JPH1073635A - Bgaパッケージic用吸着ハンド - Google Patents

Bgaパッケージic用吸着ハンド

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JPH1073635A
JPH1073635A JP8248938A JP24893896A JPH1073635A JP H1073635 A JPH1073635 A JP H1073635A JP 8248938 A JP8248938 A JP 8248938A JP 24893896 A JP24893896 A JP 24893896A JP H1073635 A JPH1073635 A JP H1073635A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
suction
suction head
flanges
package
hand
Prior art date
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Pending
Application number
JP8248938A
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English (en)
Inventor
Kenji Takagi
憲治 高木
Hitoshi Mitsui
整 三井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 表面にチップ10Aの露出するBGAパーケ
ージ形IC10を吸脱着する水平搬送式オートハンドラ
の吸着ハンドを提供する。 【解決手段】 吸着ヘッド1は、下方に突出して相対向
する少なくとも一対の鍔1Aをもち、前記鍔1AでIC
10のパッケージ外形を規制する。鍔1A間であってI
C10のパッケージ部上面に当接する底面1Bに複数の
微細穴1Cを形成する。さらに、吸着ヘッド1は鍔1A
間の底面1BにBGAパッケージICのチップ10Aを
逃げる形で凹部1Dを形成し、凹部1Bの周囲となる底
面1Bに複数の微細穴1Cを形成する。吸着ヘッド1の
微細穴1Cが吸着ブロック2の吸着口と接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、BGA(Ball
Grid Array)パッケージIC用の吸着ハンドについての
ものである。水平搬送式オートハンドラでは、フラット
形パッケージICを吸着ハンドで吸脱着して搬送する。
この発明は、このような水平搬送式オートハンドラにお
いて、少なくとも測定部に使用されるBGAパッケージ
IC用吸着ハンドについてのものである。
【0002】
【従来の技術】次に、通常のフラット形パッケージIC
用の吸着ハンドの構成を図4により説明する。図4の2
は吸着ブロック、4は継手、5は圧縮コイルばね、6は
リニアガイド、7はストッパ、11は吸着ヘッド、13
はハンドベース、14は押圧ブロックである。
【0003】図4において、吸着ヘッド11は吸着ブロ
ック2に取り付けられる。吸着ブロックブ2はリニアガ
イド6によりハンドベース13とすべり結合しており、
吸着ヘッド11と吸着ブロック2は一体となって、ハン
ドベース13に対し移動する。ハンドベース13の下部
には押圧ブロック14が取り付けられる。
【0004】図4アの状態では、吸着ヘッド11と吸着
ブロック2は自重と圧縮コイルばね5の力により下がっ
ており、ストッパ7がハンドベース13に当たった状態
で停止している。吸着ヘッド11の中心には2つの吸着
パッド11Aが相反する形で内装されており、一方の吸
着パッド11Aは吸着ヘッド11の底面から微小突出
し、他方の吸着パッド11Aは吸着ブロック2の吸着口
2Aと接続している。
【0005】継手4は図示されない真空源と接続されて
おり、空気を吸引すれば吸着ヘッド11の底面にIC2
0を吸着できる。
【0006】図4アの状態で、吸着ハンドをICソケッ
ト18上に移動し、下降してICソケット18にIC2
0を押しつける。図4イはIC20をICソケット18
に押しつけた状態図である。ハンドベース13の上部か
ら荷重が加えられることにより、ハンドベース13から
リード押え14AによりIC20のリード20Aが接触
子18Aに押しつけられ、ICテスタにより測定でき
る。
【0007】図4イの状態では、吸着ヘッド11は相対
的に上方へ移動し圧縮コイルばね5を縮め、IC20の
パッケージ部には、吸着ヘッド11と吸着ブロック2の
自重と圧縮コイルばね5の力が加わるのみであり、リー
ド20Aに過負荷がかかるの防いでいる。測定終了後
は、吸着ヘッド11がIC20を吸着したまま上昇し、
次のICを搬送する準備に入る。
【0008】図5は、図4の吸着ヘッド11と押圧ブロ
ック14の斜視図である。押圧ブロック14の中心に吸
着ヘッド11の入る穴が抜いてあり、一定の隙間をもっ
た状態で、図5の矢印方向に吸着ヘッド11が挿入され
る。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】図4において、押圧ブ
ロック14はICのリードをICソケットの接触子に押
圧する機能をもち、吸着ヘッド11はICのパッケージ
部で正確に位置決めして吸着する機能をもつ。
【0010】水平搬送式オートハンドラでは、選別され
るICのサイズや形状が変更されると、押圧ブロックと
吸着ヘッドはICの種類に合わせた部品に交換される。
【0011】近年では、表面実装形パッケージのICで
従来のリードのもつフラット形ICに変わり、ICのパ
ッケージ裏面に、はんだボールを格子状に配置するBG
A(Ball Grid Array)形パッケージのICが採用され
ている。さらに、最近ではBGA形パッケージ上面にチ
ップが露出しているタイプのICが開発されている。
