JPH107407A - 過酸化水素水の精製方法 - Google Patents
過酸化水素水の精製方法Info
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- JPH107407A JPH107407A JP15872296A JP15872296A JPH107407A JP H107407 A JPH107407 A JP H107407A JP 15872296 A JP15872296 A JP 15872296A JP 15872296 A JP15872296 A JP 15872296A JP H107407 A JPH107407 A JP H107407A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 粗過酸化水素水を、きわめて純度の高い過酸
化水素水に簡便に、安全に精製する方法を提供する。 【解決方法】 粗過酸化水素水を、スルフォン酸基を有
するＨ型強酸性カチオン交換樹脂及びキレート剤を吸着
させた強塩基性アニオン交換樹脂に接触させる。
化水素水に簡便に、安全に精製する方法を提供する。 【解決方法】 粗過酸化水素水を、スルフォン酸基を有
するＨ型強酸性カチオン交換樹脂及びキレート剤を吸着
させた強塩基性アニオン交換樹脂に接触させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、不純物、特に無機
不純物を含有する過酸化水素水を安全に精製し、きわめ
て高純度な過酸化水素水を安価に製造する方法に関す
る。本発明により精製された過酸化水素水は特に半導体
製造分野で使用するのに好適である。
不純物を含有する過酸化水素水を安全に精製し、きわめ
て高純度な過酸化水素水を安価に製造する方法に関す
る。本発明により精製された過酸化水素水は特に半導体
製造分野で使用するのに好適である。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＬＳＩの高集積化に伴い、シリコ
ンウエハ洗浄等に使用するいわゆる電子工業向けの過酸
化水素水に要求される品質は一層厳しくなってきてお
り、金属系不純物は、０．１ｐｐｂ以下、酸根系不純物
は、数１０ｐｐｂから１００ｐｐｂ以下であることが要
求されている。
ンウエハ洗浄等に使用するいわゆる電子工業向けの過酸
化水素水に要求される品質は一層厳しくなってきてお
り、金属系不純物は、０．１ｐｐｂ以下、酸根系不純物
は、数１０ｐｐｂから１００ｐｐｂ以下であることが要
求されている。
【０００３】過酸化水素水の精製方法としては、各種イ
オン交換樹脂を初めとした吸着剤を用いた処理が知られ
ているが、単独のイオン交換樹脂処理では、不純物の種
類によっては完全な除去が難しく、また使用する吸着剤
の種類によっては、過酸化水素水と反応してしまうため
低温での処理が必要であったり、吸着剤そのものから不
純物が溶出してしまうといった問題があることがわかっ
ている。
オン交換樹脂を初めとした吸着剤を用いた処理が知られ
ているが、単独のイオン交換樹脂処理では、不純物の種
類によっては完全な除去が難しく、また使用する吸着剤
の種類によっては、過酸化水素水と反応してしまうため
低温での処理が必要であったり、吸着剤そのものから不
純物が溶出してしまうといった問題があることがわかっ
ている。
【０００４】このため、複数の各種イオン交換樹脂を組
み合わせた精製方法も知られている。例えば、特開平７
−４１３０７号公報には、キレート樹脂処理時のリン酸
根増加の影響を少なくするためにアニオン交換樹脂、カ
チオン交換樹脂の混合床で総リン酸を減じた後、キレー
ト樹脂で処理して過酸化水素水を精製する方法が記載さ
れているが、このようにアニオン交換樹脂、カチオン交
