用いる。図６はモータを所定の加速特性となるよう加速
制御を行う場合の電流変化を示す図である。ターボ分子
ポンプのモータを一定の速度増加率で加速を行う場合に
は、図６のＡ，Ｂ，Ｃに示すように流れる電流はほぼ一
定となり、ポンプ本体の機種毎に一定の電流特性とな
る。
【００２７】従って、モータを一定の速度増加率となる
よう制御しながら回転を開始した場合、回転開始から経
過時間Ｔ後の電流値ＩＡ，ＩＢ，ＩＣを検出し、図６中
の電流特性と比較することによって、電源装置と接続し
ているポンプ本体の機種Ａ，Ｂ，Ｃを識別することがで
きる。
よう制御しながら回転を開始した場合、回転開始から経
過時間Ｔ後の電流値ＩＡ，ＩＢ，ＩＣを検出し、図６中
の電流特性と比較することによって、電源装置と接続し
ているポンプ本体の機種Ａ，Ｂ，Ｃを識別することがで
きる。
【００２８】また、接続されているポンプ本体の機種が
あらかじめ予定されている場合に、検出した電流値と、
予定しているポンプ本体の電流値との比較によって、予
定されているポンプ本体であるか否かの判定を行うこと
もできる。さらに、図６において、検出した電流値がい
ずれの機種にも当てはまらない場合には、ポンプ本体の
異常を検出することができる。
あらかじめ予定されている場合に、検出した電流値と、
予定しているポンプ本体の電流値との比較によって、予
定されているポンプ本体であるか否かの判定を行うこと
もできる。さらに、図６において、検出した電流値がい
ずれの機種にも当てはまらない場合には、ポンプ本体の
異常を検出することができる。
【００２９】以下、図７〜図９を用いて、予定されてい
るポンプ本体であるか否かの判定を行う場合の駆動例に
ついて説明する。図７は第２の機種識別を行う場合のポ
ンプ本体の判定を行うフローチャートであり、図８，９
は第２の機種識別を行う場合の加速特性図である。な
お、規定電流値テーブルは、ポンプ本体の機種毎の電流
特性を備えている。
るポンプ本体であるか否かの判定を行う場合の駆動例に
ついて説明する。図７は第２の機種識別を行う場合のポ
ンプ本体の判定を行うフローチャートであり、図８，９
は第２の機種識別を行う場合の加速特性図である。な
お、規定電流値テーブルは、ポンプ本体の機種毎の電流
特性を備えている。
【００３０】はじめに、ポンプを回転開始させるスター
ト信号を入力し（ステップＳ２１）、比較演算部４２は
インバータ４１に対して一定の速度増加率で加速を行う
加速指令を出力する（ステップＳ２２）。この加速指令
を受けたインバータ４１は、接続ケーブル５を通してモ
ータに電力を供給して、加速指令の速度変化率となるよ
う制御を行いながら回転を開始する（ステップＳ２
３）。
ト信号を入力し（ステップＳ２１）、比較演算部４２は
インバータ４１に対して一定の速度増加率で加速を行う
加速指令を出力する（ステップＳ２２）。この加速指令
を受けたインバータ４１は、接続ケーブル５を通してモ
ータに電力を供給して、加速指令の速度変化率となるよ
う制御を行いながら回転を開始する（ステップＳ２
３）。
【００３１】回転開始してから所定の時間が経過した後
（ステップＳ２４）、インバータ４１は、モータに流れ
る電流値を検出して比較演算部４２に送る（ステップＳ
２５）。比較演算部４２は、規定電流値テーブル４３ｂ
が備える各機種の電流特性の中から予定しているポンプ
本体の電流特性を選び、経過時間に対応した電流値デー
タを読み出し、前記ステップＳ２５で得たモータの実電
流値と比較して（ステップＳ２６）、実電流値が電流特
性の範囲内（以下許容範囲内という）であるか否かの判
定を行う（ステップＳ２７）。以下、ステップＳ２８か
らステップＳ３４において、前記した第１の機種識別に
おいて、ステップＳ８からステップＳ１４で説明した処
理と同様の処理を行い、通常運転あるいはアラーム表示
を行う。
（ステップＳ２４）、インバータ４１は、モータに流れ
る電流値を検出して比較演算部４２に送る（ステップＳ
２５）。比較演算部４２は、規定電流値テーブル４３ｂ
が備える各機種の電流特性の中から予定しているポンプ
本体の電流特性を選び、経過時間に対応した電流値デー
タを読み出し、前記ステップＳ２５で得たモータの実電
流値と比較して（ステップＳ２６）、実電流値が電流特
性の範囲内（以下許容範囲内という）であるか否かの判
定を行う（ステップＳ２７）。以下、ステップＳ２８か
らステップＳ３４において、前記した第１の機種識別に
おいて、ステップＳ８からステップＳ１４で説明した処
理と同様の処理を行い、通常運転あるいはアラーム表示
を行う。
【００３２】図８，図９は、正常規定回数Ｎとして６回
を設定し、エラー規定回数Ｍとして３回を規定した場合
の例であり、図８は通常運転を行う場合を示し、図９は
アラーム表示を行う場合を示している。また、図８，９
中の×印は所定時間毎の電流値を示している。図８は、
回転開始から１，４回目の電流値が許容範囲をはずれ、
その他の電流値は許容範囲内である例を示しており、ア
ラーム表示が行われる前に、８回目の測定時において許
容範囲内の電流値の合計回数が正常規定回数（ここでは
６回とする）以上となり、通常加速指令がオンとなる。
を設定し、エラー規定回数Ｍとして３回を規定した場合
の例であり、図８は通常運転を行う場合を示し、図９は
アラーム表示を行う場合を示している。また、図８，９
中の×印は所定時間毎の電流値を示している。図８は、
回転開始から１，４回目の電流値が許容範囲をはずれ、
その他の電流値は許容範囲内である例を示しており、ア
ラーム表示が行われる前に、８回目の測定時において許
容範囲内の電流値の合計回数が正常規定回数（ここでは
６回とする）以上となり、通常加速指令がオンとなる。
【００３３】また、図９は、回転開始から３，および６
回目以降の電流値が許容範囲をはずれ、その他の電流値
は許容範囲内である例を示しており、通常加速指令がオ
ンされる前に、７回目の測定時において許容範囲外の電
流値の合計回数がエラー規定回数（ここでは３回とす
る）以上となり、アラーム表示のオンとなる。
回目以降の電流値が許容範囲をはずれ、その他の電流値
は許容範囲内である例を示しており、通常加速指令がオ
ンされる前に、７回目の測定時において許容範囲外の電
流値の合計回数がエラー規定回数（ここでは３回とす
る）以上となり、アラーム表示のオンとなる。
【００３４】本発明の実施形態によれば、電源装置の駆
動回路による機種識別機能を用いることによって、ロー
タを支持するベアリングの転がり抵抗が劣化により大き
くなるなどのポンプ本体の異常状態を、所定機種との不
一致により検出することも可能となる。
動回路による機種識別機能を用いることによって、ロー
タを支持するベアリングの転がり抵抗が劣化により大き