【0012】従来の吸着ハンドでは、吸着ヘッドの中心
に、吸着パッドが配置されているため、前述のBGA形
ICを吸着することができない。BGA形ICに対応す
る吸着ハンドが求められている。
【0013】この発明は、ICの中心を避けて吸着する
機能と、ICの中心を避けて押しつける機能を併せもつ
吸着ヘッドを吸着ハンドに交換可能に装着することによ
り、BGA形パッケージICを搬送する吸着ハンドの提
供を目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明は、下方に突出して相対向する少なくとも
一対の鍔1Aをもち、前記鍔1AでIC10のパッケー
ジ外形を規制し、鍔1A間であってIC10のパッケー
ジ部上面に当接する底面1Bに複数の微細穴1Cを形成
する吸着ヘッド1を備え、吸着ヘッド1の微細穴1Cが
吸着ブロックの吸着口と接続する。
【0015】さらに、吸着ヘッド1は鍔1A間の底面1
BにBGAパッケージICのチップ10Aを逃げる形で
凹部1Dを形成し、凹部1Bの周囲となる底面1Bに複
数の微細穴1Cを形成する。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
一実施の形態を説明する。図1は、この発明による吸着
ハンドの一実施の形態による構成図であり、図4に対比
している。なお、以下、図4で用いた同符号の構成品は
その機能、作用を同じにするので、特に必要のない限り
説明を省略する。
【0017】図1の1は吸着ヘッド、3はハンドベー
ス、10はBGA形のICである。図1アはIC10を
吸着ヘッド1で吸着している状態図である。吸着ヘッド
1は吸着ブロック2に取り付けられ、吸着ブロック2は
リニアガイド6によりハンドベース3に取り付けられて
いる。
【0018】図1アの状態では、吸着ヘッド1と吸着ブ
ロック2は自重と圧縮コイルばね5の力により下がって
おり、ストッパ7がハンドベース3に当たった状態で停
止している。
【0019】図4では、ハンドベース13に押圧ブロッ
ク14が取り付けられていたが、図1ではハンドベース
3にストッパ3Aが取り付けられている。また、図4で
は吸着ブロック2に吸着ヘッド11が取り付けられてい
たのに対し、図1では吸着ブロブロック2に吸着ヘッド
1が取り付けられている。すなわち、この発明では、こ
れらの部品をBGA形ICの交換部品として考えてい
る。
【0020】吸着ヘッド1の下部には、下方に突出して
相対向する一対の鍔1Aをもつ。この鍔1AでIC10
のパッケージ外形を規制する。鍔1A間の底面1BはI
C10のパッケージ上面に当接し、底面1Bに複数の微
細穴1Cを形成する。
【0021】底面IBにはIC10のチップ10Aを逃
げる形で凹部1Dを形成する。凹部1Dの周囲となる底
面1Cに前記の微細穴1Cを形成する。
【0022】吸着ヘッド1の上部中心には2つの吸着パ
ッド1Eが相反する形で内装されており、一方の吸着パ
ッド1Eは吸着ヘッド1の微細穴1Cと接続し、他方の
吸着パッド1Eは吸着ブロック2の吸着口2Aと接続し
ている。
【0023】このため、継手4より空気を吸引すれば、
IC10を吸着することができる。図1アの状態で、吸
着ハンドをICソケット8上に移動し、下降してICソ
ケット8にIC10を押しつける。図1イはIC10を
ICソケット8に押しつけた状態図である。
【0024】IC10は、ハンドベース3の上部から荷
重が加えられることにより、ハンドベース3からストッ
パ3Aを介して吸着ヘッド1に荷重が伝わり、ICソケ
ット8に押しつけられ、ICテスタによる測定ができ
る。
【0025】図1イでは、吸着ヘッド1は相対的に上方
へ移動し圧縮コイルばね5を縮めるが、ストッパ3に当
たり、これ以上、移動しないので、IC10を押しつけ
る荷重を十分伝えることができる。
【0026】測定終了後は吸着ヘッド1がIC10を吸
着したまま上昇し、次のICを搬送する準備に入る。
【0027】図2は吸着ヘッド1とIC10の外観図で
ある。図2におけるIC10上面のハッチング部は吸着
ヘッド1の吸着面であり、吸着ヘッド1の押圧面でもあ
る。
【0028】IC10の形状、サイズが異なれば、凹部
1Dと底面1Bの形状が対応した吸着ヘッド1が吸着ブ
ロック2に取り付けられる。なお、図2において、チッ
プ10Aが露出しない平坦なBGA形ICであっても、
図2の吸着ヘッド1で吸着できる。
【0029】図3は吸着ヘッド1の吸着面からの外観図
である。図3に示されるように、凹部1Dを除く底面1
Bに複数の微細穴1が形成される。微細穴1Cの配置、
数、大きさ、凹部1Dの大きさは、IC10のサイズに
より変更される。尚、図3における微細穴1Cを、焼結
金属を応用した多孔吸着プレートを代用しても、この発
明の請求の範囲を逸脱するものでない。
【0030】
【発明の効果】この発明は、吸着ヘッドのIC吸着面の
中心にICのチップを逃げる凹部と、凹部の周囲であり
ICと当接する底面に複数の微細穴を形成し、微細穴を
吸着ブロックの吸着口と接続しているので、上面にチッ
プの露出するBGA形ICを吸着し、ICソケットに押
しつけることでICテスタで測定できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明による吸着ハンドの一実施の形態によ
る構成図である。
【図2】この発明による吸着ヘッドとICの外観図であ
る。
【図3】この発明による吸着ヘッドの吸着面からの外観
図である。
【図4】従来の吸着ハンドの構造図である。
【図5】図4の吸着ヘッド11と押圧ブロック14の斜
視図である。
【符号の説明】
1 吸着ヘッド 1A 鍔 1B 底面 1C 微細穴 1D 凹部 1E 吸着パッド 2 吸着ブロック 2A 吸着口 3 ハンドベース 5 圧縮コイルばね 6 リニアガイド 7 ストッパ 8 ICソケット 10 BGA形IC 10A チップ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 下方に突出して相対向する少なくとも一