換樹脂だけでは金属類の除去が不十分であり、キレート
樹脂と組み合わせるなど処理操作も繁雑になり生産性も
低下してしまう。
み合わせた精製方法も知られている。例えば、特開平７
−４１３０７号公報には、キレート樹脂処理時のリン酸
根増加の影響を少なくするためにアニオン交換樹脂、カ
チオン交換樹脂の混合床で総リン酸を減じた後、キレー
ト樹脂で処理して過酸化水素水を精製する方法が記載さ
れているが、このようにアニオン交換樹脂、カチオン交
換樹脂だけでは金属類の除去が不十分であり、キレート
樹脂と組み合わせるなど処理操作も繁雑になり生産性も
低下してしまう。
【０００５】
【発明が解決しよとする課題】本発明の目的は、比較的
簡便な方法によって、過酸化水素水から金属不純物及び
陰イオン類を同時に高い効率で除去する方法を提供する
ことにあり、特に、単独のイオン交換樹脂処理では完全
な除去が難しい、アルミニウム等の金属不純物を０．１
ｐｐｂ以下までに除去可能であると同時に、硫酸根等も
１００ｐｐｂ以下に除去できる、安全で実用的な過酸化
水素精製技術を提供することにある。
簡便な方法によって、過酸化水素水から金属不純物及び
陰イオン類を同時に高い効率で除去する方法を提供する
ことにあり、特に、単独のイオン交換樹脂処理では完全
な除去が難しい、アルミニウム等の金属不純物を０．１
ｐｐｂ以下までに除去可能であると同時に、硫酸根等も
１００ｐｐｂ以下に除去できる、安全で実用的な過酸化
水素精製技術を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は粗過酸化水素水
をスルフォン酸基を有するＨ型強酸性カチオン交換樹脂
及びキレート剤を吸着させた強塩基性アニオン交換樹脂
に接触させることを特徴とする過酸化水素水の精製方法
である。本発明によりアルミニウムをはじめとする金属
類不純物が０．１ｐｐｂ以下、硝酸根、硫酸根、リン酸
根が１００ｐｐｂ以下のきわめて純度の高い過酸化水素
水を取得することができる。
をスルフォン酸基を有するＨ型強酸性カチオン交換樹脂
及びキレート剤を吸着させた強塩基性アニオン交換樹脂
に接触させることを特徴とする過酸化水素水の精製方法
である。本発明によりアルミニウムをはじめとする金属
類不純物が０．１ｐｐｂ以下、硝酸根、硫酸根、リン酸
根が１００ｐｐｂ以下のきわめて純度の高い過酸化水素
水を取得することができる。
【０００７】本発明で使用するに適するキレート剤を吸
着させた強塩基性アニオン交換樹脂としては特開平１−
１５３５０９号公報に記載されたものを挙げることがで
きるが、特にエチレンジアミン四酢酸を付加させた強塩
基性アニオン交換樹脂が好ましい。この樹脂の特徴とし
ては、キレート効果によってアルミニウム等の金属イオ
ンを除去可能であると同時に、クロム酸イオン、硫酸根
等の陰イオンを除去する能力も優れているが、マグネシ
ウム、ナトリウム等の金属は、事実上除去不能であるこ
とがあげられる。
着させた強塩基性アニオン交換樹脂としては特開平１−
１５３５０９号公報に記載されたものを挙げることがで
きるが、特にエチレンジアミン四酢酸を付加させた強塩
基性アニオン交換樹脂が好ましい。この樹脂の特徴とし
ては、キレート効果によってアルミニウム等の金属イオ
ンを除去可能であると同時に、クロム酸イオン、硫酸根
等の陰イオンを除去する能力も優れているが、マグネシ
ウム、ナトリウム等の金属は、事実上除去不能であるこ
とがあげられる。
【０００８】尚、一般的に強塩基性アニオン交換樹脂は
特開平７−１７２８０５号公報でも知られるように、Ｏ
Ｈ型では過酸化水素水を激しく分解させるため、官能基
を重炭酸型化したうえ、極低温で通液を行わなくては危
険であるが、本発明で使用するキレート剤を吸着させた
強塩基性アニオン交換樹脂は常温で過酸化水素水を通液
しても安全上、何らの問題も見られない。