くなるなどのポンプ本体の異常状態を、所定機種との不
一致により検出することも可能となる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のターボ分
子ポンプによれば、信号線等の部品を設けることなく、
ポンプ本体の機種識別を行うことができる。
子ポンプによれば、信号線等の部品を設けることなく、
ポンプ本体の機種識別を行うことができる。
【図１】本発明のターボ分子ポンプの一実施の形態を説
明するための概略ブロック図である。
明するための概略ブロック図である。
【図２】モータの回転開始を一定電圧あるいは一定電流
の供給によって行う場合の速度変化を示す図である。
の供給によって行う場合の速度変化を示す図である。
【図３】本発明の第１の機種識別を行う場合のポンプ本
体の判定を行うフローチャートである。
体の判定を行うフローチャートである。
【図４】本発明の第１の機種識別を行う場合の加速特性
図である。
図である。
【図５】本発明の第１の機種識別を行う場合の加速特性
図である。
図である。
【図６】モータを所定の加速特性となるよう加速制御を
行う場合の電流変化を示す図である。
行う場合の電流変化を示す図である。
【図７】本発明の第２の機種識別を行う場合のポンプ本
体の判定を行うフローチャートである。
体の判定を行うフローチャートである。
【図８】本発明の第２の機種識別を行う場合の加速特性
図である。
図である。
【図９】本発明の第２の機種識別を行う場合の加速特性
図である。
図である。
【図１０】従来のポンプ本体と電源装置との接続を説明
するための図である。
するための図である。
【図１１】従来のポンプ本体の機種識別を説明するため
の図である。
の図である。
１…ターボ分子ポンプ、２…ポンプ本体、３…電源装
置、４…駆動回路、５…接続ケーブル、４１…インバー
タ、４２…比較演算部、４３…基準加速特性テーブル、
４３ａ…加速特性テーブル、規定電流値テーブル４３ｂ
置、４…駆動回路、５…接続ケーブル、４１…インバー
タ、４２…比較演算部、４３…基準加速特性テーブル、
４３ａ…加速特性テーブル、規定電流値テーブル４３ｂ
Claims (1)
- 【請求項１】 ロータおよびロータを駆動するモータを
有したポンプ本体と、モータを駆動する駆動回路を有し
モータへの電力供給を接続ケーブルを通して行う外部電
源装置とを備えたターボ分子ポンプにおいて、前記駆動
回路は、回転開始時における所定の加速指令に対応する
基準加速特性を有し、該加速指令に従ってモータへ電力
供給を行ってモータの実加速特性を求め、該実加速特性
と基準加速特性との比較によってポンプ本体の機種識別
を行うことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23443196A JP3562608B2 (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23443196A JP3562608B2 (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1077993A true JPH1077993A (ja) | 1998-03-24 |
| JP3562608B2 JP3562608B2 (ja) | 2004-09-08 |
Family
ID=16970915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23443196A Expired - Fee Related JP3562608B2 (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3562608B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7737590B2 (en) | 2006-08-30 | 2010-06-15 | Ebara Corporation | Magnetic bearing device, rotating mechanism, and model identification method of rotating machinery main unit |
| CN102788037A (zh) * | 2012-08-13 | 2012-11-21 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种磁悬浮分子泵的型号识别方法及系统 |
| JP2017211170A (ja) * | 2016-05-27 | 2017-11-30 | アイシン精機株式会社 | コジェネレーションシステム |
| WO2021176905A1 (ja) * | 2020-03-05 | 2021-09-10 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 特定方法、及び、送風システム |
-
1996
- 1996-09-04 JP JP23443196A patent/JP3562608B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7737590B2 (en) | 2006-08-30 | 2010-06-15 | Ebara Corporation | Magnetic bearing device, rotating mechanism, and model identification method of rotating machinery main unit |
| CN102788037A (zh) * | 2012-08-13 | 2012-11-21 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种磁悬浮分子泵的型号识别方法及系统 |
| JP2017211170A (ja) * | 2016-05-27 | 2017-11-30 | アイシン精機株式会社 | コジェネレーションシステム |
| WO2021176905A1 (ja) * | 2020-03-05 | 2021-09-10 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 特定方法、及び、送風システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3562608B2 (ja) | 2004-09-08 |
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