    対の鍔(1A)をもち、前記鍔(1A)でIC(10)のパッケージ
    外形を規制し、鍔(1A)間であってIC(10)のパッケージ
    部上面に当接する底面(1B)に複数の微細穴(1C)を形成す
    る吸着ヘッド(1) を備え、 吸着ヘッド(1) の微細穴(1C)が吸着ブロックの吸着口と
    接続することを特徴とするBGAパッケージIC用吸着
    ハンド。
  2. 【請求項2】 鍔(1A)間の底面(1B)にBGAパッケージ
    ICのチップ(10A)を逃げる形で凹部(1D)を形成し、凹
    部(1D)の周囲となる底面(1B)に複数の微細穴(1C)を形成
    する請求項1記載の吸着ヘッド。
JP8248938A 1996-08-30 1996-08-30 Bgaパッケージic用吸着ハンド Pending JPH1073635A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7118386B2 (en) 2002-12-17 2006-10-10 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Socket for semiconductor device
US7230830B2 (en) 2004-04-16 2007-06-12 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Semiconductor device socket
US7335030B2 (en) 2005-03-10 2008-02-26 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Cartridge for contact terminals and semiconductor device socket provided with the same
US7618277B2 (en) 2004-08-31 2009-11-17 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Method of mounting and demounting a semiconductor device, device for mounting and demounting a semiconductor device using the same, and socket for a semiconductor device
US8272882B2 (en) 2007-12-27 2012-09-25 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Semiconductor device socket

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7118386B2 (en) 2002-12-17 2006-10-10 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Socket for semiconductor device
US7165978B2 (en) 2002-12-17 2007-01-23 Yamichi Electronics Co., Ltd. Socket for semiconductor device
US7204708B2 (en) 2002-12-17 2007-04-17 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Socket for semiconductor device
US7278868B2 (en) 2002-12-17 2007-10-09 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Socket for semiconductor device
US7230830B2 (en) 2004-04-16 2007-06-12 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Semiconductor device socket
US7618277B2 (en) 2004-08-31 2009-11-17 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Method of mounting and demounting a semiconductor device, device for mounting and demounting a semiconductor device using the same, and socket for a semiconductor device
US7335030B2 (en) 2005-03-10 2008-02-26 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Cartridge for contact terminals and semiconductor device socket provided with the same
US8272882B2 (en) 2007-12-27 2012-09-25 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Semiconductor device socket

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