特開平７−１７２８０５号公報でも知られるように、Ｏ
Ｈ型では過酸化水素水を激しく分解させるため、官能基
を重炭酸型化したうえ、極低温で通液を行わなくては危
険であるが、本発明で使用するキレート剤を吸着させた
強塩基性アニオン交換樹脂は常温で過酸化水素水を通液
しても安全上、何らの問題も見られない。
【０００９】本発明で使用するスルフォン酸基を有する
Ｈ型強酸性カチオン交換樹脂の特徴としては、すでに知
られているようにアルミニウム、マグネシウム、ナトリ
ウム等の金属イオンを除去可能であるが、クロムの除去
力はキレート剤を吸着させた強塩基性アニオン交換樹脂
よりも弱く、陰イオンも除去不能であり、精製処理条件
によっては硫酸根等の溶出を招くことがあることがあげ
られる。
Ｈ型強酸性カチオン交換樹脂の特徴としては、すでに知
られているようにアルミニウム、マグネシウム、ナトリ
ウム等の金属イオンを除去可能であるが、クロムの除去
力はキレート剤を吸着させた強塩基性アニオン交換樹脂
よりも弱く、陰イオンも除去不能であり、精製処理条件
によっては硫酸根等の溶出を招くことがあることがあげ
られる。
【００１０】本発明はこのように性質の異なる２種類の
樹脂を組合せて用いるものであり、具体的な処理方法と
しては、粗過酸化水素水を、スルフォン酸基を有するＨ
型強酸性カチオン交換樹脂に接触させた後、キレート剤
を吸着させた強塩基性アニオン交換樹脂に接触させる２
段処理、及びスルフォン酸基を有するＨ型強酸性カチオ
ン交換樹脂とキレート剤を吸着させた強塩基性アニオン
交換樹脂の混合床に接触させる１段処理が好ましく用い
られる。
樹脂を組合せて用いるものであり、具体的な処理方法と
しては、粗過酸化水素水を、スルフォン酸基を有するＨ
型強酸性カチオン交換樹脂に接触させた後、キレート剤
を吸着させた強塩基性アニオン交換樹脂に接触させる２
段処理、及びスルフォン酸基を有するＨ型強酸性カチオ
ン交換樹脂とキレート剤を吸着させた強塩基性アニオン
交換樹脂の混合床に接触させる１段処理が好ましく用い
られる。
【００１１】本発明においては、重炭酸型アニオン交換
樹脂を用いた過酸化水素水の精製時にみられるような操
作温度に特に限定はなく、室温でも安全に処理できる
が、低温で過酸化水素と接触させることにより、樹脂の
劣化を抑制し樹脂の能力をより長時間維持できる。ま
た、本発明は精製効率の点からワンスルー方式によるカ
ラム流通法が好ましく、送液方法は上昇法よりも下降法
のほうが好ましい。
樹脂を用いた過酸化水素水の精製時にみられるような操
作温度に特に限定はなく、室温でも安全に処理できる
が、低温で過酸化水素と接触させることにより、樹脂の
劣化を抑制し樹脂の能力をより長時間維持できる。ま
た、本発明は精製効率の点からワンスルー方式によるカ
ラム流通法が好ましく、送液方法は上昇法よりも下降法
のほうが好ましい。
【００１２】また、精製処理に供する過酸化水素の濃度
は１〜４０％程度がよく、安定剤等は含まない方が好ま
しい。また、イオン交換樹脂と過酸化水素水の接触によ
る過酸化水素の濃度低下等見られず、安定した精製処理
が可能である。
は１〜４０％程度がよく、安定剤等は含まない方が好ま
しい。また、イオン交換樹脂と過酸化水素水の接触によ
る過酸化水素の濃度低下等見られず、安定した精製処理
が可能である。
【００１３】
【実施例】次に実施例により本発明を説明する。なお、
金属含有量はＩＣＰ−ＭＳ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｒｌｙ
ｃｏｕｐｌｅｄ ｐｌａｓｍａ−Ｍａｓｓ ｓｐｅｃ
ｔｒｏｍｅｔｒｙ）法、陰イオンは陰イオンクロマトグ
ラフ分析法による。 実施例−１ 不純物としてアルミニウム３００ｐｐｂ、マグネシウム
１０ｐｐｂ、ナトリウム、鉄、クロム１ｐｐｂ、及び硫
酸根０．２ｐｐｍを含む３５重量％の過酸化水素水１０
０リットルをＨ型強酸性カチオン交換樹脂（ダウケミカ
ル製、商品名ダウエックスＨＣＲ−Ｗ２ Ｈ型）５０ｍ
ｌを充填した内径９ｍｍ、長さ８０ｃｍのカラムに線速
度１２ｍ／ｈの流速で通液し、次にキレート剤を吸着さ
せた強塩基性アニオン交換樹脂（オルガノ（株）製、商
品名アンバーライトＩＲＡ−９００ ＥＤＴＡ型）５０
ｍｌを充填した内径９ｍｍ、長さ８０ｃｍのカラムに線
速度２０ｍ／ｈの流速で通液し、精製した。カラムの温
度は１０℃に保った。精製後のアルミニウム、マグネシ
ウム、ナトリウム、鉄、クロムは、いずれも０．１ｐｐ
ｂであった。また、硫酸根は０．０６ｐｐｍであった。
金属含有量はＩＣＰ−ＭＳ（Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｒｌｙ
ｃｏｕｐｌｅｄ ｐｌａｓｍａ−Ｍａｓｓ ｓｐｅｃ
ｔｒｏｍｅｔｒｙ）法、陰イオンは陰イオンクロマトグ
ラフ分析法による。 実施例−１ 不純物としてアルミニウム３００ｐｐｂ、マグネシウム
１０ｐｐｂ、ナトリウム、鉄、クロム１ｐｐｂ、及び硫
酸根０．２ｐｐｍを含む３５重量％の過酸化水素水１０
０リットルをＨ型強酸性カチオン交換樹脂（ダウケミカ
ル製、商品名ダウエックスＨＣＲ−Ｗ２ Ｈ型）５０ｍ
ｌを充填した内径９ｍｍ、長さ８０ｃｍのカラムに線速
度１２ｍ／ｈの流速で通液し、次にキレート剤を吸着さ
せた強塩基性アニオン交換樹脂（オルガノ（株）製、商
品名アンバーライトＩＲＡ−９００ ＥＤＴＡ型）５０
ｍｌを充填した内径９ｍｍ、長さ８０ｃｍのカラムに線
速度２０ｍ／ｈの流速で通液し、精製した。カラムの温
度は１０℃に保った。精製後のアルミニウム、マグネシ
ウム、ナトリウム、鉄、クロムは、いずれも０．１ｐｐ
ｂであった。また、硫酸根は０．０６ｐｐｍであった。
【００１４】実施例−２ Ｈ型強酸性カチオン交換樹脂（ダウケミカル製、商品名
ダウエックスＨＣＲ−Ｗ２Ｈ型）とキレート剤を吸着さ
せた強塩基性アニオン交換樹脂（オルガノ（株）製、商
品名アンバーライトＩＲＡ−９００ ＥＤＴＡ型）を混
合比２０：８０で均一に混合し、５０ｍｌを充填した内
径９ｍｍ、長さ８０ｃｍのカラムに、不純物としてアル
ミニウム４００ｐｐｂ、マグネシウム１０ｐｐｂ、ナト
リウム、鉄、クロム１ｐｐｂ、及び硫酸根０．２ｐｐｍ
を含む３５重量％の過酸化水素水１００リットルを線速
度１２ｍ／ｈの流速で通液し、精製した。カラムの温度
は２５℃に保った。精製後のアルミニウム、マグネシウ
ム、ナトリウム、鉄、クロムは、いずれも０．１ｐｐｂ
以下であった。また、硫酸根は０．０５ｐｐｍであっ
た。また、温度による過酸化水素の分解、濃度の低下等
は見られなかった。
ダウエックスＨＣＲ−Ｗ２Ｈ型）とキレート剤を吸着さ
せた強塩基性アニオン交換樹脂（オルガノ（株）製、商
品名アンバーライトＩＲＡ−９００ ＥＤＴＡ型）を混
合比２０：８０で均一に混合し、５０ｍｌを充填した内
径９ｍｍ、長さ８０ｃｍのカラムに、不純物としてアル
ミニウム４００ｐｐｂ、マグネシウム１０ｐｐｂ、ナト
リウム、鉄、クロム１ｐｐｂ、及び硫酸根０．２ｐｐｍ
を含む３５重量％の過酸化水素水１００リットルを線速
度１２ｍ／ｈの流速で通液し、精製した。カラムの温度
は２５℃に保った。精製後のアルミニウム、マグネシウ
ム、ナトリウム、鉄、クロムは、いずれも０．１ｐｐｂ
以下であった。また、硫酸根は０．０５ｐｐｍであっ
た。また、温度による過酸化水素の分解、濃度の低下等
は見られなかった。
【００１５】実施例−３ Ｈ型強酸性カチオン交換樹脂（ダウケミカル製、商品名
ダウエックスＨＣＲ−Ｗ２Ｈ型）とキレート剤を吸着さ
せた強塩基性アニオン交換樹脂（オルガノ（株）製、商
品名アンバーライトＩＲＡ−９００ ＥＤＴＡ型）を混
合比２０：８０で均一に混合し、２１リットルを充填し
た内径１５０ｍｍ、長さ１２０ｃｍのカラムに、不純物
としてアルミニウム４００ｐｐｂ、マグネシウム１０ｐ
ｐｂ、ナトリウム、鉄、クロム１ｐｐｂ、及び硫酸根
０．２ｐｐｍを含む３５重量％の過酸化水素水４０キロ
リットルを線速度１５ｍ／ｈの流速で通液し、精製し
た。カラムの温度は１７℃〜２０℃に保った。精製後の
アルミニウム、マグネシウム、ナトリウム、鉄、クロム
は、いずれも０．１ｐｐｂ以下であった。また、硫酸根
は０．０５ｐｐｍであった。
ダウエックスＨＣＲ−Ｗ２Ｈ型）とキレート剤を吸着さ
せた強塩基性アニオン交換樹脂（オルガノ（株）製、商
品名アンバーライトＩＲＡ−９００ ＥＤＴＡ型）を混
合比２０：８０で均一に混合し、２１リットルを充填し
た内径１５０ｍｍ、長さ１２０ｃｍのカラムに、不純物
としてアルミニウム４００ｐｐｂ、マグネシウム１０ｐ
ｐｂ、ナトリウム、鉄、クロム１ｐｐｂ、及び硫酸根
０．２ｐｐｍを含む３５重量％の過酸化水素水４０キロ
リットルを線速度１５ｍ／ｈの流速で通液し、精製し
た。カラムの温度は１７℃〜２０℃に保った。精製後の
アルミニウム、マグネシウム、ナトリウム、鉄、クロム
は、いずれも０．１ｐｐｂ以下であった。また、硫酸根
は０．０５ｐｐｍであった。
【００１６】比較例−１ Ｈ型強酸性カチオン交換樹脂（ダウケミカル製、商品名
ダウエックスＨＣＲ−Ｗ２Ｈ型）と官能基を重炭酸型に
した強塩基性アニオン交換樹脂（オルガノ（株）製、商
品名アンバーライトＩＲＡ−９００ ＨＣＯ3 型）を混
合比２０：８０で均一に混合し、５０ｍｌを充填した内
径９ｍｍ、長さ８０ｃｍのカラムに、不純物としてアル
ミニウム４００ｐｐｂ、マグネシウム１０ｐｐｂ、ナト
リウム、鉄、クロム１ｐｐｂ、及び硫酸根０．２ｐｐｍ
を含む３５重量％の過酸化水素水１００リットルを線速
度１２ｍ／ｈの流速で通液し、精製した。カラムの温度
は１０℃に保った。精製後のマグネシウム、ナトリウ
ム、鉄、クロムは、いずれも０．１ｐｐｂ以下であった
が、アルミニウムは２ｐｐｂ程度残留した。また、硫酸
根は０．０５ｐｐｍであった。
ダウエックスＨＣＲ−Ｗ２Ｈ型）と官能基を重炭酸型に
した強塩基性アニオン交換樹脂（オルガノ（株）製、商
品名アンバーライトＩＲＡ−９００ ＨＣＯ3 型）を混
合比２０：８０で均一に混合し、５０ｍｌを充填した内
径９ｍｍ、長さ８０ｃｍのカラムに、不純物としてアル
ミニウム４００ｐｐｂ、マグネシウム１０ｐｐｂ、ナト
リウム、鉄、クロム１ｐｐｂ、及び硫酸根０．２ｐｐｍ
を含む３５重量％の過酸化水素水１００リットルを線速
度１２ｍ／ｈの流速で通液し、精製した。カラムの温度
は１０℃に保った。精製後のマグネシウム、ナトリウ
ム、鉄、クロムは、いずれも０．１ｐｐｂ以下であった
が、アルミニウムは２ｐｐｂ程度残留した。また、硫酸
根は０．０５ｐｐｍであった。
【００１７】比較例−２ Ｈ型強酸性カチオン交換樹脂（ダウケミカル製、商品名
ダウエックスＨＣＲ−Ｗ２Ｈ型）と官能基を重炭酸型に
した強塩基性アニオン交換樹脂（オルガノ（株）製、商
品名アンバーライトＩＲＡ−９００ ＨＣＯ3 型）を混
合比８０：２０で均一に混合し、５０ｍｌを充填した内
径９ｍｍ、長さ８０ｃｍのカラムに、不純物としてアル
ミニウム４００ｐｐｂ、マグネシウム１０ｐｐｂ、ナト
リウム、鉄、クロム１ｐｐｂ、及び硫酸根０．２ｐｐｍ
を含む３５重量％の過酸化水素水１００リットルを線速
度１２ｍ／ｈの流速で通液し、精製した。カラムの温度
は１０℃に保った。精製後のアルミニウム、マグネシウ
ム、ナトリウムはいずれも０．１ｐｐｂ以下であった
が、鉄、クロムは、１ｐｐｂ程度残留した。また、硫酸
根は０．０５ｐｐｍであった。
ダウエックスＨＣＲ−Ｗ２Ｈ型）と官能基を重炭酸型に
した強塩基性アニオン交換樹脂（オルガノ（株）製、商
品名アンバーライトＩＲＡ−９００ ＨＣＯ3 型）を混
合比８０：２０で均一に混合し、５０ｍｌを充填した内
径９ｍｍ、長さ８０ｃｍのカラムに、不純物としてアル
ミニウム４００ｐｐｂ、マグネシウム１０ｐｐｂ、ナト
リウム、鉄、クロム１ｐｐｂ、及び硫酸根０．２ｐｐｍ
を含む３５重量％の過酸化水素水１００リットルを線速
度１２ｍ／ｈの流速で通液し、精製した。カラムの温度
は１０℃に保った。精製後のアルミニウム、マグネシウ
ム、ナトリウムはいずれも０．１ｐｐｂ以下であった
が、鉄、クロムは、１ｐｐｂ程度残留した。また、硫酸
根は０．０５ｐｐｍであった。
【００１８】比較例−３ Ｈ型強酸性カチオン交換樹脂（ダウケミカル製、商品名
ダウエックスＨＣＲ−Ｗ２Ｈ型）とアミノリン酸型キレ
ート樹脂（ローム＆ハース（株）製、商品名デュオライ
トＣ−４６７ Ｈ型）を混合比２０：８０で均一に混合
し、５０ｍｌを充填した内径９ｍｍ、長さ８０ｃｍのカ
ラムに、不純物としてアルミニウム４００ｐｐｂ、マグ
ネシウム１０ｐｐｂ、ナトリウム、鉄、クロム１ｐｐ
ｂ、及び硫酸根０．２ｐｐｍを含む３５重量％の過酸化
水素水１００リットルを線速度１２ｍ／ｈの流速で通液
し、精製した。カラムの温度は１７℃に保った。精製後
のマグネシウム、ナトリウムはいずれも０．１ｐｐｂ以
下であったが、アルミニウムが５ｐｐｂ、及びクロムが
０．５ｐｐｂ程度残留した。また、硫酸根は０．２ｐｐ
ｍであり除去不能であった。
ダウエックスＨＣＲ−Ｗ２Ｈ型）とアミノリン酸型キレ
ート樹脂（ローム＆ハース（株）製、商品名デュオライ
トＣ−４６７ Ｈ型）を混合比２０：８０で均一に混合
し、５０ｍｌを充填した内径９ｍｍ、長さ８０ｃｍのカ
ラムに、不純物としてアルミニウム４００ｐｐｂ、マグ
ネシウム１０ｐｐｂ、ナトリウム、鉄、クロム１ｐｐ
ｂ、及び硫酸根０．２ｐｐｍを含む３５重量％の過酸化
水素水１００リットルを線速度１２ｍ／ｈの流速で通液
し、精製した。カラムの温度は１７℃に保った。精製後
のマグネシウム、ナトリウムはいずれも０．１ｐｐｂ以
下であったが、アルミニウムが５ｐｐｂ、及びクロムが
０．５ｐｐｂ程度残留した。また、硫酸根は０．２ｐｐ
ｍであり除去不能であった。
【００１９】比較例−４ Ｈ型強酸性カチオン交換樹脂（ダウケミカル製、商品名
ダウエックスＨＣＲ−Ｗ２Ｈ型）とアミノリン酸型キレ
ート樹脂（ローム＆ハース（株）製、商品名デュオライ
トＣ−４６７ Ｈ型）を混合比８０：２０で均一に混合
し、５０ｍｌを充填した内径９ｍｍ、長さ８０ｃｍのカ
ラムに、不純物としてアルミニウム４００ｐｐｂ、マグ
ネシウム１０ｐｐｂ、ナトリウム、鉄、クロム１ｐｐ
ｂ、及び硫酸根０．２ｐｐｍを含む３５重量％の過酸化
水素水１００リットルを線速度１２ｍ／ｈの流速で通液
し、精製した。カラムの温度は１７℃に保った。精製後
のマグネシウム、ナトリウム、鉄はいずれも０．１ｐｐ
ｂ以下であったが、アルミニウムが２ｐｐｂ、及びクロ
ムが１ｐｐｂ程度残留した。また、硫酸根は０．２ｐｐ
ｍであり除去不能であった。
ダウエックスＨＣＲ−Ｗ２Ｈ型）とアミノリン酸型キレ
ート樹脂（ローム＆ハース（株）製、商品名デュオライ
トＣ−４６７ Ｈ型）を混合比８０：２０で均一に混合
し、５０ｍｌを充填した内径９ｍｍ、長さ８０ｃｍのカ
ラムに、不純物としてアルミニウム４００ｐｐｂ、マグ
ネシウム１０ｐｐｂ、ナトリウム、鉄、クロム１ｐｐ
ｂ、及び硫酸根０．２ｐｐｍを含む３５重量％の過酸化
水素水１００リットルを線速度１２ｍ／ｈの流速で通液
し、精製した。カラムの温度は１７℃に保った。精製後
のマグネシウム、ナトリウム、鉄はいずれも０．１ｐｐ
ｂ以下であったが、アルミニウムが２ｐｐｂ、及びクロ
ムが１ｐｐｂ程度残留した。また、硫酸根は０．２ｐｐ
ｍであり除去不能であった。
【００２０】以上の比較例のように、きわめて高純度の
過酸化水素水を精製する場合、本発明において使用して
いるキレート剤を吸着させた強塩基性アニオン交換樹脂
は、官能基を重炭酸型にした強塩基性アニオン交換樹脂
及びキレート樹脂では代用不可能であると考えられる。
過酸化水素水を精製する場合、本発明において使用して
いるキレート剤を吸着させた強塩基性アニオン交換樹脂
は、官能基を重炭酸型にした強塩基性アニオン交換樹脂
及びキレート樹脂では代用不可能であると考えられる。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、不純物を高い効率で除
去することができ、特に重炭酸型アニオン交換樹脂やキ
レート樹脂とカチオン交換樹脂を使用した混合床では除
去しきれないアルミニウムを、０．１ｐｐｂ以下という
きわめて低い濃度まで除去することができる。また、キ
レート樹脂とカチオン交換樹脂の混合床では除去不能な
硫酸根等アニオン類も効率よく除去可能であり、また、
過酸化水素水と樹脂の接触を低温で行わなくとも、安全
上何ら支障がなく処理できる。本発明により得られた高
純度の過酸化水素水溶液は、シリコンウエハーの洗浄等
に好適に使用しうるものである。
去することができ、特に重炭酸型アニオン交換樹脂やキ
レート樹脂とカチオン交換樹脂を使用した混合床では除
去しきれないアルミニウムを、０．１ｐｐｂ以下という
きわめて低い濃度まで除去することができる。また、キ
レート樹脂とカチオン交換樹脂の混合床では除去不能な
硫酸根等アニオン類も効率よく除去可能であり、また、
過酸化水素水と樹脂の接触を低温で行わなくとも、安全
上何ら支障がなく処理できる。本発明により得られた高
純度の過酸化水素水溶液は、シリコンウエハーの洗浄等
に好適に使用しうるものである。
Claims (8)
- 【請求項１】 粗過酸化水素水を、スルフォン酸基を有
するＨ型強酸性カチオン交換樹脂及びキレート剤を吸着
させた強塩基性アニオン交換樹脂に接触させることを特
徴とする過酸化水素水の精製方法。 - 【請求項２】 粗過酸化水素水を、スルフォン酸基を有
するＨ型強酸性カチオン交換樹脂に接触させ、次いでキ
レート剤を吸着させた強塩基性アニオン交換樹脂に接触
させる請求項１記載の方法。 - 【請求項３】 粗過酸化水素水を、スルフォン酸基を有
するＨ型強酸性カチオン交換樹脂とキレート剤を吸着さ
せた強塩基性アニオン交換樹脂の混合床に接触させる請
求項１記載の方法。 - 【請求項４】 キレート剤が分子中にカルボキシル基ま
たはホスフォン基からなる酸基を少なくとも３個有する
キレート剤を吸着させた強塩基性アニオン交換樹脂であ
る請求項１〜３のいずれか１項記載の方法。 - 【請求項５】 キレート剤が中和滴定曲線において少な
くとも１個の酸基の変曲点がｐＨ８以上であり、残りの
酸基の変曲点がｐＨ８未満である請求項４記載の方法。 - 【請求項６】 キレート剤が、ヒドロキシエチルエチレ
ンジアミン三酢酸、ニトリロ三酢酸、エチレンジアミン
四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、トリエチレンテ
トラミン六酢酸、ニトリロトリ（メチレンホスフォン
酸）、１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスフォ
ン酸、エチレンジアミンテトラ（メチレンホスフォン
酸）及びジエチレントリアミンペンタ（メチレンホスフ
ォン酸）の各アルカリ金属塩からなる群より選ばれた化
合物である請求項１〜５のいずれか１項記載の方法。 - 【請求項７】 カチオン交換樹脂がスチレン・ジビニル
ベンゼン共重合体を母体としたスルフォン酸基を有する
Ｈ型の強酸性カチオン交換樹脂である請求項１〜６のい
ずれか１項に記載の方法。 - 【請求項８】 アニオン交換樹脂がスチレン・ジビニル
ベンゼン共重合体、アクリル系重合体、またはエポキシ
アミン系重合体を母体とした第四級アンモニウム塩基を
有するＣｌ型の強塩基性アニオン交換樹脂である請求項
１〜７のいずれか１項記載の方法。
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|---|---|---|---|
| JP15872296A JP3852981B2 (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 過酸化水素水の精製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15872296A JP3852981B2 (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 過酸化水素水の精製方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH107407A true JPH107407A (ja) | 1998-01-13 |
| JP3852981B2 JP3852981B2 (ja) | 2006-12-06 |
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ID=15677922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15872296A Expired - Lifetime JP3852981B2 (ja) | 1996-06-20 | 1996-06-20 | 過酸化水素水の精製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3852981B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007254168A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 過酸化水素水の精製方法 |
| WO2021059940A1 (ja) * | 2019-09-24 | 2021-04-01 | 住友金属鉱山株式会社 | スカンジウムの回収方法、並びにイオン交換処理方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US20220194791A1 (en) * | 2020-12-22 | 2022-06-23 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Method for producing aqueous solution of purified orthoperiodic acid, method for producing semiconductor device, and aqueous solution of orthoperiodic acid |
-
1996
- 1996-06-20 JP JP15872296A patent/JP3852981B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP2021050377A (ja) * | 2019-09-24 | 2021-04-01 | 住友金属鉱山株式会社 | スカンジウムの回収方法、並びにイオン交換処理方法 |
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| Publication number | Publication date |
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